KR20080017529A - Electrocardiogram electrode using pdms substrate - Google Patents

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Abstract

An electrocardiogram electrode using a PDMS layer is provided to prevent a skin irritation in case of long time wearing, by using the PDMS(PolyDimethylSiloxane) layer. A PDMS layer(1) is bonded with a thin film electrode(2) contacting with the skin directly. A supporting layer(4) is bonded to the PDMS layer, and comprises a protrusion part(3) for the thin film electrode to be protruded. A joint unit(5) is fixed to both ends of the supporting layer. A line(8) is connected to a thin film electrode connection part(6) using a through-hole formed on the PDMS layer and the supporting layer.

Description

피디엠에스 레이어를 이용한 심전도용 전극 {Electrocardiogram Electrode using PDMS Substrate}Electrocardiogram Electrode Using PDMS Layer {Electrocardiogram Electrode using PDMS Substrate}

도1은 본 발명에 의하여 제조된 심전도용 전극을 보인 사시도.1 is a perspective view showing an electrode for an electrocardiogram manufactured according to the present invention.

도2는 본 발명에 의한 심전도용 전극을 제조하기 위한 공정을 도시한 설명도.2 is an explanatory diagram showing a process for producing an electrode for electrocardiogram according to the present invention.

도3은 본 발명을 착용한 상태를 보이는 설명도.Figure 3 is an explanatory view showing a state wearing the present invention.

도4는 본 발명의 다른 실시 예를 보인 사시도.Figure 4 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

1:PDMS 레이어 2:박막전극1: PDMS layer 2: Thin film electrode

3:융기부 4:지지층3: ridge 4: support layer

5:조임 수단 6:박막전극 연결부5: Tightening means 6: Thin-film electrode connection

7:도전성 접착제 8:도선7: conductive adhesive 8: lead

본 발명은 심전도 작성이나 신체의 상태 측정을 위하여 사용되는 전극에 관한 것으로 특히, 인체에 무자극인 PDMS(polydimethylsiloxane)를 활용한 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to electrodes used for electrocardiogram preparation or to measuring the state of the body. In particular, the present invention relates to an electrocardiogram electrode using a PDMS layer utilizing PDMS (polydimethylsiloxane) that is non-irritating to a human body.

주지하는 바와 같이 심전도(心電圖 Electrocardiogram)는 심근(心筋)의 수축에 의해 생기는 미세한 전기적 변화를 곡선으로 기록한 것이며, 이러한 심근의 흥분은 정맥동(靜脈洞)에서 일어나 심방ㅇ심실 방향으로 나아가므로 이 흥분을 임의의 두 점에서 전류계로 유도하면 심장의 활동전류가 그래프로 묘사되는 것이다.As is well known, the electrocardiogram is a microscopic record of electrical changes caused by the contraction of the myocardium. Guided by an ammeter at any two points, the active current in the heart is graphically depicted.

이러한 심전도는 심장 질환 및 심장 기능 상태를 보는 검사법으로 협심증이나 심근경색 등의 관동맥 질환, 각종 부정맥(不整脈;arrhythmia)ㅇ, 전해질이상(電解質異狀) 등의 진단 또는 수술중의 심장 이상의 유무의 모니터링을 위하여 반드시 필수적으로 사용된다.The electrocardiogram is a test for heart disease and cardiac function. Diagnosis of coronary artery disease such as angina pectoris or myocardial infarction, various arrhythmia, electrolyte abnormalities, or monitoring of heart abnormalities during surgery. It is necessarily used for this purpose.

이러한 심전도의 작성을 위하여 피부에 전류계 모니터링을 위한 조사에 필수적이다. 이를 위하여 흉부와 사지에 6개에서 15개의 전극을 부착하게 되는 바, 이러한 전극은 그 둘레에 접착제가 도포된 점착 층과 전극 판으로 구성되어 있으며, 부착 시에는 전극 판에 도전성을 향상시키기 위한 도전 젤리를 바르고, 점착 층이 피부에 부착되도록 하여 전류 신호를 모니터로 전달함으로써, 모니터에서 심전도를 작성 가능하게 되는 것이다.For the preparation of such an electrocardiogram, it is essential for the investigation of ammeter monitoring on the skin. To this end, six to fifteen electrodes are attached to the chest and the limbs. The electrodes consist of an adhesive layer and an electrode plate coated with an adhesive around the electrode, and when attached, a conductive layer is used to improve the conductivity of the electrode plate. By applying jelly and allowing the adhesive layer to adhere to the skin, it transmits a current signal to the monitor, thereby making it possible to create an electrocardiogram on the monitor.

이러한 종래의 전극은 전술한 바와 같이, 피부에 도전 젤리와 점착 층이 직접 접촉하게 되며, 접촉 시간이 경과함에 따라 피부에 가려움증이나 발적이 발생하고, 심한 경우에는 피부염이 유발되는 등의 문제점이 있는 것이다.As described above, the conventional electrode has a problem such that the conductive jelly and the adhesive layer directly contact the skin, and itching or redness occurs on the skin as the contact time elapses, and in severe cases, dermatitis is caused. will be.

뿐만 아니라, 이러한 종래의 심전도 전극은 반드시 그 도전도를 향상시키기 위하여 도전 젤리를 도포하여야 하므로 취급이 번거롭게 되는 문제점도 있는 것이다.In addition, such a conventional electrocardiogram electrode must be coated with a conductive jelly in order to improve the conductivity, so there is a problem in that handling becomes cumbersome.

본 발명의 제1목적은 이러한 문제점을 해결하기 위하여 장시간 착용하더라도 피부에 부작용을 일으키지 않는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극을 제공함에 있다.The first object of the present invention is to provide an electrocardiogram electrode using a PDMS layer that does not cause adverse effects on the skin even if worn for a long time to solve this problem.

본 발명의 제2목적은 전극을 도전 젤리를 사용하지 않는 건식 방법으로 사용할 수 있는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극을 제공함에 있다.A second object of the present invention is to provide an electrocardiogram electrode using a PDMS layer which can use the electrode in a dry method using no conductive jelly.

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 피부에 접촉 시 피부의 체액 혹은 분비액 등 수분에 의하여 금속원소의 총 유리량이 적은 금속으로 된 전극을 인체에 자극을 주지 않는 PDMS 소재의 레이어 위에 접착하되, 그 높이가 지지층에 의하여 돌출되도록 하고, 지지층의 양측에 통기성 소재의 직물 밴드나 벨트 등의 조임 수단을 부착, 고정하여 줌으로써, 신체의 해당 부위에 형성되는 활동 전류를 측정할 수 있도록 한 PDMS 지지층을 이용한 심전도용 전극을 제안한다.In order to achieve the above object, the present invention adheres a metal electrode having a small amount of total free amount of metal elements by moisture such as skin fluid or secretion on the skin to a layer of PDMS material that does not irritate the human body, but its height is high. Electrocardiogram using PDMS support layer to measure the active current formed in the corresponding part of the body by making the protrusion protrude by the support layer and attaching and fixing fastening means such as fabric band or belt of breathable material on both sides of the support layer We propose an electrode for it.

이에 따라 본 발명은 신체의 해당 부위 피부가 돌출된 전극에 의하여 밀착되어 접촉됨에도 불구하고 피부에 일체의 부작용을 일으키지 않게 되므로, 별도의 도전 젤리를 사용할 필요가 없게 되어 심전도 작업이 간편하게 되고, 전극을 장시간 착용하더라도 피부의 가려움증이나 염증 반응을 유발하지 않으므로 민감성 피부를 가진 환자나 전극을 장시간 착용하여야 하는 중환자를 포함한 각종 환자들에게 안심하고 사용할 수 있으며, 정상적인 활동을 유지하면서 장시간 신체의 상태를 모니터링 하여야 하는 경우에 유용하게 활용될 수 있는 유용한 효과가 있다.Accordingly, the present invention does not cause any side effects on the skin even though the skin of the corresponding part of the body is in close contact with the protruding electrode, so that it is not necessary to use a separate conductive jelly, and thus the ECG operation is simplified. Even if worn for a long time, it does not cause itching or inflammatory reaction of the skin, so it can be used safely for patients with sensitive skin or other patients who need to wear electrodes for a long time, and should monitor the state of the body for a long time while maintaining normal activity. In this case, there is a useful effect that can be usefully utilized.

이러한 본 발명을 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the present invention in more detail with reference to the accompanying drawings as follows.

본 발명에서는 피부와 직접 접촉되는 박막전극(2)이 접착된 PDMS 레이어(1)와, PDMS 레이어(1)가 접착되며, 접착 시 박막전극(2)이 돌출되도록 하기 위한 융기부(3)를 구비하여서 된 지지층(4)과, 지지층(4) 양단부에 밴드나 벨트 등의 조임 수단(5)을 연결, 고정하고, 박막전극 연결부(6)에 인접하여 PDMS 레이어(1)와 지지층(4)에 통공을 형성하고, 이로 도선(8)을 도입하여 박막전극 연결부(6)에 접촉되도록 한 후, 도전성 접착제(7)로 연결하고, 그 위를 PDMS로 덮어 밀봉하여서 된 것이다.In the present invention, the PDMS layer (1) to which the thin film electrode (2) in direct contact with the skin is adhered, and the ridge (3) for adhering the PDMS layer (1) to the thin film electrode (2) is protruded during adhesion. The supporting layer 4 and the fastening means 5, such as a band and a belt, are fixed to the both ends of the supporting layer 4, and the PDMS layer 1 and the supporting layer 4 are adjacent to the thin-film electrode connection part 6, respectively. The through hole was formed in this, and the conducting wire 8 was introduced to come into contact with the thin film electrode connecting portion 6, and then connected with the conductive adhesive 7, and the top was sealed with PDMS.

이와 같이 된 본 발명의 구체적인 제조 방법을 실시 예를 들어 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명에서는 먼저 PDMS 레이어(1)에 박막전극(2)이 형성되도록 하여야 하며, 이러한 박막전극(2)은 금 단독 사용하거나 금- 티타늄 합금, 티타늄 단독사용, 은-팔라듐합금 등으로 된 전극을 사용할 수 있다. 이러한 PDMS 레이어(1)에 박막전극(2)을 형성하기 위하여 액상의 PDMS를 3인치 직경의 실리콘 웨이퍼에 붓고 2800rpm으로 30초간 스핀 코팅하여 80℃에서 2시간동안 가열하여 PDMS 레이어(1)를 얻는다.Hereinafter, the specific manufacturing method of the present invention as described above will be described in more detail. In the present invention, first, the thin film electrode 2 should be formed on the PDMS layer 1, and the thin film electrode 2 may be formed of an electrode made of gold alone, gold-titanium alloy, titanium alone, silver-palladium alloy, or the like. Can be used. In order to form the thin film electrode 2 on the PDMS layer 1, the liquid PDMS is poured into a silicon wafer having a diameter of 3 inches, spin-coated at 2800 rpm for 30 seconds, and heated at 80 ° C. for 2 hours to obtain a PDMS layer 1. .

이에 반응성이온에칭(reactive ion etching)으로 3초간 산소 플라즈마로 처리한 후 전자빔증착법(E-beam evaporation)을 이용하여 Ti(30Å)/Au(3000Å)을 증착한다.After treatment with oxygen plasma for 3 seconds by reactive ion etching, Ti (30 μs) / Au (3000 μs) is deposited using E-beam evaporation.

이때, 필요에 따라, 열증착법(Thermal evaporation), 레이저분자빔증착법(L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), 펄스레이저증착법(PLD, Pulsed Laser Deposition)을 선택적으로 적용할 수 있음은 물론이다.At this time, if necessary, thermal evaporation (Thermal evaporation), laser molecular beam deposition (L-MBE, Laser Molecular Beam Epitaxy), can be selectively applied to the pulsed laser deposition (PLD, Pulsed Laser Deposition) of course.

아울러, 이러한 증착 층을 전극 모양으로 패터닝하기 위하여 증착 완료면 위에 포토레지스트(photo-resist(AZ5214))를 5000rpm으로 스핀 코팅한 후 110℃에서 약 1분간 가열 한다. 이와 같이 하여 포토레지스트가 도포된 PDMS 레이어(1) 위에 전극 모양의 마스크를 올려 자외선 (UV(365nm, 300mW))를 조사한 후, 포토레지스트 제거액( remover(AZ300MIF))를 이용하여 현상한다. 이와 같이 하여 전극 패턴을 남기기 위해 Au와 Ti 부식액을 이용하여 에칭한 후 포토레지스트 잔류물을 초음파, 고압 스프레이 방식의 포토레지스트 스트리퍼를 이용하여 제거하면 전극이 남게 된다.In addition, in order to pattern the deposition layer in the shape of an electrode, a photoresist (photo-resist (AZ5214)) is spin-coated at 5000 rpm on the completed deposition surface and then heated at 110 ° C. for about 1 minute. In this manner, an electrode-shaped mask is placed on the PDMS layer 1 to which the photoresist is applied, irradiated with ultraviolet (UV (365 nm, 300 mW)), and then developed using a photoresist remover (AZ300MIF). In this manner, after etching using Au and Ti corrosion solution to leave the electrode pattern, the photoresist residue is removed using an ultrasonic or high pressure spray photoresist stripper to leave the electrode.

이와 같이 하여 얻은 박막전극(2)이 형성된 PDMS 레이어(1)의 저면에 액상의 PDMS 액을 바르고, PDMS 지지층(4)의 융기부(3)에 얹은 후 융기부(3)의 형상으로 압박하여 융기부(3)의 형상과 밀착되도록 한 상태로 80℃에서 8시간 동안 가열하여 접착시킨다.A liquid PDMS liquid is applied to the bottom of the PDMS layer 1 on which the thin film electrode 2 thus obtained is formed, placed on the ridge 3 of the PDMS support layer 4, and pressed into the shape of the ridge 3. The adhesive is heated and bonded at 80 ° C. for 8 hours while being in close contact with the shape of the ridge 3.

이와 같이 하여 완성된 박막전극 연결부(6)에 인접된 부위의 PDMS 지지층(4)과 PDMS 레이어(1)에 바늘을 이용하여 통공을 낸 후 이 통공으로 전선을 도입하여 박막전극 연결부(6)에 접촉시킨 다음 도전성 접착제(7)를 이용하여 접속시킨다. 이어서 접속부위에 액상 PDMS를 바른 후 80℃에서 2시간동안 가열하여 완성하였다.In this way, a hole is made through the PDMS support layer 4 and the PDMS layer 1 adjacent to the completed thin film electrode connection part 6 by using a needle, and an electric wire is introduced into the through hole to the thin film electrode connection part 6. After making contact, it is connected using the conductive adhesive 7. Subsequently, liquid PDMS was applied to the connection site, followed by heating at 80 ° C. for 2 hours.

아울러, 이와 같이 하여 얻은 PDMS 지지층(4)의 양단에 직물로 된 밴드를 고정하여 연결시키게 되는 바, 연결을 위하여 PDMS 지지층(4)의 중앙을 절개하고, 이에 액상의 PDMS를 넣고 직물로 된 밴드의 일단을 밀어 넣은 후 가열 경화 시키게 되면 PDMS 지지층(4)와 직물 밴드가 견고하게 결속될 수 있는 것이다. 이러한 본 발명에서의 직물 밴드는 팔목에 감기위한 것일 수도 있고, 다리에 감기 위한 것일 수도 있으며, 가슴에 감기 위한 벨트상의 것일 수도 있고, 사용 위치에 따라 직물의 폭과 길이를 다양하게 하여야 함은 물론이다. 또한, 이러한 밴드와 벨트등 조임 수단(5)의 양단 결속을 위하여 금속 체결구를 사용 할 수도 있고, 벨트로 테이프를 부착하여 편리하게 사용할 수도 있으며, 필요에 따라 걸고리 방식도 사용할 수 있다.In addition, the band of the fabric is fixed to both ends of the PDMS support layer (4) obtained in this way to connect the bar, the center of the PDMS support layer (4) is cut for connection, the liquid PDMS is put into the band of the fabric When the one end of the hardened by heat curing after the PDMS support layer (4) and the fabric band can be firmly bound. In the present invention, the fabric band may be wound around the cuff, may be wound around the leg, may be on the belt to wrap around the chest, and the width and length of the fabric should be varied depending on the location of use. to be. In addition, a metal fastener may be used to bind both ends of the fastening means 5 such as a band and a belt, or may be conveniently used by attaching a tape to the belt, and a hook method may be used as necessary.

또한, 필요에 따라서는 탄력성 고무사를 이용하는 스판 조직으로 밴드나 벨트를 직조하여 별도의 결속 수단 없이 사용할 수도 있다.In addition, if necessary, the band or belt may be woven into a span structure using elastic rubber yarn to be used without a separate binding means.

이와 같이 된 본 발명은 심전도를 위하여 박막전극(2)을 피부에 접촉시키고 그 양단의 밴드나 벨트를 신체의 해당 부위에 감아 고정시켜 주면 도3로 보인 바와 같이 PDMS 지지층(4)에 형성된 융기부(3)에 박막전극(2)이 형성되어 있으므로 착용 시 PDMS 지지층(4)과 PDMS 레이어(1)가 휘면서 그 탄력으로 박막전극(2)이 피부를 눌러 안정적으로 접촉가능하게 되는 것이어서 그 접촉 저항이 종래의 도전 젤리를 바르는 일반 전극에 비하여 약 20% 정도 증가하는 정도가 되어 실용화에는 별다른 문제가 없게 된다.According to the present invention, the ridge formed on the PDMS support layer 4 as shown in FIG. 3 is formed by contacting the thin film electrode 2 with the skin for the electrocardiogram, and fixing the band or belt at both ends thereof to the corresponding part of the body. Since the thin film electrode 2 is formed at (3), when the PDMS support layer 4 and the PDMS layer 1 are bent while being worn, the thin film electrode 2 is able to press the skin stably and stably contact the skin due to its elasticity. The resistance is increased by about 20% compared to the conventional electrode coated with conventional conductive jelly, so there is no problem in practical use.

아울러, 이러한 본 발명은 피부에 접촉되는 밴드 또는 벨트는 직물로 되는 것이므로, 인체의 피부에 별다른 자극을 주지 않는 소재이고, 박막전극(2)은 피부에 접촉 시 피부의 체액 혹은 분비액 등 수분에 의하여 금속원소의 총 유리량이 적은 금속으로 된 것이므로, 피부에 거의 자극을 주지 않게 되는 것이다.In addition, the present invention is because the band or belt that is in contact with the skin is made of a fabric, it is a material that does not cause any irritation to the skin of the human body, the thin film electrode (2) is due to moisture, such as body fluids or secretions of the skin when contacting the skin Since the total free amount of metal element is made of metal, it hardly irritates the skin.

아울러, 이러한 본 발명은 도 4로 도시한 바와 같이 PDMS 지지층(4) 내부에 초소형으로 제작된 배터리(10)로 작동되는 무선 송신장치(9)를 내장함으로써, 무선으로 도선(8)에 의하여 감지되는 전기적 신호를 외부의 송신 장치로 송신할 수도 있다.In addition, the present invention, as shown in Figure 4 by inserting a wireless transmitter (9) operated by a battery (10) made of a very small inside the PDMS support layer (4), it is detected by the wire 8 wirelessly The electrical signal may be transmitted to an external transmitter.

이러한 실시 예에 의하면 도선(8)을 고정된 위치의 수신기에 연결하여야 할 필요가 없으므로 전극을 착용하고 있는 기간 동안 완전한 자유 활동이 가능하게 되는 것이어서 장기간 연속적으로 상태 모니터링이 가능하게 되는 것이다.According to this embodiment, it is not necessary to connect the conductor 8 to the receiver in a fixed position, so that the entire free operation is possible during the wearing period of the electrode, thereby enabling continuous long-term condition monitoring.

이와 같이 하여 본 발명은 박막전극(2)이 PDMS 지지층(4)에 의하여 돌출되어 피부에 직접 접촉되는 것이므로, 도전 젤리를 바를 필요가 없게 되어 취급이 매우 간편하게 되는 것이며, PDMS 레이어(1)에 형성된 박막전극(2)은 인체의 피부에 자극을 거의 주지 않는 것이어서 민감성 피부에도 적용할 수 있고, 장시간 착용이 가능하게 되는 효과가 있는 것이다. 특히, 본 발명은 피부에 자극을 거의 주지 않는 것이므로 팔, 다리, 가슴 등 필요한 부위에 착용하고 정상적인 활동을 하면서 장기간 실시하여야 하는 신체 상태 모니터링이 가능하게 되는 것이어서 그 적용 범위를 확장시킬 수 있게 된다.Thus, in the present invention, since the thin film electrode 2 protrudes by the PDMS support layer 4 and is in direct contact with the skin, there is no need to apply conductive jelly, and thus the handling is very simple, and the thin film electrode 2 is formed on the PDMS layer 1. Since the thin film electrode 2 hardly irritates the skin of the human body, it can be applied to sensitive skin, and the long-term wearing can be effected. In particular, since the present invention does not substantially irritate the skin, it is possible to monitor the physical condition that should be carried out for long periods of time while performing normal activities while wearing the necessary parts such as arms, legs, and chests, thereby expanding its application range.

Claims (7)

피부와 직접 접촉되는 박막전극(2)이 접착된 PDMS 레이어(1)와, PDMS 레이어(1)가 접착되며, 접착 시 박막전극(2)이 돌출되도록 하기 위한 융기부(3)를 구비하여서 된 지지층(4)과, 지지층(4) 양단부에 연결, 고정된 밴드나 벨트 등의 조임 수단(5)과, 박막전극 연결부(6)에 인접하여 PDMS 레이어(1)와 지지층(4)에 형성된 통공으로 도입하여 박막전극 연결부(6)에 접속되도록 한 도선(8)으로 구성됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극.PDMS layer (1) to which the thin film electrode (2) in direct contact with the skin is bonded, and the PDMS layer (1) is bonded, and the ridge (3) for protruding the thin film electrode (2) during adhesion. Holes formed in the PDMS layer 1 and the support layer 4 adjacent to the support layer 4, the fastening means 5 such as a band or a belt fixed to and connected to both ends of the support layer 4, and the thin film electrode connection 6 Electrocardiogram electrode using a PDMS layer, characterized in that consisting of a conductive wire (8) introduced to be connected to the thin film electrode connection (6). 제1항에 있어서,The method of claim 1, 전술한 도선(8)은 통공을 통하여 PDMS 레이어(1)의 박막전극(2)과 접촉되도록 한 후, 도전성 접착제(7)로 연결하고, 그 위를 PDMS로 덮어 밀봉하여서 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극.The above-described conductive wire 8 is brought into contact with the thin film electrode 2 of the PDMS layer 1 through the through hole, and then connected with a conductive adhesive 7, and the PDMS layer is sealed by covering it with PDMS thereon. Electrocardiogram electrode using. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 전술한 박막전극(2)은 금과 티타늄 합금인 것을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극.The above-mentioned thin film electrode (2) is an electrocardiogram electrode using a PDMS layer, characterized in that the gold and titanium alloy. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 전술한 지지층(4)은 PDMS로 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극.Electrode for ECG using the PDMS layer, characterized in that the support layer (4) is made of PDMS. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 전술한 박막전극(2)은 PDMS 레이어(1) 위에 반응성이온에칭(reactive ion etching)으로 산소 플라즈마로 처리한 후 전자빔증착법 (E-beam evaporation)을 이용하여 Ti(30Å)/Au(3000Å)을 증착하여서 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극.The thin film electrode 2 is treated with oxygen plasma by reactive ion etching on the PDMS layer 1 and then subjected to Ti (30Å) / Au (3000Å) using E-beam evaporation. Electrocardiogram electrode using PDMS layer, characterized in that the deposition. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 전술한 박막전극(2)을 위하여 증착된 후 전극 모양으로 패터닝하기 위하여 증착 완료면 위에 포토레지스트를 스핀 코팅한 후 가열하고, 그 위에 전극 모양의 마스크를 올려 자외선을 조사한 후, 포토레지스트 제거액으로 현상한 다음 부식액을 이용하여 에칭한 후 포토레지스트 잔류물을 초음파, 고압 스프레이 방식의 포토레지스트 스트리퍼를 이용하여 제거하여서 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극.After depositing for the above-described thin film electrode (2) and spin-coated a photoresist on the deposition-deposited surface in order to pattern into an electrode shape, and heated, and then raised an electrode-shaped mask on it and irradiated with ultraviolet rays, developed with a photoresist removing liquid And then etching using a corrosive solution to remove photoresist residues using a photoresist stripper of an ultrasonic or high pressure spray method. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 전술한 지지층(4)의 내부에 도선(8)과 연결된 배터리(10)로 작동하는 무선 송신장치(9)를 내장하여서 됨을 특징으로 하는 PDMS 레이어를 이용한 심전도용 전극.Electrocardiogram electrode using a PDMS layer, characterized in that the inside of the above-described support layer (4) is built in a wireless transmitter (9) that is operated by a battery (10) connected to the conducting wire (8).
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