KR20080098994A - Apparatus for generating and controlling small pressure - Google Patents

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Abstract

A small pressure generation and control device amends the minute difference between the set up base pressure and the pressure within the buffer chamber by using a diaphragm or check valve so that the structure is simple and reliability is high. A small pressure generation and control device comprises one or more regulator(20), a buffer chamber(30), a device under test platform(40), and a pressure control unit(100). The regulator is connected to the pipe through which the gas is supplied from a pressure source(10) and controls the pressure of the gas. The buffer chamber is connected to the regulator and accommodates the gas with buffer. The device under test platform is connected to the buffer chamber. The pressure control unit is connected to the buffer chamber and discharges the gas when the pressure in the buffer chamber is greater than the set up base pressure.

Description

미세압력 발생 및 제어 장치{Apparatus for generating and controlling small pressure}Apparatus for generating and controlling small pressure

도 1 은 본 발명에 따른 미세압력 발생 및 제어 장치의 일 실시예를 나타내는 구성도이다.1 is a block diagram showing an embodiment of a micro pressure generation and control device according to the present invention.

도 2 는 본 발명에 따른 압력조정수단의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing an embodiment of the pressure adjusting means according to the present invention.

도 3 은 본 발명에 따른 압력조정수단의 막음판 상부를 나타내는 평면도이다.3 is a plan view showing an upper portion of the blocking plate of the pressure adjusting means according to the present invention.

도 4 는 본 발명에 따른 미세압력 발생 및 제어 장치의 다른 실시예를 나타내는 구성도이다.Figure 4 is a block diagram showing another embodiment of the micro-pressure generation and control device according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10: 압력소스 20: 레귤레이터(regulator)10: pressure source 20: regulator

30: 버퍼챔버(buffer chamber) 40: 피시험장치 플랫홈30: buffer chamber 40: device under test platform

50: 게이지 60: 구동수단50: gauge 60: drive means

70: 컴퓨터 80: 밸브70: computer 80: valve

100: 압력조정수단 102: 기체유입구100: pressure adjusting means 102: gas inlet

104: 기체유출구 106: 중공부104: gas outlet 106: hollow part

108: 피스톤 110: 다이아프램108: piston 110: diaphragm

112: 막음판 114: 실린더112: blocking plate 114: cylinder

200: 체크밸브200: check valve

본 발명은 미세압력을 발생 및 제어 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 압력소스(10)로부터 기체가 공급되는 배관과 연결되고 상기 기체의 압력을 조절하는 적어도 하나 이상의 레귤레이터(20); 상기 레귤레이터(20)에 연결되어 상기 기체를 완충 수용하는 버퍼챔버(30); 상기 버퍼챔버에 연통된 피시험장치 플랫홈(40); 및 상기 버퍼챔버(30)와 연통되며 버퍼챔버내의 압력이 설정된 기준압력보다 큰 경우에 압력을 배출하는 압력 조정수단(100)을 포함하는 미세압력 발생 및 제어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for generating and controlling micropressure, and more particularly, at least one regulator 20 connected to a pipe to which gas is supplied from the pressure source 10 and controlling the pressure of the gas; A buffer chamber 30 connected to the regulator 20 to buffer the gas; A device under test platform 40 in communication with the buffer chamber; And pressure adjusting means (100) communicating with the buffer chamber (30) and discharging the pressure when the pressure in the buffer chamber is greater than a set reference pressure.

본 발명에서 미세압력이라 함은 십 만분의 1기압에서 1기압 이하의 압력을 말한다. In the present invention, the micro-pressure refers to a pressure of one hundredths of a million to less than one atmosphere.

일반적으로 미세압력의 측정분야는 각종 산업분야에 걸쳐 폭넓게 요구되고 있는 기술분야로서, 이러한 미세압력을 측정하는 장치를 통상적으로 미압계라 하며, 압력의 차이는 물론 그 시간적 변화도 측정하게 된다.In general, the field of measuring micropressure is a technical field widely required in various industrial fields, and a device for measuring such micropressure is generally called a micrometer and measures the time difference as well as the pressure difference.

이러한 미압계는 압력차에 의한 액면의 움직임에 따라 그 높이의 차를 미압측정에 이용하는 것과, 격막의 변위를 미압측정에 이용하는 것 등 그 종류가 다양 하다.There are various types of such micrometers, such as using the difference in height for measuring the micropressure according to the movement of the liquid level due to the pressure difference, and using the displacement of the diaphragm for the micropressure measurement.

보다 구체적으로 액면 움직임에 따른 높이차를 측정하는 것으로는 주로 영위법을 이용하는 것이 많으며, 그 외에도 경사관 압력계, 2액 마노미터, 로버츠 압력계, 베츠미측 압력계 등이 있다. More specifically, the measurement of the height difference according to the liquid level movement is mainly used in the zero method, in addition to the inclined tube pressure gauge, two-liquid manometer, Roberts pressure gauge, Betsumi side pressure gauge.

그런데 미세압력의 변화를 측정하는 기술 못지않게 중요한 것이 미세압력을 발생시키는 기술이다. 그러나 측정기술과는 달리 발생기술은 보통 고압의 가스용기와 연결된 밸브를 수작업으로 열고 닫는 동작으로 구현되고 있다. 또한, 미세압력을 발생시키고 버퍼챔버내의 압력을 준평형상태에 도달시키기 위해서는 장시간이 요구된다.However, as important as the technology for measuring the change in micro-pressure is a technology for generating a micro-pressure. However, unlike measurement technology, the generation technology is usually implemented by manually opening and closing a valve connected to a high pressure gas container. In addition, a long time is required to generate the micro pressure and to reach the quasi-equilibrium state in the buffer chamber.

이에 따라 작업자의 손놀림 동작에 따라 그 발생압력의 차이가 현저함으로 인해 그 신뢰성 및 객관성에 문제가 많다. 또한, 1기압 이하의 미세압력조절기는 각 종 압력센서와 스위치 밸브가 결합되어 구조가 복잡하고 각 종 구성부품이 고가인 문제점이 있다. 아울러 작업자의 실수가 있을 경우 고가의 센서가 손상되는 등의 문제점이 있다. As a result, the difference in the pressure generated by the operator's hand movements is remarkable, resulting in problems in reliability and objectivity. In addition, the micro-pressure regulator of less than 1 atm has a problem that the various pressure sensors and switch valves are combined, the structure is complicated, and each component is expensive. In addition, there is a problem such that expensive sensors are damaged if there is a worker error.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 버퍼챔버내의 압력이 설정된 기준압력보다 큰 경우에 버퍼챔버내의 압력을 배출하는 압력 조정수단으로 다이아프램을 이용함으로써 저가이면서 신뢰성 높은 미세압력 발생 및 제어 장치를 제공한다. The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to use a diaphragm as a pressure adjusting means for discharging the pressure in the buffer chamber when the pressure in the buffer chamber is greater than the set reference pressure. Provides a micro pressure generation and control device.

본 발명의 다른 목적은 상기 압력조정수단으로 체크밸브를 이용함으로써 구 조가 간단하고 저가인 미세압력 발생 및 제어 장치를 제공한다.Another object of the present invention is to provide a micro pressure generation and control device having a simple structure and low cost by using a check valve as the pressure adjusting means.

본 발명의 또 다른 목적은 버퍼챔버와 연결된 피시험장치 플랫홈을 이용하여 시험장치에 조정된 미세압력을 인가하는 장치를 제공한다. It is still another object of the present invention to provide an apparatus for applying an adjusted micro pressure to a test apparatus by using an apparatus under test platform connected to a buffer chamber.

본 발명은 미세 압력을 발생하고 제어하는 장치에 있어서, 압력소스(10)로부터 기체가 공급되는 배관과 연결되고 상기 기체의 압력을 조절하는 적어도 하나 이상의 레귤레이터(20); 상기 레귤레이터(20)에 연결되어 상기 기체를 완충 수용하는 버퍼챔버(30); 상기 버퍼챔버에 연통된 피시험장치 플랫홈(40); 및 상기 버퍼챔버(30)와 연통되며 버퍼챔버내의 압력이 설정된 기준압력보다 큰 경우에 압력을 배출하는 압력 조정수단(100)을 포함하는 미세압력 발생 및 제어 장치이다.The present invention provides a device for generating and controlling a micro pressure, comprising: at least one regulator (20) connected to a pipe to which gas is supplied from a pressure source (10) and regulating the pressure of the gas; A buffer chamber 30 connected to the regulator 20 to buffer the gas; A device under test platform 40 in communication with the buffer chamber; And pressure adjusting means (100) communicating with the buffer chamber (30) and discharging the pressure when the pressure in the buffer chamber is greater than the set reference pressure.

상기 압력 조정수단(100)은 일측이 막음판(112)에 의해 폐쇄되고 중공부(106)를 지닌 실린더(114) 및 피스톤(108)을 구비하며, 상기 피스톤(108)과 연결된 구동축 및 상기 구동축에 연결되어 피스톤의 위치를 조절하는 구동수단(60)을 포함하며, 상기 막음판(112)에는 기체 유입구(102) 및 기체 유출구(104)가 구비되어 상기 기체 유입구(102)는 상기 버퍼챔버(30)에 연통되고 상기 기체 유출구(104)는 대기에 노출되며, 상기 막음판(112) 내측에는 상기 기체 유입구(102) 및 기체 유출구(104)를 상기 피스톤 중공부로부터 격리하는 다이아프램(110)이 설치된 것이 바람직하다.The pressure adjusting means 100 has a cylinder 114 and a piston 108 having one side closed by the blocking plate 112 and having a hollow portion 106, and a driving shaft and the driving shaft connected to the piston 108. It is connected to the drive means for adjusting the position of the piston 60, the blocking plate 112 is provided with a gas inlet 102 and gas outlet 104 is the gas inlet 102 is the buffer chamber ( 30, the gas outlet 104 is exposed to the atmosphere, and inside the blocking plate 112, the diaphragm 110 isolating the gas inlet 102 and the gas outlet 104 from the piston hollow. It is preferable that this is installed.

또한, 본 발명에서 상기 압력조정수단(100)은 버퍼챔버와 연통되어 설치되는 체크밸브(200)를 사용할 수도 있다.In addition, in the present invention, the pressure adjusting means 100 may use a check valve 200 installed in communication with the buffer chamber.

이하 본 발명에 대하여 첨부된 도면을 참고하여 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1 은 본 발명에 따른 미세압력 발생 및 제어 장치의 일 실시예를 나타내는 구성도이다. 1 is a block diagram showing an embodiment of a micro pressure generation and control device according to the present invention.

압력소스로(10)부터 기체가 배관을 통하여 유입되고, 1차적으로 압력조절밸브인 레귤레이터(20)를 통과하면서 압력이 조절된다. 이 때, 상기 레귤레이터(20)는 통상의 것을 사용할 수 있으며, 기준 압력과의 차이를 조절하기 위하여 적어도 하나 이상을 포함하여 단계적으로 압력을 조절하는 것이 바람직하다. The gas is introduced from the pressure source passage 10 through the pipe, and the pressure is first adjusted while passing through the regulator 20 which is a pressure control valve. In this case, the regulator 20 may be a conventional one, it is preferable to adjust the pressure in a step including at least one or more in order to adjust the difference from the reference pressure.

상기 레귤레이터(20)는 컴퓨터(70)에 의하여 제어되는 것이 바람직하다.The regulator 20 is preferably controlled by a computer 70.

이후, 레귤레이터(20)를 통과한 기체는 버퍼챔버(30)내에 완충 수용되며, 상기 압력조정수단(100)의 상기 막음판(112) 내측에 구비된 기체 유입구(102)를 통하여 상기 다이아프램(110)에 버퍼챔버내의 압력을 전달하게 된다.Thereafter, the gas passing through the regulator 20 is buffered in the buffer chamber 30, and the diaphragm (through the gas inlet 102 provided inside the blocking plate 112 of the pressure adjusting means 100). The pressure in the buffer chamber is transmitted to 110.

상기 압력 조정수단(100)은 일측이 막음판(112)에 의해 폐쇄되고 중공부(106)를 지닌 실린더(114) 및 피스톤(108)을 구비하며; 상기 피스톤(108)과 연결된 구동축 및 상기 구동축에 연결되어 피스톤의 위치를 조절하는 구동수단(60)을 포함하며, 상기 막음판(112)에는 기체 유입구(102) 및 기체 유출구(104)가 구비되어 상기 기체 유입구(102)는 상기 버퍼챔버(30)에 연통되고 상기 기체 유출구(104)는 대기에 노출되며, 상기 막음판(112) 내측에는 상기 기체 유입구(102) 및 기체 유출구(104)를 상기 피스톤 중공부로부터 격리하는 다이아프램(110)이 설치된 것이 바람직하다.The pressure adjusting means (100) has a cylinder (114) and a piston (108) having one side closed by a blocking plate (112) and having a hollow portion (106); A driving shaft 60 connected to the piston 108 and a driving means 60 connected to the driving shaft to adjust a position of the piston, and the blocking plate 112 is provided with a gas inlet 102 and a gas outlet 104. The gas inlet 102 communicates with the buffer chamber 30, and the gas outlet 104 is exposed to the atmosphere, and the gas inlet 102 and the gas outlet 104 are located inside the blocking plate 112. Preferably, the diaphragm 110 is isolated from the piston hollow.

피스톤(108)은 구동수단(60)에 의하여 그 위치가 조절되고 실린더내의 압력을 설정된 기준압력으로 발생 및 유지시켜준다.The piston 108 is adjusted in position by the drive means 60 and generates and maintains the pressure in the cylinder at a set reference pressure.

또한 압력조정수단(100) 일측에 실린더 중공부(106)로 기체를 유입 또는 방출할 수 있는 배관 및 기체 유입 또는 방출량을 조절하는 밸브(80)를 구비하는 것이 바람직하다. 아울러 실린더 내부의 압력을 측정하고 외부로 표시할 수 있는 게이지(50)를 구비하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to have a valve for controlling the amount of gas inlet or discharge and a pipe that can introduce or discharge gas into the cylinder hollow part 106 on one side of the pressure adjusting means 100. In addition, it is preferable to have a gauge 50 that can measure the pressure inside the cylinder and display it to the outside.

한편, 설정된 기준압력으로 상기 압력조정수단의 실린더 내부를 유지하기 위하여 압력조정수단(100)의 상기 구동수단(60)을 이용하여 피스톤(108)을 이동시킴으로써 실린더 중공부 내의 기준압력을 상기 다이아프램(110)에 전달하게 된다.On the other hand, the diaphragm of the reference pressure in the hollow portion of the cylinder by moving the piston 108 using the drive means 60 of the pressure adjusting means 100 to maintain the inside of the cylinder of the pressure adjusting means at a set reference pressure Forwarded to 110.

상기 구동수단(60)은 기계식 또는 전자식 등 통상의 방법을 이용할 수 있으며, 구체적으로 볼스크류 및 상기 볼스크류와 연결되어 구동력을 제공하는 스테핑 모터인 것이 바람직하다. 상기 스테핑 모터는 컴퓨터(70)에 연결되어 스텝구동이 조절되는 것이 바람직하다. The driving means 60 may use a conventional method such as mechanical or electronic, and in particular, it is preferable that the driving means 60 is a stepping motor connected to the ball screw and the ball screw to provide a driving force. The stepping motor is preferably connected to the computer 70, the step driving is adjusted.

또한, 상기 구동수단(60)은 볼스크류 방식의 전후진 수단을 갖추며 나사회전에 의하여 수작업으로 구동력을 제공하는 것도 가능하다.In addition, the drive means 60 is provided with a forward and backward means of the ball screw method, it is also possible to provide a driving force manually by screw rotation.

이 때, 상기 다이아프램(110)의 양면에는 각각 버퍼챔버(30)내의 압력과 실린더 중공부내의 설정된 기준압력이 대향으로 작용하며, 버퍼챔버(30)내의 압력이 기준압력보다 더 큰 경우에는 상기 다이아프램(110)이 실린더 중공부 측으로 변형 되어 상기 막음판(112)과 상기 다이아프램(110) 사이에 공간이 형성되고 버퍼챔버(30)내의 기체가 기체 유출구(104)를 통하여 기체가 대기로 방출된다.At this time, the pressure in the buffer chamber 30 and the set reference pressure in the cylinder hollow portion face each other on both sides of the diaphragm 110, and when the pressure in the buffer chamber 30 is greater than the reference pressure, The diaphragm 110 is deformed to the cylinder hollow side to form a space between the blocking plate 112 and the diaphragm 110 and the gas in the buffer chamber 30 passes through the gas outlet 104 to the atmosphere. Is released.

일정량의 기체를 기체 유출구(104)를 통하여 압력조정수단(100) 외부로 방출한 후, 버퍼챔버(30)내의 압력과 기준압력이 같아지게 되는 경우에는 상기 다이아프램(110)이 탄성 복원하여 기체유입구(102)와 기체유출구(104)를 막기 때문에 버퍼챔버(30)내의 압력은 기준압력과 같은 상태로 준평형상태(quasi-equilibrium)에 도달하게 되므로 미세압력을 발생 및 제어할 수 있다.After discharging a certain amount of gas to the outside of the pressure adjusting means 100 through the gas outlet 104, when the pressure in the buffer chamber 30 becomes equal to the reference pressure, the diaphragm 110 elastically restores the gas. Since the inlet 102 and the gas outlet 104 are blocked, the pressure in the buffer chamber 30 reaches a quasi-equilibrium in the same state as the reference pressure, thereby generating and controlling the micro pressure.

상기 피시험장치 플랫홈(40)은 버퍼챔버(30)의 일측에 연결되어 기준압력으로 조정된 버퍼챔버(30)내의 압력을 이용하여 시험장치에 조정된 압력을 인가한다.The apparatus under test platform 40 is connected to one side of the buffer chamber 30 to apply the adjusted pressure to the test apparatus using the pressure in the buffer chamber 30 adjusted to the reference pressure.

상기 압력조정수단(100)에 대하여 첨부된 도면을 참고하여 더욱 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The pressure adjusting means 100 will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 은 본 발명에 따른 다이아프램(110)을 포함하는 압력조정수단의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing an embodiment of the pressure adjusting means including the diaphragm 110 according to the present invention.

본 발명에서 상기 압력조정수단(100)은 상기 막음판과와 상기 피스톤 중공부 사이에 다이아프램(110)이 구비되어 있다. In the present invention, the pressure adjusting means 100 is provided with a diaphragm 110 between the blocking plate and the piston hollow portion.

다이아프램은 변형식 탄성소재로 작은 압력 측정에 매우 적당하고, 넓은 측정 범위에서도 작은 압력의 변화에 매우 예민하게 작동한다.The diaphragm is a deformable elastic material that is very suitable for small pressure measurements and works very sensitive to small pressure changes over a wide range of measurements.

본 발명에서 상기 다이아프램(110)은 비금속성 소재로서 미세한 압력에도 변형되고 탄성을 갖는 소재면 이용이 가능하고, 네오프렌 고무, 테플론, 폴리에틸렌, 실크, Koroseal, 실리콘, 또는 가죽 등을 사용하는 것이 바람직하다.In the present invention, the diaphragm 110 can be used as a non-metallic material deformed even at a minute pressure and elasticity, it is preferable to use neoprene rubber, Teflon, polyethylene, silk, Koroseal, silicone, or leather. Do.

상기 다이아프램(110)은 상기 실린더 내경보다 크게 형성하여 실린더 일단부에 장착한 후 상기 막음판을 체결함으로써 고정되는 것이 바람직하다.The diaphragm 110 is preferably formed larger than the inner diameter of the cylinder and mounted on one end of the cylinder, and then fixed by fastening the blocking plate.

도 4 는 본 발명에 따른 미세압력 발생 및 제어 장치의 다른 실시예를 나타내는 구성도이다.Figure 4 is a block diagram showing another embodiment of the micro-pressure generation and control device according to the present invention.

본 실시예에서 압력조정수단은 버퍼챔버와 연통되며 미세한 압력차를 감지하는 체크밸브(200)를 사용할 수 있다.In this embodiment, the pressure adjusting means may use a check valve 200 that communicates with the buffer chamber and detects a minute pressure difference.

일반적으로 체크밸브라 함은 유체의 흐름을 한 쪽 방향으로만 흐르게 하는 밸브로써, 유체의 역류를 방지하는 기능이 있다.In general, the check valve is a valve that flows the fluid in only one direction, and has a function of preventing the back flow of the fluid.

본 실시예에서는 상기 체크밸브(200)는 버퍼챔버(30)내의 압력이 기준압력보다 큰 경우에 상기 체크밸브(200)의 문이 열리고 압력을 배출하며, 버퍼챔버(30)내의 압력이 기준압력과 같거나 작은 경우에는 밸브가 닫혀 대기중의 기체가 버퍼챔버(30)내로 유입되는 것을 막아준다.In the present embodiment, when the pressure in the buffer chamber 30 is greater than the reference pressure, the check valve 200 opens the door of the check valve 200 and discharges the pressure, and the pressure in the buffer chamber 30 is the reference pressure. If less than or equal to the valve is closed to prevent the gas in the atmosphere into the buffer chamber (30).

상기 기준압력은 체크밸브(200)내의 스프링 압력으로 조절되며, 버퍼챔버(30)내의 압력이 스프링 압력보다 큰 경우에 상기 체크밸브(200)가 열리고 압력을 배출함으로써 버퍼챔버(30)내의 압력은 기준압력과 같은 상태로 준평형상태(quasi-equilibrium)에 도달하게 되므로 미세압력을 발생 및 제어할 수 있다.The reference pressure is adjusted to the spring pressure in the check valve 200, and when the pressure in the buffer chamber 30 is greater than the spring pressure, the check valve 200 is opened and the pressure is discharged so that the pressure in the buffer chamber 30 Since the quasi-equilibrium is reached at the same state as the reference pressure, the micropressure can be generated and controlled.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 의한 미세압력 발생 및 제어장치는 버 퍼챔버내의 압력과 설정된 기준압력의 미세차이를 다이아프램 또는 체크밸브을 이용하여 버퍼챔버내의 압력을 기준압력으로 조정함으로써 구조가 간단하고 저가이면서 신뢰도가 높다.As described above, the micro pressure generation and control device according to the present invention has a simple structure by adjusting the pressure difference between the pressure in the buffer chamber and the set reference pressure by adjusting the pressure in the buffer chamber to the reference pressure using a diaphragm or a check valve. Low cost and high reliability.

Claims (11)

미세 압력을 발생하고 제어하는 장치에 있어서,In the device for generating and controlling the micro pressure, 압력소스(10)로부터 기체가 공급되는 배관과 연결되고 상기 기체의 압력을 조절하는 적어도 하나 이상의 레귤레이터(20); At least one regulator 20 connected to a pipe from which the gas is supplied from the pressure source 10 and regulating the pressure of the gas; 상기 레귤레이터(20)에 연결되어 상기 기체를 완충 수용하는 버퍼챔버(30); A buffer chamber 30 connected to the regulator 20 to buffer the gas; 상기 버퍼챔버에 연통된 피시험장치 플랫홈(40); 및 A device under test platform 40 in communication with the buffer chamber; And 상기 버퍼챔버(30)와 연통되며 버퍼챔버내의 압력이 설정된 기준압력보다 큰 경우에 압력을 배출하는 압력 조정수단(100)을 포함하는 미세압력 발생 및 제어 장치. And a pressure adjusting means (100) communicating with the buffer chamber (30) and discharging the pressure when the pressure in the buffer chamber is greater than a predetermined reference pressure. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 압력 조정수단(100)은 일측이 막음판(112)에 의해 폐쇄되고 중공부(106)를 지닌 실린더(114) 및 피스톤(108)을 구비하며, 상기 피스톤(108)과 연결된 구동축 및 상기 구동축에 연결되어 피스톤의 위치를 조절하는 구동수단(60)을 포함하며, 상기 막음판(112)에는 기체 유입구(102) 및 기체 유출구(104)가 구비되어 상기 기체 유입구(102)는 상기 버퍼챔버(30)에 연통되고 상기 기체 유출구(104)는 대기에 노출되며, 상기 막음판(112) 내측에는 상기 기체 유입구(102) 및 기체 유출구(104)를 상기 피스톤 중공부(106)로부터 격리하는 다이아프램(110)이 설치된 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The pressure adjusting means 100 has a cylinder 114 and a piston 108 having one side closed by the blocking plate 112 and having a hollow portion 106, and a driving shaft and the driving shaft connected to the piston 108. It is connected to the drive means for adjusting the position of the piston 60, the blocking plate 112 is provided with a gas inlet 102 and gas outlet 104 is the gas inlet 102 is the buffer chamber ( 30, the gas outlet 104 is exposed to the atmosphere, and the diaphragm isolating the gas inlet 102 and the gas outlet 104 from the piston hollow 106 inside the blocking plate 112. Micro pressure generation and control device, characterized in that 110 is installed. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 다이아프램(110)은 변형식 탄성소재인 고무로 된 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The diaphragm 110 is a micro-pressure generation and control device, characterized in that the rubber is a deformable elastic material. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 다이아프램(110)은 상기 실린더 내경보다 크게 형성하여 실린더 일단부에 장착한 후 상기 막음판(112)을 체결함으로써 고정되는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The diaphragm 110 is formed larger than the inner diameter of the cylinder is mounted on one end of the cylinder and then fixed by fastening the blocking plate (112), characterized in that the device. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 압력조정수단(100)은 일측에 상기 중공부(106)와 연통되며 기체 유입 및 방출을 위한 밸브(80)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The pressure adjusting means (100) is in communication with the hollow portion 106 on one side, the micro-pressure generating and control device, characterized in that it further comprises a valve (80) for gas inlet and outlet. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 압력조정수단(100)은 실린더(114)내의 기준압력을 측정하기 위한 게이지(50)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The pressure adjusting means 100 further comprises a gauge (50) for measuring a reference pressure in the cylinder (114). 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 구동수단(60)은 볼스크류를 구비하며 나사회전에 의하여 전후 구동력을 제공하는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The drive means (60) is provided with a ball screw, the micro-pressure generation and control device, characterized in that to provide a forward and backward driving force by the screw rotation. 제 2 항에 있어서, The method of claim 2, 상기 구동수단(60)은 볼스크류 및 상기 볼스크류에 연결되어 구동력을 제공하는 스테핑 모터인 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The drive means (60) is a fine pressure generating and control device, characterized in that the ball screw and a stepping motor connected to the ball screw to provide a driving force. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 스테핑모터는 컴퓨터(70)에 의하여 스텝구동이 제어되는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치. The stepping motor is a micro-pressure generation and control device, characterized in that the step drive is controlled by a computer (70). 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 레귤레이터(20)는 컴퓨터에 의하여 제어되는 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The regulator 20 is a micro-pressure generation and control device, characterized in that controlled by a computer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 압력조정수단은 버퍼챔버와 연통되어 설치되는 체크밸브(200)인 것을 특징으로 하는 미세압력 발생 및 제어 장치.The pressure adjusting means is a micro-pressure generation and control device, characterized in that the check valve 200 is installed in communication with the buffer chamber.
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