KR20080085476A - 수차 보정 액정 렌즈 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR20080085476A
KR20080085476A KR1020070027075A KR20070027075A KR20080085476A KR 20080085476 A KR20080085476 A KR 20080085476A KR 1020070027075 A KR1020070027075 A KR 1020070027075A KR 20070027075 A KR20070027075 A KR 20070027075A KR 20080085476 A KR20080085476 A KR 20080085476A
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이백규
김상화
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삼성전기주식회사
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Abstract

수차 보정 액정 렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명은 하부 유리층 상에 하부 투명 전극층, 액정층 및 상부 유리층을 순차적으로 구비한 수차 보정 액정 렌즈에 있어서, 상기 상부 유리층 상에서 광이 입사되는 개구 영역을 가지도록 패터닝된 금속 전극 패턴을 덮는 제 1 절연층; 상기 제 1 절연층 상에서 상기 금속 전극 패턴의 일부에 중첩하여 상기 개구 영역의 내측으로 연장된 개구 형태로 패터닝된 제 1 투명 전극 패턴을 덮는 제 2 절연층; 상기 제 2 절연층 상에서 상기 제 1 투명 전극 패턴의 일부에 중첩하여 상기 제 1 투명 전극 패턴의 내측으로 연장된 개구 형태로 패터닝된 제 2 투명 전극 패턴을 덮는 제 3 절연층; 및 상기 제 3 절연층 상에 구비된 상부 투명 전극층을 포함하여 구성되는 수차 보정 액정 렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
본 발명은 다수의 전극 패턴 사이에 발생하는 의도하지 않은 전위차에 의한 액정 오정렬의 결함을 방지할 수 있는 수차 보정 액정 렌즈를 제공할 수 있다.
수차 보정 액정 렌즈, 투명 전극, 액정 오정렬

Description

수차 보정 액정 렌즈 및 그 제조 방법{Aberration correcting liquid crystal lens and method of manufacturing the same}
도 1은 종래의 액정 렌즈를 설명하기 위한 평면도.
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 수차 보정 액정 렌즈의 전극 패턴을 설명하기 위한 도면.
도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 수차 보정 액정 렌즈를 설명하기 위한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10: 상부 유리층 20: 제 1 절연층
21: 금속 전극 패턴 30: 제 2 절연층
31: 제 1 투명 전극 패턴 40: 제 3 절연층
41: 제 2 투명 전극 패턴 50: 상부 투명 전극층
60: 하부 유리층 70: 하부 투명 전극층
80: 액정층
본 발명은 수차 보정 액정 렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 액정 렌즈에 구비되는 다수의 전극 패턴으로 발생하는 의도하지 않은 전위차에 의한 액정 정렬의 결함을 방지하기 위한 수차 보정 액정 렌즈 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
액정 렌즈는 액정의 전기 광학 특성을 이용하여 광을 제어하는 것으로, 액정은 전압 무인가시에 액정 분자가 기판 면에 대하여 수직한 호메오트로픽(homeotropic) 배열 상태와, 수평한 호모지니어스(homogeneous) 배열 상태가 함께 존재하고, 액정 분자는 한 쌍의 기판 사이에서 일방에서 타방을 향하여 그 배열 방향이 기판면 법선에 대하여 연속적으로 90°로 변화한다.
이와 같은 액정을 구비하는 액정 렌즈 셀의 모드로서는 TN(Twist Nematic) 모드, STN 모드, FLC(Ferroelectric Liquid-Crystal, 강유전성 액정) 모드 등이 종래부터 제안되고 있다. 또한, CD 장치나 DVD 장치에 사용되는 광 픽업의 초점보정 등에 액정의 굴절률을 바꿔 초점거리를 제어하기 위해 액정 렌즈가 이용되고 있다. 인가전압에 의해 액정 분자의 배열상태를 바꾸면 액정 층의 굴절률이 변화하여 초점거리가 변한다.
그리고, CD 장치나 DVD 장치에 사용되는 광 픽업의 초점 보정 등에 액정의 굴절률을 바꿔 초점거리를 제어하는 액정 렌즈에서는 복수의 전극 패턴을 가지며, 각각의 전극 패턴에 인가되는 전압을 변화하는 것에 의해 각각의 전극 상의 액정의 굴절률을 변경하여 액정 셀의 초점거리를 제어한다.
그러나, 이와 같은 종래의 액정 렌즈는 도 1에 도시된 바와 광 축을 중심으 로 거의 회전 대칭적인 전위 분포를 실현한 다수의 전극 패턴을 구비한 형태를 예로 들 수 있고, 이와 같은 전극 패턴을 구비하는 것에 의하여 반지름 방향으로 단차적으로 변화하는 2차 함수적인 전위 분포를 실현할 수 있다.
여기에서 가장 중앙의 원형 모양의 전극 패턴(3)의 전위를 V1으로 하고, 가장 외측의 폭이 있는 원형의 전극 패턴(4)의 전위를 V2로 설정한다. 중앙 전극 패턴(3)과 최외곽의 전극 패턴(4)과의 사이에 있는 원형의 전극 패턴(이하, 중간 전극 패턴으로 지칭함)의 전위는 V1과 V2 사이의 전위로 설정할 수 있다.
각 전극 패턴을 각각 독립인 전위로 구동할 수 있도록 각각의 전극 패턴을 직접 전원에 접속하여 구성해도 좋지만, 도 1에 나타나듯이 V1의 입력단 전선과 V2의 입력단 전선 사이를 다수의 저항체(1)로 접속하고, 저항체(1)의 저항을 각 전극 패턴에 접속하는 것에 의해 중간 전극 패턴의 전위를 전위 V1과 전위 V2와의 사이의 전위로 설정할 수 있다.
그러나, 전극 패턴을 형성하는 부분에서 발생하는 패턴 간의 전위 간섭에 의해 의도한 것과 다른 선간 전위차가 형성되어, 하부에 위치하는 액정(도시하지 않음)의 정렬에 영향을 끼치고, 이에 따라 전극 패턴의 형성 부분에 광학적으로 극복할 수 없는 액정 오정렬 등의 광학적인 결함이 발생한다. 또한, 다른 광학 부품에 의해 또는 제조 과정에서 정밀도의 문제 등으로 인해 광 간섭 및 비점 수차 등의 문제가 발생하여 이를 보정할 필요가 있다.
본 발명은 액정 렌즈에 구비되는 다수의 전극 패턴에 의해 의도하지 않은 전 위차에 의한 액정 오정렬의 결함을 방지하기 위한 수차 보정 액정 렌즈를 제공하는데 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 다수의 전극 패턴에 의해 의도하지 않은 전위차에 의한 액정 오정렬의 결함을 방지하기 위한 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법을 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 하부 유리층(60) 상에 하부 투명 전극층(70), 액정층(80) 및 상부 유리층(10)을 순차적으로 구비한 수차 보정 액정 렌즈에 있어서, 상기 상부 유리층(10) 상에서 광이 입사되는 개구 영역을 가지도록 패터닝된 금속 전극 패턴(21)을 덮는 제 1 절연층(20); 상기 제 1 절연층(20) 상에서 상기 금속 전극 패턴(21)의 일부에 중첩하여 상기 개구 영역의 내측으로 연장된 개구 형태로 패터닝된 제 1 투명 전극 패턴(31)을 덮는 제 2 절연층(30); 상기 제 2 절연층(30) 상에서 상기 제 1 투명 전극 패턴(31)의 일부에 중첩하여 상기 제 1 투명 전극 패턴(31)의 내측으로 연장된 개구 형태로 패터닝된 제 2 투명 전극 패턴(41)을 덮는 제 3 절연층(40); 및 상측에서 전기적 연결을 위해 상기 제 3 절연층(40) 상에 구비된 상부 투명 전극층(50)을 포함하여 구성되는 수차 보정 액정 렌즈에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 상부 유리층(10) 상에 광이 입사되는 개구 영역을 가지는 금속 전극 패턴(21)과 상기 금속 전극 패턴(21)에서 외측으로 연장되는 도선 패턴을 형성하는 단계; 상기 금속 전극 패턴(21)과 상기 금속 전극 패턴(21)의 도선 패 턴을 덮는 제 1 절연층(20)을 형성하는 단계; 상기 제 1 절연층(20) 상에 상기 금속 전극 패턴(21)의 일부에 중첩하여 상기 개구 영역의 내측으로 연장된 개구 형태의 투명 전극 패턴과 상기 투명 전극 패턴에서 외측으로 연장되는 도선 패턴을 형성하는 단계; 상기 투명 전극 패턴과 상기 도선 패턴을 덮는 제 2 절연층(30)을 형성하는 단계; 상기 제 2 절연층(30) 상에서 아래측의 투명 전극 패턴의 일부에 중첩하여 상기 아래측 투명 전극 패턴의 개구 내측으로 연장된 개구 형태로 패터닝된 다른 투명 전극 패턴 및 상기 다른 투명 전극 패턴에서 외측으로 연장되는 도선 패턴을 내포하는 절연층을 다수 형성하는 단계; 상기 다수의 절연층 중 최상부 절연층 상에 전기적 연결을 위한 상부 투명 전극층(50)을 형성하는 단계; 및 하부 유리층(60)의 상측에 구비된 하부 투명 전극층(70)과 상기 상부 유리층(10) 사이에 액정층(80)을 구비하는 단계를 포함하는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법에 관한 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 수차 보정 액정 렌즈의 전극 패턴을 설명하기 위한 도면이고, 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 수차 보정 액정 렌즈를 설명하기 위한 도면이다.
도 2a 도 2b에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 수차 보정 액정 렌즈의 전극 패턴은 다수의 층으로 구비되어, 하부 투명 전극층(70)을 구비한 하부 유리층(60)과 함께 액정층(80)을 사이에 구비하는 상부 유리층(10) 상에서 원형의 개구부를 가지는 금속 전극 패턴(21)을 포함하는 제 1 절연층(20), 제 1 절연층(20) 상에서 금속 전극 패턴(21)에 중첩하여 내측으로 연장된 개구 형태의 제 1 투명 전극 패턴(31)을 구비하는 제 2 절연층(30), 제 2 절연층(30) 상에서 제 1 투명 전극 패턴(31)에 중첩하여 내측으로 연장된 개구 형태의 제 2 투명 전극 패턴(41)을 구비하는 제 3 절연층(40), 및 상측에서 전기적 연결을 위해 제 3 절연층(40) 상에 구비된 상부 투명 전극층(50)을 포함하여 구성된다.
물론, 제 3 절연층(40)과 상부 투명 전극층(50) 사이에 다른 투명 전극 패턴을 구비하는 절연층을 다수 구비할 수 있고, 다른 광학 부품에 의해 또는 정밀도의 문제 등으로 인해 비점 수차를 발생시키는 것이 필요한 경우에는 금속 전극 패턴(21)과 다수의 투명 전극 패턴(31,41)을 타원으로 형성할 수 있다.
상부 유리층(10)은 상측에 위치하는 다수의 절연층(20,30,40)과 상부 투명 전극층(50)을 지지하고, 두께에 따라 아래측에 위치하는 액정의 초점 심도를 결정할 수 있는 역할을 한다.
제 1 절연층(20)을 포함하는 다수의 절연층(20,30,40)은 전기적 절연의 기능을 수행하는 층으로, 예를 들어 SiO2의 실리콘 산화물 또는 SiN의 실리콘 질화물로 형성되고, 제 1 절연층(20)의 금속 전극 패턴(21)은 전극의 역할을 하는 금속의 도전성 재질로서 예를 들어, 알루미늄, 크롬, 니켈 및 은으로 형성되어 조리개(stop)의 역할을 수행할 수 있다.
제 1 투명 전극 패턴(31)을 포함하는 다수의 투명 전극 패턴(31,41)과 상,하부 투명 전극층(50,70)은 투명하고 도전성을 가지는 재질로서, 예를 들어 ITO, ZnO, RuOx, TiOx, IrOx 중 하나의 재질을 이용하여 수십Å ~ 수백Å의 두께로 형성되어 전위를 인가할 수 있는 전극의 역할을 수행할 수 있고, 제 1 투명 전극 패턴(31)은 아래측의 금속 전극 패턴(21)에 중첩하여 원점 방향의 내측으로 연장되어 구비되며, 제 2 투명 전극 패턴(41)은 아래측의 제 1 투명 전극 패턴(31)에 중첩하여 원점 방향의 내측으로 원형 또는 타원형으로 연장되어 구비될 수 있다.
여기서, 제 2 투명 전극 패턴(41)이 구비되는 제 3 절연층(40)의 위쪽으로 다른 투명 전극 패턴을 각각 구비한 절연층을 다수 구비하고, 각각의 절연층에 구비된 다른 투명 전극 패턴은 제 2 투명 전극 패턴(41)의 구성처럼 바로 아래측의 투명 전극 패턴에 중첩하여 원점 방향의 내측으로 원형 또는 타원형으로 연장 구비될 수 있다.
이와 같이 구비된 다수의 투명 전극 패턴에 대해, 전기적 연결을 위한 도선 패턴이 각 절연층에서 외측 방향으로 도출되어 구비되고, 도 3에 도시된 바와 같이 소정의 전압(V0,V1,V2,V3)이 각각의 도선 패턴을 따라 투명 전극 패턴에 각각 공급될 수 있다.
또한, 각각의 도선 패턴을 따라 투명 전극 패턴에 소정의 전압(V0,V1,V2,V3)이 공급될 때, SiO2의 실리콘 산화물 또는 SiN의 실리콘 질화물로 형성되는 각각의 절연층에 의해 전기적으로 절연되어 차폐되므로, 투명 전극 패턴 사이에 전위 간섭 에 의한 전위차가 발생하지 않게 된다.
따라서, 도 3에 도시된 바와 같이, 상부 유리층(10)과 하부 유리층(60)의 윗면에 위치하는 하부 투명 전극층(70) 사이에 액정층(80)을 구비한 액정 렌즈가 구동함에 따라, 투명 전극 패턴 사이에 전위 간섭에 의한 의도하지 않은 전위차가 발생하지 않게 되어 액정 오정렬의 결함 발생을 방지할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예에 따른 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법을 도면을 참조하여 설명한다.
먼저, 소정의 상부 유리층(10) 상에 전도성의 금속 재질 예를 들어, 알루미늄, 크롬, 니켈 및 은 등을 스퍼터링(sputtering) 등의 PVD(Physical Vapor Deposition) 방법을 이용하여 금속층으로 증착하고, 증착 형성된 금속층 상에 포토레지스트(photo-resist) 패턴(도시하지 않음)을 구비하며, 이러한 포토레지스트 패턴에 대해 식각 및 에싱(ashing)을 수행하여 상부 유리층(10) 상에 원형 또는 타원형의 개구부를 가지는 금속 전극 패턴(21)과 금속 전극 패턴(21)에서 외측으로 연장되는 도선 패턴을 형성할 수 있다.
상부 유리층(10) 상에 금속 전극 패턴(21)과 도선 패턴을 형성한 후, 실란(silane) 가스를 이용한 CVD(Chemical Vapor Deposition) 방법을 수행하여, SiO2의 실리콘 산화물 또는 SiN의 실리콘 질화물이 금속 전극 패턴(21)과 도선 패턴을 덮도록 제 1 절연층(20)을 형성한다. 여기서, 제 1 절연층(20)에 대해 어닐링(annealing)의 열처리 공정을 수행하여, 제 1 절연층(20)을 평탄화시킬 수도 있 다.
제 1 절연층(20)을 형성한 후, 제 1 절연층(20) 상에 예를 들어, ITO, ZnO, RuOx, TiOx, IrOx 중 하나의 산화물층을 CVD 방법을 이용하여 수십Å ~ 수백Å의 두께로 형성하고, 산화물층 상에 포토레지스트 패턴(도시하지 않음)을 구비한다.
산화물층 상에 구비된 포토레지스트 패턴에 대해 식각 및 에싱을 수행하여 금속 전극 패턴(21)에 중첩하고, 금속 전극 패턴(21)의 개구부 내측 방향으로 연장되는 제 1 투명 전극 패턴(31)과 제 1 투명 전극 패턴(31)에서 외측으로 연장되는 도선 패턴을 형성할 수 있다.
이어서, 실란 가스를 이용한 CVD 방법을 수행하여, SiO2의 실리콘 산화물 또는 SiN의 실리콘 질화물이 제 1 투명 전극 패턴(31)과 제 1 투명 전극 패턴(31)의 도선 패턴을 덮는 제 2 절연층(30)을 형성한다. 물론, 제 2 절연층(30)에 대해 선택적으로 어닐링의 열처리 공정을 수행하여 제 2 절연층(30)을 평탄화시킬 수도 있다.
제 2 절연층(30)을 형성한 후, 제 1 투명 전극 패턴(31)의 형성 과정과 동일하게 제 2 절연층(30) 상에 ITO, ZnO, RuOx, TiOx, IrOx 중 하나의 산화물층을 CVD 방법을 이용하여 수십Å ~ 수백Å의 두께로 형성하고, 산화물층 상에 구비된 포토레지스트 패턴(도시하지 않음)에 대해 식각 및 에싱을 수행하여 제 1 투명 전극 패턴(31)에 중첩하여 원점 방향의 내측으로 원형 또는 타원형으로 연장 구비되는 제 2 투명 전극 패턴(41)과 제 2 투명 전극 패턴(41)에서 외측으로 연장되는 도선 패 턴을 형성할 수 있다.
제 2 투명 전극 패턴(41)과 제 2 투명 전극 패턴(41)의 도선 패턴을 형성한 후, 제 2 절연층(30)의 형성 과정과 동일하게 실란 가스를 이용한 CVD 방법을 수행하여, SiO2의 실리콘 산화물 또는 SiN의 실리콘 질화물이 제 2 투명 전극 패턴(41)과 제 2 투명 전극 패턴(41)의 도선 패턴을 덮는 제 3 절연층(40)을 형성할 수 있다.
부가적으로, 도 2a에 도시된 제 3 절연층(40) 상에 제 1 투명 전극 패턴(31) 및 제 2 투명 전극 패턴(41)과 동일한 투명 전극 패턴을 각각 구비한 절연층(도시하지 않음)을 다수 구비하고, 각각의 절연층에 구비된 투명 전극 패턴은 각각 제 2 투명 전극 패턴(41)의 구성처럼 바로 아래측의 투명 전극 패턴에 중첩하여 원점 방향의 내측으로 원형 또는 타원형으로 연장 구비될 수도 있다.
이어서, 제 3 절연층(40)과 같은 최상부의 절연층 상에 ITO, ZnO, RuOx, TiOx, IrOx 중 하나의 산화물층으로 이루어진 상부 투명 전극층(50)을 CVD 방법을 이용하여 형성할 수 있다.
이와 같이 형성된 상부 유리층(10)의 상부부분에 대해, 하부 투명 전극층(70)이 형성된 하부 유리층(60)과의 사이에 액정층(80)을 구비하고, 액정층(80)을 구비한 상태에서 제 1 절연층(20)의 금속 전극 패턴(21)을 기준으로 외측으로 이격하여 절단(sawing)하며, 각 투명 전극 패턴의 도선 패턴에 소정의 전압(V0,V1,V2,V3)을 연결하여 수차 보정 액정 렌즈를 형성한다.
본 발명의 실시예에 따른 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법은 각각의 투명 전극 패턴(31,41)과 금속 전극 패턴(21) 간의 전기적인 접촉을 피할 수 있는 방식의 수차 보정 액정 렌즈를 제공할 수 있는 제조 방법으로서, 투명 전극 패턴 사이의 전위차가 절연층에 의해 차폐되므로 두 층에 의한 전위는 다른 층에 영향을 주지 않아 의도하지 않은 전위차에 의한 액정 오정렬의 결함을 방지할 수 있다.
또한, 각 투명 전극 패턴의 도선 패턴에 인가되는 전압(V0, V1, V2, V3)을 조절함으로써 다양하고 미세한 수차 보정을 수행할 수 있고, 비점 수차를 발생시키는 것이 필요한 경우에는 금속 전극 패턴(21)을 포함하는 다수의 전극 패턴을 타원으로 형성하여 이용할 수 있다.
본 발명의 기술사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 전술한 실시예들은 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주의하여야 한다.
또한, 본 발명의 기술분야의 통상의 전문가라면 본 발명의 기술사상의 범위내에서 다양한 실시가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
상기한 바와 같이 본 발명은 다수의 전극 패턴 사이에 발생하는 의도하지 않은 전위차에 의한 액정 오정렬의 결함을 방지할 수 있는 수차 보정 액정 렌즈를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명은 투명 전극 패턴 사이의 전위차가 절연층에 의해 차폐되므로 두 층에 의한 전위는 다른 층에 영향을 주지 않아 의도하지 않은 전위차에 의한 액 정 오정렬의 결함을 방지할 수 있는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법을 제공할 수 있다.

Claims (13)

  1. 하부 유리층(60) 상에 하부 투명 전극층(70), 액정층(80) 및 상부 유리층(10)을 순차적으로 구비한 수차 보정 액정 렌즈에 있어서,
    상기 상부 유리층(10) 상에서 광이 입사되는 개구 영역을 가지도록 패터닝된 금속 전극 패턴(21)을 덮는 제 1 절연층(20);
    상기 제 1 절연층(20) 상에서 상기 금속 전극 패턴(21)의 일부에 중첩하여 상기 개구 영역의 내측으로 연장된 개구 형태로 패터닝된 제 1 투명 전극 패턴(31)을 덮는 제 2 절연층(30);
    상기 제 2 절연층(30) 상에서 상기 제 1 투명 전극 패턴(31)의 일부에 중첩하여 상기 제 1 투명 전극 패턴(31)의 내측으로 연장된 개구 형태로 패터닝된 제 2 투명 전극 패턴(41)을 덮는 제 3 절연층(40); 및
    상측에서 전기적 연결을 위해 상기 제 3 절연층(40) 상에 구비된 상부 투명 전극층(50)
    을 포함하여 구성되는 수차 보정 액정 렌즈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 3 절연층(40)과 상부 투명 전극층(50) 사이에서 아래측의 투명 전극 패턴에 일부 중첩하여 상기 아래측 투명 전극 패턴의 내측으로 연장된 개구 형태의 다른 투명 전극 패턴을 구비하는 다수의 다른 절연층을 더 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 투명 전극 패턴, 상기 상부 투명 전극층(50) 및 하부 투명 전극층(70)은 ITO, ZnO, RuOx, TiOx, IrOx 중 선택된 어느 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 금속 전극 패턴(21)의 개구 영역은 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 절연층은
    실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물인 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 금속 전극 패턴(21), 상기 투명 전극 패턴, 상부 투명 전극층(50) 및 하부 투명 전극층(70)은 각각 외측 방향으로 도출되어 전기적 연결을 위한 도선 패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈.
  7. 상부 유리층(10) 상에 광이 입사되는 개구 영역을 가지는 금속 전극 패턴(21)과 상기 금속 전극 패턴(21)에서 외측으로 연장되는 도선 패턴을 형성하는 단계;
    상기 금속 전극 패턴(21)과 상기 금속 전극 패턴(21)의 도선 패턴을 덮는 제 1 절연층(20)을 형성하는 단계;
    상기 제 1 절연층(20) 상에 상기 금속 전극 패턴(21)의 일부에 중첩하여 상기 개구 영역의 내측으로 연장된 개구 형태의 투명 전극 패턴과 상기 투명 전극 패턴에서 외측으로 연장되는 도선 패턴을 형성하는 단계;
    상기 투명 전극 패턴과 상기 도선 패턴을 덮는 제 2 절연층(30)을 형성하는 단계;
    상기 제 2 절연층(30) 상에서 아래측의 투명 전극 패턴의 일부에 중첩하여 상기 아래측 투명 전극 패턴의 개구 내측으로 연장된 개구 형태로 패터닝된 다른 투명 전극 패턴 및 상기 다른 투명 전극 패턴에서 외측으로 연장되는 도선 패턴을 내포하는 절연층을 다수 형성하는 단계;
    상기 다수의 절연층 중 최상부 절연층 상에 전기적 연결을 위한 상부 투명 전극층(50)을 형성하는 단계; 및
    하부 유리층(60)의 상측에 구비된 하부 투명 전극층(70)과 상기 상부 유리층(10) 사이에 액정층(80)을 구비하는 단계
    를 포함하는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 액정층(80)을 구비한 상태에서 상기 제 1 절연층(20)의 금속 전극 패턴(21)을 기준으로 외측으로 이격하여 절단(sawing)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 금속 전극 패턴(21)과 상기 금속 전극 패턴(21)의 도선 패턴을 형성하는 단계는
    PVD(Physical Vapor Deposition) 방법을 이용하여 금속층을 증착하는 단계; 및
    상기 증착된 금속층 상에 구비된 포토레지스트(photo-resist) 패턴에 대해 식각 및 에싱(ashing)을 수행하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법.
  10. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 투명 전극 패턴, 상기 상부 투명 전극층(50) 및 하부 투명 전극층(70)은 ITO, ZnO, RuOx, TiOx, IrOx 중 선택된 어느 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법.
  11. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 절연층을 다수 형성하는 단계는
    CVD 방법을 이용하여 ITO, ZnO, RuOx, TiOx, IrOx 중 선택된 어느 하나의 산화물층을 증착하는 단계; 및
    상기 산화물층 상에 구비된 포토레지스트 패턴에 대해 식각 및 에싱을 수행하여, 상기 다른 투명 전극 패턴과 상기 다른 투명 전극 패턴의 도선 패턴을 형성하는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법.
  12. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 절연층은
    실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물인 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법.
  13. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 금속 전극 패턴(21)의 개구 영역은 원형 또는 타원형인 것을 특징으로 하는 수차 보정 액정 렌즈의 제조 방법.
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