KR20080022179A - Method of forming partition wall of plasma display panel - Google Patents

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KR20080022179A
KR20080022179A KR1020087000232A KR20087000232A KR20080022179A KR 20080022179 A KR20080022179 A KR 20080022179A KR 1020087000232 A KR1020087000232 A KR 1020087000232A KR 20087000232 A KR20087000232 A KR 20087000232A KR 20080022179 A KR20080022179 A KR 20080022179A
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glass sheet
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display panel
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KR1020087000232A
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다쯔또시 가나에
아끼히로 후지나가
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후지츠 히다찌 플라즈마 디스플레이 리미티드
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Abstract

A partition wall is formed using a glass sheet, thereby lowering cost of partition wall formation and facilitating formation of partition wall and electrode. Dry film (31) convertible to a dielectric layer by firing is provided on substrate (21). Glass sheet (32) with a thickness corresponding to the height of partition wall to be formed is fixed on the dry film. Resist pattern (33) corresponding to the morphology of partition wall is provided on the glass sheet. Unwanted portion of the glass sheet is sandblasted off, thereby forming the glass sheet into a configuration of partition wall. The dry film is fired at a temperature not higher than the softening points of the substrate and glass sheet so as to attain bonding of the substrate with the glass sheet by means of a dielectric layer being a fired dry film. Thus, formation of a partition wall is accomplished. ® KIPO & WIPO 2008

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법{METHOD OF FORMING PARTITION WALL OF PLASMA DISPLAY PANEL}Partition wall formation method of plasma display panel {METHOD OF FORMING PARTITION WALL OF PLASMA DISPLAY PANEL}

본 발명은, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP)의 격벽 형성 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는, AC 구동형의 3 전극 면방전형 PDP에 주로 적용되는 격벽 형성 방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for forming a partition of a plasma display panel (PDP), and more particularly, to a method for forming a partition mainly applied to an AC drive type 3-electrode surface discharge type PDP.

종래의 PDP로서, AC 구동형의 3 전극 면방전형 PDP가 알려져 있다. 이 PDP는, 한쪽의 기판(예를 들면 전면측 또는 표시면측의 기판)의 내면에 면방전이 가능한 표시 전극을 수평 방향으로 다수 설치하고, 다른 쪽의 기판(예를 들면 배면측의 기판)의 내면에 발광 셀 선택용의 어드레스 전극을 표시 전극과 교차하는 방향으로 다수 설치하여, 표시 전극과 어드레스 전극의 교차부를 1개의 셀(단위 발광 영역)로 하는 것이다. 1 화소는, 적색(R) 셀과, 녹색(G) 셀과, 청색(B) 셀의 3개의 셀로 구성된다.As a conventional PDP, an AC drive type 3-electrode surface discharge type PDP is known. The PDP is provided with a plurality of display electrodes capable of surface discharge in the horizontal direction on the inner surface of one substrate (for example, the substrate on the front side or the display surface side), and the other substrate (for example, the substrate on the back side). A plurality of address electrodes for light emitting cell selection are provided on the inner surface in a direction crossing the display electrodes, so that the intersection of the display electrodes and the address electrodes is one cell (unit light emitting region). One pixel is composed of three cells, a red (R) cell, a green (G) cell, and a blue (B) cell.

전면측의 기판의 표시 전극은 유전체층으로 덮여져 있다. 배면측의 기판의 어드레스 전극도 유전체층으로 덮여져, 어드레스 전극과 어드레스 전극 사이에는 격벽이 형성되고, R셀, G셀, B셀의 각 대응 영역의 격벽 사이에는, 각각 R용, G용, B용의 형광체층이 형성되어 있다.The display electrode of the substrate on the front side is covered with a dielectric layer. The address electrodes of the substrate on the back side are also covered with a dielectric layer, and partition walls are formed between the address electrodes and the address electrodes, and R, G, and B, respectively, between partition walls of the corresponding regions of the R cells, the G cells, and the B cells. The phosphor layer for dragons is formed.

PDP는, 이와 같이 제작한 전면측의 기판과 배면측의 기판을 대향시켜 주변을 밀봉한 후, 내부에 방전 가스를 봉입함으로써 제조되어 있다(특허 문헌 1 참조). The PDP is manufactured by sealing the periphery by opposing the substrate on the front side and the substrate on the back side thus produced (see Patent Document 1).

특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 제2003-303542호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 2003-303542

<발명의 개시> <Start of invention>

<발명이 해결하고자 하는 과제>Problems to be Solved by the Invention

상기 PDP의 격벽 형성 방법으로서는, 다음과 같은 방법이 알려져 있다. 제1 방법은, 기판에 전극 배리어층(유전체의 소성막 등)을 형성하고, 그 위에 저융점 글래스 페이스트(glass paste)를 도포하여 건조시킴으로써 격벽 재료층을 형성하고, 그 격벽 재료층을 샌드 블러스트(sandblast)에 의해 절삭하여, 격벽을 형성하는 방법이다. 제2 방법은, 글래스 기판을 직접 샌드 블러스트에 의해 절삭하여, 격벽을 형성하는 방법이다.As the formation method of the partition wall of the said PDP, the following method is known. The first method forms a barrier material layer by forming an electrode barrier layer (such as a fired film of a dielectric) on a substrate, applying a low melting glass paste thereon, and drying the barrier material layer, and sandblasting the barrier material layer. It is a method of cutting by a sandblast and forming a partition. The second method is a method in which a glass substrate is directly cut by sand blast to form a partition wall.

상기 제1 방법은, 양산 실적이 있지만, 이하와 같은 문제가 있다. 즉, 격벽 재료의 절반 이상을 폐기하기 때문에, 제조 코스트가 높아지게 된다. 또한, 샌드 블러스트로 형성한 건조막을 소성하기 때문에, 격벽의 소성 수축에 의해 격벽의 길이 방향의 단부가 뛰어올라, 대향 기판과의 사이에 간극이 생기고, 이것이 패널 진동에 수반하는 이음(異音) 발생이 원인으로 된다. 또한, 저융점 글래스 페이스트를 이용하기 때문에, 페이스트 안에의 이물 혼입 등이 있으면, 격벽 이지러짐이나, 격벽에 볼록부가 생기는 등의 문제가 발생한다.The first method has mass production results, but has the following problems. That is, since half or more of the partition material is discarded, the manufacturing cost becomes high. Moreover, since the dry film formed by the sand blast is fired, the edge part of the longitudinal direction of a partition jumps by the plastic shrinkage of a partition, and the clearance gap arises with an opposing board | substrate, and this is a joint sound accompanying panel vibration. It is caused by occurrence. In addition, since a low melting glass paste is used, if foreign matters are mixed in the paste, problems such as partition walls and convex portions are formed in the partition walls.

상기 제2 방법은, 격벽 재료로서의 저융점 글래스 페이스트를 필요로 하지 않아, 재료비의 저감이 예상되므로, 개발이 진행되고 있다. 그러나, 이하와 같은 문제가 있다. 즉, 격벽 형성 후에 어드레스 전극을 형성하기 때문에, 어드레스 전극의 형성이 곤란하다. 세로 방향의 격벽뿐만 아니라, 가로 방향의 격벽도 구비한, 소위 박스 형상의 격벽을 형성하는 경우에는, 가로 방향의 격벽 내에 관통 구멍을 형성할지, 또는 가로 방향의 격벽을 타고 넘도록 어드레스 전극을 설치해야만 하므로, 신뢰성의 면에서, 현시점에서는 적용이 매우 곤란하다.Since the said 2nd method does not require the low melting-point glass paste as a partition material, and reduction of material cost is anticipated, development is progressing. However, there are the following problems. That is, since the address electrode is formed after the partition wall formation, the address electrode is difficult to form. In the case of forming a so-called box-shaped partition wall having not only a vertical partition wall but also a horizontal partition wall, an address electrode must be provided so as to form a through-hole in the horizontal partition wall or pass over the horizontal partition wall. Therefore, in view of reliability, application is very difficult at the present time.

본 발명은, 이와 같은 사정을 고려하여 이루어진 것으로, 글래스 시트를 이용하여 격벽을 형성함으로써, 격벽의 형성 코스트를 저하시켜, 격벽 및 전극의 형성을 용이하게 하는 것이다.This invention is made in view of such a situation, and forming a partition using a glass sheet reduces the formation cost of a partition, and makes formation of a partition and an electrode easy.

<과제를 해결하기 위한 수단>Means for solving the problem

본 발명은, 기판 상에, 소성함으로써 유전체층으로 되는 건조막을 형성하고, 그 건조막 상에, 형성하고자 하는 격벽의 높이에 상당하는 두께의 글래스 시트를 고정하고, 그 글래스 시트 상에 격벽 형상에 대응한 레지스트 패턴을 형성하여, 불요 부분의 글래스 시트를 샌드 블러스트에 의해 절삭함으로써, 글래스 시트를 격벽 형상으로 형성하고, 건조막을, 기판 및 글래스 시트의 연화점(軟化点) 이하의 온도로 소성함으로써, 기판과 글래스 시트를 소성 건조막인 유전체층으로 고착하는 것으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법이다.The present invention forms a dry film that becomes a dielectric layer by firing on a substrate, and fixes a glass sheet having a thickness corresponding to the height of the partition wall to be formed on the dry film, and corresponds to the partition shape on the glass sheet. By forming a resist pattern, cutting the glass sheet of the unnecessary portion by sand blasting, forming the glass sheet into a partition wall shape, and baking the dry film at a temperature below the softening point of the substrate and the glass sheet, It is a method of forming a partition of a plasma display panel, wherein the substrate and the glass sheet are adhered to a dielectric layer that is a plastic dry film.

<발명의 효과>Effect of the Invention

본 발명에 따르면, 격벽에 글래스 시트를 이용하므로, 격벽의 소성 수축에 기인하는 격벽 단부의 뛰어오름 등이 없이, 패널 진동에 의한 이음 발생 등의 문제가 발생하지 않는다. 또한, 글래스 시트면이 그대로 격벽 꼭대기부로 되기 때문 에, 평활성이 높은 격벽 꼭대기부가 얻어져, 대향 기판과의 밀착성이 쉽게 유지된다. 그 결과, 인접 셀과의 크로스토크가 발생하기 어려워, 충분한 패널 신뢰성이 얻어진다. 그리고, 저융점 글래스 페이스트가 불요하기 때문에, 대폭적인 코스트 삭감이 가능하게 된다. 또한, 기판을 직접 절삭하여 격벽을 형성할 때 최대의 과제였던, 예를 들면 박스형과 같은 폐쇄계 격벽을 형성하는 경우에서도, 건조막을 형성하기 전에 기판에 전극을 형성해 둠으로써, 전극의 형성이 용이해진다.According to the present invention, since the glass sheet is used for the partition wall, there is no problem such as the occurrence of a joint due to panel vibration without jumping of the partition wall end due to plastic shrinkage of the partition wall. Moreover, since the glass sheet surface becomes a top of a partition as it is, the top of a partition with high smoothness is obtained, and adhesiveness with an opposing board | substrate is maintained easily. As a result, crosstalk with adjacent cells hardly occurs, and sufficient panel reliability is obtained. And since a low melting glass paste is unnecessary, a significant cost reduction is attained. In addition, even when forming a barrier rib by directly cutting the substrate, for example, when forming a closed barrier rib such as a box shape, the electrode is easily formed by forming an electrode on the substrate before the dry film is formed. .

도 1은 본 발명의 PDP의 구성을 도시하는 설명도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Explanatory drawing which shows the structure of the PDP of this invention.

도 2는 격벽의 형성 방법을 도시하는 설명도.2 is an explanatory diagram illustrating a method of forming a partition wall.

도 3은 격벽의 형성 방법을 도시하는 설명도.3 is an explanatory diagram showing a method of forming a partition wall;

<부호의 설명><Description of the code>

10 : PDP10: PDP

11 : 전면측의 기판11: front side board

12 : 투명 전극12: transparent electrode

13 : 버스 전극13: bus electrode

17 : 유전체층17: dielectric layer

18 : 보호막18: protective film

21 : 배면측의 기판21: back side substrate

24 : 유전체층24: dielectric layer

28R, 28G, 28B : 형광체층28R, 28G, 28B: phosphor layer

29 : 격벽29: bulkhead

30 : 방전 공간30: discharge space

31 : 유전체 재료의 건조막31 dry film of dielectric material

32 : 글래스 시트32: glass sheet

33 : 드라이 필름 레지스트의 격벽 패턴33: partition pattern of dry film resist

A : 어드레스 전극A: address electrode

G : 하중G: load

L : 표시 라인L: display line

X, Y : 표시 전극X, Y: display electrode

<발명을 실시하기 위한 최량의 형태><Best Mode for Carrying Out the Invention>

본 발명에서는, 우선 기판 상에 유전체층으로 되는 건조막을 형성한다. 기판으로서는 글래스, 석영, 세라믹스 등의 기판이나, 이들 기판 상에, 전극 등의 원하는 구성물을 형성한 기판이 포함된다.In the present invention, first, a dry film serving as a dielectric layer is formed on a substrate. As a board | substrate, board | substrates, such as glass, quartz, and ceramics, and the board | substrate which formed desired structures, such as an electrode, on these board | substrates are contained.

유전체층으로 되는 건조막은, 예를 들면 기판에 저융점 글래스 페이스트를 스크린 인쇄법이나 페이스트 코트법 등의 공지의 방법으로 도포하여, 건조시킴으로써 형성할 수 있다. 저융점 글래스 페이스트는, 해당 분야에서 공지의 각종의 페이스트 재료를 이용하여 형성할 수 있다. 단, 본 발명에서는, 건조막은, 건조 후에 글래스 시트와의 점착성과 샌드 블러스트 내성을 갖게 하는 것이 가능한 양의 수지를 함유시킨 재료로 형성하는 것이 바람직하다.The dry film which becomes a dielectric layer can be formed by apply | coating low melting glass paste to a board | substrate by well-known methods, such as a screen printing method and a paste coating method, for example, and drying it. The low melting glass paste can be formed using various paste materials known in the art. However, in this invention, it is preferable to form the dry film from the material which contained the resin of the quantity which can have adhesiveness with a glass sheet, and sandblast tolerance after drying.

혹은, 건조막은, 글래스 시트와의 점착성과 샌드 블러스트 내성을 갖게 하는 것이 가능한 양의 수지를 함유시킨, 미리 제작된 점착 시트를 기판에 접착함으로써 형성하여도 된다. Alternatively, the dry film may be formed by adhering a previously produced pressure-sensitive adhesive sheet to a substrate, which contains a resin in an amount capable of providing adhesion to the glass sheet and sand blast resistance.

건조막에는, 글래스 시트와의 점착성과 샌드 블러스트 내성을 갖게 하는 것이 가능한 양의 수지를 함유시킨 점착제를 스프레이 분사하여도 된다. 이에 의해 글래스 시트와의 점착성을 갖게 할 수 있다.You may spray-spray the adhesive which contained the resin of the quantity which can give adhesiveness with a glass sheet, and sandblast tolerance to a dry film. Thereby, adhesiveness with a glass sheet can be provided.

본 발명에서는, 다음으로 건조막 상에, 형성하고자 하는 격벽의 높이에 상당하는 두께의 글래스 시트를 고정한다. 글래스 시트는, 해당 분야에서 공지의 각종의 재료를 이용하여 형성한 것을 적용할 수 있다. 예를 들면 붕소 규소산 글래스나, 일반적으로 창 글래스로서 이용되는 소다 라임 글래스 등을 적용할 수 있다.In the present invention, a glass sheet having a thickness corresponding to the height of the partition wall to be formed is then fixed on the dry film. The glass sheet can apply what was formed using various materials well-known in the said field | area. For example, boron silicate glass, soda-lime glass generally used as window glass, etc. can be used.

이 글래스 시트에는, 착색 글래스 시트를 이용하여도 된다. 또한, 글래스 시트 상에 레지스트 패턴을 형성하기 전에, 글래스 시트 상에 흑색 페이스트를 도포하여 건조시키는 공정을 더 설정하여도 된다. You may use a colored glass sheet for this glass sheet. In addition, before forming a resist pattern on a glass sheet, you may further set the process of apply | coating black paste on a glass sheet and drying it.

본 발명에서는, 다음으로 글래스 시트 상에 격벽 형상에 대응한 레지스트 패턴을 형성하여, 불요 부분의 글래스 시트를 샌드 블러스트에 의해 절삭함으로써, 글래스 시트를 격벽 형상으로 형성한다.In the present invention, the resist sheet corresponding to the partition shape is next formed on the glass sheet, and the glass sheet of the unnecessary portion is cut by sand blasting to form the glass sheet in the partition shape.

레지스트 패턴은, 드라이 필름 레지스트를 이용하여, 포토리소그래프의 방법으로 노광, 현상함으로써, 격벽의 레지스트 패턴을 형성하여도 되고, 액상의 레지스트를 도포하고, 건조 후, 노광, 현상함으로써, 격벽의 레지스트 패턴을 형성하여도 된다. The resist pattern may be formed by exposing and developing a photolithographic method using a dry film resist to form a resist pattern of the partition wall, and applying a liquid resist, and drying and exposing and developing the resist pattern of the partition wall. You may form a pattern.

본 발명에서는, 다음으로 건조막을, 기판 및 글래스 시트의 연화점 이하의 온도로 소성함으로써, 기판과 글래스 시트를 소성 건조막인 유전체층으로 고착한다. 소성은, 해당 분야에서 공지의 소성로를 이용하여 행할 수 있다. In the present invention, the dried film is then fired at a temperature below the softening point of the substrate and the glass sheet, thereby fixing the substrate and the glass sheet to a dielectric layer which is a fired dry film. Firing can be carried out using a firing furnace known in the art.

이 건조막을 소성할 때에는, 글래스 시트를 기판측에 압박하여, 기판과 글래스 시트의 접착성을 향상시키는 공정을 더 설정하여도 된다. When baking this dry film, you may further set the process of pressing the glass sheet to the board | substrate side, and improving the adhesiveness of a board | substrate and a glass sheet.

이하, 도면에 도시한 실시 형태에 기초하여 본 발명을 상술한다. 또한, 본 발명은 이에 의해 한정되는 것은 아니며, 각종의 변형이 가능하다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is explained in full detail based on embodiment shown in drawing. In addition, this invention is not limited by this, A various deformation | transformation is possible.

도 1의 (a) 및 도 1의 (b)는 본 발명의 PDP의 구성을 도시하는 설명도이다. 도 1의 (a)는 전체도, 도 1의 (b)는 부분 분해 사시도이다. 이 PDP는 컬러 표시용의 AC 구동형의 3 전극 면방전형 PDP이다.1 (a) and 1 (b) are explanatory diagrams showing the configuration of the PDP of the present invention. FIG. 1A is an overall view, and FIG. 1B is a partially exploded perspective view. This PDP is an AC drive type 3-electrode surface discharge PDP for color display.

본 PDP(10)는, 전면측의 기판(11)과 배면측의 기판(21)으로 구성되어 있다. 전면측의 기판(11)과 배면측의 기판(21)으로서는, 글래스 기판, 석영 기판, 세라믹스 기판 등을 사용할 수 있다. The PDP 10 is composed of a substrate 11 on the front side and a substrate 21 on the back side. As the substrate 11 on the front side and the substrate 21 on the back side, a glass substrate, a quartz substrate, a ceramic substrate, or the like can be used.

전면측의 기판(11)의 내측면에는, 수평 방향에 표시 전극 X와 표시 전극 Y가 등간격으로 배치되어 있다. 인접하는 표시 전극 X와 표시 전극 Y 사이가 모두 표시 라인 L로 된다. 각 표시 전극 X, Y는, ITO, SnO2 등의 폭이 넓은 투명 전극(12)과, 예를 들면 Ag, Au, Al, Cu, Cr 및 그들 적층체(예를 들면 Cr/Cu/Cr의 적층 구조) 등으로 이루어지는 금속제의 폭이 좁은 버스 전극(13)으로 구성되어 있다. 표시 전극 X, Y는, Ag, Au에 대해서는 스크린 인쇄와 같은 후막 형성 기술을 이용하고, 그 밖에 대해서는 증착법, 스퍼터법 등의 박막 형성 기술과 에칭 기술을 이용 함으로써, 원하는 개수, 두께, 폭 및 간격으로 형성할 수 있다. On the inner surface of the substrate 11 on the front side, display electrodes X and display electrodes Y are arranged at equal intervals in the horizontal direction. The display line L is between the adjacent display electrode X and the display electrode Y. Each display electrode X, Y is a wide transparent electrode 12 such as ITO, SnO 2 , and the like, for example, Ag, Au, Al, Cu, Cr, and laminates thereof (for example, Cr / Cu / Cr. Lamination structure), and the narrow metal bus electrode 13 is comprised. The display electrodes X and Y use a thick film formation technique such as screen printing for Ag and Au, and other thin film formation techniques such as vapor deposition and sputtering, and etching techniques for the desired number, thickness, width and spacing. It can be formed as.

또한, 본 PDP에서는 표시 전극 X와 표시 전극 Y가 등간격으로 배치되고, 인접하는 표시 전극 X와 표시 전극 Y 사이가 모두 표시 라인 L로 되는, 소위 ALIS 구조의 PDP로 되어 있지만, 쌍으로 되는 표시 전극 X, Y가 방전이 발생하지 않는 간격(비방전 갭)을 이격하여 배치된 구조의 PDP이어도, 본 발명의 격벽 형성 방법을 적용할 수 있다. In the present PDP, the display electrodes X and the display electrodes Y are arranged at equal intervals, and the display electrodes L and the adjacent display electrodes X and Y are both display lines L. However, the display is paired. Even if the electrodes X and Y are PDPs having a structure spaced apart from an interval (non-discharge gap) in which no discharge occurs, the partition formation method of the present invention can be applied.

표시 전극 X, Y 상에는, 표시 전극 X, Y를 덮도록 교류(AC) 구동용의 유전체층(17)이 형성되어 있다. 유전체층(17)은 저융점 글래스 페이스트를, 전면측의 기판(11) 상에 스크린 인쇄법으로 도포하여, 소성함으로써 형성하고 있다. 유전체층(17)은 플라즈마 CVD법으로 SiO2막을 성막함으로써 형성하여도 된다. On the display electrodes X and Y, a dielectric layer 17 for alternating current (AC) driving is formed so as to cover the display electrodes X and Y. The dielectric layer 17 is formed by applying a low melting glass paste onto the substrate 11 on the front side by screen printing and firing. The dielectric layer 17 may be formed by forming a SiO 2 film by plasma CVD.

유전체층(17) 상에는, 표시 시의 방전에 의해 생기는 이온의 충돌에 의한 손상으로부터 유전체층(17)을 보호하기 위한 보호막(18)이 형성되어 있다. 이 보호막은 MgO 등으로 형성되어 있다. 보호막은 전자빔 증착법이나 스퍼터법과 같은, 해당 분야에서 공지의 박막 형성 프로세스에 의해 형성할 수 있다. On the dielectric layer 17, a protective film 18 for protecting the dielectric layer 17 from damage caused by collision of ions caused by discharge during display is formed. This protective film is formed of MgO or the like. The protective film can be formed by a thin film formation process known in the art, such as an electron beam deposition method or a sputtering method.

배면측의 기판(21)의 내측면에는, 평면적으로 보아 표시 전극 X, Y와 교차하는 방향으로 복수의 어드레스 전극 A가 형성되고, 그 어드레스 전극 A를 덮어 유전체층(24)이 형성되어 있다. 어드레스 전극 A는, 표시 전극 Y와의 교차부에서 발광 셀을 선택하기 위한 어드레스 방전을 발생시키는 것이며, Cr/Cu/Cr의 3층 구조로 형성되어 있다. 이 어드레스 전극 A는, 그 외에, 예를 들면 Ag, Au, Al, Cu, Cr 등으로 형성할 수도 있다. 어드레스 전극 A도, 표시 전극 X, Y와 마찬가지로, Ag, Au에 대해서는 스크린 인쇄와 같은 후막 형성 기술을 이용하고, 그 밖에 대해서는 증착법, 스퍼터법 등의 박막 형성 기술과 에칭 기술을 이용함으로써, 원하는 개수, 두께, 폭 및 간격으로 형성할 수 있다. 유전체층(24)은 격벽을 형성할 때에 전극 배리어층으로서 작용하는 것이다.On the inner surface of the substrate 21 on the back side, a plurality of address electrodes A are formed in a direction intersecting the display electrodes X and Y in plan view, and a dielectric layer 24 is formed covering the address electrodes A. FIG. The address electrode A generates address discharge for selecting a light emitting cell at the intersection with the display electrode Y, and is formed in a three-layer structure of Cr / Cu / Cr. In addition, this address electrode A can also be formed with Ag, Au, Al, Cu, Cr, etc., for example. Similarly to the display electrodes X and Y, the address electrodes A use a thick film formation technique such as screen printing for Ag and Au, and other thin films and etching techniques such as a vapor deposition method and a sputtering method. , Thickness, width and spacing. The dielectric layer 24 serves as an electrode barrier layer when forming the partition wall.

인접하는 어드레스 전극 A와 어드레스 전극 A 사이의 유전체층(24) 상에는, 스트라이프 형상의 복수의 격벽(29)이 형성되어 있다. 격벽(29)의 형상은 이에 한정되지 않고, 방전 공간을 셀마다 구획하는 메쉬 형상(박스 형상)이어도 된다. 격벽(29)은 글래스 시트를 이용하여 샌드 블러스트법에 의해 형성한다. 이 격벽의 형성 방법에 대해서는 후술한다.On the dielectric layer 24 between the adjacent address electrode A and the address electrode A, a plurality of stripe barrier ribs 29 are formed. The shape of the partition 29 is not limited to this, and may be a mesh shape (box shape) which divides the discharge space for each cell. The partition 29 is formed by the sandblasting method using a glass sheet. The formation method of this partition is mentioned later.

격벽(29)의 측면 및 격벽간의 유전체층(24) 상에는, 적(R), 녹(G), 청(B)의 형광체층(28R, 28G, 28B)이 형성되어 있다. 형광체층(28R, 28G, 28B)은 형광체 분말과 바인더 수지와 용매를 함유하는 형광체 페이스트를 격벽(29)간의 오목 홈 형상의 방전 공간 내에 스크린 인쇄, 또는 디스펜서를 이용한 방법 등으로 도포하고, 이를 각 색마다 반복한 후, 소성함으로써 형성하고 있다. 이 형광체층(28R, 28G, 28B)은 형광체 분말과 감광성 재료와 바인더 수지를 함유하는 시트 형상의 형광체층 재료(소위 그린 시트)를 사용하고, 포토리소그래피 기술로 형성할 수도 있다. 이 경우, 원하는 색의 시트를 기판 상의 표시 영역 전체면에 접착하여 노광, 현상을 행하고, 이를 각 색마다 반복함으로써, 대응하는 격벽간에 각 색의 형광체층을 형성할 수 있다. Phosphor layers 28R, 28G, and 28B of red (R), green (G), and blue (B) are formed on the dielectric layer 24 between the side walls of the barrier ribs 29 and the barrier ribs. The phosphor layers 28R, 28G, and 28B apply a phosphor paste containing phosphor powder, a binder resin, and a solvent into the concave groove-shaped discharge spaces between the partition walls 29 by screen printing or by using a dispenser. After repeating for each color, it forms by baking. The phosphor layers 28R, 28G, and 28B may be formed by photolithography using a sheet-like phosphor layer material (so-called green sheet) containing phosphor powder, a photosensitive material, and a binder resin. In this case, a sheet of a desired color is adhered to the entire display area on the substrate to perform exposure and development, and this is repeated for each color, whereby phosphor layers of each color can be formed between the corresponding partition walls.

PDP는, 상기한 전면측의 기판(11)과 배면측의 기판(21)을, 표시 전극 X, Y와 어드레스 전극 A가 교차하도록 대향 배치하여, 주위를 밀봉하고, 격벽(29)으로 둘러싸여진 방전 공간(30)에 Xe와 Ne를 혼합한 방전 가스를 충전함으로써 제작되어 있다. 이 PDP에서는, 표시 전극 X, Y와 어드레스 전극 A의 교차부의 방전 공간(30)이, 표시의 최소 단위인 1개의 셀(단위 발광 영역)로 된다. 1 화소는 R, G, B의 3개의 셀로 구성된다.The PDP is arranged such that the front substrate 11 on the front side and the substrate 21 on the back side face each other such that the display electrodes X, Y and the address electrode A intersect, seal the periphery, and are surrounded by the partition 29. It is produced by filling the discharge space 30 with the discharge gas which mixed Xe and Ne. In this PDP, the discharge space 30 at the intersection of the display electrodes X, Y and the address electrode A is one cell (unit light emitting area) which is the minimum unit of display. One pixel is composed of three cells of R, G, and B.

도 2의 (a)∼도 2의 (c) 및 도 3의 (a), 도 3의 (b)는 격벽의 형성 방법을 도시하는 설명도이다. 이하, 본 발명의 격벽 형성 방법을 공정순으로 설명한다.FIG.2 (a)-FIG.2 (c), FIG.3 (a), FIG.3 (b) are explanatory drawing which shows the formation method of a partition. Hereinafter, the partition formation method of this invention is demonstrated in order of process.

<건조막 형성 공정><Dry Film Forming Step>

우선, 어드레스 전극 A를 형성한 배면측의 글래스 기판(21) 상에 유전체 재료를 이용하여 건조막(31)을 형성한다(도 2의 (a) 참조). 어드레스 전극 A는 해당 분야에서 공지의 재료와 방법을 이용하여 형성된 것이다. 유전체 재료의 건조막(31)은 저융점 글래스 페이스트를 스크린 인쇄법이나 페이스트 코트법 등으로 도포하여 건조시킴으로써 형성한다. 저융점 글래스 페이스트는 저융점 글래스 플릿에, 세라믹스 등의 필러, 바인더 수지, 용매를 가한 것이다. 유전체 재료의 건조막(31)은 시트 형상으로 된 것(그린 시트 등이라고 칭함)을 접착함으로써 형성하여도 된다. First, a dry film 31 is formed on the glass substrate 21 on the rear side where the address electrode A is formed using a dielectric material (see FIG. 2A). The address electrode A is formed using materials and methods known in the art. The dry film 31 of the dielectric material is formed by applying and drying a low melting glass paste by a screen printing method, a paste coating method, or the like. The low melting glass paste is obtained by adding a filler such as ceramics, a binder resin, and a solvent to the low melting glass paste. The dry film 31 of the dielectric material may be formed by adhering a sheet-like thing (called a green sheet or the like).

유전체 재료의 건조막(31)은 전극 배리어층으로서 기능한다. 즉, 후술하는 샌드 블러스트 시에 샌드 블러스트의 절삭을 막아, 어드레스 전극 A를 보호하는 역할을 한다. 이 때문에, 사용하는 저융점 글래스 페이스트에는 수지를 많이 함유시 켜, 충분한 점탄성을 갖게 해 둔다.The dry film 31 of the dielectric material functions as an electrode barrier layer. That is, the sandblast is prevented from cutting during sandblasting described later, and serves to protect the address electrode A. FIG. For this reason, the low melting glass paste to be used contains many resins, and is made to have sufficient viscoelasticity.

<글래스 시트 고정 공정><Glass Sheet Fixing Process>

다음으로, 유전체 재료의 건조막(31) 상에 원하는 격벽 높이에 대응한 두께를 갖는 글래스 시트(32)를 올려, 고정한다(도 2의 (b) 참조). 이 때, 유전체 재료의 건조막(31)은 충분한 점착성을 갖고 있기 때문에, 글래스 시트(32)의 고정이 가능하다. 글래스 시트(32)의 두께는 50∼500㎛인 것이 바람직하다.Next, the glass sheet 32 having a thickness corresponding to the desired partition height is placed on the dry film 31 of the dielectric material and fixed (see FIG. 2B). At this time, since the dry film 31 of the dielectric material has sufficient adhesiveness, the glass sheet 32 can be fixed. It is preferable that the thickness of the glass sheet 32 is 50-500 micrometers.

<레지스트막 형성 공정><Resist Film Forming Step>

다음으로, 글래스 시트(32) 상에 드라이 필름 레지스트를 접착하고, 원하는 포토마스크를 통해 노광하여, 현상함으로써, 글래스 시트(32) 상에 드라이 필름 레지스트의 격벽 패턴(33)을 형성한다(도 2의 (c) 참조). 이 때, 어드레스 전극 A의 패턴을 얼라인먼트 마크로 사용하여도 된다. 즉, 글래스 시트 상의 레지스트 패턴 소부 시(노광 시)의 얼라인먼트를, 어드레스 전극 패턴 형성 시에 동시에 형성한 얼라인먼트 마크를 사용하여 행하면, 정확한 위치 정렬이 가능하게 된다.Next, the dry film resist is adhered on the glass sheet 32, exposed through a desired photomask, and developed to form a partition pattern 33 of the dry film resist on the glass sheet 32 (FIG. 2). (C) of). At this time, the pattern of the address electrode A may be used as an alignment mark. That is, when alignment of the resist pattern on the glass sheet (at the time of exposure) is performed using the alignment mark formed at the same time when the address electrode pattern is formed, accurate position alignment is possible.

다음으로, 샌드 블러스트에 의해, 불요한 부분의 글래스 시트(32)를 바닥까지 절삭하여 제거함으로써, 글래스 시트(32)를 격벽 형상으로 한다(도 3의 (a) 참조). 연마재로서는, 알루미나, 지르코니아, 탄산 칼슘, 금속 등을 사용한다. 이 때, 유전체 재료의 건조막(31)은 충분한 탄성을 갖고 있기 때문에, 샌드 블러스트의 연마재에 의해 절삭되지 않고, 스톱퍼층(stopper layer)(전극 배리어층)의 역할을 한다.Next, the glass sheet 32 is partitioned by sandblasting by removing the glass sheet 32 of the unnecessary part to the bottom (refer FIG. 3 (a)). As the abrasive, alumina, zirconia, calcium carbonate, metal and the like are used. At this time, since the dry film 31 of the dielectric material has sufficient elasticity, it is not cut by the abrasive of sand blast and serves as a stopper layer (electrode barrier layer).

<건조막 소성 공정>Dry Film Firing Process

샌드 블러스트에 의한 절삭 후, 배면측의 기판(21)을 소성로에 넣고, 유전체 재료의 건조막(31)에 포함되는 저융점 글래스의 연화 온도 이상으로, 또한 글래스 시트(32)의 글래스 전이 온도 이하의 온도로 건조막(31)을 소성하고, 연화된 건조막(31)에 글래스 시트(32)를 고착시킨다. 이 때, 글래스 시트(32)의 자중에 의해, 건조막(31) 내에 글래스 시트(32)가 가라앉기 때문에, 충분한 밀착 강도가 얻어진다.After cutting by sand blast, the substrate 21 on the back side is placed in a firing furnace, and the glass transition temperature of the glass sheet 32 is higher than or equal to the softening temperature of the low melting glass contained in the dry film 31 of the dielectric material. The dry film 31 is fired at the following temperature, and the glass sheet 32 is fixed to the softened dry film 31. At this time, since the glass sheet 32 sinks in the dry film 31 by the weight of the glass sheet 32, sufficient adhesion strength is obtained.

이 경우, 마무리 격벽 높이를 제어하기 위해, 글래스 시트(32) 상에 하중 G를 가하여도 된다(도 3의 (b) 참조). 즉, 하중 G의 크기에 의해 격벽의 높이를 제어한다. 예를 들면 하중 G를 크게 하면 조금 낮은 격벽을 형성할 수 있고, 하중 G를 작게 하면 조금 높은 격벽을 형성할 수 있다. In this case, in order to control the finishing partition height, you may apply the load G on the glass sheet 32 (refer FIG.3 (b)). That is, the height of the partition is controlled by the magnitude of the load G. For example, if the load G is increased, a slightly lower partition can be formed. If the load G is reduced, a slightly higher partition can be formed.

상기 격벽 형성 방법에는, 이하와 같은 방법을 적용하여도 된다. The following method may be applied to the partition formation method.

건조막 형성 공정에서는, 상술한 바와 같이, 그린 시트를 접착함으로써 건조막을 형성하여도 되지만, 그린 시트는 수지량을 조정하여 점착성을 갖게 해 둠으로써, 기판에의 접착을 용이하게 할 수 있다. 이 그린 시트는, 미리 롤 형상으로 감아 보관해 두고, 사용 시에 롤로부터 인출하여 사용하도록 하여도 된다.In the dry film forming step, as described above, the dry film may be formed by adhering the green sheet. However, the green sheet can be easily adhered to the substrate by adjusting the amount of resin to give adhesiveness. The green sheet may be rolled up in a roll shape beforehand and used to be taken out from the roll during use.

유전체 재료의 건조막(31)은, 건조하였을 때에 점성이 없는 저융점 글래스 페이스트를 이용하여 형성하여도 된다. 그 경우에는, 스크린 인쇄법이나 페이스트 코트법으로 저융점 글래스 페이스트를 도포한 후, 페이스트 건조 후에, 스프레이 분사로 점착성의 수지를 내뿜으면 된다. 즉, 건조막에 대해, 글래스 시트와의 점착성을 갖게 하고, 또한 샌드 블러스트 연마재에 견딜 수 있을 만큼의 탄성을 갖게 하는 것이 가능한 양의 점착성의 수지를 함유시킨 점착제를 스프레이로 분사하도록 한다.The dry film 31 of the dielectric material may be formed using a low melting glass paste having no viscosity when dried. In that case, after apply | coating a low melting glass paste by the screen printing method or the paste coat method, what is necessary is just to spray a sticky resin after spray drying after paste drying. In other words, the pressure-sensitive adhesive resin containing an amount of the adhesive resin capable of providing adhesion to the glass sheet and elasticity sufficient to withstand the sand blast abrasive is sprayed with a spray.

글래스 시트 고정 공정에서는, 일반적으로 화면의 콘트라스트를 향상시키는 경우에는, 격벽의 꼭대기부를 흑색으로 하는 방법이 채용되지만, 그와 같은 필요가 있을 경우에는, 흑색으로 착색한 글래스 시트를 사용하여도 된다. In the glass sheet fixing step, in order to generally improve the contrast of the screen, a method of making the top of the partition black is employed. However, when such a need arises, a glass sheet colored in black may be used.

혹은, 격벽 꼭대기부를 검게 하는 방법으로서, 글래스 시트를 건조막 상에 고정한 후, 레지스트막을 형성하기 전에, 흑색 페이스트를 스크린 인쇄법 또는 페이스트 코트법으로 도포하고, 건조 후에 레지스트막을 형성하도록 하여도 된다. Alternatively, after fixing the glass sheet on the dry film, a black paste may be applied by a screen printing method or a paste coating method after the glass sheet is fixed on the dry film, and the resist film may be formed after drying.

또한, 격벽 꼭대기부를 검게 하는 방법으로서, 샌드 블러스트 후에 레지스트막을 박리한 글래스 시트에, 흑색 페이스트를 스크린 인쇄법으로 도포하고, 건조 후, 유전체 재료의 건조막의 소성 시에, 동시에 흑색 페이스트 건조막을 소성하도록 하여도 된다. In addition, as a method of blackening the top of the partition wall, black paste is applied to the glass sheet from which the resist film is peeled off after sand blasting by screen printing, and after drying, the black paste dry film is fired at the time of firing the dry film of the dielectric material. You may also do so.

레지스트막 형성 공정에서는, 글래스 시트(32) 상에 드라이 필름 레지스트를 접착함으로써 형성하였지만, 글래스 시트(32) 상에 액상 레지스트를 도포하여 건조시킴으로써, 레지스트막을 형성하도록 하여도 된다. In the resist film formation process, it was formed by adhering a dry film resist on the glass sheet 32, but a resist film may be formed by applying a liquid resist on the glass sheet 32 and drying it.

이 공정에서 형성하는 격벽의 레지스트 패턴은, 특별히 한정되지 않고, 어떠한 패턴이어도 된다. 예를 들면 스트라이프 형상이어도 되고, 폐쇄계의 격벽 형상, 예를 들면 박스 형상, 델타 형상, 그 밖의 스트레이트 형상 이외의 형상이어도 된다. The resist pattern of the partition formed in this process is not specifically limited, Any pattern may be sufficient. For example, it may be a stripe shape, or may be a shape other than a closed partition wall shape, for example, a box shape, a delta shape, and other straight shapes.

샌드 블러스트 공정 후, 글래스 시트 상에 남은 레지스트막의 제거는, 점착 롤에 의해 박리하여도 된다. 혹은, 건조막의 소성 시에 동시에 제거하도록 하여도 된다. After the sand blast process, the removal of the resist film remaining on the glass sheet may be peeled off with an adhesive roll. Alternatively, the drying film may be removed at the same time.

이와 같이 하여, 격벽에 글래스 시트를 이용함으로써, 격벽의 소성 공정이 없기 때문에, 격벽 소성 시의 수축으로 생기는 격벽 단부의 뛰어오름이 없고, 이에 기인하는 패널로부터의 이음 발생을 방지할 수 있다. 또한, 글래스 시트의 상면이 그대로 격벽 꼭대기부로 되기 때문에, 격벽 꼭대기부의 평활성이 높아져, 전면측의 기판과의 밀착성이 향상되고, 그 결과 인접 셀과의 방전 결합(크로스토크)이 발생하기 어려워, 충분한 패널 신뢰성이 얻어진다. 또한, 저융점 글래스 페이스트를 필요로 하지 않으므로, 격벽 재료비가 저감된다. 그리고, 글래스 기판을 직접 절삭하여 격벽을 형성할 때 최대의 과제였던, 예를 들면 박스형과 같은 폐쇄계 격벽을 형성하는 경우에서도, 건조막을 형성하기 전에 기판에 전극을 형성해 둠으로써, 전극의 형성이 용이해진다.In this way, by using the glass sheet for the partition wall, since there is no baking step of the partition wall, there is no jumping of the end of the partition wall caused by shrinkage at the time of partition wall firing, and it is possible to prevent the occurrence of a joint from the panel. In addition, since the upper surface of the glass sheet becomes the top of the partition as it is, the smoothness of the top of the partition is increased, and the adhesion with the substrate on the front side is improved, and as a result, it is difficult to generate discharge bonds (crosstalk) with the adjacent cells. Panel reliability is obtained. In addition, since the low melting glass paste is not required, the partition material cost is reduced. In addition, even when forming a barrier rib by directly cutting a glass substrate, even in the case of forming a closed barrier rib such as a box type, the electrode is easily formed by forming an electrode on the substrate before the dry film is formed. Become.

또한, 글래스 시트의 절삭에는, 상술한 샌드 블러스트 가공 대신에, 레이저 미세 가공이나, 약액에 의한 케미컬 에칭 가공도 채용 가능하다.In addition, instead of the sand blasting process mentioned above, laser micromachining and the chemical etching process by chemical liquid are also employable for the cutting of a glass sheet.

Claims (11)

기판 상에, 소성함으로써 유전체층으로 되는 건조막을 형성하고, On the substrate, by baking, a dry film serving as a dielectric layer is formed, 상기 건조막 상에, 형성하고자 하는 격벽의 높이에 상당하는 두께의 글래스 시트를 고정하고, On the dry film, a glass sheet having a thickness corresponding to the height of the partition wall to be formed is fixed, 그 글래스 시트 상에 격벽 형상에 대응한 레지스트 패턴을 형성하여, 불요(不要) 부분의 글래스 시트를 샌드 블러스트에 의해 절삭함으로써, 글래스 시트를 격벽 형상으로 형성하고, By forming a resist pattern corresponding to the partition shape on the glass sheet and cutting the glass sheet of the unnecessary portion by sand blasting, the glass sheet is formed in the partition shape, 건조막을, 기판 및 글래스 시트의 연화점 이하의 온도로 소성함으로써, 기판과 글래스 시트를 소성 건조막인 유전체층으로 고착하는 By baking a dry film at the temperature below the softening point of a board | substrate and a glass sheet, a board | substrate and a glass sheet are adhere | attached on the dielectric layer which is a baking dry film 것으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A partition wall forming method of a plasma display panel. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 건조막이, 기판 상에 페이스트 형상의 유전체 재료를 도포하여 건조시킴으로써 형성되고, 이 페이스트 형상의 유전체 재료가, 건조 후에 글래스 시트와의 점착성과 샌드 블러스트 내성(sandblast resistance)을 갖게 하는 것이 가능한 양의 수지를 함유시킨 재료인 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A dry film is formed by coating and drying a paste-like dielectric material on a substrate, and the paste-like dielectric material is capable of providing adhesiveness and sandblast resistance with the glass sheet after drying. A partition wall formation method of a plasma display panel which is a material containing resin. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 기판 상에 페이스트 형상의 유전체 재료를 도포하는 공정이 스크린 인쇄법에 의해 행해지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A method of forming a partition wall of a plasma display panel, wherein a step of applying a paste-like dielectric material onto a substrate is performed by a screen printing method. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 기판 상에 페이스트 형상의 유전체 재료를 도포하는 공정이 페이스트 코트법에 의해 행해지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A method of forming a partition wall of a plasma display panel in which a step of applying a paste-like dielectric material onto a substrate is performed by a paste coat method. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 건조막이, 기판 상에 점착 시트를 접착함으로써 형성되고, 이 점착 시트가, 글래스 시트와의 점착성과 샌드 블러스트 내성을 갖게 하는 것이 가능한 양의 수지를 함유시킨, 미리 제작된 점착 시트인 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A dry film is formed by adhering an adhesive sheet on a substrate, and the adhesive sheet is a plasma display panel which is a previously produced adhesive sheet containing a resin in an amount capable of providing adhesiveness and sand blast resistance with a glass sheet. Method of forming bulkheads. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 건조막이, 기판 상에 페이스트 형상의 유전체 재료를 도포하여 건조시킨 페이스트 건조막에, 글래스 시트와의 점착성과 샌드 블러스트 내성을 갖게 하는 것이 가능한 양의 수지를 함유시킨 점착제를 스프레이 분사함으로써 형성되어 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.The dry film is formed by spray-spraying a pressure-sensitive adhesive containing a resin capable of giving adhesiveness and sand blast resistance to a glass sheet on a paste dry film obtained by applying a paste-like dielectric material onto a substrate. A partition wall formation method of a plasma display panel. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 글래스 시트가 착색 글래스 시트로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A partition wall forming method for a plasma display panel, in which the glass sheet is formed of a colored glass sheet. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 건조막 상에 글래스 시트를 고정한 후, 글래스 시트 상에 레지스트 패턴을 형성하기 전에, 글래스 시트 상에 흑색 페이스트를 도포하여 건조시키는 공정을 더 구비하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A method of forming a partition wall of a plasma display panel, further comprising: applying a black paste onto the glass sheet and drying the glass sheet after fixing the glass sheet on the glass sheet and before forming a resist pattern on the glass sheet. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 건조막을 소성할 때, 글래스 시트를 기판측에 압박하여, 기판과 글래스 시트의 접착성을 향상시키는 공정을 더 구비하여 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A method of forming a partition wall of a plasma display panel, further comprising the step of pressing the glass sheet against the substrate side when firing the dried film to improve adhesion between the substrate and the glass sheet. 기판 상에, 소성함으로써 유전체층으로 되는 건조막을 형성하고, On the substrate, by baking, a dry film serving as a dielectric layer is formed, 상기 건조막 상에, 형성하고자 하는 격벽의 높이에 상당하는 두께의 글래스 시트를 고정하고, On the dry film, a glass sheet having a thickness corresponding to the height of the partition wall to be formed is fixed, 상기 글래스 시트 상에 격벽 형상에 대응한 레지스트 패턴을 형성하여, 불요 부분의 글래스 시트를 제거함으로써, 글래스 시트를 격벽 형상으로 형성하고, By forming a resist pattern corresponding to the partition wall shape on the glass sheet and removing the glass sheet of the unnecessary portion, the glass sheet is formed in the partition wall shape, 건조막을, 기판 및 글래스 시트의 연화점 이하의 온도로 소성함으로써, 기판과 글래스 시트를 소성 건조막인 유전체층으로 고착하는 By baking a dry film at the temperature below the softening point of a board | substrate and a glass sheet, a board | substrate and a glass sheet are adhere | attached on the dielectric layer which is a baking dry film 것으로 이루어지는 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 형성 방법.A partition wall forming method of a plasma display panel. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항의 격벽 형성 방법으로 격벽을 형성한 플라즈마 디스플레이 패널.A plasma display panel in which a partition is formed by the partition formation method according to any one of claims 1 to 10.
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