KR20080101374A - Condenser microphone - Google Patents

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Abstract

A condenser microphone minimizes the whole thickness of the condenser microphone by inserting circuit elements into a cavity formed on a predetermined region of a PCB. An MEMS(Micro Electro Mechanical System) chip converts a sound into an electrical signal. A semiconductor chip processes the electrical signal converted in the MEMS chip. A substrate includes a hole etched with a predetermined depth into which the MEMS chip(50) and the semiconductor chip are inserted. A sound hole to which the sound is inputted is formed in a case(20). The case is assembled with the substrate.

Description

콘덴서 마이크로폰{Condenser microphone}Condenser microphone

도 1은 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 PCB에 관한 사시도. 1 is a perspective view of a PCB of a condenser microphone according to the present invention;

도 2는 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 케이스에 관한 사시도. 2 is a perspective view of a case of a condenser microphone according to the present invention;

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 조립 형상을 도시한 사시도. 3 and 4 are perspective views showing the assembly shape of the condenser microphone according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 측단면도. 5 is a side sectional view of a condenser microphone according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 다층 PCB에 관한 단면도. 6 is a sectional view of a multilayer PCB of a condenser microphone according to the present invention;

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : PCB 10a,10b : 홀 10: PCB 10a, 10b: hole

20 : 케이스 20a : 음공20: case 20a: sound hole

21 : 실링용 에폭시 30a~30d : 전극 패드들21: epoxy 30a ~ 30d for sealing: electrode pads

40 : ASIC 41 : 코팅 액40: ASIC 41: coating liquid

50 : 멤스 칩 50: MEMS Chip

본 발명은 콘덴서 마이크로폰에 관한 것으로서, 콘덴서 마이크로폰의 케이스 와 PCB와의 접합시 홀(Cavity) 형태의 PCB에 다수의 부품들을 삽입하여 마이크로폰의 전체 두께를 대폭적으로 감소시킬 수 있도록 하는 기술이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a condenser microphone, and is a technology for significantly reducing the overall thickness of a microphone by inserting a plurality of components into a cavity (Cavity) type PCB when joining a case of a condenser microphone and a PCB.

최근, 주변에서 흔하게 접할 수 있는 멀티미디어 기기들, 예를 들어 캠코더(Camcoder), MP3(Moving Picture Experts Croup Layer 3), 모바일(Mobile)과 같은 기기들에서는 주변에서 발생하는 소리를 녹음하는 기능이 보편적으로 제공되고 있다. Recently, the ability to record the sound from the surroundings is common in multimedia devices commonly encountered in the surroundings, such as a camcorder, a moving picture expert crops layer 3 (MP3), and a mobile (mobile). It is provided.

특히, 높은 성능을 유지하면서 소형화, 집적화되는 멀티미디어 기기들에서 이와 같은 녹음 기능이 정상적으로 수행될 수 있는 이유 중의 하나가 소형화되어 멀티미디어 기기의 내부에 실장 되는 마이크로폰(Microphone) 때문이다. In particular, one of the reasons that such a recording function can be normally performed in miniaturized and integrated multimedia devices while maintaining high performance is due to a microphone miniaturized and mounted in the multimedia device.

마이크로폰은 크게 자석을 이용하는 다이나믹 마이크로폰(Electrodynamic Microphone), 콘덴서(또는 커패시터, Condenser or Capacitor)의 원리를 이용하는 콘덴서 마이크로폰(Condenser Microphone)이 대표적이다. The microphone is typically a dynamic microphone using a magnet and a condenser microphone using a principle of a capacitor (or a capacitor, a capacitor, or a capacitor).

여기서, 다이나믹 마이크로폰의 경우 유도 기전력을 이용하는 것으로, 마이크로폰의 내부에 일정한 자계(또는 자기장)을 형성할 수 있는 자석을 수납한다. 그리고, 진동판과 연결되고 자기장 내부에서 유동하는 코일을 구비한다. 이 다이나믹 마이크로폰은 진동에 의해 코일이 자기장 내부에서 흔들릴 때 발생하는 유도기전력을 측정하여 이를 전기신호로 바꾸는 원리이다. In the case of the dynamic microphone, an induction electromotive force is used to store a magnet capable of forming a constant magnetic field (or magnetic field) inside the microphone. And a coil connected to the diaphragm and flowing inside the magnetic field. This dynamic microphone measures the induced electromotive force generated when the coil is shaken inside the magnetic field due to vibration and converts it into an electrical signal.

그런데, 다이나믹 마이크로폰의 경우 기계적으로 견고한 특성을 가지므로 열악한 환경에서 사용하기에는 유리하지만, 마이크로폰의 내부에 자석이 수납되어야 하기 때문에 소형화에 어렵고, 감도 특성이 나쁘며 반응속도가 느린 단점이 있다. However, the dynamic microphone has a mechanically strong characteristic, which is advantageous for use in a harsh environment, but has a disadvantage in that it is difficult to miniaturize because the magnet is to be housed inside the microphone, and the sensitivity is poor and the response speed is slow.

반면에, 마이크로폰 중 이동통신 단말기나 오디오 등에 널리 사용되는 콘덴서 마이크로폰은 소형화가 비교적 용이하고, 감도 특성 및 반응 속도가 뛰어난 장점이 있다. 콘덴서 마이크로폰은 진동판과 배극판에 의해 전계가 형성되고, 진동판의 떨림에 의해 변화하는 전계를 측정하여 이를 전기적 신호로 변환하는 원리를 이용한다. On the other hand, condenser microphones widely used in mobile communication terminals, audio, etc. among the microphones have advantages of relatively small size, excellent sensitivity and response speed. In the condenser microphone, an electric field is formed by a diaphragm and a bipolar plate, and a principle of measuring an electric field changed by vibration of the diaphragm and converting the electric field into an electrical signal is used.

이를 위해, 콘덴서 마이크로폰은 진동판과 배극판 중 어느 하나에 전원이 공급되어 전계를 형성시켜야만 한다. 이 때문에, 배극판에 전원을 공급하는 방법이 사용되다가 최근에는 전하가 축적되는 일렉트릿(Electret)에 의해 별도의 전원이 필요없는 콘덴서 마이크로폰이 개발되었다. To this end, the condenser microphone must be powered by either the diaphragm or the bipolar plate to form an electric field. For this reason, a method of supplying power to the bipolar plate has been used, and recently, a condenser microphone has been developed that does not require a separate power supply by an electret in which charge is accumulated.

이러한 콘덴서 마이크로폰은 전하가 거의 영구적으로 축적되는 일렉트릿(Electret)을 사용함으로써 더욱 소형화하는 것이 가능해졌다. 일렉트릿을 사용한 콘덴서 마이크로폰을 일렉트릿 콘덴서 마이크로폰(Electret Condenser Microphone: 이하 'ECM'이라 함)이라 하며, 일렉트릿과 진동판의 위치에 따라 프론트 타입(Front Type), 백 타입(Back Type), 진동판이 일렉트릿을 겸하는 경우 포일 타입(Foil Type)으로 구분된다. Such condenser microphones can be further miniaturized by using electrets in which charge is almost permanently accumulated. The condenser microphone using an electret is called an electret condenser microphone (hereinafter referred to as 'ECM'), and the front type, back type, and diaphragm are used depending on the positions of the electret and the diaphragm. In the case of an electret, it is classified as a foil type.

이와 같은 ECM은 진동판, 유전체판, 스페이서링, 절연 및 도전 베이스링, 인쇄회로기판(Printed Circuit Board: 이하 'PCB'라 함)이 일면이 막혀있는 원통형, 다각형의 용기(또는 케이스) 안에 순차적으로 적층되는 형태로 제조된다. 그리고, 원통형 또는 용기의 막혀있는 면에는 음공이 형성되고, 이 음공을 통해 음성에 의해 발생되는 진동이 전해진다. The ECM is sequentially placed in a cylindrical or polygonal container (or case) in which one surface of a diaphragm, a dielectric plate, a spacer ring, an insulation and conductive base ring, and a printed circuit board (hereinafter referred to as a PCB) is blocked. It is manufactured in a stacked form. Then, a sound hole is formed on the closed surface of the cylinder or the container, and vibration generated by voice is transmitted through the sound hole.

아울러, 케이스 내부에 진동판, 유전체판, 스페이서링, 절연 및 도전 베이스링과 같은 구성물이 수납되면, 케이스의 잔여부분을 구부려서 밀봉하거나, PCB와 케이스의 종단을 결합하여 ECM을 제조하게 된다. In addition, when components such as a diaphragm, a dielectric plate, a spacer ring, an insulation, and a conductive base ring are accommodated in the case, the remaining portion of the case may be bent and sealed, or the end of the PCB and the case may be combined to manufacture an ECM.

이때, PCB의 외부로 노출되는 부분에는 SMD(Surface Mount Devices) 공법을 적용하기 위한 솔더볼(Solder Ball)이 부착되거나, 모기판(메인보드 또는 마더보드, Main Board or Mother Board)과의 연결을 위한 단자가 형성된다. 솔더볼 또는 단자가 형성된 ECM은 SMD 공정 또는 솔더링 공정과 같은 부착공정에 의해 모기판에 부착된다. At this time, a solder ball for applying SMD (Surface Mount Devices) method is attached to the part exposed to the outside of the PCB, or for connection with a mother board (main board or mother board). Terminals are formed. The ECM with solder balls or terminals is attached to the mother substrate by an attachment process such as an SMD process or a soldering process.

한편, 최근 들어 미세장치의 집적화를 위해 사용되는 기술로서 마이크로 머시닝을 이용한 반도체 가공기술이 흔히 사용되고 있다. 멤스(Micro Electro Mechanical System;MEMS)라고 불리는 이러한 기술은 반도체 공정 특히 집적회로 기술을 응용한 것으로서 ㎛ 단위의 초소형센서나 액추에이터 및 전기기계적 구조물을 제작할 수 있다. On the other hand, semiconductor processing technology using micromachining is commonly used as a technique used for integrating micro devices in recent years. This technology, called MEMS (Micro Electro Mechanical System), is an application of semiconductor processes, especially integrated circuit technology, to fabricate microscopic sensors, actuators and electromechanical structures in micrometers.

이러한 마이크로 머시닝 기술을 이용하여 제작된 멤스 칩 마이크로폰은 초정밀 미세 가공을 통하여 소형화, 고성능화, 다기능화, 집적화가 가능하며, 안정성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다. MEMS chip microphones manufactured using such micromachining technology are capable of miniaturization, high performance, multifunction, integration through ultra-precision micromachining, and have the advantage of improving stability and reliability.

그런데, 이러한 종래의 마이크로폰은 PCB의 상부에 상술된 구성물들이 적층 또는 수납되는 구조를 가지며 메인보드에 실장된다. 이에 따라, 메인보드를 포함하는 이동통신 단말기의 경우에는 콘덴서 마이크로폰이 실장되는 영역의 두께가 높게 된다. 결과적으로 높은 두께를 갖는 콘덴서 마이크로폰이 실장되는 멀티미디어 기기들은 슬림화에 한계가 있는 실정이다. However, such a conventional microphone has a structure in which the above-described components are stacked or housed on the upper part of the PCB and mounted on the main board. Accordingly, in the case of the mobile communication terminal including the main board, the thickness of the region where the condenser microphone is mounted becomes high. As a result, multimedia devices equipped with a condenser microphone having a high thickness have a limitation in slimming.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, PCB의 일정 영역에 형성된 홀(Cavity)에 회로 구성물들을 삽입하여 구성물들의 두께와 PCB의 두께를 최대한 중첩시킴으로써, 콘덴서 마이크로폰의 전체 두께를 최소화할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. The present invention was created to solve the above problems, by inserting the circuit components in the cavity (cavity) formed in a certain area of the PCB to overlap the thickness of the components and the PCB thickness as possible, minimizing the overall thickness of the condenser microphone The purpose is to make it possible.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 콘덴서 마이크로폰은, 음향을 전기적인 신호로 변환하는 멤스 칩; 멤스 칩에서 변환된 전기적인 신호를 처리하는 반도체 칩; 및 멤스 칩과 반도체 칩이 삽입되는 일정 깊이로 식각된 홀을 구비하는 기판을 포함하는 것을 특징으로 한다. Condenser microphone of the present invention for achieving the above object, Memes chip for converting sound into an electrical signal; A semiconductor chip processing an electrical signal converted from the MEMS chip; And a substrate having a hole etched to a predetermined depth into which the MEMS chip and the semiconductor chip are inserted.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 PCB에 관한 사시도이다. 1 is a perspective view of a PCB of a condenser microphone according to the present invention.

본 발명의 PCB(10)는 다층(Multi Layer) 인쇄회로기판(Printed Circuit Board: 이하 'PCB'라 함)로 구성되며, 전기장의 변화로 발생된 전기신호들을 증폭 및 필터링하여 외부에 전달하기 위한 회로와 단자들이 형성된다. PCB 10 of the present invention is composed of a multi-layer (Printed Circuit Board) (hereinafter referred to as 'PCB'), and for amplifying and filtering the electric signals generated by the change of the electric field to deliver to the outside Circuits and terminals are formed.

그리고, PCB(10)의 일정 영역에 회로 구성물들을 삽입할 수 있도록 하는 홀(Cavity)(10a,10b)이 형성된다. PCB(10)에 형성된 홀(10a,10b)은 예컨대 드릴(Drill) 공정을 통해 PCB(10)를 일정 깊이 식각하는 방법을 통해 형성하게 된다. 또한, 이러한 홀(10a,10b)은 포토 리소그래피 공정을 통해 선택적인 마스킹을 한 후 하방으로 일정 깊이 식각하는 방법으로 형성할 수 있다. Then, holes 10a and 10b are formed to insert circuit components in a predetermined region of the PCB 10. The holes 10a and 10b formed in the PCB 10 are formed through a method of etching the PCB 10 to a predetermined depth through, for example, a drill process. In addition, the holes 10a and 10b may be formed by selectively masking through a photolithography process and then etching a predetermined depth downward.

본 발명에서는 드릴 공정, 포토 리소그래피 공정을 통해 홀(10a,10b)을 형성하는 것을 그 실시예로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니라 여러 가지 방법을 통해 형성할 수도 있다. In the present invention, the formation of the holes 10a and 10b through the drill process and the photolithography process has been described in the embodiment, but the present invention is not limited thereto and may be formed through various methods.

이러한 본 발명은 다층 PCB(10)에 일정 깊이를 갖는 홀(Cavity)(10a,10b)을 형성하여 양면 PCB에 비해 상대적으로 전자파 차폐 또는 ESD(Electro Static Discharge) 등에 강하게 대응할 수 있게 된다. The present invention forms holes (Cavities) (10a, 10b) having a predetermined depth in the multi-layer PCB 10, it is possible to respond strongly to electromagnetic shielding or electrostatic discharge (ESD), etc. relative to the double-sided PCB.

도 2는 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 케이스에 관한 사시도이다. 2 is a perspective view of a case of a condenser microphone according to the present invention.

본 발명의 케이스(20)는 금속(Metal)으로 이루어지며, PCB(10) 전체 구조물을 덮는 사각 형태를 이룬다. 케이스(20)는 PCB(10)와의 접속면이 개구되어 내부에 칩 부품들을 실장할 수 있도록 한다.Case 20 of the present invention is made of metal (Metal), and forms a rectangular shape covering the entire structure of the PCB (10). The case 20 allows a connection surface with the PCB 10 to be opened to mount chip components therein.

그리고, 케이스(20)는 외부의 충격으로부터 내부의 회로 구성물을 보호한다. 또한, 외부로부터 유입되는 전자파 노이즈를 차폐하여 음향의 전기적 신호 변환이 원활히 진행될 수 있도록 한다. The case 20 protects the internal circuit components from external shocks. In addition, shielding the electromagnetic noise introduced from the outside to facilitate the electrical signal conversion of the sound.

본 발명의 실시예에서는 케이스(20)의 형태를 사각통형으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니라 케이스(20)가 원통형으로 형성될 수도 있다. 그리고, 케이스(20)의 재질은 노이즈 차폐, 전기 전도도의 향상, 및 부식 방지를 위해 황동, 동, 스텐리스 스틸, 니켈합금 중 어느 하나로 형성되는 것이 바람직하다. In the embodiment of the present invention, the shape of the case 20 has been described as a rectangular cylinder, but the present invention is not limited thereto, and the case 20 may be formed in a cylindrical shape. In addition, the material of the case 20 may be formed of any one of brass, copper, stainless steel, and nickel alloy for noise shielding, electrical conductivity improvement, and corrosion prevention.

이러한 케이스(20)는 상면 일측이 개구되어 음성신호가 유입될 수 있도록 하는 음공(20a)이 형성된다. 케이스(20)의 상면은 음향이 유입되는 음공(20a)을 제외하고 막혀있는 구조이다. 이 음공(20a)을 통해 음성에 의해 발생되는 진동이 내부 회로에 전해진다. 또한, 케이스(20)는 그 내부가 빈 공동을 형성하며 일정 길이만큼 신장되는 형태를 갖는다. The case 20 has a sound hole (20a) is formed so that one side of the upper surface is open so that the voice signal can be introduced. The upper surface of the case 20 is a blockage except for the sound hole (20a) that the sound is introduced. The vibration generated by the voice is transmitted to the internal circuit through the sound hole 20a. In addition, the case 20 has a form in which the inside thereof forms an empty cavity and extends by a predetermined length.

도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 조립 형상을 도시한 사시도이다. 3 and 4 are perspective views showing the assembly shape of the condenser microphone according to the present invention.

PCB(10)의 접속패턴에 케이스(20)를 정렬하게 되면 PCB(10)와 케이스(20)는 일체화되어 조립된다. 이때, PCB(10)와 케이스(20)는 실링용(Sealing) 에폭시(Epoxy)(21)에 의해 디스펜싱(Dispensing) 되어 실링(Sealing) 된다. 여기서, 케이스(20)의 형태는 PCB(10)의 측면 가장자리와 접촉되어 고정될 수 있는 크기를 가지게 되며 그 크기는 한정되지 않는다. When the case 20 is aligned with the connection pattern of the PCB 10, the PCB 10 and the case 20 are integrated and assembled. In this case, the PCB 10 and the case 20 are dispensed by sealing (Epoxy) 21 for sealing (Sealing). Here, the shape of the case 20 has a size that can be fixed in contact with the side edge of the PCB 10 and the size is not limited.

상술된 PCB(10)는 양극 및 음극 패턴을 구비하고, 그 하부 에지 영역에 양극 및 음극 패턴과 각각 접촉되어 전기적 접촉을 형성하는 적어도 하나 이상의 전극 패드들(30a~30d)이 부착된다. 본 발명에서는 전극 패드들(30a~30d)이 4개로 형성된 것을 그 실시예로 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니라 전극 패드들의 개수가 그 이하 또는 그 이상으로 형성될 수도 있다. The above-described PCB 10 has an anode and a cathode pattern, and at least one electrode pads 30a to 30d are attached to the lower edge region thereof to contact the anode and cathode patterns, respectively, to form electrical contact. In the present invention, the electrode pads 30a to 30d are formed in four embodiments, but the present invention is not limited thereto, and the number of electrode pads may be smaller or greater.

외부회로와 전기적으로 연결되기 위한 전극 패드들(30a~30d)은 케이스(20)가 실장되는 PCB(10)의 반대 면에 형성된다. 전극 패드들(30a~30d)은 마이크로폰을 메인보드(미도시)에 고정함과 아울러, 마이크로폰과 메인보드 사이의 도전 경로를 제공한다. Electrode pads 30a to 30d for electrically connecting to an external circuit are formed on the opposite side of the PCB 10 on which the case 20 is mounted. The electrode pads 30a to 30d fix the microphone to the main board (not shown), and provide a conductive path between the microphone and the main board.

각 전극 패드들(30a~30d)은 PCB(10)를 관통하는 쓰루홀(미도시)을 통해 칩 부품면과 전기적으로 도통될 수 있다. 각 전극 패드들(30a~30d)은 레이저 용접, 저항용접, 고온용 접착제, 솔더링을 이용한 방법 등에 의해 PCB(10)의 일면에 부착될 수 있다. Each of the electrode pads 30a to 30d may be electrically connected to the chip component surface through a through hole (not shown) passing through the PCB 10. Each of the electrode pads 30a to 30d may be attached to one surface of the PCB 10 by a laser welding, resistance welding, high temperature adhesive, soldering, or the like.

여기서, PCB(10)와 케이스(20)의 접촉영역은 견고성을 위하여, 레이저 웰딩, 접착제 이용의 방법을 통해 일체화될 수 있다. 상술된 접착제는 전도성 에폭시, 비전도성 에폭시, 실버 페이스트, 실리콘, 우레탄, 아크릴, 크림 솔더 중 어느 하나로 이루어질 수 있다. 또한, PCB(10)의 일측에 관통홀을 형성하고, 케이스(20)를 요철 형태로 제작하여 결합하는 방법 등 다양한 방법을 이용하여 PCB(10)와 케이스(20)를 일체화시킬 수 있다. Here, the contact area between the PCB 10 and the case 20 may be integrated through the method of laser welding, using an adhesive, for robustness. The adhesive described above may be made of any one of conductive epoxy, non-conductive epoxy, silver paste, silicone, urethane, acrylic, cream solder. In addition, the through hole may be formed on one side of the PCB 10, and the PCB 10 and the case 20 may be integrated by various methods, such as a method of manufacturing the case 20 in a concave-convex shape and combining the same.

본 발명에서는 케이스(20)를 PCB(10)의 접속패턴에 정렬한 후, 미도시된 레이저 가공기를 이용하여 케이스(20)와 PCB(10)를 가용접하여 일차 고정한 후, 접합부위 전체 면 둘레에 실링용 에폭시로 실링하여 마이크로폰의 패키지를 완성하게 된다. In the present invention, after aligning the case 20 to the connection pattern of the PCB 10, the case 20 and the PCB 10 is first welded by using a laser processing machine (not shown), and then fixed around the entire surface of the joint. Sealing with epoxy for sealing completes the package of the microphone.

도 5는 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰을 A-A' 방향에서 본 측단면도이다. Fig. 5 is a side sectional view of the condenser microphone according to the present invention seen from the direction of A-A '.

PCB(10)의 홀(10a,10b)에는 전극 패드들(30a~30d)과 전기적으로 접속되는 회로 구성물들이 삽입되어 안착된다. In the holes 10a and 10b of the PCB 10, circuit components electrically connected to the electrode pads 30a to 30d are inserted and seated.

PCB(10)는 회로 구성물들에 의해 변환된 전기신호를 증폭, 필터링 등의 처리 를 하여 전극 패드들(30a~30d)을 통해 메인보드에 공급하게 된다. The PCB 10 processes the amplified, filtered, and the like electrical signals converted by the circuit components and supplies them to the main board through the electrode pads 30a to 30d.

여기서, 홀(10a,10b)은 PCB(10)의 양측 모서리 또는 중앙부 등에 형성되며, 전기적으로 연결되는 전극 패드들(30a~30d)의 위치에 따라 어디에도 형성될 수 있다. Here, the holes 10a and 10b are formed at both corners or the center of the PCB 10 and may be formed anywhere according to the positions of the electrode pads 30a to 30d electrically connected thereto.

그리고, 본 발명에서는 홀(10a,10b)의 형태를 사각형 구조로 형성하는 것을 그 실시예로 설명하였지만, 회로 구성물들의 삽입방향 및 형태 등을 고려하여 회로 구성물들의 외부 형태와 유사하게 형성하여 삽입이 용이하도록 하는 것이 바람직하다. In the present invention, although the shape of the holes 10a and 10b has been described as the embodiment, the insertion is formed similarly to the external shape of the circuit components in consideration of the insertion direction and the shape of the circuit components. It is desirable to facilitate.

즉, 홀(10a,10b)의 형태는 회로 구성물들의 형태에 따라 달리 형성될 수 있다. 예를 들어, 회로 구성물들의 형태가 원통형으로 제작되는 경우, 홀(10a,10b)의 형태도 원통형으로, 회로 구성물들의 형태가 정육면체로 제작되는 경우, 홀(10a,10b)의 형태로 육면체로 형성되는 것이 바람직하다. That is, the shapes of the holes 10a and 10b may be formed differently according to the shapes of the circuit components. For example, when the circuit components are manufactured in a cylindrical shape, the shapes of the holes 10a and 10b are also cylindrical, and when the circuit components are manufactured in a cube, the shapes of the holes 10a and 10b are formed into hexahedrons. It is preferable to be.

상술된 회로 구성물들의 예로는 전압펌프와 버퍼아이시(IC)가 내장된 특수 목적형 반도체(Applications Spec Integrated Circuit: 이하 'ASIC'이라 함) 칩(40), 멤스(Micro Electro Mechanical System: MEMS) 칩(50) 등이 있다. 이러한 ASIC 칩(40)이 PCB(10)에 형성된 홀(10a)에 삽입되며, 멤스 칩(50)이 PCB(10)에 형성된 홀(10b)에 삽입된다. Examples of the above-described circuit components include an application spec integrated circuit (ASIC) chip 40 and a MEMS chip with a voltage pump and a buffer IC. 50 and the like. The ASIC chip 40 is inserted into the hole 10a formed in the PCB 10, and the MEMS chip 50 is inserted into the hole 10b formed in the PCB 10.

본 발명에서는 회로 구성물의 실시예로 ASIC 칩(40)을 설명하였지만, 이에 한정되는 것이 아니라 회로 구성물은 반도체 공정에 의해 형성되는 전자회로부에 해당하는 것으로 예컨대 통상의 FET, IC 등으로 이루어질 수도 있다. In the present invention, the ASIC chip 40 has been described as an embodiment of the circuit component. However, the present invention is not limited thereto, and the circuit component corresponds to an electronic circuit portion formed by a semiconductor process, and may be formed of, for example, a conventional FET or IC.

여기서, 멤스 칩(50)은 케이스(20)에 형성된 음공(20a)을 통하여 공급되는 음성신호를 정전용량의 변화에 적용하여 전기신호로 변환한다. 즉, 멤스 칩(50)은 유입되는 음파에 의해 발생되는 진동막의 진동에 따라 변하는 정전용량을 검출하여 전기신호로 변환하게 된다. 이러한 멤스 칩(50)은 실리콘 웨이퍼 위에 멤스 기술을 이용하여 백플레이트를 형성한 후 스페이서를 사이에 두고 진동막이 형성된 구조를 갖는다. Here, the MEMS chip 50 converts the voice signal supplied through the sound hole 20a formed in the case 20 into an electric signal by applying a change in capacitance. That is, the MEMS chip 50 detects the capacitance changing according to the vibration of the vibration membrane generated by the incoming sound wave and converts it into an electrical signal. The MEMS chip 50 has a structure in which a back plate is formed on a silicon wafer by using MEMS technology, and a vibrating membrane is formed between spacers.

그리고, ASIC 칩(40)은 멤스 칩(50)과 연결되어 전기적 신호를 처리하는 부분이다. ASIC 칩(40)은 멤스 칩(50)이 콘덴서 마이크로폰으로 동작하도록 멤스 칩(50)에 인가할 전압을 제공하는 전압펌프와, 멤스 칩(50)의 전기적인 신호를 증폭하는 버퍼 아이시(IC)가 내장된다. The ASIC chip 40 is connected to the MEMS chip 50 to process an electrical signal. The ASIC chip 40 includes a voltage pump for providing a voltage to be applied to the MEMS chip 50 so that the MEMS chip 50 operates as a condenser microphone, and a buffer IC for amplifying an electrical signal of the MEMS chip 50. ) Is built.

버퍼 아이시(IC)는 멤스 칩(50)을 통해 감지된 전기적인 음향신호를 증폭 또는 정합시켜 접속단자를 통해 외부로 제공하기 위한 구성이다. 여기서, 전압펌프는 DC-DC 컨버터이고, 버퍼 아이시(IC)는 아날로그 증폭기나 아날로그 디지털 변환기(ADC) 등을 사용할 수 있다. The buffer IC is configured to amplify or match an electric sound signal detected through the MEMS chip 50 and to provide the same to the outside through a connection terminal. Here, the voltage pump may be a DC-DC converter, and the buffer IC may be an analog amplifier or an analog-to-digital converter (ADC).

또한, ASIC(40)의 상부 전면 및 접합면 둘레에는 인캡슐레이션(Encapsulation) 공정을 통해 코팅 액(41)이 도포 및 경화되어 ASIC(40)의 회로 소자들을 외부 유해 물질로부터 보호할 수 있도록 한다. 여기서, 코팅 액(41)은 에폭시 용액으로 이루어질 수 있다. 본 발명의 실시예에서는 코팅 액(41)을 에폭시 용액으로 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니라 각 제품의 특성에 맞는 어떠한 물질로도 형성될 수 있다. In addition, the coating liquid 41 is applied and cured through an encapsulation process around the upper front surface and the bonding surface of the ASIC 40 to protect the circuit elements of the ASIC 40 from external harmful substances. . Here, the coating liquid 41 may be made of an epoxy solution. In the embodiment of the present invention, the coating liquid 41 is described as an epoxy solution, but the present invention is not limited thereto, and may be formed of any material suitable for the characteristics of each product.

도 6은 본 발명에 따른 콘덴서 마이크로폰의 다층 PCB에 관한 단면도이다. 6 is a cross-sectional view of a multilayer PCB of a condenser microphone according to the present invention.

본 발명의 다층 PCB(10)는 복수개의 도전층(Conductive Layer)(12,14,16)과, 복수개의 비도전층(Nonconductive Layer)(11,13,15,17)을 포함한다. 여기서, 도전층(12,14,16)은 회로 구성들이 포함되는 동박층으로 형성될 수 있다. 그리고, 비도전층(11,17)은 회로 구성물 들의 보호를 위한 PSR(Photo Solder Resist)층으로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 비도전층(13,15)은 접착층인 FR-4(Flame Retardant composition 4)층으로 이루지는 것이 바람직하다. The multilayer PCB 10 of the present invention includes a plurality of conductive layers 12, 14 and 16 and a plurality of nonconductive layers 11, 13, 15 and 17. Here, the conductive layers 12, 14, and 16 may be formed of a copper foil layer including circuit configurations. In addition, the non-conductive layers 11 and 17 may be made of a PSR (Photo Solder Resist) layer for protecting circuit components. In addition, the non-conductive layers 13 and 15 may be made of a FR-4 (Flame Retardant composition 4) layer as an adhesive layer.

이러한 다층 PCB(10)는 복수개의 비도전층(Nonconductive Layer)(11,13,15,17)과, 복수개의 도전층(Conductive Layer)(12,14,16)이 교번적으로 적층되어 형성된다. The multilayer PCB 10 is formed by alternately stacking a plurality of nonconductive layers 11, 13, 15, and 17 and a plurality of conductive layers 12, 14, and 16.

즉, 비도전층(11)은 PSR 층과 같은 절연물질을 코딩하여 피막을 형성하게 된다. 그리고, 비도전층(11)의 상부에 도전층(12)인 동박층을 일반적인 PCB 제작공정을 통해 형성한다. 이후에, 도전층(12)의 상부에 비도전층(13)을 형성하게 된다. 여기서, 비도전층(13)은 에폭시 수지인 FR-4(Flame Retardant composition 4)층으로 이루어지는 것이 바람직하다. That is, the non-conductive layer 11 codes an insulating material such as a PSR layer to form a film. The copper foil layer serving as the conductive layer 12 is formed on the non-conductive layer 11 through a general PCB manufacturing process. Thereafter, the non-conductive layer 13 is formed on the conductive layer 12. Here, it is preferable that the non-conductive layer 13 consists of a FR-4 (Flame Retardant composition 4) layer which is an epoxy resin.

이어서, 비도전층(13)의 상부에 도전층(14)인 동박층, 비도전층(15)인 FR-4 층, 도전층(16) 및 비도전층(17)을 차례로 적층하여 다층 PCB(10)를 형성하게 된다. Subsequently, the copper foil layer, which is the conductive layer 14, the FR-4 layer, which is the non-conductive layer 15, the conductive layer 16, and the non-conductive layer 17 are sequentially stacked on the non-conductive layer 13 to form the multilayer PCB 10. Will form.

이러한 구조를 갖는 PCB(10)의 홀(10a,10b)에 ASIC(40), 멤스 칩(50)이 삽입될 수 있도록 한다. The ASIC 40 and the MEMS chip 50 may be inserted into the holes 10a and 10b of the PCB 10 having such a structure.

즉, 본 발명에서는 비도전층(17)인 PSR층과, 동박층(16) 및 비도전층(15)인 FR-4층을 식각하여 다층 PCB(10)의 홀(10a,10b)을 형성하는 것이 바람직하다. 예를 들어, PCB(10)의 두께(t)가 0.3mm일 경우 홀(10a,10b)의 깊이는 0.2mm 까지 식각하는 것이 바람직하다. 그리고, PCB(10)의 두께가 0.5mm일 경우 홀(10a,10b)의 깊이는 0.4mm 까지 식각하는 것이 바람직하다. That is, in the present invention, forming the holes 10a and 10b of the multilayer PCB 10 by etching the PSR layer as the non-conductive layer 17 and the FR-4 layer as the copper foil layer 16 and the non-conductive layer 15. desirable. For example, when the thickness t of the PCB 10 is 0.3 mm, the depths of the holes 10a and 10b are preferably etched to 0.2 mm. When the thickness of the PCB 10 is 0.5 mm, the depths of the holes 10a and 10b may be etched up to 0.4 mm.

그리고, 본 발명은 동박층(14) 노출되도록 하는 깊이까지 식각하는 것을 그 실시예로 설명하였으나, 홀(10a,10b)이 식각되는 깊이는 이에 한정되는 것이 아니라 PCB의 사양에 따라 그 깊이를 달리 형성할 수 있다. In addition, the present invention has been described in the embodiment that the etching to the depth to expose the copper foil layer 14, the depth in which the holes (10a, 10b) are etched is not limited to this, but the depth is different depending on the specification of the PCB Can be formed.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다. As described above, the present invention provides the following effects.

첫째, 본 발명은 PCB의 일정 영역에 형성된 홀(Cavity)에 회로 구성물들을 삽입하여 구성물들의 두께와 PCB의 두께를 최대한 중첩시킴으로써, 콘덴서 마이크로폰의 전체 두께를 최소화할 수 있도록 한다. First, the present invention inserts circuit components into a cavity formed in a predetermined area of the PCB so that the thickness of the components and the thickness of the PCB overlap as much as possible, thereby minimizing the overall thickness of the condenser microphone.

둘째, 상술된 콘덴서 마이크로폰을 포함하는 이동통신 단말기의 슬림화를 최대한 구현할 수 있도록 하는 효과를 제공한다. Second, it provides an effect that can realize the slimmer of the mobile communication terminal including the condenser microphone described above.

아울러 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위한 것으로, 당업자라면 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상과 범위를 통해 다양한 수정, 변경, 대체 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. In addition, a preferred embodiment of the present invention is for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to various modifications, changes, substitutions and additions through the spirit and scope of the appended claims, such modifications and changes are the following claims It should be seen as belonging to a range.

Claims (15)

음향을 전기적인 신호로 변환하는 멤스 칩; MEMS chip for converting sound into an electrical signal; 상기 멤스 칩에서 변환된 전기적인 신호를 처리하는 반도체 칩; 및A semiconductor chip processing an electrical signal converted from the MEMS chip; And 상기 멤스 칩과 상기 반도체 칩이 삽입되는 일정 깊이로 식각된 홀을 구비하는 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. And a substrate having a hole etched to a predetermined depth into which the MEMS chip and the semiconductor chip are inserted. 제 1항에 있어서, 상기 음향이 유입되는 음공이 형성되며 상기 기판과 조립되는 케이스를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone of claim 1, further comprising a case in which a sound hole into which the sound is introduced is formed and assembled with the substrate. 제 2항에 있어서, 상기 케이스는 상기 기판의 전체 구조물을 덮는 통형 구조로 이루어지는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. 3. The condenser microphone according to claim 2, wherein the case has a tubular structure covering the entire structure of the substrate. 제 2항에 있어서, 상기 기판과 상기 케이스는 실링용 에폭시에 의해 패키징되는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone according to claim 2, wherein the substrate and the case are packaged by a sealing epoxy. 제 4항에 있어서, 상기 케이스는 상기 기판과 동일한 형상을 가지며 상기 기판의 측면 가장자리와 접촉되어 고정되는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. 5. The condenser microphone of claim 4, wherein the case has the same shape as the substrate and is fixed in contact with a side edge of the substrate. 제 1항에 있어서, 상기 기판의 하부 면에 부착되어 전기적으로 접속되는 적 어도 하나 이상의 전극 패드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. 2. The condenser microphone of claim 1, further comprising at least one electrode pad attached to and electrically connected to a lower surface of the substrate. 제 1항에 있어서, 상기 홀은 상기 멤스 칩, 상기 반도체 칩과 동일한 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone of claim 1, wherein the hole has the same shape as the MEMS chip and the semiconductor chip. 제 1항에 있어서, 상기 반도체 칩은 특수 목적형 반도체(ASIC) 칩인 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone of claim 1, wherein the semiconductor chip is a special purpose semiconductor (ASIC) chip. 제 1항에 있어서, 상기 반도체 칩에 코팅 액이 도포된 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone according to claim 1, wherein a coating liquid is applied to the semiconductor chip. 제 1항에 있어서, 상기 기판은 다층 PCB 기판인 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone of claim 1, wherein the substrate is a multilayer PCB substrate. 제 1항 또는 제 10항에 있어서, 상기 기판은 복수개의 도전층과 복수개의 비도전층이 교번적으로 적층된 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone according to claim 1 or 10, wherein the substrate is formed by alternately stacking a plurality of conductive layers and a plurality of nonconductive layers. 제 11항에 있어서, 상기 복수개의 도전층은 동박층을 포함하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone according to claim 11, wherein the plurality of conductive layers comprises a copper foil layer. 제 11항에 있어서, 상기 복수개의 비도전층은 PSR(Photo Solder Resist)층, FR-4(Flame Retardant composition 4)층을 포함하는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone of claim 11, wherein the plurality of non-conductive layers include a photo solder resist (PSR) layer and a flame retardant composition 4 (FR-4) layer. 제 13항에 있어서, 상기 홀은 상기 복수개의 도전층 중 적어도 어느 하나의 도전층과, 하나의 PSR층, 하나의 FR-4층이 식각되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. The condenser microphone of claim 13, wherein the hole is formed in an area in which at least one conductive layer, one PSR layer, and one FR-4 layer are etched. 제 11항에 있어서, 상기 홀은 적어도 하나의 도전층과 적어도 2개의 비도전층이 식각되는 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 콘덴서 마이크로폰. 12. The condenser microphone of claim 11, wherein the hole is formed in an area where at least one conductive layer and at least two nonconductive layers are etched.
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