KR20080051114A

KR20080051114A - Gas ionization detector for digital radiography

Info

Publication number: KR20080051114A
Application number: KR1020080015252A
Authority: KR
Inventors: 박영호; 김상태
Original assignee: (주)에이디티
Priority date: 2008-02-20
Filing date: 2008-02-20
Publication date: 2008-06-10

Abstract

A gas ionization detector for digital X-rays is provided to freely design the width of an image by adjusting the number of channels formed by a strip pattern of a negative electrode. A gas ionization detector for digital X-rays includes a substrates, a base(20), a positive electrode plate(24), X-ray shielding barriers(25a,25b,25c), and an X-ray guide(30). Strip patterns of a negative electrode are formed on the substrates at predetermined intervals in parallel to an X-ray radiation direction. The substrate is fixed to the base. The positive electrode plate is located opposite to the base. The X-ray shielding barriers maintain the gap between the positive electrode plate and the base. The X-ray guide penetrates the middle part of the X-ray shielding barriers positioned in the X-ray radiation direction. The X-ray guide includes a first area and a second area. The first area occupies the space between an X-ray input window(51) and the X-ray shielding barriers. The second area penetrates the middle part of the X-ray shielding barriers at a uniform thickness.

Description

Gas ionization detector for digital radiography

본 발명은 X선 검출기에 관한 것이고, 더 상세히는 피사체를 투과한 X선의 세기에 따라 챔버 내에 채워진 가스가 전리되어 형성되는 이온 량을 스트립 전극을 통하여 전기적 신호로 검출할 수 있는 X선 검출기의 개량된 구조를 제공하는 것에 관한 것이다.The present invention relates to an X-ray detector, and more particularly, to an improvement of an X-ray detector capable of detecting an amount of ions formed by ionizing a gas filled in a chamber according to the intensity of X-rays transmitted through a subject through an strip electrode as an electrical signal. It is about providing a structured structure.

종래 일반적인 X선 검출기는 도 8과 같이 TFT를 픽셀단위로 하는 TFT어레이(1)와, 상기 TFT어레이에 연결되는 수집전극(2)과, 고전압전극(3)과, 상기 수집전극과 고전압전극 사이에 구성되어 X선의 조사량에 비례하는 전하를 발생시키는 광도전체층(4: 셀레늄 등)을 구비한 평판형 패널로 구성된다.A conventional X-ray detector includes a TFT array 1 having a TFT as a pixel unit as shown in FIG. 8, a collection electrode 2 connected to the TFT array, a high voltage electrode 3, and a space between the collection electrode and the high voltage electrode. And a flat panel having a photoconductor layer (such as selenium) that generates charge in proportion to the irradiation amount of X-rays.

상기 종래의 TFT를 이용하는 평판형 패널로 이루어진 X선 검출기는 TFT 기판을 제작하는 공정이 복잡하여 제조비용이 높을 뿐만 아니라 사용 중 TFT의 열화로 인한 제품의 내구성이 떨어지는 단점이 있다.The X-ray detector made of a flat panel using the conventional TFT has a disadvantage in that the manufacturing process of the TFT substrate is complicated and the manufacturing cost is high, and the durability of the product due to the deterioration of the TFT during use is inferior.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 장시간 사용하여도 쉽게 열화 되지 않고 구조가 간단한 스캐닝 타입의 X선 검출기를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a scanning type X-ray detector having a simple structure that does not deteriorate easily even when used for a long time.

또, 피사체를 투과한 X선이 두 전극 사이로 입사되기 전에 크립톤 가스와 반응하는 것을 차단하고, 피사체를 투과한 X선이 균일하게 두 전극 사이로 입사될 수 있도록 하여 X선의 검출 효율을 극대화하는 것을 목적으로 한다.It also aims to maximize the detection efficiency of X-rays by blocking X-rays passing through the subject from reacting with krypton gas before entering between the two electrodes, and allowing X-rays passing through the subject to be uniformly incident between the two electrodes. It is done.

상기 목적 달성을 위하여 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기는 X선 조사 방향과 평행한 방향으로 음전극의 스트립 패턴이 소정 간격으로 다수 형성되는 기판과, 상기 기판이 고정되는 베이스와, 상기 기판이 고정된 베이스와 소정의 간극을 두고 대향되게 배치되는 양전극판과, 상기 양전극판과 상기 베이스 사이의 간극을 유지하는 X선 차단용 격벽재와, 상기 기판이 고정된 베이스와 상기 양전극판 사이에 충진되는 불활성 가스와, 상기 X선 조사 방향 쪽에 위치하는 X선 차단용 격벽재의 중간부를 관통하여 설치되는 X선 가이드로 이루어지는 디텍터 모듈을 구비하고, 상기 디텍터 모듈은 X선 입사창을 갖는 튜브 형상의 챔버 내에 밀폐 상태로 고정되어 이루어지되,In order to achieve the above object, a gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention includes a substrate in which a plurality of strip patterns of negative electrodes are formed at predetermined intervals in a direction parallel to the X-ray irradiation direction, a base on which the substrate is fixed, and the substrate A positive electrode plate disposed to face the fixed base with a predetermined gap, an X-ray blocking partition material for maintaining a gap between the positive electrode plate and the base, between the base on which the substrate is fixed, and the positive electrode plate And a detector module comprising an inert gas to be filled and an X-ray guide provided through an intermediate portion of an X-ray blocking partition wall positioned in the X-ray irradiation direction, wherein the detector module has a tube shape having an X-ray entrance window. It is made of a fixed state in the chamber,

상기 X선 가이드는 상기 X선 입사창과 상기 X선 조사 방향 쪽에 위치하는 X선 차단용 격벽재 사이에 형성되는 공간을 채우는 제1영역과, 상기 X선 차단용 격벽재의 중간부를 관통하는 제2영역으로 이루어지고, 적어도 상기 제2영역은 두께가 균일하게 구성되는 것을 특징으로 한다.The X-ray guide may include a first region filling a space formed between the X-ray entrance window and an X-ray blocking partition wall positioned in the X-ray irradiation direction, and a second region penetrating an intermediate portion of the X-ray blocking partition wall material. At least the second region is characterized in that the thickness is configured uniformly.

상기 제2영역의 두께는 0.2mm-0.6mm의 범위 내로 이루어지고, 상기 양전극판과 기판 사이의 간극은 1.5mm-3mm의 범위 내로 이루어지는 것을 특징으로 한다. The thickness of the second region is made in the range of 0.2mm-0.6mm, the gap between the positive electrode plate and the substrate is characterized in that made in the range of 1.5mm-3mm.

상기 X선 차단용 격벽재는 탄탈륨으로 구성되고, 상기 X선 가이드는 아크릴로 시트로 구성되는 것을 특징으로 한다.The X-ray blocking barrier material is composed of tantalum, and the X-ray guide is made of acrylic sheet.

본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기는 종래 필름을 사용하는 X선 촬영 방식이나 평판형 혹은 CCD방식의 디지털 X선 방식과 비교하여 팬빔을 사용함으로써 산란선의 영향을 받지 않고, 신틸레이터가 불필요한 직접변환 방식에 따른 검출 효율이 높아 더 선명한 화질 영상을 얻을 수 있고, 피사체에 조사되는 X선의 피폭선량이 약 1/3내지 1/10정도로 감소하며, 음전극의 스트립 패턴에 의하여 형성된 채널 수를 임으로 조정하여 영상의 폭을 자유롭게 설계할 수 있으며 스캔 길이를 임으로 함으로써 일회의 촬영으로 전신을 촬영하도록 하는 효과가 있다.Gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention is not affected by scattered rays by using a fan beam as compared to an X-ray imaging method using a conventional film or a digital X-ray method using a flat panel or CCD method, and no scintillator is needed. The detection efficiency of the direct conversion method is high, so that a clearer image can be obtained, and the exposure dose of X-rays irradiated to the subject decreases from about 1/3 to 1/10, and the number of channels formed by the strip pattern of the negative electrode is The width of the image can be freely designed by adjusting the scan length, and the whole body can be photographed by one shot.

또, TFT어레이를 이용하는 평판형 패널 구조의 X선 검출기와 비교하여 제조비용이 저렴하고, 내구성을 현저히 향상시키는 효과를 얻을 수 있다. Moreover, compared with the X-ray detector of the flat panel structure which uses TFT array, manufacturing cost is cheap and the effect which remarkably improves durability can be acquired.

또, X선 가이드의 제1영역에 의하여 피사체를 투과한 X선이 크립톤 가스와 반응하는 것을 차단할 수 있고, 제2영역에 의하여 피사체를 투과한 X선이 균일하게 두 전극 사이로 입사될 수 있도록 함으로써 X선의 검출 효율을 극대화하거나 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, the first region of the X-ray guide can block X-rays passing through the subject from reacting with the krypton gas, and the second region allows X-rays transmitted through the subject to be uniformly incident between the two electrodes. The effect of maximizing or improving the detection efficiency of X-rays can be obtained.

또, 제2영역의 두께 조정에 의하여 X선의 공간 해상도를 효과적으로 컨트롤 할 수 있다.In addition, it is possible to effectively control the spatial resolution of the X-rays by adjusting the thickness of the second region.

도 1내지 도 7을 참고하여 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기의 기술 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.1 to 7 will be described in detail the technical configuration and operation of the gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention.

도 1은 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기의 스캐닝 메커니즘을 설명하기 위한 개략도이고,1 is a schematic view for explaining a scanning mechanism of the gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention,

도 2는 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기의 디텍터 모듈의 분해 사시도이고,Figure 2 is an exploded perspective view of the detector module of the gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention,

도 3은 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기의 디텍터 모듈의 입체도이고, 3 is a three-dimensional view of the detector module of the gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention,

도 4는 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기의 입체도이고,4 is a three-dimensional view of the gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention,

도 5a는 도 4의 A-A선을 따라 절단하여 나타내는 단면도이다.5A is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 4.

도 5b는 도 4의 A-A선을 따라 절단하여 나타내는 다른 예의 단면도이다.5B is a cross-sectional view of another example cut along the line A-A in FIG. 4.

도 6은 X선 투과시 음전극과 양전극 사이에 크립톤 가스의 전리 상태를 모식적으로 나타낸 도면이고,6 is a diagram schematically illustrating an ionization state of krypton gas between a negative electrode and a positive electrode during X-ray transmission;

도 7은 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기의 구동 메커니즘을 설명하기 위한 개략도이다. 7 is a schematic view for explaining a driving mechanism of the gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention.

본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기(10)는 도1과 같이 가이드(14)를 따라 X선 튜브(12) 및 X선이 통과하는 콜리메이터(13)와 함께 상하이동할 수 있도록 구성된다.The gas ion chamber type digital X-ray detector 10 of the present invention is configured to move together with the collimator 13 through which the X-ray tube 12 and X-rays pass along the guide 14 as shown in FIG. 1.

X선 전원부(11)에서 전원을 공급받아 X선 튜브(12)에서 발생된 X선은 팬빔을 형성시키게 하는 콜리메이터(13)를 거쳐 피사체(16)를 투과하여 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기(10)에 입사된다.The X-ray generated from the X-ray tube 12 received power from the X-ray power supply unit 11 passes through the object 16 through the collimator 13 to form a fan beam, and thus the gas ion chamber type digital X of the present invention. Incident on the line detector 10.

이 과정에서 피사체(16)를 통과한 X선의 량을 X선 검출기(10)로 검출하여 컴퓨터에 의하여 일련의 신호처리과정과 영상처리과정을 거쳐 모니터(17)에 화상정보로 표시할 수 있도록 한다.In this process, the amount of X-rays passing through the subject 16 is detected by the X-ray detector 10 so as to be displayed as image information on the monitor 17 through a series of signal processing and image processing by a computer. .

상기 X선 검출기(10)는 X선 튜브 및 콜리메이터와 일체로 갠트리에 조립되어 가이드(14)를 따라 상하 방향으로 이동하면서 스캐닝하여 피사체의 X선 투과 량을 검출한다.The X-ray detector 10 is assembled to the gantry integrally with the X-ray tube and the collimator to scan while moving in the vertical direction along the guide 14 to detect the amount of X-ray transmission of the subject.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기(10)는 베이스를 구성하는 황동판(20) 위에 음전극의 스트립 패턴(22)이 형성된 절연 기판(21)을 에폭시로 접착하여 구성한다.The gas ion chamber type digital X-ray detector 10 of the present invention configured as described above is formed by bonding an insulating substrate 21 on which a strip pattern 22 of a negative electrode is formed on the brass plate 20 constituting the base with epoxy. .

상기 절연 기판(21) 위에 음전극 역할을 하도록 형성되는 스트립 패턴(22)은 도2에 도시된 구조와 같이 각 스트립의 폭은 0.16mm, 각 스트립 간의 간격은 0.04mm, 스트립의 길이 D는 30mm 정도가 되도록 형성하여 공간해상도가 적어도 200㎛정도가 되도록 구성한다.The strip pattern 22 formed on the insulating substrate 21 to serve as a negative electrode has a width of 0.16 mm, a distance between each strip of 0.04 mm, and a length D of about 30 mm, as shown in FIG. It is formed so that the spatial resolution is at least about 200㎛.

상기 음전극의 스트립 패턴은 상기 치수에 한정되지 않고 설계해상도에 따라 길이 20mm-30mm, 폭이 0.07mm-0.36mm, 각 스트립 간의 간격은 0.02mm-0.06mm의 범위 내에서 선택하여 구성할 수 있다.The strip pattern of the negative electrode is not limited to the above dimensions and may be configured to be selected within a range of 20 mm-30 mm in length, 0.07 mm-0.36 mm in width, and a spacing between each strip of 0.02 mm-0.06 mm, depending on the design resolution.

각각의 스트립은 0.2mm 두께의 동판에 0.06mm 두께의 니켈, 0.03mm 두께의 금을 도금한 후 패터닝하여 형성한다. 상기 각각의 스트립은 리드아웃 IC모듈(23) 에 연결되어 영상의 폭에 따라 1024채널, 2048채널, 그 이상의 채널을 갖도록 구성한다. Each strip is formed by plating 0.06 mm thick nickel and 0.03 mm thick gold on a 0.2 mm thick copper plate. Each strip is connected to the readout IC module 23 and configured to have 1024 channels, 2048 channels, or more channels according to the width of the image.

또, 상기 절연 기판과 대향하는 위치에 양전극을 구성하는 황동판(24)이 설치된다.Moreover, the brass plate 24 which comprises a positive electrode is provided in the position which opposes the said insulated substrate.

상기 양전극을 구성하는 황동판(24)과, 절연 기판(21) 사이에는 약 1.5mm-3mm의 간극을 유지할 수 있도록 탄탈륨 시트로 된 0.5mm-2mm 두께의 X선 차단용 격벽재(25a,25b,25c)가 각각 설치된다.0.5 mm-2 mm thick X-ray barrier ribs 25a and 25b made of tantalum sheet to maintain a gap of about 1.5 mm-3 mm between the brass plate 24 constituting the positive electrode and the insulating substrate 21; 25c) are installed respectively.

상기 X선 차단용 격벽재(25a,25b,25c)는 각 스트립의 단부 쪽에 격벽을 형성하도록 구성하되, X선 차단용 격벽재(25a,25b)는 황동판(24)의 전방에 형성된 홈(26)과, 황동판(20)의 전방에 형성된 홈(27)에 각각 끼워 고정하고, 황동판(24)의 후방에 형성된 홈(28)에는 X선 차단용 격벽재(25c)를 끼워 고정한다.The X-ray blocking partitions 25a, 25b, and 25c are configured to form partitions at end portions of each strip, but the X-ray blocking partitions 25a and 25b are grooves 26 formed in front of the brass plate 24. And the grooves 27 formed at the front of the brass plate 20, respectively, and the grooves 28 formed at the rear of the brass plate 24 are fitted with the X-ray blocking partition 25c.

특히, 상기 황동판(24)의 후방에 끼워지는 X선 차단용 격벽재(25c)는 탄탈륨으로 구성함으로써 절연 기판(21)과 황동판(24) 사이에 입사된 X선이 기판의 뒤쪽에 배치된 IC모듈(23)에 영향을 미치지 않도록 차폐하는 역할을 동시에 한다.In particular, the X-ray blocking partition wall 25c fitted to the rear of the brass plate 24 is composed of tantalum, so that the X-rays incident between the insulating substrate 21 and the brass plate 24 are disposed behind the substrate. At the same time serves to shield so as not to affect the module (23).

한편, X선 차단용 격벽재(25a)와 X선 차단용 격벽재(25b)는 동일한 크기를 갖는 한 쌍으로 이루어지고, 그 한 쌍이 이루는 간극 사이에는 아크릴로 된 X선 가이드(30)가 설치된다. 상기 X선 가이드는 절연 기판(21)과 황동판(24) 사이의 공간부로 피사체를 투과한 X선이 입사될 때 입사창과 감지부인 스트립의 앞단 사이에 크립톤 가스가 채워지지 않도록 하여 크립톤 가스가 입사된 X선을 흡수하는 것을 방지하도록 작용하는 제1영역과, 상기 한 쌍의 간극 사이에 개재되어 두 격벽재의 간극을 일정하게 유지하고 감지부인 스트립으로 피사체를 투과한 X선을 유도할 수 있도록 창으로 작용하는 제2영역으로 구분된다.On the other hand, the X-ray blocking partition 25a and the X-ray blocking partition 25b are formed in a pair having the same size, and an X-ray guide 30 made of acrylic is installed between the gaps formed by the pair. do. The X-ray guide prevents the krypton gas from filling between the incident window and the front end of the strip, which is the sensing unit, when the X-rays penetrating the subject enter the space between the insulating substrate 21 and the brass plate 24. A window interposed between the first region and the pair of gaps to prevent the absorption of X-rays, and to maintain a constant gap between the two partition walls and to guide the X-rays transmitted through the subject to the strip as a sensing unit. It is divided into a functioning second region.

즉, 피사체를 투과한 X선이 제2영역에 도달하기 전에 누설된 크립톤 가스가 입사된 X선을 흡수함으로써 두 전극 사이에 전리 이온을 검출하기 어렵게 하거나 검출 효율을 현저하게 떨어뜨리는 것을 방지할 수 있도록 상기 X선 가이드(30)의 제1영역은 도 5a와 같이 입사창(51)과 X선 차단용 격벽재(25a,25b)가 이루는 공간부를 채우도록 형성되고, 제2영역은 X선 차단용 격벽재(25a,25b) 사이에 개재되는 구조로 형성된다. 상기 제2영역의 두께는 0.2mm-0.6mm의 범위 내에서 일정하게 형성된다.That is, the absorbed krypton gas absorbs the incident X-rays before the X-rays passing through the subject reach the second region, thereby making it difficult to detect ionization ions between the two electrodes or significantly reduce the detection efficiency. The first region of the X-ray guide 30 is formed to fill the space formed by the incident window 51 and the X-ray blocking partitions 25a and 25b as shown in FIG. 5A, and the second region is blocked by the X-ray. It is formed in a structure interposed between the molten partition wall materials 25a and 25b. The thickness of the second region is formed uniformly in the range of 0.2mm-0.6mm.

입사창(51)과 X선 차단용 격벽재(25a,25b)가 이루는 공간부에 누설되는 크립톤 가스등이 채워지는 것을 근본적으로 방지하지 위하여 도 5b와 같이 X선 가이드 (30)를 구성하여도 된다. The X-ray guide 30 may be configured as shown in FIG. 5B to fundamentally prevent filling of the krypton gas leaked from the space formed by the incident window 51 and the X-ray blocking partitions 25a and 25b. .

상기와 같이 구성되는 디텍터 모듈(40)은 볼트 조임하여 도 3과 같이 조립된다.The detector module 40 configured as described above is assembled as shown in FIG. 3 by tightening the bolts.

상기 디텍터 모듈(40)은 도4 및 도5와 같이 약 0.8mm-1mm 두께의 평탄한 알루미늄 입사창(51)이 형성된 원형 파이프 형상의 알루미늄 챔버(50) 내에 장착되고, 뚜껑(54a,54b) 및 오링(도시 생략)을 이용하여 챔버의 양 단부를 체결함으로써 챔버 내에 밀폐되록 고정한다.The detector module 40 is mounted in a circular pipe-shaped aluminum chamber 50 having a flat aluminum entrance window 51 having a thickness of about 0.8 mm-1 mm, as shown in FIGS. 4 and 5, and lids 54a and 54b. An O-ring (not shown) is used to secure both ends of the chamber to be sealed in the chamber.

상기 챔버가 밀폐된 상태에서 뚜껑(54a)에 형성된 밸브(53)를 이용하여 챔버 내에 불활성인 크립톤 가스를 약 40kg/cm²의 압력으로 충진 한다. 물론 IC모듈(23)은 챔버의 뚜껑(54a)에 형성된 외부전극 커넥터(52)와 연결된다.The inert krypton gas is filled into the chamber at a pressure of about 40 kg / cm ² using the valve 53 formed in the lid 54a while the chamber is closed. Of course, the IC module 23 is connected to the external electrode connector 52 formed on the lid 54a of the chamber.

상기와 같이 구성되는 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기의 동작 및 작용은 도6, 도7을 참고하여 설명한다.Operation and operation of the gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention configured as described above will be described with reference to FIGS. 6 and 7.

X선 튜브에서 발생하여 콜리메이터를 통하여 피사체를 투과한 X선은 알루미늄 챔버의 입사창(51)을 거쳐 X선 가이드(30)에 유도되어 크립톤 가스가 충진된 디텍터 모듈(40) 내로 입사된다.X-rays generated by the X-ray tube and transmitted through the object through the collimator are guided to the X-ray guide 30 through the incident window 51 of the aluminum chamber and are incident into the detector module 40 filled with krypton gas.

상기 피사체를 투과하면서 피사체의 조직과 기관에 따라 세기가 달라진 투과 X선이 X선 가이드를 통과하면 음전극의 스트립 패턴이 형성된 절연 기판(21)과 양전극을 구성하는 황동판(24) 사이에 충진된 크립톤 가스가 투과 X선의 세기에 비례하는 전자와 포톤으로 전리된다. 상기 전리된 전자와 포톤은 음전극의 스트립 패턴(22)과 양전극(황동판:24) 사이에 1kV의 고전압을 가하면 포톤은 인접한 각각의 스트립으로 모여들고, 이 모여든 포톤의 전하량을 리드아웃 IC모듈(23)이 각각의 스트립 별로 측정하여 한 라인의 정보를 얻는 방법으로 동일한 갠트리에 배치된 디텍터 모듈(40)과 X선 튜브 및 콜리메이터를 동시에 이동시켜 가면서 스캐닝하면 X선의 투과 량은 모니터에 화상 정보로 변환되어 표시된다.When the transmitted X-rays whose intensity varies according to the tissue and organ of the subject pass through the X-ray guide while passing through the subject, the krypton filled between the insulating substrate 21 having the negative electrode strip pattern and the brass plate 24 constituting the positive electrode The gas is ionized into electrons and photons proportional to the intensity of the transmitted X-rays. When the ionized electrons and photons apply a high voltage of 1 kV between the strip pattern 22 of the negative electrode and the positive electrode (brass plate: 24), the photons gather into adjacent strips, and the amount of the collected photons is read out of the lead-out IC module ( 23) is measured by each strip to obtain a single line of information, while scanning the detector module 40, the X-ray tube and the collimator placed in the same gantry at the same time to scan the X-ray transmission amount to the image information on the monitor It is converted and displayed.

본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기는 상기 예시된 도면 구조에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 청구범위 및 목적의 범주 내에서 다양한 변형이 가능하다.The gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention is not limited to the above-described illustrated structure, and various modifications are possible within the scope of the claims and objects of the present invention.

도 5a는 도 4의 A-A선을 따라 절단하여 나타내는 단면도이고,5A is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. 4,

도 5b는 도 4의 A-A선을 따라 절단하여 나타내는 다른 예의 단면도이고,5B is a cross-sectional view of another example cut along the line A-A of FIG. 4;

도 7은 본 발명의 가스이온 챔버형 디지털 X선 검출기의 구동 메커니즘을 설명하기 위한 개략도이고, 7 is a schematic view for explaining a driving mechanism of the gas ion chamber type digital X-ray detector of the present invention,

도 8은 종래 평판형 패널의 X선 검출기의 구조를 예시하여 나타내는 도면이다.Fig. 8 is a diagram illustrating the structure of an X-ray detector of a conventional flat panel.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 - X선 검출기 11- X선 전원부10-X-ray detector 11- X-ray power supply

12 - X선 튜브 13 - 콜리메이터12-X-ray tube 13-Collimator

14 - 가이드 15 - 지지대14-Guide 15-Supports

16 - 피사체 17 - 모니터16-Subject 17-Monitor

20, 24 - 황동판 21 - 절연 기판 20, 24-brass plate 21-insulated board

22 - 스트립 패턴 23 - IC모듈 22-strip pattern 23-IC module

25a,25b,25c - X선 차단용 격벽재 26,27,28 - 홈 25a, 25b, 25c-X-ray barrier material 26,27,28-Groove

30 - X선 가이드 40 - 디텍터 모듈30-X-ray guide 40-Detector module

50 - 챔버 51 - 입사창50-Chamber 51-Entrance Window

52 - 커넥터 53 - 밸브52-connector 53-valve

54a,54b - 뚜껑54a, 54b-lid

Claims

A substrate in which a plurality of strip patterns of negative electrodes are formed at predetermined intervals in a direction parallel to the X-ray irradiation direction, a base on which the substrate is fixed, and a positive electrode plate disposed to face the base on which the substrate is fixed at a predetermined gap; And an X-ray blocking partition wall that maintains a gap between the positive electrode plate and the base, an inert gas filled between the base on which the substrate is fixed and the positive electrode plate, and an X-ray blocking line located in the X-ray irradiation direction. It is provided with a detector module consisting of an X-ray guide installed through the middle portion of the partition wall material, wherein the detector module is fixed in a sealed state in a tube-shaped chamber having an X-ray incident window,

The X-ray guide may include a first region filling a space formed between the X-ray entrance window and an X-ray blocking partition wall positioned in the X-ray irradiation direction, and a second region penetrating an intermediate portion of the X-ray blocking partition wall material. And at least the second region has a uniform thickness.

The method of claim 1,

The thickness of the second region is made in the range of 0.2mm-0.6mm, the gap between the positive electrode plate and the substrate is in the range of 1.5mm-3mm gas ion chamber type digital X-ray detector.

The method of claim 1,

The X-ray blocking partition wall material is composed of tantalum, the X-ray guide is a gas ion chamber-type digital X-ray detector, characterized in that composed of a sheet of acrylic.