KR20080056848A - Blanket for printing device, method for manufacturing the same, and method for pattrning thin layer using the same - Google Patents

Blanket for printing device, method for manufacturing the same, and method for pattrning thin layer using the same Download PDF

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Abstract

A blanket for a printing device, a method for manufacturing the same and a method for patterning a thin layer by using the same are provided to attach a print mold, a base film and a buffer member by a silane coupling agent, thereby preventing the transformation of the blanket. A blanket for a printing device is attached to a printing roller for forming a thin film by rolling on a substrate. The blanket has a base film(114). A print mold(116) is formed at the front side of the base film. A buffering part(112) is formed at the back side of the base film. The print mold and the buffering part and the base film are adhered by an adhesive agent(118) formed by a silane coupling agent. The adhesive material consists of silane type compounds having an epoxy functional group, an amino function group, a sulfur functional group, a methacryloxy functional group, a chloro functional group, or a vinyl functional group. The silane compound having the epoxy functional group is formed by 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane or 5,6-epoxyhexyltriethoxysilane.

Description

인쇄 장치용 블랭킷 및 그의 제조 방법과 그를 이용한 박막 패터닝 방법{BLANKET FOR PRINTING DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD FOR PATTRNING THIN LAYER USING THE SAME}BLANKET FOR PRINTING DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD FOR PATTRNING THIN LAYER USING THE SAME}

도 1은 종래 인쇄 장치의 인쇄 롤러에 부착된 블랭킷을 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a blanket attached to a printing roller of a conventional printing apparatus.

도 2는 본 발명에 따른 인쇄 장치를 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view showing a printing apparatus according to the present invention.

도 3은 도 2에 도시된 블랭킷을 나타내는 사시도이다.3 is a perspective view showing the blanket shown in FIG.

도 4는 도 2에 도시된 블랭킷을 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view illustrating the blanket illustrated in FIG. 2.

도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 블랭킷의 제조 방법을 나타내는 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the blanket shown in FIG. 4.

도 6a 내지 도 6c는 본 발명에 따른 인쇄 장치를 이용하여 형성되는 박막의 제조방법을 설명하기 위한 단면도이다.6A to 6C are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a thin film formed using a printing apparatus according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호설명><Code Description of Main Parts of Drawing>

110 : 블랭킷 111 : 기판110: blanket 111: substrate

112 : 완충부 114 : 베이스 필름112: buffer portion 114: base film

116 : 인쇄 몰드 118 : 합착제116: printing mold 118: binder

120 : 인쇄 롤러 130 : 인쇄판120: printing roller 130: printing plate

132 : 볼록 패턴 134 : 오목 패턴132: convex pattern 134: concave pattern

140 : 유기액 공급부 160 : 이송부140: organic liquid supply unit 160: transfer unit

본 발명은 인쇄 장치용 블랭킷 및 그의 제조 방법과 그를 이용한 박막 패터닝 방법에 관한 것으로, 특히 인쇄 몰드, 베이스 필름 및 완충부 간이 접합력을 높힐 수 있는 인쇄 장치용 블랭킷 및 그의 제조 방법과 그를 이용한 박막 패터닝 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a blanket for a printing device, a method for manufacturing the same, and a thin film patterning method using the same, and in particular, a blanket for a printing device, a method for manufacturing the same, and a thin film patterning method using the same, which can increase the bonding strength between a printing mold, a base film, and a buffer part. It is about.

최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시 장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판 표시 장치로는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence) 표시 장치 등이 있다.Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have emerged. Such flat panel displays include a liquid crystal display, a field emission display, a plasma display panel, an electro-luminescence display, and the like.

이러한 평판 표시 장치는 증착(코팅) 공정, 노광 공정, 현상 공정 및 식각 공정 등을 포함하는 마스크 공정에 의해 형성되는 다수의 박막으로 이루어진다. 그러나, 마스크 공정은 제조 공정이 복잡하여 제조 단가를 상승시키는 문제점이 있다. 이에 따라, 최근에는 인쇄 롤러를 이용한 프린팅 공정을 통해 박막을 형성할 수 있는 연구가 진행되고 있다.The flat panel display includes a plurality of thin films formed by a mask process including a deposition (coating) process, an exposure process, a developing process, and an etching process. However, the mask process has a problem in that the manufacturing process is complicated and the manufacturing cost is increased. Accordingly, in recent years, research has been conducted to form a thin film through a printing process using a printing roller.

이러한 프린팅 공정은 인쇄판을 이용하여 인쇄 롤러에 소정 패턴을 형성한 후, 그 패턴을 기판 상에 전사함으로써 원하는 패턴을 형성하는 공정이다. This printing process is a process of forming a desired pattern by forming a predetermined pattern on a printing roller using a printing plate, and then transferring the pattern onto a substrate.

여기서, 인쇄 롤러(2)의 외주면에는 도 1에 도시된 바와 같이 블랭킷(10)이 부착된다. 블랭킷(10)은 유기액(40)이 충진되는 인쇄 몰드(16)와, 블랭킷(10)에 가해지는 장력을 유지하는 베이스 필름(14)과, 인쇄판 또는 기판(30)과 인쇄 롤러(2)에 의한 압력을 보상하는 완충부(12)를 포함한다. Here, the blanket 10 is attached to the outer circumferential surface of the printing roller 2 as shown in FIG. The blanket 10 includes a printing mold 16 filled with the organic liquid 40, a base film 14 which maintains tension applied to the blanket 10, a printing plate or a substrate 30, and a printing roller 2. It includes a buffer 12 for compensating the pressure by.

그러나, 인쇄 몰드(16), 베이스 필름(14) 및 완충부(12) 간의 접합이 제대로 안된 경우, 인쇄판 또는 기판(30)과, 인쇄 롤러(2)에 의해 생성된 압력에 의한 스트레스의 차이로 인해 인쇄 몰드(16)에 변형(A)이 발생되는 문제점이 있다. 이러한 인쇄 몰드(16)가 변형된 인쇄 롤러(12)를 이용하여 기판(30) 상에 박막 패턴을 형성하는 경우, 박막 패턴의 피치가 불균일한 문제점이 있다.However, when the bonding between the printing mold 16, the base film 14 and the buffer portion 12 is not properly, due to the difference in the stress caused by the pressure generated by the printing plate or substrate 30 and the printing roller 2 Due to this, there is a problem that deformation (A) is generated in the printing mold 16. When the printing mold 16 forms the thin film pattern on the substrate 30 using the deformed printing roller 12, there is a problem that the pitch of the thin film pattern is uneven.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 인쇄 몰드, 베이스 필름 및 완충부 간이 접합력을 높힐 수 있는 인쇄 장치용 블랭킷 및 그의 제조 방법과 그를 이용한 박막 패터닝 방법을 제공하는 데 있다.Accordingly, the present invention has been made in an effort to provide a blanket for a printing apparatus, a method for manufacturing the same, and a thin film patterning method using the same, which can increase the bonding strength between a printing mold, a base film, and a buffer part.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 기판 상에서 회전하여 박막을 형성하는 인쇄 롤러에 부착되는 본 발명에 따른 인쇄 장치용 블랭킷은 베이스 필름과; 상기 베이스 필름의 전면에 형성되는 인쇄 몰드와; 상기 베이스 필름의 배면에 형성되는 완충부와; 상기 인쇄 몰드 및 완충부 각각과 상기 베이스 필름을 접착시키며 실란 커플링제로 형성되는 합착제를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a blanket for a printing apparatus according to the present invention attached to a printing roller that rotates on a substrate to form a thin film, the base film; A printing mold formed on the entire surface of the base film; A buffer part formed on a rear surface of the base film; And a binder formed by adhering the printing mold and the buffer part to the base film and formed of a silane coupling agent.

상기 합착제는 Epoxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Amino 관능기를 가지는 실란계 화합물, Sulfur 관능기를 가지는 실란계 화합물, Methacryloxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Chloro 관능기를 가지는 실란계 화합물 또는 Vinlyl 관능기를 가지는 실란계 화합물로 형성되는 것을 특징으로 한다.The binder is a silane compound having an epoxy functional group, a silane compound having an amino functional group, a silane compound having a sulfur functional group, a silane compound having a methacryloxy functional group, a silane compound having a Chloro functional group or a silane system having a Vinlyl functional group. Characterized in that the compound is formed.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 기판 상에서 회전하여 박막을 형성하는 인쇄 롤러에 부착되는 본 발명에 따른 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법은 완충부를 마련하는 단계와; 상기 완충부 상에 상기 완충부와 제1 합착제를 통해 접착되는 베이스 필름을 형성하는 단계와; 상기 베이스 필름 상에 상기 베이스 필름과 제2 합착제를 통해 접착되는 인쇄 몰드를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제1 및 제2 합착제 중 적어도 어느 하나는 실란 커플링제로 형성되는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a manufacturing method of a blanket for a printing apparatus according to the present invention attached to a printing roller that rotates on a substrate to form a thin film comprising the steps of providing a buffer; Forming a base film adhered to the buffer part through the first binder on the buffer part; Forming a printing mold adhered to the base film through the second binder on the base film, wherein at least one of the first and second binders is formed of a silane coupling agent. .

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 박막 패터닝 방법은 베이스 필름의 전면에 형성되는 인쇄 몰드, 상기 베이스 필름의 배면에 형성되는 완충부, 상기 인쇄 몰드 및 완충부 각각과 상기 베이스 필름을 접착시키며 실란 커플링제로 형성되는 합착제를 가지는 블랭킷이 부착된 인쇄 롤러를 마련하는 단계와; 상기 블랭킷의 인쇄 몰드에 유기액을 충진하는 단계와; 상기 유기액이 충진된 인쇄 롤러를 인쇄판 상에 회전시켜 유기 패턴을 형성하는 단계와; 상기 유기 패턴을 기판 상에 전사한 후 경화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the thin film patterning method according to the present invention is a printing mold formed on the front surface of the base film, the buffer portion formed on the back of the base film, the printing mold and each of the buffer and the adhesive bonding the base film Providing a printing roller with a blanket having a binder formed of a silane coupling agent; Filling an organic liquid into a printing mold of the blanket; Forming an organic pattern by rotating the printing roller filled with the organic liquid on a printing plate; And transferring the organic pattern onto a substrate and curing the organic pattern.

상기 기술적 과제 외에 본 발명의 다른 기술적 과제 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.Other technical problems and features of the present invention in addition to the above technical problem will become apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명에 따른 박막 패턴 형성용 인쇄 장치를 나타내는 사시도이다.2 is a perspective view showing a printing device for forming a thin film pattern according to the present invention.

도 2에 도시된 인쇄 장치는 유기액 공급부(140)와, 인쇄 롤러(120)와, 블랭킷(110)과, 인쇄판(130)을 포함한다.The printing apparatus illustrated in FIG. 2 includes an organic liquid supply unit 140, a printing roller 120, a blanket 110, and a printing plate 130.

유기액 공급부(140)는 유기액을 저장하며, 저장된 유기액을 인쇄 롤러(120)의 블랭킷(110)에 공급한다. The organic liquid supply unit 140 stores the organic liquid and supplies the stored organic liquid to the blanket 110 of the printing roller 120.

인쇄판(130)은 인쇄 롤러(120)의 블랭킷(110)에 충진된 유기액이 원하는 영역에만 남도록 인쇄 롤러(120)와 접촉한다. 이를 위해, 인쇄판(130)은 홈 형태로 형성된 오목 패턴(134)과, 돌출되게 형성된 볼록 패턴(132)을 포함한다. 볼록 패턴(132)은 인쇄 롤러(120)가 인쇄판(130) 상에서 회전하는 경우, 인쇄 롤러(120)에 도포된 유기액과 접촉하는 영역이다. 이에 따라, 볼록 패턴(132) 상에는 인쇄 롤러(120)가 인쇄판(130) 상에서 회전하는 경우, 인쇄 롤러(120)의 유기액이 전사된다. 오목 패턴(134)은 인쇄 롤러(120)가 인쇄판(130) 상에서 회전하는 경우, 인쇄 롤러(120)에 도포된 유기액과 접촉하지 않는 영역이다. 이에 따라, 오목 패턴(134)과 대응하는 인쇄 롤러(120)의 유기액은 인쇄 롤러(120)에 남아 유기 패턴으로 형성된다.The printing plate 130 is in contact with the printing roller 120 such that the organic liquid filled in the blanket 110 of the printing roller 120 remains only in a desired area. To this end, the printing plate 130 includes a concave pattern 134 formed in a groove shape, and a convex pattern 132 formed to protrude. The convex pattern 132 is an area in contact with the organic liquid applied to the printing roller 120 when the printing roller 120 rotates on the printing plate 130. Accordingly, when the printing roller 120 rotates on the printing plate 130 on the convex pattern 132, the organic liquid of the printing roller 120 is transferred. The concave pattern 134 is an area that does not contact the organic liquid applied to the printing roller 120 when the printing roller 120 rotates on the printing plate 130. Accordingly, the organic liquid of the printing roller 120 corresponding to the concave pattern 134 remains in the printing roller 120 and is formed in the organic pattern.

인쇄 롤러(120)는 유기액 공급부(140)로부터의 유기액을 그 인쇄 롤러(120)의 외주면에 부착된 블랭킷(110)에 충진한다. 이러한 인쇄 롤러(120)는 이송부(160)를 통해 이동하는 인쇄판(130) 및 기판(111)과 순차적으로 접촉되도록 그들 상에서 회전하게 된다. 이외에도 인쇄 롤러(120)가 이동하여 인쇄판(130) 및 기 판(111)과 순차적으로 접촉될 수도 있다.The printing roller 120 fills the organic liquid from the organic liquid supply part 140 to the blanket 110 attached to the outer circumferential surface of the printing roller 120. The printing roller 120 is rotated on them so as to sequentially contact with the printing plate 130 and the substrate 111 moving through the transfer unit 160. In addition, the printing roller 120 may be moved to sequentially contact the printing plate 130 and the substrate 111.

한편, 인쇄 롤러(120)에 부착된 블랭킷(110)은 도 3 및 도 4에 됫된 바와 같이 베이스 필름(114)과, 베이스 필름(114)의 전면에 형성된 인쇄 몰드(116)와, 베이스 필름(114)의 배면에 형성된 완충부(112)와, 인쇄 몰드(116)와 완충부(112) 각각과 베이스 필름(114)을 합착시키기 위한 합착제(118)를 구비한다.Meanwhile, the blanket 110 attached to the printing roller 120 has a base film 114, a printing mold 116 formed on the front surface of the base film 114, and a base film (as shown in FIGS. 3 and 4). The buffer part 112 formed in the back surface of 114, and the adhesive agent 118 for bonding each of the printing mold 116, the buffer part 112, and the base film 114 are provided.

베이스 필름(114)은 블랭킷(110)에 가해지는 장력을 유지하며, 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethylene terephthalate : PET) 등으로 플라스틱 재질로 형성된다. 이러한 베이스 필름(114)은 인쇄 몰드(116) 및 완충부(112)보다 좁은 폭으로 형성되어 베이스 필름(114)의 양측면과 전면 및 배면은 인쇄 몰드(116) 및 완충부(112)에 의해 둘러싸여진다. 이 경우, 베이스 필름(114)의 전면 및 배면 뿐만 아니라 상호 합착되는 인쇄 몰드(116) 및 완충부(112)에 의해 베이스 필름(114), 인쇄 몰드(116) 및 완충부(112)가 완전히 일체화된다.The base film 114 maintains the tension applied to the blanket 110 and is formed of a plastic material such as polyethylene terephthalate (PET). The base film 114 is formed to have a narrower width than the printing mold 116 and the buffer unit 112 so that both sides, the front side, and the rear surface of the base film 114 are surrounded by the printing mold 116 and the buffer unit 112. Lose. In this case, the base film 114, the printing mold 116, and the buffer portion 112 are completely integrated by the front and rear surfaces of the base film 114 as well as the printing mold 116 and the buffer portion 112 which are bonded to each other. do.

인쇄 몰드(116)는 기판(111) 및/또는 인쇄판(110) 상에 전사될 유기액이 충진되는 인쇄홈(도시하지 않음)을 가지도록 형성된다. 이러한 인쇄 몰드(116)는 PDMS 등으로 형성된다.The printing mold 116 is formed to have a printing groove (not shown) filled with the organic liquid to be transferred onto the substrate 111 and / or the printing plate 110. This printing mold 116 is formed of PDMS or the like.

완충부(112)는 인쇄 몰드(116)에 충진된 유기액을 기판(111) 및/또는 인쇄판(110) 상에 전사시 인쇄 롤러(120)로부터 기판(111) 및/또는 인쇄판(110)에 가해지는 충격을 완충한다. 이러한 완충부(112)는 탄성이 좋은 PDMS 또는 발포제로 형성된다.The buffer unit 112 may transfer the organic liquid filled in the printing mold 116 from the printing roller 120 to the substrate 111 and / or the printing plate 110 when the organic liquid filled in the printing mold 116 is transferred onto the substrate 111 and / or the printing plate 110. Cushions the impact. The buffer 112 is formed of a good elasticity PDMS or foaming agent.

합착제(118)는 완충부(112)와 베이스 필름(114)을 합착시키는 제1 합착 제(118a)와, 베이스 필름(114)과 인쇄 몰드(116)를 합착시키는 제2 합착제(118b)를 포함한다. 이러한 합착제(118)는 실란 커플링제(silane Coupling Agent : SCA)로 형성된다. 구체적으로, 합착제(118)는 표 1 내지 표 6과 같이 Epoxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Amino 관능기를 가지는 실란계 화합물, Sulfur 관능기를 가지는 실란계 화합물, Methacryloxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Chloro 관능기를 가지는 실란계 화합물 또는 Vinlyl 관능기를 가지는 실란계 화합물로 형성된다.The binder 118 includes a first binder 118a for bonding the buffer 112 and the base film 114, and a second binder 118b for bonding the base film 114 and the printing mold 116. It includes. The binder 118 is formed of a silane coupling agent (SCA). Specifically, the binder 118 is a silane compound having an Epoxy functional group, a silane compound having an Amino functional group, a silane compound having a Sulfur functional group, a silane compound having a Methacryloxy functional group, and a Chloro functional group, as shown in Tables 1 to 6. It is formed of a silane compound having a silane compound or a silane compound having a Vinlyl functional group.

Epoxy 관능기를 가지는 실란계 화합물Silane Compounds Having an Epoxy Functional Group 화학명Chemical name 화학식Chemical formula 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane C9H20O5SiC 9 H 20 O 5 Si 3-Glycidoxypropyltriethoxysilane3-Glycidoxypropyltriethoxysilane C12H26O5SiC 12 H 26 O 5 Si 3-Glycidoxypropylmethyldiethoxysilane3-Glycidoxypropylmethyldiethoxysilane C11H24O4SiC 11 H 24 O 4 Si 3-Glycidoxypropylmethyldimethoxysilane 3-Glycidoxypropylmethyldimethoxysilane C9H20O4SiC 9 H 20 O 4 Si 5,6-epoxyhexyltriethoxysilane5,6-epoxyhexyltriethoxysilane

여기서, 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane의 구조식1과 5,6-Epoxyhexyltriethoxysilane의 구조식2는 다음과 같다.Here, Structural Formula 1 of 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane and Structural Formula 2 of 5,6-Epoxyhexyltriethoxysilane are as follows.

<구조식1><Structure 1>

Figure 112006093928371-PAT00001
Figure 112006093928371-PAT00001

<구조식2><Formula 2>

Figure 112006093928371-PAT00002
Figure 112006093928371-PAT00002

Amino 관능기를 가지는 실란계 화합물Silane Compound Having Amino Functional Group 화학명Chemical name 화학식Chemical formula 3-aminopropyltriethoxysilane3-aminopropyltriethoxysilane C9H23NO2SiC 9 H 23 NO 2 Si 3-aminopropyltrimethoxysilane3-aminopropyltrimethoxysilane C6H17NO3SiC 6 H 17 NO 3 Si 3-aminopropylmethyldiethoxysilane3-aminopropylmethyldiethoxysilane C8H21NO2SiC 8 H 21 NO 2 Si 3-Aminopropylmethyldimethoxysilane 3-Aminopropylmethyldimethoxysilane C6H17NO2SiC 6 H 17 NO 2 Si N-(2-Aminoethyl)-3-AminopropyltrimethoxysilaneN- (2-Aminoethyl) -3-Aminopropyltrimethoxysilane C8H22N2O3SiC 8 H 22 N 2 O 3 Si N-(2-Aminoethyl)-3-AminopropyltriethoxysilaneN- (2-Aminoethyl) -3-Aminopropyltriethoxysilane C11H28N2O3SiC 11 H 28 N 2 O 3 Si N-(3-Methyldimethoxysilylpropyl)ethylenediamine N- (3-Methyldimethoxysilylpropyl) ethylenediamine C8H22N2O2SiC 8 H 22 N 2 O 2 Si DiethylenetriaminopropyltrimethoxysilaneDiethylenetriaminopropyltrimethoxysilane C10H27N3O3SiC 10 H 27 N 3 O 3 Si DiethylenetriaminopropyltriethoxysilaneDiethylenetriaminopropyltriethoxysilane C13H33N3O3SiC 13 H 33 N 3 O 3 Si DiethylenetriaminopropylmethyldimethoxysilaneDiethylenetriaminopropylmethyldimethoxysilane C10H27N3O2SiC 10 H 27 N 3 O 2 Si Diethylenetriamino-propylmethyldiethoxysilaneDiethylenetriamino-propylmethyldiethoxysilane C12H31N3O2SiC 12 H 31 N 3 O 2 Si 3-(N-Cyclohexylamino)propyltrimethoxysilane3- (N-Cyclohexylamino) propyltrimethoxysilane C12H27NO3SiC 12 H 27 NO 3 Si AminohexylaminomethyltriethoxysilaneAminohexylaminomethyltriethoxysilane C13H32N2O3SiC 13 H 32 N 2 O 3 Si AnilinomethyltrimethoxysilaneAnilinomethyltrimethoxysilane C10H17NO3SiC 10 H 17 NO 3 Si AnilinomethyltriethoxysilaneAnilinomethyltriethoxysilane C13H23NO3SiC 13 H 23 NO 3 Si DiethylaminomethyltriethoxysilaneDiethylaminomethyltriethoxysilane C11H27NO3SiC 11 H 27 NO 3 Si DiethylaminomethylmethyldiethoxysilaneDiethylaminomethylmethyldiethoxysilane C10H25NO2SiC 10 H 25 NO 2 Si MethylaminopropyltrimethoxysilaneMethylaminopropyltrimethoxysilane C7H19NO3SiC 7 H 19 NO 3 Si

Sulfur 관능기를 가지는 실란계 화합물Silane Compounds Having Sulfur Functional Groups 화학명Chemical name 화학식Chemical formula Bis(3-triethoxysilylpropyl)tetrasulfideBis (3-triethoxysilylpropyl) tetrasulfide (CH3CH2O)3-Si-C3H6-S4-C3H6-Si-(CH3CH2O)3 (CH 3 CH 2 O) 3 -Si-C 3 H 6 -S 4 -C 3 H 6 -Si- (CH 3 CH 2 O) 3 3-Trimethoxysilypropylmercaptan3-Trimethoxysilypropylmercaptan C6H16O3SiC 6 H 16 O 3 Si MercaptopropyltriethoxysilaneMercaptopropyltriethoxysilane C9H22O3SSiC 9 H 22 O 3 SSi MercaptopropylmethyldimethoxysilaneMercaptopropylmethyldimethoxysilane C6H16O2SSiC 6 H 16 O 2 SSi

Methacryl 관능기를 가지는 실란계 화합물Silane Compounds Having Methacryl Functional Groups 화학명Chemical name 화학식Chemical formula 3-Methacryloxypropyltrimethoxysilane3-Methacryloxypropyltrimethoxysilane C10H20O5SiC 10 H 20 O 5 Si 3-Methacryloxypropyltriethoxysilane3-Methacryloxypropyltriethoxysilane C13H26O5SiC 13 H 26 O 5 Si 3-Methacryloxypropylmethyldimethoxysilane3-Methacryloxypropylmethyldimethoxysilane C10H20O4SiC 10 H 20 O 4 Si

Chloro 관능기를 가지는 실란계 화합물Silane Compounds Having Chloro Functional Groups 화학명Chemical name 화학식Chemical formula 3-Chloropropyltrimethoxysilane3-Chloropropyltrimethoxysilane C6H15O3ClSiC 6 H 15 O 3 ClSi 3-Chloropropyltriethoxysilane3-Chloropropyltriethoxysilane C9H21O3ClSiC 9 H 21 O 3 ClSi ChloromethyltrimethoxysilaneChloromethyltrimethoxysilane C4H14ClO3SiC 4 H 14 ClO 3 Si ChloromethyltriethoxysilaneChloromethyltriethoxysilane C7H17ClO3SiC 7 H 17 ClO 3 Si DichloromethyltriethoxysilaneDichloromethyltriethoxysilane C7H16Cl2O3SiC 7 H 16 Cl 2 O 3 Si

Vinlyl 관능기를 가지는 실란계 화합물Silane Compounds Having Vinlyl Functional Groups 화학명Chemical name 화학식Chemical formula VinyltrimethoxysilaneVinyltrimethoxysilane C5H12O3SiC 5 H 12 O 3 Si VinyltriethoxysilaneVinyltriethoxysilane C8H18O3SiC 8 H 18 O 3 Si Vinyltris(2-methoxyethoxy)silaneVinyltris (2-methoxyethoxy) silane C11H24O6SiC 11 H 24 O 6 Si

이와 같이, 합착제(118)는 Epoxy 관능기, Amino 관능기, Sulfur 관능기, Methacryloxy 관능기, Chloro 관능기 또는 Vinlyl 관능기 등의 유기 관능기를 가지고 있다. 이러한 유기 관능기는 인쇄 몰드(116), 완충부(112) 및 베이스 필름(114) 각각에 포함된 관능기와 화학적 결합 또는 물리적으로 상호작용하게 된다. 이에 따라, 합착제(118)는 인쇄 몰드(116) 및 완충부(112) 각각과 베이스 필름(114) 사이의 접착성을 높히게 된다.As described above, the binder 118 has an organic functional group such as an Epoxy functional group, an Amino functional group, a Sulfur functional group, a Methacryloxy functional group, a Chloro functional group, or a Vinlyl functional group. Such organic functional groups will chemically bond or physically interact with the functional groups included in each of the printing mold 116, the buffer 112, and the base film 114. Accordingly, the binder 118 increases the adhesion between each of the printing mold 116 and the buffer portion 112 and the base film 114.

도 5a 및 도 5b는 도 4에 도시된 블랭킷의 제조 방법을 나타내는 단면도이다.5A and 5B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing the blanket shown in FIG. 4.

도 5a에 도시된 바와 같이 탄성이 좋은 PDMS 또는 발포제로 형성된 완충부(112)를 마련한다. 이 완충부(112) 상에 액체 상태의 제1 합착제를 스프레이 방식으로 분사한다. 이 때, 액체 상태의 제1 합착제는 알코올류 등의 용매에 희석된 실란계 커플링제가 이용된다. 이 액체 상태의 제1 합착제가 도포된 완충부(112) 상에 베이스 필름(114)이 형성된다. 이 때, 베이스 필름(114)은 완충부(112)보다 작은 크기로 형성된다. 이 후, 열경화 공정을 통해 액체 상태의 제1 합착제는 고형화됨과 아울러 고형화된 제1 합착제(118a)를 통해 베이스 필름(114)과 완충부(112)는 서로 합착된다.As shown in FIG. 5A, a buffer 112 formed of a highly elastic PDMS or a foaming agent is provided. The first binder in a liquid state is sprayed onto the buffer portion 112 by a spray method. At this time, the silane coupling agent diluted in solvent, such as alcohol, is used for the 1st bonding agent of a liquid state. The base film 114 is formed on the buffer part 112 to which the 1st adhesive agent of this liquid state was apply | coated. At this time, the base film 114 is formed in a smaller size than the buffer 112. Thereafter, the first binder in the liquid state is solidified through the thermosetting process, and the base film 114 and the buffer 112 are bonded to each other through the solidified first binder 118a.

이 후, 완충부(112)와 베이스 필름(114) 상에 액체 상태의 제2 합착제를 스프레이 방식으로 분사한다. 이 때, 액체 상태의 제2 합착제는 알코올류 등의 용매에 희석된 실란계 커플링제가 이용된다. 이 액체 상태의 제2 합착제가 도포된 완충부(112) 및 베이스 필름(114) 상에 도 5b에 도시된 바와 같이 인쇄 몰드(116)가 형성된다. 이 때, 인쇄 몰드(116)는 완충부(112)와 동일한 크기로 형성된다. 이 후, 열경화 공정을 통해 액체 상태의 제2 합착제는 고형화됨과 아울러 고형화된 제2 합착제(118b)를 통해 베이스 필름(114)과 인쇄 몰드(116)는 서로 합착됨과 아울러 제1 및 제2 합착제(118a,118b)를 통해 인쇄 몰드(116)와 완충부(112)는 서로 합착된다.Thereafter, the second binder in a liquid state is sprayed onto the buffer 112 and the base film 114 by a spray method. At this time, a silane coupling agent diluted in a solvent such as alcohol is used as the liquid second binder. A printing mold 116 is formed on the buffer 112 and the base film 114 to which the second binder in the liquid state is applied, as shown in FIG. 5B. At this time, the printing mold 116 is formed to the same size as the buffer 112. Thereafter, the second binder in the liquid state is solidified through the thermosetting process, and the base film 114 and the printing mold 116 are bonded to each other through the solidified second binder 118b, and the first and first The printing mold 116 and the buffer 112 are bonded to each other through the two binders 118a and 118b.

도 6a 내지 도 6c는 본 발명에 따른 블랭킷을 가지는 인쇄 장치를 이용한 박막 패터닝 방법을 설명하기 위한 도면들이다.6A to 6C are views for explaining a thin film patterning method using a printing apparatus having a blanket according to the present invention.

도 6a에 도시된 바와 같이 실란 커플링제로 이루어진 합착제를 통해 합착된 완충부, 베이스 필름 및 인쇄 몰드를 포함하는 블랭킷(110)이 부착된 인쇄 롤러(120)를 마련한다. 이 인쇄 몰드의 인쇄홈 내에는 유기물 공급부(140)를 통해 유기물이 충전된다. As shown in FIG. 6A, a printing roller 120 having a blanket 110 including a buffer portion, a base film, and a printing mold adhered through a binder made of a silane coupling agent is provided. The organic material is filled in the printing groove of the printing mold through the organic material supply unit 140.

그런 다음, 도 6b에 도시된 바와 같이 오목 패턴(134) 및 볼록 패턴(132)을 가지는 인쇄판(130)에 유기액(148)이 도포된 인쇄 롤러(120)를 회전시킨다. 이에 따라, 볼록 패턴(132)과 접촉하는 영역의 유기액(148)은 볼록 패턴(132) 상에 전사되며, 오목 패턴(134)과 접촉하지 않는 영역의 유기액(148)은 블랭킷(110)의 표면에 남아 유기 패턴(150)으로 형성된다. Then, as shown in FIG. 6B, the printing roller 120 coated with the organic liquid 148 is rotated on the printing plate 130 having the concave pattern 134 and the convex pattern 132. Accordingly, the organic liquid 148 in the region in contact with the convex pattern 132 is transferred onto the convex pattern 132, and the organic liquid 148 in the region not in contact with the concave pattern 134 is blanket 110. It is formed on the surface of the organic pattern 150.

이 유기 패턴(150)이 형성된 인쇄 롤러(120)는 도 6c에 도시된 바와 같이 기판(111) 상에서 회전하게 된다. 이에 따라, 기판(111) 상에는 유기 패턴(150)이 전사된 후 건조 및 경화되어 박막패턴으로 형성된다. The printing roller 120 on which the organic pattern 150 is formed is rotated on the substrate 111 as shown in FIG. 6C. Accordingly, the organic pattern 150 is transferred onto the substrate 111, dried and cured to form a thin film pattern.

한편, 본 발명에 따른 인쇄 장치로는 액정 표시 장치의 컬러필터 및 블랙 매트릭스와, 유기 전계 발광 소자의 발광층을 포함하는 유기박막층 등과 같은 유기물질로 형성되는 박막을 형성할 수 있다.Meanwhile, the printing apparatus according to the present invention may form a thin film formed of an organic material such as a color filter and a black matrix of a liquid crystal display and an organic thin film layer including a light emitting layer of an organic electroluminescent device.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 인쇄 장치용 블랭킷 및 그의 제조 방법과 그를 이용한 박막 패터닝 방법은 실란 커플링제를 이용하여 인쇄 몰드, 베이스 필름 및 완충부를 접착시킨다. 이에 따라, 본 발명에 따른 인쇄 장치용 블랭킷 및 그의 제조 방법과 그를 이용한 박막 패터닝 방법은 인쇄 몰드, 베이스 필름 및 완 충부 간의 접착력이 높아져 스트레스에 의한 블랭킷의 변형을 방지할 수 있다.As described above, the blanket for a printing apparatus, the manufacturing method thereof, and the thin film patterning method using the same according to the present invention bond a printing mold, a base film, and a buffer part by using a silane coupling agent. Accordingly, the blanket for a printing apparatus, the manufacturing method thereof, and the thin film patterning method using the same according to the present invention can increase the adhesion between the printing mold, the base film, and the buffer portion, thereby preventing deformation of the blanket due to stress.

이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary knowledge of the present invention described in the claims to be described later It will be understood that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the art.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (13)

기판 상에서 회전하여 박막을 형성하는 인쇄 롤러에 부착되는 인쇄 장치용 블랭킷에 있어서,A blanket for a printing apparatus attached to a printing roller which rotates on a substrate to form a thin film, 상기 블랭킷은The blanket is 베이스 필름과;A base film; 상기 베이스 필름의 전면에 형성되는 인쇄 몰드와;A printing mold formed on the entire surface of the base film; 상기 베이스 필름의 배면에 형성되는 완충부와;A buffer part formed on a rear surface of the base film; 상기 인쇄 몰드 및 완충부 각각과 상기 베이스 필름을 접착시키며 실란 커플링제로 형성되는 합착제를 구비하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷.And a binder formed by adhering each of the printing mold and the buffer portion to the base film and formed of a silane coupling agent. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 합착제는 Epoxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Amino 관능기를 가지는 실란계 화합물, Sulfur 관능기를 가지는 실란계 화합물, Methacryloxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Chloro 관능기를 가지는 실란계 화합물 또는 Vinlyl 관능기를 가지는 실란계 화합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷.The binder is a silane compound having an epoxy functional group, a silane compound having an amino functional group, a silane compound having a sulfur functional group, a silane compound having a methacryloxy functional group, a silane compound having a Chloro functional group or a silane system having a Vinlyl functional group. A blanket for a printing device, characterized in that formed from a compound. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 Epoxy 관능기를 가지는 실란계 화합물은 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane, 또는 5,6-epoxyhexyltriethoxysilane로 형성되 는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷.The silane-based compound having an Epoxy functional group is a blanket for a printing device, characterized in that formed of 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane, or 5,6-epoxyhexyltriethoxysilane. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 베이스 필름은 상기 완충부 및 상기 인쇄 몰드 중 적어도 어느 하나의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷.And the base film is smaller than the size of at least one of the buffer portion and the printing mold. 기판 상에서 회전하여 박막을 형성하는 인쇄 롤러에 부착되는 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법에 있어서,In the manufacturing method of the blanket for printing apparatus attached to the printing roller which rotates on a board | substrate and forms a thin film, 완충부를 마련하는 단계와;Providing a buffer; 상기 완충부 상에 상기 완충부와 제1 합착제를 통해 접착되는 베이스 필름을 형성하는 단계와;Forming a base film adhered to the buffer part through the first binder on the buffer part; 상기 베이스 필름 상에 상기 베이스 필름과 제2 합착제를 통해 접착되는 인쇄 몰드를 형성하는 단계를 포함하며, Forming a printing mold adhered to the base film through the second adhesive on the base film, 상기 제1 및 제2 합착제 중 적어도 어느 하나는 실란 커플링제로 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법.At least one of the said 1st and 2nd bonding agent is formed with the silane coupling agent, The manufacturing method of the blanket for printing apparatuses characterized by the above-mentioned. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 제1 및 제2 합착제는 Epoxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Amino 관능기를 가지는 실란계 화합물, Sulfur 관능기를 가지는 실란계 화합물, Methacryloxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Chloro 관능기를 가지는 실란계 화 합물 또는 Vinlyl 관능기를 가지는 실란계 화합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법The first and second binders are silane compounds having an Epoxy function, silane compounds having an Amino function, silane compounds having a Sulfur function, silane compounds having a Methacryloxy function, silane compounds having a Chloro function, or The manufacturing method of the blanket for printing devices characterized by being formed from the silane type compound which has a Vinlyl functional group. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 Epoxy 관능기를 가지는 실란계 화합물은 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane, 또는 5,6-epoxyhexyltriethoxysilane로 형성되는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법.The silane-based compound having an Epoxy functional group is formed of 3-Glycidoxypropyltrimethoxysilane, or 5,6-epoxyhexyltriethoxysilane. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 베이스 필름을 형성하는 단계는Forming the base film 상기 완충부 상에 액상의 제1 합착제를 도포하는 단계와;Applying a liquid first binder onto the buffer; 상기 제1 합착제가 도포된 상기 완충부 상에 상기 베이스 필름을 형성하는 단계와;Forming the base film on the buffer portion to which the first adhesive is applied; 상기 제1 합착제를 열경화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법.And thermally curing the first binder. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 인쇄 몰드를 형성하는 단계는Forming the printing mold 상기 베이스 필름 상에 액상의 제2 합착제를 도포하는 단계와;Applying a liquid second binder onto the base film; 상기 제2 합착제가 도포된 상기 베이스 필름 상에 상기 인쇄 몰드를 형성하 는 단계와;Forming the printing mold on the base film to which the second binder is applied; 상기 제2 합착제를 열경화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법.And thermosetting the second binder. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,The method according to claim 8 or 9, 상기 액상의 제1 합착제 및 제2 합착제 중 적어도 어느 하나는 알코올류에 희석된 상기 실란계 화합물인 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법.At least one of the said liquid 1st binder and a 2nd binder is the said silane type compound diluted with alcohol, The manufacturing method of the blanket for printing devices characterized by the above-mentioned. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, wherein 상기 베이스 필름을 형성하는 단계는Forming the base film 상기 완충부 및 상기 인쇄 몰드 중 적어도 어느 하나보다 작은 크기로 상기 베이스 필름을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 인쇄 장치용 블랭킷의 제조 방법.Forming the base film to a size smaller than at least any one of the buffer portion and the printing mold. 베이스 필름의 전면에 형성되는 인쇄 몰드, 상기 베이스 필름의 배면에 형성되는 완충부, 상기 인쇄 몰드 및 완충부 각각과 상기 베이스 필름을 접착시키며 실란 커플링제로 형성되는 합착제를 가지는 블랭킷이 부착된 인쇄 롤러를 마련하는 단계와;Printed with a blanket having a printing mold formed on the front surface of the base film, a buffer portion formed on the rear surface of the base film, each of the printing mold and the buffer portion and a bonding agent formed by bonding the base film with a silane coupling agent. Providing a roller; 상기 블랭킷의 인쇄 몰드에 유기액을 충진하는 단계와;Filling an organic liquid into a printing mold of the blanket; 상기 유기액이 충진된 인쇄 롤러를 인쇄판 상에 회전시켜 유기 패턴을 형성하는 단계와;Forming an organic pattern by rotating the printing roller filled with the organic liquid on a printing plate; 상기 유기 패턴을 기판 상에 전사한 후 경화하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법.And transferring the organic pattern onto a substrate and curing the organic pattern. 제 12 항에 있어서,The method of claim 12, 상기 제1 및 제2 합착제는 Epoxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Amino 관능기를 가지는 실란계 화합물, Sulfur 관능기를 가지는 실란계 화합물, Methacryloxy 관능기를 가지는 실란계 화합물, Chloro 관능기를 가지는 실란계 화합물 또는 Vinlyl 관능기를 가지는 실란계 화합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 패터닝 방법.The first and second binders are silane compounds having an epoxy function, silane compounds having an amino function, silane compounds having a Sulfur function, silane compounds having a Methacryloxy function, silane compounds having a Chloro function, or Vinlyl. The thin film patterning method characterized by being formed from the silane type compound which has a functional group.
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