KR20080058615A - Apparatus and system for mapping substrate - Google Patents

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KR20080058615A
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Abstract

An apparatus and a system for mapping a substrate are provided to change a position of a mapping part in accordance with motion of a transferring robot part and to discriminate whether the substrate is inserted in a shelf frame so as to sense the total number of the substrate stored in the cassette. An apparatus(100) for mapping a substrate(200) comprises a transferring robot part(120), and a mapping part(110). The transferring robot part loads and unloads the substrate received in a cassette(300) having a plurality of shelf frames. The mapping part, combined with the transferring robot part, is moved according to the motion of the transferring robot part and discriminates whether the substrate is inserted with regard to the shelf frames. The mapping part is combined at a rear surface of the transferring robot part.

Description

기판 감지 장치 및 기판 감지 시스템{Apparatus and system for mapping substrate}Substrate sensing device and substrate sensing system {Apparatus and system for mapping substrate}

도 1은 종래 기술에 따른 기판 감지 장치의 개략적 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view of a substrate sensing apparatus according to the prior art.

도 2 및 도 3은 도 1의 기판 감지 동작을 설명하기 위한 도면이다.2 and 3 are diagrams for describing the substrate sensing operation of FIG. 1.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 시스템의 개략적 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view of a substrate sensing system in accordance with an embodiment of the present invention.

도 5는 도 4에 나타난 기판 감지 장치의 확대도이다.FIG. 5 is an enlarged view of the substrate sensing apparatus shown in FIG. 4.

도 6은 도 4에 나타난 기판 감지 장치의 사시도이다.6 is a perspective view of the substrate sensing apparatus shown in FIG. 4.

(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)(Explanation of symbols for the main parts of the drawing)

100: 기판 감지 장치 110: 맵핑부100: substrate detection device 110: mapping unit

111: 지지 프레임 112: 수직 프레임111: support frame 112: vertical frame

113: 포토 센서(Photo Sensor) 120: 이재 로봇부113: Photo sensor 120: transfer robot part

121: 회전부 122: 로봇 암(Robot Arm)121: rotating part 122: robot arm

200: 기판 300: 카세트(Cassette)200: substrate 300: cassette

310: 카세트 안치대 331: 선반 프레임310: cassette holder 331: shelf frame

Port1, Port2, Port3: 포트Port1, Port2, Port3: Port

본 발명은 기판 감지 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 카세트에 수납된 기판의 유무를 판별하는 기판 감지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate sensing apparatus, and more particularly, to a substrate sensing apparatus for determining the presence or absence of a substrate housed in a cassette.

액정 표시 장치는 투명 절연 기판인 상, 하부 기판 사이에 이방성 유전율을 갖는 액정층을 형성한 후, 액정층에 형성되는 전계의 세기를 조정하여 액정 물질의 분자 배열을 변경시키고, 이를 통하여 표시면인 상부 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 표현하는 표시 장치이다.The liquid crystal display device forms a liquid crystal layer having anisotropic dielectric constant between upper and lower substrates, which are transparent insulating substrates, and then adjusts the intensity of the electric field formed in the liquid crystal layer to change the molecular arrangement of the liquid crystal material, thereby The display device expresses a desired image by adjusting the amount of light transmitted through the upper substrate.

이러한 액정 표시 장치는 여러 단계의 공정을 거쳐 제작되며, 공정의 종류에 따라 처리 공정이나 챔버(Chamber) 등이 달라지므로, 액정 표시 장치용 기판을 해당 공정으로 이송하는 작업을 주기적으로 실시하게 된다.Such a liquid crystal display is manufactured through a plurality of steps, and since a treatment process or a chamber is changed according to the type of the process, the operation of transferring the substrate for the liquid crystal display to the process is performed periodically.

각각의 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행되며, 이러한 챔버는 공정순으로 배치될 수도 있고, 여러 개의 챔버가 반송 챔버를 중심으로 결합되는 클러스터 형태로 배치될 수도 있다.Each process is performed in a chamber in which an optimal environment is created for the process, and these chambers may be arranged in a process order, or may be arranged in a cluster form in which several chambers are coupled around a transfer chamber.

어떠한 배치이든지 간에, 외부에서 챔버로 미처리 기판을 공급하고, 공정을 끝낸 기판을 외부로 반출하는 역할을 하는 카세트(Cassette)가 필요하며, 하나의 공정이 진행된 기판들이 카세트에 여러 개 적층되고, 자동 반송 대차(AGV: Auto Guided Vehicle)가 이러한 카세트를 탑재하여 다음 공정으로 이동시킨다.In any arrangement, a cassette is required to supply the unprocessed substrate from the outside to the chamber and to take out the finished substrate to the outside, and a plurality of substrates in one process are stacked on the cassette, and An Auto Guided Vehicle (AGV) mounts this cassette and moves it to the next process.

도 1은 카세트(20)가 공정 장비의 포트(Port1, Port2, Port3)에 안치되어 있는 모습을 나타낸 것으로, 종래 기술에 따른 기판 감지 장치(10)가 도시되어 있다. 도 2 및 도 3은 도 1의 기판 감지 동작을 설명하기 위한 도면이다.1 illustrates a state in which a cassette 20 is placed in ports Port1, Port2, and Port3 of process equipment, and a substrate sensing apparatus 10 according to the related art is illustrated. 2 and 3 are diagrams for describing the substrate sensing operation of FIG. 1.

한 챔버 내에서, 복수의 기판(30)이 수납되어 있는 카세트(20)는 자동 반송 대차에 의해 이동되어 하나의 공정 장비에서 다른 공정 장비로 이송되고, 이송된 카세트(20)는 이송된 공정 장비의 각 포트(Port1, Port2, Port3)로 안치된다.In one chamber, the cassette 20 in which the plurality of substrates 30 are housed is moved by an automatic transport cart to be transferred from one process equipment to another process equipment, and the transferred cassette 20 is transferred process equipment. Each port of the port (Port1, Port2, Port3) is placed.

카세트(20)는 기판(30)을 수납할 수 있는 복수 개의 선반 프레임(21)을 구비하며, 카세트(20)가 안치되는 각 포트(Port1, Port2, Port3)의 상면에는 상부로 돌출되는 카세트 안치대(40)가 형성되어 있다. 카세트 안치대(40)는 카세트(20)를 운반하는 이재 로봇(미도시)이 카세트(20)의 하부로 진입할 수 있는 공간을 확보하기 위한 것이다.The cassette 20 includes a plurality of shelf frames 21 capable of accommodating the substrate 30, and the cassette settles protruding upward on the upper surface of each of the ports Port1, Port2, and Port3 on which the cassette 20 is placed. A table 40 is formed. The cassette holder 40 is to secure a space for the transfer robot (not shown) carrying the cassette 20 to enter the lower portion of the cassette 20.

포트(Port1, Port2, Port3)의 측면에 위치하는 기판 감지 장치(10)는 포트(Port1, Port2, Port3)에 안착된 카세트(20)의 각 선반 프레임(21)에 기판(30)이 적재되었는지 여부를 감지하는 매핑(Mapping) 기능을 수행한다.The substrate detecting apparatus 10 positioned on the side of the ports Port1, Port2, and Port3 is configured to check whether the substrate 30 is loaded in each shelf frame 21 of the cassette 20 seated in the ports Port1, Port2, and Port3. Performs mapping function to detect whether or not.

카세트(20)의 양측 벽에는 선반 프레임(21)이 다수 형성되어 여러 장의 기판(30)이 수납되도록 되어 있으므로, 카세트(20) 내의 기판(30) 수량을 검사하는 기판 감지 장치(10) 상에는 복수의 센서(11)가 여러 열로 배열되어 복수의 센서(11)를 통해 기판(30)을 감지하여 수량을 검사하게 된다.Since a plurality of shelf frames 21 are formed on both side walls of the cassette 20 to accommodate a plurality of substrates 30, a plurality of shelf frames 21 are accommodated on the substrate sensing device 10 that inspects the quantity of the substrates 30 in the cassette 20. Sensors 11 are arranged in a plurality of rows to detect the substrate 30 through a plurality of sensors 11 to inspect the quantity.

각 포트(Port1, Port2, Port3)의 카세트 안치대(40)에 카세트(20)가 안치되면, 기판 감지 장치(10)가 카세트(20)에 접근하면서, 기판 감지 장치(10)에 부착된 센서(11)가 기판(30)의 하부로 진입하여 기판(30)의 존재 여부를 감지한다. 이때, 기판 감지 장치(10)의 센서(11)는 카세트(20)의 측면으로부터 카세트(20)의 내측으 로 진입하여 각 선반 프레임(21) 내 기판(30)의 존재 여부를 감지하게 된다.When the cassette 20 is placed in the cassette holder 40 of each of the ports Port1, Port2, and Port3, the sensor attached to the substrate sensing device 10 is approached while the substrate sensing device 10 approaches the cassette 20. 11 enters the lower portion of the substrate 30 to detect the presence of the substrate 30. In this case, the sensor 11 of the substrate sensing device 10 enters the cassette 20 from the side of the cassette 20 to detect the presence of the substrate 30 in each shelf frame 21.

포트(Port1, Port2, Port3)에 카세트(20)가 도착하면 도 2와 같이 해당 포트(Port1, Port2, Port3)의 초기 위치에 배치된 기판 감지 장치(10)가 도 3과 같이 카세트(20) 방향으로 전진하여 기판(30)을 감지한 후, 다시 도 2의 원래 위치로 후진하게 된다.When the cassette 20 arrives at the ports Port1, Port2, and Port3, the substrate sensing device 10 disposed at the initial position of the corresponding ports Port1, Port2, and Port3, as shown in FIG. After sensing the substrate 30 by advancing in the direction, the apparatus returns to the original position of FIG. 2 again.

그런데, 이러한 구조는 기판 감지 장치(10)가 각각의 포트(Port1, Port2, Port3)마다 모두 1대씩 설치되어야 하고, 포트(Port1, Port2, Port3) 수에 따라 필요 수량 및 비용이 증가되므로, 불필요하게 운용 면적이 소비되고, 장비 수량 및 단가가 상승되어 비효율적이라는 문제점이 있다.However, such a structure is unnecessary because the board sensing apparatus 10 should be installed in each one of each port (Port1, Port2, Port3), and the required quantity and cost increase according to the number of ports (Port1, Port2, Port3). In this case, there is a problem that the operating area is consumed, the quantity of equipment and the unit price are increased, and thus are inefficient.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 운용 면적을 줄이고, 장비 수량 및 단가를 감소시킬 수 있는 기판 감지 장치 및 기판 감지 시스템을 제공하는 것이다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a substrate sensing device and a substrate sensing system that can reduce the operating area, the number and cost of equipment.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the above-mentioned technical problems, and other technical problems not mentioned above may be clearly understood by those skilled in the art from the following description. There will be.

상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판 감지 장치는 복수 개의 선반 프레임을 구비한 카세트에 수납된 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하여 이동시키는 이재 로봇부와, 상기 이재 로봇부와 결합되어 상기 이재 로봇부의 움직임에 따라 위치가 변화되며, 상기 복수 개의 선반 프레임 각각에 대한 상기 기판의 삽입 여부를 판별하는 맵핑부를 포함한다.The substrate sensing apparatus according to the present invention for achieving the technical problem is a transfer robot unit for loading or unloading a substrate stored in a cassette having a plurality of shelf frames and the transfer robot unit It is coupled to the position is changed according to the movement of the transfer robot portion, and includes a mapping unit for determining whether the substrate is inserted into each of the plurality of shelf frame.

또한, 본 발명에 따른 기판 감지 시스템은 챔버 내에 설치된 복수의 포트와, 상기 복수의 포트 각각에 안착되며, 기판을 수납할 수 있는 복수의 선반 프레임이 구비된 카세트와, 상기 복수의 포트 사이를 이동하면서 상기 카세트에 수납된 상기 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)함과 동시에 상기 복수의 선반 프레임 각각에 대한 상기 기판의 삽입 여부를 판별하는 기판 감지 장치를 포함한다.In addition, the substrate sensing system according to the present invention includes a plurality of ports installed in the chamber, a cassette having a plurality of shelf frames seated in each of the plurality of ports and capable of accommodating a substrate, and moving between the plurality of ports. And a substrate sensing device configured to determine whether the substrate is inserted into each of the plurality of shelf frames while simultaneously loading or unloading the substrate stored in the cassette.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 장치와 기판 감지 시스템에 대하여 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a substrate sensing apparatus and a substrate sensing system according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 감지 시스템의 개략적 단면도이다.4 is a schematic cross-sectional view of a substrate sensing system in accordance with an embodiment of the present invention.

하나의 챔버 내에서는 액정 표시 장치의 각 제조 공정(예를 들어, 세정 공정, 증착 공정, 사진 공정, 식각 공정, 합착 공정, 절단 공정, 모듈 공정 등) 중 하나 이상의 공정이 수행되며, 이를 위한 하나 이상의 공정 장비와 공정 장비의 포 트(Port1, Port2)들이 배열된다.In one chamber, one or more processes of each manufacturing process (eg, a cleaning process, a deposition process, a photography process, an etching process, a bonding process, a cutting process, a module process, etc.) of the liquid crystal display device are performed. The above process equipment and the ports of the process equipment (Port1, Port2) are arranged.

챔버 내의 포트(Port1, Port2)들을 통해 각 공정을 수행하기 위한 기판(200)이 로딩(Loading)되거나 공정이 수행된 이후의 기판(200)이 언로딩(Unloading)된다.The substrate 200 for performing each process is loaded through the ports Port1 and Port2 in the chamber, or the substrate 200 after the process is unloaded.

도 4를 참조하면, 기판 감지 시스템은 기판(200)을 수납 및 반송하는 카세트(300), 카세트(300)가 안치된 복수의 포트(Port1, Port2), 기판 감지 장치(100)를 포함한다.Referring to FIG. 4, the substrate sensing system includes a cassette 300 for accommodating and transporting the substrate 200, a plurality of ports Port1 and Port2 on which the cassette 300 is placed, and a substrate sensing apparatus 100.

기판 감지 장치(100)는 크게 카세트(300)에 기판(200)을 수납하거나 수납된 기판(200)을 빼내는 이재 로봇부(120)와 이재 로봇부(120)에 일체화되어 카세트(300)에 수납된 기판(200)의 수량을 감지하는 맵핑부(110)로 구성된다.The substrate detecting apparatus 100 is integrated into the transfer robot unit 120 and the transfer robot unit 120 which accommodate the substrate 200 in the cassette 300 or remove the stored substrate 200 into the cassette 300. It is composed of a mapping unit 110 for sensing the quantity of the substrate 200 has been.

기판 감지 장치(100)는 한 챔버 내에 설치된 복수의 포트(Port1, Port2) 사이를 이동하면서 이재 로봇부(Transferring robot part)(120)를 통해 기판(200)을 로딩 또는 언로딩하는 기능을 수행하고, 동시에, 맵핑부(110)를 통해 카세트(300) 내에 수납된 기판(200)의 수량을 감지하는 맵핑(Mapping) 기능을 수행한다.The substrate detecting apparatus 100 performs a function of loading or unloading the substrate 200 through a transfer robot part 120 while moving between a plurality of ports Port1 and Port2 installed in one chamber. At the same time, the mapping unit 110 performs a mapping function of sensing the quantity of the substrate 200 accommodated in the cassette 300 through the mapping unit 110.

도 5는 도 4에 나타난 기판 감지 장치의 확대도이고, 도 6은 도 4에 나타난 기판 감지 장치의 사시도이다.FIG. 5 is an enlarged view of the substrate sensing apparatus shown in FIG. 4, and FIG. 6 is a perspective view of the substrate sensing apparatus shown in FIG. 4.

도 5 및 도 6을 참조하면, 기판 감지 장치(100)는 크게 이재 로봇부(120)와 맵핑부(110)로 구분된다.5 and 6, the substrate sensing apparatus 100 is largely divided into a transfer robot unit 120 and a mapping unit 110.

카세트(300) 내부의 양 측면에는 복수의 선반 프레임(331)이 설치되고, 자동 반송 대차(미도시)에 의해 각 선반 프레임(331)에 기판(200)이 놓여진 상태로 카세 트(300)가 이송되어 포트(Port1, Port2)로 안착된다.A plurality of shelf frames 331 are installed on both side surfaces of the cassette 300, and the cassette 300 is placed in a state in which the substrate 200 is placed on each shelf frame 331 by an automatic transport cart (not shown). It is transferred and seated in the ports (Port1, Port2).

이재 로봇부(120)는 카세트(300)의 선반 프레임(331)에 수납된 기판(200)을 이동시켜 포트(Port1, Port2)로 로딩하거나 포트(Port1, Port2)로부터 언로딩한다.The transfer robot unit 120 moves the substrate 200 accommodated in the shelf frame 331 of the cassette 300 to be loaded into the ports Port1 and Port2 or unloaded from the ports Port1 and Port2.

맵핑부(110)는 이재 로봇부(120)와 일체화되도록 결합되어 있으며, 이재 로봇부(120)의 움직임에 따라 위치를 변화시켜 가면서 각각의 선반 프레임(331)에 대한 기판(200)의 삽입 여부를 판별하여, 카세트(300) 내에 수납된 기판(200)의 전체 수량을 감지한다.The mapping unit 110 is coupled to be integrated with the transfer robot unit 120 and changes the position according to the movement of the transfer robot unit 120 while inserting the substrate 200 into each shelf frame 331. By determining the total quantity of the substrate 200 accommodated in the cassette 300.

맵핑부(110)는 이재 로봇부(120)의 후면에 설치될 수 있으며, 이재 로봇부(120)의 움직임에 따라 회전 가능하도록 구성될 수 있다. 이러한 경우, 기판(200)을 카세트(300)로 로딩하거나 언로딩할 때에는 이재 로봇부(120)가 카세트(300)의 정면과 마주보게 되고, 카세트(300) 내에 수납된 기판(200)의 유무를 감지할 때에는 기판 감지 장치(100)가 180도 회전하여 맵핑부(110)가 카세트(300)의 정면과 마주보게 된다.The mapping unit 110 may be installed at the rear of the transfer robot unit 120 and may be configured to be rotatable according to the movement of the transfer robot unit 120. In this case, when loading or unloading the substrate 200 into the cassette 300, the transfer robot unit 120 faces the front of the cassette 300, and the presence or absence of the substrate 200 stored in the cassette 300 is present. When detecting the substrate sensing apparatus 100 is rotated 180 degrees so that the mapping unit 110 faces the front of the cassette 300.

또한, 맵핑부(110)가 이재 로봇부(120)의 움직임에 따라 이재 로봇부(120)와 함께 카세트(300)의 좌우 방향으로 이동하면서 복수의 포트(Port1, Port2) 사이를 움직이도록 구성할 수도 있다.In addition, the mapping unit 110 is configured to move between the plurality of ports (Port1, Port2) while moving in the horizontal direction of the cassette 300 with the transfer robot unit 120 in accordance with the movement of the transfer robot unit 120. It may be.

이와 같이, 기판 감지 장치(100)의 이재 로봇부(120)와 맵핑부(110)는 카세트(300)가 도착되면, 직진이나 회전 동작을 통해 감지 위치로 이동하고, 감지 위치에서 카세트(300)의 각 선반 프레임(331) 내 기판(200)의 존재 유무를 검출한 후, 원래의 초기 위치로 다시 이동하게 된다.As such, when the cassette 300 arrives, the transfer robot unit 120 and the mapping unit 110 of the substrate sensing apparatus 100 move to a sensing position through a straight or rotating operation, and the cassette 300 at the sensing position. After detecting the presence or absence of the substrate 200 in each shelf frame 331, it is moved back to its original initial position.

맵핑부(110)의 세부 구조를 살펴보면, 이재 로봇부(120)와 일체화된 하부의 지지 프레임(111), 지지 프레임에 수직한 방향으로 설치된 수직 프레임(112), 카세트(300)의 각 선반 프레임(331)에 기판(200)이 존재하는지 여부를 감지하는 복수의 포토 센서(Photo Sensor)(113)를 포함한다.Looking at the detailed structure of the mapping unit 110, the lower support frame 111 integrated with the transfer robot unit 120, the vertical frame 112 installed in a direction perpendicular to the support frame, each shelf frame of the cassette 300 A plurality of photo sensors 113 for detecting whether the substrate 200 exists in the 331 is included.

복수의 포토 센서(113)는 수직 프레임(112)으로부터 수평 방향으로 돌출되어 일정한 간격으로 배열되며, 감지 동작 시 각 선반 프레임(331)의 하부로 진입하여 기판(200)의 삽입 여부를 감지하게 된다.The plurality of photo sensors 113 protrude in a horizontal direction from the vertical frame 112 and are arranged at regular intervals, and enter a lower portion of each shelf frame 331 to detect whether the substrate 200 is inserted in the sensing operation. .

여기서, 각 포토 센서(113)는 기판(200)의 삽입 여부를 감지할 때, 카세트(300)의 정면으로 삽입되므로, 카세트(300)의 측면에서 삽입되는 경우에 비하여 포토 센서(113)가 카세트(300) 내부로 삽입될 수 있는 범위가 넓어지게 된다.Here, since each photo sensor 113 is inserted into the front of the cassette 300 when detecting whether the substrate 200 is inserted, the photo sensor 113 is a cassette compared to the case where the photo sensor 113 is inserted from the side of the cassette 300. The range that can be inserted into the 300 becomes wider.

도 6을 참조하여 카세트(300)의 구성을 살펴보면, 하부 프레임(320)과 하부 프레임(320)에 수직으로 결합되는 양 측면의 사이드 프레임(330), 사이드 프레임(330)의 상단에 결합되는 상부 프레임(340)을 포함한다. 양 측면의 사이드 프레임(330) 상에는 기판(200)이 놓여지는 선반 프레임(331)이 다수 결합되어 있다.Looking at the configuration of the cassette 300 with reference to Figure 6, the lower frame 320 and the upper side coupled to the upper side of the side frame 330, the side frame 330 of both sides vertically coupled to the lower frame 320 Frame 340. On the side frame 330 on both sides, a plurality of shelf frames 331 on which the substrate 200 is placed are coupled.

이재 로봇부(120)는 회전부(121)와 두 개의 로봇 암(122)으로 구성되어 있고, 회전부(121)에 로봇 암(122)이 연결되어 있다. 이러한 이재 로봇부(120)는 높이 조절이 가능하여 원하는 위치의 선반 프레임(331)에 기판(200)을 수납하거나 그로부터 기판(200)을 빼낼 수 있다.The transfer robot part 120 is composed of a rotating part 121 and two robot arms 122, and the robot arm 122 is connected to the rotating part 121. The transfer robot unit 120 is capable of height adjustment to accommodate the substrate 200 in the shelf frame 331 at a desired position or to remove the substrate 200 therefrom.

카세트(300)가 안치되는 포트(Port1, Port2)의 상면에는 상부로 돌출되는 카세트 안치대(310)가 형성되는데, 이재 로봇부(120)의 로봇 암(122)은 카세트 안치 대(310)로 인해 생기는 공간을 통해 하부 프레임(320)의 하부로 진입할 수 있다.On the upper surface of the port (Port1, Port2) where the cassette 300 is placed is formed a cassette stabilizer 310 protruding upward, the robot arm 122 of the transfer robot unit 120 is a cassette setter 310 It may enter the lower portion of the lower frame 320 through the resulting space.

맵핑부(110)는 포트(Port1, Port2)에 안치된 카세트(300)에서 각 선반 프레임(331)에 기판(200)이 적재되었는지 여부를 감지하는 기능을 한다. 즉, 포트(Port1, Port2)의 카세트 안치대(310)에 카세트(300)가 놓여지면, 맵핑부(110)가 카세트(300)에 접근하면서, 맵핑부(110)의 포토 센서(113)가 기판(200)의 하부로 진입하여 각 선반 프레임(331) 상에 기판(200)이 놓여있는지 여부를 감지하게 된다.The mapping unit 110 detects whether the substrate 200 is loaded in each shelf frame 331 in the cassette 300 placed in the ports Port1 and Port2. That is, when the cassette 300 is placed on the cassette holder 310 of the ports Port1 and Port2, the photo sensor 113 of the mapping unit 110 is moved while the mapping unit 110 approaches the cassette 300. The lower surface of the substrate 200 is detected to detect whether the substrate 200 is placed on each shelf frame 331.

이렇게 감지된 결과는 기판 감지 장치(100)를 제어하는 공정 장비의 컨트롤러(미도시)로 전달되어, 장비 운전자가 기판(200)의 존재 여부를 확인할 수 있게 된다.The detected result is transmitted to a controller (not shown) of the process equipment that controls the substrate sensing apparatus 100, so that the equipment driver can check the existence of the substrate 200.

이재 로봇부(120)는 높이 조절이 가능하고, 각 로봇 암(122)에는 기판(200)을 진공으로 흡착하여 고정하기 위한 흡착 패드(미도시)가 형성되어 있으므로, 원하는 위치의 선반 프레임(331)에 기판(200)을 수납하거나 빼낼 수 있다.The transfer robot unit 120 is capable of height adjustment, and each robot arm 122 is provided with a suction pad (not shown) for adsorbing and fixing the substrate 200 by vacuum, so that the shelf frame 331 at a desired position is provided. The substrate 200 may be stored in or removed from the substrate 200.

기판(200)을 카세트(300)에 수납하고자 하는 경우, 이재 로봇부(120)의 로봇 암(122)을 이용해 기판(200)을 지지한 후 회전부(121)를 회전시키면, 회전부(121)의 회전 운동이 로봇 암(122)의 직선 운동으로 바뀌어, 로봇 암(122)이 기판(200)을 반송하고자 하는 위치로 이동한 다음, 카세트(300) 내부로 전진한다. 따라서, 로딩하고자 하는 선반 프레임(331) 상에 기판(200)을 로딩한다.In the case where the substrate 200 is to be stored in the cassette 300, the substrate 200 is supported using the robot arm 122 of the transfer robot unit 120, and then the rotating unit 121 is rotated. The rotational movement is changed to the linear movement of the robot arm 122, the robot arm 122 moves to the position to convey the substrate 200, and then advances into the cassette 300. Therefore, the substrate 200 is loaded on the shelf frame 331 to be loaded.

이와 반대로 기판(200)을 카세트(300)에서 빼내고자 하는 경우에는, 로봇 암(122)을 언로딩하고자 하는 기판(200)의 아래로 삽입한 후 상승시켜 기판(200)을 로봇 암(122)에 수납시킨 다음, 후진하여 미리 입력된 반송 위치로 이동한다.On the contrary, when the substrate 200 is to be removed from the cassette 300, the robot arm 122 is inserted below the substrate 200 to be unloaded and then raised to raise the substrate 200 to the robot arm 122. Is stored, and then moves back to the previously input conveyance position.

기판 감지 장치(100)를 제어하는 컨트롤러(미도시)는 기판 감지 장치(100)의 초기 셋팅 시에 기판 이재 테스트를 하면서 최적의 위치를 미리 지정해 두고, 기판 감지 장치(100)의 동작 상태 및 기판(200)의 정보를 확인한 후 상위 제어 시스템에 보고하는 역할을 한다.A controller (not shown) for controlling the substrate sensing apparatus 100 may designate an optimal position in advance while performing substrate transfer testing during initial setting of the substrate sensing apparatus 100, and may determine an operation state and a substrate of the substrate sensing apparatus 100. After confirming the information of the (200) serves to report to the upper control system.

이와 같이, 공정 장비의 1 포트 당 1개씩 있는 종래의 기판 감지 장치에 대응하는 맵핑부(110)를 이재 로봇부(120)에 장착하면, 포토 센서(113) 등의 수량이 저감되어 장비 단가를 줄일 수 있다.In this way, when the mapping unit 110 corresponding to the conventional substrate sensing device, which is one per port of the process equipment, is mounted on the transfer robot unit 120, the quantity of the photo sensor 113 or the like is reduced, thereby reducing the unit cost. Can be reduced.

공정 장비의 제1 포트(Port1)를 예로 들어, 기판 감지 장치(100)의 감지 동작을 설명하면 다음과 같다.Taking a first port Port1 of the process equipment as an example, the sensing operation of the substrate sensing apparatus 100 will be described below.

먼저, 이재 로봇부(120)와 맵핑부(110)가 일체화되어 있는 기판 감지 장치(100)가 제1 포트(Port1)에 인접한 초기 위치로 이동한다. 이때, 기판 감지 장치(100)의 이재 로봇부(120)가 제1 포트(Port1)와 마주보도록 위치한다.First, the substrate sensing apparatus 100, in which the transfer robot unit 120 and the mapping unit 110 are integrated, moves to an initial position adjacent to the first port Port1. At this time, the transfer robot unit 120 of the substrate sensing apparatus 100 is positioned to face the first port Port1.

카세트(300)가 제1 포트(Port1)에 도착하면, 맵핑부(110)가 카세트(300)의 정면과 마주보는 감지 위치로 이동하도록 기판 감지 장치(100)가 카세트(300) 방향으로 회전된 후, 맵핑부(110)의 각 포토 센서(113)를 통해 카세트(300) 내의 기판(200) 수량을 감지한다.When the cassette 300 arrives at the first port Port1, the substrate sensing apparatus 100 is rotated in the direction of the cassette 300 such that the mapping unit 110 moves to a sensing position facing the front of the cassette 300. Thereafter, the quantity of the substrate 200 in the cassette 300 is sensed through each photo sensor 113 of the mapping unit 110.

포토 센서(113)는 카세트(300)의 선반 프레임(331)에 놓인 기판(200)을 향해 빛을 조사하는 발광부(114), 기판(200)을 향해 조사된 후 기판(200)에 반사되어 재입사되는 빛의 세기를 감지하여 기판(200)의 유무를 검출하는 수광부(115)를 갖는 다.The photo sensor 113 is irradiated toward the light emitting unit 114 for irradiating light toward the substrate 200 placed on the shelf frame 331 of the cassette 300 and the substrate 200 and then reflected on the substrate 200. The light receiving unit 115 detects the presence or absence of the substrate 200 by sensing the intensity of light incident again.

이때, 정확한 감지 위치로 이동하기 위하여 기판 감지 장치(100)가 회전 전에 카세트(300) 방향으로 전진할 수도 있다.In this case, in order to move to the correct sensing position, the substrate sensing apparatus 100 may move toward the cassette 300 before rotation.

맵핑부(110)에 의한 기판(200)의 감지가 이루어진 후, 기판 감지 장치(100)가 다시 회전하여 원래의 초기 위치로 이동한다. 기판(200)의 감지 동작을 위해 기판 감지 장치(100)가 카세트 방향으로 전진한 경우에는 원래의 초기 위치로 이동하기 위하여 회전 동작과 함께 후진 동작을 수행하게 된다.After the sensing of the substrate 200 by the mapping unit 110 is performed, the substrate sensing apparatus 100 is rotated again to move to the original initial position. When the substrate sensing apparatus 100 is advanced in the cassette direction for the sensing operation of the substrate 200, the reverse sensing operation is performed along with the rotation operation to move to the original initial position.

맵핑부(110)에 장착된 복수 개의 포토 센서(113)는 기판(200)의 삽입 여부를 검출한 후 검출된 정보를 컨트롤러(미도시)에 송부하여 장비 운전자가 이를 확인할 수 있도록 한다.The plurality of photo sensors 113 mounted on the mapping unit 110 detects whether the substrate 200 is inserted and then transmits the detected information to a controller (not shown) so that the equipment driver can check the information.

제1 포트(Port1)의 감지 동작이 끝나면, 기판 감지 장치(100)가 제2 포트(Port2)로 이동하여 제 2 포트(Port2)에 놓여진 카세트(300)에 대한 기판 감지 동작을 다시 수행하게 된다.After the sensing operation of the first port Port1 is completed, the substrate sensing apparatus 100 moves to the second port Port2 to perform the substrate sensing operation on the cassette 300 placed in the second port Port2 again. .

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. I can understand that.

따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청 구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.Therefore, since the embodiments described above are provided to completely inform the scope of the invention to those skilled in the art, it should be understood that they are exemplary in all respects and not limited. The invention is only defined by the scope of the claims.

상기한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따른 기판 감지 장치 및 기판 감지 시스템은 이재 로봇부에 맵핑부를 일체화시킴으로써, 운용 면적을 줄이고, 장비 수량 및 단가를 감소시켜 효율을 높일 수 있다.The substrate sensing apparatus and the substrate sensing system according to the present invention made as described above may increase the efficiency by integrating the mapping unit in the transfer robot unit, thereby reducing the operating area, reducing the quantity of equipment and the unit cost.

Claims (10)

복수 개의 선반 프레임을 구비한 카세트에 수납된 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하여 이동시키는 이재 로봇부; 및A transfer robot unit which moves by loading or unloading a substrate accommodated in a cassette having a plurality of shelf frames; And 상기 이재 로봇부와 결합되어 상기 이재 로봇부의 움직임에 따라 위치가 변화되며, 상기 복수 개의 선반 프레임 각각에 대한 상기 기판의 삽입 여부를 판별하는 맵핑부The mapping unit is coupled to the transfer robot unit and the position is changed according to the movement of the transfer robot unit, and determines whether the substrate is inserted into each of the plurality of shelf frames. 를 포함하는 기판 감지 장치.Substrate sensing device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 맵핑부는,The mapping unit, 상기 이재 로봇부의 후면에 결합된 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.Substrate sensing device, characterized in that coupled to the back of the transfer robot. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 맵핑부는,The mapping unit, 상기 이재 로봇부의 움직임에 따라 상기 카세트의 좌우 방향으로 이동 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.Substrate sensing device, characterized in that configured to be movable in the left and right direction of the cassette in accordance with the movement of the transfer robot. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 맵핑부는,The mapping unit, 상기 이재 로봇부의 움직임에 따라 회전 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.Substrate sensing device, characterized in that configured to be rotatable in accordance with the movement of the transfer robot. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이재 로봇부와 상기 맵핑부는,The transfer robot unit and the mapping unit, 상기 카세트가 포트에 도착되면 직진 또는 회전을 통해 감지 위치로 이동하고, 상기 감지 위치에서 상기 기판의 삽입 여부를 검출한 후, 상기 초기 위치로 다시 이동하는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.When the cassette arrives at the port, moves to a sensing position through a straight line or a rotation, detects whether the substrate is inserted at the sensing position, and then moves back to the initial position. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 맵핑부는,The mapping unit, 상기 이재 로봇부와 일체화된 하부의 지지 프레임;A lower support frame integrated with the transfer robot; 상기 지지 프레임에 수직으로 결합된 수직 프레임; 및A vertical frame coupled vertically to the support frame; And 상기 수직 프레임으로부터 돌출되어 일정한 간격으로 배열되고, 상기 복수 개의 선반 프레임 각각의 하부로 진입하여 상기 기판의 삽입 여부를 감지하는 복수 개의 포토 센서A plurality of photo sensors which protrude from the vertical frame and are arranged at regular intervals and enter a lower portion of each of the plurality of shelf frames to detect whether the substrate is inserted; 를 포함하는 기판 감지 장치.Substrate sensing device comprising a. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 맵핑부에 형성된 상기 복수 개의 포토 센서는,The plurality of photo sensors formed in the mapping unit, 상기 기판의 삽입 여부 감지 시 상기 카세트의 정면으로 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판 감지 장치.And a substrate sensing device inserted into the front of the cassette when the substrate is inserted or not. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 복수 개의 포토 센서 각각은,Each of the plurality of photo sensors, 상기 기판을 향해 빛을 조사하는 발광부; 및A light emitting unit irradiating light toward the substrate; And 상기 기판을 향해 조사된 후 재입사되는 빛의 세기를 감지하여 상기 기판의 유무를 검출하는 수광부The light receiving unit detects the presence or absence of the substrate by sensing the intensity of light that is irradiated toward the substrate and then reincident 를 포함하는 기판 감지 장치.Substrate sensing device comprising a. 챔버 내에 설치된 복수의 포트;A plurality of ports installed in the chamber; 상기 복수의 포트 각각에 안착되며, 기판을 수납할 수 있는 복수의 선반 프레임이 구비된 카세트; 및A cassette seated in each of the plurality of ports and provided with a plurality of shelf frames capable of receiving a substrate; And 상기 복수의 포트 사이를 이동하면서 상기 카세트에 수납된 상기 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)함과 동시에 상기 복수의 선반 프레임 각각에 대한 상기 기판의 삽입 여부를 판별하는 기판 감지 장치Substrate sensing device for determining whether the substrate is inserted into each of the plurality of shelf frame while loading or unloading the substrate stored in the cassette while moving between the plurality of ports 를 포함하는 기판 감지 시스템.Substrate sensing system comprising a. 제9항에 있어서,The method of claim 9, 상기 기판 감지 장치는,The substrate sensing device, 상기 카세트에 수납된 기판을 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하여 이동시키는 이재 로봇부; 및A transfer robot unit which moves by loading or unloading a substrate accommodated in the cassette; And 상기 이재 로봇부와 결합되어 상기 이재 로봇부의 움직임에 따라 위치가 변화되며, 상기 복수 선반 프레임 각각에 대한 상기 기판의 삽입 여부를 판별하는 맵핑부The mapping unit is coupled to the transfer robot unit and the position is changed according to the movement of the transfer robot unit, and determines whether the substrate is inserted into each of the plurality of shelf frames. 를 포함하는 기판 감지 시스템.Substrate sensing system comprising a.
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CN108695220A (en) * 2018-05-22 2018-10-23 北京锐洁机器人科技有限公司 A kind of multifunctional efficient rewinder

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102717981A (en) * 2012-06-19 2012-10-10 友达光电(上海)有限公司 Substrate carrying device
CN108695220A (en) * 2018-05-22 2018-10-23 北京锐洁机器人科技有限公司 A kind of multifunctional efficient rewinder
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