KR20080058331A - 혼합 이덕터 - Google Patents

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KR20080058331A
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존 에이. 보티키
제임스 엘. 보우노빌
제임스 에이치. 로어
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존슨디버세이, 인크.
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Abstract

두 개의 액체을 혼합하기 위한 이덕터는 폐쇄 또는 무공기 갭 역류 방지 부재를 포함한다. 이덕터의 진공 프로파일은 벤투리 관 주위에서 수류 또는 개구가 없은 물의 전환을 조절할 수 있는 통로부에서 개구의 변화에 의해 변경된다. 이덕터는 전체 이덕터를 재설계 없이 진공 프로파일의 변화를 제공한다.
이덕터, 진공 프로파일, 역류 방지 부재, 벤투리 관, 통로부

Description

혼합 이덕터 {MIXING EDUCTOR}
본 발명은 일반적으로 희석액과 화학 농축물의 혼합에 채용되는 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 이덕터에서의 감압이 용이하게 조정될 수 있는, 용기로부터 희석액으로 화학 농축물을 흡인하기 위한 이덕터에 관한 것이다.
희석액을 제공하도록 액체의 스트림에 화학 농축물을 혼합하기 위한 이덕터의 사용은 공지되어 있다. 예컨대, 참고 문헌으로 교시 내용이 본 명세서에 합체되어 있는 에스.씨. 존슨 케미컬 마켓(S.C. Johnson Comercial Markets, Inc.)에 허여된 미국특허 제5,927,338호 및 미국특허 제6,279,598호를 참조하라.
공기 갭 없는 이덕터가 공지되어 있다. 하나가 미국특허 제6,240,983호에 설명되어 있다.
기술의 진보와, 규제 위원회의 변화는 역류 방지의 무공기 갭 수단의 근원이 되었다. 새로운 역류 방지 방법 중 하나는, 역사이펀작용이 발생하면 엘라스토머(elastomer)가 경로를 밀봉 폐쇄하여 사용하는 것으로써 역류를 방지하는 방식으로, 중요 경로에 엘라스토머를 사용하는 것이다. 밀봉형 물공급 시스템의 대기는 허셜-타입 벤투리 시스템에 더 적합하다. 진공 프로파일은 방출 목구멍 길이, 직경 및 원추각에 비례하는 표준 입구 길이, 직경 및 원추각에 기초한다. 진공 프로 파일을 변화시키는 것은 전체 벤투리의 재설계를 필요로한다.
종래 기술은 진공 프로파일이 전체 벤투리를 재설계하지 않고 수정될 수 있는, 무공기 갭 이덕터를 제공하지 않는다.
본 발명의 소정의 실시예의 목적은,
혼합 및 분배 장치를 위한 개선된 이덕터를 제공하는 것이다.
개선된 무공기 갭 이덕터를 제공하는 것이다.
진공 프로파일이 전체 유닛을 재설계하지 않고 수정될 수 있는, 개선된 무공기 갭 이덕터를 제공하는 것이다.
용이하게 개장(retroiftted)될 수 있는 상기 유형의 개선된 무공기 갭 이덕터를 제공하는 것이다.
최소 비용으로 제조될 수 있는 상위 유형의 개선된 무공기 갭 이덕터를 제공하는 것이다.
본 발명은 종방향 축을 제공하는 본체 부재를 포함하는 한 실시예에서 이덕터에 의해서 이전 목적을 달성하고 종래 기술의 단점을 극복한다. 유로는 본체 부재를 통해 종방향 축으로 연장되고, 제1 유동 안내부 및 제2 유동 안내부에 의해 형성되고, 제2 유동 안내부는 제1 유동 안내부로부터 액체를 수용하도록 구성 및 배열된다. 폐쇄 역류 방지 부재는 제1 유동 안내부와 작동식으로 관련된다. 벤투리 관은 제2 유동 안내부로부터 액체를 수용하기 위한 유로 내에 위치설정되고, 제2 유동 안내부 및 벤투리 관은 통로부에 의해 연결된다. 통로 내의 개구로서, 개구는 벤투리 관에서 소정의 진공을 생성하도록 구성 및 배열된다. 적어도 하나의 채널은 벤투리 관으로 액체 농축물을 유동시키기 위해 종방향 축에 대해 측방향에 포함된다. 유로는 벤투리 관으로부터 본체 부재의 외부로 연장되는 배출 통로를 더 포함한다.
일 태양의 채널은 체크 벨브를 포함하고 두 개의 측방향 채널이 존재한다.
이덕터의 다른 실시예는 종방향 축을 제공하는 본체 부재를 포함한다. 유로는 본체 부재를 통해 종방향 축으로 연장되고, 제1 유동 안내부 및 제2 유동 안내부에 의해 형성되고, 제2 유동 안내부는 제1 유동 안내부로부터 액체를 수용하도록 구성 및 배열된다. 폐쇄 역류 방지 부재는 제1 유동 안내부와 작동식으로 관련된다. 벤투리 관은 제2 유동 안내부로부터 액체를 수용하기 위한 유로 내에 위치설정되고, 제2 유동 안내부 및 벤투리 관 통로부에 의해 연결된다. 통로 내의 개구이다. 제2 유동 안내부는 통로의 개구 위로 연장되는 관형부에 의해 형성된다. 적어도 하나의 채널은 벤투리 관으로 액체 농축물을 유동시키기 위해 종방향 축에 대해 측방향에 제공된다. 유로는 벤투리 관으로부터 본체 부재의 외부로 연장되는 배출 통로를 더 포함한다. 통로 내의 개구 위의 관형부의 연장부는 소정의 진공 프로파일을 제공하도록 설계된다.
게다가 또 하나의 실시예로서, 이덕터는 종방향 축을 제공하는 본체 부재를 포함한다. 유로는 본체 부재를 통해 종방향 축으로 연장되고, 유로는 제1 유동 안내부 및 제2 유동 안내부에 의해 형성되고, 제2 유동 안내부는 제1 유동 안내부로부터 액체를 수용하도록 구성 및 배열된다. 폐쇄 역류 방지 부재는 제1 유동 안내부와 작동식으로 관련된다. 벤투리 관은 제2 유동 안내부로부터 액체를 수용하기 위한 유로 내에 위치설정되고, 제1 유로 안내부 및 제2 유로 안내부는 벤투리 관에 소정의 진공을 생성하기 위해 벤투리 관으로부터 제1 액체의 일부를 전환시키도록 이격된 관계로 위치설정된다. 적어도 하나의 채널은 벤투리 관으로 액체 농축물을 유동시키기 위해 종방향 축에 대해 측방향에 있다. 유로는 벤튜리 관으로부터 본체 부재의 외부로 연장되는 배출 통로를 더 포함한다.
또 다른 태양에서 이덕터의 통로에서 개구를 변형하는 단계를 포함하는 폐쇄 역류 방지 이덕터에서 진공 프로파일을 달성하는 방법이다.
제2 유동 안내부 및 관형부의 다른 태양은 깔대기 부재의 형태로 되어있다.
본 발명의 목적 및 장점은 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 이하의 상세한 설명에서, 본 발명의 양호한 실시예는 본 발명의 최대한의 범주를 참조하여 설명할 것이다. 오히려, 본 발명은 다른 실시예에서 채용될 수도 있다.
도1은 새로운 이덕터가 사용될 수도 있는 일 유형의 분배 장비의 개략도이다.
도2는 이덕터의 측면도이다.
도3은 본 발명의 일 실시예의 단면도이다.
도4는 본 발명의 다른 실시예의 단면도이다.
도5는 도3에 도시된 실시예의 부분 확대도이다.
도6는 선 6-6을 따라 취해진, 도5에 도시된 실시예의 부분 확대도이다.
도7은 부품이 변위된 상태의, 도6에 도시된 부품의 도면이다.
도8은 본 발명의 다른 실시예의 단면도이다.
도9은 실시예가 45도 회전된 상태의, 도8과 유사한 도면이다.
도10은 본 발명의 다른 실시예를 도시하는 도9와 유사한 도면이다.
도1을 참조하면, 본 발명의 이덕터(10)가 채용되는 일반적으로 분배 장비 유형에 대한 개략도가 도시되어 있다. 장비(11)는 인클로저(13, enclosure)와, 인클로저(13) 내의 또는 가능하게는 라인(19)으로 도시된 바와 같이 연결된, 인클로저(13) 외측에 용기(15)를 갖는다. 정상적으로, 각각의 용기(15)는 다른 액체(17a, 17b)로 채워진다. 그러나, 이하 설명되는 바와 같이, 동일한 액체(17)로 채워진 두 개의 용기(15)를 갖는 것이 바람직한 경우가 있을 수도 있다.
장비(11)의 입구 라인(21)은 물이송 헤더(23)의 공급원에 연결되어 있다. 분지(branch) 파이프(25)는 헤더(23)에 연결되고 각각의 분지 파이프(25)에는 파이프(25)에 대한 전용 밸브(27)를 포함한다. 특정한 밸브(27)가 작동될 때, 물은 관련된 이덕터(10)를 통해 유동하고 이러한 물이 농축된 액체(17)와 혼합하여 희석액을 형성한다. 각각의 혼합된 희석액은 분리 튜브(29)를 통해 분배된다. 이덕터(10)에 유입되는 농축물의 양은 밸브(32)에 의해 제어될 수 있다.
도2에 도시된 바와 같이, 이덕터(10)는 두 개의 대향 리브(43, 44)를 갖춘 대체로 관형인 본체(33)를 포함한다. 이덕터는 입구 단부(35) 및 출구 섹션(37)을 갖고, 출구 섹션은 그에 부착된 출구 피팅(39)을 갖는다. 이러한 피팅(39)은 출구 튜브(29)에 대한 연결을 위해 하방 네크부(41)를 갖는다.
도3에 도시된 바와 같이, 이덕터(10)의 입구 섹션(35)은 배럴(50)이 리브(52)에 의해 둘러싸인 코어 구조체(48)를 포함한다. 배럴(50)의 상부에 유체 출구(54) 뿐만 아니라 탄성 슬리브(56) 및 밀봉 링(53)이 존재한다. 외부 케이싱(58)은 탄성 슬리브를 둘러싸고 통기구(60)를 갖는다. 이들 전술된 부품은 참고문헌으로 교시 내용이 합체되어 있는, PCT 출원번호 제PCT/US03/08428호에 설명되어 있다. 이들의 기능은 이 특허 출원에 설명되고 정상적인 폐쇄 사이펀 작용 방지 공기 갭으로서의 역할을 한다.
출구 통로(61)는 깔대기 부재(64) 또는 원추형 섹션(63)에 안착된 제1 유동 안내부와 연통한다. 밀봉부(66)는 외부 케이싱(58)과 원추형 섹션(63) 사이에 위치설정된다. 제2 유동 안내부(67)는 제1 유동 안내부(64)에 연결하고 제2 유동 안내부(67)는 제1 유동 안내부(64), 원추형 섹션(63) 및 제2 유동 안내부(67)의 깔대기부(80)에 의해 제공되는 통로부(69)에 의해 벤투리관(65)에 연결된다. 개구(70)는 제2 유동 안내부(67)의 통로부(69)에 제공된다.
입구 섹션(35)은 연결부(62)에 의해 관형 본체(33)에 상호연결된다. 입구 섹션은 통로(78)와 연통하는 채널(75, 76)과 연통하는 입력 연결부(72, 73)를 포함한다. 양호하게는 볼 체크 형 체크 밸브 조립체(74)가 입력 연결부(73)에 연결된다. 도3에서 체크 밸브 조립체(74)는 도2에 도시된 것과 대향인 일측면 상에 도시되어 있는 것을 알 수 있을 것이다. 또한, 입력 연결부(72)도 도시되어 있다.
도4, 도8, 도9 및 도10에 도시된 실시예(10A, 10B 및 10C)는 "A","B" 또는 "C"의 접미사를 갖는 것을 제외하고는 유사한 번호가 유사한 부품을 지칭하는, 도3에 설명된 것과 동일한 부품 대부분을 포함한다. 실시예(10)와 실시예(10A, 10B 및 10C) 사이의 차이점 중 하나는 이들이 깔대기 부재(64)를 포함하지 않는다는 것이다.
도5 내지 도7에 가장 잘 도시된 바와 같이, 실시예(10)는 개구(70)의 일부분 위에 깔대기 부재(64)의 깔대기 스템(80)의 위치설정을 도시한다. 이 목적은 이하의 작동에서 설명된다.
도8 및 도9를 참조하면, 이덕터(10B)는, 제1 유동 안내부(64B)와 제2 유동 안내부(67B) 사이의 연결 및 구조에서 이덕터(10A)와 상이하다. 다른 차이점은 리브(43B 및 44A)와 외부 케이싱(58B)이 일편의 성형체로 되어 있고 입구 섹션(35B)과 벤투리 섹션(36B) 사이에 추가의 연결부(62B)가 있다는 것이다.
도10에 도시된 바와 같이, 이덕터(10C)는, 제2 유동 안내부(67C)에 창이 없다는 점에서 다른 이덕터(10, 10A 및10B)와 상이하다. 제1 유동 안내부(64C) 대신에 제2 유동 안내부(67C)로부터 이격된다. 이것은 벤투리 관(65C)로부터 멀리 물의 전환을 제공한다.
작동
이덕터(10, 10A, 10B 및 10C) 그 작동의 상세한 설명에 의해 더 잘 이해될 것이다. 먼저 이덕터(10) 그리고 도3 및 도5 내지 도7를 참조하면, 이덕터는 도1과 연관하여 전술된 바와 같이 분배 장비(11)로 연결된다. 물은 분지 파이프(25) 및 입구 섹션(35)으로 유동한다. 거기로부터 물은 유체 출구(54)를 통해 배럴(50) 과 탄성 슬리브(56) 사이로 유동한다. 물은 이때 깔대기 부재(64) 안으로 배출 연결부(61)를 통해서 유동한 후에, 물은 연결부(69) 안으로, 개구(70) 위에서 그리고 벤투리 관(65) 안으로 유동한다. 물이 벤투리 관(65)으로 통과함에 따라, 이는 볼 체크 밸브 조립체(74)를 개방시키는데 충분한 압력의 감소를 일으키고, 용기(15)로부터 입구 연결부(73) 그리고 채널(76)로 화학 농축물을 흡인한다. 채널(76)로부터 이는 통로(78)를 통해 유동하는 물과 혼합된다. 물과 농축물의 혼합액은 도1에서 도시된 바와 같이 배출 통로를 제공하는 출구 피팅(39) 및 출구 튜브(29)를 통해 방출된다.
볼 체크 밸브 조립체(74)의 목적은 통로(76)에서의 진공을 위한 프라이머(primer)로서의 역할을 하여 용기(15)에 대해 기본적인 상태를 유지하는 것이다. 공급원으로부터의 가압된 물이 입구(73)으로부터의 화학 농축물을 요염시키는 것을 방지한다.
이덕터(10)의 중요한 태양은 개구(70)와 연관하여 깔대기부(80)의 위치설정이다. 이덕터는 벤투리 관(65)을 통해 유동하는 물의 양을 제어하고 이에 따라, 소정량의 부압이 내부에 생성된다. 개구(70) 위의 깔대기 스템의 연장부가 크면 클수록, 벤투리 관(65)으로 유동하는 물의 체적이 더 커지고, 부압이 더 커진다는 것을 알 수 있을 것이다. 전환된 물은 개구(70)를 통과하여 챔버(68)로 그리고 순차적으로 출구 포트(71)로 통과하여 이차 스트림 형태을 형성하고, 통로(78)로부터 방출된 화학 농축물과 물의 스트림과 조합된다. 벤투리 관(65)을 통한 일차 스트림 및 이차 스트림의 동심원 유동은 미국특허 제5,927,338호에 설명되어 있다. 이 는 또한 도9의 이덕터(10B)와 연관하여 설명된다.
이덕터(10A 및 10B)는 이덕터(10)에서 설명된 것과 실질적으로 동일한 방식으로 기능한다. 개구(70)의 일부를 덮는 깔대기 스템(80) 대신에, 개구(70A, 70B)는 벤투리 관(65A, 65B)으로부터 멀리 미리 설정된 양의 물을 안내하여 소정의 진공을 수행하도록 특정 치수로 설계된다. 도9는 물이 벤투리 관(65B)로부터 전환된 결과로서 형성하는 이차 스트림을 도시하도록 제공된다. 스트림은 챔버(68B)로 외향 유동하고 호스(82B)로 방출될 때까지 화살표로 도시된 경로를 따를 것이다. 동시에 벤투리 관(65B)을 통과하는 물에 의해 희석된 화학 농축물을 관(83B)에 방출될 것이다. 전술된 바와 같이, 물의 이차 스트림 및 희석된 화학 농축물과 물의 일차 및 이차 스트림의 유동은 미국특허 제5,927,338호에 설명된다.
도10에 도시된 이덕터(10C)는 윈도우없이 작동한다. 벤투리 관(65C)으로부터 멀리 물을 전환시켜 소정의 진공 효과를 생성하는 것은, 제2 유동 안내부(67C)로부터의 제1 유동 안내부(64C)의 간격에 달려 있다. 이는 무공기 갭 이덕터에 연관하기 전에는 결코 행해지지 않았던, 고유한 특징이다.
탄성 슬리브(56) 및 배럴(50)에 의해 제공되는 사이펀 방지 공기 갭은 이전에 언급된 PCT 출원 번호 제PCT/US03/08428호에 설명된 방식으로 작동한다. 물이 유체 출구(54)를 통해 유동함에 따라, 이는 슬리브(56)를 팽창시키고 물은 슬리브와 배럴(50) 사이로 깔대기 부재(64)로 그리고 종국에는 벤투리 관(65)로 유동할 것이다. 물 공급부(21, 25)로부터의 물의 유동이 없을 때, 탄성 슬리브(56)는 물의 임의의 역류를 방지하도록 배럴(50)과 접촉하여 그 주위에 가볍게 끼워 맞춰진 다. 주 물 공급부의 갑작스런 압력 강하가 있을 때와 같이, 사이펀 작용이 수선(21, 25, water line)에서 발생한다면, 탄성 슬리브(56)는 이미 논의된 바와 같이 배럴(50)에 대항하여 밀봉된다. 유체는 대신에 슬리브(56)와 외부 케이싱(58) 사이의 공간을 통과하여 통기구(60)를 통해 방출된다.
진공 프로파일이 전체 벤투리를 재설계하지 않고 수정될 수 있는 이덕터가 제공된다는 것을 알 수 있을 것이다.
이덕터(10, 10A)는 두 개의 입구 포트 또는 연결부(72, 73)를 갖춘 것으로 도시된다. 필요시, 이덕터(10B)와 연관하여 도시된 바와 같이 단지 하나가 사용될 수 있다. 그런 경우에, 다른 것들은 플러그식일 수 있다. 다르게는, 입구 연결부가 동일한 액체의 화학 농축물 또는 다르게는 상이한 화학 농축물을 각각 갖춘 두 개의 용기(15)에 연결된다. 리브(43A, 44A) 및 입구 섹션(35A)은 서로 일편 및 외부 케이싱(58)으로 도시된다. 필요시, 이들은 도8, 도9 및 도10에 도시된 바와 같이 일편으로서 적절한 플라스틱 재료로 성형될 수 있다. 본 발명에 대한 다양한 수정 및 변형이 이루어질 수 있다는 것은 당업자는 명확히 알 수 있을 것이다. 본 발명은 후속의 청구범위에 기재된 것을 제외하고는 제한되지 않는다.

Claims (18)

  1. 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터이며,
    종방향 축을 제공하는 본체 부재와,
    본체 부재를 통해 종방향 축으로 연장되는 유로로서, 제1 유동 안내부 및 제2 유동 안내부에 의해 형성되고, 제2 유동 안내부는 제1 유동 안내부로부터 액체를 수용하도록 구성 및 배열되는, 유로와,
    제1 유동 안내부와 작동식으로 관련되는 폐쇄 역류 방지 부재와,
    제2 유동 안내부로부터 액체를 수용하기 위한 유로 내의 벤투리 관으로서, 제2 유동 안내부 및 벤투리 관은 통로부에 의해 연결되는, 벤투리 관과,
    통로 내의 개구로서, 벤투리 관에서 소정의 진공을 생성하도록 구성 및 배열되는 개구와,
    벤투리 관으로 액체 농축물을 유동시키기 위해 종방향 축에 대해 측방향에 있는 적어도 하나의 채널을 포함하고,
    유로는 벤투리 관으로부터 본체 부재의 외부로 연장되는 배출 통로를 더 포함하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  2. 제1항에 있어서, 측방향 채널은 체크 벨브를 포함하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  3. 제1항에 있어서, 두 개의 측방향 채널이 존재하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  4. 제1항에 있어서, 역류 방지 부재는 탄성 외피를 포함하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  5. 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터이며,
    종방향 축을 제공하는 본체 부재와,
    본체 부재를 통해 종방향 축으로 연장되는 유로로서, 제1 유동 안내부 및 제2 유동 안내부에 의해 형성되고, 제2 유동 안내부는 제1 유동 안내부로부터 액체를 수용하도록 구성 및 배열되는, 유로와,
    제1 유동 안내부와 작동식으로 관련되는 폐쇄 역류 방지 부재와,
    제2 유동 안내부로부터 액체를 수용하기 위한 유로 내의 벤투리 관으로서, 제2 유동 안내부 및 벤투리 관 통로부에 의해 연결되는, 벤투리 관과,
    통로 내의 개구로서, 제2 유동 안내부는 통로의 개구 위로 연장되는 관형부에 의해 형성되는 개구와,
    벤투리 관으로 액체 농축물을 유동시키기 위해 종방향 축에 대해 측방향에 있는 적어도 하나의 채널을 포함하고,
    유로는 벤투리 관으로부터 본체 부재의 외부로 연장되는 배출 통로를 더 포함하고,
    통로 내의 개구 위의 관형부의 연장부는 소정의 진공 프로파일을 제공하도록 설계되는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  6. 제5항에 있어서, 제2 유동 안내부 및 관형부는 깔대기 부재의 형태로 되어 있는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  7. 제5항에 있어서, 측방향 채널은 체크 밸브를 포함하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  8. 제5항에 있어서, 두 개의 측방향 채널이 존재하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  9. 제5항에 있어서, 역류 방지 부재는 탄성 외피를 포함하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  10. 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터이며,
    종방향 축을 제공하는 본체 부재와,
    본체 부재를 통해 종방향 축으로 연장되는 유로로서, 유로는 제1 유동 안내부 및 제2 유동 안내부에 의해 형성되고, 제2 유동 안내부는 제1 유동 안내부로부터 액체를 수용하도록 구성 및 배열되는, 유로와,
    제1 유동 안내부와 작동식으로 관련되는 폐쇄 역류 방지 부재와,
    제2 유동 안내부로부터 액체를 수용하기 위한 유로 내의 벤투리 관으로서, 제2 유동 안내부 및 벤투리 관은 통로부에 의해 연결되는, 벤투리 관과,
    벤투리 관으로 액체 농축물을 유동시키기 위해 종방향 축에 대해 측방향에 있는 적어도 하나의 채널을 포함하고,
    제1 유로 안내부 및 제2 유로 안내부는 벤투리 관에 소정의 진공을 생성하기 위해 벤투리 관으로부터 제1 액체의 일부를 전환시키도록 이격된 관계로 위치설정되고,
    유로는 벤튜리 관으로부터 본체 부재의 외부로 연장되는 배출 통로를 더 포함하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  11. 제10항에 있어서, 측방향 채널은 체크 밸브를 포함하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  12. 제10항에 있어서, 두 개의 측방향 채널이 존재하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  13. 제10항에 있어서, 역류 방지 부재는 탄성 외피를 포함하는, 제1 및 제2 액체를 혼합하기 위한 이덕터.
  14. 제1항의 개구를 변형하는 단계를 포함하는, 이덕터에서 진공 프로파일을 달성하는 방법.
  15. 제5항의 개구 위로 관형부를 연장시키는 단계를 포함하는, 이덕터에서 진공프로 파일을 달성하는 방법.
  16. 제1항의 이덕터를 채용하는, 폐쇄 역류 방지 이덕터에서 진공 프로파일을 달성하는 방법.
  17. 제5항의 이덕터를 채용하는, 폐쇄 역류 방지 이덕터에서 진공 프로파일을 달성하는 방법.
  18. 제12항의 이덕터를 채용하는, 폐쇄 역류 방지 이덕터에서 진공 프로파일을 달성하는 방법.
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