KR20080082718A - Color filter substrate and method of fabricating the same - Google Patents

Color filter substrate and method of fabricating the same Download PDF

Info

Publication number
KR20080082718A
KR20080082718A KR1020070023338A KR20070023338A KR20080082718A KR 20080082718 A KR20080082718 A KR 20080082718A KR 1020070023338 A KR1020070023338 A KR 1020070023338A KR 20070023338 A KR20070023338 A KR 20070023338A KR 20080082718 A KR20080082718 A KR 20080082718A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
color filter
black matrix
spacer
substrate
cell region
Prior art date
Application number
KR1020070023338A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
이상일
백정웅
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020070023338A priority Critical patent/KR20080082718A/en
Publication of KR20080082718A publication Critical patent/KR20080082718A/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512Light shielding layers, e.g. black matrix
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514Colour filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars

Abstract

A color filter substrate and a method for manufacturing the same are provided to simplify the process of work by implementing spacers according to superposition of at least two color filters. A color filter substrate includes a black matrix(120), color filters(130R,130G,130B), and spacers(140). The black matrix comparts cell regions on a substrate(110). The color filters are formed on the cell regions by the black matrix. The spacers overlapped with the black matrix maintain cell gaps. The spacers are formed by overlapping at least two color filters. The color filter substrate further includes an over coating layer formed on the color filter and an alignment layer formed on the over coating layer.

Description

컬러필터기판 및 그 제조방법{Color Filter Substrate and Method of Fabricating the same}Color Filter Substrate and Method of Manufacturing the Same {Color Filter Substrate and Method of Fabricating the same}

도 1은 수평 전계형 액정표시장치를 나타내는 단면도.1 is a cross-sectional view showing a horizontal electric field type liquid crystal display device.

도 2a 내지 도 2g는 종래의 수평 전계형 액정표시장치를 구성하는 컬러필터기판을 형성하는 과정을 도시한 공정도.2A to 2G are process drawings showing a process of forming a color filter substrate constituting a conventional horizontal field type liquid crystal display device.

도 3은 본 발명에 따른 수평 전계형 액정표시장치를 구성하는 컬러필터기판의 평면도.3 is a plan view of a color filter substrate constituting a horizontal field type liquid crystal display device according to the present invention;

도 4는 도 3에서 선 Ⅰ-Ⅰ'을 따라 절취한 컬러필터기판의 단면도.4 is a cross-sectional view of the color filter substrate taken along line II ′ in FIG. 3.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 블랙 매트릭스가 형성된 컬러 필터 기판의 평면도 및 단면도.5A and 5B are a plan view and a cross-sectional view of a color filter substrate having a black matrix according to a first embodiment of the present invention;

도 6a 및 도 6b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 적색 컬러필터 및 제 1 스패에서 패턴이 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.6A and 6B are a plan view and a cross-sectional view of a color filter substrate having a pattern formed in a red color filter and a first spar according to a first embodiment of the present invention;

도 7a 및 도 7b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 녹색 컬러필터 및 제 2 스페이서 패턴이 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.7A and 7B are a plan view and a cross-sectional view of a color filter substrate on which a green color filter and a second spacer pattern are formed, according to a first embodiment of the present invention;

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 청색 컬러필터가 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.8A and 8B are a plan view and a cross-sectional view of a color filter substrate on which a blue color filter according to a first embodiment of the present invention is formed;

도 9a 및 도 9b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 오버 코팅층이 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.9A and 9B are a plan view and a cross-sectional view of a color filter substrate on which an overcoating layer according to a first embodiment of the present invention is formed.

도 10a 및 도 10b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 배향막이 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.10A and 10B are a plan view and a sectional view of a color filter substrate on which an alignment film according to a second embodiment of the present invention is formed.

도 11은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 컬러필터기판의 평면도.11 is a plan view of a color filter substrate according to a second embodiment of the present invention;

도 12는 도 11에서 선 Ⅰ-Ⅰ'을 따라 절취한 컬러필터기판의 단면도.12 is a cross-sectional view of the color filter substrate taken along the line II ′ in FIG. 11.

도 13a 및 도 13b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 블랙 매트릭스가 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.13A and 13B are a plan view and a cross-sectional view of a color filter substrate having a black matrix according to a second embodiment of the present invention;

도 14a 및 도 14b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 적색 컬러필터 및 제 1 스패이서 패턴이 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.14A and 14B are a plan view and a cross-sectional view of a color filter substrate on which a red color filter and a first spacer pattern are formed according to a second embodiment of the present invention;

도 15a 및 도 15b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 녹색 컬러필터 및 제 2 스페이서 패턴이 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.15A and 15B are a plan view and a cross-sectional view of a color filter substrate on which a green color filter and a second spacer pattern are formed, according to a second embodiment of the present invention;

도 16a 및 도 16b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 청색 컬러필터가 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.16A and 16B are a plan view and a sectional view of a color filter substrate on which a blue color filter according to a second embodiment of the present invention is formed;

도 17a 및 도 17b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 오버 코팅층이 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.17A and 17B are a plan view and a sectional view of a color filter substrate on which an overcoating layer according to a second embodiment of the present invention is formed.

도 18a 및 도 18b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 배향막이 형성된 컬러필터기판의 평면도 및 단면도.18A and 18B are a plan view and a sectional view of a color filter substrate on which an alignment film according to a second embodiment of the present invention is formed;

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>       <Explanation of symbols for main parts of the drawings>

100,200 : 컬러필터기판 110,220 : 유리기판100,200: color filter substrate 110,220: glass substrate

120,220 : 블랙 매트릭스 130,230 : 칼라필터120,220: Black Matrix 130,230: Color Filter

130R,230R : 적색 칼라필터 130G,230G : 녹색 칼라필터130R, 230R: Red Color Filter 130G, 230G: Green Color Filter

130B,230B : 청색 칼라필터 140,240 : 스페이서130B, 230B: Blue color filter 140,240: Spacer

140a,240a : 제 1 스페이서 패턴 140b,240b : 제2 스페이서 패턴140a and 240a: first spacer pattern 140b and 240b: second spacer pattern

150,250 : 오버 코팅층 160,260 : 배향막150,250: overcoating layer 160,260: alignment film

본 발명은 컬러필터기판 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 적어도 두 개의 컬러필터가 중첩된 구조의 스페이서가 형성된 컬러필터기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a color filter substrate and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a color filter substrate having a spacer having a structure in which at least two color filters are overlapped, and a method of manufacturing the same.

액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 전계를 이용하여 액정의 광투과율을 조절하여 화상을 표시하는 장치로서, 셀마다 스위칭소자가 형성된 액티브 매트릭스(Active Matrix) 타입으로 구현되어 컴퓨터용 모니터, 사무기기, 셀룰라폰 등의 표시장치에 적용되고 있다.Liquid crystal display (LCD) is a device that displays an image by controlling the light transmittance of the liquid crystal by using an electric field, and is implemented as an active matrix type in which switching elements are formed for each cell, so that a computer monitor, office work, etc. It is applied to display apparatuses, such as a device and a cellular phone.

이와 같은 액정 표시 장치는 액정을 구동시키는 전계방향에 따라 수직방향의 전계를 이용하는 수직 전계형과 수평방향의 전계를 이용하는 수평 전계형으로 대별된다.Such liquid crystal displays are roughly classified into a vertical electric field type using a vertical electric field and a horizontal electric field type using a horizontal electric field according to the electric field direction for driving the liquid crystal.

이때, 수직 전계형의 액정 표시 장치는 상부 기판상에 형성된 공통전극과 하부기판상에 형성된 화소전극이 서로 대향되게 배치되어 이들 사이에 형성되는 수직 전계에 의해 TN(Twisted Nemastic) 모드의 액정을 구동하게 된다. 이러한 수직 전계형 액정 표시 장치는 개구율이 큰 장점을 가지는 반면 시야각이 90도 정도로 좁은 단점을 가진다.In this case, in the vertical field type liquid crystal display, the common electrode formed on the upper substrate and the pixel electrode formed on the lower substrate face each other to drive the liquid crystal of TN (Twisted Nemastic) mode by a vertical electric field formed therebetween. do. Such a vertical field type liquid crystal display device has a large aperture ratio, but has a narrow viewing angle of about 90 degrees.

수평 전계형의 액정 표시 장치는 하부 기판에 나란하게 배치된 화소 전극과 공통 전극 간의 수평 전계에 의해 인 플레인 스위치(In Plane Switch; 이하, IPS라 함) 모드의 액정을 구동하게 된다. 이러한 수평 전계 인가형 액정 표시 장치는 시야각이 160도 정도로 넓은 장점을 가지는 반면에 개구율이 작다는 단점을 가진다.In a horizontal electric field type liquid crystal display, an in-plane switch (hereinafter referred to as IPS) mode liquid crystal is driven by a horizontal electric field between a pixel electrode and a common electrode arranged side by side on a lower substrate. Such a horizontal field application type liquid crystal display device has a wide viewing angle of about 160 degrees while a small aperture ratio.

이하, 도 1을 참조하여 수평 전계형 액정표시장치의 구성에 대해 상세하게 설명한다. Hereinafter, a configuration of a horizontal field type liquid crystal display device will be described in detail with reference to FIG. 1.

수평 전계형 액정표시장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상부기판(2) 상에 순차적으로 형성된 블랙 매트릭스(4), 컬러필터(6), 오버코팅층(8), 스페이서(13) 및 상부 배향막으로 구성된 컬러필터기판과, 하부 유리기판(32)상에 형성된 박막 트랜지스터(T), 공통전극(10), 화소전극(56) 및 하부 배향막(52)으로 구성되는 박막 트랜지스터 기판 및 컬러 필터 기판과 박막 트랜지스터 기판 사이의 내부공간에 주입되는 액정(도시되지 않음)을 구비한다.As shown in FIG. 1, the horizontal field type liquid crystal display includes a black matrix 4, a color filter 6, an overcoating layer 8, a spacer 13, and an upper alignment layer that are sequentially formed on the upper substrate 2. A thin film transistor substrate and a color filter substrate comprising a color filter substrate including a thin film transistor T, a common electrode 10, a pixel electrode 56, and a lower alignment layer 52 formed on the lower glass substrate 32. A liquid crystal (not shown) is injected into an inner space between the thin film transistor substrates.

여기서, 블랙 매트릭스(4)는 하부 유리기판(32)의 박막 트랜지스터(T)가 형성된 영역, 도시하지 않은 게이트 라인 및 데이터 라인과 중첩되게 형성되며 컬러필터(6)가 형성될 셀영역을 구획한다. 이때, 블랙 매트릭스(4)는 빛샘현상을 방지 함과 아울러 외부광을 흡수하여 콘트라스트를 높이는 역할을 한다. Here, the black matrix 4 is formed to overlap the region where the thin film transistor T of the lower glass substrate 32 is formed, the gate line and the data line (not shown), and partitions the cell region where the color filter 6 is to be formed. . In this case, the black matrix 4 serves to prevent light leakage and to increase external contrast by absorbing external light.

컬러필터(6)는 블랙 매트릭스(4)에 의해 분리된 셀영역 및 블랙 매트릭스(4)에 걸쳐 형성된다. 이때, 컬러필터(6)는 R,G,B 별로 형성되어 R, G, B 색상을 구현한다. The color filter 6 is formed over the cell region separated by the black matrix 4 and the black matrix 4. In this case, the color filter 6 is formed for each of R, G, and B to implement R, G, and B colors.

오버 코팅층(8)은 컬러필터(6)에 의해 형성된 단차를 덮도록 형성되어 상부기판(2)을 평탄화한다.The overcoating layer 8 is formed to cover the step formed by the color filter 6 to planarize the upper substrate 2.

스페이서(13)는 상부 유리기판(2)과 하부 유리기판(32) 사이에 셀 갭을 유지하는 역할을 수행하는 것으로서, 오버 코팅층(8)과 동일한 물질로 동시에 형성되거나 또는 후속 공정을 통해 형성된다.The spacer 13 serves to maintain a cell gap between the upper glass substrate 2 and the lower glass substrate 32. The spacer 13 is simultaneously formed of the same material as the overcoating layer 8 or is formed through a subsequent process. .

상부 배향막(12)은 스페이서(13)가 형성된 오버 코팅층(8) 상에 형성되며 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 기판 사이에 개재되는 액정을 소정 방향으로 배향시키는 역할을 수행한다.The upper alignment layer 12 is formed on the overcoating layer 8 having the spacer 13 formed thereon, and serves to orient the liquid crystal interposed between the thin film transistor substrate and the color filter substrate in a predetermined direction.

박막 트랜지스터 기판을 구성하는 박막 트랜지스터(T)는 게이트 라인(도시하지 않음)과 함께 하부 유기기판(32) 상에 형성되는 게이트 전극(38)과, 게이트 절연막을 사이에 두고 게이트 전극(38)과 중첩되는 반도체층(92,93)과, 반도체층(92,93)을 사이에 두고 데이터 라인(도시하지 않음)과 함께 형성되는 소스 전극(46) 및 드레인 전극(48)을 구비한다. The thin film transistor T constituting the thin film transistor substrate includes a gate electrode 38 formed on the lower organic substrate 32 together with a gate line (not shown), a gate electrode 38 interposed between the gate electrode 38, and a gate insulating film. Overlapping semiconductor layers 92 and 93 and a source electrode 46 and a drain electrode 48 formed with a data line (not shown) with the semiconductor layers 92 and 93 interposed therebetween.

이때, 박막 트랜지스터(T)는 게이트 라인의 스캔신호에 응답하여 데이터 라인으로부터 전달되는 화소신호를 보호막(50)을 관통하는 접촉홀을 통해 드레인 전극 (48)에 접속된 화소전극으로 전달한다. In this case, the thin film transistor T transmits the pixel signal transmitted from the data line to the pixel electrode connected to the drain electrode 48 through the contact hole passing through the passivation layer 50 in response to the scan signal of the gate line.

공통전극(10)은 하부 유리기판(32)상에 게이트 라인과 함께 형성되며 화소전극(56)과 교번되는 스트라입 형태를 갖는다. 여기서, 공통전극에는 공통라인(미도시)을 통해 액정 구동시에 기준이 되는 기준전압이 공급된다. The common electrode 10 is formed on the lower glass substrate 32 together with the gate line and has a stripe shape that alternates with the pixel electrode 56. Here, a reference voltage, which is a reference when driving the liquid crystal, is supplied to the common electrode through a common line (not shown).

이때, 박막 트랜지스터(T)를 통해 화소 신호가 공급된 화소 전극(56)과 공통 라인을 통해 기준 전압이 공급된 공통 전극(10) 사이에는 수평 전계가 형성되고, 이러한 수평전계는 박막 트랜지스터 기판과 칼라 필터 기판 사이에서 수평 방향으로 배열된 액정 분자들을 소정 방향으로 회전시켜 광 투과율을 변화시킴으로써 화상을 구현한다. In this case, a horizontal electric field is formed between the pixel electrode 56 supplied with the pixel signal through the thin film transistor T and the common electrode 10 supplied with the reference voltage through the common line. The image is realized by changing the light transmittance by rotating the liquid crystal molecules arranged in the horizontal direction between the color filter substrates in a predetermined direction.

하부 배향막(52)은 박막 트랜지스터를 덮는 보호막(미도시) 상에 형성되며 박막 트랜지스터 기판과 컬러필터 기판 사이에 개재되는 액정을 소정 방향으로 배향시키는 역할을 수행한다.The lower alignment layer 52 is formed on a protective film (not shown) covering the thin film transistor and serves to orient the liquid crystal interposed between the thin film transistor substrate and the color filter substrate in a predetermined direction.

이하, 도 2a 내지 도 2g를 참조하여 종래의 액정표시장치를 구성하는 컬러필터 기판의 제조공정을 상세하게 설명한다.Hereinafter, a manufacturing process of the color filter substrate constituting the conventional liquid crystal display device will be described in detail with reference to FIGS. 2A to 2G.

유리기판(2) 상에 제 1 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 통해 블랙 메트릭스(4)를 형성한다.The black matrix 4 is formed on the glass substrate 2 through a photolithography process using a first mask.

이를 보다 구체적으로 설명하면, 유리기판(2) 상에 불투명 금속 또는 불투명 수지 등으로 구성된 불투명 물질을 전면 도포한다. In more detail, an opaque material composed of an opaque metal, an opaque resin, or the like is coated on the glass substrate 2 in its entirety.

이후, 제 1 마스크를 이용하여 불투명 물질에 대한 포토리소그래피 공정을 수행함으로써, 도 2a에 도시된 바와 같이, 유리기판(2)상에 셀 영역을 구획하는 동시에 빛샘 현상을 방지하는 블랙 매트릭스(4)를 최종적으로 형성한다.Thereafter, by performing a photolithography process on the opaque material using the first mask, as illustrated in FIG. 2A, the black matrix 4 which partitions the cell region on the glass substrate 2 and prevents light leakage phenomenon. Finally form.

상술한 바와 같이 블랙 매트릭스를 형성한 후, 상기 블랙 매트릭스(4)에 의해 구획된 셀 영역에 R,G,B 컬러필터를 순차적으로 형성한다.After the black matrix is formed as described above, R, G, and B color filters are sequentially formed in the cell region partitioned by the black matrix 4.

이를 보다 구체적으로 설명하면, 블랙 매트릭스(4)가 형성된 유리기판(2) 상에 적색의 감광성 칼라 수지를 전면 증착한다. In more detail, the red photosensitive color resin is entirely deposited on the glass substrate 2 on which the black matrix 4 is formed.

이후, 제 2 마스크를 이용하여 적색의 감광성 칼라수지에 대한 포토리소그래피공정을 수행함으로써, 도 2b에 도시된 바와 같이, 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀 영역에 적색 컬러필터(R)를 형성한다.Thereafter, by performing a photolithography process on the red photosensitive color resin using the second mask, as shown in FIG. 2B, the red color filter R is formed in the cell region partitioned by the black matrix.

상술한 바와 같이 적색 컬러필터를 형성한 후, 유리기판(2)상에 녹색의 감광성 컬러 수지를 전면 증착시킨다. After the red color filter is formed as described above, a green photosensitive color resin is deposited on the glass substrate 2 in its entirety.

이후, 제3 마스크를 이용하여 녹색의 감광성 칼라 수지에 대한 포토리소그래피공정을 수행함으로써, 도 2c에 도시된 바와 같이, 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀 영역에 녹색 컬러필터(G)를 형성한다.Thereafter, by performing a photolithography process on the green photosensitive color resin using the third mask, as shown in FIG. 2C, the green color filter G is formed in the cell region partitioned by the black matrix.

상술한 바와 같이 녹색 컬러필터(R)를 형성한 후, 유리기판(2) 상에 청색의 감광성 칼라 수지를 전면 증착시킨다. After the green color filter R is formed as described above, a blue photosensitive color resin is deposited on the glass substrate 2.

이후, 제4 마스크를 이용하여 청색 수지에 대한 포토리소그래피 공정을 수행함으로써, 도 2d에 도시된 바와 같이, 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀 영역에 녹색 컬러필터(G)를 형성한다.Then, by performing a photolithography process on the blue resin using a fourth mask, as shown in Figure 2d, to form a green color filter (G) in the cell region partitioned by a black matrix.

상술한 바와 같이 컬러필터를 형성한 후, 유리기판에 형성된 오버 코팅층 상에 두 기판 사이의 샐 갭을 유지시키는 스페이서(13)를 형성한다. After the color filter is formed as described above, a spacer 13 is formed on the overcoating layer formed on the glass substrate to maintain the sal gap between the two substrates.

이를 보다 구체적으로 설명하면, 컬러필터(6)가 형성된 유리기판(2) 상에 유 기 절연물을 전면 코팅함으로써, 도 2e에 도시된 바와 같이, 컬러필터에 의해 형성된 단차를 제거하여 유리기판(2)을 평탄화시키는 오버 코팅층(8)을 형성한다.In more detail, by coating an organic insulator on the glass substrate 2 on which the color filter 6 is formed, as shown in FIG. 2E, the step formed by the color filter is removed to remove the glass substrate 2. ), An overcoat layer 8 is formed.

이때, 오버 코팅층이 형성된 유리기판상에 유기 절연물을 전면 코팅 처리한 후 제 5 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 수행함으로써, 도 2f에 도시된 바와 같이, 블랙 매트릭스와 중첩되게 형성되며 셀 갭을 유지시키는 컬럼 스페이서 (13)를 형성한다.At this time, by performing an entire coating process on the glass substrate on which the overcoating layer is formed, and then performing a photolithography process using a fifth mask, as shown in FIG. 2F, a column formed to overlap the black matrix and maintaining a cell gap The spacer 13 is formed.

이후, 스페이서(13)가 형성된 유리기판(2) 상에 액정을 소정 방향으로 배향시키기 위한 배향막(12)을 형성함으로써, 도 2g에 도시된 바와 같이, 블랙 매트릭스(4) 상에 셀 갭을 유지시키는 스페이서(13)가 형성된 컬러필터기판을 최종적으로 완성하였다.Thereafter, an alignment film 12 for aligning the liquid crystal in a predetermined direction is formed on the glass substrate 2 on which the spacer 13 is formed, thereby maintaining the cell gap on the black matrix 4 as shown in FIG. 2G. Finally, the color filter substrate on which the spacer 13 was formed was completed.

종래, 상술한 바와 같은 제조공정을 통해 컬러필터기판을 형성하는 경우, 기판 사이의 셀 갭을 유지시키는 스페이서 형성을 위한 별도의 마스크 공정이 수행됨에 따라 공정시간(Tact Time)이 늘어날 뿐만 아니라 작업공정이 복잡해지는 문제점이 있었다.Conventionally, in the case of forming the color filter substrate through the manufacturing process as described above, as a separate mask process for forming a spacer to maintain the cell gap between the substrate is carried out not only increases the process time (Tact Time) but also the work process There was a problem with this complexity.

상술한 바와 같은 문제점을 해소하기 위해, 본 발명은 적어도 두 개의 컬러필터를 중첩시켜 컬럼 스페이서를 형성함으로써, 마스크 공정을 저감시키는 동시에 작업공정을 단순화시킬 수 있는 컬러필터기판 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.In order to solve the above problems, the present invention provides a color filter substrate and a method of manufacturing the same by overlapping at least two color filters to form column spacers, which can reduce the mask process and simplify the work process. There is.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 컬러필터기판은, 기판상에 형성되어 셀 영역을 구획하는 블랙 매트릭스; 블랙 매트리스에 의해 구획된 셀 영역에 형성된 컬러필터; 및 블랙매트릭스와 중첩되게 형성되며 셀 갭을 유지시키는 스페이서를 구비하고, 상기 스페이서는 적어도 두개의 컬러필터가 중첩된 형태로 구성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the color filter substrate according to the present invention comprises a black matrix formed on the substrate to partition the cell region; A color filter formed in the cell region partitioned by the black mattress; And a spacer formed to overlap the black matrix and maintaining a cell gap, wherein the spacer is configured to have at least two color filters overlapped with each other.

여기서, 본 발명에 따른 컬러필터기판은 컬러필터에 의해 형성된 단차를 제거하여 기판의 표면을 평탄화시키는 오버 코팅층을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.Here, the color filter substrate according to the present invention is characterized in that it further comprises an over-coating layer for removing the step formed by the color filter to planarize the surface of the substrate.

본 발명에 따른 컬러필터는 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀 영역에 아일랜드 형태로 형성된 것을 특징으로 한다.The color filter according to the present invention is characterized in that it is formed in an island form in a cell region partitioned by a black matrix.

본 발명에 따른 컬러필터는 셀 영역과, 스페이서가 형성된 블랙 매트릭스 영역과 중첩된 형태로 일체적으로 형성된 것을 특징으로 한다.The color filter according to the present invention is characterized in that the cell region is integrally formed with the black matrix region where the spacer is formed.

본 발명에 따른 스페이서는, 컬러필터를 구성하는 제 1 컬러필터로 구성된 제 1 스페이서 패턴; 및 컬러필터를 구성하는 제 2 컬러필터로 구성되며 제 1 스페이서 패턴과 중첩적으로 형성된 제 2 스페이서 패턴을 포함하여 구성된 것을 특징한다.A spacer according to the present invention includes a first spacer pattern composed of a first color filter constituting a color filter; And a second spacer pattern constituting the color filter and including a second spacer pattern formed to overlap the first spacer pattern.

본 발명에 따른 제 1 및 제 2 컬러필터는 컬러필터를 구성하는 적색 컬러필터, 녹색 컬러필터 및 청색 컬러필터 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.The first and second color filters according to the present invention may be any one of a red color filter, a green color filter, and a blue color filter constituting the color filter.

본 발명에 따른 스페이서는 셀 갭을 유지시키기 위해 3.1㎛ 내지 4.5㎛의 높 이를 갖도록 형성된 것을 특징으로 한다.The spacer according to the present invention is characterized in that it is formed to have a height of 3.1㎛ to 4.5㎛ to maintain the cell gap.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 컬러필터기판의 제조방법은,기판상에 셀 영역을 구획하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; 블랙 매트리스에 의해 구획된 셀 영역에 컬러필터를 형성하는 단계; 및 블랙매트릭스와 중첩되게 형성되며 셀 갭을 유지시키는 스페이서를 형성하는 단계; 상기 스페이서는 적어도 두개의 컬러필터가 중첩된 형태로 구성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing a color filter substrate according to the present invention, forming a black matrix partitioning a cell region on the substrate; Forming a color filter in the cell region partitioned by the black mattress; And forming a spacer overlapping with the black matrix and maintaining a cell gap; The spacer is characterized in that the configuration of the at least two color filters are superimposed.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other objects and features of the present invention in addition to the above objects will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 컬러필터기판의 구성 및 동작에 대해 설명한다. First, the configuration and operation of the color filter substrate according to the first embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 제 1 실시예에 따른 컬러필터기판은, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 유리기판(110)상에 형성된 블랙 매트릭스(120)와, 블랙 매트릭스(120)에 의해 구획된 셀 영역에 아일랜드 패턴으로 형성된 컬러필터(130)와, 블랙 매트릭스(120)와 중첩되게 형성되며 셀 갭을 유지시키는 스페이서(140)와, 컬러필터(130)에 의해 형성된 단차를 제거하여 유리기판(110)을 평탄화시키는 오버코팅층(150)과, 오버코팅층(150) 상에 형성되며 액정분자를 소정 방향으로 배향시키는 배향막(160)을 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 3 and 4, the color filter substrate according to the first embodiment of the present invention includes a black matrix 120 formed on the glass substrate 110 and a cell partitioned by the black matrix 120. The color filter 130 formed in an island pattern in the region, the spacer 140 formed to overlap the black matrix 120 and maintaining a cell gap, and the step formed by the color filter 130 are removed to remove the glass substrate 110. ) And an alignment layer 160 formed on the overcoat layer 150 to align the liquid crystal molecules in a predetermined direction.

블랙 매트릭스(120)는 유리기판(110)상에 매트릭스 형태로 형성되어 컬러필 터(130)가 위치할 다수의 셀 영역을 구획하는 동시에 인접한 셀 영역간의 광 간섭을 방지하는 역할을 수행한다. The black matrix 120 is formed in the form of a matrix on the glass substrate 110 to partition the plurality of cell regions in which the color filter 130 is to be positioned, and to prevent optical interference between adjacent cell regions.

여기서, 블랙 매트릭스(120)는 박막 트랜지스터 기판의 화소영역을 제외한 나머지 영역인 게이트 라인, 데이터 라인 및 박막 트랜지스터와 중첩되게 형성된다.Here, the black matrix 120 is formed to overlap the gate line, the data line, and the thin film transistor, which are other regions except for the pixel region of the thin film transistor substrate.

이때, 블랙 매트릭스(120)는 유리기판(110)상에 불투명 금속, 예를 들면 크롬(Cr 또는 CrOx) 등의 불투명 금속을 약 1500~2000Å의 두께 및 5~25㎛의 선폭을 갖도록 증착시킨 후 이를 포토리소그래피공정 및 식각공정을 통해 패터닝시킴으로써 형성된다.In this case, the black matrix 120 is deposited on the glass substrate 110 with an opaque metal such as chromium (Cr or CrOx) to have a thickness of about 1500 to 2000 1500 and a line width of 5 to 25 μm. It is formed by patterning it through a photolithography process and an etching process.

또한, 블랙 매트릭스(120)는 유리기판(110)상에 절연성 수지를 1.0~1.5㎛의 두께를 갖는 동시에 5~25㎛ 선폭을 갖도록 형성한 후 이를 포토리소그래피공정 및 식각공정을 통해 패터닝시킴으로써 형성될 수도 있다.In addition, the black matrix 120 is formed by forming an insulating resin on the glass substrate 110 to have a thickness of 1.0 to 1.5 μm and a line width of 5 to 25 μm, and then patterning the insulating resin through a photolithography process and an etching process. It may be.

컬러필터(130)는 블랙 매트릭스(102)에 의해 구획된 다수의 셀 영역에 형성되는 것으로서, 적색을 구현하는 적색 컬러필터(130R), 녹색을 구현하는 녹색 컬러필터(130G) 및 청색을 구현하는 청색 컬러필터(130B)로 구성된다. The color filter 130 is formed in a plurality of cell regions partitioned by the black matrix 102 and includes a red color filter 130R for red, a green color filter 130G for green, and a blue color. It consists of a blue color filter 130B.

여기서, 컬러필터(130)는 적색, 녹색 및 청색을 갖는 감광성 칼라 수지를 안료 분사법을 통해 순차적으로 유리기판상에 분사시킨 후 마스크를 이용한 포토리소그래피공정을 통해 형성된다.Here, the color filter 130 is formed through a photolithography process using a mask after sequentially spraying the photosensitive color resin having red, green and blue on the glass substrate through a pigment spraying method.

이때, 컬러필터(130)를 구성하는 적색 컬러필터(130R), 녹색 컬러필터(130G) 및 청색 컬러필터(130B)는 블랙 매트릭스(120)에 의해 구획된 셀 영역에 아일랜드 형태로 형성된다.In this case, the red color filter 130R, the green color filter 130G, and the blue color filter 130B constituting the color filter 130 are formed in an island shape in the cell region partitioned by the black matrix 120.

스페이서(140)는 블랙 매트릭스(120)와 중첩되게 형성되며 두 기판 사이에 액정을 충진시키기 위한 셀 갭을 유지시키는 역할을 수행하는 것으로서, 적색 컬러필터(130R), 녹색 컬러필터(130G) 및 청색 컬러필터(130B) 중 적어도 두 개의 컬러필터가 소정의 높이를 갖도록 중첩된 구조로 형성된다.The spacer 140 is formed to overlap the black matrix 120 and serves to maintain a cell gap for filling the liquid crystal between the two substrates, and the red color filter 130R, the green color filter 130G, and the blue color. At least two color filters of the color filter 130B are formed to have an overlapping structure to have a predetermined height.

즉, 스페이서(140)는 적색 컬러필터(130R), 녹색 컬러필터(130G) 및 청색 컬러필터(130B) 중 적어도 어느 하나로 이루어진 제 1 스페이서 패턴(140a) 및 제 2 스페이서 패턴(140b)이 적층된 구조로 형성된다.That is, the spacer 140 is formed by stacking the first spacer pattern 140a and the second spacer pattern 140b including at least one of a red color filter 130R, a green color filter 130G, and a blue color filter 130B. It is formed into a structure.

이때, 스페이서는 기판 사이에 액정이 충진되는 셀 갭을 유지시키기 위해 약 3.1㎛ 내지 4.5㎛의 높이를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. In this case, the spacer is preferably formed to have a height of about 3.1㎛ to 4.5㎛ in order to maintain a cell gap in which the liquid crystal is filled between the substrate.

오버 코팅층(150)은 컬러필터(130)에 의해 형성된 단차를 제거하여 유리기판(110)의 표면을 평탄화시키는 역할을 수행하는 것으로서, 블랙 매트릭스(120)와 중첩적으로 형성되는 스페이서(140)를 덮도록 유리기판(110)상에 전면 형성된다.The overcoat layer 150 serves to planarize the surface of the glass substrate 110 by removing the step formed by the color filter 130. The overcoating layer 150 may include a spacer 140 formed to overlap the black matrix 120. It is formed entirely on the glass substrate 110 to cover.

배향막(160)은 스페이서(140)가 형성된 오버 코팅층(150)을 덮도록 형성되며셀 갭 사이에 충진된 액정을 소정 방향으로 배향시키는 역할을 수행한다. 이때, 배향막(160)은 폴리이미드 등의 유기 배향막을 이용한 러빙공정을 통해 형성되며 액정을 소정 방향으로 정렬시키기 위한 배향홈(미도시)이 형성되어 있다. The alignment layer 160 is formed to cover the overcoat layer 150 on which the spacer 140 is formed, and serves to orient the liquid crystal filled between the cell gaps in a predetermined direction. In this case, the alignment layer 160 is formed through a rubbing process using an organic alignment layer such as polyimide, and an alignment groove (not shown) for aligning the liquid crystal in a predetermined direction is formed.

이하, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 컬러필터기판(100)의 제조방법에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing the color filter substrate 100 according to the first embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 본 발명에 따른 제 1 마스크 공정을 통해 기판상에 블랙 매트릭스를 형성한다. First, a black matrix is formed on a substrate through a first mask process according to the present invention.

도 5a 및 도 5b를 참조하면, 컬러필터기판(100)을 구성하는 유리기판(110)상에 불투명 금속, 예를 들면 크롬(Cr 또는 CrOx) 등의 불투명 금속을 약 1500~2000Å의 두께 및 5~25㎛의 선폭을 갖도록 증착시킨다.Referring to FIGS. 5A and 5B, an opaque metal such as chromium (Cr or CrOx), such as chromium (Cr or CrOx), may be formed on the glass substrate 110 constituting the color filter substrate 100 to have a thickness of about 1500 to 2000 μs and 5. It is deposited to have a line width of ˜25 μm.

이후, 유리기판(110)상에 증착된 불투명 금속에 대해 제 1 마스크를 이용한 포토리소그래피공정을 수행함으로써, 유리기판(110)상에 매트릭스 형태로 형성되어 컬러필터(130)들이 형성될 다수의 셀 영역을 구획하는 동시에 인접한 셀 영역 간의 광 간섭을 방지하는 블랙 매트릭스(120)를 형성한다.Thereafter, the photolithography process using the first mask is performed on the opaque metal deposited on the glass substrate 110, thereby forming a plurality of cells in which the color filters 130 are formed by forming a matrix on the glass substrate 110. A black matrix 120 is formed that partitions the region and prevents optical interference between adjacent cell regions.

이때, 유리기판(110)상에 형성되는 블랙 매트릭스(120)는 절연성 수지를 1.0~1.5㎛의 두께 및 5~25㎛ 선폭을 갖도록 형성한 후 이를 포토리소그래피공정을 통해 패터닝시킴으로써 형성될 수도 있다.In this case, the black matrix 120 formed on the glass substrate 110 may be formed by forming an insulating resin to have a thickness of 1.0 to 1.5 μm and a line width of 5 to 25 μm, and then pattern the same through a photolithography process.

상술한 바와 같이 블랙 매트릭스(120)를 형성한 후, 본 발명에 따른 제 2 마스크 공정을 통해 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀 영역에 적색 컬러필터를 형성한다. After forming the black matrix 120 as described above, a red color filter is formed in the cell region partitioned by the black matrix through a second mask process according to the present invention.

도 6a 및 도 6b를 참조하면, 블랙 매트릭스(102)에 의해 구획화된 유리기판(101)상에 안료 분사법을 이용하여 적색의 감광성 칼라수지를 전면 도포한다.6A and 6B, a red photosensitive color resin is completely coated on the glass substrate 101 partitioned by the black matrix 102 using the pigment spraying method.

이후, 적색의 감광성 칼라수지에 대해 제 2 마스크를 이용한 포토리소그래피공정을 수행함으로써, 블랙 매트릭스(102)에 의해 구획된 셀 영역에 아일랜드 패턴을 갖는 적색 컬러필터(130R)를 형성한다.Thereafter, a photolithography process using a second mask is performed on the red photosensitive color resin, thereby forming a red color filter 130R having an island pattern in the cell region partitioned by the black matrix 102.

이때, 제 2 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 통해 블랙 매트릭 스(120)와 중첩되는 영역에 적색 컬러필터(130R)로 구성되는 제 1 스페이서 패턴(140a)이 형성된다. In this case, the first spacer pattern 140a including the red color filter 130R is formed in a region overlapping the black matrix 120 through a photolithography process using the second mask.

상술한 바와 같이 제 1 스페이서 패턴(140a)을 구성하는 적색 컬러필터(130R)를 형성한 후, 본 발명에 따른 제 3 마스크 공정을 통해 블랙 매트릭스(120)에 의해 구획화된 셀 영역에 녹색 컬러필터(130G)를 형성한다.After forming the red color filter 130R constituting the first spacer pattern 140a as described above, the green color filter is formed in the cell region partitioned by the black matrix 120 through the third mask process according to the present invention. To form 130G.

도 7a 및 도 7b를 참조하면, 적색 컬러필터(130R)가 형성된 기판상에 안료 분사법을 이용하여 녹색의 감광성 칼라수지를 전면 도포한다.Referring to FIGS. 7A and 7B, a green photosensitive color resin is completely coated on the substrate on which the red color filter 130R is formed by using a pigment spraying method.

이후, 녹색의 감광성 컬러수지에 대해 제 3 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 수행함으로써, 블랙 매트릭스(120)에 의해 구회된 셀 영역에 아일랜드 패턴을 갖는 녹색 컬러필터(130G)를 형성한다.Subsequently, a photolithography process using a third mask is performed on the green photosensitive color resin, thereby forming a green color filter 130G having an island pattern in the cell region bounded by the black matrix 120.

이때, 제 3 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 제 스페이서(140a)와 중첩되게 형성되며 녹색 컬러필터(130G)로 구성된 제 2 스페이서(140b)가 형성된다.In this case, the photolithography process using the third mask is formed to overlap the first spacer 140a and the second spacer 140b formed of the green color filter 130G is formed.

즉, 본 발명에 따른 블랙 매트릭스(120)가 형성된 위치에 적색 컬러필터(130R)로 구성된 제 1 스페이서 패턴(140a)와 녹색 컬러필터(130G)로 구성된 제 2 스페이서 패턴(140b)로 구성된 스페이서(140)가 최종적으로 형성된다.That is, a spacer including a first spacer pattern 140a composed of a red color filter 130R and a second spacer pattern 140b composed of a green color filter 130G at a position where the black matrix 120 is formed. 140 is finally formed.

상술한 바와 같이 적색 컬러필터(130R), 녹색 컬러필터(130G) 및 스페이서(140)를 형성한 후, 본 발명에 따른 제 4 마스크 공정을 통해 블랙 매트릭스(120)에 의해 구획화된 셀 영역에 청색 컬러필터(130B)를 형성한다.After forming the red color filter 130R, the green color filter 130G, and the spacer 140 as described above, the cell region partitioned by the black matrix 120 through the fourth mask process according to the present invention is blue. The color filter 130B is formed.

도 8a 및 도 8b를 참조하면, 적색 컬러필터(130R), 녹색 컬러필터(130G) 및 스페이서(140)가 형성된 유리기판(110)상에 안료 분사법을 이용하여 청색의 감광성 칼라수지를 전면 도포한다.Referring to FIGS. 8A and 8B, the blue photosensitive color resin is completely coated on the glass substrate 110 having the red color filter 130R, the green color filter 130G, and the spacer 140 by using a pigment spray method. do.

이후, 청색의 감광성 칼라수지에 대해 제 4 마스크를 이용한 포토리소그래피공정을 수행함으로써, 블랙 매트릭스(120)에 의해 구획된 셀 영역에 청색을 나타내는 청색 컬러필터(130B)를 최종적으로 형성한다. Thereafter, a photolithography process using a fourth mask is performed on the blue photosensitive color resin to finally form a blue color filter 130B representing blue in the cell region partitioned by the black matrix 120.

상술한 바와 같이 컬러필터(130) 및 스페이서(140)를 형성한 후, 본 발명에 따른 기판의 표면을 평탄화시키는 오버 코팅층(150)을 형성한다.After the color filter 130 and the spacer 140 are formed as described above, the overcoat layer 150 is formed to planarize the surface of the substrate according to the present invention.

도 9a 및 도 9b에 도시된 바와 같이, 컬러필터(130)에 의해 형성된 단차를 보상하기 위해 유리기판(110)상에 열경화성 수지, 보다 구체적으로는 폴리 디메틸 실옥산 등과 같은 열경화성 수지를 전면 형성한다.9A and 9B, a thermosetting resin, more specifically a thermosetting resin such as polydimethyl siloxane, is formed on the glass substrate 110 to compensate for the step formed by the color filter 130. .

여기서, 오버 코팅층(150)은 컬러필터(130)에 의해 형성되는 단차를 제거함으로써, 후속공정을 통해 형성되는 배향막(160)이 유리기판(110)상에 평탄한 형태로 형성될 수 이 있도록 하는 역할을 수행한다.Here, the over coating layer 150 serves to remove the step formed by the color filter 130, so that the alignment layer 160 formed through the subsequent process can be formed in a flat shape on the glass substrate 110. Do this.

상술한 바와 같이 오버 코팅층(150)을 형성한 후, 본 발명에 따른 오버 코팅층(150) 상에 액정 배향을 위한 배향막(160)을 형성한다. After the overcoat layer 150 is formed as described above, the alignment layer 160 for liquid crystal alignment is formed on the overcoat layer 150 according to the present invention.

도 10a 및 도 10b를 참조하면, 오버 코팅층(150)이 형성된 유리기판(110)상에 폴리이미드 등의 유기 배향막을 전면 도포한다. Referring to FIGS. 10A and 10B, an organic alignment layer such as polyimide is completely coated on the glass substrate 110 on which the overcoating layer 150 is formed.

이후, 오버 코팅층 상에 형성된 유기 배향막에 대한 러빙공정을 수행함으로써, 스페이서(140)에 의해 형성된 셀 갭 사이에 충진된 액정을 소정 방향으로 배향시키는 배향홈을 갖는 배향막(160)을 최종적으로 형성한다.Subsequently, by performing a rubbing process on the organic alignment layer formed on the overcoating layer, an alignment layer 160 having an alignment groove for aligning the liquid crystal filled between the cell gaps formed by the spacer 140 in a predetermined direction is finally formed. .

이하, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 액정표시패널의 구조 및 동작에 대해 설명한다.Hereinafter, the structure and operation of the liquid crystal display panel according to the second embodiment of the present invention will be described.

본 발명의 제 2 실시예에 따른 컬러필터기판은, 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이, 유리기판(210)상에 형성된 블랙 매트릭스(220)와, 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획된 셀 영역에 일체적으로 형성된 컬러필터(230)와, 블랙 매트릭스(220)와 중첩되게 형성되며 셀 갭을 유지시키는 스페이서(240)와, 컬러필터(230)에 의해 형성된 단차를 제거하여 유리기판(210)을 평탄화시키는 오버 코팅층(250)과, 오버 코팅층(250) 상에 형성되며 액정을 소정 방향으로 배향시키는 배향막(260)을 포함하여 구성된다.As shown in FIGS. 11 and 12, the color filter substrate according to the second embodiment of the present invention includes a black matrix 220 formed on the glass substrate 210 and a cell partitioned by the black matrix 220. The glass substrate 210 is formed by removing the color filter 230 integrally formed in the region, the spacer 240 formed to overlap the black matrix 220 and maintaining the cell gap, and the step formed by the color filter 230. ) And an alignment layer 260 formed on the overcoat layer 250 to align the liquid crystal in a predetermined direction.

블랙 매트릭스(220)는 유리기판(220)상에 매트릭스 형태로 형성되어 컬러필터(230)가 위치할 다수의 셀 영역을 구획하는 동시에 인접한 셀 영역간의 광간섭을 방지하는 역할을 수행한다. The black matrix 220 is formed in a matrix form on the glass substrate 220 to partition a plurality of cell regions in which the color filter 230 is to be positioned and to prevent optical interference between adjacent cell regions.

여기서, 블랙 매트릭스(220)는 박막 트랜지스터 기판의 화소영역을 제외한 나머지 영역인 게이트 라인, 데이터 라인 및 박막 트랜지스터와 중첩되게 형성된다.Here, the black matrix 220 is formed to overlap the gate line, the data line, and the thin film transistor, which are other regions except the pixel region of the thin film transistor substrate.

컬러필터(230)는 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획된 다수의 셀 영역에 형성되는 것으로서, 적색을 구현하는 적색 컬러필터(230R), 녹색을 구현하는 녹색 컬러필터(230G) 및 청색을 구현하는 청색 컬러필터(230B)로 구성된다. The color filter 230 is formed in a plurality of cell regions partitioned by the black matrix 220. The color filter 230 implements a red color filter 230R that implements red, a green color filter 230G that implements green, and a color that implements blue. It consists of a blue color filter 230B.

여기서, 컬러필터(230)를 구성하는 적색 컬러필터(230R), 녹색 컬러필터(230G) 및 청색 컬러필터(230B)는 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획된 셀 영역과 스페이서(240)가 형성될 블랙 매트릭스 영역을 덮도록 일체적으로 형성된다.Here, the red color filter 230R, the green color filter 230G, and the blue color filter 230B constituting the color filter 230 may form a cell region and a spacer 240 partitioned by the black matrix 220. It is integrally formed to cover the black matrix area.

스페이서(240)는 블랙 매트릭스(220)와 중첩되게 형성되며 두 기판 사이에 액정을 충진시키기 위한 셀갭을 유지시키는 역할을 수행하는 것으로서, 적색 컬러필터(230R), 녹색 컬러필터(230G) 및 청색 컬러필터(230B) 중 적어도 두 개의 컬러필터가 소정의 높이를 갖도록 중첩된 구조로 형성된다.The spacer 240 is formed to overlap the black matrix 220 and serves to maintain a cell gap for filling the liquid crystal between the two substrates, and the red color filter 230R, the green color filter 230G, and the blue color. At least two color filters of the filter 230B are formed to have an overlapping structure to have a predetermined height.

즉, 스페이서(240)는 적색 컬러필터(230R), 녹색 컬러필터(230G) 및 청색 컬러필터(230B) 중 적어도 어느 하나로 이루어진 제 1 스페이서 패턴(240a) 및 제 2 스페이서 패턴(240b)이 적층된 구조로 형성된다.That is, the spacer 240 is formed by stacking a first spacer pattern 240a and a second spacer pattern 240b including at least one of a red color filter 230R, a green color filter 230G, and a blue color filter 230B. It is formed into a structure.

이때, 스페이서(240)는 두 기판 사이의 셀 갭을 유지시키기 위해 약 3.1㎛ 내지 4.5㎛의 높이를 갖도록 형성되는 것이 바람직하다. At this time, the spacer 240 is preferably formed to have a height of about 3.1㎛ to 4.5㎛ to maintain the cell gap between the two substrates.

오버 코팅층(250)은 컬러필터(230)에 의해 형성된 단차를 제거하여 유리기판(210)을 평탄화시키는 역할을 수행하는 것으로서, 블랙 매트릭스(220)와 중첩적으로 형성되는 스페이서(240)를 덮도록 유리기판(210)상에 전면 형성된다.The overcoating layer 250 serves to planarize the glass substrate 210 by removing a step formed by the color filter 230 and to cover the spacer 240 formed to overlap the black matrix 220. The front surface is formed on the glass substrate 210.

배향막(260)은 스페이서(240))가 형성된 오버코팅층(25O) 상에 형성되어 액정분자를 소정 방향으로 배향시키는 역할을 수행한다. The alignment layer 260 is formed on the overcoating layer 250 formed with the spacers 240 to align the liquid crystal molecules in a predetermined direction.

이하, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 컬러필터기판의 제조방법에 대해 상세하게 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a color filter substrate according to a second embodiment of the present invention will be described in detail.

먼저, 본 발명에 따른 제 1 마스크 공정을 통해 기판(210)상에 블랙 매트릭스(220)를 형성한다. First, the black matrix 220 is formed on the substrate 210 through the first mask process according to the present invention.

도 13a 및 도 13b를 참조하면, 컬러필터기판을 구성하는 기판(210)상에 크롬(Cr 또는 CrOx) 등의 불투명 금속 또는 절연성 수지로 구성된 블랙 매트릭 스(220)를 형성한다.13A and 13B, a black matrix 220 made of an opaque metal such as chromium (Cr or CrOx) or an insulating resin is formed on the substrate 210 constituting the color filter substrate.

여기서, 블랙 매트릭스(220)는 기판(210)상에 매트릭스 형태로 형성되어 컬러필터(230)들이 형성될 다수의 셀 영역을 구획하는 동시에 인접한 셀 영역간의 광 간섭을 방지하는 역할을 수행한다.Here, the black matrix 220 is formed in a matrix form on the substrate 210 to partition a plurality of cell regions in which the color filters 230 are to be formed and to prevent optical interference between adjacent cell regions.

상술한 바와 같이 블랙 매트릭스(220)를 형성한 후, 본 발명에 따른 제 2 마스크 공정을 통해 컬러필터(230)를 구성하는 적색 컬러필터(230R)와 제 1 스페이서 패턴(240a)을 형성한다. After the black matrix 220 is formed as described above, the red color filter 230R and the first spacer pattern 240a constituting the color filter 230 are formed through the second mask process according to the present invention.

도 14a 및 도 14b를 참조하면, 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획화된 기판(210)상에 안료 분사법을 이용하여 적색의 감광성 칼라수지를 전면 도포한다.Referring to FIGS. 14A and 14B, a red photosensitive color resin is completely coated on the substrate 210 partitioned by the black matrix 220 using the pigment spraying method.

이후, 적색의 감광성 칼라수지에 대해 제 2 마스크를 이용한 포토리소그래피공정을 수행함으로써, 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획된 셀 영역 및 블랙 매트릭스의 일부 영역을 덮도록 구성된 적색 컬러필터(104R)를 형성한다.Thereafter, a photolithography process using a second mask is performed on the red photosensitive color resin, thereby forming a red color filter 104R configured to cover the cell region partitioned by the black matrix 220 and a partial region of the black matrix. do.

이때, 제 2 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 통해 블랙 매트릭스(220)의 일부 영역을 덮는 적색 컬러필터(230R)로 구성되는 제 1 스페이서 패턴(240a)이 형성된다. In this case, a first spacer pattern 240a including a red color filter 230R covering a portion of the black matrix 220 is formed through a photolithography process using a second mask.

상술한 바와 같이 적색 컬러필터 및 제 1 스페이서 패턴을 형성한 후, 본 발명에 따른 제 3 마스크 공정을 통해 컬러필터(230)를 구성하는 녹색 컬러필터(230G)와 제 2 스페이서 패턴을 형성한다. After the red color filter and the first spacer pattern are formed as described above, the green color filter 230G and the second spacer pattern constituting the color filter 230 are formed through the third mask process according to the present invention.

도 15a 및 도 15b를 참조하면, 적색 컬러필터(230R)가 형성된 기판(210)상에 안료 분사법을 이용하여 녹색의 감광성 칼라수지를 전면 도포한다.15A and 15B, a green photosensitive color resin is completely coated on the substrate 210 on which the red color filter 230R is formed by using a pigment spraying method.

이후, 녹색의 감광성 컬러수지에 대해 제 3 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 수행함으로써, 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획된 셀 영역 및 상기 블랙 매트릭스(220)의 일부 영역을 덮도록 일체적으로 구성된 녹색 컬러필터(230G)를 형성한다.Thereafter, a photolithography process using a third mask is performed on the photosensitive color resin of green, so that the green region is integrally formed to cover the cell region partitioned by the black matrix 220 and a partial region of the black matrix 220. The color filter 230G is formed.

이때, 제 3 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 제 1 스페이서 패턴(240a)와 중첩되게 형성되며 녹색 컬러필터(230G)로 구성된 제 2 스페이서 패턴(240b)이 형성된다.In this case, the photolithography process using the third mask is formed to overlap the first spacer pattern 240a and the second spacer pattern 240b formed of the green color filter 230G is formed.

즉, 본 발명에 따른 블랙 매트릭스(220)와 중첩되는 위치에 적색 컬러필터(230R)로 구성된 제 1 스페이서 패턴(240a)과 녹색 컬러필터(230G)로 구성된 제 2 스페이서 패턴(240b)로 구성된 스페이서(240)가 최종적으로 형성된다.That is, a spacer composed of a first spacer pattern 240a composed of a red color filter 230R and a second spacer pattern 240b composed of a green color filter 230G at a position overlapping the black matrix 220 according to the present invention. 240 is finally formed.

상술한 바와 같이 적색 컬러필터(230R), 녹색 컬러필터(230G) 및 스페이서(240)를 형성한 후, 본 발명에 따른 제 4 마스크 공정을 통해 컬러필터(230)를 구성하는 청색 컬러필터(230B)를 형성한다.After forming the red color filter 230R, the green color filter 230G, and the spacer 240 as described above, the blue color filter 230B constituting the color filter 230 through a fourth mask process according to the present invention. ).

도 16a 및 도 16b를 참조하면, 적색 컬러필터(230R), 녹색 컬러필터(230G) 및 스페이서(240)가 형성된 기판(210)상에 안료 분사법을 이용하여 청색의 감광성 칼라수지를 전면 도포한다.Referring to FIGS. 16A and 16B, a blue photosensitive color resin is entirely coated on the substrate 210 on which the red color filter 230R, the green color filter 230G, and the spacer 240 are formed by using a pigment spraying method. .

이후, 청색의 감광성 칼라수지에 대해 제 4 마스크를 이용한 포토리소그래피공정을 수행함으로써, 블랙 매트릭스(220)에 의해 구획된 셀 영역 및 블랙 매트릭스의 일부 영역을 덮도록 일체적으로 구성된 청색 컬러필터(230B)를 형성한다.Thereafter, a photolithography process using a fourth mask is performed on the blue photosensitive color resin, thereby the blue color filter 230B integrally configured to cover the cell region partitioned by the black matrix 220 and a part of the black matrix. ).

상술한 바와 같이 컬러필터(230) 및 스페이서(240)를 형성한 후, 본 발명에 따른 기판(210)의 표면을 평탄화시키는 오버 코팅층(250)을 형성한다.After the color filter 230 and the spacer 240 are formed as described above, the overcoat layer 250 is formed to planarize the surface of the substrate 210 according to the present invention.

도 17a 및 도 17b에 도시된 바와 같이, 컬러필터(230)에 의해 형성된 단차를 보상하기 위해 기판(210)상에 열경화성 수지로 구성된 오버 코팅층(250)을 전면 형성한다.As shown in FIGS. 17A and 17B, an overcoating layer 250 formed of a thermosetting resin is formed on the substrate 210 to compensate for the step formed by the color filter 230.

여기서, 오버 코팅층(250)은 컬러필터(230)에 의해 기판(210)상에 형성되는 단차를 제거함으로써, 후속공정을 통해 형성되는 배향막(260)이 평탄한 형상으로리기판(210) 상에 형성될 수 있도록 하는 역할을 수행한다.Here, the overcoating layer 250 removes the step formed on the substrate 210 by the color filter 230, whereby the alignment layer 260 formed through the subsequent process is formed on the reflow substrate 210 in a flat shape. It has a role to make it possible.

상술한 바와 같이 오버 코팅층(250)을 형성한 후, 본 발명에 따른 오버 코팅층(250) 상에 액정 배향을 위한 배향막(260)을 형성한다. After the overcoating layer 250 is formed as described above, an alignment layer 260 for liquid crystal alignment is formed on the overcoating layer 250 according to the present invention.

도 18a 및 도 18b를 참조하면, 오버 코팅층(250)이 형성된 기판(210)상에 폴리이미드 등으로 구성되며 스페이서에 의해 형성된 셀 갭 사이에 충진된 액정을 소정 방향으로 배향시키는 배향막(260)을 최종적으로 형성한다.18A and 18B, an alignment layer 260 comprising polyimide or the like on the substrate 210 on which the overcoating layer 250 is formed and aligning liquid crystals filled between cell gaps formed by spacers in a predetermined direction is provided. Finally formed.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 컬러필터기판 및 그 제조방법은, 적어도 두 개의 컬러필터를 중첩시켜 스페이서를 형성함으로써, 마스크 공정을 저감시키는 동시에 작업공정을 단순화시킬 수 있다는 효과를 제공한다.As described above, the color filter substrate and the manufacturing method thereof according to the present invention provide an effect of reducing the mask process and simplifying the work process by forming a spacer by overlapping at least two color filters.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (14)

기판상에 형성되어 셀 영역을 구획하는 블랙 매트릭스; A black matrix formed on the substrate and partitioning the cell region; 상기 블랙 매트리스에 의해 구획된 셀 영역에 형성된 컬러필터; 및 A color filter formed in a cell region partitioned by the black mattress; And 상기 블랙 매트릭스와 중첩되게 형성되며 셀 갭을 유지시키는 스페이서를 구비하고, A spacer formed to overlap with the black matrix and maintaining a cell gap; 상기 스페이서는 적어도 두개의 컬러필터가 중첩된 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판.The spacer is a color filter substrate, characterized in that formed in the form of at least two color filters overlap. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컬러필터에 상에 형성되어 있는 오버 코팅층; 및 An overcoating layer formed on the color filter; And 상기 오버코팅층 상에 형성되어 있는 배향막을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판.And an alignment layer formed on the overcoating layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컬러필터는 상기 블랙 매트릭스에 의해 구획된 셀 영역에 아일랜드 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판.And the color filter is formed in an island shape in a cell region partitioned by the black matrix. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 컬러필터는 상기 셀 영역과, 상기 스페이서가 형성된 상기 블랙 매트릭 스 영역과 중첩된 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판.And the color filter is formed to overlap the cell region and the black matrix region where the spacer is formed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스페이서는,The spacer, 상기 컬러필터를 구성하는 제 1 컬러필터로 구성된 제 1 스페이서 패턴; 및A first spacer pattern composed of a first color filter constituting the color filter; And 상기 컬러필터를 구성하는 제 2 컬러필터로 구성되며 상기 제 1 스페이서 패턴과 중첩적으로 형성된 제 2 스페이서 패턴을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판.And a second spacer pattern formed of a second color filter constituting the color filter and overlapping the first spacer pattern. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 제 1 및 제 2 컬러필터는 상기 컬러필터를 구성하는 적색 컬러필터, 녹색 컬러필터 및 청색 컬러필터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 컬러필터기판.And the first and second color filters are any one of a red color filter, a green color filter, and a blue color filter constituting the color filter. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 스페이서는 상기 셀 갭을 유지시키기 위해 3.1㎛ 내지 4.5㎛의 높이를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판.The spacer is formed to have a height of 3.1㎛ to 4.5㎛ in order to maintain the cell gap. 기판상에 셀 영역을 구획하는 블랙 매트릭스를 형성하는 단계; Forming a black matrix defining a cell region on the substrate; 상기 블랙 매트리스에 의해 구획된 셀 영역에 컬러필터를 형성하는 단계; 및 Forming a color filter in a cell region partitioned by the black mattress; And 상기 블랙매트릭스와 중첩되게 형성되며 셀 갭을 유지시키는 스페이서를 형 성하는 단계; Forming a spacer overlapping the black matrix and maintaining a cell gap; 상기 스페이서는 적어도 두개의 컬러필터가 중첩된 형태로 구성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판의 제조방법.The spacer is a method of manufacturing a color filter substrate, characterized in that formed in the form of at least two color filters overlap. 제 8 항에 있어서, The method of claim 8, 상기 컬러필터 상에 오버 코팅층을 형성하는 단계; 및 Forming an overcoat layer on the color filter; And 상기 오버코팅층 상에 배향막을 형성하는 단계를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판의 제조방법.And forming an alignment layer on the overcoating layer. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 컬러필터는 상기 블랙매트릭스에 의해 구획된 셀 영역에 아일랜드 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판의 제조방법.And the color filter is formed in an island shape in a cell region partitioned by the black matrix. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 컬러필터는 상기 셀 영역과, 상기 스페이서가 형성된 상기 블랙 매트릭스 영역과 중첩된 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판의 제조방법.And the color filter is formed to overlap the cell region and the black matrix region where the spacer is formed. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스페이서를 형성하는 단계는,Forming the spacers, 상기 컬러필터를 구성하는 제 1 컬러필터를 상기 블랙 매트릭스 상에 중첩시 켜 제 1 스페이서 패턴을 형성하는 단계; 및 Overlapping a first color filter constituting the color filter on the black matrix to form a first spacer pattern; And 상기 컬러필터를 구성하는 제 2 컬러필터를 상기 제 1 스페이서 패턴 상에 중첩시켜 제 2 스페이서 패턴을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판의 제조방법.And overlapping a second color filter constituting the color filter on the first spacer pattern to form a second spacer pattern. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제 1 및 제 2 컬러필터는 상기 컬러필터를 구성하는 적색 컬러필터, 녹색 컬러필터 및 청색 컬러필터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 컬러필터기판의 제조방법.And the first and second color filters are any one of a red color filter, a green color filter, and a blue color filter constituting the color filter. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 스페이서는 상기 셀 갭을 유지시키기 위해 3.1㎛ 내지 4.5㎛의 높이를 갖도록 형성된 것을 특징으로 하는 컬러필터기판의 제조방법.The spacer is a manufacturing method of a color filter substrate, characterized in that formed to have a height of 3.1㎛ to 4.5㎛ to maintain the cell gap.
KR1020070023338A 2007-03-09 2007-03-09 Color filter substrate and method of fabricating the same KR20080082718A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070023338A KR20080082718A (en) 2007-03-09 2007-03-09 Color filter substrate and method of fabricating the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020070023338A KR20080082718A (en) 2007-03-09 2007-03-09 Color filter substrate and method of fabricating the same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080082718A true KR20080082718A (en) 2008-09-12

Family

ID=40021878

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020070023338A KR20080082718A (en) 2007-03-09 2007-03-09 Color filter substrate and method of fabricating the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20080082718A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100077979A (en) * 2008-12-29 2010-07-08 엘지디스플레이 주식회사 Color filter array of liquid crystal display device and method for fabricating the same
CN105717695A (en) * 2016-04-26 2016-06-29 深圳市华星光电技术有限公司 Manufacturing method for colorful membrane substrate and manufacturing method for liquid crystal display panel
WO2020097990A1 (en) * 2018-11-12 2020-05-22 惠科股份有限公司 Display panel, display device, and manufacturing mask therefor

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100077979A (en) * 2008-12-29 2010-07-08 엘지디스플레이 주식회사 Color filter array of liquid crystal display device and method for fabricating the same
CN105717695A (en) * 2016-04-26 2016-06-29 深圳市华星光电技术有限公司 Manufacturing method for colorful membrane substrate and manufacturing method for liquid crystal display panel
WO2017185447A1 (en) * 2016-04-26 2017-11-02 深圳市华星光电技术有限公司 Preparation method for color film substrate and preparation method for liquid crystal panel
US10048531B2 (en) 2016-04-26 2018-08-14 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Manufacturing method for color filter substrate and manufacturing method for liquid crystal panel
WO2020097990A1 (en) * 2018-11-12 2020-05-22 惠科股份有限公司 Display panel, display device, and manufacturing mask therefor
US11487145B2 (en) 2018-11-12 2022-11-01 HKC Corporation Limited Display panel, mask for manufacturing same, and display device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103389599B (en) Display device and its manufacture method
EP2485086A1 (en) Liquid crystal display panel
TW201604618A (en) Liquid crystal display panel
KR20130067443A (en) Liquid crystal display device and method of fabricating thereof
KR101722466B1 (en) Color filter substrate, manufacturing method thereof and display panel using the same
KR20090085353A (en) Color filter substrate and method of manufacturing the same, and liquid crystal display device
CN106896587B (en) Liquid crystal display device and method of manufacturing the same
US20130286312A1 (en) Display device and manufacturing method thereof
KR102122538B1 (en) Liquid crystal display device
JP2010039366A (en) Array substrate and liquid crystal display panel
JP2007240542A (en) Liquid crystal display element
KR20080082718A (en) Color filter substrate and method of fabricating the same
JP3536447B2 (en) Color liquid crystal display
EP3316033B1 (en) Thin film transistor substrate having color filter
WO2019021946A1 (en) Liquid crystal display device
JP2000310791A (en) Liquid crystal display device
JPWO2006040877A1 (en) Laminated board
KR100510188B1 (en) Liquid Crystal Display Panel and Method of Fabricating the same
JP6616897B2 (en) Display panel
KR20070035145A (en) Color filter substrate for liquid crystal display and fabricating method thereof
JP2007052360A (en) Color filter substrate, liquid crystal display panel, and method for manufacturing a plurality of color filter substrates
JPH1090693A (en) Liquid crystal display element
US10371977B2 (en) Flexible display device comprising a plurality of microactivities and a plastic layer having a fixed part and a flexible part
JP2002055335A (en) Liquid crystal display device
KR102398551B1 (en) Thin film transistor substrate and liquid crystal display panel with the same

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination