KR20080111959A - Manufacturing method and apparatus for display device - Google Patents

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KR20080111959A
KR20080111959A KR1020070060565A KR20070060565A KR20080111959A KR 20080111959 A KR20080111959 A KR 20080111959A KR 1020070060565 A KR1020070060565 A KR 1020070060565A KR 20070060565 A KR20070060565 A KR 20070060565A KR 20080111959 A KR20080111959 A KR 20080111959A
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vacuum chamber
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전애경
이상근
유충근
조흥렬
김옥희
이종화
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

A manufacturing method of display device capable of reducing crack of substrate by laser irradiation and apparatus thereof are provided to disperse a thermal stress of a substrate by a local laser irradiation by supplying a heat on a substrate and irradiating a laser on seal pattern. A manufacturing method of display device capable of reducing crack of substrate by laser irradiation comprises the following steps: a step for coating a seal pattern on a first substrate(S1); a step for drying the seal pattern(S3); a step for sintering the seal pattern(S5); a step for arranging a second substrate including a pixel array facing to the first substrate in between the seal patterns(S7); and a step for sealing a space between the second substrate and the first substrate by irradiating the laser on the seal pattern after heating the first substrate and the second substrate(S9).

Description

표시소자의 제조방법 및 장치{Manufacturing method and Apparatus for display device}Manufacturing method and device for display device {Manufacturing method and Apparatus for display device}

도 1은 씰 패턴에 의해 접합된 상부 기판과 하부 기판을 나타내는 도면.1 is a view showing an upper substrate and a lower substrate bonded by a seal pattern.

도 2는 씰 패턴으로 화소 영역을 밀봉하는 과정을 나타내는 도면.2 is a diagram illustrating a process of sealing a pixel area with a seal pattern.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법을 나타내는 순서도.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4a 내지 도 4d는 도 3에 도시된 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법을 단계적으로 설명하기 위한 도면들.4A through 4D are diagrams for describing a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention illustrated in FIG. 3 step by step.

도 5a 및 도 5b는 기판 가열과 레이저 조사를 동시에 실시하기 위한 표시소자의 제조 장치를 나타내는 도면들.5A and 5B illustrate an apparatus for manufacturing a display element for simultaneously performing substrate heating and laser irradiation.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법과 장치를 통해 제조된 표시소자의 일례를 나타내는 도면.6 illustrates an example of a display device manufactured through a method and an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

41, 45 : 기판 43 : 씰 패턴41, 45: substrate 43: seal pattern

40 : 화소 어레이 51 : 레이저 조사장치40: pixel array 51: laser irradiation apparatus

55 : 레이저 57 : 복사열55: laser 57: radiant heat

59 : 진공 챔버 151, 153 : 가열 수단59: vacuum chamber 151, 153: heating means

본 발명은 표시소자의 제조 방법 및 장치에 관한 것이다. 특히 본 발명은 국부적인 레이저 조사에 의해 기판에 크랙이 발생하는 현상을 개선할 수 있는 표시소자의 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for manufacturing a display element. In particular, the present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a display element which can improve a phenomenon in which a crack occurs in a substrate by local laser irradiation.

표시소자 시장은 기존의 CRT(Cathode-Ray Tube)를 대신해 경량 박형인 평판 디스플레이(Flat Panel Display:이하 "FPD"라 함) 위주로 급속히 변화해 왔다. FPD에는 액정표시장치(LCD:Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP:Plasma Display Panel), 유기 전계 발광 표시장치(OLED:Organic Electro Luminescence Display)등이 있다.The display device market has been rapidly changing, focusing on lightweight flat panel displays (hereinafter referred to as "FPDs") instead of the conventional CRT (Cathode-Ray Tube). The FPD includes a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), an organic electroluminescence display (OLED), and the like.

FPD는 상부 기판 및 하부 기판 중 적어도 한면에 화소 어레이를 형성한 후, 상부 기판과 하부 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계를 포함한다. 상부 기판과 하부 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계는 상부 기판과 하부 기판의 화소 어레이 형성면이 대면되도록 상부 기판과 하부 기판을 씰(seal) 패턴으로 접합함으로써 이루어진다.The FPD includes forming a pixel array on at least one surface of the upper substrate and the lower substrate, and then sealing the space between the upper substrate and the lower substrate. Sealing the space between the upper substrate and the lower substrate is performed by bonding the upper substrate and the lower substrate in a seal pattern such that the pixel array forming surfaces of the upper substrate and the lower substrate face each other.

도 1은 씰 패턴(3)에 의해 접합된 상부 기판(5)과 하부 기판(1)을 나타내는 도면이다.1 is a view showing the upper substrate 5 and the lower substrate 1 bonded by the seal pattern 3.

도 1을 참조하면, 씰 패턴(3)은 상부 기판(5)과 하부 기판(1)에 접합되어 상부 기판(5)과 하부 기판(1) 사이의 공간을 밀봉한다. 여기서 상부 기판(5)과 하부 기판(1) 중 적어도 어느 하나의 내부면에는 표시소자를 구성하는 화소 어레이가 형성된 상태이다. Referring to FIG. 1, the seal pattern 3 is bonded to the upper substrate 5 and the lower substrate 1 to seal a space between the upper substrate 5 and the lower substrate 1. Here, the pixel array constituting the display element is formed on the inner surface of at least one of the upper substrate 5 and the lower substrate 1.

화소 어레이는 화상을 구현하는 화소 셀 및 화소 셀을 구동하기 위한 신호라인들을 포함한다. 이러한 화소 어레이가 형성된 영역은 화소 셀들이 배치된 화소 영역(P1)과 패드부(6)가 형성된 패드 영역(P3)으로 구분된다. The pixel array includes pixel cells for implementing an image and signal lines for driving the pixel cells. The region in which the pixel array is formed is divided into a pixel region P1 in which pixel cells are disposed and a pad region P3 in which the pad portion 6 is formed.

화소 영역(P1)은 화상을 구현하기 위한 다수의 화소 셀을 포함한다. 화소 셀의 구성은 구현하고자 하는 표시소자의 종류에 따라 다양하게 설계될 수 있다.The pixel region P1 includes a plurality of pixel cells for implementing an image. The configuration of the pixel cell may be variously designed according to the type of display element to be implemented.

패드 영역(P3)은 구동회로부에 접속되는 패드 단자(6)가 형성되는 영역으로서, 추후 구동회로부와 접속될 수 있도록 외부로 노출된다. 패드 단자(6)는 화소 영역(P1)의 신호 라인과 접속되어 구동 회로부로부터의 구동 신호를 화소 셀에 공급한다.The pad region P3 is an area where the pad terminal 6 connected to the driving circuit portion is formed, and is exposed to the outside so as to be connected to the driving circuit portion later. The pad terminal 6 is connected to the signal line of the pixel region P1 to supply driving signals from the driving circuit section to the pixel cells.

씰 패턴(3)은 상부 기판(5)과 하부 기판(1) 사이의 공간 즉, 화소 영역(P1)을 밀봉하기 위해 상부 기판(5) 및 하부 기판(1)의 테두리인 씰 패턴 형성 영역(P2)에 형성된다. 이러한 씰 패턴(3)은 외부로부터의 산소 및 수분이 화소 영역(P1) 내부로 침투하는 것을 방지한다.The seal pattern 3 may include a space between the upper substrate 5 and the lower substrate 1, that is, a seal pattern forming region that is an edge of the upper substrate 5 and the lower substrate 1 to seal the pixel region P1. P2) is formed. The seal pattern 3 prevents oxygen and moisture from the outside from penetrating into the pixel region P1.

도 2는 씰 패턴(3)을 통해 화소 영역(P1)을 밀봉하는 과정을 나타내는 도면이다.2 is a diagram illustrating a process of sealing the pixel region P1 through the seal pattern 3.

씰 패턴(3)은 화소 영역(P1)을 밀봉하기 위해서 상부 기판(5)과 하부 기 판(1)이 씰 패턴(3)을 사이에 두고 정렬된 후 용융 및 경화됨으로써 상부 기판(5)과 하부 기판(1)에 접합된다.The seal pattern 3 is formed by aligning the upper substrate 5 and the lower substrate 1 with the seal pattern 3 therebetween to seal the pixel region P1, and then melting and curing the seal pattern 3. It is bonded to the lower substrate 1.

씰 패턴(3)의 용융 및 경화는 화소 어레이를 손상시키기 않기 위해 도 2에 도시된 바와 같이 씰 패턴 형성영역(P2)에 국부적으로 레이저(7)를 조사함으로써 이루어진다. 특히, 유기 전계 발광 표시소자와 같이 고온에 취약한 유기물을 화소 어레이에 포함하고 있는 경우 레이저(7)가 화소 영역(P1)에 조사되지 않고 씰 패턴 형성영역(P2)에 국부적으로 조사되는 것은 표시소자의 신뢰성 향상과 관련이 있다.Melting and curing of the seal pattern 3 are performed by irradiating the laser 7 locally to the seal pattern formation region P2 as shown in FIG. 2 in order not to damage the pixel array. In particular, in the case where the pixel array includes an organic material susceptible to high temperature, such as an organic light emitting display device, it is not the laser 7 irradiated to the pixel region P1 but locally irradiated to the seal pattern formation region P2. Is associated with improved reliability.

레이저(7)의 국부적인 조사는 레이저 헤드(9) 또는 기판(1,5)을 지지하는 스테이지를 화살표 방향으로 이동시킴으로써 가능하다. 이 과정에서 레이저(7)는 화소 영역(P1)을 우회하여 씰 패턴 형성영역(P2)에 조사될 수 있는 장점이 있으나, 기판(1,5)의 일부 영역만을 과도하게 가열하게 된다. 이와 같이 씰 패턴 형성영역(P2)에 과도하게 집중되는 열은 씰 패턴 형성영역(P2)에 대응하는 기판(1,5)의 과도한 팽창을 유발한다. 반면, 레이저(7)가 조사되지 않는 영역(P1, P3)에 대응하는 기판(1,5)의 변형은 씰 패턴 형성영역(P2)에서보다 현저히 작다. 결과적으로 씰 패턴 형성영역(P2)에 과도하게 집중되는 열에 의한 스트레스로 인하여 A영역에 도시된 바와 같이 기판(1,5)에 크랙이 발생한다. 이러한 기판(1,5)의 크랙은 기판(1,5) 상에 형성된 화소 어레이의 손상을 유발하여 표시소자의 신뢰성을 저하시키므로 문제가 된다.Local irradiation of the laser 7 is possible by moving the stage supporting the laser head 9 or the substrates 1, 5 in the direction of the arrow. In this process, the laser 7 has the advantage of being irradiated to the seal pattern forming region P2 by bypassing the pixel region P1, but excessively heats only a portion of the substrates 1 and 5. As such, heat excessively concentrated in the seal pattern forming region P2 causes excessive expansion of the substrates 1 and 5 corresponding to the seal pattern forming region P2. On the other hand, the deformation of the substrates 1 and 5 corresponding to the regions P1 and P3 to which the laser 7 is not irradiated is significantly smaller than that in the seal pattern formation region P2. As a result, cracks occur in the substrates 1 and 5 as shown in region A due to stress caused by excessive heat concentration in the seal pattern forming region P2. The cracks of the substrates 1 and 5 cause problems of the pixel arrays formed on the substrates 1 and 5, thereby lowering the reliability of the display device.

본 발명의 목적은 국부적인 레이저 조사에 의해 기판에 크랙이 발생하는 현상을 개선할 수 있는 표시소자의 제조 방법과 이를 위한 제조장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a display device capable of improving a phenomenon in which a crack occurs in a substrate by local laser irradiation, and a manufacturing apparatus therefor.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법은 제1 기판에 씰 패턴을 도포하는 단계; 상기 씰 패턴을 건조하는 단계; 상기 씰 패턴을 가소성하는 단계; 상기 씰 패턴을 사이에 두고 상기 제1 기판에 마주하도록 화소 어레이를 포함하는 제2 기판을 정렬하는 단계; 및 상기 제1 기판 및 제2 기판을 가열함과 동시에 상기 씰 패턴에 레이저를 조사하여 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention comprises the steps of applying a seal pattern on the first substrate; Drying the seal pattern; Plasticizing the seal pattern; Aligning a second substrate including a pixel array to face the first substrate with the seal pattern therebetween; And heating the first substrate and the second substrate and simultaneously sealing a space between the first substrate and the second substrate by irradiating a laser to the seal pattern.

상기 화소 어레이는 유기 발광층을 포함한다.The pixel array includes an organic light emitting layer.

상기 제1 기판에 씰 패턴을 도포하는 단계는 상기 제1 기판 상에 상기 화소 어레이와 대응되는 박막 패턴이 형성된 상태에서 실시된다.The applying of the seal pattern to the first substrate is performed in a state where a thin film pattern corresponding to the pixel array is formed on the first substrate.

상기 씰 패턴은 프릿 글라스를 포함한다.The seal pattern includes frit glass.

상기 제1 기판 및 제2 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계에서 상기 제1 기판 및 제2 기판을 가열하는 온도는 120℃ 이하이다.In the sealing of the space between the first substrate and the second substrate, the temperature for heating the first substrate and the second substrate is 120 ° C. or less.

상기 제1 기판 및 제2 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계는 상기 레이저를 조사하는 레이저 장치 및 상기 제1 및 제2 기판을 가열하는 가열수단을 구비한 진공 챔버내에 투입되는 단계를 포함한다.Sealing the space between the first substrate and the second substrate includes the step of introducing into a vacuum chamber having a laser device for irradiating the laser and heating means for heating the first and second substrates.

상기 씰 패턴을 가소성하는 단계는 상기 제1 기판을 가열함과 동시에 상기 씰 패턴에 레이저를 조사하는 단계를 포함한다.Plasticizing the seal pattern includes heating the first substrate and irradiating a laser to the seal pattern.

또한 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조장치는 씰 패턴을 포함하는 기판이 투입되는 진공 챔버; 상기 진공 챔버 내에서 상기 기판에 열을 가하는 가열수단; 및 상기 진공 챔버 내에서 상기 씰 패턴에 레이저를 조사하는 레이저 조사부를 포함한다.In addition, the apparatus for manufacturing a display device according to an embodiment of the present invention comprises a vacuum chamber into which a substrate including a seal pattern is injected; Heating means for applying heat to the substrate in the vacuum chamber; And a laser irradiation part for irradiating a laser to the seal pattern in the vacuum chamber.

상기 가열 수단은 상기 진공 챔버 외벽에 내장된 열선을 포함한다.The heating means includes a heating wire embedded in the outer wall of the vacuum chamber.

상기 가열 수단은 상기 진공 챔버 내부에 장착된 할로겐 히터를 포함한다.The heating means comprises a halogen heater mounted inside the vacuum chamber.

상기 목적외에 본 발명의 다른 목적 및 이점들은 첨부 도면을 참조한 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and advantages of the present invention other than the above object will be apparent from the description of the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예들을 도 3 내지 도 6을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 3 to 6.

도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법을 나타내는 순서도이다. 그리고 도 4a 내지 도 4e는 도 3에 도시된 표시소자의 제조방법을 단계적으로 설명하기 위한 도면들이다.3 is a flowchart illustrating a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention. 4A through 4E are diagrams for describing a method of manufacturing the display device illustrated in FIG. 3 step by step.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법은 제1 기판에 씰 패턴 도포(이하, "S1"이라 함), 씰 패턴 건조(이하, "S3" 이라 함), 씰 패턴 가소성(이하, "S5"이라 함), 제2 기판 정렬(이하, "S7"이라 함), 기판 가열과 동시에 씰 패턴에 레이저를 조사하여 제1 기판 및 제2 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계(이하, "S9" 이라 함)를 포함한다.Referring to FIG. 3, a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention may include applying a seal pattern to a first substrate (hereinafter referred to as “S1”), drying a seal pattern (hereinafter referred to as “S3”), and sealing Pattern plasticity (hereinafter referred to as "S5"), second substrate alignment (hereinafter referred to as "S7"), and substrate heating to seal the space between the first substrate and the second substrate by irradiating a laser with the seal pattern. A step (hereinafter referred to as "S9").

상술한 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법은 두 기판의 접합으로 이루어진 공지의 어떠한 표시소자에도 적용될 수 있으나, 유기 전계 발광 표시소자에 적용되는 것이 바람직하다. 예를 들어 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법은 액정표시소자, 플라즈마 디스플레이 패널등에 적용될 수 있다. 액정표시소자 및 플라즈마 디스플레이 패널은 유기 전계 발광 표시소자와 같이 고온에 취약한 유기 발광층을 포함하지 않으므로 S9단계에서 레이저 장비를 이용하면 제조 비용 및 수율면에서 비효율적일 수 있다. 이에 따라 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법은 제조 비용 및 수율을 고려하여 유기 전계 발광 표시소자에 적용되는 것이 바람직하다. 유기 전계 발광 표시소자에 대한 설명은 도 6에서 후술하기로 한다.The method of manufacturing the display device according to the embodiment of the present invention described above may be applied to any known display device formed by bonding two substrates, but is preferably applied to an organic light emitting display device. For example, the method of manufacturing the display device according to the exemplary embodiment of the present invention may be applied to a liquid crystal display device, a plasma display panel, and the like. Since the liquid crystal display and the plasma display panel do not include an organic light emitting layer that is vulnerable to high temperatures, such as an organic light emitting display, using laser equipment in step S9 may be inefficient in terms of manufacturing cost and yield. Accordingly, the manufacturing method of the display device according to the embodiment of the present invention is preferably applied to the organic light emitting display device in consideration of the manufacturing cost and yield. Description of the organic light emitting display will be described later with reference to FIG. 6.

이하, 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 4A to 4D.

도 4a에 도시된 바와 같이 씰 패턴(43)은 S1 단계를 통해 제1 기판(41)의 테두리에 도포된다. 이 때 씰 패턴(43)은 페이스트 상태로서, 디스펜싱(dispensing)이나 스크린 프린팅(screen printing) 방법으로 원하는 영역에 도포될 수 있다. 또한 씰 패턴(43)은 표시소자의 기판으로 내열성이 강한 유리가 주로 이용되는 점을 고려하여 유리와 접착도가 좋은 프릿 글라스(frit glass)를 포함한다. 이외에도 씰 패턴(43)은 도포공정에 유리한 페이스트 상태가 되기 위해 용매(solvent)를 포함한다. 용매는 파우더 상태의 프릿 글라스의 접착도를 향상시키기 위해 바인더(binder)를 포함한다.As shown in FIG. 4A, the seal pattern 43 is applied to the edge of the first substrate 41 through S1. At this time, the seal pattern 43 is a paste and may be applied to a desired area by a dispensing or screen printing method. In addition, the seal pattern 43 includes frit glass having good adhesion with glass in consideration of the fact that a glass having high heat resistance is mainly used as a substrate of the display element. In addition, the seal pattern 43 includes a solvent in order to be in a paste state advantageous for the coating process. The solvent includes a binder to improve the adhesion of the frit glass in powder state.

S1 단계에서 제1 기판(41)에는 형성하고자 하는 표시소자의 설계 구조에 따라 박막 패턴이 형성된 상태일 수 있다. 제1 기판(41)에 형성된 박막 패턴은 후속 공정에서 합착될 제2 기판에 형성된 화소 어레이에 대응하는 패턴으로서 후속 공정인 S5단계를 고려하여 유기물을 포함하지 않는 것이 바람직하다.In operation S1, a thin film pattern may be formed on the first substrate 41 according to the design structure of the display device to be formed. The thin film pattern formed on the first substrate 41 is a pattern corresponding to the pixel array formed on the second substrate to be bonded in a subsequent process, and preferably does not include an organic material in consideration of step S5, which is a subsequent process.

이어서 도 4b에 도시된 바와 같이 S3 단계 및 S5 단계를 통해 씰 패턴(43)내의 수분, 용매, 바인더 및 가스등이 제거된다. S3 단계는 수분 및 용매를 제거하기 위해 100℃정도의 온도에서 10분 정도 실시될 수 있고, S5 단계는 질소 분위기에서 300℃ 이상의 온도로 실시될 수 있다. 구체적인 S3 단계 및 S5 단계 진행시 온도는 씰 패턴(43)에 포함된 재료에 따라 다양하게 설정될 수 있다.Subsequently, as illustrated in FIG. 4B, the water, the solvent, the binder, and the gas in the seal pattern 43 are removed through steps S3 and S5. Step S3 may be performed at a temperature of about 100 ° C. for about 10 minutes to remove moisture and solvents, and step S5 may be performed at a temperature of 300 ° C. or higher in a nitrogen atmosphere. When the specific steps S3 and S5 proceeds may be set in various ways depending on the material contained in the seal pattern 43.

이 후, 도 4c에 도시된 바와 같이 S7 단계를 통해 씰 패턴(43)을 사이에 두고 제2 기판(45)이 정렬된다. 이 때 제2 기판(45)에는 화소 어레이(40)가 형성된 상태이다. 제2 기판(45)에 형성된 화소 어레이는 유기 발광층을 포함하는 다수의 화소 셀들과 상기 화소 셀에 구동 신호를 인가하기 위한 패드 단자들을 포함한다. S7 단계에서 화소 셀들이 형성된 화소 영역은 제1 기판(41), 씰 패턴(43) 및 제2 기판(45)에 의해 마련된 내부 공간에 배치되고, 패드 단자가 형성된 패드 영역은 외부로 노출될 수 있도록 배치된다. 노출된 패드 단자는 추후 구동회로와 접속된다.Thereafter, as illustrated in FIG. 4C, the second substrate 45 is aligned with the seal pattern 43 interposed therebetween in step S7. At this time, the pixel array 40 is formed on the second substrate 45. The pixel array formed on the second substrate 45 includes a plurality of pixel cells including an organic emission layer and pad terminals for applying a driving signal to the pixel cells. In operation S7, the pixel area in which the pixel cells are formed may be disposed in an inner space provided by the first substrate 41, the seal pattern 43, and the second substrate 45, and the pad area in which the pad terminal is formed may be exposed to the outside. Are arranged to be. The exposed pad terminal is later connected to the driving circuit.

이 후, 도 4d에 도시된 바와 같이 S9 단계를 통해 씰 패턴(43)이 용융 및 경화되어 제1 기판(41) 및 제2 기판(45)에 접합됨으로써 제1 기판(41) 및 제2 기판(45) 사이의 공간 즉, 화소 영역이 밀봉된다. 본 발명의 실시 예에서는 화소 영 역 밀봉시 씰 패턴(43)이 형성된 영역에 국부적으로 레이저(55)가 조사됨과 동시에 제1 기판(41) 및 제2 기판(45)에 복사열(57)이 가해진다. 이에 따라 레이저(55)가 조사되는 부분과 대응하는 제1 및 제2 기판(41, 45)의 열팽창도와 레이저(55)가 조사되지 않는 부분과 대응하는 제1 및 제2 기판(41, 45)의 열팽창도의 차이가 줄어든다. 즉 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법은 씰 패턴(43)에 레이저(55)를 조사함과 동시에 제1 및 제2 기판(41, 45)을 가열함으로써 씰 패턴(43) 형성 영역과 대응하는 제1 및 제2 기판(41, 45)에 가해지는 열적 스트레스를 분산시킬 수 있다. 이에 따라 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법은 제1 및 제2 기판(41, 45)에 크랙이 발생하는 현상을 개선하여 표시소자 제조 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.Thereafter, as shown in FIG. 4D, the seal pattern 43 is melted and cured through the step S9 to be bonded to the first substrate 41 and the second substrate 45, thereby forming the first substrate 41 and the second substrate. The space between 45, i.e., the pixel region, is sealed. According to the exemplary embodiment of the present invention, the laser 55 is locally irradiated to the region where the seal pattern 43 is formed when the pixel region is sealed, and radiant heat 57 is applied to the first substrate 41 and the second substrate 45. All. Accordingly, the thermal expansion of the first and second substrates 41 and 45 corresponding to the portion to which the laser 55 is irradiated, and the first and second substrates 41 and 45 corresponding to the portion to which the laser 55 is not irradiated. The difference in thermal expansion is reduced. That is, in the method of manufacturing the display device according to the exemplary embodiment of the present invention, the region of the seal pattern 43 is formed by irradiating the seal pattern 43 with the laser 55 and heating the first and second substrates 41 and 45. And the thermal stresses applied to the first and second substrates 41 and 45 corresponding thereto. Accordingly, the method of manufacturing the display device according to the exemplary embodiment of the present invention may improve the reliability of the display device manufacturing process by improving a phenomenon in which cracks occur in the first and second substrates 41 and 45.

상술한 S9 단계는 진공 챔버(59)내에서 이루어진다. 진공 챔버(59) 내에는 기판(41, 45)을 안착시키기 위한 스테이지(53), 기판(41, 45)에 복사열(57)을 가하는 가열수단, 씰 패턴(43)에 레이저(55)를 조사하는 레이저 장치(51)가 구비된다. 제1 및 제2 기판(41, 45)은 스테이지(53)에 장착된 지그(jig)등에 고정된다. 가열 수단에 의해 가해지는 열(57)의 온도 즉, 제1 및 제2 기판(41, 45)에 가해지는 온도는 화소 어레이(40)에 포함된 유기물에 손상을 주지 않도록 120℃이하인 것이 바람직하다. 반면, 레이저(55)에 의해 씰 패턴(43)에 가해지는 온도는 씰 패턴(43)을 구성하는 물질의 종류에 따라 다양하게 설정될 수 있다.The above-described step S9 is performed in the vacuum chamber 59. In the vacuum chamber 59, the stage 53 for mounting the substrates 41 and 45, the heating means for applying the radiant heat 57 to the substrates 41 and 45, and the laser pattern 55 are irradiated to the seal pattern 43. The laser device 51 is provided. The first and second substrates 41 and 45 are fixed to a jig or the like mounted on the stage 53. The temperature of the heat 57 applied by the heating means, that is, the temperature applied to the first and second substrates 41 and 45, is preferably 120 ° C. or lower so as not to damage the organic material included in the pixel array 40. . On the other hand, the temperature applied to the seal pattern 43 by the laser 55 may be variously set according to the type of material constituting the seal pattern 43.

기판 가열과 동시에 레이저를 조사하는 것은 S5 단계에서도 응용될 수 있다. S5 단계는 상술한 바와 같이 질소 분위기의 진공 오븐내에서 실시될 수 있으나, 씰 패턴(43)에 레이저를 조사함으로써 실시되어도 무관하다. 본 발명의 실시 예에서는 국부적인 레이저 조사에 의해 기판에 크랙이 생기는 문제를 방지하기 위한 것이므로 S5 단계를 레이저 조사를 통해 실시하고자 할 때 도 4d에서 상술한 바와 마찬가지로 레이저 조사와 동시에 제1 기판(41)을 가열하는 것이 바람직하다.Irradiation of the laser at the same time as the heating of the substrate may be applied in the step S5. The step S5 may be performed in a vacuum oven in a nitrogen atmosphere as described above, but may be performed by irradiating the seal pattern 43 with a laser. In the exemplary embodiment of the present invention, since the crack is generated on the substrate by the local laser irradiation, when the step S5 is to be performed through the laser irradiation, the first substrate 41 simultaneously with the laser irradiation as described above with reference to FIG. 4D. Is preferably heated.

도 5a 및 도 5b는 기판 가열과 레이저 조사를 동시에 실시하기 위한 표시소자의 제조 장치를 나타내는 도면들이다.5A and 5B are views showing an apparatus for manufacturing a display element for simultaneously performing substrate heating and laser irradiation.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 표시소자의 제조장치(50)는 도 4d에서 상술한 바와 같이 진공 챔버(59), 가열 수단(151 또는 153), 레이저 조사 장치(51)를 포함한다. 5A and 5B, the apparatus 50 for manufacturing a display element includes a vacuum chamber 59, a heating means 151 or 153, and a laser irradiation device 51 as described above with reference to FIG. 4D.

진공 챔버(59)는 씰 패턴(43)이 경화되는 과정에서 외부로부터의 가스등이 화소 영역 내부로 침투하지 않도록 진공도를 유지한다. 진공 챔버(59)에는 씰 패턴(43)을 사이에 두고 정렬된 기판(41, 45)이 투입된다. 투입된 기판(41, 45)은 진공 챔버(59)내의 스테이지(53)에 안착된다. 스테이지(53)에는 지그등과 같은 고정 수단이 장착되어 기판(41, 45)을 고정한다.The vacuum chamber 59 maintains a degree of vacuum so that gas from the outside does not penetrate into the pixel area while the seal pattern 43 is cured. The substrates 41 and 45 aligned with the seal pattern 43 are introduced into the vacuum chamber 59. The injected substrates 41 and 45 are seated on the stage 53 in the vacuum chamber 59. The stage 53 is equipped with fixing means such as a jig to fix the substrates 41 and 45.

가열 수단은 기판(41, 45)에 열(57)을 가하기 위해 진공 챔버(59)에 내장된다. 가열 수단은 기판(41, 45)에 열(57)을 골고루 전달하기 위해서 도 5a에 도시된 바와 같이 진공 챔버(59) 외벽에 열선(151)을 포함할 수 있다. 또한, 가열 수단은 기판(41, 45)에 열(57)을 골고루 전달하기 위해서 도 5b에 도시된 바와 같이 진공 챔버(59) 내에 할로겐 히터(153)를 장착시킴으로써 형성될 수 있다. Heating means are embedded in the vacuum chamber 59 to apply heat 57 to the substrates 41, 45. The heating means may include a hot wire 151 on the outer wall of the vacuum chamber 59 as shown in FIG. 5A to evenly transfer the heat 57 to the substrates 41 and 45. The heating means can also be formed by mounting a halogen heater 153 in the vacuum chamber 59 as shown in FIG. 5B to evenly transfer heat 57 to the substrates 41 and 45.

레이저 조사 장치(51)는 씰 패턴(43) 형성영역에 레이저(55)를 조사하기 위 해 진공 챔버(59) 내부에 장착된다.The laser irradiation device 51 is mounted inside the vacuum chamber 59 to irradiate the laser 55 to the seal pattern 43 forming region.

이와 같은 본 발명은 씰 패턴을 사이에 두고 접합된 두 기판을 포함하는 공지의 어떠한 표시소자에도 적용될 수 있으나, 제조 비용 및 수율을 고려하여 도 6에 도시된 바와 같은 유기 전계 발광 표시소자에 적용되는 것이 바람직하다.The present invention may be applied to any known display device including two substrates bonded with a seal pattern therebetween, but may be applied to an organic light emitting display device as shown in FIG. 6 in consideration of manufacturing cost and yield. It is preferable.

도 6을 참조하면, 유기 전계 발광 표시소자는 화소 어레이(40)가 형성된 제2 기판(45) 및 제2 기판(45)과 마주하는 제1 기판(41)과, 제1 기판(41) 및 제2 기판(45) 사이의 화소 영역(P1)을 밀봉하는 씰 패턴(43)을 구비한다.Referring to FIG. 6, the organic light emitting display device includes a first substrate 41 facing the second substrate 45 and the second substrate 45 on which the pixel array 40 is formed, a first substrate 41, and A seal pattern 43 for sealing the pixel region P1 between the second substrates 45 is provided.

유기 전계 발광 표시소자의 화소 어레이(40)는 박막 트랜지스터(T)들, 제1 전극(61), 유기 발광층(63) 및 제2 전극(65)을 포함한다.The pixel array 40 of the organic light emitting display device includes thin film transistors T, a first electrode 61, an organic emission layer 63, and a second electrode 65.

유기 발광층(63)은 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 주입층, 전자 수송층을 포함한다. 여기서 발광층은 적(R), 녹(G), 청(B)색을 발광하는 유기물질을 포함하여 화소를 구현한다.The organic light emitting layer 63 includes an electron injection layer, an electron transport layer, a light emitting layer, a hole injection layer, and an electron transport layer. The emission layer includes an organic material emitting red (R), green (G), and blue (B) colors to implement the pixel.

이러한 유기 전계 발광 표시소자의 제1 전극(61)과 제2 전극(65)에 전압이 인가되면, 제2 전극(65)으로부터 발생된 전자는 유기 발광층(63)의 전자 주입층 및 전자 수송층을 통해 발광층 쪽으로 이동한다. 또한 제1 전극(61)으로부터 발생된 정공은 유기 발광층(63)의 정공 주입층 및 정공 수송층을 통해 발광층 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층에서는 전자 수송층과 정공 수송층으로부터 공급된 전자와 정공이 충돌하여 재결합함으로써 빛이 발생되고, 이 빛은 제1 전극(61)을 통해 외부로 방출되어 화상이 표시되게 한다. 또한 도면에 도시하진 않았으나, 제2 기판(45)의 내부면에는 외부로부터 유입될 수 있는 수분을 차단하는 흡습제가 반투과 성 테이프에 의해 고정될 수 있다.When a voltage is applied to the first electrode 61 and the second electrode 65 of the organic light emitting display device, electrons generated from the second electrode 65 may form an electron injection layer and an electron transport layer of the organic light emitting layer 63. Move toward the emitting layer through. In addition, holes generated from the first electrode 61 move toward the light emitting layer through the hole injection layer and the hole transport layer of the organic light emitting layer 63. Accordingly, in the light emitting layer, light is generated by collision and recombination of electrons and holes supplied from the electron transporting layer and the hole transporting layer, and the light is emitted to the outside through the first electrode 61 to display an image. In addition, although not shown in the drawing, an absorbent for blocking moisture that may flow from the outside may be fixed to the inner surface of the second substrate 45 by a semi-permeable tape.

도 6에서는 화소 어레이(40)가 제2 기판(45)에만 형성된 경우를 예로 들었으나, 제1 전극(61), 유기 발광층(63) 및 제2 전극(65)은 제2 기판(45)에 형성되고, 박막 트랜지스터(T) 및 박막 트랜지스터(T)에 접속된 제3 전극은 제1 기판(41)에 형성될 수 있다. 이 경우, 제1 기판(41)은 제3 전극과 접속패턴을 포함하는 박막 패턴을 더 구비할 수 있다. 상기 접속 패턴은 제3 전극 및 제2 전극(65) 사이에 형성되어 제3 전극과 제2 전극(65)을 접속시키기 위한 것이다.In FIG. 6, the pixel array 40 is formed only on the second substrate 45. However, the first electrode 61, the organic emission layer 63, and the second electrode 65 may be formed on the second substrate 45. The third electrode connected to the thin film transistor T and the thin film transistor T may be formed on the first substrate 41. In this case, the first substrate 41 may further include a thin film pattern including a third electrode and a connection pattern. The connection pattern is formed between the third electrode and the second electrode 65 to connect the third electrode and the second electrode 65.

상술한 바와 같이 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법 및 장치는 씰 패턴에 레이저를 조사함과 동시에 기판에 열을 가함으로써 국부적 레이저 조사에 의한 기판의 열적 스트레스를 분산할 수 있다. 이에 따라 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법 및 장치는 국부적 레이저 조사에 의해 화소 어레이의 손상없이 씰 패턴을 기판에 접합시킴과 동시에 열적 스트레스로 인해 기판에 크랙이 발생하는 현상을 개선할 수 있다. 결과적으로 본 발명의 실시 예에 따른 표시소자의 제조방법 및 장치는 표시소자의 신뢰성을 개선할 수 있다.As described above, the method and apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention can disperse thermal stress of a substrate by local laser irradiation by applying a laser to the seal pattern and applying heat to the substrate. Accordingly, the method and apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention can improve the phenomenon of cracking on a substrate due to thermal stress while bonding the seal pattern to the substrate without damaging the pixel array by local laser irradiation. Can be. As a result, the manufacturing method and apparatus of the display device according to the embodiment of the present invention can improve the reliability of the display device.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (10)

제1 기판에 씰 패턴을 도포하는 단계;Applying a seal pattern to the first substrate; 상기 씰 패턴을 건조하는 단계;Drying the seal pattern; 상기 씰 패턴을 가소성하는 단계;Plasticizing the seal pattern; 상기 씰 패턴을 사이에 두고 상기 제1 기판에 마주하도록 화소 어레이를 포함하는 제2 기판을 정렬하는 단계; 및Aligning a second substrate including a pixel array to face the first substrate with the seal pattern therebetween; And 상기 제1 기판 및 제2 기판을 가열함과 동시에 상기 씰 패턴에 레이저를 조사하여 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.And heating the first substrate and the second substrate and sealing the space between the first substrate and the second substrate by irradiating a laser to the seal pattern. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 화소 어레이는 유기 발광층을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.And the pixel array comprises an organic light emitting layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 기판에 씰 패턴을 도포하는 단계는Applying the seal pattern to the first substrate is 상기 제1 기판 상에 상기 화소 어레이와 대응되는 박막 패턴이 형성된 상태에서 실시되는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.And a thin film pattern corresponding to the pixel array is formed on the first substrate. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 씰 패턴은 프릿 글라스를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.And the seal pattern comprises frit glass. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계에서 Sealing the space between the first substrate and the second substrate 상기 제1 기판 및 제2 기판을 가열하는 온도는 120℃ 이하인 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.The temperature for heating the first substrate and the second substrate is 120 ℃ or less method for manufacturing a display element. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1 기판 및 제2 기판 사이의 공간을 밀봉하는 단계는Sealing the space between the first substrate and the second substrate 상기 레이저를 조사하는 레이저 장치 및 상기 제1 및 제2 기판을 가열하는 가열수단을 구비한 진공 챔버내에 투입되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.And throwing into a vacuum chamber including a laser device for irradiating the laser and heating means for heating the first and second substrates. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 씰 패턴을 가소성하는 단계는Plasticizing the seal pattern is 상기 제1 기판을 가열함과 동시에 상기 씰 패턴에 레이저를 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조방법.And heating the first substrate and irradiating a laser to the seal pattern. 씰 패턴을 포함하는 기판이 투입되는 진공 챔버;A vacuum chamber into which a substrate including a seal pattern is inserted; 상기 진공 챔버 내에서 상기 기판에 열을 가하는 가열수단; 및Heating means for applying heat to the substrate in the vacuum chamber; And 상기 진공 챔버 내에서 상기 씰 패턴에 레이저를 조사하는 레이저 조사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.And a laser irradiator for irradiating a laser to the seal pattern in the vacuum chamber. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 가열 수단은The heating means 상기 진공 챔버 외벽에 내장된 열선을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.And a heating wire embedded in the outer wall of the vacuum chamber. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 가열 수단은The heating means 상기 진공 챔버 내부에 장착된 할로겐 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시소자의 제조장치.And a halogen heater mounted inside the vacuum chamber.
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