KR20080089023A - Semiconductor memory device with device to control word-line operation - Google Patents

Semiconductor memory device with device to control word-line operation Download PDF

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KR20080089023A KR1020070031982A KR20070031982A KR20080089023A KR 20080089023 A KR20080089023 A KR 20080089023A KR 1020070031982 A KR1020070031982 A KR 1020070031982A KR 20070031982 A KR20070031982 A KR 20070031982A KR 20080089023 A KR20080089023 A KR 20080089023A
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Abstract

A semiconductor memory device with a word-line controller is provided to prevent unnecessary current consumption by preventing an operation error and to have rapid operation speed. A first pull-down driving unit(100) discharges a voltage on a node M1 to a node M2 in response to a plurality of address-information signals. A second pull-down driving unit(200) discharges a voltage on the node M2 to a ground voltage supplying stage in response to the plurality of address-information signals. A level retention unit(500) maintains the node M2 at a level corresponding to logic level 'H' when the second pull-down driving unit is turned off. A delay unit(400) outputs a feedback signal by inverting the voltage on the node M1, and outputs a word line-driving signal to control to drive a word line by delaying the feedback signal. A pull-up driving unit(300) performs pull-up driving of the node M1 in response to a word line-off signal and the feedback signal.

Description

워드라인 구동 제어장치를 포함하는 반도체메모리소자{SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE WITH DEVICE TO CONTROL WORD-LINE OPERATION}Semiconductor memory device including word line driving control device {SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE WITH DEVICE TO CONTROL WORD-LINE OPERATION}

도 1은 종래기술에 따른 반도체메모리소자 내 워드라인 구동 제어장치의 내부 회로도.1 is an internal circuit diagram of a word line driving control apparatus in a semiconductor memory device according to the prior art.

도 2a는 도 1에 도시된 워드라인 구동 제어장치를 간략히 도시한 도면.FIG. 2A is a schematic view of the word line drive control device shown in FIG. 1; FIG.

도 2b는 도 2a에 도시된 워드라인 구동 제어장치를 기생 저항과 커패시턴스 측면에서 모델링한 도면.FIG. 2B is a model of the word line drive control device shown in FIG. 2A in terms of parasitic resistance and capacitance; FIG.

도 3은 고전압의 레벨이 불안정한 경우에 따른, 도 2a에 도시된 종래기술의 시뮬레이션 파형도.FIG. 3 is a simulation waveform diagram of the prior art shown in FIG. 2A in the case where the level of high voltage is unstable.

도 4는 앞서 언급한 기생 커패시턴스의 크기와, 외부전압의 레벨이 불안정한 경우와, 고전압의 레벨이 불안정한 경우에 따른 각 노드의 천이 시 시뮬레이션 파형도.4 is a simulation waveform diagram of transition of each node according to the magnitude of parasitic capacitance, unstable external voltage, and unstable high voltage.

도 5a는 워드라인-오프신호의 비활성화 시점을 앞으로 당기는 경우의 신호 파형도를 도시한 도면.Fig. 5A is a diagram showing a signal waveform in the case of pulling forward the deactivation time of a word line-off signal.

도 5b는 도 5a와 같이 워드라인-오프신호의 비활성화시점을 앞당김에 따른 각 노드의 레벨 변화를 도시한 시뮬레이션 파형도.FIG. 5B is a simulation waveform diagram showing the level change of each node as the time of inactivation of the word line-off signal is advanced as in FIG. 5A. FIG.

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체메모리소자 내 워드라인 구동 제어장치의 내부 회로도.6 is an internal circuit diagram of a word line driving control apparatus in a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

500 : 레벨 유지부500: Level Keeper

본 발명은 반도체 설계 기술에 관한 것으로, 특히 데이터-입출력-핀-설정에 따라 불필요한 구동을 억제하여, 불필요한 전력소모를 줄일 수 있는 반도체메모리소자에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor design technology, and more particularly, to a semiconductor memory device capable of reducing unnecessary power consumption by suppressing unnecessary driving according to data-input-output-pin-setting.

일반적으로, 반도체 집적 회로, 특히 반도체 메모리 소자는 내부의 구동을 위해서는 저전위의 외부전압을 사용하고, 특정 부분의 구동을 위해서는 외부전압을 승압하여 생성한 고전압을 사용한다. 즉, 낮은 전위로 신호를 연산하여 활용하다가 최종 출력단에서는 승압 전압을 활용하는 것이 일반적이다. 이와 같이, 낮은 전압을 사용하여 메모리 내부에서 소모되는 전류량을 줄일 수 있다. In general, semiconductor integrated circuits, in particular, semiconductor memory devices, use low voltage external voltages for internal driving and high voltages generated by boosting external voltages for driving specific portions. That is, it is common to use a voltage at a low output while calculating a signal with a low potential. As such, a low voltage can be used to reduce the amount of current consumed in the memory.

특히, DRAM 내부에는 액티브신호의 논리연산을 통해 서브-워드라인(Sub-Word Lind)을 활성화를 제어하기 위한 메인 워드라인(Main Word Line) 구동 제어부가 있다. 이와 같은, 구동 제어부에는 외부 전원전압과 동일하거나, 비슷한 전압(최소한 내부에서 승압하여 생성한 고전압보다는 일반적으로 작게 설계됨.)으로 생성된 신호를 내부 고전압으로 승압시켜 워드라인-구동신호를 생성하게 된다.In particular, the DRAM includes a main word line driving control unit for controlling activation of a sub-word line through logic operation of an active signal. As such, the drive control unit generates a word line-drive signal by boosting a signal generated by a voltage equal to or similar to an external power supply voltage (at least generally designed to be smaller than a high voltage generated by boosting internally) to an internal high voltage. .

이때, 일반적인 DDR2의 경우, 외부전압 1.8V에 대해 승압되는 고전압은 3.5V로써, 약 2배 가량의 전압레벨 차이를 갖는다. 물론, 외부전압과 고전압 사이의 전압 차이가 일정하지 않거나, 저전력 설계에 대응하기 위하여 고전압의 레벨을 낮추는 방향으로 연구가 진행되고 있다.At this time, in the case of general DDR2, the high voltage stepped up to the external voltage 1.8V is 3.5V, the voltage level difference of about 2 times. Of course, there is a constant voltage difference between the external voltage and the high voltage, or research is being conducted toward lowering the level of the high voltage to cope with the low power design.

한편, 다음에서는 전술한 바와 같이 반도체메모리소자 내 구비되는 워드라인 구동 제어장치를 살펴보도록 한다.Meanwhile, the word line driving control apparatus provided in the semiconductor memory device will be described as follows.

도 1은 종래기술에 따른 반도체메모리소자 내 워드라인 구동 제어장치의 내부 회로도이다.1 is an internal circuit diagram of a word line driving control apparatus in a semiconductor memory device according to the prior art.

도 1을 참조하면, 종래기술에 따른 워드라인 구동 제어장치는 복수의 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>)에 응답하여 노드 N1에 걸린전압을 풀다운 드라이빙하기 위한 풀다운 드라이빙부(10)와, 워드라인-오프신호(WLOFFB)와 피드백신호(FD)에 응답하여 노드 N1을 풀업 구동하기 위한 풀업 드라이빙부(20)와, 노드 N1에 걸린 전압을 반전하여 피드백신호(FD)로 출력하고, 지연하여 워드라인-구동신호(MWLB)로 출력하기 위한 지연부(30)를 구비한다.Referring to FIG. 1, the word line driving control apparatus according to the related art has a voltage applied to the node N1 in response to a plurality of address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, and 78 <0>. A pull-down driving unit 10 for pull-down driving, a pull-up driving unit 20 for pull-up driving the node N1 in response to a word line-off signal WLOFFB and a feedback signal FD, and a voltage applied to the node N1. Is inverted to output the feedback signal FD, and is delayed to output the word line-drive signal MWLB.

그리고 풀다운 드라이빙부(10)는 어드레스-정보신호 BAX34<0:3>에 응답하여 노드 N1에 걸린전압을 노드 N2로 디스차징하기 위한 제1 내지 제4 드라이버(11, 12, 13, 14)와, 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>) BAX56<0:3>에 응답하여 노드 N2에 걸린전압을 노드 N3로 디스차징하기 위한 제5 내지 제8 드라이 버(15, 16, 17, 18)와, 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>) BAX78<0>에 응답하여 노드 N3에 걸린 전압을 디스차징하기 위한 제9 드라이버(19)를 포함한다.The pull-down driving unit 10 includes first to fourth drivers 11, 12, 13, and 14 for discharging the voltage applied to the node N1 to the node N2 in response to the address-information signal BAX34 <0: 3>. And fifth to discharge the voltage applied to the node N2 to the node N3 in response to the address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, and 78 <0> BAX56 <0: 3>. The eighth driver 15, 16, 17, 18 and the node N3 in response to the address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, 78 <0>) BAX78 <0> And a ninth driver 19 for discharging the voltage.

참고적으로, 워드라인-구동신호(MWLB)가 논리레벨 'L'로 활성화되면, 이에 응답하여 워드라인이 고전압 레벨로 활성화된다. 또한, 워드라인-구동신호(MWLB)가 논리레벨 'H'로 비활성화되면, 워드라인이 접지전압 레벨로 비활성화된다.For reference, when the word line driving signal MWLB is activated to the logic level 'L', the word line is activated to the high voltage level in response thereto. In addition, when the word line driving signal MWLB is deactivated to the logic level 'H', the word line is deactivated to the ground voltage level.

또한, 고전압(VPP)은 외부전압(VDD)을 승압한 전원으로서, 외부전압(VDD) 보다 높은 전압레벨을 갖는다.The high voltage VPP is a power source boosted by the external voltage VDD and has a voltage level higher than that of the external voltage VDD.

이와 같은, 워드라인 구동 제어장치는 제9 드라이버에 인가되는 어드레스-정보신호 BAX78<1:3>에 따라 구분되어 구비된다. 이들은, 인가받는 어드레스-정보신호 BAX78<1:3>만이 다르고 동일한 구동을 가지므로, 구체적인 언급은 생략한다.As such, the word line driving control apparatus is provided according to the address-information signal BAX78 <1: 3> applied to the ninth driver. Since only the address-information signal BAX78 <1: 3> to which they are applied are different and have the same driving, specific reference is omitted.

앞서 언급한 바와 같이, 소비전력을 줄이기 위해, 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>)는 접지전압에서 외부전압 레벨로 스윙하며, 워드라인-오프신호(WLOFFB) 및 워드라인-구동신호(MWLB)는 접지전압에서 고전압 레벨로 스윙한다.As mentioned above, to reduce power consumption, the address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, and 78 <0> swing from the ground voltage to the external voltage level, and the word line- The off signal WLOFFB and the word line-drive signal MWLB swing from the ground voltage to the high voltage level.

한편, 구동을 간략히 살펴보도록 한다.Meanwhile, the driving will be briefly described.

먼저, 어드레스-정보신호 BAX78<0>와 BAX34<0:3>과 BAX56<0:3>가 논리레벨 'H'로 활성화되면, 풀다운 드라이빙부(10)가 액티브되어 노드 N1을 디스차징한다. 그리고 지연부(30)는 노드 N1에 걸린 전압을 반전하여 피드백신호(FD)를 논리레벨 'H'로, 워드라인-구동신호(MWLB)는 논리레벨 'L'로 활성화한다.First, when the address-information signals BAX78 <0>, BAX34 <0: 3>, and BAX56 <0: 3> are activated to a logic level 'H', the pull-down driving unit 10 is activated to discharge the node N1. The delay unit 30 inverts the voltage applied to the node N1 to activate the feedback signal FD to the logic level 'H' and the word line-drive signal MWLB to the logic level 'L'.

또한, 워드라인-오프신호(WLOFFB)가 논리레벨 'L'로 활성화되고, 어드레스-정보신호 BAX34,56<0:3>, 78<0>가 논리레벨 'L'로 비활성화된다. 풀업 드라이빙부(20)가 워드라인-오프신호(WLOFFB)에 응답하여 노드 N1를 고전압 레벨로 드라이빙한다. 이어, 지연부(30)가 노드 N1을 반전시켜 피드백신호(FD)는 논리레벨 'L'로 활성화하고, 지연하여 워드라인-구동신호(MWLB)는 논리레벨 'H'로 비활성화한다. 또한, 풀업 드라이빙부(20)는 워드라인-오프신호(WLOFFB)와 피드백신호(FD)에 응답하여 노드 N1이 고전압(VPP) 레벨을 갖도록 드라이빙한다.Further, the word line-off signal WLOFFB is activated at the logic level 'L', and the address-information signals BAX34,56 <0: 3>, 78 <0> are deactivated at the logic level 'L'. The pull-up driving unit 20 drives the node N1 to a high voltage level in response to the word line-off signal WLOFFB. Subsequently, the delay unit 30 inverts the node N1 to activate the feedback signal FD to the logic level 'L', and delay to deactivate the word line-drive signal MWLB to the logic level 'H'. In addition, the pull-up driving unit 20 drives the node N1 to have a high voltage VPP level in response to the word line-off signal WLOFFB and the feedback signal FD.

도 2a는 도 1에 도시된 워드라인 구동 제어장치를 간략히 도시한 도면이다.FIG. 2A is a view schematically illustrating the word line driving control apparatus shown in FIG. 1.

도 2a를 참조하면, 워드라인 구동 제어장치의 개념도는 워드라인-오프신호(WLOFFB)를 게이트 입력으로 가지며 고전압(VPP)의 공급단과 노드 N1 사이에 소스-드레인 경로를 갖는 PMOS트랜지스터(PM1)와, 어드레스-정보신호 BAX34를 게이트 입력으로 가지며 노드 N1과 N2 사이에 드레인-소스 경로를 갖는 NMOS트랜지스터(NM1)와, 어드레스-정보신호 BAX56를 게이트 입력으로 가지며 노드 N2과 N3 사이에 드레인-소스 경로를 갖는 NMOS트랜지스터(NM2)와, 어드레스-정보신호 BAX78를 게이트 입력으로 가지며 노드 N3과 접지전압의 공급단 사이에 드레인-소스 경로를 갖는 NMOS트랜지스터(NM3)와, 노드 N1에 걸린 전압을 게이트 입력으로 가지며 고전압의 공급단과 노드 FD 사이에 소스-드레인 경로를 갖는 PMOS트랜지스터(PM3)와, 노드 N1에 걸린전압을 게이트 입력으로 가지며 노드 FD와 접지전압의 공급단 사이에 드레인-소스 경로를 갖는 NMOS트랜지스터(NM4)와, 노드 FD에 걸린 전압을 게이트 입력으로 가지며 고전압(VPP)의 공급단과 노드 N1 사이에 소스-드레인 경로를 갖는 PMOS트랜지스터(PM2)와, 노드 FD에 걸린 전압을 반전하여 워드라인-구동신호(MWLB)로 출력하기 위한 인버터(I1)를 포함한다.Referring to FIG. 2A, a conceptual diagram of a word line driving control apparatus includes a PMOS transistor PM1 having a word line-off signal WLOFFB as a gate input and a source-drain path between a supply terminal of a high voltage VPP and a node N1. NMOS transistor NM1 having an address-information signal BAX34 as a gate input and having a drain-source path between nodes N1 and N2, and a drain-source path between the nodes N2 and N3 with a gate-input of an address-information signal BAX56. NMOS transistor (NM2) having a gate input, an address-information signal BAX78 as a gate input, and a NMOS transistor (NM3) having a drain-source path between a node N3 and a supply terminal of a ground voltage, and a voltage across a node N1. PMOS transistor (PM3) having a source-drain path between the high voltage supply terminal and node FD, and the voltage applied to node N1 as a gate input, An NMOS transistor NM4 having a drain-source path between the supply terminals of the ground voltage, a PMOS transistor having a source-drain path between the supply terminal of the high voltage VPP and the node N1 as a gate input and having a voltage applied to the node FD. PM2) and an inverter I1 for inverting the voltage applied to the node FD and outputting the word line-drive signal MWLB.

또한, 기생 커패시턴스 C3가 노드 N1에 접속되고, 기생 커패시턴스 C2는 노드 N2에, 기생커패시턴스 C1은 노드 N3에 접속된다.In addition, the parasitic capacitance C3 is connected to the node N1, the parasitic capacitance C2 is connected to the node N2, and the parasitic capacitance C1 is connected to the node N3.

도 2b는 도 2a에 도시된 워드라인 구동 제어장치를 기생 저항과 커패시턴스 측면에서 모델링한 것이다. 또한, 트랜지스터는 스위치로 모델링 하였다.FIG. 2B is a model of the word line driving controller shown in FIG. 2A in terms of parasitic resistance and capacitance. In addition, the transistor was modeled as a switch.

앞서 언급한 바와 같이, 소비전력을 줄이기 위해, 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>)는 외부전압(VDD)으로 드라이빙되는 반면, 최종 워드라인의 활성화를 제어하기 위한 워드라인-구동신호(MWLB)는 고전압(VPP) 레벨로 드라이빙된다. 그리고, 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>)를 인가받는 풀다운 드라이빙부는 적은 면적 안에 구현되기 때문에, 적은 기생저항을 갖는 반면, 상대적으로 기생 커패시턴스는 커진다.?As mentioned above, to reduce power consumption, the address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, and 78 <0> are driven to the external voltage VDD, while the final word line The word line-driving signal MWLB for controlling the activation of the signal is driven to the high voltage VPP level. In addition, since the pull-down driving unit to which the address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, and 78 <0> are applied is implemented in a small area, it has less parasitic resistance, but relatively parasitic capacitance. Will grow?

한편, 워드라인 구동 제어장치 자체가 지니고 있는 기생 커패시턴스(Parasitic Capacitance)에 의해 오동작이 발생한다. 또한, 고전압의 레벨이 불안정해 외부전압과 고전압의 레벨 차이가 일정하지 않은 경우에는, 앞서 언급한 오동작이 더욱 쉽게 발생한다. 이에 관해 시뮬레이션 파형도를 참조하여 살펴보도록 한다.On the other hand, malfunction occurs due to parasitic capacitance that the word line driving control device itself has. In addition, when the level of the high voltage is unstable and the level difference between the external voltage and the high voltage is not constant, the above-described malfunction occurs more easily. This will be described with reference to the simulation waveform diagram.

도 3은 고전압의 레벨이 불안정한 경우에 따른, 도 2a에 도시된 종래기술의 시뮬레이션 파형도이다.FIG. 3 is a simulation waveform diagram of the prior art shown in FIG. 2A when the level of the high voltage is unstable.

도 3에 도시된 바와 같이, 어드레스-정보신호 BAX78는 논리레벨 'L'로 비활 성화되고, 어드레스-정보신호 BAX34 및 BAX56는 논리레벨 'H'로 활성화된 경우다.As shown in Fig. 3, the address-information signal BAX78 is deactivated at logic level 'L', and the address-information signals BAX34 and BAX56 are activated at logic level 'H'.

따라서, PMOS트랜지스터(PM1)는 논리레벨 'H'에 의해 액티브되지 않는다. 그리고 NMOS트랜지스터 NM1 및 NM2가 액티브되며, NMOS트랜지스터 NM3은 오프된다.Therefore, the PMOS transistor PM1 is not activated by the logic level 'H'. NMOS transistors NM1 and NM2 are active, and NMOS transistor NM3 is turned off.

NMOS트랜지스터 NM3가 턴오프되므로 패스가 형성되지는 않으나, 노드 N1의 커패시터 C3에 저장된 전하가, 턴온된 NMOS트랜지스터 NM1 및 NM2에 의해, 커패시터 C1 및 C2에 일부 유입된다. 따라서, 노드 N1의 전압레벨이 하강한다.Since the NMOS transistor NM3 is turned off, no pass is formed, but the charge stored in the capacitor C3 of the node N1 is partially introduced into the capacitors C1 and C2 by the turned-on NMOS transistors NM1 and NM2. Therefore, the voltage level of the node N1 falls.

노드 N1의 레벨이 하강하여 PMOS트랜지스터 PM3가 턴온되므로, 이에 의해 노드 FD가 논리레벨 'H'로 상승한다. 인버터(I1)가 노드 FD의 레벨을 반전하여, 워드라인-구동신호(MWLB)를 논리레벨 'L'로 활성화한다.Since the level of the node N1 falls and the PMOS transistor PM3 is turned on, the node FD rises to the logic level 'H' by this. The inverter I1 inverts the level of the node FD to activate the word line-drive signal MWLB to the logic level 'L'.

즉, 해당 어드레스-정보신호 BAX34, 56, 78이 모두 활성화되는 조건을 만족하지 않는 상황에서도, 기생 커패시턴스(C1, C2, C3)에 의해 워드라인-구동신호(MWLB)가 활성화되는 오동작이 발생한다.That is, even in a situation where all of the address-information signals BAX34, 56, and 78 do not satisfy the conditions for activation, a malfunction occurs in which the word line-drive signal MWLB is activated by the parasitic capacitances C1, C2, and C3. .

더욱이, 도 3에 도시된 바와 같이, 외부전압의 레벨은 2V로 안정적인 반면, 고전압은 2.1V에서 3.5V 사이의 레벨로서, 안정적이지 않다.Moreover, as shown in Fig. 3, the level of the external voltage is stable at 2V, while the high voltage is not stable, as the level is between 2.1V and 3.5V.

이와 같이, 고전압의 레벨이 불안정하면, 워드라인-오프신호(WLOFFB)가 논리레벨 'L'로 활성화되어 기생 커패시턴스 C3에 저장되는 전하의 양이 줄어들기 때문에, 전술한 바와 같은 오동작이 더욱 쉽게 발생한다.As described above, when the level of the high voltage is unstable, the word line-off signal WLOFFB is activated to the logic level 'L', thereby reducing the amount of charge stored in the parasitic capacitance C3, so that the above malfunction occurs more easily. do.

각 신호의 천이 시에 따른 상황을 도면의 오른편에 확대하여 나타내었다. 도시된 바와 같이, 고전압(VPP)의 레벨이 낮을수록 노드 N1의 전압 레벨이 낮아져 PMOS트랜지스터(PM1)를 턴온시킬 만큼의 낮은 레벨로 쉽게 내려갈 수 있음을 알 수 있다. 또한, 고전압(VPP)의 레벨이 낮을수록, 노드 FD의 레벨은 더욱 빠르게 논리레벨 'H'로 천이되어 PMOS트랜지스터 PM2를 턴오프시킨다.The situation according to the transition of each signal is shown enlarged on the right side of the figure. As shown, it can be seen that the lower the level of the high voltage VPP, the lower the voltage level of the node N1 can be easily lowered to a level low enough to turn on the PMOS transistor PM1. Further, the lower the level of the high voltage VPP, the faster the level of the node FD transitions to the logic level 'H' to turn off the PMOS transistor PM2.

따라서, 논리레벨 'H'로 유지되어야 하는 워드라인-구동신호(MWLB)가, 고전압의 레벨이 불안정한 상태에서 앞서 언급한 조건의 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>)가 인가되는 경우, 논리레벨 'L'로 보다 쉽게 활성화되는 것을 알 수 있다.Therefore, the word line-driving signal MWLB, which should be maintained at the logic level 'H', has the address-information signals BAX34 <0: 3> and 56 <0: 3 under the above-mentioned conditions while the level of the high voltage is unstable. >, 78 <0>), it can be seen that the logic level 'L' is more easily activated.

한편, 도 4는 앞서 언급한 기생 커패시턴스의 크기와, 외부전압의 레벨이 불안정한 경우와, 고전압의 레벨이 불안정한 경우에 따른 각 노드의 천이 시 시뮬레이션 파형도이다.On the other hand, Figure 4 is a simulation waveform diagram of the transition of each node according to the magnitude of the parasitic capacitance, the unstable external voltage level, and the unstable high voltage level.

도 4의 a는 기생 커패시턴스 C3이 기생 커패시턴스 C2 및 C1에 비해 적은 커패시턴스를 갖는 경우를 도시한 것으로, 여기서 △C는 C의 변화량이다. 여기서, C = C1 + C2 - C3이다. 도시된 바와 같이, △C가 커짐에 따라, 노드 N1의 레벨이 더욱 빠르게 불안정해져, 잘못된 조건에서 워드라인-구동신호(MWLB)가 활성화되는 오동작이 발생하는 것을 알 수 있다. 참고적으로, 오동작이 발생하기 시작하는 시점의 △C는 30pF이다.4A illustrates a case where parasitic capacitance C3 has less capacitance than parasitic capacitances C2 and C1, where ΔC is a change amount of C. FIG. Where C = C1 + C2-C3. As shown, it can be seen that as DELTA C becomes larger, the level of the node N1 becomes unstable more quickly, resulting in a malfunction in which the word line-driving signal MWLB is activated under an incorrect condition. For reference, DELTA C at the time when malfunction starts to occur is 30 pF.

또한, b는 고전압(VPP)의 레벨은 2.8V로 안정적인데, 외부전압(VDD)의 레벨이 2.1V에서 3.1V로 상승하여 불안정한 경우를 도시한 도면이다. 외부전압(VDD)의 레벨이 상승함에 따라, NMOS트랜지스터 NM1 및 NM2에 의해, 노드 N1에서 노드 N2로 전하가 전달되는 속도가 빨라져, 노드 N1의 레벨이 점점 하강한다. 따라서, 외부전압(VDD)의 레벨이 상승함에 따라, 워드라인-구동신호(MWLB)가 잘못된 조건하에서 활성화되는 오동작을 갖는다.In addition, b is a diagram showing a case where the level of the high voltage VPP is stable at 2.8V, but the level of the external voltage VDD rises from 2.1V to 3.1V and is unstable. As the level of the external voltage VDD rises, the rate of transfer of charge from the node N1 to the node N2 is increased by the NMOS transistors NM1 and NM2, so that the level of the node N1 gradually decreases. Thus, as the level of the external voltage VDD rises, the word line-driving signal MWLB has a malfunction that is activated under an incorrect condition.

또한, C는 외부전압(VDD)의 레벨은 2.1V로 안정적인데, 고전압(VPP)의 레벨이 3.1V에서 2.1V 사이의 레벨로 하강하여 불안정한 경우를 도시한 도면이다. 고전압(VPP)의 레벨이 하강함에 따라, 노드 N1에 걸린전압의 레벨이 역시 낮아진다. 따라서, NMOS트랜지스터 NM1 및 NM2가 턴온되어 노드 N2와의 차지 쉐어(Charge Share)가 일어날 때, 쉽게 노드 N1의 레벨이 낮아진다. 따라서, 고전압(VPP)의 레벨이 낮아질수록, 워드라인-구동신호(MWLB)가 잘못된 조건에서 쉽게 활성화되는 오동작이 발생하는 것을 알 수 있다.In addition, C is a diagram showing a case where the level of the external voltage VDD is stable at 2.1V, but the level of the high voltage VPP is unstable as the level of the high voltage VPP drops to a level between 3.1V and 2.1V. As the level of the high voltage VPP decreases, the level of the voltage applied to the node N1 also decreases. Therefore, when the NMOS transistors NM1 and NM2 are turned on and a charge share with the node N2 occurs, the level of the node N1 is easily lowered. Accordingly, it can be seen that as the level of the high voltage VPP is lowered, a malfunction occurs in which the word line-driving signal MWLB is easily activated under the wrong condition.

한편, 이러한 오동작은 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>)가 액티브될 때까지 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 활성화를 소정시간 유지하여 줌으로써 방지할 수 있으나, 이는 불필요한 전류소모가 발생하는 단점이 있다. 이에 관해 다음 도면을 참조하여 살펴보도록 한다.On the other hand, such a malfunction is maintained by maintaining the activation of the word line-off signal WLOFFB for a predetermined time until the address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, and 78 <0> are activated. It can be prevented, but this has the disadvantage that unnecessary current consumption occurs. This will be described with reference to the following drawings.

도 5a는 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 비활성화 시점을 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>)의 활성화시점으로부터 앞으로 당기는 경우의 신호 파형도를 도시한 도면이며, 도 5b는 이와 같이 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 비활성화시점을 앞당김에 따른 각 노드의 레벨 변화를 도시한 시뮬레이션 파형도이다.FIG. 5A is a signal waveform diagram when the deactivation time of the word line-off signal WLOFFB is pulled forward from the activation time of the address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, and 78 <0>. FIG. 5B is a simulation waveform diagram showing the level change of each node according to the earlier deactivation time of the word line-off signal WLOFFB.

도 5b을 참조하여, 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 비활성화 시점이 어드레스-정보신호(BAX34, 56, 78)의 활성화 시점과 같은 경우를 먼저 살펴보도록 한다. 어드레스-정보신호 BAX34, 56에 의해 NMOS트랜지스터 NM1 및 NM2가 턴온되어 노드 N2에 노드 N1의 전하가 유입된다. 그러나, 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 활성화에 의 해 턴온된 PMOS트랜지스터(PM1)에 의해 노드 N1에 전하가 공급되므로, 노드 N1의 레벨은 잠시 하강하였다가 논리레벨 'H'를 회복하여 유지된다. 따라서, 노드 FD 역시 노드 N1의 하강 시 순간적으로 글리치(Glitch)가 발생하나 레벨은 논리레벨 'L'로 유지되며, 워드라인-구동신호(MWLB) 역시 이와 같다.Referring to FIG. 5B, a case in which the deactivation time of the word line-off signal WLOFFB is the same as the activation time of the address-information signals BAX34, 56, and 78 will be described first. The NMOS transistors NM1 and NM2 are turned on by the address-information signals BAX34 and 56, so that charges of the node N1 flow into the node N2. However, since the charge is supplied to the node N1 by the PMOS transistor PM1 turned on by the activation of the word line-off signal WLOFFB, the level of the node N1 decreases for a while and then recovers and maintains the logic level 'H'. do. Therefore, the node FD also instantaneously glitches when the node N1 falls, but the level is maintained at the logic level 'L', and the word line-driving signal MWLB is the same.

따라서, 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 비활성화 시점이 어드레스-정보신호(BAX34, 56, 78)의 인가 시점과 같을 경우, 앞서 언급한 바와 같은 워드라인-구동신호(MWLB)의 오동작이 발생하지 않는다.Therefore, when the deactivation time of the word line-off signal WLOFFB is the same as the application time of the address-information signals BAX34, 56, and 78, the malfunction of the word line-drive signal MWLB as described above does not occur. Do not.

한편, 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 비활성화 시점이 어드레스-정보신호(BAX34, 56, 78)의 활성화 시점보다 점점 앞당겨짐에 따라, 턴온된 NMOS트랜지스터에 의한 노드 N2 및 N1 사이에 차지 쉐어가 발생한다. 따라서, 노드 N1의 레벨이 하강하는데, 이는 앞서 설명한 바와 달리 PMOS트랜지스터(PM1)가 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 비활성화에 의해 이미 오프되어, 쉐어링에 의해 부족한 전하를 보충해줄 수 없기 때문이다. 이와 같은, 오동작의 발생은 워드라인-오프신호(WLOFFB)가 어드레스-정보신호보다 최소 150psec 이상 빨리 비활성화되는 경우부터, 발생한다.On the other hand, as the deactivation time of the word line-off signal WLOFFB is earlier than the activation time of the address-information signals BAX34, 56, and 78, the charge share between the nodes N2 and N1 by the turned-on NMOS transistor is increased. Occurs. Accordingly, the level of the node N1 is lowered because, unlike the foregoing, the PMOS transistor PM1 is already turned off by deactivation of the word line-off signal WLOFFB, and thus cannot compensate for the insufficient charge by sharing. The occurrence of such malfunction occurs when the word line-off signal WLOFFB is deactivated at least 150 psec or more earlier than the address-information signal.

특히, 각 노드의 레벨 천이 시점을 확대하여 나타낸, 도면의 우측 부분을 참조하도록 한다. 각 화살표의 방향은 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 비활성화 시점이 앞 당겨짐에 따른 노드의 레벨 변화를 도시한 것이다. 앞서 언급한 바와 같이, 워드라인-오프신호(WLOFFB)의 활성화 시점이 빨라짐에 따라 노드 N1의 레벨이 하강하여 PMOS트랜지스터 PM3가 턴온되어 노드 FD가 논리레벨 'H'로 상승하는 것을 알 수 있다. 따라서, 노드 FD에 의해 워드라인-구동신호(MWLB)가 논리레벨 'L'로 활성화 되는 오동작이 발생한다.In particular, reference is made to the right part of the drawing, which is an enlarged view of the level transition time of each node. The direction of each arrow shows the level change of the node as the point of inactivation of the word line-off signal WLOFFB is pulled forward. As mentioned above, it can be seen that as the activation time of the word line-off signal WLOFFB becomes faster, the level of the node N1 decreases, so that the PMOS transistor PM3 turns on and the node FD rises to the logic level 'H'. Therefore, a malfunction occurs in which the word line-driving signal MWLB is activated to a logic level 'L' by the node FD.

따라서, 전술한 바와 같은 기생 커패시턴스에 의한 오동작을, 신호의 천이 시점을 조절하여 방지할 수 있다. 그러나, 워드라인-오프신호(WLOFFB)와 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>, 56<0:3>, 78<0>)에 의해 PMOS트랜지스터와 NMOS트랜지스터가 동시에 턴온되는 상황이 발생하여, 불필요한 전류소모가 증가한다.Therefore, malfunctions caused by parasitic capacitances as described above can be prevented by adjusting the transition timing of the signals. However, the PMOS transistor and the NMOS transistor are simultaneously turned on by the word line-off signal WLOFFB and the address-information signals BAX34 <0: 3>, 56 <0: 3>, and 78 <0>. Unnecessary current consumption increases.

이와 같이, 종래기술을 이용하는 경우, 기생 커패시턴스에 의해 워드라인-구동신호(MWLB)가 잘못된 활성화되는 것을 알 수 있다. 더욱이, 커패시턴스의 크기에 따라, 외부전압 또는 고전압의 레벨 변동, 외부전압과 고전압 사이의 전압 차이가 일정하지 않은 경우에 부각되어 나타난다. 이를 방지하기 위해, 신호의 활성화 시점을 조절하는 방법이 사용되나, 고전압의 공급단으로 부터 접지전압의 공급단으로 경로가 형성되어 과도한 전류소모가 발생하는 문제점이 있다. 또한, 신호의 활성화 시점을 조절하는 방법은 워드라인-구동신호의 활성화 시점이 느려져, 고속동작에 장해 요인이 된다.As described above, in the case of using the conventional technology, it can be seen that the word line-driving signal MWLB is incorrectly activated by parasitic capacitance. Furthermore, depending on the magnitude of the capacitance, the level variation of the external voltage or the high voltage and the voltage difference between the external voltage and the high voltage are highlighted. In order to prevent this, a method of adjusting the activation time of the signal is used, but there is a problem that excessive current consumption occurs because a path is formed from the supply terminal of the high voltage to the supply terminal of the ground voltage. In addition, the method of adjusting the activation time of the signal becomes slow at the activation time of the word line-driving signal, which is an obstacle to high speed operation.

본 발명은 기생 커패시턴스에 의한 오동작을 방지하면서도 불필요한 전류소모가 발생하지 않으며 빠른 구동속도를 갖는 워드라인 구동 제어장치를 포함하는 반도체메모리소자를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device including a word line driving control device having a high driving speed and preventing unnecessary current consumption while preventing malfunction due to parasitic capacitance.

상기의 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따른 반도체메모리소자는 복수의 어드레스-정보신호에 응답하여 노드 M1에 걸린 전압을 노드 M2로 디스차징하기 위한 제1 풀다운 드라이빙수단; 복수의 어드레스-정보신호에 응답하여 노드 M2에 걸린 전압을 접지전압 공급단으로 디스차징하기 위한 제2 풀다운 드라이빙수단; 상기 제2 풀다운 드라이빙수단의 오프 시 상기 노드 M2를 논리레벨 'H'에 대응되는 레벨로 유지하기 위한 레벨 유지수단; 상기 노드 M1에 걸린 전압을 반전시켜 피드백신호로 출력하고, 지연시켜 워드라인의 구동을 제어하기 위한 워드라인-구동신호로 출력하기 위한 지연수단; 및 워드라인-오프신호와 상기 피드백신호에 응답하여 상기 노드 M1을 풀업 구동하기 위한 풀업 드라이빙수단을 구비한다.In accordance with an aspect of the present invention, a semiconductor memory device includes: first pull-down driving means for discharging a voltage applied to a node M1 to a node M2 in response to a plurality of address-information signals; Second pull-down driving means for discharging the voltage applied to the node M2 to the ground voltage supply terminal in response to the plurality of address-information signals; Level holding means for maintaining the node M2 at a level corresponding to a logic level 'H' when the second pull-down driving means is turned off; Delay means for inverting the voltage applied to the node M1 as a feedback signal and delaying the voltage to output a word line-drive signal for controlling the driving of the word line; And pull-up driving means for pull-up driving the node M1 in response to a word line-off signal and the feedback signal.

이하, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the technical idea of the present invention. do.

도 6은 본 발명의 일 실시 예에 따른 반도체메모리소자 내 워드라인 구동 제어장치의 내부 회로도이다.6 is an internal circuit diagram of a word line driving control apparatus in a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 워드라인 구동 제어장치는 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>)에 응답하여 노드 M1에 걸린 전압을 노드 M2 로 디스차징하기 위한 제1 풀다운 드라이빙부(100)와, 어드레스-정보신호(BAX56<0:3>, BAX78<0>)에 응답하여 노드 M2에 걸린 전압을 접지전압 공급단으로 디스차징하기 위한 제2 풀다운 드라이빙부(200)와, 제2 풀다운 드라이빙부(200)의 오프 시 노드 M2를 논리레벨 'H'에 대응되는 레벨로 유지하기 위한 레벨 유지부(500)와, 노드 M1에 걸린 전압을 반전시켜 피드백신호(FD)로 출력하고, 지연시켜 워드라인-구동신호(MWLB)로 출력하기 위한 지연부(400)와, 워드라인-오프신호(WLOFFB)와 피드백신호(FD)에 응답하여 노드 M1을 풀업 구동하기 위한 풀업 드라이빙부(300)를 구비한다.Referring to FIG. 6, the word line driving control apparatus of the present invention may include a first pull-down driving unit 100 for discharging the voltage applied to the node M1 to the node M2 in response to the address-information signal BAX34 <0: 3>. A second pull-down driving unit 200 for discharging the voltage applied to the node M2 to the ground voltage supply terminal in response to the address-information signals BAX56 <0: 3> and BAX78 <0>; When the pull-down driving unit 200 is turned off, the level holding unit 500 for maintaining the node M2 at a level corresponding to the logic level 'H' and the voltage applied to the node M1 are inverted and output as a feedback signal FD. A delay unit 400 for delaying and outputting the word line-drive signal MWLB, and a pull-up driving unit 300 for driving the node M1 in response to the word line-off signal WLOFFB and the feedback signal FD. ).

그리고 제2 풀다운 드라이빙부(200)는 노드 M2와 노드 M3 사이에 병렬 연결되고, 해당 어드레스-정보신호(BAX56<0:3>)에 응답하여 구동되는 NMOS트랜지스터 NM9, NM10, NM11, NM12와, 해당 어드레스-정보신호 BAX78<0>에 응답하여 노드 M3에 걸린 전압을 접지전압의 공급단으로 디스차징하기 위한 NMOS트랜지스터 NM13를 포함한다.In addition, the second pull-down driving unit 200 is connected in parallel between the node M2 and the node M3, the NMOS transistors NM9, NM10, NM11, NM12 driven in response to the corresponding address-information signal BAX56 <0: 3>, And a NMOS transistor NM13 for discharging the voltage applied to the node M3 to the supply terminal of the ground voltage in response to the address-information signal BAX78 <0>.

제1 풀다운 드라이빙부(100)는 노드 M1와 노드 M2 사이에 병렬 연결되고, 해당 어드레스-정보신호(BAX34<0:3>)에 응답하여 구동되는 NMOS트랜지스터 NM5, NM6, NM7, NM8를 포함한다.The first pull-down driving unit 100 includes NMOS transistors NM5, NM6, NM7, and NM8 connected in parallel between the node M1 and the node M2 and driven in response to the corresponding address-information signal BAX34 <0: 3>. .

지연부(400)는 노드 M1에 걸린 전압을 반전시켜 피드백신호(FD)로 출력하기 위한 인버터(I2)와, 인버터(I2)의 출력신호를 반전시켜 워드라인-구동신호(MWLB)로 출력하기 위한 인버터(I3)를 포함한다.The delay unit 400 inverts the voltage applied to the node M1 to output the feedback signal FD, and inverts the output signal of the inverter I2 to output the word line-drive signal MWLB. For the inverter I3.

풀업 드라이빙부(300)는 워드라인-오프신호(WLOFFB)를 게이트 입력으로 가지며 고전압(VPP)의 공급단과 노드 M1 사이에 소스-드레인 경로를 갖는 PMOS트랜지스터(PM4)와, 피드백신호(FD)에 걸린전압을 게이트 입력으로 가지며 고전압(VPP)의 공급단과 노드 M1 사이에 소스-드레인 경로를 갖는 PMOS트랜지스터(PM5)를 포함한다.The pull-up driving unit 300 includes a word line-off signal WLOFFB as a gate input and a PMOS transistor PM4 having a source-drain path between the supply terminal of the high voltage VPP and the node M1 and a feedback signal FD. It includes a PMOS transistor (PM5) having the applied voltage as a gate input and having a source-drain path between the supply terminal of the high voltage (VPP) and the node M1.

레벨 유지부(500)는 어드레스-정보신호 BAX78<0>에 응답하여 고전압(VPP)을 노드 M2에 인가하기 위한 PMOS트랜지스터(PM6)를 포함한다.The level maintaining unit 500 includes a PMOS transistor PM6 for applying the high voltage VPP to the node M2 in response to the address-information signal BAX78 <0>.

참고적으로, 레벨 유지부(500)의 구동전원으로 외부전압(VDD)을 인가받아도, 동일한 효과를 가질 수 있다. 또한, PMOS트랜지스터 대신 NMOS트랜지스터를 사용하여도, 동일한 효과를 얻을 수 있다.For reference, even when the external voltage VDD is applied as the driving power of the level maintaining part 500, the same effect can be obtained. The same effect can also be obtained by using an NMOS transistor instead of a PMOS transistor.

또한, 본 발명은 도면에 도시된 바와 같이, NMOS트랜지스터 NM13에 인가되는 어드레스-정보신호 BAX78<1:3>에 따라 구분되어 구비된다. 이들은, 인가받는 어드레스-정보신호 BAX78<1:3>만이 다르고 동일한 회로적 구현 및 구동을 가지므로, 구체적인 언급은 생략한다.In addition, the present invention is provided according to the address-information signal BAX78 <1: 3> applied to the NMOS transistor NM13. Since only the address-information signal BAX78 <1: 3> to which they are applied are different and have the same circuit implementation and driving, specific reference is omitted.

한편, 구동을 간략히 살펴보도록 한다. 특히, 어드레스-정보신호 BAX34<0:3> 및 BAX56<0:3>은 논리레벨 H로, 어드레스-정보신호 BAX78<0>은 논리레벨 'L'를 갖는 경우를 살펴보도록 한다. 이러한 조건에서, 종래에는 기생 커패시턴스와, 외부전압(VDD) 및 고전압(VPP)의 레벨 변동에 따라 워드라인-구동신호(MWLB)가 논리레벨 'L'로 활성화되는 오동작이 발생했다.Meanwhile, the driving will be briefly described. In particular, the case where the address-information signals BAX34 <0: 3> and BAX56 <0: 3> have a logic level H, and the address-information signal BAX78 <0> have a logic level 'L' will be described. Under these conditions, there has conventionally been a malfunction in which the word line-driving signal MWLB is activated to a logic level 'L' in accordance with the parasitic capacitance and the level variation of the external voltage VDD and the high voltage VPP.

먼저, 제1 및 제2 풀다운 드라이빙부(100, 200) 내 NMOS트랜지스터 NM5 ~ NM12가 액티브되므로, 노드 M1과 M2 사이에 차지 쉐어링이 이뤄진다. 또한, 어드레스-정보신호 BAX78<0>가 논리레벨 L로 비활성화되므로, 레벨 유지부의 PMOS트랜지스터 PM6가 액티브되어 노드 M2를 고전압으로 드라이빙한다. 따라서, 노드 M1와 M2 사이의 차지 쉐어링이 일어나더라도, 노드 M1의 레벨이 인버터 I2 내 PMOS트랜지스터를 턴온시킬 만큼 낮아지지 않는다. 참고적으로, 이때 NMOS트랜지스터 NM13은 오 프되어 있다.First, since the NMOS transistors NM5 to NM12 in the first and second pull-down driving units 100 and 200 are active, charge sharing is performed between the nodes M1 and M2. In addition, since the address-information signal BAX78 <0> is deactivated to the logic level L, the PMOS transistor PM6 of the level holding unit is activated to drive the node M2 at a high voltage. Thus, even if charge sharing between nodes M1 and M2 occurs, the level of node M1 is not low enough to turn on the PMOS transistor in inverter I2. For reference, the NMOS transistor NM13 is off at this time.

이어, 지연부(30)는 노드 M1에 걸린 전압을 반전하여 피드백신호(FD)를 논리레벨 'L'로, 워드라인-구동신호(MWLB)는 논리레벨 'H'로 비활성화한다.Subsequently, the delay unit 30 inverts the voltage applied to the node M1 to deactivate the feedback signal FD to the logic level 'L' and the word line-drive signal MWLB to the logic level 'H'.

한편, 전술한 본 발명에 따른 반도체메모리소자는 어드레스-정보신호 BAX78이 논리레벨 'L'를 유지하고 있는 동안, 어드레스-정보신호 BAX34, BAX56이 논리레벨'H'로 천이하더라도, 레벨 유지부를 더 포함하여 노드 M2가 논리레벨 'H'를 유지하도록 함으로써, 노드 M1의 전압 레벨이 떨어지지 않는다.On the other hand, the semiconductor memory device according to the present invention described above further adds a level holding part even if the address-information signals BAX34 and BAX56 transition to the logic level 'H' while the address-information signal BAX78 maintains the logic level 'L'. By including the node M2 to maintain the logic level 'H', the voltage level of the node M1 does not drop.

또한, 워드라인-오프신호의 비활성화 시점이 어드레스-정보신호의 활성화 시점보다 빠르더라도, 노드 M2의 레벨이 레벨 유지부에 의해 고전압 레벨로 유지되므로, 노드 M1의 레벨이 하강하지 않아, 종래 기생 커패시터 사이에 발생하는 차지 쉐어링에 의한 오동작이 방지된다. 따라서, 워드라인-오프신호의 비활성화 시점을 빠르게 하여, 보다 빠른 구동이 이뤄지도록 할 수 있다.Further, even if the time of deactivation of the word line-off signal is earlier than the time of activation of the address-information signal, the level of the node M2 is maintained at the high voltage level by the level maintaining portion, so that the level of the node M1 does not fall, so that the conventional parasitic capacitor Malfunctions caused by charge sharing occurring in between are prevented. Therefore, the time for deactivation of the word line-off signal can be made faster, so that faster driving can be achieved.

전술한 바와 같은 효과는, 외부전압 및 고전압의 레벨이 불안정 경우에도, 동일하게 나타난다.The above effects are the same even when the levels of the external voltage and the high voltage are unstable.

그러므로, 전술한 본 발명과 같이, 외부전압에서 고전압 레벨로 신호를 승압시키는 과정을 갖는 워드라인 구동 제어장치는, 각 노드의 기생 커패시턴스, 외부전압 및 고전압의 레벨에 의한 오동작을 방지한다. 따라서, 신호의 비활성화 및 활성화 시점의 결정에 있어 마진을 가질 수 있어, 보다 빠른 구동이 가능하다.Therefore, as described above, the word line drive control apparatus having a step of boosting a signal from an external voltage to a high voltage level prevents malfunction due to parasitic capacitance, external voltage, and high voltage level of each node. Therefore, it is possible to have a margin in the deactivation of the signal and the determination of the activation time, thereby enabling faster driving.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치 환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiments and the accompanying drawings, and various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be apparent to those of ordinary skill in Esau.

전술한 본 발명은 각 노드의 기생 커패시턴스, 외부전압 및 고전압의 레벨에 의한 오동작을 방지할 수 있으며, 신호의 비활성화 및 활성화 시점의 마진으로 보다 빠른 구동이 가능하다.The above-described present invention can prevent malfunction due to parasitic capacitance, external voltage and high voltage level of each node, and can be driven faster by deactivation of signal and margin at the time of activation.

Claims (10)

복수의 어드레스-정보신호에 응답하여 노드 M1에 걸린 전압을 노드 M2로 디스차징하기 위한 제1 풀다운 드라이빙수단;First pull-down driving means for discharging the voltage applied to the node M1 to the node M2 in response to the plurality of address-information signals; 복수의 어드레스-정보신호에 응답하여 노드 M2에 걸린 전압을 접지전압 공급단으로 디스차징하기 위한 제2 풀다운 드라이빙수단;Second pull-down driving means for discharging the voltage applied to the node M2 to the ground voltage supply terminal in response to the plurality of address-information signals; 상기 제2 풀다운 드라이빙수단의 오프 시 상기 노드 M2를 논리레벨 'H'에 대응되는 레벨로 유지하기 위한 레벨 유지수단;Level holding means for maintaining the node M2 at a level corresponding to a logic level 'H' when the second pull-down driving means is turned off; 상기 노드 M1에 걸린 전압을 반전시켜 피드백신호로 출력하고, 지연시켜 워드라인의 구동을 제어하기 위한 워드라인-구동신호로 출력하기 위한 지연수단; 및Delay means for inverting the voltage applied to the node M1 as a feedback signal and delaying the voltage to output a word line-drive signal for controlling the driving of the word line; And 워드라인-오프신호와 상기 피드백신호에 응답하여 상기 노드 M1을 풀업 구동하기 위한 풀업 드라이빙수단Pull-up driving means for driving the node M1 in response to a word line-off signal and the feedback signal; 을 구비하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device having a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2 풀다운 드라이빙부는,The second pull-down driving unit, 상기 노드 M2와 노드 M3 사이에 병렬 연결되고, 제1 내지 제4 어드레스-정보신호에 응답하여 구동되는 제1 내지 제4 드라이버와,First to fourth drivers connected in parallel between the node M2 and the node M3 and driven in response to first to fourth address-information signals; 제5 어드레스-정보신호에 응답하여 상기 노드 M3에 걸린 전압을 접지전압의 공급단으로 디스차징하기 위한 제5 드라이버를 포함하는 것And a fifth driver for discharging the voltage applied to the node M3 to the supply terminal of the ground voltage in response to a fifth address-information signal. 을 특징으로 하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device characterized in that. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 레벨 유지수단은,The level maintaining means, 상기 제5 어드레스-정보신호의 비활성화에 응답하여 상기 고전압을 상기 노드 M2에 인가하기 위한 제1 PMOS트랜지스터를 포함하는 것And a first PMOS transistor for applying the high voltage to the node M2 in response to deactivation of the fifth address-information signal. 을 특징으로 하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device characterized in that. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 레벨 유지수단은,The level maintaining means, 상기 제5 어드레스-정보신호의 비활성화에 응답하여 상기 외부전압을 상기 노드 M2에 인가하기 위한 제1 PMOS트랜지스터를 포함하는 것And a first PMOS transistor for applying the external voltage to the node M2 in response to the deactivation of the fifth address-information signal. 을 특징으로 하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device characterized in that. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 레벨 유지수단은,The level maintaining means, 상기 제5 어드레스-정보신호의 비활성화에 응답하여 상기 고전압을 상기 노드 M2에 인가하기 위한 제1 NMOS트랜지스터를 포함하는 것And a first NMOS transistor for applying the high voltage to the node M2 in response to deactivation of the fifth address-information signal. 을 특징으로 하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device characterized in that. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 레벨 유지수단은,The level maintaining means, 상기 제5 어드레스-정보신호의 비활성화에 응답하여 상기 외부전압을 상기 노드 M2에 인가하기 위한 제1 NMOS트랜지스터를 포함하는 것And a first NMOS transistor for applying the external voltage to the node M2 in response to deactivation of the fifth address-information signal. 을 특징으로 하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device characterized in that. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 2 to 6, 상기 제1 풀다운 드라이빙수단은,The first pull-down driving means, 상기 노드 M1와 노드 M2 사이에 병렬 연결되고, 제6 내지 제9 어드레스-정보신호에 응답하여 구동되는 제6 내지 제9 드라이버를 포함하는 것And a sixth to ninth driver connected in parallel between the node M1 and the node M2 and driven in response to the sixth to ninth address-information signals. 을 특징으로 하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device characterized in that. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 지연수단은,The delay means, 상기 노드 M1에 걸린 전압을 반전시켜 상기 피드백신호로 출력하기 위한 제1 인버터와, 상기 제1 인버터의 출력신호를 반전시켜 상기 워드라인-구동신호로 출력하기 위한 제2 인버터를 포함하는 것A first inverter for inverting the voltage applied to the node M1 and outputting the feedback signal, and a second inverter for inverting the output signal of the first inverter and outputting the word line driving signal; 을 특징으로 하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device characterized in that. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 풀업 드라이빙수단은,The pull-up driving means, 상기 워드라인-오프신호를 게이트 입력으로 가지며 상기 고전압의 공급단과 상기 노드 M1 사이에 소스-드레인 경로를 갖는 제2 PMOS트랜지스터와,A second PMOS transistor having the word line-off signal as a gate input and having a source-drain path between the high voltage supply terminal and the node M1; 상기 피드백신호에 걸린전압을 게이트 입력으로 가지며 상기 고전압의 공급단과 상기 노드 M1 사이에 소스-드레인 경로를 갖는 제3 PMOS트랜지스터를 포함하는 것A third PMOS transistor having a voltage applied to the feedback signal as a gate input and having a source-drain path between the high voltage supply terminal and the node M1; 을 특징으로 하는 반도체메모리소자.A semiconductor memory device characterized in that. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제1 내지 제9 드라이버는 NMOS트랜지스터인 것을 특징으로 하는 반도체메모리소자.And the first to ninth drivers are NMOS transistors.
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