KR20080081592A - Air exhauster for substrate cleaning apparatus - Google Patents

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Abstract

An exhausting apparatus of substrate cleaning equipment is provided to eliminate the necessity of a filter by removing cleaning water and particles from the air exhausted from substrate cleaning equipment by a mechanical structure and by exhausting the exhaust air through different paths. An exhaust air inflow pipe(110) is formed on the upper surface of a main body(100), and an air outflow pipe(120) is formed on the lower surface of the main body. Air including cleaning water mist and particles is introduced into the exhaust air inflow pipe, and purified air is exhausted to the air outflow pipe. A plurality of mist filter plates(200) are prepared in the main body, condensing the air introduced into the exhaust air inflow pipe in a multistage method to separate and remove the cleaning water and particles in an opposite direction to the progression of the exhaust air. A cleaning water receiving part(300) receives the cleaning water and particles filtered by the mist filter plate and exhausts the received cleaning water and particles through an exhaust hole formed in the bottom of the cleaning water receiving part. One side of each mist filter plate can alternately be fixed to both lateral surfaces of the main body, and the other side of each mist filter plate can be upward inclined toward the flow direction of the exhaust air.

Description

기판 세정장비의 배기장치{Air exhauster for substrate cleaning apparatus}Air exhauster for substrate cleaning apparatus

도 1은 종래 기판 세정장비의 배기장치 단면 구성도이다.1 is a cross-sectional configuration of the exhaust device of the conventional substrate cleaning equipment.

도 2는 본 발명 기판 세정장비의 배기장치 바람직한 실시예의 단면 구성도이다.Figure 2 is a cross-sectional configuration of a preferred embodiment of the exhaust device of the substrate cleaning equipment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100:본체 110:배기공기유입관100: main body 110: exhaust air inlet pipe

120:공기유출관 130:세정수배출구120: air outlet pipe 130: washing water outlet

200:미스트거름판 300:세정수수용부200: mist filter 300: washing water receiving portion

본 발명은 기판 세정장비의 배기장치에 관한 것으로, 특히 대면적의 기판을 세정하는 장비에서 배기되는 공기에서 세정수 및 파티클을 분리제거하는 기판 세정장비의 배기장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an exhaust device for substrate cleaning equipment, and more particularly, to an exhaust device for substrate cleaning equipment that separates and removes washing water and particles from air exhausted from equipment for cleaning a large-area substrate.

일반적으로, 기판 세정장비는 대면적 기판에 세정수 또는 세정수와 공기가 혼합된 이류체를 분사하여 세정하는 장비이다. 이때 사용된 세정수는 대부분 기판 세정장비의 저면 측에 마련된 유출관을 통해 탱크에 집수되며, 그 일부는 미스트(mist)화 되어 그 기판 세정장비의 배기구를 통해 배기된다.In general, the substrate cleaning equipment is a device for cleaning by spraying the washing water or the air mixture mixed with the cleaning water and air to a large area substrate. At this time, most of the used washing water is collected in the tank through an outlet pipe provided on the bottom side of the substrate cleaning equipment, and a part of the cleaning water is misted and exhausted through the exhaust port of the substrate cleaning equipment.

상기 배기구를 통해 배기되는 공기는 이류체 생성에 재이용되거나 외부로 배기되며, 그 재이용 및 외부로 배기되는 공기에는 세정수 미스트 및 파티클이 포함되어 있지 않은 상태이어야 한다.The air exhausted through the exhaust port is reused or exhausted outside to generate an airflow, and the reused and exhausted air should not contain washing water mist and particles.

이와 같이 기판 세정장비에서 배기되는 공기에서 세정수 및 파티클을 분리하기 위하여 종래에는 공기만 투과되는 필터를 사용하여 공기와 파티클을 포함하는 세정수를 분리하였으며, 이와 같은 종래 기판 세정장비의 배기장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Thus, in order to separate the washing water and the particles from the air exhausted from the substrate cleaning equipment, conventionally, the cleaning water including the air and the particles are separated by using a filter through which only the air is permeated. When described in detail with reference to the accompanying drawings as follows.

도 1은 종래 기판 세정장비의 배기장치 단면 구성도이다.1 is a cross-sectional configuration of the exhaust device of the conventional substrate cleaning equipment.

도 1에 도시한 바와 같이 종래 기판 세정장비의 배기장치는, 상면에 공기유입구(11)를 구비함과 아울러 저면부에는 세정수와 파티클을 배출하는 세정수배출구(12)를 구비하고, 그 측면부에는 정화된 공기를 배출하는 공기배출구(13)를 포함하는 본체(10)와, 상기 본체(10)를 사선 방향으로 분할하되 상기 본체(10)의 공기유입구(11) 측을 상기 세정수배출구(12) 및 공기배출구(13) 측으로부터 분리하는 격벽(20)과, 상기 격벽(20)에 마련된 다수의 통공(21)과, 사이 격벽(20)에 의해 분할된 영역 중 상기 공기유입구(11)를 통해 공기가 유입되는 영역에 마련되어 유입된 공기로부터 세정수 및 파티클을 필터링하는 필터(30)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 1, the conventional apparatus for cleaning substrate cleaning equipment includes an air inlet 11 on the upper surface thereof, and a washing water outlet 12 for discharging the washing water and particles on the bottom surface thereof. The main body 10 including the air discharge port 13 for discharging the purified air, and the main body 10 is divided in an oblique direction, the air inlet 11 side of the main body 10 is the washing water discharge port ( 12) and the partition 20 which is separated from the air outlet 13 side, the plurality of through-holes 21 provided in the partition 20, and the air inlet 11 of the area divided by the partition wall 20 therebetween It is configured to include a filter 30 provided in the area through which air is introduced through to filter the washing water and particles from the introduced air.

이하, 상기와 같이 구성된 종래 기판 세정장비의 배기장치의 구성과 작용을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the exhaust device of the conventional substrate cleaning equipment configured as described above will be described in more detail.

먼저, 종래 기판 세정장비의 배기장치는 필터(30)를 사용하여 그 기판 세정장치로부터 배기되는 공기를 필터링하여 세정수 및 파티클을 제거한 정화 공기를 배출하는 구성이다.First, the exhaust device of the conventional substrate cleaning equipment is configured to filter the air exhausted from the substrate cleaning device by using the filter 30 to discharge the purified air from which the washing water and the particles are removed.

이를 위하여 상기 본체(10)에는 기판 세정장비로부터 배출되는 공기가 유입되는 공기유입구(11)가 상면에 위치한다. 그 공기유입구(11)를 통해 유입된 공기는 상기 격벽(20)에 의해 지지되는 필터(30)를 지나면서 세정수 미스트와 파티클이 필터링된다.To this end, the main body 10 has an air inlet 11 through which air discharged from the substrate cleaning equipment is introduced. The air introduced through the air inlet 11 passes through the filter 30 supported by the partition wall 20, and the washing water mist and particles are filtered out.

이와 같은 필터링에 의하여 상기 격벽(20)의 통공(21)을 통해서 공기가 배출되며, 그 배출된 공기는 상기 본체(10) 측면의 공기배출구(13)를 통해 배출된다.Air is discharged through the through hole 21 of the partition wall 20 by such filtering, and the discharged air is discharged through the air outlet 13 on the side of the main body 10.

상기 필터(30)에는 세정수와 파티클이 잔존하게 되며, 그 세정수의 무게에 의해 일부 세정수는 상기 격벽(20)의 통공(21)을 통해 그 격벽(20)의 저면을 따라 이동하여 상기 본체(10)의 바닥면으로 흐르게 되며, 이는 세정수배출구(12)를 통해 외부로 배출된다.The washing water and the particles remain in the filter 30, and by the weight of the washing water, some washing water moves along the bottom surface of the partition wall 20 through the through-hole 21 of the partition wall 20. It flows to the bottom surface of the main body 10, which is discharged to the outside through the washing water outlet (12).

따라서, 기판 세정장비에서 배기되는 공기와 그 공기중에 포함된 세정수 미스트 및 파티클을 제거할 수 있게 된다.Therefore, the air exhausted from the substrate cleaning equipment and the cleaning water mist and particles contained in the air can be removed.

그러나, 상기와 같은 종래 기판 세정장비의 배기장치는, 필터(30)에 파티클이 잔존하게 되며, 그 파티클에 의해 필터(30)의 수명이 제한됨에 따라 주기적으로 필터(30)를 교환해야 하기 때문에, 그 필터(30)의 유지 관리 비용이 증가하며, 필터(30)를 교환하는 동안에는 기판 세정장비 또한 운전이 정지되어야 하기 때문에 대면적 기판의 세정이 지연되어 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.However, in the exhaust device of the conventional substrate cleaning equipment as described above, since particles remain in the filter 30 and the life of the filter 30 is limited by the particles, the filter 30 needs to be replaced periodically. In addition, the maintenance cost of the filter 30 increases, and since the substrate cleaning equipment also needs to be stopped while the filter 30 is replaced, the cleaning of the large-area substrate is delayed, resulting in a decrease in productivity.

상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명은, 필터를 사용하지 않고도 기판 세정장비에서 배기되는 공기로부터 세정수 및 파티클을 분리할 수 있는 기판 세정장비 의 배기장치를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an exhaust device of a substrate cleaning device capable of separating washing water and particles from air exhausted from the substrate cleaning device without using a filter.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상면에 기판 세정장비에서 배기되는 세정수 미스트 및 파티클이 포함된 공기가 유입되는 배기공기유입관과, 저면에 정화된 공기가 배출되는 공기유출관을 구비하는 본체와, 상기 본체의 내측에 마련되어 상기 배기공기유입관으로 유입된 공기를 다단계로 응축시켜 배기공기의 진행방향의 역방향으로 세정수와 파티클을 분리제거하는 다수의 미스트거름판과, 상기 미스트거름판에 의해 걸러진 세정수와 파티클을 세정수배출구를 통해 유입받아 수용하며, 저면에 배출구를 통해 배출하는 세정수수용부를 포함한다.The present invention for achieving the above object, the exhaust air inlet pipe in which the air containing the cleaning water mist and particles exhausted from the substrate cleaning equipment on the upper surface, and the air outlet pipe for exhausting the purified air on the bottom surface And a plurality of mist filter plates provided inside the main body to condense the air introduced into the exhaust air inlet pipe in multiple stages to separate and remove washing water and particles in the reverse direction of the exhaust air. The washing water and particles filtered by the filter plate are received and received through the washing water outlet, and the washing water receiving unit discharges through the outlet at the bottom.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 그러나 이하의 실시예는 이 기술분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다. 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the following embodiments are provided to those skilled in the art to fully understand the present invention, and may be modified in various forms, and the scope of the present invention is limited to the embodiments described below. It is not. Like numbers refer to like elements in the figures.

도 2는 본 발명 기판 세정장비의 배기장치 바람직한 실시예의 단면 구성도이다.Figure 2 is a cross-sectional configuration of a preferred embodiment of the exhaust device of the substrate cleaning equipment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명 기판 세정장비의 배기장치 바람직한 실시예는 기 판 세정장비에서 배기되는 공기가 유입되는 배기공기유입관(110)이 상면에 마련되며, 저면에 세정수 미스트와 파티클이 제거된 공기가 유출되는 공기유출관(120)이 마련되며, 측면에 다수의 세정수배출구(130)를 구비하는 본체(100)와, 상기 본체(100)의 내측에 마련되어 상기 배기공기유입관(110)을 통해 유입된 배기공기를 세정수 미스트 및 파티클과, 정화공기로 분리하여 정화공기를 상기 공기유출관(120)을 통해 배기하고, 상기 세정수 미스트 및 파티클을 세정수배출구(130)를 통해 배출하는 다수의 미스트거름판(200)과, 상기 본체(100)의 측면 외측에 마련되어 상기 세정수배출구(130)를 통해 배출되는 세정수 및 파티클을 집수하여 배출하는 세정수수용부(300)를 포함한다.2, the preferred embodiment of the exhaust device of the substrate cleaning equipment of the present invention is provided with an exhaust air inlet pipe 110 through which the air exhausted from the substrate cleaning equipment is provided on the upper surface, the washing water mist and particles on the bottom surface An air outlet pipe 120 through which the removed air flows is provided, and a main body 100 having a plurality of washing water discharge ports 130 on a side thereof, and provided inside the main body 100 and the exhaust air inlet pipe ( The exhaust air introduced through 110 is separated into the washing water mist and particles and the purified air, and the purified air is exhausted through the air outlet pipe 120, and the washing water mist and the particles are discharged from the washing water outlet 130. The washing water accommodating part 300 which collects and discharges the washing water and the particles discharged through the plurality of mist filter plates 200 and the side surface of the main body 100 and discharged through the washing water outlet 130. It includes.

상기 미스트거름판(200)은 일단이 상기 본체(100)의 내측면에 마련된 세정수배출구(130)의 하단측에 접하며, 타단이 그 일단으로부터 상향 경사지게 구성된다.One end of the mist filter plate 200 is in contact with the lower end side of the washing water discharge port 130 provided on the inner surface of the main body 100, the other end is configured to be inclined upward from the one end.

이하, 상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 세정장비의 배기장치의 구성 및 작용을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the configuration and operation of the exhaust device of the substrate cleaning equipment according to the present invention configured as described above in more detail.

먼저, 본체(100)의 구조는 상부에 기판 세정장비(도면 미도시)로부터 배기된 배기공기가 유입되는 배기공기유입관(110)을 구비하며, 저면에는 공기유출관(120)이 마련되어 세정수 및 파티클이 제거된 공기가 외부로 배출되도록 한다.First, the structure of the main body 100 is provided with an exhaust air inlet pipe 110 through which exhaust air exhausted from a substrate cleaning equipment (not shown) is provided on the upper side, and an air outlet pipe 120 is provided on the bottom surface of the washing water. And particle-free air is discharged to the outside.

상기 본체(100)의 측면에는 다수의 세정수배출구(130)가 마련된다.A plurality of washing water discharge ports 130 are provided on the side of the main body 100.

상기 세정수배출구(130)는 원형, 타원형, 슬릿형 등 그 구조에 의해 본 발명 이 제한되지 않으며, 그 세정수배출구(130)는 그 본체(100)의 높이 방향으로 측면에 소정간격 이격되어 위치한다.The washing water discharge port 130 is not limited to the present invention by the structure, such as circular, elliptical, slit type, the washing water discharge port 130 is spaced apart a predetermined interval on the side in the height direction of the main body 100 do.

상기 세정수배출구(130)는 본체(100)의 일측면 또는 양측면에 위치할 수 있다.The washing water discharge port 130 may be located on one side or both sides of the main body 100.

상기 세정수배출구(130)가 위치하는 본체(100)의 측면에는 세정수수용부(300)가 구비되어 있으며, 상기 세정수수용부(300)의 저면에는 유입된 세정수 및 파티클을 외부로 배출할 수 있는 배출구(310)가 구비된다.The washing water accommodating part 300 is provided on a side surface of the main body 100 in which the washing water outlet 130 is disposed, and the washing water and particles introduced into the bottom of the washing water accommodating part 300 are discharged to the outside. The outlet 310 is provided.

상기 본체(100)의 내측에는 다수의 미스트거름판(200)이 구비되어 있다. 상기 미스트거름판(200)은 본체(100)의 내측면 일측에 일측단이 결합되어 있으며, 타측단은 그 일측단에 비해 높은 위치에 위치하도록 경사져 있다.A plurality of mist filter plates 200 are provided inside the main body 100. The mist filter plate 200 has one end coupled to one side of the inner surface of the main body 100, and the other end is inclined to be positioned at a higher position than the one end.

상기 미스트거름판(200)의 본체(100) 내측면과 접하는 위치는 상기 세정수배출구(130)의 바로 하단부이며, 미스트거름판(200)에서 공기와 분리된 세정수 및 파티클이 그 미스트거름판(200)을 따라 흘러내려 그 세정수배출구(130)를 통해 상기 세정수수용부(300)로 유입되도록 한다.The position in contact with the inner surface of the main body 100 of the mist filter plate 200 is just a lower portion of the washing water discharge port 130, the washing water and particles separated from the air in the mist filter plate 200 is the mist filter plate Flow along the 200 to be introduced into the washing water receiving portion 300 through the washing water outlet 130.

상기 다수의 미스트거름판(200) 중 최상층에 위치하는 미스트거름판(200)은 그 본체(200)의 내측상면과 근접해 있으며, 그 하부측에 위치하는 미스트거름판(200)은 각각의 상부측에 위치하는 미스트거름판(200)의 저면에 근접하도록 상향 경사져 있다.The mist filter plate 200 located on the uppermost layer of the plurality of mist filter plates 200 is close to the inner upper surface of the main body 200, and the mist filter plates 200 located on the lower side thereof are respectively upper side. It is inclined upward to approach the bottom of the mist filter plate 200 located in the.

이와 같은 구조에서 상기 배기공기유입관(110)을 통해 유입된 기판 세정장비의 배기공기가 유입되면 그 배기공기는 다수의 미스트거름판(200) 중 최상층의 미스트거름판(200)의 상면인 경사면을 지나면서 응축되고, 그 응축의 결과물인 세정수와 파티클은 그 미스트거름판(200)의 경사면을 따라 하향 이동하여 상기 본체(100)의 측면에 마련된 세정수배출구(130)를 통해 세정수수용부(300)로 유입된다.In such a structure, when the exhaust air of the substrate cleaning equipment introduced through the exhaust air inlet pipe 110 is introduced, the exhaust air is an inclined surface that is an upper surface of the mist filter plate 200 of the uppermost layer of the plurality of mist filter plates 200. Condensation is passed through, and the resulting washing water and particles are moved downward along the inclined surface of the mist filter plate 200 through the washing water outlet 130 provided on the side of the main body 100 for washing water Inflow to the portion 300.

또한, 상기 최상층의 미스트거름판(200)을 지난 공기는 그 하부측에 다수로 마련된 미스트거름판(200)들을 차례로 지나면서 응축되어 그 공기로부터 세정수와 파티클이 분리되어 세정수수용부(300)의 내측으로 유입된다.In addition, the air passing through the mist filtering plate 200 of the uppermost layer is condensed while passing through a plurality of mist filtering plates 200 provided on the lower side thereof. It flows into the inside of).

따라서, 상기 미스트거름판(200)들을 모두 지나면서 세정수와 파티클이 제거된 정화공기는 본체(100)의 저면에 마련된 공기유출관(120)을 통해 배기된다.Therefore, the purification air from which the washing water and the particles are removed while passing through the mist filter plates 200 is exhausted through the air outlet pipe 120 provided on the bottom of the main body 100.

그 정화공기는 상기 기판 세정장비로 다시 유입되어 이류체 형성 등에 사용될 수 있다.The purge air may be flowed back into the substrate cleaning equipment and used for forming an air body.

상기 세정수수용부(300)의 내측으로 유입된 세정수와 파티클은 그 세정수수용부(300)의 저면에 마련된 배출구(310)를 통해 배출되어 정화장치 등에 의해 정화처리 된다.The washing water and particles introduced into the washing water accommodating part 300 are discharged through the outlet 310 provided on the bottom surface of the washing water accommodating part 300 to be purified by a purification device or the like.

이와 같이 본 발명에 따른 기판 세정장비의 배기장치는 필터를 사용하지 않고 기계적으로 배기공기를 응축하여 그 배기공기로부터 세정수와 미스트를 그 배기공기의 배기방향의 역방향으로 수거하여 제거한다.As described above, the exhaust device of the substrate cleaning equipment according to the present invention condenses the exhaust air mechanically without using a filter and collects and removes the washing water and the mist from the exhaust air in the reverse direction of the exhaust air.

따라서, 필터 교환이 필요 없이 반영구적으로 사용이 가능하며, 필터 교환에 따른 기판 세정공정의 중단이 발생하지 않게 된다.Therefore, it is possible to use semi-permanently without the need for filter replacement, and no interruption of the substrate cleaning process due to the filter replacement occurs.

상기 미스트거름판(200)은 배기공기가 진행하는 방향측으로 다수의 골이 마련된 판으로 하여, 그 배기공기로부터 분리된 세정수 및 파티클이 상기 세정수배출구(130)로 용이하게 이동할 수 있도록 구성할 수 있다.The mist filter plate 200 is a plate provided with a plurality of valleys in the direction in which the exhaust air proceeds, so that the washing water and particles separated from the exhaust air can be easily moved to the washing water outlet 130. Can be.

이때 상기 세정수배출구(130)는 그 미스트거름판(200)을 따라 요철형상으로 할 수 있으며, 그 미스트거름판(200)의 홈 부분에 대응하도록 각각 분리된 다수의 홀 형상으로 마련될 수 있다.In this case, the washing water discharge port 130 may have an uneven shape along the mist filtering plate 200, and may be provided in a plurality of hole shapes separated to correspond to the groove portion of the mist filtering plate 200. .

이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시 예들을 들어 도시하고 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예들에 한정되지 않으며 본 발명의 개념을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능하다.The present invention has been shown and described with reference to certain preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments and has ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the concept of the present invention. Various changes and modifications are possible by the user.

상기한 바와 같이 본 발명은, 기계적인 구조에 의해 기판 세정장비에서 배기되는 배기공기로부터 세정수와 파티클을 제거하여, 각각 다른 경로를 통해 배출할 수 있도록 구성함으로써, 필터를 사용하지 않음에 따라 관리비용을 절감함과 아울러 필터 교환에 따른 세정공정의 중단을 방지하여 생산성을 향상시키는 효과가 있다.As described above, the present invention, by removing the cleaning water and particles from the exhaust air exhausted from the substrate cleaning equipment by a mechanical structure, so that each can be discharged through a different path, management by not using a filter In addition to reducing costs, there is an effect of improving productivity by preventing interruption of the cleaning process due to filter replacement.

Claims (5)

상면에 기판 세정장비에서 배기되는 세정수 미스트 및 파티클이 포함된 공기가 유입되는 배기공기유입관과, 저면에 정화된 공기가 배출되는 공기유출관을 구비하는 본체;A main body having an exhaust air inlet pipe through which air containing the cleaning water mist and particles exhausted from the substrate cleaning device is introduced, and an air outlet pipe through which the purified air is discharged to the bottom surface; 상기 본체의 내측에 마련되어 상기 배기공기유입관으로 유입된 공기를 다단계로 응축시켜 배기공기의 진행방향의 역방향으로 세정수와 파티클을 분리제거하는 다수의 미스트거름판; 및A plurality of mist filter plates provided inside the main body to condense the air introduced into the exhaust air inlet pipe in multiple stages to separate and remove the washing water and the particles in the reverse direction of the exhaust air; And 상기 미스트거름판에 의해 걸러진 세정수와 파티클을 세정수배출구를 통해 유입받아 수용하며, 저면에 배출구를 통해 배출하는 세정수수용부를 포함하는 기판 세정장비의 배기장치.And a washing water accommodating part receiving the washing water and the particles filtered by the mist filtering plate through the washing water discharge port, and discharged through the discharge port on the bottom surface. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다수의 미스트거름판 각각은,Each of the plurality of mist filters, 상기 본체의 상면 또는 각각의 상부에 위치하는 미스트거름판과의 간격이 상기 배기공기의 흐름 방향으로 좁아지도록 구성하여 된 것을 특징으로 하는 기판 세정장비의 배기장치.And an interval between the mist filter plates located on the upper surface of the main body or on the upper portion of the main body is narrowed in the flow direction of the exhaust air. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 다수의 미스트거름판 각각은,Each of the plurality of mist filters, 일측이 상기 본체의 양측면에 교번하여 고정되고, 타측이 배기공기의 흐름방향으로 상향경사진 것을 특징으로 하는 기판 세정장비의 배기장치.One side is alternately fixed to both sides of the main body, the other side of the substrate cleaning equipment exhaust apparatus characterized in that the inclined upward in the flow direction of the exhaust air. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 다수의 미스트거름판 각각은,Each of the plurality of mist filters, 세정수 및 파티클을 상기 세정수 배출구로 유도하는 다수의 홈이 마련된 것을 특징으로 하는 기판 세정장비의 배기장치.And a plurality of grooves for guiding washing water and particles to the washing water outlet. 제4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 세정수배출구는,The washing water outlet, 상기 다수의 미스트거름판과 본체의 결합부분에 각각 마련되는 다수의 천공, 슬릿형 통공 또는 요철형 통공인 것을 특징으로 하는 기판 세정장비의 배기장치.And a plurality of perforated, slit-type through holes, or uneven through holes provided in the combined portions of the plurality of mist filter plates and the main body, respectively.
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