KR20080036272A - Pivot with wafer protection device - Google Patents

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Abstract

A pivot with a wafer protection device is provided to prevent the protrusion of a wafer due to the revolution of the pivot and the damage of the wafer by employing a buffer module. A pivot table is comprised of a cassette bottom support for supporting a bottom of each cassette and a cassette lateral side support for supporting a left or right lateral side. The cassette bottom support is intersected with the cassette lateral side support. A buffer module(20) is installed at a position where the cassette lateral side support is collided with a bottom when the pivot table is rotates to be located at a pivot position. The buffer module includes a sensor, a buffer motor(21), and a buffer(22). The sensor triggers the buffer motor to activate the buffer to lift up the pivot table before the cassette lateral side support is reached to a bottom surface.

Description

웨이퍼 보호 장치를 갖춘 피벗{Pivot with wafer protection device}Pivot with wafer protection device

도 1은 SMIF에서 피벗으로 로딩되어서 리트랙트가 실시되는 일련의 과정을 보여주는 사진, 1 is a photo showing a series of processes that are retracted by being loaded into a pivot in SMIF,

도 2는 웨이퍼가 들어있는 카세트가 로딩되는 과정을 보여주는 도면,2 is a view showing a process of loading a cassette containing a wafer,

도 3은 본 발명에 의한 일실시예로서 완충기 모듈이 설치된 피벗테이블의 개략도,3 is a schematic view of a pivot table in which a shock absorber module is installed as an embodiment according to the present invention;

도 4는 본 발명에 의한 일실시예로서 피벗테이블의 이동에 따른 완충기 모듈의 작동도,4 is an operation of the buffer module according to the movement of the pivot table as an embodiment according to the present invention,

도 5는 본 발명에 의한 일실시예로서 모터의 작동과 관련된 회로도,5 is a circuit diagram related to the operation of the motor as an embodiment according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 또 다른 일실시예로서 승강모터 인터락이 설치된 웨이퍼 보호장치를 갖춘 피벗테이블의 정면도,6 is a front view of a pivot table having a wafer protection device provided with a lifting motor interlock according to another embodiment according to the present invention;

도 7은 도 6에서의 로드락 챔버의 측면도이다.FIG. 7 is a side view of the load lock chamber in FIG. 6. FIG.

본 발명은 웨이퍼가 적재된 카세트가 놓이는 피벗테이블에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피벗테이블의 이동시 웨이퍼 슬라이딩에 따른 문제점을 해결하기 위 한 웨이퍼 보호장치를 갖춘 피벗테이블에 관한 것이다.The present invention relates to a pivot table on which a wafer on which a wafer is loaded is placed, and more particularly, to a pivot table having a wafer protection device for solving a problem caused by wafer sliding during movement of the pivot table.

일반적으로 웨이퍼가 반도체소자로 제조되기까지는 카세트(Cassette)에 복수개가 수납되어 각 공정을 수행하는 각각의 제조설비로 이송되고, 또한 이들 웨이퍼는 각 공정을 수행하는 반도체소자 제조설비 내에서도 그 내부에 설치된 로봇에 의해 인출되도록 요구되는 위치로 이송된다.In general, a plurality of wafers are stored in a cassette until the wafers are manufactured as semiconductor devices and transferred to respective manufacturing facilities for performing each process. Also, these wafers are installed inside the semiconductor device manufacturing facilities for performing each process. It is transported to the position required to be withdrawn by the robot.

즉, 웨이퍼는 로봇에 의해 이송될 수 있는 로딩포지션(loading position)에 있어야 하는데 이것은 카세트가 정확한 위치에 정렬되어 놓일것과 이렇게 정렬된 카세트로부터 수납된 웨이퍼가 제한된 범위 내에 있을 것이 요구된다.That is, the wafer must be in a loading position that can be transported by the robot, which requires that the cassettes are aligned in the correct position and that the wafers received from these aligned cassettes are within a limited range.

따라서 반도체소자 제조설비 내부에는 복수개의 웨이퍼가 수납된 카세트를 설정 위치에 있도록 안내하고, 카세트와 수납된 웨이퍼의 위치상태에 대한 정상 여부를 확인하는 수단을 갖는 카세트 로더장치(cassette loader)가 설치된다.Therefore, a cassette loader having a means for guiding a cassette containing a plurality of wafers in a set position and checking whether the cassette and the stored wafer are in a normal position is provided inside the semiconductor device manufacturing facility. .

일례로 종래기술에 의한 카세트 로더장치는 생산라인과 공정실 사이의 압력 상태를 중재하기 위한 반도체 제조용 로드락(loadlock)챔버내에 설치된다.In one example, a cassette loader device according to the prior art is installed in a loadlock chamber for semiconductor manufacturing for mediating the pressure state between a production line and a process chamber.

이러한 카세트 로더장치에는 피벗(pivot)테이블이 있다. 도 1은 SMIF에서 피벗으로 로딩되어서 리트랙트가 실시되는 일련의 과정을 보여주는 사진이고, 도 2는 웨이퍼가 들어있는 카세트가 로딩되는 과정을 보여주는 도면이다. 도 2에서 보는 바와 같이 피벗 테이블(15)은 수직하게 세워진 웨이퍼(11)가 평탄면을 마주하고 횡방향으로 복수개 장착되는 카세트(12)의 저면을 지지하는 카세트저면 받침판(13)과 상기 카세트(12)의 좌측 또는 우측 일측면을 지지하고 상기 카세트저면 받침판(13)과 직교하는 카세트측면 받침판(14)으로 이루어져 있으며, 카세트(12)는 카세트 저면 받침판(13)위에 올려진다(도 2의 (a)). 이렇게 위치한 카세트(12)는 피벗 테이블(15)이 모터(미도시)에 의해 시계방향으로 90도 회전하게 되는데(도 2의 (b)), 이 과정에서 리트랙트(retract) 완료시 바닥과 카세트 측면 받침판(14)의 충돌로 인하여 웨이퍼(11)가 돌출되는 문제가 발생한다(도 의 (c)).Such a cassette loader device has a pivot table. FIG. 1 is a photograph showing a process of retracting by being loaded into a pivot by SMIF, and FIG. 2 is a diagram showing a process of loading a cassette containing a wafer. As shown in FIG. 2, the pivot table 15 includes a cassette bottom support plate 13 and a cassette (13) for supporting a bottom surface of a cassette 12 in which a plurality of wafers 11 standing vertically face a flat surface and are mounted in a lateral direction. It consists of a cassette side support plate 14 supporting one side of the left or right side of the 12 and orthogonal to the cassette bottom support plate 13, and the cassette 12 is mounted on the cassette bottom support plate 13 (Fig. a)). The cassette 12 is positioned so that the pivot table 15 is rotated 90 degrees clockwise by a motor (not shown) (Fig. 2 (b)), the bottom and the cassette at the completion of the retract (retract) in this process The problem that the wafer 11 protrudes due to the collision of the side support plate 14 occurs (Fig. (C)).

다음으로 카세트(12)에 수납된 웨이퍼(11)를 로봇에 의하여 인출하기 위하여 카세트 측면 받침판(14)과 겹쳐진 지지판(16)은 승강모터(17)에 의하여 웨이퍼(11)가 상하로 이동을 하게 되며, 이 과정에서 돌출된 웨이퍼(11)가 있으면 웨이퍼는 피벗 포지션으로 이동하게 되는데, 이 때 로드락 챔버에 부딪혀서 웨이퍼가 파손되는 문제가 발생한다(도 2의 (d)).Next, in order to take out the wafer 11 stored in the cassette 12 by the robot, the support plate 16 overlapped with the cassette side support plate 14 allows the wafer 11 to move up and down by the lifting motor 17. If the wafer 11 protrudes in this process, the wafer is moved to a pivot position. At this time, a problem occurs in that the wafer is broken by hitting the load lock chamber (FIG. 2 (d)).

이와같이 피벗의 회전 및 이동시 충격으로 인한 웨이퍼의 돌출 및 그로 인하여 웨이퍼 손상, 파손, 공정불량 등의 원인이 되고, 이 후에 그러한 불량 상태가 감지되면 이를 바로잡기 위한 공정의 번거로움과 공정시간 지연으로 인한 손실이 발생되는 심각한 문제점이 발생된다.As such, protrusion of the wafer due to impact during rotation and movement of the pivot and consequently, damage to the wafer, damage, and defects may be caused, and when such a defective state is detected, it may be necessary to correct the process and delay the process time. The serious problem of loss occurs.

본 발명은 상기된 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 피벗의 회전으로 인한 충격을 완화하여 웨이퍼가 돌출되는 것을 방지하고, 또한 돌출된 웨이퍼가 있으면 피벗의 이동을 중지시켜서 웨이퍼의 파손을 방지하기 위한 웨이퍼 보호장치를 갖춘 피벗을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, to mitigate the impact caused by the rotation of the pivot to prevent the wafer from protruding, and if there is a protruding wafer to stop the movement of the pivot to prevent damage to the wafer The object is to provide a pivot with wafer protection.

본 발명에 의한 웨이퍼 보호 장치를 갖춘 피벗 테이블은 수직으로 세워진 웨이퍼가 평탄면을 마주하고 횡방향으로 복수개 장착되는 카세트의 저면을 지지하는 카세트저면 받침판과 상기 카세트의 좌측 또는 우측 일측면을 지지하고 상기 카세트저면 받침판과 직교하는 카세트측면 받침판으로 이루어진 피벗 테이블에 있어서, 상기 피벗 테이블이 회전하여 피벗 포지션에 놓일 때 카세트 측면 받침판이 바닥과 충돌하는 지점에 완충기 모듈이 설치되어진 것을 특징으로 한다.Pivot table equipped with a wafer protection device according to the present invention is a vertically supported wafer facing the flat surface and the cassette bottom support plate for supporting the bottom surface of the plurality of cassettes mounted in the transverse direction and the left or right one side of the cassette and the A pivot table comprising a cassette side support plate orthogonal to a cassette bottom support plate, characterized in that a shock absorber module is installed at a point where the cassette side support plate collides with the floor when the pivot table is rotated and placed in the pivot position.

본 발명에 다른 바람직한 형태에 의하면, 상기 완충기 모듈은 센서, 완충기 모터, 완충기를 포함하고 있으며, 상기 센서에 의해 완충기 모터가 작동하여 완충기가 상기 카세트 측면 받침판이 바닥면과 접하기 전에 올려지는 것을 특징으로 한다.According to another preferred aspect of the present invention, the shock absorber module includes a sensor, a shock absorber motor, a shock absorber, and the shock absorber motor is operated by the sensor to raise the shock absorber before the cassette side support plate comes into contact with the bottom surface. It is done.

본 발명에 의한 또 다른 웨이퍼 보호 장치를 갖춘 피벗테이블은 피벗테이블에서 웨이퍼의 이탈여부를 감지하는 센서에 의해서 웨이퍼의 이탈여부를 감지하고, 웨이퍼의 이탈시 피벗테이블 승강모터의 작동을 중지시킬 수 있는 인터락이 설정된 것을 특징으로 한다.The pivot table equipped with another wafer protection device according to the present invention detects whether the wafer is separated by a sensor that detects whether the wafer is separated from the pivot table, and stops the operation of the pivot table lift motor when the wafer is removed. An interlock is set.

이하 예시도면을 참조하면서 본 발명에 대하여 상세히 설명한다. 다만 이러한 설명은 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시하게 하기 위함이지, 이로써 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, this description is intended to be easily carried out by those skilled in the art, the scope of the invention is not limited thereby.

도 3은 본 발명에 의한 일실시예로서 완충기 모듈(20)이 설치된 피벗테이블의 개략도이다. 본 발명에 의한 완충기 모듈은 센서(미도시), 완충기(22)와 이를 기동시키는 모터(21)로 구성되어 있다. 3 is a schematic diagram of a pivot table in which the shock absorber module 20 is installed as an embodiment of the present invention. The shock absorber module according to the present invention comprises a sensor (not shown), a shock absorber 22 and a motor 21 for activating the shock absorber module.

상기 완충기(22)는 피벗 테이블(15)이 회전하여 피벗 포지션에 놓일 때 카세트 측면 받침판(14)이 바닥과 충돌하는 지점에 완충기가 설치되어지며, 완충기(22)는 시중에 일반적으로 판매되고 있는 것이다. The shock absorber 22 is provided with a shock absorber at the point where the cassette side support plate 14 collides with the bottom when the pivot table 15 is rotated and placed in the pivot position, and the shock absorber 22 is generally commercially available. will be.

상기 센서는 피벗테이블의 이동을 감지하여서 피벗테이블(15)이 피벗포지션에 놓이기 전에 이를 감지하여, 완충기 모터(21)를 작동시키고, 완충기 모터(21)의 작동으로 인하여 완충기(22)가 회전하여 피벗테이블(15)이 바닥과의 충돌시의 충격 을 완화시킨다. The sensor senses the movement of the pivot table and detects it before the pivot table 15 is placed in the pivot position. The sensor operates the shock absorber motor 21, and the shock absorber 22 rotates due to the operation of the shock absorber motor 21. The pivot table 15 mitigates the impact of the collision with the floor.

센서는 피벗테이블의 이동을 감지할 수 있는 위치에 설치되어지면 되는데, 바람직하게는 로드락챔버의 측면에 설치되어서 피벗테이블이 약 45도 정도 회전되었을 경우, 이를 감지하여 완충기 모터(21)를 작동시키게 하는 것이 바람직하다.The sensor may be installed at a position capable of detecting the movement of the pivot table. Preferably, the sensor is installed at the side of the load lock chamber to detect the pivot table about 45 degrees and operate the shock absorber motor 21. It is desirable to make it.

도 4는 피벗테이블의 이동에 따른 완충기 모듈(20)의 작동을 알기 쉽게 표시한 것이다. 도 3과 도4에서 보는 바와 같이, 센서가 작동하지 않게 되면 완충기 모터(21)가 역회전 상태에서 리미트 스위치에 의해 정지상태로 대기한다. 그 후 피벗 테이블이 회전하여서 센서가 작동하게 되면 완충기 모터(21)가 정회전을 하여 완충기(22)가 상승하여 피벗테이블의 카세트 측면 받침판(14)과 접하게 되어, 피벗테이블의 회전에 의한 충격을 감소시킨다. 또한 도 5는 모터의 작동과 관련된 회로도이다.4 clearly shows the operation of the shock absorber module 20 according to the movement of the pivot table. As shown in Fig. 3 and Fig. 4, when the sensor is not operated, the shock absorber motor 21 waits in the stationary state by the limit switch in the reverse rotation state. Then, when the pivot table is rotated and the sensor is operated, the shock absorber motor 21 rotates forward and the shock absorber 22 is raised to come into contact with the cassette side support plate 14 of the pivot table. Decrease. 5 is a circuit diagram related to the operation of the motor.

도 6은 본 발명에 따른 또 다른 일실시예로서 승강모터 인터락이 설치된 웨이퍼 보호장치를 갖춘 피벗테이블의 정면도이고, 도 7은 도 6에서의 로드락챔버 부분의 측면도이다.6 is a front view of a pivot table with a wafer protection device provided with a lift motor interlock according to another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a side view of the load lock chamber portion of FIG.

도 7에서 보는 바와 같이 로드락 챔버의 게이트에 웨이퍼의 돌출상태를 점검할 수 있는 센서(30)를 설치하여 웨이퍼의 돌출여부를 감지한다. 이렇게 센서(30) 의 리시버(receiver)가 웨이퍼(11)의 돌출여부가 감지하면, 상승모터(17)의 파워 시그날이 리시비의 b접점으로 인하여 상승모터(17)의 동작을 제한하는 인터락(interlock)이 작동하여 상승모터(17)의 이동을 정지시켜서 웨이퍼(11)의 파손을 방지한다.As shown in FIG. 7, the sensor 30 is installed on the gate of the load lock chamber to detect the protrusion of the wafer, thereby detecting whether the wafer is projected. When the receiver of the sensor 30 senses whether the wafer 11 is projected, the power signal of the lift motor 17 restricts the operation of the lift motor 17 due to the contact b of the receiver. Interlock is activated to stop the movement of the lift motor 17 to prevent damage to the wafer 11.

본 발명에 의하여 피벗테이블에서의 웨이퍼의 돌출을 방지할 수 있으며, 아울러 웨이퍼의 돌출시에도 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있어서 웨이퍼 손상, 파손, 공정불량 등의 원인을 제거할 수 있다.According to the present invention, protrusion of the wafer on the pivot table can be prevented, and the breakage of the wafer can be prevented even when the wafer is projected, thereby eliminating the cause of wafer damage, breakage, process defect, and the like.

Claims (3)

수직으로 세워진 웨이퍼가 평탄면을 마주하고 횡방향으로 복수개 장착되는 카세트의 저면을 지지하는 카세트저면 받침판과 상기 카세트의 좌측 또는 우측 일측면을 지지하고 상기 카세트저면 받침판과 직교하는 카세트측면 받침판으로 이루어진 피벗 테이블에 있어서, 상기 피벗 테이블이 회전하여 피벗 포지션에 놓일 때 카세트 측면 받침판이 바닥과 충돌하는 지점에 완충기모듈이 설치되어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보호 장치를 갖춘 피벗 테이블.A pivot consisting of a cassette bottom support plate supporting a bottom of a cassette in which a vertically-standing wafer faces a flat surface and is mounted in a plurality of transverse directions, and a cassette side support plate supporting a left or right side of the cassette and orthogonal to the cassette bottom support plate. The table according to claim 1, wherein a buffer module is installed at a point where the cassette side support plate collides with the bottom when the pivot table is rotated and placed in the pivot position. 제1항에 있어서 상기 완충기 모듈은 센서, 완충기 모터, 완충기를 포함하고 있으며, 상기 센서에 의해 완충기 모터가 작동하여 완충기가 상기 카세트 측면 받침판이 바닥면과 접하기 전에 올려지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보호 장치를 갖춘 피벗 테이블.The wafer protection device according to claim 1, wherein the shock absorber module includes a sensor, a shock absorber motor, and a shock absorber, wherein the shock absorber motor is operated by the sensor to raise the shock absorber before the cassette side support plate comes into contact with the bottom surface. Pivot table with device. 피벗테이블에서 웨이퍼의 이탈여부를 감지하는 센서에 의해서 웨이퍼의 이탈여부를 감지하고, 웨이퍼의 이탈시 피벗테이블 승강모터의 작동을 중지시킬 수 있는 인터락이 설정된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 보호 장치를 갖춘 피벗 테이블.Pivot table equipped with a wafer protection device characterized in that the interlock is set to detect whether the wafer is separated by the sensor that detects the wafer departure from the pivot table, and to stop the operation of the pivot table lift motor when the wafer is released. .
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