KR20080010479A - Soldering paste printing system - Google Patents

Soldering paste printing system Download PDF

Info

Publication number
KR20080010479A
KR20080010479A KR1020080005039A KR20080005039A KR20080010479A KR 20080010479 A KR20080010479 A KR 20080010479A KR 1020080005039 A KR1020080005039 A KR 1020080005039A KR 20080005039 A KR20080005039 A KR 20080005039A KR 20080010479 A KR20080010479 A KR 20080010479A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
printing
unit
solder paste
substrate
inspection
Prior art date
Application number
KR1020080005039A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
히로쿠니 구리하라
마코토 혼마
도모유키 야하기
신이치로 가와베
노리아키 무카이
Original Assignee
가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2005285831A external-priority patent/JP2007090789A/en
Priority claimed from JP2005285832A external-priority patent/JP4618085B2/en
Priority claimed from JP2005285830A external-priority patent/JP4899400B2/en
Application filed by 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지 filed Critical 가부시키가이샤 히타치플랜트테크놀로지
Publication of KR20080010479A publication Critical patent/KR20080010479A/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/08Machines
    • B41F15/0804Machines for printing sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F15/00Screen printers
    • B41F15/14Details
    • B41F15/40Inking units
    • B41F15/42Inking units comprising squeegees or doctors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F33/00Indicating, counting, warning, control or safety devices
    • B41F33/0027Devices for scanning originals, printing formes or the like for determining or presetting the ink supply
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F33/00Indicating, counting, warning, control or safety devices
    • B41F33/0036Devices for scanning or checking the printed matter for quality control
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F33/00Indicating, counting, warning, control or safety devices
    • B41F33/0081Devices for scanning register marks
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F33/00Indicating, counting, warning, control or safety devices
    • B41F33/02Arrangements of indicating devices, e.g. counters
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F33/00Indicating, counting, warning, control or safety devices
    • B41F33/04Tripping devices or stop-motions
    • B41F33/14Automatic control of tripping devices by feelers, photoelectric devices, pneumatic devices, or other detectors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41FPRINTING MACHINES OR PRESSES
    • B41F33/00Indicating, counting, warning, control or safety devices
    • B41F33/16Programming systems for automatic control of sequence of operations

Abstract

A soldering paste printing system is provided to reduce print failure by restoring the failed units with a dispenser unit by inspecting printed boards through an inspection unit when the failures exist in the printed portions. A soldering paste printing system includes an accumulation unit, a detecting unit, an analyzing unit, and a process unit. The accumulation unit memorizes, accumulates, and preserves a factor of failure and a process method about the factor of failure. The detecting unit grasps and tests a state of the factor of failure before performing soldering paste print by a printing unit(200). The analyzing unit discerns and predicts possibility of failure. The process unit removes the factor of failure.

Description

땜납 페이스트 인쇄 시스템{SOLDERING PASTE PRINTING SYSTEM}Solder Paste Printing System {SOLDERING PASTE PRINTING SYSTEM}

본 발명은 스크린 인쇄장치에 관한 것으로, 특히 땜납 페이스트를 인쇄하는 인쇄장치와 그것을 사용한 인쇄 시스템에 관한 것이다. The present invention relates to a screen printing apparatus, and more particularly, to a printing apparatus for printing solder paste and a printing system using the same.

종래의 스크린 인쇄기로서, 일본국 특개평5-200975호 공보에 나타내는 것이 있다. 이 스크린 인쇄기는, 기판 반입 컨베이어, 기판 반출 컨베이어, 승강기구를 구비한 스테이지부, 전사 패턴을 개구부로서 가지는 마스크, 스퀴지, 스퀴지 승강기구 및 수평방향 이동기구를 구비한 스퀴지 헤드, 이들 기구를 제어하는 제어장치를 구비하고, 장치에 반입되어, 스테이지의 탑재대 위에 기판을 탑재한 후, 스테이지를 상승하여 기판을 마스크에 근접시키고, 스퀴지에 의하여 마스크를 기판에 접촉시키면서 마스크의 개구부에 크림땜납 등의 페이스트를 충전하고, 또한 스테이지를 하강하여 기판과 마스크를 분리함으로써 페이스트를 기판 위에 전사하고, 그 후 기판을 장치로부터 반출함으로써 인쇄가 이루어지고 있다. As a conventional screen printing machine, there exist some which are shown by Unexamined-Japanese-Patent No. 5-200975. The screen printing machine includes a substrate loading conveyor, a substrate carrying conveyor, a stage portion having a lifting mechanism, a mask having a transfer pattern as an opening, a squeegee, a squeegee lifting mechanism, and a squeegee head having a horizontal moving mechanism, and a mechanism for controlling these mechanisms. After the control device is carried in the device and the substrate is mounted on the mounting table of the stage, the stage is raised to bring the substrate close to the mask, and the mask is brought into contact with the substrate by a squeegee. Printing is performed by filling a paste, lowering a stage, separating a board | substrate and a mask, and transferring a paste on a board | substrate, and carrying out a board | substrate from an apparatus after that.

또, 일본국 특개2000-62140호 공보에 기재된 바와 같이 탄성을 가지는 스퀴지·고무를 사용하여 땜납 페이스트가 스크린을 거쳐 기판 등에 인쇄되는 것이 있다. Further, as described in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-62140, a solder paste is printed on a substrate or the like through a screen by using elastic squeegee rubber.

또한 일본국 특개평10-086327호 공보에 기재된 바와 같이 스퀴지 본체를 고무에 금속판을 접합하여 고무부분을 마스크에 접촉시키는 구성으로 한 것과, 반대로 금속판부를 마스크에 접촉시키는 구성으로 한 것이 일본국 실개평07-011338호 공보에 개시되어 있다. Further, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-086327, the squeegee body has a structure in which a metal plate is bonded to rubber to contact a rubber part with a mask, and conversely, the metal plate part is in contact with a mask. It is disclosed in 07-011338.

또, 일본국 특개2004-338248호 공보에는 기판의 두께를 측정하기 위하여 인쇄 테이블 위의 인쇄물에 신장부재를 맞대고, 신장부재의 신장량으로부터 두께를 측정하는 방법이 제안되어 있다. In addition, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-338248 proposes a method for abutting an elongate member against a printed matter on a printing table and measuring the thickness from the elongated amount of the elongated member in order to measure the thickness of the substrate.

또한 기판과 마스크의 마크를 카메라로 인식하여 양쪽의 어긋남량을 위치 보정하여 기판을 마스크에 위치 맞춤하기 위해서는 위치 결정을 고속으로 또한 정밀도 좋게 행하는 것이 요구되고, 정규화 상호 상관계수에 의거한 위치 맞춤을 행하는 농담 템플릿 매칭방법이 사용되고 있다. 템플릿 매칭의 일례로서 일본국 특공평02-642호 공보 또는 특개소61-74082호 공보에 개시된 방법이 있다. In addition, in order to recognize the marks of the substrate and the mask with a camera and to positionally correct the amount of misalignment on both sides, and to position the substrate on the mask, positioning is required at a high speed and with high accuracy, and alignment based on a normalized cross correlation coefficient is required. A joke template matching method is performed. As an example of template matching, there is a method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 02-642 or 61-74082.

상기, 일본국 특개평5-200975호 공보나 특개2004-338248호 공보에서는 땜납 페이스트량의 관리로 인쇄결과가 정확하게 인쇄되어 있는 것으로서 처리하고 있다. 그러나 종래의 스크린 인쇄법을 사용한 땜납 도포공정은 사용하는 스퀴지·메탈 마스크의 사용횟수에 의한 소모 정도, 공급하는 땜납 페이스트의 상태·점도·공급량·공급위치의 변화, 메탈 마스크의 청소상황의 변화, 인쇄시의 온도·습도의 변화, 프린트 기판과 메탈 마스크의 제작 정밀도 차에 의한 위치 어긋남, 프린트 기판의 휘어짐·비틀림 등 때문에 인쇄불량이 발생하는 경우가 있었다. In Japanese Patent Laid-Open Nos. 5-200975 and 2004-338248, the printing result is processed correctly by managing the amount of the solder paste. However, in the conventional solder coating process using the screen printing method, the consumption of the squeegee metal mask to be used is reduced, the state, viscosity, supply amount, supply position of the solder paste to be supplied, change of cleaning condition of the metal mask, Print defects may occur due to changes in temperature and humidity during printing, positional shift due to difference in manufacturing accuracy between the printed board and the metal mask, and warpage and twist of the printed board.

그 때문에 땜납 페이스트 인쇄 후에, 땜납 인쇄된 외관을 관찰하여 불량품을 배제할 목적으로, 인쇄된 땜납의 외관을 검사하는 장치를 사용하는 요구가 높아지고 있다. 특히 최근 CSP나 BGA라 불리고 있는 전자부품이 많이 채용되고, 이들 전자부품은 부품 탑재 후는 단자부가 부품의 뒤에 있기 때문에, 납땜 외관 검사장치에서는 검사를 할 수 없기 때문에 땜납 페이스트 인쇄 직후에 땜납 인쇄된 외관을 검사하는 것이 필요하게 된다. For this reason, there is an increasing demand for using an apparatus for inspecting the appearance of printed solder for the purpose of observing the appearance of solder printing after solder paste printing and excluding defective products. In particular, a large number of electronic components, called CSPs and BGAs, have recently been adopted. Since the terminal parts are behind the parts after the parts are mounted, they cannot be inspected by the solder appearance inspection device. It is necessary to inspect the appearance.

또, 땜납 페이스트 인쇄 후에, 땜납 인쇄된 외관을 관찰하여 OK이더라도 전자부품 탑재시에 땜납량과 탑재 압력의 미스매치나, 땜납 인쇄 위치와 탑재 위치의 정밀도 차에 기인한 전자부품의 들뜸 불량·땜납 볼 발생 등이 있기 때문에, 납땜 후에 외관 검사하는 것도 필요하고, 그 결과 전 공정으로 거슬러 가서 인쇄조건의 변경 또는 불량 땜납 페이스트를 제거할 필요가 있고, 그 절차준비에 시간을 요함과 동시에 생산효율이나 수율이 나쁜 상황이 길게 계속되는 문제가 있었다. After solder paste printing, even if the appearance of solder printing is observed, even if OK, the lifting failure and soldering of the electronic parts due to mismatch between the amount of solder and the mounting pressure at the time of mounting the electronic component, or the difference in the accuracy of the solder print position and the mounting position Because of the occurrence of balls, it is necessary to inspect the appearance after soldering. As a result, it is necessary to go back to the whole process and change the printing conditions or to remove the bad solder paste. There was a problem that a long yield situation was bad.

또한 일본국 특개2000-62140호 공보나 특개평10-086327호 공보의 고무제의 스퀴지는 에지부가 마모되기 쉬워 1000회 정도의 인쇄횟수로 스퀴지교환이 필요하였다. 또 비교적으로 대구경의 패턴 개구에 대해서는 선단 에지부의 유연성에 의하여 스퀴지가 마스크 개구부 내로 기어 들어 인쇄 페이스트를 도려내어 긁어내기 때문에 인쇄막 두께가 얇아지고, 붉은 점이라 불리는 인쇄불량의 요인으로 되어 있었다. In addition, the rubber squeegee of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-62140 or Japanese Patent Laid-Open No. 10-086327 tends to wear off the edge portion, and the squeegee replacement was required at about 1000 printing times. On the other hand, in the case of a large-diameter pattern opening, the squeegee crawls into the mask opening due to the flexibility of the leading edge portion to cut out and scrape the printing paste, resulting in a thin printing film and causing printing defects called red dots.

또한 일본국 실개평07-011338호 공보와 같이 금속제의 얇은 평판을 사용한 메탈 스퀴지를 사용함으로써 그 에지부를 국부적으로 변위시키지 않음으로써, 상기한 고무제의 경우에 발생하는 도려냄에 의한 인쇄불량을 줄일 수 있으나, 판두께, 스퀴지 홀더로부터의 언더헤드(首下)의 길이, 허리의 강약 등의 설정이 곤란하였다. In addition, by using a metal squeegee made of a thin metal plate as in Japanese Patent Application Laid-Open No. 07-011338, by not displacing the edge portion locally, it is possible to reduce printing defects due to the cutout caused in the case of the rubber. However, it was difficult to set the plate thickness, the length of the underhead from the squeegee holder, the strength of the waist, and the like.

또한 기판과 마스크의 위치맞춤에 있어서, 일본국 특공평02-642호 공보에 나타낸 방법에서는 어느 부분을 템플릿으로 하면 좋은 것인지, 유저가 판단하지 않으면 안되어 숙련도가 필요함과 동시에, 불편하였다. 한편, 일본국 특개소61-74082호 공보의 방법에 의하면, 최적의 템플릿이 자동적으로 등록 가능하게 되나, 유저는 미리 템플릿의 크기를 결정하여 두지 않으면 안되고, 또한 마크의 참된 크기인지의 여부는 확실하지 않아, 인식 에러나 위치 정밀도 저하의 요인으로 되어 있었다. In the alignment of the substrate and the mask, the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 02-642 required the user to judge which part should be a template, and the user had to be skilled and uncomfortable. On the other hand, according to the method of Japanese Patent Laid-Open No. 61-74082, the optimal template can be automatically registered, but the user must determine the size of the template in advance, and whether or not it is the true size of the mark is certain. It did not, however, cause a recognition error or a decrease in positional accuracy.

종래 템플릿 매칭을 위한 사전으로서, 기판에 사용되고 있는 마크의 형상에 대하여 유저가 미리 원형이나 정방형 등의 형상을 지정하고 있었다. 또 템플릿의 크기를 결정하기 위하여 마크 치수를 입력할 필요가 있어, ± 0.01 mm 이내의 정밀도로 위치연산을 행하는 경우에서는 0.001 mm까지의 치수입력을 요구받고 있으나, 실제로 정확하게 입력하는 것은 곤란하였다. As a dictionary for template matching, a user has previously designated shapes such as a circle and a square with respect to the shape of a mark used for a substrate. In addition, in order to determine the size of the template, it is necessary to input a mark dimension. When performing position calculation with a precision of ± 0.01 mm, a dimension input of up to 0.001 mm is required, but it is difficult to input correctly.

따라서 본 발명은 0.4 mm 피치 CSP, 0603 칩 부품, 0402 칩 부품과 같은 디바이스 사용을 위한 초파인 패턴인쇄에 있어서, 유저가 간단하게 조작이 가능하고 또한 높은 위치맞춤 정밀도를 얻을 수 있는 스크린 인쇄장치 및 화상인식 위치맞춤용 기준 패턴 등록방법 또는 화상인식 위치맞춤 방법을 제공함과 동시에, 기판 요철, 마스크평탄도, 스퀴지 평행도 등의 미소 변위 요인에 대하여 안정된 스퀴지성능을 얻는다. 또한 저인쇄압 인쇄에서의 초파인 피치인쇄에서의 전사량 확보를 위한 땜납 충전력 향상과 마스크에의 부하를 경감함으로써 유저가 간단하게 사용할 수 있고, 안정된 인쇄성을 얻을 수 있는 스크린 인쇄장치용 스퀴지 및 상기 스퀴지를 장비한 스크린 인쇄장치를 실현하는 것에 있다. Accordingly, the present invention provides a screen printing apparatus which enables a user to easily operate and obtain high alignment accuracy in ultrafine pattern printing for use of devices such as 0.4 mm pitch CSP, 0603 chip component, and 0402 chip component. The present invention provides a method of registering a reference pattern for image recognition alignment or a method of image recognition alignment, and at the same time obtains stable squeegee performance against micro displacement factors such as substrate irregularities, mask flatness, and squeegee parallelism. In addition, the squeegee for screen printing apparatus which can be used simply by the user by improving the solder filling power and reducing the load on the mask to secure the transfer amount in the ultra fine pitch printing in the low printing pressure printing can be obtained. And a screen printing apparatus equipped with the squeegee.

또한 땜납 페이스트 인쇄공정에 기인하는 불량에 대하여, 땜납 페이스트를 인쇄하기 전에, 땜납 페이스트 인쇄공정에 기인하는 수율 악화의 요인에 대하여 상태를 감시하여 불량발생 등의 영향에 의한 생산품질을 예측·검출하여 품질예보·경보를 냄과 동시에, 불량발생 요인을 조기에 제거·처리함으로써 생산효율 향상과 수율향상을 도모한, 땜납 페이스트 인쇄 시스템을 제공하는 것에 있다. In addition, the defects caused by the solder paste printing process are monitored for the deterioration of the yield caused by the solder paste printing process before printing the solder paste, and the production quality is predicted and detected due to the defects. The present invention provides a solder paste printing system that improves production efficiency and yields by providing quality forecasts and warnings, and removing and treating defects early.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는 기판면 위에 마스크를 거쳐 땜납 페이스트를 도포하는 인쇄 유닛에, 불량발생에 기인하는 요소와 각 요소에 대한 처리방법을 신규지식으로서 기억·축적·보존하는 축적수단과, 땜납 페이스트 인쇄 를 실시하기 전에, 불량발생에 기인하는 요소의 상태를 파악·검사하는 감시수단과, 각 요소가 불량을 발생시킬 염려가 있는지의 여부를 판단·예측하는 분석수단과, 분석한 결과에 의거하여 오퍼레이터에게 예보·경보를 내어 불량발생 요인을 제거하는 처리수단을 구비한 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the present invention provides a printing unit for applying a solder paste on a substrate surface through a mask, the accumulating means for storing, accumulating, and preserving, as new knowledge, elements resulting from defects and processing methods for each element; , Monitoring means for identifying and inspecting the state of the element caused by the defect, before analyzing the solder paste printing, analytical means for determining and predicting whether each element is likely to cause the defect, and the analysis result It is characterized in that it is provided with a processing means for sending a forecast and alarm to the operator to remove the cause of failure.

또한 땜납 페이스트 인쇄 시스템에 인쇄 땜납의 외관 검사수단이나, 납땜 외관 검사수단을 구비하여 검사한 정보를 인쇄 유닛에 피드백하여 신규 지식으로서 보유·사용함으로써 새로운 제품이나 부품에 대응한 최적의 땜납 페이스트 인쇄를 제공할 수 있도록 검사수단에 의하여 검사한 결과의 정보를 인쇄장치에 통신하는 통신수단과, 검사수단에 의해 검사한 결과의 정보를 분석하여 새로운 불량 사례를 신규 지식으로서 축적수단에 수시로 정리·추가 기억을 담당하는 재분석수단을 구비한 것을 특징으로 한다. 또한 상기 검사결과로부터 불량부위를 자동적으로 수복할 수 있도록 상기 땜납 페이스트 인쇄 시스템에서 상기 인쇄장치의 하류측에 부분적으로 땜납 페이스트를 도포하는 복수의 디스펜서 유닛과, 납땜 불량부를 수정하는 복수의 리워크 유닛을 배치한 구성으로 한 것을 특징으로 한다. In addition, the solder paste printing system is provided with an external device for inspecting the appearance of printed solder or an external device for inspecting the appearance of solder to feed back to the printing unit, and retains and uses the information as a new knowledge for optimum solder paste printing for new products and parts. The communication means for communicating the information of the result of the inspection by the inspection means to the printing apparatus and the information of the result of the inspection by the inspection means are analyzed so that new bad cases are frequently stored and added to the accumulation means as new knowledge. Characterized in that it comprises a re-analysis means in charge of. Also, a plurality of dispenser units for applying solder paste partially downstream of the printing apparatus in the solder paste printing system so as to automatically repair a defective portion from the inspection result, and a plurality of rework units for correcting a solder defect. It characterized in that the configuration is arranged.

또한 상기 인쇄 시스템에 사용하는 스크린 인쇄기에서는 스퀴지의 중간부를 우레탄으로 하고, 스크린에 접촉하는 부위는 메탈로 하여 메탈 선단부에 단부착 형상을 구비시켰다. 그 밖의 방법으로서 스퀴지 중간부에 자바라형상을 가지게 하고, 선단부에는 계단형상 단부착 형상을 가지게 한 금속제의 일체형 스퀴지를 구비시킨 것을 특징으로 한다. Moreover, in the screen printing machine used for the said printing system, the intermediate part of the squeegee was made into urethane, the site | part which contacted the screen was made into the metal, and the metal front-end part was provided with the end attachment shape. As another method, a metal integral squeegee having a bellows shape at the middle of the squeegee and a stepped end fitting shape is provided at the front end.

또, 인쇄시에는 임의 패턴의 주위에 유사 패턴이 존재하고 있어도, 정확한 기준 패턴을 자동적으로 선택하는 수단을 구비하였다. Moreover, at the time of printing, even if a similar pattern exists around arbitrary patterns, the means for automatically selecting the correct reference pattern was provided.

또, 템플릿 매칭을 위한 사전영역은 유저가 마크형상이나 마크치수를 설정하지 않고 자동적으로 기준패턴으로서 등록하는 수단을 구비한 것을 특징으로 한다. The dictionary area for template matching is provided with means for the user to automatically register as a reference pattern without setting a mark shape or mark dimension.

이상의 구성으로 함으로써 기판과 마스크의 위치맞춤에 사용되는 여러가지 패턴에 대하여 숙련도를 필요로 하지 않고, 또한 간단하게 대응할 수 있고, 나아가서는 인쇄위치 맞춤 정밀도의 향상을 도모하여 인쇄 중에 외란 변동이 발생하여도 안정된 스퀴지성능에 의하여 인쇄 수율의 향상이 도모되어, 인쇄품질의 안정화와 불량 저감에 공헌한다. 또한 저인쇄압 인쇄시에도 인쇄막 두께를 안정화시켜, 인쇄두께를 확보한다. 또 마스크의 왜곡변형을 저감시켜 고정밀도 인쇄에 기여한다. 초박형 마스크의 변형방지와 긴 수명화에 기여한다. With the above configuration, various patterns used for alignment of the substrate and the mask can be easily handled without requiring skill, and furthermore, even if disturbance fluctuations occur during printing by improving the printing alignment accuracy. The stable squeegee performance improves print yield, contributing to stabilization of print quality and reduction of defects. In addition, the printing film thickness is stabilized and the printing thickness is secured even at low printing pressure printing. Moreover, distortion distortion of a mask is reduced and it contributes to high precision printing. Contributes to the prevention of deformation and long service life of ultra-thin masks.

또, 인쇄 실시 전에, 인쇄불량이 될 요인을 감시하여 불량예보를 발함과 동시에, 불량요인을 배제함으로써 인쇄수율의 향상을 도모하고 있다. 또 인쇄 후의 검사정보를 축적하고, 분석함으로써 새로운 불량정보 데이터를 축적하여 감으로써 불량예보의 정밀도 향상 및 검출불량 모드의 범위확대가 가능하게 됨과 동시에, 불량이 수정 가능한 경우는, 자동적으로 불량 수정함으로써 인쇄수율의 향상을 도모하고 있다. In addition, the printing yield is improved by monitoring the factors that will result in the printing failure before making printing, giving a bad forecast, and eliminating the defect factor. By accumulating and analyzing the inspection information after printing, it is possible to accumulate new defect information data so that the accuracy of the defect forecast can be improved and the range of the detection failure mode can be improved, and if the defect can be corrected, the defect is automatically corrected. The printing yield is improved.

이상과 같이 본 발명에서는 통상 인쇄 유닛으로 기판 위에 인쇄하기 전에, 인쇄 유닛이 가지는 품질 예보 시스템에 의하여 품질을 예측하여, 문제가 없으면 인쇄를 실시한다. 이에 의하여 고효율로 수율이 높은 인쇄가 가능해진다. 또한 인쇄된 기판을 검사 유닛으로 검사하여 인쇄부분에 불량이 있고, 수복 가능한 불량이면 디스펜서 유닛으로 수복하는 것이 가능해져 인쇄불량을 저감하는 것이 가능해진다. As mentioned above, in this invention, before printing on a board | substrate with a normal printing unit, quality is predicted by the quality prediction system which a printing unit has, and if there is no problem, printing is performed. This enables printing with high yield at high efficiency. In addition, if the printed board is inspected by the inspection unit and there is a defect in the printed portion, and the defect that can be repaired, it is possible to repair the dispenser unit, thereby reducing the printing defect.

또, 각부를 유닛단위로 구성하였기 때문에, 간단하게 레이아웃을 변경 가능하게 된다. In addition, since each unit is configured in units, the layout can be easily changed.

또한 인쇄 유닛과 디스펜서 유닛을 조합시킴으로써 이종의 땜납 페이스트 또는 접착제 등을 사용하여 인쇄하는 것이 필요한 경우에도, 다른 마스크를 복수 매 준비하여 인쇄할 필요가 없어져, 마스크 교환 등의 작업시간을 없애어 인쇄시간의 단축을 도모하는 것이나 설계 자유도 및 프로세스의 자유도를 확대함으로써 고밀도 설치에 공헌하는 것이 가능해진다. In addition, even when it is necessary to print by using different types of solder paste or adhesives by combining the printing unit and the dispenser unit, it is not necessary to prepare and print a plurality of different masks, thereby eliminating the work time such as replacing the mask and printing time. It is possible to contribute to high-density installation by aiming at shortening the time and increasing the degree of freedom of design and process.

또한 종래 인쇄기와 디스펜서장치와 검사장치는 각각 독립되어 있었기 때문에, 각각에 데이터 입력장치나, 표시장치, 데이터 기억장치 등을 실장할 필요가 있었으나, 본 시스템구성으로 함으로써 그것들을 공통으로 할 수 있어, 장치의 소형화를 도모하는 것도 가능하다.In addition, since the conventional printing press, dispenser apparatus, and inspection apparatus were independent of each other, it was necessary to mount a data input apparatus, a display apparatus, a data storage apparatus, and the like on each of them, but the system configuration can make them common. It is also possible to miniaturize the device.

도 1에 본 발명의 땜납 페이스트 인쇄 시스템의 각 장치의 배치를 나타낸다. Fig. 1 shows the arrangement of the devices of the solder paste printing system of the present invention.

본 발명의 인쇄 시스템의 대표예로서는, 스크린 인쇄 유닛(200)에 더하여 스크린 인쇄 유닛(이하, 인쇄 유닛이라 부른다)(200)으로 인쇄한 결과를 검사하는 검사 유닛(300)과, 경우에 따라서는 검사 유닛(300)이 인쇄불량으로 수복 가능한 인쇄상태를 검출한 경우에, 그것을 수복하기 위한 복수의 디스펜서 유닛(400)을 구비 한 구성으로 되어 있다. As a representative example of the printing system of the present invention, in addition to the screen printing unit 200, an inspection unit 300 that inspects the results printed by the screen printing unit (hereinafter referred to as a printing unit) 200, and in some cases, inspection When the unit 300 detects a printable state that can be repaired due to a printing failure, the unit 300 is provided with a plurality of dispenser units 400 for repairing it.

종래, 땜납 페이스트의 도포를 행하는 경우, 인쇄 유닛(200)에서 도포하는 땜납 페이스트를 마스크면 위에 공급하여 준비완료한 다음에 인식 마크위치의 교시 후, 자동운전을 개시하여 땜납 페이스트 인쇄 후, 하류장치에 기판을 반송하고 있었다. 이것에 대하여 본 발명과 같이 불량발생에 기인하는 요소와 각 요소에 대한 처리방법을 신규지식으로서 기억·축적·보존하는 축적수단과, 땜납 페이스트 인쇄를 실시하기 전에, 불량발생에 기인하는 요소의 상태를 파악·검사하는 감시수단과, 각 요소가 불량을 발생시킬 염려가 있는지의 여부를 판단·예측하는 분석수단과, 분석한 결과에 의거하여 오퍼레이터에게 품질예보·경보를 내어 불량발생 요인을 제거하는 처리수단을 구비함으로써 인쇄하기 전에, 생산품질을 자동적으로 예측하여 수복함으로써 생산품질을 유지, 불량을 하류에 흘리지 않도록 도모할 수 있다. 또한 인쇄 유닛(200)과 검사 유닛(300)을 조합시킴으로써 새로운 불량정보 데이터의 축적을 도모할 수 있다. Conventionally, in the case of applying the solder paste, after supplying the solder paste applied by the printing unit 200 onto the mask surface and completing the preparation, after teaching the recognition mark position, the automatic operation is started to print the solder paste, and then the downstream apparatus. The board | substrate was conveyed to. On the other hand, accumulating means for storing, accumulating, and storing the elements resulting from the defect and the processing method for each element as in the present invention, and the state of the element resulting from the defect before printing the solder paste, as in the present invention. Monitoring means for identifying and inspecting the product, analytical means for determining and predicting whether or not each element is likely to cause a defect, and a quality forecast and warning to the operator based on the analysis result to remove the cause of the defect. By providing the processing means, it is possible to automatically predict and repair the production quality before printing, thereby maintaining the production quality and preventing the defect from flowing downstream. In addition, by combining the printing unit 200 and the inspection unit 300, it is possible to accumulate new defect information data.

인쇄불량 발생에 기인하는 요소로서는 다음의 대표적인 항목이 있다. There are the following typical items as a factor resulting from the occurrence of a printing defect.

(1) 스퀴지·마스크의 마모상황, (2) 마스크의 손상·텐션부족·개구부의 눈막힘, (3) 땜납의 상태(공급량·공급 높이·공급 위치·공급 폭·공기혼입 유무), (4) 땜납의 상태(점도·태킹(tacking)성·온도·건조 정도), (5) 인쇄 유닛 내 환경온도·습도, (6) 생산용 기판의 치수 불균일·휘어짐·비틀림. (1) Wear conditions of squeegee and mask, (2) Damage of mask, lack of tension, clogging of opening, (3) Solder condition (supply amount, supply height, supply position, supply width, air mixing), (4 ) Solder condition (viscosity, tacking, temperature, degree of drying), (5) environmental temperature and humidity in the printing unit, and (6) dimensional unevenness, curvature and twisting of the substrate for production.

상기 각 요소에 대한 처리방법으로서는, 각각 다음의 대표적인 방법이 있다.As the processing method for each of the above elements, there are the following representative methods, respectively.

(1) 스퀴지·마스크를 신품으로 교환, (2) 마스크를 신품으로 교환 또는 눈 막힘부분의 청소실시, (3) 및 (4) 구 땜납의 회수 후에 신규 땜납을 공급 또는 롤링 동작실시, (5) 온도·습도제어, (6) 불량 기판의 선별·배출. (1) Replace the squeegee mask with a new one, (2) Replace the mask with a new one, clean the clogged area, (3) and (4) supply or roll a new solder after collecting the old solder, (5 ) Temperature and humidity control, (6) Selection and discharge of defective substrates.

(1)의 스퀴지·마스크의 마모상황에 대해서는 종래에는 숙련자에 의한 현물의 육안 확인에 의존하거나, 또는 인쇄 유닛(200)에서 땜납 페이스트를 공급한 후, 몇번이나 시험 인쇄하여 인쇄결과에 문제가 없는지 육안 확인 또는 다른 검사방법으로 확인한 다음에 생산을 개시하고 있었다. As to the wear condition of the squeegee mask of (1), it is conventionally dependent on visual confirmation of the spot by a skilled person, or test printing several times after supplying the solder paste from the printing unit 200, and is there any problem in the printing result? Production was commenced after visual confirmation or other inspection.

본 발명의 방법은 상기 생산에 사용되는 스퀴지·마스크 및 기판 품종에 대하여, 인쇄 매수 카운터 등에 의한 감시수단에 의하여 사용 실적 회수를 사용 회수를 카운트하여 과거의 불량률 발생 통계정보로서 불량 발생 시점의 사용횟수 정보를 축적수단에 입력·축적하고, 축적된 정보를 기초로 분석수단에 의하여 과거의 불량률 발생 횟수와 현시점의 사용횟수를 비교 분석하여, 추정 발생 불량률 정보를 품질예보로서, 인쇄 유닛의 모니터에 표시함으로써, 문제없이 생산개시 가능한지 오퍼레이터가 용이하게 판단할 수 있게 하였다. According to the method of the present invention, the number of times of use is counted by the monitoring means by a printing number counter for the squeegee masks and substrate varieties used in the production, and the number of times of use at the time of the occurrence of defects as statistical information of past defect rate occurrences. Based on the accumulated information, the information is input and accumulated, and the analysis means compares and analyzes the past occurrence of the defective rate with the present number of times of use, and displays estimated estimated defective rate information on the monitor of the printing unit as a quality forecast. By doing so, the operator can easily determine whether production can be started without any problems.

적용 스퀴지 및 마스크의 재질 등의 품종관리 일례로서, 상기 스퀴지·상기 마스크 및 상기 생산용 기판에 마킹된 식별정보(3차원 바코드 등)를 인쇄 유닛에 구비된 정보 판독기로 자동판독 또는 수입력에 의하여 간단하게 관리 가능하다. As an example of varietal management such as the applied squeegee and the material of the mask, identification information (three-dimensional bar code, etc.) marked on the squeegee, the mask and the production substrate is automatically read or manually inputted by an information reader provided in the printing unit. Simple to manage

스퀴지 및 마스크의 사용 한도에 관해서는 종래에는 생산한 인쇄 쇼트 회수 또는 사용한 기간에 의하여 관리하고 있으나, 일례로서 쇼트 회수나 사용기간 정보에 대하여 상기한 식별정보에 의하여 스퀴지재질·경도, 마스크의 재질·판두께 및 생산적용 기판의 협인접(狹燐接) 실장상황 등의 실장 밀도 정보 등을 관련계수로 하고, 인쇄 유닛 내의 분석수단을 이용하여 불량 발생률 예측선도를 작성하여 현재의 사용 회수 실적과 비교하여, 현시점에서의 품질예보로서 추정 불량률 정보를 표시하는 것이 가능하다. The usage limits of the squeegee and mask are conventionally controlled by the number of print shots produced or the period of use, but, for example, the squeegee material, hardness, material of mask, etc. The density coefficients such as the plate thickness and the adjacent mounting conditions of the boards for production are regarded as relevant coefficients, and the predicted failure rate prediction map is prepared using the analysis means in the printing unit, and compared with the current usage count. Thus, it is possible to display the estimated defective rate information as the quality forecast at this time.

또, 상기 불량 발생률 예측선도에 대하여, 미리 관리자 기능으로 설정·입력된 상기 생산 기판 품종에 대한 목표 불량률과 현시점 상황을 비교하여 사용 회수 한도라고 판단된 경우는, 인쇄 유닛의 모니터에 품질예보로서 스퀴지 교환 권장 마크를 표시함으로써 오퍼레이터는 식별 또는 생산 확인하지 않고 적용스퀴지 또는 마스크를 신규품으로 교환하고 나서 생산개시가 가능해진다. In addition, when it is determined that the usage failure limit is compared with the target failure rate for the production substrate varieties set and input in advance in the manager function with respect to the failure occurrence rate prediction diagram, and is currently used, the squeegee is displayed as a quality forecast on the monitor of the printing unit. By displaying a replacement recommendation mark, the operator can start production after replacing the applied squeegee or mask with a new one without identifying or confirming production.

다음에 (2)의 마스크의 손상·개구부의 눈막힘에 대해서는, 인쇄 유닛에 구비된 인식 카메라를 사용하여 각 인쇄 패턴부의 형상인식을 실시하여 OK/NG 판정이 가능하다. 또 인쇄 헤드에 구비한 텐션 계측용 로드를 소정 추력으로 마스크의 소정개소를 가압하고, 이 때의 발생 반력을 로드셀로 측정함으로써 텐션의 OK/NG 판정이 가능하다. 본서에서 고안하는 방법은 어느 것도 단순한 OK/NG 판정만이 아니라, 상기인식 카메라에 의한 감시수단에 의하여 개구부의 실면적이나 텐션 실반력을 계측하여 축적수단에 의해 정보를 축적하고, 축적된 통계 데이터와, SMT 라인의 생산 실적정보와의 대조에 의하여 불량발생 예측선도를 인쇄 유닛의 분석수단으로 작성하여 품질예보를 표시한다. 모두 생산 개시 전에 측정 실시함으로써 현시점에서의 인쇄불량의 발생을 추정하여, 인쇄 유닛의 모니터에 품질예보를 표시하는 것으로, 불량발생 예방에 공헌 가능하다. 마스크 개구의 눈막힘을 검출한 경우는, 처리수단으로서 판 밑 청소장치에 의하여 마스크 위의 임의의 눈막힘부위에 대하여 자동으로 청소할 수 있다. Next, about the damage of the mask of (2) and clogging of the opening part, OK / NG determination is possible by performing shape recognition of each printing pattern part using the recognition camera with which the printing unit was equipped. In addition, the tension OK / NG determination is possible by pressing the tension measuring rod provided in the print head with a predetermined thrust and pressing a predetermined part of the mask, and measuring the generated reaction force at this time with a load cell. None of the methods devised in this document is not only a simple OK / NG determination, but also an accumulation means by accumulating information by measuring the actual area of the opening and the tension reaction force by the monitoring means by the recognition camera. In accordance with the production performance information of the SMT line, the predicted failure occurrence map is generated by the analysis unit of the printing unit to display the quality forecast. By measuring all before production starts, it is possible to contribute to the prevention of defects by estimating the occurrence of print defects at the present time and displaying the quality forecast on the monitor of the printing unit. When clogging of the mask opening is detected, any clogging portion on the mask can be automatically cleaned by the subplate cleaning apparatus as the processing means.

또, (3)에 있어서, 공급된 땜납 페이스트가 문제없이 도포 가능한 양인지, 공급된 땜납 페이스트의 위치에 문제가 없는지 등은 종래에는 오퍼레이터가 정기적으로 육안으로 감시하고 있었다. 한편, 특허문헌 1에 기재된 방법에 의하면 땜납 페이스트량의 감시작업을 필요로 하지 않고 경보를 내어, 땜납 페이스트의 보충이 가능한 인쇄기가 고안되어 있다. 그러나 공급된 땜납 페이스트에 공기가 혼입되어 있지 않은지 확인하지 않으면 현실적으로는 인쇄불량은 예방 곤란하다. In (3), the operator regularly monitors visually whether the supplied solder paste is an amount that can be applied without a problem, and whether there is no problem in the position of the supplied solder paste. On the other hand, according to the method of patent document 1, the printing machine which alerts and does not require the monitoring work of the solder paste amount and can replenish solder paste is devised. However, it is difficult to prevent print defects in reality unless air is mixed in the solder paste supplied.

따라서 마스크의 인쇄 스트로크 엔드 근방에 큰 개구부를 배치하고, 이 부위로 땜납 페이스트가 낙하하지 않고, 또한 하부에서 땜납 페이스트의 상태를 감시할 수 있도록 투명재료를 부착한 마스크를 사용하여, 인쇄 유닛(200)에 구비된 인식용 카메라로 투명재료를 통하여 하부로부터 땜납 페이스트의 마스크 위에의 공급상태를 감시함으로써 생산 개시 전에 땜납의 상태(공급량·공급위치·공급폭·공기혼입 유무)를 감시·확인하는 것이 가능해진다. 물론 자동운전 중에서도 미리 인쇄조건으로 설정된 인터벌로 마찬가지로 감시·확인을 자동화할 수 있다. Therefore, a large opening is arranged near the printing stroke end of the mask, and the printing unit 200 is used by using a mask with a transparent material so that the solder paste does not fall to this portion and the state of the solder paste can be monitored from the bottom. Monitoring the state of the solder (supply amount, supply position, supply width, presence of air) before starting production by monitoring the supply state of the solder paste on the mask through the transparent material through the transparent material. It becomes possible. Of course, even during automatic operation, monitoring and confirmation can be automated similarly at intervals set in advance as printing conditions.

땜납 페이스트의 상태를 상기 인식용 카메라에 의한 감시수단에 의하여 확인한다. 그 후 분석수단에 의하여 축적수단의 데이터베이스 정보와 확인 데이터에 의거하여 땜납 페이스트의 상태(공급량·공급위치·공급폭)에 의한 불량발생 요인에 대하여 분석한다. 또 분석수단에서는 스퀴지정보·생산기판의 품종정보와 땜납 페이스트의 상태를 대조하여 정합성에 대하여 확인한다. 예를 들면 스퀴지 치수 및 기판 치수에 대하여 땜납 공급폭 치수가 부정합이면, 품질예보를 표시한다. 또 한 인쇄 유닛에 땜납 페이스트 공급용 실린지를 설치함으로써 처리수단이 땜납 페이스트가 부족된 부위에, 적절한 양의 땜납 페이스트를 보충하는 것이 가능해진다. The state of the solder paste is confirmed by the monitoring means by the recognition camera. After that, the analysis means analyzes the cause of failure due to the state of the solder paste (supply amount, supply position, supply width) based on the database information and the confirmation data of the accumulation means. In addition, the analysis means checks the consistency by comparing the squeegee information, varietal information of the production substrate with the state of the solder paste. For example, if the solder supply width dimension is inconsistent with the squeegee dimension and the substrate dimension, the quality forecast is displayed. In addition, by providing a solder paste supplying syringe in the printing unit, it is possible for the processing means to replenish an appropriate amount of solder paste in a portion where the solder paste is insufficient.

또한 상기 감시수단에 의하여 땜납 페이스트 내부에 기포가 있는 것을 검출한 경우는 품질예보를 표시하고, 처리수단으로 하여 더미기판을 사용하여 왕복 스퀴지동작을 자동 실행함으로써 땜납 페이스트의 롤링에 의하여 기포를 소거할 수 있다. When the monitoring means detects bubbles in the solder paste, a quality forecast is displayed, and as a processing means, bubbles are removed by rolling the solder paste by automatically performing a reciprocating squeegee operation using a dummy substrate. Can be.

또한 (4)에서, 공급된 땜납 페이스트의 점도에 문제가 없는지, 공급된 땜납 페이스트의 태킹성이 저하되어 있지 않은 지는, 숙련된 오퍼레이터이더라도 문제발견이 곤란하여, 공급된 땜납 페이스트의 온도에 문제가 없는 지는 냉장고에서 꺼낸 땜납 페이스트의 방치시간으로 관리하는 것이 통상의 방법이었다. 점도 및 태킹성은 비접촉으로 직접 측정할 수는 없으나, 점도·태킹성은 온도·건조 정도와의 상관 관계가 있고, 축적수단에 상관값 정보를 축적하여 땜납 페이스트의 상태에서의 온도·건조정도를 검지·감시하는 감시수단으로서, 적외선 서모그래피를 인쇄 유닛에 배치, 사용함으로써 공급된 땜납 페이스트의 표면상태의 온도불균일을 측정하고, 단편적으로 건조하여 인쇄불량의 요인이 되는 부위가 없는지를 비접촉으로 항시 감시하는 것이 가능하다. Also, in (4), there is no problem in the viscosity of the supplied solder paste or the tagging property of the supplied solder paste is not deteriorated. It was common practice to manage by the leaving time of the solder paste removed from the refrigerator. Viscosity and tagging cannot be measured directly by non-contact, but viscosity and tagging correlate with temperature and degree of drying, and the correlation value information is accumulated in the accumulating means to detect the temperature and dryness of the solder paste. As a monitoring means for monitoring, by arranging and using infrared thermography in a printing unit, the temperature nonuniformity of the surface state of the solder paste supplied is measured, and it is always non-contacted to monitor whether there is any part which causes a printing defect by drying in pieces. It is possible.

상기 적외선 서모 그래피에 의한 감시수단에 의하여 땜납 페이스트의 열화 상태를 검지하였으면, 분석수단에 의하여 품질예보를 표시하여 인쇄불량을 발생시키기 전에 열화한 땜납 페이스트를 교환함으로써 수율개선을 도모할 수 있다.When the deterioration state of the solder paste is detected by the monitoring means by the infrared thermography, the yield improvement can be achieved by replacing the deteriorated solder paste before displaying the quality prediction by the analyzing means and causing the printing failure.

또한, (5) 인쇄 유닛 내 환경온도·습도변화에 의한 불량요인에 대해서는 인쇄 유닛 내부에 배치한 1개 이상의 온도·습도센서에 의한 감시수단에 의하여 급격한 온도·습도변화가 없는지, 인쇄 유닛 내부 온도분포에 불균일이 없는지 항시 감시하여 축적수단에 의한 정보를 기초로 분석수단에 의하여 이상이라고 판단한 경우는 품질예보를 표시한다. 또 처리수단으로서 온도·습도 제어를 자동적으로 실시하도록 인쇄 유닛에 온도·습도제어장치를 구비시킴으로써 온도·습도의 자동조정이 가능하다. 감시수단의 다른 일례로서 메탈 마스크 표면 전역을 적외선 서모 그래피에 의하여 표면 전역을 일괄하여 온도 분포 계측하고, 축적수단에 실적 데이터를 보존·이용함으로써도 좋다. (5) In case of defects caused by environmental temperature and humidity change in the printing unit, there is no sudden change in temperature and humidity by monitoring means by one or more temperature and humidity sensors arranged inside the printing unit. If there is any unevenness in the distribution at all times, and if it is determined by the analyzing means based on the information by the accumulating means, a quality forecast is displayed. In addition, by providing a temperature and humidity control device in the printing unit to automatically perform temperature and humidity control as processing means, automatic adjustment of temperature and humidity is possible. As another example of the monitoring means, the entire surface of the metal mask may be subjected to temperature distribution measurement by means of infrared thermography, and the performance data may be stored and used in the storage means.

또한 (6) 생산용 기판의 치수 불균일·휘어짐·비틀림에 의한 불량 요인에 대해서는 인식 마크를 인식하였을 때에 기준치수에 대하여 마크 간 거리가 소정값 이상 불균일해져 있는 경우는 NG이라고 판정함으로써 기판 불량품을 판정 가능하다. 또 휘어짐·비틀림에 대해서는 일본국 공개2004-338248호 공보에서 제안하고 있는 방법을 응용하여 기판 에지부 등 2개소 이상을 측정 비교함으로써 검출이 가능하다. (6) Defective factors due to dimensional unevenness, warpage and twist of the production substrate are judged as NG when the distance between the marks is non-uniform with respect to the reference dimension when the recognition mark is recognized. It is possible. In addition, the bending and torsion can be detected by measuring and comparing two or more places such as a substrate edge part by applying the method proposed in JP-A-2004-338248.

상기 감시수단에 의하여 이상을 검지한 경우, 분석수단에 의해 품질예보를 표시함과 동시에, 처리수단으로서 불량기판 스토커를 설치하여 인쇄 유닛으로부터 불량기판을 배출하여 선별 관리함으로써 불량품을 생산라인에 흘리지 않는 것이 가능해진다. When the abnormality is detected by the monitoring means, the quality prediction is displayed by the analyzing means, and a defective substrate stocker is installed as a processing means, and the defective substrate is discharged from the printing unit to be selectively managed to prevent the defective product from flowing into the production line. It becomes possible.

이와 같이 (1)∼(6)의 대표적인 인쇄불량에 대한 요소를 검출 가능한 센서에 의한 감시수단에 의하여 상시 감시·검출하고, 분석수단에 의하여 (1)∼ (6)의 대표적인 불량요인과 대책에 관한 데이터베이스의 축적수단과 정보를 대조하여 ·분석한 다음에 품질예보·경보를 발하여 불량이 된다고 판단한 경우는, 처리수단에 의하여 처리대응함으로써 인쇄부족 등의 불량을 미연에 방지하여 수율을 향상하는 것이 가능해진다. Thus, the monitoring means by the sensor which can detect the element about the typical printing defect of (1)-(6) is always monitored and detected, and the analysis means responds to the representative defect factors and measures of (1)-(6). In the case where it is determined that the quality is predicted to be a defect by analyzing and accumulating the information and accumulating the information in the database, it is recommended to improve the yield by preventing processing defects such as print shortages. It becomes possible.

또한 인쇄 유닛(200)으로 인쇄 후, 검사 유닛(300)으로 인쇄상태를 검사하여 불량 개소의 유무를 검사하여, 불량 개소가 있으면 도시 생략한 통신수단에 의하여 불량정보를 인쇄 유닛에 송신함과 동시에, 수복용 디스펜서 유닛(400)에도 송신하여 불량 개소를 수복함으로써 인쇄의 시스템의 수율 향상을 도모할 수 있다. 즉, 수복용 디스펜서의 하나로서 인쇄 유닛에 있어서 여분으로 땜납 페이스트를 도포한 부분의 땜납 페이스트를, 복수대 설치되어 있는 디스펜서 유닛의 중의 적어도 하나의 유닛에 흡인용 디스펜서를 설치하고, 그곳에서 여분의 땜납 페이스트를 흡수함으로써 수복하는 구성으로 한 것이 있다. 또 인쇄 유닛에서 충분히 땜납 페이스트가 공급되지 않고 인쇄 빠짐 등이 발생한 부분만, 적어도 하나의 디스펜서 유닛이 인쇄에 사용한 땜납 페이스트와 동종의 땜납 페이스트를 공급하는 디스펜서를 구비한 것으로 하여 그곳에서 빠짐 부분에 땜납 페이스트를 추가 도포하도록 구성한 것이 있다. In addition, after printing to the printing unit 200, the printing unit is inspected by the inspection unit 300 to check the presence or absence of a defective location, and if there is a defective location, the defective information is transmitted to the printing unit by a communication means (not shown). In addition, it is also possible to improve the yield of the printing system by transmitting to the repair dispenser unit 400 and repairing a defective point. That is, a suction dispenser is installed in at least one unit of the dispenser unit in which a plurality of solder pastes are applied with extra solder paste in the printing unit as one of the repair dispensers, and there is a spare There exists a structure which repairs by absorbing a solder paste. In addition, at least one dispenser unit is provided with a dispenser for supplying a solder paste of the same type as the solder paste used for printing, in which the soldering unit is not sufficiently supplied with the solder paste and the solder paste is provided therein. There is one configured to further apply the paste.

상기 각 유닛의 조합으로서는, 도 1(a)에 나타내는 바와 같이 인쇄 유닛(200)과 검사 유닛(300)을 일체화함으로써 인쇄 개시 전에, 기판제작 치수 정밀도를 측정한 후, 문제가 없으면 인쇄를 개시하고, 불량을 예측한 경우, 즉시 경보 를 발하여 불량품을 배제하고, 도시 생략한 불량품 검사 스토커에 배출할 수 있다. 또한 인쇄한 직후의 상태를 검사 유닛으로 즉시 관측·검사할 수 있기 때문에, 온도·바람 등에 의하여 땜납 페이스트의 표면상태가 변화하지 않는 단계에서 더욱 정밀도가 높은 검사가 가능해진다. As the combination of the above-mentioned units, as shown in Fig. 1A, the printing unit 200 and the inspection unit 300 are integrated to measure the substrate manufacturing dimensional accuracy before printing starts, and then, if there is no problem, printing starts. In the event that a failure is foreseen, an alarm may be immediately issued to exclude the defective product and to be discharged to the inspection stocker not shown. In addition, since the state immediately after printing can be immediately observed and inspected by the inspection unit, a more accurate inspection can be performed at a stage where the surface state of the solder paste does not change due to temperature or wind.

도 1(b)에 나타내는 바와 같이 인쇄 유닛(200)과 검사 유닛(300)을 일체화하여 검사 유닛(300)의 하류측에 1대 또는 복수대의 디스펜서 유닛(400)을 접속하는 구성으로 함으로써 인쇄 빠짐 등에도 대응할 수 있음과 동시에, 다른 종류의 땜납 페이스트에 의한 도포도 가능하게 되어, 인쇄비용을 저감할 수 있다. 또 디스펜서 유닛을 복수대 설치함으로써, 동시간에 다른 디스펜서 유닛으로 그 디스펜서 유닛이 담당하는 도포범위의 도포만을 행하도록 함으로써, 택트타임을 짧게 하는 것이 가능해진다. 또한 종래 기판면 위에만 가능하였던 인쇄가, 기판 오목부의 안쪽면·바닥면에의 도포도 가능해진다. 또 본 구성으로 함으로써 복수대 설치한 디스펜서 유닛(400) 중의 적어도 1대를, 접착제를 도포하는 디스펜서를 설치한 구성으로 함으로써 대형부품과 칩부품이 혼재하는 프린트기판의 제조에 있어서 설계의 자유도를 향상시키는 것이 가능해진다. 즉, 종래는 부품 탑재면을 한쪽 면에 집약 설계하는 등으로 하여 대응하고 있는 것을 인쇄 유닛(200)으로 땜납 페이스트를 인쇄한 후, 디스펜서 유닛(400)부에서 접착제를 도포하여 칩 부품을 뒤에 부착하는 것이 가능하게 된다. 즉, 디스펜서를 사용하여 협소영역에서도 도전성 접착제 등의 이종(異種)재료를 도포할 수 있다. 이 때문에 종래 칩 부품면과 대형 부품면과 생산 공정에 따라 실장영역을 나누지 않을 수 없었던 경우도 있어 회로설계에 대하여 제약이 있었다. 그러나 본 시스템과 같이 인쇄 유닛(200)과 디스펜서 유닛(400)을 조합하여 디스펜서 유닛의 하나로 접착제를 도포하는 구성으로 함으로써 설계의 자유도가 향상하여 더욱 고밀도 설치가 가능하게 되었다. 또 도시는 생략하였으나, 인쇄 유닛(200)을 설치하지 않고서 디스펜서 유닛(400)을 복수대 나열하여 그 하류측에 검사 유닛(300)을 배치하는 것도 가능하다. 단, 이 구성에서는 인쇄 유닛(200)을 사용하는 구성에 비하여 인쇄시간이 많이 필요하게 되나, 복수대 설치하여 공정 분할함으로써 문제해결이 가능하다. 또한 상기 각 구성에 있어서 복수대 설치된 디스펜서 유닛(400) 내의 적어도 1대를 도포용 디스펜서 대신에 기판 위에 도포된 여분의 땜납 페이스트를 흡인 제거하는 흡인용 디스펜서를 설치함으로써 인쇄불량의 기판을 그곳에서 수복함으로써 인쇄수율을 대폭으로 향상할 수 있다. As shown in FIG. 1 (b), printing is omitted by integrating the printing unit 200 and the inspection unit 300 so as to connect one or a plurality of dispenser units 400 to the downstream side of the inspection unit 300. In addition to this, it is also possible to apply coatings with other types of solder pastes, and to reduce printing costs. In addition, by providing a plurality of dispenser units, it is possible to shorten the tact time by allowing the other dispenser units to apply only the coating range in charge of the dispenser unit at the same time. In addition, the printing which was conventionally possible only on the substrate surface can be applied to the inner surface and the bottom surface of the substrate recess. In this configuration, at least one of the plurality of dispenser units 400 installed in this configuration is provided with a dispenser for applying an adhesive to improve the degree of freedom in design in the manufacture of a printed board in which a large part and a chip part are mixed. It becomes possible. That is, conventionally, the solder paste is printed by the printing unit 200 after the component mounting surface is intensively designed on one surface, and then the adhesive is applied on the dispenser unit 400 to attach the chip component to the back. It becomes possible. That is, a dispensing machine can be used to apply dissimilar materials such as a conductive adhesive even in a narrow region. For this reason, the mounting area may have to be divided according to the conventional chip component surface, the large component surface, and the production process. Therefore, the circuit design has been limited. However, by combining the printing unit 200 and the dispenser unit 400 as in the present system and applying the adhesive to one of the dispenser units, the degree of freedom in design can be improved and more dense installation is possible. Although not shown, it is also possible to arrange a plurality of dispenser units 400 without arranging the printing unit 200 and to arrange the inspection unit 300 on the downstream side thereof. In this configuration, however, the printing time is much larger than that of the configuration using the printing unit 200. However, the problem can be solved by providing a plurality of process divisions. Further, in each of the above configurations, at least one of the plurality of dispenser units 400 provided in the above structure is provided with a suction dispenser for suctioning and removing excess solder paste applied on the substrate instead of the dispenser for repairing the defective printing substrate there. As a result, the printing yield can be significantly improved.

또한 도 1(c)에 나타내는 바와 같이 인쇄 유닛(200)과, 그 하류측에 검사 유닛(300)과 1대 또는 복수대의 디스펜서 유닛(400), 또한 하류측의 탑재기(500) 및 리플로우 납땜장치(600)의 하류측에 납땜한 후의 검사 유닛(300)과 리워크 유닛(700)을 구성함으로써 표면 실장공정의 전 공정이 완료된 제품에 대한 인쇄에 기인한 불량요인정보의 수집이 가능해진다. 또 납땜 외관을 검사하는 검사 유닛(300)의 정보를 기초로 리워크 가능한 경우는 리워크 유닛(700)에 의하여 납땜 불량 부위에 대하여 스폿 납땜 등을 실시 가능하게 된다. As shown in Fig. 1C, the printing unit 200, the inspection unit 300 and one or more dispenser units 400, and the downstream mounting unit 500 and reflow soldering on the downstream side thereof. By configuring the inspection unit 300 and the rework unit 700 after soldering on the downstream side of the apparatus 600, it is possible to collect the defect factor information due to the printing on the product for which the entire process of the surface mounting process is completed. In addition, when rework is possible based on the information of the inspection unit 300 for inspecting the appearance of soldering, spot soldering or the like can be performed on the solder failure site by the rework unit 700.

다음에 각각의 유닛의 구성과 동작을 설명한다. Next, the configuration and operation of each unit will be described.

도 2, 도 3에서 본 발명에 있어서의 스크린 인쇄장치로 이루어지는 인쇄 유닛의 구성을 설명한다. 도 2(a)에 스크린 인쇄장치의 정면에서 본 구성과 시스템 구성도를 나타낸다. 또한 도 2(b)에 스크린 인쇄장치를 측면에서 본 구성과 인쇄기 제어부의 블록선도를 나타낸다. 또 도 3(a)에 스크린 인쇄장치를 측면에서 본 구성으로 기판을 반입하여 위치맞춤을 행하고 있는 상태를, 도 3(b)에 인쇄 중의 상태를 나타낸다. The structure of the printing unit which consists of the screen printing apparatus in this invention in FIG. 2, FIG. 3 is demonstrated. Fig. 2 (a) shows a configuration and a system configuration diagram seen from the front of the screen printing apparatus. In addition, the block diagram of the structure which looked at the screen printing apparatus from the side, and a printer control part is shown in FIG.2 (b). 3A shows a state in which the substrate is loaded and aligned with the screen printing apparatus viewed from the side, and FIG. 3B shows the state during printing.

본체 프레임에는 판틀받이가 설치되어 있고, 판틀받이에는 인쇄 패턴을 개구부로서 가지는 스크린(21)을 부착한 마스크(20)가 세트되도록 구성되어 있다. 마스크(20)의 위쪽에는 스퀴지 헤드(2)가 배치되고, 스퀴지 헤드(2)에는 스퀴지(3)가 장착되어 있다. 스퀴지 헤드(2)는 스퀴지 이동기구(6)에 의하여 수평방향으로 이동이 가능하고, 스퀴지(3)는 스퀴지 승강기구(4)에 의하여 상하방향으로 이동할 수 있다. 마스크(20)의 아래쪽에는 마스크(20)에 대향하도록 인쇄 대상물인 기판(5)을 탑재하여 유지하는 인쇄 테이블(10)이 설치되어 있다. 이 인쇄 테이블(10)은 기판(5)을 수평방향으로 이동하여 마스크(20)와의 위치맞춤을 행하는 XYθ 테이블(11)과, 기판(5)을 수취하여 컨베이어(26)로부터 수취하고, 또한 기판(5)을 스크린(21)면에 근접하거나, 또는 접촉시키기 위한 테이블 승강기구(12)를 구비하고 있다. 인쇄 테이블(10)의 상면에는 기판 수취 컨베이어(26)가 설치되어 있고, 기판 반입 컨베이어(25)에 의하여 반입된 기판(5)을 인쇄 테이블(10) 위에 수취하여 인쇄가 종료하면 기판 반출 컨베이어(27)에 기판(5)을 배출한다. The plate frame is provided in the main body frame, and the plate frame is configured such that a mask 20 having a screen 21 having a printing pattern as an opening portion is set. A squeegee head 2 is disposed above the mask 20, and a squeegee 3 is attached to the squeegee head 2. The squeegee head 2 is movable in the horizontal direction by the squeegee moving mechanism 6, and the squeegee 3 can be moved in the vertical direction by the squeegee lifting mechanism 4. Below the mask 20, a printing table 10 for mounting and holding the substrate 5, which is a printing object, is provided so as to face the mask 20. The printing table 10 receives an XYθ table 11 for moving the substrate 5 in the horizontal direction to align the mask 20 with the mask 20, a substrate 5, and a substrate 5 from the conveyor 26. A table elevating mechanism 12 is provided for bringing 5 close to or in contact with the surface of the screen 21. The substrate receiving conveyor 26 is provided on the upper surface of the printing table 10. When the substrate 5 carried by the substrate loading conveyor 25 is received on the printing table 10 and printing is completed, the substrate carrying conveyor ( 27, the substrate 5 is discharged.

전자동 스크린 인쇄장치에서는 마스크(20)와 기판(5)의 위치맞춤을 자동적으로 행하는 기능을 구비하고 있다. 즉, CCD 카메라(15)에 의하여 마스크(20)와 기판(5)의 각각에 설치되어 있는 위치 맞춤용 마크를 촬상하여 화상처리하고, 위치 어긋남량을 구하여 그 어긋남량을 보정하도록 XYθ 테이블(11)을 구동하여 위치맞춤을 행하는 것이다. The fully automatic screen printing apparatus has a function of automatically aligning the mask 20 with the substrate 5. That is, the CCD camera 15 picks up the image alignment mark provided on each of the mask 20 and the board | substrate 5, and image-processes, calculates the position shift amount, and corrects the shift amount. ) To perform alignment.

또한 각부 구동용 인쇄 제어부(36)나 CCD 카메라(15)로부터의 화상신호를 처리하는 화상 입력부(37) 등을 구비한 인쇄기 제어부(30)는, 인쇄기 본체 프레임의 내부에 설치하여 두고 제어용 데이터의 개서나 인쇄조건의 변경 등을 행하기 위한 데이터 입력부(45)나, 인쇄상황 등이나 도입한 인식 마크를 모니터하기 위한 표시부(40)가 인쇄기의 바깥쪽에 배치하고 있다. In addition, the printer control unit 30 including the printing control unit 36 for driving each unit, the image input unit 37 for processing the image signal from the CCD camera 15, or the like is provided inside the main body frame of the printing machine to control the data. The data input unit 45 for rewriting, changing the printing conditions, and the like, and the display unit 40 for monitoring the printing status or the like and the introduced recognition mark are disposed outside the printing press.

다음에 본 발명의 인쇄장치의 동작을 설명한다. Next, the operation of the printing apparatus of the present invention will be described.

크림땜납을 인쇄받는 기판(5)은, 기판 반입 컨베이어(25)에 의하여 기판 수취 컨베이어(26)에 공급되어 인쇄 테이블(10) 위의 소정의 위치에 고정된다. 기판 고정 후 미리 등록 설정된 기판 마크위치로 CCD 카메라(15)를 이동한다. 계속해서 CCD 카메라(15)가 기판(5) 및 마스크(20)에 설치된 위치 인식용 마크(도시 생략)를 촬상하여 인쇄기 제어부(30)에 전송한다. 제어부 내의 화상 입력부(37)에 입력된 화상신호는 상관값 연산부(31), 형상 추정부(32)에서 미리 등록되어 있는 사전부(38)의 데이터 등을 사용하여 마크를 인식하여 위치좌표 연산부(33), 치수 계산부(34)에서 마스크(20)와 기판(5)의 위치 어긋남량을 구하고, 그 결과에 의거하여 XYθ 테이블 제어부(35)가 XYθ 테이블(11)을 동작시켜 마스크(20)에 대한 기판(5)의 위치를 수정·위치 맞춤한다. 위치 맞춤 동작 완료 후, CCD 카메라(15)가 인쇄 테이블(10)과 간섭하지 않는 위치까지 소정량 퇴피 동작한다. CCD 카메라(15)가 퇴피 완료 후, 인쇄 테이블(10)이 상승하여 기판(5)과 마스크(20)에 부착되어 있는 스크린(21)을 접촉시킨다. 그 후 스퀴지 승강 실린더(4)에 의하여 스퀴지(3)가 스크린면 위로 하강하고 스퀴지 헤드(2)의 이동에 의하여 스크린(21) 위에 공급되어 있던 땜납 페이스트(50)가 스크린(21)의 개구부에 충전되어 기판(5)에 전사된다. 스퀴지(3)는 수평방향으로 일정거리 스트로크한 후에 상승한다. 그리고 인쇄 테이블(10)이 하강하고 스크린(21)과 기판(5)이 분리되어 스크린(21)의 개구부에 충전된 땜납 페이스트(50)가 기판(5)에 전사된다. 그리고 땜납 페이스트가 인쇄된 기판(5)은 기판 반출 컨베이어(27)를 지나 다음 공정으로 보내진다. The board | substrate 5 which receives the cream solder is supplied to the board | substrate receiving conveyor 26 by the board | substrate loading conveyor 25, and is fixed to the predetermined position on the printing table 10. FIG. After fixing the substrate, the CCD camera 15 is moved to a substrate mark position which is registered in advance. Subsequently, the CCD camera 15 picks up the position recognition mark (not shown) provided in the board | substrate 5 and the mask 20, and transmits it to the printer control part 30. FIG. The image signal input to the image input unit 37 in the control unit recognizes a mark using data of the dictionary unit 38 registered in advance in the correlation value calculating unit 31 and the shape estimating unit 32, and the position coordinate calculating unit ( 33) The position calculation amount of the mask 20 and the board | substrate 5 is calculated | required by the dimension calculation part 34, and based on the result, the XY (theta) table control part 35 operates the XY (theta) table 11, and the mask 20 is carried out. The position of the substrate 5 with respect to is corrected and aligned. After completion of the alignment operation, the CCD camera 15 is evacuated by a predetermined amount to a position where it does not interfere with the print table 10. After completion of evacuation of the CCD camera 15, the print table 10 is raised to bring the substrate 5 and the screen 21 attached to the mask 20 into contact with each other. Thereafter, the squeegee 3 is lowered onto the screen surface by the squeegee lifting cylinder 4, and the solder paste 50 supplied on the screen 21 is moved to the opening of the screen 21 by the movement of the squeegee head 2. It is charged and transferred to the substrate 5. The squeegee 3 ascends after a predetermined distance stroke in the horizontal direction. Then, the printing table 10 is lowered, the screen 21 and the substrate 5 are separated, and the solder paste 50 filled in the opening of the screen 21 is transferred to the substrate 5. Subsequently, the substrate 5 on which the solder paste is printed is passed through the substrate transport conveyor 27 to the next process.

또한 기판(5)과 마스크(20)에는 상대적으로 동일한 부분에 인식위치 맞춤용 마크가 2개 이상 설치되어 있고, 이 양쪽의 마크 각각을, 상하방향 2시야를 가지는 특수한 CCD 카메라(15)에 의하여 마스크(20)의 마크는 밑으로부터 인식하고, 기판(5)의 마크는 위로부터 인식하여 소정 부분의 마크 모든 위치좌표를 판독하여 마스크(20)에 대한 기판(5)의 어긋남량을 위치 연산·보정하여 기판(5)을 마스크(20)에 대하여 위치맞춤한다. In addition, the substrate 5 and the mask 20 are provided with two or more recognition position alignment marks at relatively same portions, and each of these marks is provided by a special CCD camera 15 having two views in the vertical direction. The mark of the mask 20 is recognized from the bottom, the mark of the substrate 5 is recognized from the top, and all position coordinates of the mark of the predetermined portion are read out to calculate the amount of displacement of the substrate 5 with respect to the mask 20. By correcting, the substrate 5 is positioned with respect to the mask 20.

도 2(b)에 나타내는 인쇄기 제어부(30)에 있어서, CCD 카메라(15)에 의하여 촬상한 임의 패턴을 화상 입력부(37)로부터 도입하여 임의 패턴의 주위에 유사 패턴이 존재하고 있어도 사전(38)에 미리 준비된 모델과, CCD 카메라(15)에 의하여 촬상한 임의 패턴과의 상관값을 상관값 계산부(31)에서 연산한다. 상관값 계산부(31)에 의하여 구해진 상관값에 의거하여 형상 추정부(32)에서 모델의 형상 추정을 행한다. 추정된 형상을 복수개의 임시 기준 패턴으로서 기억 설정한다. 그리고 패턴 위치 좌표 연산부(33)에서 목표 기준 패턴 간 거리와 비교하고, 또한 치수 계 산부(34)에서 형상 치수를 구하여, 차이가 가장 적은 조합의 마크를 기준 패턴으로 하여 사전(38)에 등록하는 수단을 구비하고 있다. In the printer control unit 30 shown in FIG. 2B, the dictionary 38 is introduced even when a similar pattern exists around the arbitrary pattern by introducing an arbitrary pattern captured by the CCD camera 15 from the image input unit 37. The correlation value between the model prepared in advance and the arbitrary pattern picked up by the CCD camera 15 is calculated by the correlation value calculator 31. The shape estimation unit 32 estimates the shape of the model based on the correlation value obtained by the correlation value calculation unit 31. The estimated shape is stored and set as a plurality of temporary reference patterns. The pattern position coordinate calculating section 33 compares the distance between the target reference patterns and obtains the shape dimension in the dimension calculating section 34, and registers the mark of the combination with the smallest difference as the reference pattern in the dictionary 38. Means are provided.

도 4에 미리 준비된 사전 모델의 일례를 나타낸다. 여기서는 원형, 정방형, 정삼각형의 사전 모델로 하고 있으나, 능형, 장방형, 찬합모양 등, 다양한 형상이 채용 가능하다. An example of the prior model prepared previously in FIG. 4 is shown. Here, pre-models of round, square, and equilateral triangles are used, but various shapes such as ridges, rectangles, and concave shapes can be employed.

종래, 실제로 유저가 생산 기판에 적합한 패턴형상을 인공 모델이라 불리고 있는 사전 모델 중에서 선택 사용함으로써, 모델등록을 실시하고 있었다. 또 패턴 외형 치수를 맞추어서 입력함으로써 템플릿 매칭의 정밀도를 확보하도록 하고 있다. In the past, model registration was carried out by actually selecting and using a pattern shape suitable for a production substrate from a pre-model called an artificial model. In addition, the accuracy of template matching is ensured by inputting the pattern outline dimensions.

도 5에 임의 패턴의 주위에 유사 패턴이 존재하고 있던 경우에 템플릿 매칭을 행한 상관 맵의 일례를 나타낸다. 도면 중의 상관값의 최대 피크를 나타내는 부위가 서치 사용되는 제 1 후보가 된다. 2번째의 피크가 제 2 후보이고, 마찬가지로 3번째의 피크가 제 3 후보가 된다. 여기서는 1차원 상관 맵을 예로 하고 있으나, 2차원 상관지의 다른 공지의 기술을 사용하여도 동일한 결과가 얻어진다. 이 일례에 서는 제 3 후보까지 구하고 있으나, 후보수의 지정은 임의로 가능하다. 5 shows an example of a correlation map in which template matching is performed when a similar pattern exists around an arbitrary pattern. The site | part which shows the largest peak of the correlation value in a figure becomes a 1st candidate used for search. The second peak is the second candidate, and similarly, the third peak is the third candidate. Here, the one-dimensional correlation map is taken as an example, but the same result is obtained by using other known techniques of the two-dimensional correlation. In this example, even the third candidate is obtained, but the number of candidates can be arbitrarily specified.

도 5의 서치결과에서 유사 패턴이 존재하고 있어도 임의의 윈도우 내에서의 3개의 후보에 대하여 선정이 가능하다. 그러나 인공 모델 등에서 생산 기판에 적용한 마크형상에 대한 사전이 지정되어 있지 않기 때문에 이것만으로는 3개의 후보 중, 어느 것이 정확한 마크인지 판정하는 것은, 당연 곤란하다. Even if a similar pattern exists in the search result of FIG. 5, three candidates within an arbitrary window can be selected. However, since no dictionary for the mark shape applied to the production substrate is specified in the artificial model or the like, it is naturally difficult to determine which of the three candidates is the correct mark.

도 6에 인식용 패턴을 기판(21) 내에 2개소 배치한 경우에 대하여 도 5의 서치결과로부터 각 윈도우에서 후보 마크가 선정된 상태를 나타낸다. 인식용 패턴이 2개소이기 때문에 윈도우 영역도 2개소가 된다. 윈도우 1(W1) 내를 마크 서치한 결과, 3개의 후보(Ml1, M12, M13)가 선정되고, 윈도우 2(W2) 내를 마크 서치한 결과, 3개의 후보(M21, M22, M23)가 선정된다. 6 shows a state in which candidate marks are selected in each window from the search results of FIG. 5 in the case where two recognition patterns are arranged in the substrate 21. Since there are two patterns for recognition, there are also two window areas. As a result of mark search in the window 1 (W1), three candidates (Ml1, M12, M13) are selected, and as a result of mark search in the window 2 (W2), three candidates (M21, M22, M23) are selected. do.

그런데 도 6에는 기판(5)에서의 마크 서치결과를 나타내고 있으나, 도면에 나타나 있지 않은 마스크(20)측에는 기판(5)의 2개소의 인식용 패턴에 대응한 마크가 배치되어 있다. 6 shows the mark search results on the substrate 5, the marks corresponding to the two recognition patterns of the substrate 5 are arranged on the mask 20 side, which is not shown in the figure.

마스크(20)측의 인식용 패턴은, 통상에서 관통구멍 또는 하프 에칭 또는 관통구멍 또는 하프 에칭부에 인식시의 콘트라스트를 주기 위한 수지를 매립한 피듀셜 마크(독립된 기준 마크)를 사용하고 있고, 마스크측의 인식용 패턴의 주변에는 유사 패턴이 존재하고 있지 않은 사례가 많다. 따라서 숙련되지 않은 유저도 오인식하는 요인이 있는지의 여부를 용이하게 판단 가능하다. As the pattern for recognition on the mask 20 side, a conventional mark (an independent reference mark) in which a resin for imparting contrast at the time of recognition is usually used in the through hole or half etching or through hole or half etching portion. There are many cases where a similar pattern does not exist around the recognition pattern on the mask side. Therefore, even inexperienced users can easily determine whether there is a factor of misrecognition.

따라서 마스크(20)에서 인식용 패턴의 주변에 유사 패턴이 존재하고 있지 않은 사례에서는 도 5에서 설명한 방법을 사용하고, 또한 매치율(상관값에 대하여 미리 정한 득점)이 소정의 값 이상이라는 조건을 구비하여 가짐으로써 매치율이 소정의 값 이상을 가지는, 가장 상관값이 높은 패턴이 구하는 마스크의 인식용 패턴으로서 판단 가능하다. Therefore, in the case where the similar pattern does not exist in the periphery of the recognition pattern in the mask 20, the method described in FIG. 5 is used, and the condition that the match rate (predetermined score for the correlation value) is equal to or greater than a predetermined value is used. It can be judged as a pattern for recognition of the mask which the pattern with the highest correlation value which has a match rate more than predetermined value by having is provided.

이 경우, 윈도우 1(W1) 및 윈도우 2(W2)의 중심 좌표 관계는, 미리 인쇄장치에 기지(旣知)의 데이터로서 설정 입력되어 있기 때문에, 상관 서치결과로부터 구 한 각 윈도우에서의 인식용 패턴의 중심 좌표를 위치 좌표 연산부(33)에 의하여 산출함으로써, 위치 좌표 연산부(33)에서 마스크의 인식용 패턴(M1과 M2)의 거리(ML)를 연산·산출할 수 있다. In this case, since the center coordinate relationship between the window 1 (W1) and the window 2 (W2) is set and input to the printing apparatus as known data in advance, it is for recognition in each window obtained from the correlation search result. By calculating the center coordinates of the pattern by the position coordinate calculating unit 33, the position coordinate calculating unit 33 can calculate and calculate the distance ML between the mask recognition patterns M1 and M2.

도 6에 기재한 L 치수는, Ml1과 M21의 마크 간 거리이나, L의 설계값은 상기한 ML과 동일하기 때문에, ML을 선정 기준값으로서 사용할 수 있다. Since the L dimension shown in FIG. 6 is the distance between the marks of M11 and M21, and the design value of L is the same as the above-mentioned ML, ML can be used as a selection reference value.

도 7에 상관값 계산부 ∼ 위치 좌표 연산부에서의 처리 플로우를 나타낸다. 본 처리에서는 윈도우가 2개소에서 마크가 3개 설치되어 있다고 설정한 경우이다. 도 7에 의하여 윈도우 1(W1) 및 윈도우 2(W2)의 마크후보의 조합 중에서 L 치수가 가장 ML에 가까운 마크를 위치 좌표 연산부에 의하여 구하여 기준 패턴으로서 등록하는 것이 가능하다. 도 7에서 스타트시는 No.1 윈도우부터 서치한다. 즉, 우선 몇 번째 윈도우(W)인지를 설정한다(단계 110). 다음에 제 N 번째의 후보를 서치한다(단계 111). 제 N 번째의 서치가 종료하면 다음 후보를 정한다(N + 1번째의 후보가 되도록 N에 1을 더한다 : 단계 112). N이 최대의 후보 수를 초과하고 있는지의 여부를 체크한다(단계 113). 초과하고 있지 않으면 단계 111로 되돌아가서 제 N + 1번째의 후보를 서치한다. 초과하고 있는 경우는, 모든 윈도우가 종료하였는지를 체크한다(단계 114). 모든 윈도우가 종료되어 있지 않으면 다음 윈도우(W +1)로 윈도우를 설정하고 (단계 117), 윈도우 No.를 설정하는 단계 110으로 되돌아간다. 모든 윈도우의 서치가 종료하면 윈도우(W) 마크의 제 N 번째의 후보와, 다음 윈도우(W + 1) 마크의 제 N 번째 ∼ 제 N + 3까지의, 모든 후보와 조합시킨 경우의 각각의 거리(Lnn)를 구한다(단계 115). 그 결과를 단계 118과 같이 기록한 다. 기지의 L과 구한 Lnn의 차분을 연산하여 가장 작은 후보를 선택하여 등록한다. The process flow in a correlation value calculation part-a position coordinate calculation part is shown in FIG. In this process, it is a case where three windows are set in two places. According to FIG. 7, it is possible to obtain | require the mark whose L dimension is closest to ML among the combination of the mark candidates of the window 1 (W1) and the window 2 (W2) by the position coordinate calculating part, and register it as a reference pattern. In Fig. 7, the start is searched from the No. 1 window. That is, first, the number of windows W is set (step 110). Next, the Nth candidate is searched (step 111). When the Nth search is finished, the next candidate is determined (add 1 to N to become N + 1st candidate: step 112). It is checked whether N is exceeding the maximum number of candidates (step 113). If not, the process returns to step 111 where the Nth + 1st candidates are searched for. If it is exceeded, it is checked whether all windows have ended (step 114). If all windows are not closed, the window is set to the next window (W + 1) (step 117), and the process returns to step 110 for setting the window number. When the search of all windows is completed, the respective distances when the Nth candidate of the window W mark is combined with all the candidates from the Nth to N + 3th marks of the next window (W + 1) mark. (Lnn) is obtained (step 115). Record the result as in step 118. The difference between the known L and the obtained Lnn is calculated, and the smallest candidate is selected and registered.

또한 마스크측의 인식용 패턴에 피듀셜 마크를 사용하지 않는 경우는, 인식용 패턴의 주변에 유사 패턴이 존재하게 되기 때문에, 상기 ML을 선정 기준값으로서 사용할 수 없다. 이와 같은 경우에서는 상기 ML 대신에, 미리 인쇄장치에 입력하는 마크 좌표와 기판 치수로부터 선정 기준값(L)을 연산하여 구하여 사용하여도 좋다. In addition, when a physical mark is not used for the recognition pattern on the mask side, since the similar pattern exists in the periphery of the recognition pattern, the said ML cannot be used as a selection reference value. In such a case, instead of the said ML, you may calculate and use the selection reference value L from the mark coordinates and board | substrate dimension previously input to a printing apparatus.

다음에, 도 8 ∼ 도 10을 사용하여 미리 준비된 사전(38)에 기록되어 있는 사전 모델과 임의 패턴과의 상관값을 연산하는 상관값 계산부(31)와, 상관값 계산부(31)에 의하여 구해진 상관값에 의거하여, 모델의 형상 추정을 행하는 형상 추정부(32)와, 임의 패턴의 치수를 화상 계측 연산하는 치수 계산부(34)를 구비한 것을 특징으로 하는 스크린 인쇄장치에 대하여 설명한다. Next, the correlation value calculation unit 31 and the correlation value calculation unit 31 which calculate a correlation value between the dictionary model and the arbitrary pattern recorded in the dictionary 38 prepared in advance using FIG. 8 to FIG. On the basis of the correlation value determined by the above, the screen printing apparatus characterized by comprising a shape estimating unit 32 for estimating the shape of the model and a dimension calculating unit 34 for performing an image measurement operation on the dimensions of an arbitrary pattern. do.

도 8에 마크 치수 계측 후의 검사·치수 보정에 대하여, Lx = Lx1의 케이스를 나타낸다. 본 도면과 같이 마크의 치수 연산 처리 후에, 일례로서 X 방향에 대하여 마크 외형 치수만큼의 거리를 인쇄 스테이지에 이동 지령을 주어 마크를 이동시킨다. 다음에 마크 에지 좌표를 판독하여 이동 전에 미리 기억한 이동 전의 마크 에지 좌표와 이동 후의 마크 에지 좌표로부터 마크 이동량을 연산한다. 치수 계측한 마크 X 방향 외형 치수(Lx)가 마크 에지 가동량(Lx1)과 같은 경우, 치수 계측한 마크 치수는 정확하다고 판단한다. In FIG. 8, the case of Lx = Lx1 is shown about the inspection and dimension correction after mark dimension measurement. As shown in the figure, after the mark arithmetic processing, the mark is moved by giving a movement command to the print stage a distance equal to the mark outline dimension with respect to the X direction. Next, mark edge coordinates are read out, and the mark movement amount is calculated from the mark edge coordinates before the movement and the mark edge coordinates after the movement previously stored before the movement. When the mark X direction outline dimension Lx which measured the dimension is the same as mark edge movable amount Lx1, it determines with the mark dimension measured by the dimension being accurate.

도 9에 마크 치수 계측 후의 검사·치수 보정에 대하여, Lx < Lx1의 케이스 를 나타낸다. 본 도면과 같이 치수 계측한 마크 X 방향 외형 치수(Lx)가 마크 에지 이동량(Lx1)보다 작은 경우, 치수 계측한 마크 치수는 정확하지 않다고 판단한다. In FIG. 9, the case of Lx <Lx1 is shown about the inspection and dimension correction after mark dimension measurement. When the mark X direction outline dimension Lx measured by dimension as shown in this figure is smaller than mark edge movement amount Lx1, it is judged that the mark dimension measured by dimension is not accurate.

도 10에 치수 계산부 및 치수 보정부에서의 처리 플로우를 나타낸다. 도 10은 X 방향의 치수 보정의 구체적 처리 플로우이나, Y 방향에 대해서도 동일한 처리를 행하면 좋다. 즉, X 방향에 대하여 연산처리를 실시한 후, 마찬가지로 Y 방향에 대해서도 연산처리를 실행한다. 10 shows a processing flow in the dimension calculating section and the dimension correcting section. 10 may perform the same process also about the specific process flow of the dimension correction of the X direction, and the Y direction. That is, after performing arithmetic processing in a X direction, arithmetic processing is performed similarly to a Y direction.

이 처리에서는 먼저 제 N 후보의 마크의 외형 치수를 계측한다(단계 210). 이 경우, a가 X 방향으로 설정된다(단계 211). 스테이지를 a 방향으로 이동하여 이동량을 구한다(212). 마크의 한쪽 끝측부터 이동을 개시하여 다른쪽 에지부에 도달하기까지의 거리(La1)를 측정한다(단계 213). 이동거리가 소정값(La)과 같은지 판별한다(단계 214). 같지 않은 경우는 보정값(La/La1)을 구한다(단계 216). X 방향의 보정값이 구해지면 다음에 a를 y로 치환하여(단계 215, 217), 동일한 처리를 행한다. In this process, first, the external dimension of the mark of the Nth candidate is measured (step 210). In this case, a is set in the X direction (step 211). The stage is moved in the a direction to obtain a movement amount (212). The distance La1 from the end of one mark to the start of the movement to reach the other edge portion is measured (step 213). It is determined whether the movement distance is equal to the predetermined value La (step 214). If not equal, a correction value La / La1 is obtained (step 216). After the correction value in the X direction is found, a is replaced by y (steps 215 and 217) to perform the same processing.

그런데 인쇄장치의 카메라 좌표계는 반도체 제조용으로 사용하는 초고선명·다이렉트 묘화에 의한 유리 건판(포토 마스크)을 사용하여 기계 구동계의 절대 정밀도를 교정하고 있다. 이 때문에 카메라를 임의의 위치로 지령값에 의하여 이동하였을 때의 정밀도는 충분히 신뢰받고 있다. 또 리니어 모터 등에 의한 풀 클로즈드 서보 시스템 등의 기술을 사용하여도 카메라 이동의 거리는 충분히 신뢰받는 정밀도로 되어 있다. By the way, the camera coordinate system of the printing apparatus is calibrating the absolute precision of a mechanical drive system using the ultra-high definition and direct drawing (photomask) used for semiconductor manufacture. For this reason, the accuracy when moving a camera to an arbitrary position by the command value is fully trusted. In addition, even when a technique such as a full-closed servo system using a linear motor or the like is used, the distance of camera movement is sufficiently reliable.

따라서 상기 기술 등을 사용함으로써 카메라로 판독한 화상의 치수가 정확한지의 여부를 판단할 수 있다. 또한 카메라의 분해능의 교정 및 자기고장진단에도 응용할 수 있다. Therefore, by using the above technique or the like, it is possible to determine whether or not the dimensions of the image read by the camera are correct. It can also be applied to camera resolution and self-diagnosis.

또, 본 발명에 의한 위치 맞춤 방법을 이용하면 생산운전 중에 위치 맞춤 전에 판독한 마크 치수와, 인쇄 테이블을 위치 맞춤 이동시킨 후의 마크위치가 정확한지의 여부를 검사 판정함과 동시에, 마크 치수를 측정하기 때문에, 상시 인쇄장치의 카메라의 고장진단으로부터 자동교정이 가능하다. In addition, when the alignment method according to the present invention is used, the mark size read before the alignment during the production operation and the mark position after the alignment table are moved are inspected and determined, and the mark size is measured. Therefore, automatic calibration is possible from the failure diagnosis of the camera of the printing apparatus at all times.

따라서 본 발명에 의한 위치 맞춤 방법을 이용함으로써 생산 중에 장치를 논스톱으로 항시 정밀도 이상이 없는지 자기고장 진단할 수 있을 뿐만 아니라, 자동적으로 교정까지 가능해진다. Therefore, by using the positioning method according to the present invention, not only can the device be non-stop diagnosed at all times without any accuracy abnormality during production, but also automatic calibration can be performed.

이상과 같이 본 발명에서는 임의 패턴에 대하여 마크형상이나 마크 치수를 지정하지 않아도 마크를 기준 패턴으로서 등록하는 것이 가능해진다. As described above, in the present invention, it is possible to register a mark as a reference pattern without designating a mark shape or mark dimension for an arbitrary pattern.

또, 숙련 작업자가 감소하고 있는 중에서 숙련되지 않은 유저라도 간단하고 또한 용이하게, 기준 마크 등록시간의 단축화·정확함을 확보할 수 있어, 고밀도 설치 생산의 효율화·생력화(省力化)에 공헌하는 것이 가능해진다. In addition, even if the number of skilled workers is decreasing, even inexperienced users can secure the shortened and accurate reference mark registration time easily and can contribute to the efficiency and productivity of high-density installation production. Become.

또한 본 발명은 마스크를 사용하지 않는 탑재기 등에서의 기판의 위치맞춤에 서도 적용할 수 있는 것은 분명하다. In addition, it is clear that the present invention can also be applied to alignment of a substrate in a mounter or the like which does not use a mask.

또한 본 발명을 이용함으로써 SMT 라인 중의 각 장치 사이에서 각각이었던 기준마크 등록방법을 통일·공통으로 할 수 있어, 각 장치의 조작방법의 간이화·공통화를 도모하는 것도 가능하다. In addition, by using the present invention, the reference mark registration method that has been used among the devices in the SMT line can be made uniform and common, and the operation method of each device can be simplified and made common.

인쇄기 제어부에는 도시 생략한 인쇄압을 컨트롤하는 인쇄압 제어부를 가지고, 생산하는 기판의 설치 밀도나 개구지름의 차이 및 사용하는 스퀴지의 스프링 정수에 의하여 적절한 인쇄압을 간단하게 셀렉트 설정할 수 있다. 또 마스크를 거쳐 기판에 가압되는 스퀴지 선단의 압력이 변동하지 않도록 피드백제어를 행하고 있다. The printing press control part has a printing pressure control part which controls the printing pressure which is not shown in figure, and can easily select an appropriate printing pressure according to the difference of the installation density and aperture diameter of the board | substrate to produce, and the spring constant of the squeegee used. In addition, feedback control is performed so that the pressure at the tip of the squeegee pressed against the substrate via the mask does not change.

다음에 도 11, 도 12를 사용하여 본 발명의 스크린 인쇄장치에 사용하는 스퀴지 및 그 스퀴지를 장비한 스크린 인쇄장치에 대하여 설명한다. Next, the squeegee used for the screen printing apparatus of this invention and the screen printing apparatus equipped with the squeegee are demonstrated using FIG. 11, FIG.

도 11에 복합식 메탈 스퀴지의 일례를 나타낸다. An example of a composite metal squeegee is shown in FIG.

스퀴지 홀더가 스퀴지(3)를 고정하는 제 2 스퀴지 홀더(52)와 구동부측에 설치하고 있는 제 1 스퀴지 홀더(51)와의 2개로 분할하여 그 사이에 탄성부재(53)를 배치한 구성으로 한 것이다. The squeegee holder is divided into two, the second squeegee holder 52 holding the squeegee 3 and the first squeegee holder 51 provided on the driving part side, and the elastic member 53 is disposed therebetween. will be.

스크린(21)에 접촉하는 스퀴지(3)부는 메탈로 구성하고 있다. 제 1 스퀴지 홀더와 제 2 스퀴지 홀더의 중간부의 탄성부재(53)는 경도 80도의 우레탄 고무로 형성되어 있다. 또한 스퀴지(3)는 단부착의 메탈 스퀴지로 하고, 스퀴지 홀더측의 두께를 0.25 mm의 메탈판으로 하여 내구성을 가지게 하고, 선단부의 두께는 0.05 mm로 하였다. 또 메탈 스퀴지를 아디티브법으로 제작함으로써 선단 에지부의 능선 거칠기를 0.5 ㎛ 이하로 고정밀도로 제작할 수 있다. The squeegee 3 part which contacts the screen 21 is comprised from metal. The elastic member 53 of the intermediate part of a 1st squeegee holder and a 2nd squeegee holder is formed with the urethane rubber of 80 degree of hardness. Moreover, the squeegee 3 was made into the metal squeegee of an edge part, it made it durable by making the thickness of the squeegee holder side into the metal plate of 0.25 mm, and the thickness of the front-end part was 0.05 mm. In addition, by producing the metal squeegee by the additive method, the ridge roughness of the leading edge portion can be produced with high precision at 0.5 µm or less.

도 12에 나타내는 스크린 인쇄의 사례와 같이, 통상 기판(5) 표면에 코트되는 회로절연용 패턴 레지스트(55) 두께는 20 ㎛ 정도이고, 인쇄되는 기판의 전극 패드(56)부 주위에 덮여져 있는 케이스가 있어, 결과적으로 스크린(21)과 전극 패 드(56) 사이에 갭이 생긴다. 또한 레지스트(55)의 위에 디바이스번호나 기판 명칭 등을 표기하기 위한 실크인쇄(57)도 실시되어 있다. 실크인쇄(57)의 두께는 30∼40 ㎛로 두껍기 때문에 상기 레지스트(55)의 두께분과 합산하면 50∼60 ㎛ 정도의 갭이 발생한다. 스크린(21) 표면으로부터 전극 패드(56) 표면까지의 깊이가 20∼60 ㎛ 정도인 갭에 대하여 땜납 페이스트(50)를 인쇄할 때에 땜납 페이스트(50)를 충전하는 힘이 없으면 전극 패드(56) 표면까지 땜납 페이스트(50)가 도달하지 않아 미전사부가 발생하게 된다. As in the case of screen printing shown in FIG. 12, the thickness of the circuit resist pattern resist 55 coated on the surface of the substrate 5 is about 20 μm, and is covered around the electrode pad 56 portion of the printed substrate. There is a case, resulting in a gap between the screen 21 and the electrode pad 56. Silk printing 57 is also provided on the resist 55 to indicate device numbers, substrate names, and the like. Since the thickness of the silk print 57 is 30 to 40 mu m thick, when combined with the thickness of the resist 55, a gap of about 50 to 60 mu m occurs. If there is no force to fill the solder paste 50 when printing the solder paste 50 for a gap having a depth of about 20 to 60 μm from the surface of the screen 21 to the surface of the electrode pad 56, the electrode pad 56 may be used. Since the solder paste 50 does not reach the surface, the untransferred portion is generated.

본 발명에 의하면 탄성부재(53)를 구성하는 우레탄 고무부의 굽힘응력에 대한 반발력을 이용하여 땜납 페이스트(50)가 충전되는 힘을 발생할 수 있다. 도 12(b)의 인쇄압(P)에 대하여, F1 및 F2는 각각 F1 = P·COSΘ, F2 = P·COSΘ이기 때문에, 우레탄 고무(53)부가 휘어짐으로써 Θ가 작아지기 때문에 F1 < F2가 되고, 스퀴지(3)에 대하여 직각방향으로 작용하는 힘이 커진다. 이에 의하여 인쇄시에서의 페이스트의 롤링력(화살표방향으로의 이동력)도 커지고, 스크린 개구부에의 충전력이 업되어 스크린(21)으로부터의 갭이 큰 전극 패드(56) 위에도 땜납 페이스트의 충전이 가능하게 된다. According to the present invention, a force for filling the solder paste 50 may be generated by using a repulsive force against the bending stress of the urethane rubber part constituting the elastic member 53. With respect to the printing pressure P in Fig. 12 (b), since F1 and F2 are F1 = P · COSΘ and F2 = P · COSΘ, respectively, since the urethane rubber 53 portion is bent, Θ becomes small, so that F1 <F2 becomes The force acting in the direction perpendicular to the squeegee 3 becomes large. As a result, the rolling force (moving force in the direction of the arrow) of the paste during printing is increased, and the filling force to the screen opening is increased, so that the filling of the solder paste is possible even on the electrode pad 56 having a large gap from the screen 21. It becomes possible.

또 우레탄 고무부가 유연하게 변형함으로써, 국부적인 요철뿐만 아니라, 기판전체가 콤벡스상태 또는 콘케이브상태로 되어 있어도 용이하게 추종이 가능하다. 본 구성으로 함으로써 종래의 메탈 스퀴지 및 백플레이트부착 메탈 스퀴지에서의 기판의 요철에 대한 추종성의 문제점을 해결하였다. 또한 마스크와 스퀴지의 슬라이딩시에 있어서의 미세 진동의 발생을 흡수하고, 인쇄 수축이 없는 양호한 인쇄 마무리면을 제공하는 것이 가능하다. In addition, since the urethane rubber portion is flexibly deformed, it is possible to easily follow not only local irregularities but also the entire substrate in a combed or concave state. This configuration solves the problem of the followability to the unevenness of the substrate in the conventional metal squeegee and the back plate attached metal squeegee. In addition, it is possible to absorb the generation of fine vibrations during the sliding of the mask and the squeegee and to provide a good printing finish surface without printing shrinkage.

또한 메탈 선단의 계단형상 단부착부 메탈 스퀴지는, 개구부 구멍에는 빠지지 않으나, 실크 인쇄부의 두께 등에 의한 미소한 요철이나 단차부의 변위에 대해서는 인쇄시에 감도 좋게 추종할 수 있도록 하고 있다. 여기서 말하는 인쇄시에 있어서의 감도가 좋음이란, 스퀴지의 스프링정수의 대소의 차이다. 스프링진자의 주기(T)는 다음식 T = 2π(W/gk)1/2로 구해지기 때문에 스프링정수(k)가 클수록 주기가 짧고, 즉 진동수가 높아 감도가 좋아져, 이른바 민감하게 반응할 수 있게 된다. 반대로 스프링정수(k)가 작을수록 진동주기가 길어지고 진동수가 낮아져 스퀴지의 반응으로서는 둔감해진다. In addition, the stepped end fitting metal squeegee of the metal tip does not fall into the opening hole, but it is possible to follow the displacement of the minute unevenness and the stepped portion due to the thickness of the silk printing part or the like with good sensitivity during printing. The good sensitivity at the time of printing here is the difference of magnitude of the spring constant of a squeegee. Since the period (T) of the spring pendulum is obtained by the following equation T = 2π (W / gk) 1/2 , the larger the spring constant (k), the shorter the cycle, that is, the higher the frequency, the better the sensitivity, and thus the sensitive response Will be. On the contrary, the smaller the spring constant k, the longer the vibration period and the lower the frequency, and thus the insensitive to the reaction of the squeegee.

도 13에 복합식 메탈 스퀴지의 등가 스프링계 사례를 나타낸다. 13 shows an equivalent spring system example of the composite metal squeegee.

스퀴지 중간부에 설치한 우레탄 고무부에 의한 휘어짐을 δ1, 메탈 스퀴지 선단의 단부착부의 휘어짐을 δ2라 하고, 선단에 가해지는 하중(W)에만 착안하면, 도 13에 나타내는 바와 같은 스프링정수(k1)와 스프링정수(k2)의 2개의 스프링을 직렬 접속한 것으로 간주할 수 있다. 휘어짐의 이론값은 δ= WI3/3EI에 의하여 스퀴지에 사용되고 있는 재질 및 단면 치수 형상을 알 수 있으면 δ1 및 δ2의 값은 계산이 가능하다. 또 후크의 법칙에 의하여 k = W/δ 이기 때문에 스프링정수를 계산으로 구할 수 있다. 여기서 합성 스프링정수를 K라 하면, (1/K)=(1/k1) + (1/k2)에 의하여 도 13에 나타내는 합성 스프링정수를 구하는 것이 가능하다. When the deflection by the urethane rubber portion provided in the middle of the squeegee is δ1 and the end portion of the metal squeegee tip is δ2, only the load W applied to the tip is taken into consideration. ) And spring constant (k2) can be regarded as connected in series. The theoretical value of the deflection can be calculated if the material and the cross-sectional dimension shape used for the squeegee are known by δ = WI 3 / 3EI. In addition, according to Hook's law, k = W / δ, the spring constant can be calculated by calculation. Here, if the composite spring constant is K, it is possible to obtain the composite spring constant shown in Fig. 13 by (1 / K) = (1 / k1) + (1 / k2).

도 14(a)에 원리 설명도를, 도 14(b)에 다른 스프링정수를 가지는 스퀴지의 스프링부의 실시예를, 도 14(c)에 전체 구성을 나타낸다. 본 도면은 도 11에 나타낸 발명에 대하여 또 다른 방법에 의하여 스퀴지 높이방향으로 2종 이상의 스프링정수를 구비시킨 실시예이다. 스퀴지 홀더와 스퀴지의 중간부에 스프링형상의 탄성체(스프링)를 구비하고, 다시 선단부에 다른 구부림 회수와 다른 구부림 길이를 구비한 스프링형상, 또는 계단형상 단부착형상을 가지게 한 금속제의 일체형 스퀴지로서 구성된다. 본 구성으로 함으로써 도 14(a)에 나타내는 바와 같이 수직방향으로 유연하게 변위할 수 있어 기판의 요철에 유연하게 추종할 수 있는 것이다. Fig. 14 (a) shows a principle explanatory drawing, and Fig. 14 (c) shows an embodiment of the spring portion of the squeegee having another spring constant. This figure is an example in which two or more spring constants were provided in the squeegee height direction by another method with respect to the invention shown in FIG. A spring-shaped elastic body (spring) is provided at the middle of the squeegee holder and the squeegee, and is formed as a spring-integrated squeegee having different bending times and different bend lengths, or a stepped end-shape in the tip portion. do. This configuration allows flexible displacement in the vertical direction as shown in Fig. 14A, and can flexibly follow the unevenness of the substrate.

본 도면의 실시예에 의한 스프링형상부를 가지는 일체형 스퀴지를 사용함으로써 도 11에 나타낸 복합식 스퀴지와 동등한 성능을 실현할 수 있다. 또 복합식 스퀴지보다 대폭으로 사용부재 점수를 줄일 수 있음과 동시에, 일체형을 위해 제작방법도 아디티브법이나 성형프레스 등 다양한 방법을 생각할 수 있어, 비용절감이 가능하다. 또한 스퀴지질량을 저감시켜 더욱 저인쇄압으로 효과적인 충전력을 발생시키는 것이 가능하게 되어 양호한 인쇄결과를 얻을 수 있다. By using the integrated squeegee having the spring shape according to the embodiment of this figure, the performance equivalent to that of the composite squeegee shown in FIG. 11 can be realized. In addition, the use member score can be significantly reduced than the composite squeegee, and the manufacturing method for the integrated type can be considered a variety of methods such as the additive method and the molding press, thereby reducing the cost. In addition, it is possible to reduce the squeegee mass and to generate an effective filling force at a lower printing pressure, thereby obtaining a good printing result.

다음에 인쇄의 종료 후에 다음의 공정측에 검사 유닛이 설치되어 있는 경우에 대하여 설명한다. Next, the case where an inspection unit is provided on the next process side after completion of printing is described.

도 15에 검사 유닛의 구성을 나타낸다. The structure of an inspection unit is shown in FIG.

검사 유닛(300)은 가대(61)에 기판 반송방향에 대하여 직각방향으로 이동 가능한 리니어 모터 구동방식의 구동기구(62)(또는 서보 모터와 볼나사로 이루어지는 구동기구)를 구비한 도어형의 프레임과, 그 프레임 위에 배치되어 프레임 위를 기판 반송방향으로 이동 가능하게 리니어 모터(65)(또는 서보 모터와 볼나사)로 이루 어지는 구동기구를 설치하고 있는 이동 테이블(67)과, 그것에 설치한 촬상용 카메라(66)로 이루어진다. 카메라(66)는 기판면을 촬상할 수 있도록 기판(5)에 대하여 소정의 간격을 두고 배치되어 있다. The inspection unit 300 includes a door-shaped frame provided with a linear motor drive type drive mechanism 62 (or a drive mechanism composed of a servo motor and a ball screw) that is movable on the mount 61 in a direction perpendicular to the substrate transfer direction. And a moving table 67 disposed on the frame and provided with a drive mechanism made of a linear motor 65 (or a servo motor and a ball screw) so as to be movable in the substrate conveyance direction on the frame, and for imaging. Camera 66. The camera 66 is arrange | positioned at predetermined intervals with respect to the board | substrate 5 so that the board | substrate surface may be imaged.

그런데 도 2 또는 도 3에서 설명한 인쇄 유닛(200)으로 인쇄된 것에는 인쇄불량으로서 대표적으로 다음의 3가지의 상태가 발생한다. (1) 전극부분에 정상으로 땜납 페이스트가 인쇄되지 않고 일부 빠져 있는 부분이 존재하는 상태. (2) 인접하는 전극측까지 땜납 페이스트가 부착되기도 하고, 전극의 밖까지 땜납 페이스트가 도포되는 이른바 처짐이나 브릿지, 또는 번짐이라는 상태. (3) 전체적으로 전극에 대하여 어긋나게 인쇄되는 상태. By the way, what is printed by the printing unit 200 described in FIG. (1) The state in which the solder paste is not normally printed on the electrode portion and a portion is partially missing. (2) The state of so-called sag, bridge, or bleeding in which the solder paste is sometimes adhered to the adjacent electrode side, and the solder paste is applied to the outside of the electrode. (3) The state in which the printing is offset with respect to the electrode as a whole.

본 검사 유닛(300)에서는 이들 상태를 검출하여 어떠한 불량인지를 판별하여, 통신수단에 의하여 인쇄 유닛에 정보를 피드백하나, 이때 인쇄 유닛의 재분석 수단에 의하여 각종 불량 모드에 대하여, 일례로서 ABC 평가를 실시하여 대분류한 정보로 가공함으로써 인쇄 유닛의 축적수단의 데이터베이스 정보와 대조하여 판정하는 처리효율을 향상할 수 있고, 처리시간도 대폭으로 단축할 수 있다. ABC 평가 이외의 방법으로서 다른 통계적 방법을 채용하여도 좋다. 나아가서는 3차원 검사 유닛 등에서의 방대한 검사정보로부터 오퍼레이터에 있어서 용이하게 판단 가능한 필요 충분한 품질예보 정보로 마무리하는 것을 용이하게 실시할 수 있다. 또한 불량의 상태에 따라서는 다음의 디스펜서 유닛(400)으로 수복함으로써 불량품의 발생을 적극 억제하는 것이다. The inspection unit 300 detects these conditions to determine what is wrong and feeds back information to the printing unit by the communication means, but at this time, the ABC evaluation is performed for various failure modes by the reanalysis means of the printing unit. By processing the information into largely classified categories, it is possible to improve the processing efficiency for judging against the database information of the accumulating means of the printing unit, and the processing time can be greatly reduced. As a method other than ABC evaluation, another statistical method may be employed. Furthermore, it is easy to finish with the necessary sufficient quality forecast information which can be easily judged by an operator from the extensive inspection information in a three-dimensional inspection unit etc. In addition, depending on the defective state, the next dispenser unit 400 is repaired to actively suppress the occurrence of the defective product.

먼저 인쇄 유닛(200)으로 인쇄된 기판(5)은 인쇄 유닛(200)의 기판 배출 컨 베이어(27)에 접속된 검사 유닛(300)의 기판 수취 컨베이어(63) 위에 주고 받아진다. 기판 수취 컨베이어(63) 위의 기판은 소정위치에 정지되어 기판 테이블(68) 위에 주고 받아진다. 기판 테이블(68)에는 기판 유지기구(69)(예를 들면 흡인 흡착기구 또는 메카니컬 척기구)가 설치되어 있어 기판(5)이 이동하지 않도록 유지된다. 검사 유닛(300)에는 검사 유닛(300)의 구동부 및 카메라로 촬상한 화상 데이터로부터 화상처리하여 인쇄의 양부(良否)를 판정하기 위한 제어부(60C)가 설치되어 있고, 검사 유닛(300) 단독으로도 동작할 수 있게 되어 있다. 단, 단독으로 동작시키는 경우는 인쇄의 복수의 패턴 데이터 등을 미리 기억하여 두기 위하여 제어부(60C)에는 큰 메모리를 필요로 한다. 만약에 인쇄 유닛(200) 또는 디스펜서 유닛(400)과 연동하는 경우는, 인쇄 유닛(200) 또는 디스펜서 유닛(400)측의 제어부에서 인쇄위치 데이터 등을 수취하여 사용하면 좋기 때문에 큰 메모리는 필요로 하지 않는다. First, the substrate 5 printed by the printing unit 200 is exchanged on the substrate receiving conveyor 63 of the inspection unit 300 connected to the substrate discharge conveyor 27 of the printing unit 200. The substrate on the substrate receiving conveyor 63 is stopped at a predetermined position to be sent and received on the substrate table 68. The board | substrate table 68 is provided with the board | substrate holding mechanism 69 (for example, a suction | suction adsorption mechanism or a mechanical chuck mechanism), and is hold | maintained so that the board | substrate 5 may not move. The inspection unit 300 is provided with a control unit 60C for determining the quality of printing by image processing from the driving unit of the inspection unit 300 and the image data captured by the camera, and the inspection unit 300 alone It is also possible to operate. However, when operating alone, the control unit 60C requires a large memory to store in advance a plurality of pattern data of printing. In the case of interlocking with the printing unit 200 or the dispenser unit 400, a large memory is required because the control unit on the printing unit 200 or the dispenser unit 400 may receive and use the print position data. I never do that.

또, 도시는 생략하였으나, 기판 테이블(68)을 설치하지 않고 기판 수취 컨베이어(63)면보다 돌출하여 기판(5)의 이동을 저지하는 스토퍼를 설치하고, 스토퍼에 의하여 기판을 정지시킨 후, 수취 컨베이어(63)를 정지시킴으로써 기판(5)을 소정 위치에 위치 결정하는 것도 가능하다. Although not shown, a stopper which protrudes from the surface of the substrate receiving conveyor 63 to prevent movement of the substrate 5 without providing the substrate table 68 is provided, and the substrate is stopped by the stopper. It is also possible to position the board | substrate 5 in a predetermined position by stopping 63. As shown in FIG.

다음에 카메라(66)에 의하여 기판 위치 결정 마크를 관측하고, 그 위치로부터, 인쇄 유닛으로 도포한 땜납 페이스트의 도포(인쇄)위치를 구하여 땜납 도포위치까지 카메라를 이동하여 도포의 상태를 촬상한다. 촬상된 화상은 제어부(60C)에 설치되어 있는 화상처리부에서 화상처리되어 정규의 인쇄위치에 정상으로 땜납 페 이스트가 인쇄되어 있는지의 여부가 판정된다. 카메라(66)를 이동함으로써 인쇄영역 모두에 대하여 검사를 실행한다. 판정결과가 정상이면 인쇄처리는 그곳에서 종료가 된다. 단, 검사 유닛(300)의 하류측에 디스펜서 유닛(400)이 설치되어 있으면 디스펜서 유닛(400)은 반송기능만이 동작되어 검사가 종료한 기판(5)은 디스펜서 유닛 출구까지 반송된다. Next, the substrate positioning mark is observed by the camera 66. From this position, the application (printing) position of the solder paste applied by the printing unit is obtained, and the camera is moved to the solder application position to image the application state. The picked-up image is image-processed by the image processing part provided in the control part 60C, and it is judged whether the solder paste is normally printed in a normal printing position. By moving the camera 66, the inspection is performed for all the print areas. If the judgment result is normal, the print process ends there. However, if the dispenser unit 400 is provided downstream of the inspection unit 300, the dispenser unit 400 only carries the conveyance function, and the substrate 5 after the inspection is conveyed to the dispenser unit outlet.

만약 검사 유닛(300)이 불량이라고 판단된 경우는, 앞서 설명한 (1)∼(3)의 어느 상태의 불량이 어느 개소에 발생하였는지를 인쇄 유닛(200)의 제어부에 그 데이터를 송신함과 동시에, 인쇄 유닛(200)에 설치하고 있는 표시장치에 그 검사결과를 표시한다. 또한 검사 유닛(300)에는 도시는 생략하나, 검사조건의 변경을 행하기 위한 입력수단이나 검사상황 등을 모니터하기 위한 표시장치를 설치할 수 있다. 또 디스펜서 유닛(400)에 설치하고 있는 제어부(70C)에도 동일한 데이터가 송신된다. If it is determined that the inspection unit 300 is defective, the data is transmitted to the control unit of the printing unit 200 at which point in which the state of any of the states (1) to (3) described above occurred, and at the same time, The inspection result is displayed on the display device installed in the printing unit 200. In addition, although not shown, the inspection unit 300 may be provided with a display device for monitoring input conditions, inspection conditions, and the like for changing inspection conditions. The same data is also transmitted to the control unit 70C provided in the dispenser unit 400.

디스펜서 유닛(400)에서는 결함이 상기 (1) 인쇄 빠짐이 경우, 그 인쇄 빠짐 부분만 디스펜서에 의하여 땜납 페이스트를 공급하여 빠짐을 수복한다. 또 (2)와 같이 처짐이나 브릿지 또는 번짐의 결함이면 상기 기판을 흡인용 디스펜서를 설치한 디스펜서 유닛에 반송하여, 결함이 있는 부분(전극 이외의)의 땜납 페이스트를 흡인하여 제거함으로써 그 부분을 수복한다. 또한 결함이 (3)의 어긋남에 의한 것인 경우, 수복이 가능한지의 여부를 판단하여, 수복이 가능한 경우는, (2)의 경우와 마찬가지로 흡인용 디스펜서를 설치한 디스펜서 유닛까지 상기 기판을 반송하고, 그곳에서 수복이 필요한 부분의 땜납 페이스트를 흡인에 의하여 제거하고, 그 후 전극부분에 토출용 디스펜서를 설치하고 있는 디스펜서 유닛에 반송하고, 그곳에서 상기 부분의 전극에 땜납 페이스트를 추가 도포한다. 또한 (3)의 어긋남의 경우는, 인쇄 유닛(200)측에 그 어긋남량을 송신하여, 마스크결함인지, 인쇄상의 실수인지를 관리자에게 판단하게 하여, 마스크의 결함이면 정상적인 마스크와 교환하여 준다. 또 인쇄상의 문제(위치맞춤 불량 등)이면 인쇄조건을 수정한다. In the dispenser unit 400, when the defect is (1) printing missing, only the printing missing portion is supplied with the solder paste by the dispenser to repair the missing. If the deflection, bridge, or bleeding defect is as shown in (2), the substrate is conveyed to a dispenser unit provided with a suction dispenser, and the portion is repaired by sucking and removing the solder paste of the defective portion (other than the electrode). do. If the defect is caused by the misalignment of (3), it is judged whether or not the repair is possible, and when the repair is possible, the substrate is conveyed to the dispenser unit provided with the suction dispenser as in the case of (2). Thereafter, the solder paste in the portion requiring repair is removed by suction, and then conveyed to a dispenser unit having a discharge dispenser installed in the electrode portion, where the solder paste is further applied to the electrode in the portion. In the case of the misalignment of (3), the misalignment amount is transmitted to the printing unit 200 side so that the administrator can determine whether the mask is defective or a printing mistake, and if the defect is a mask, the mask is replaced with a normal mask. If the problem is a printing problem (such as misalignment), the printing condition is corrected.

디스펜서 유닛은, 상기한 동작을 행하기 위하여 도 16에 나타내는 구성으로 되어 있다. The dispenser unit has the structure shown in FIG. 16 in order to perform the above operation.

상기한 검사유닛과 마찬가지로 기판 반송로인 기판 수취 컨베이어(72)에 직각으로 도어형의 프레임(84)부분을 배치하고, 땜납 페이스트를 흡인하여 인쇄면으로부터 제거하기 위하여 흡인용 디스펜서, 또는 땜납 페이스트를 도포하기 위한 땜납 페이스트 토출용 디스펜서(83) 중 어느 한쪽, 또는 양쪽을 구비한 구성으로 하고 있다. 또한 기판 수취 컨베이어로부터 기판(5)을 수취하여, 기판(5)을 탑재하기 위한 기판 테이블(78)과 기판 테이블(78)에 기판을 유지하는 기판 유지기구(79)가 설치되어 있다. 도 16에는 토출용 디스펜서를 설치한 구성으로 하고 있다. 또한 흡인용 디스펜서와 도포용 디스펜서는 설치, 분해가 가능하게 구성되어 있다. 디스펜서 유닛(400)의 본체측에 프레임(84)을 지지하고, 프레임(84)을 기판 반송방향으로 이동 가능하게 서보모터(75)에 볼나사(도시 생략)를 설치한 구동기구가 설치되어 있다. 또한 이 구동기구는 리니어 모터방식으로 하여도 좋다. 프레임(84)에는 디스펜서(83)를 유지하여 기판 반송방향에 대하여 직각방향으로 이동시키는 이동 테이블(87)과, 이동 테이블(87)을 이동시키기 위한 서보모터(85)와 볼나 사(86)로 이루어지는 구동기구가 설치되어 있다. 이 구동기구도 또 리니어모터로 하여도 좋다. 또 이동 테이블(87)에는 디스펜서(83)를 설치한 테이블(80)을 상하로 이동시키기 위한 Z축 구동기구(88)가 설치되어 있다. 또한 도시 생략하였으나, 테이블(80)에는 기판의 위치맞춤 마크를 관측하기 위한 카메라나, 기판(5)과 디스펜서(83)의 간격을 계측하기 위한 거리센서가 설치되어 있다. 또 본 유닛의 하부에는 유닛 내의 각 장치를 제어하기 위한 제어부(70C)가 설치되어 있고, 이 제어부(70C)는 인쇄 유닛(200)이나 검사 유닛(300)의 제어부와 신호의 주고받음이 가능하게 구성되어 있다. Like the inspection unit described above, the door-type frame 84 is disposed at right angles to the substrate receiving conveyor 72, which is a substrate conveying path, and a suction dispenser or solder paste is used to suck and remove the solder paste from the printing surface. Any one or both of the solder paste dispenser 83 for coating is provided. Moreover, the board | substrate table 78 for receiving the board | substrate 5 from the board | substrate receiving conveyor, and mounting the board | substrate 5 and the board | substrate holding mechanism 79 which hold | maintains a board | substrate in the board | substrate table 78 is provided. In FIG. 16, a discharge dispenser is provided. In addition, the suction dispenser and the application dispenser can be installed and disassembled. The drive mechanism which supports the frame 84 at the main body side of the dispenser unit 400, and provided the ball screw (not shown) in the servomotor 75 so that the frame 84 can move to a board | substrate conveyance direction is provided. . The drive mechanism may be a linear motor system. The frame 84 includes a moving table 87 for holding the dispenser 83 to move in a direction perpendicular to the substrate conveyance direction, a servo motor 85 and a ball screw 86 for moving the moving table 87. A drive mechanism is formed. This drive mechanism may also be a linear motor. The moving table 87 is provided with a Z-axis driving mechanism 88 for moving the table 80 provided with the dispenser 83 up and down. Although not shown, the table 80 is provided with a camera for observing the alignment mark of the substrate and a distance sensor for measuring the distance between the substrate 5 and the dispenser 83. In the lower part of the unit, a control unit 70C for controlling each device in the unit is provided, and the control unit 70C can exchange signals with the control unit of the printing unit 200 or the inspection unit 300. Consists of.

도 1은 각 유닛의 조합의 예를 나타낸 도,1 is a diagram showing an example of a combination of each unit;

도 2는 스크린 인쇄장치의 일례를 나타내는 도,2 shows an example of a screen printing apparatus;

도 3은 스크린 인쇄장치의 동작을 설명하기 위한 도,3 is a view for explaining the operation of the screen printing apparatus;

도 4는 인공 모델의 일례를 나타낸 도,4 shows an example of an artificial model;

도 5는 상관 맵의 일례를 나타낸 도,5 shows an example of a correlation map;

도 6은 기판의 임의 패턴을 서치한 결과의 일례를 나타낸 도,6 is a view showing an example of a result of searching for an arbitrary pattern of a substrate;

도 7은 상관값 계산부 ∼ 위치 좌표 연산부에서의 처리 플로우의 일례를 나타낸 도,7 is a diagram showing an example of a processing flow in the correlation value calculation unit to the position coordinate calculation unit;

도 8은 마크 치수 계측 후의 검사·치수 보정에 대한 일례를 나타낸 도,8 is a diagram illustrating an example of inspection and dimension correction after mark dimension measurement;

도 9는 마크 치수 계측 후의 검사·치수 보정에 대한 일례를 나타낸 도,9 is a diagram showing an example of inspection and dimension correction after mark dimension measurement;

도 10은 치수 계산부 및 치수 보정부에서의 처리 플로우의 일례를 나타낸 도,10 is a diagram illustrating an example of a processing flow in a dimension calculation unit and a dimension correction unit;

도 11은 복합식 메탈 스퀴지의 일례를 나타내는 도,11 is a view showing an example of a composite metal squeegee,

도 12는 복합식 메탈 스퀴지를 사용한 인쇄의 일례를 나타내는 도,12 is a view showing an example of printing using a composite metal squeegee,

도 13은 복합식 메탈 스퀴지의 등가 스프링계를 나타내는 도,13 is a view showing an equivalent spring system of the composite metal squeegee,

도 14는 스틸 스프링으로 스퀴지를 형성한 예를 나타내는 도,14 is a view showing an example in which a squeegee is formed of a steel spring;

도 15는 검사 유닛의 단면도,15 is a cross-sectional view of the inspection unit,

도 16은 디스펜서 유닛의 사시도이다.16 is a perspective view of the dispenser unit.

Claims (9)

기판면 위에 마스크를 거쳐 땜납 페이스트를 도포하는 인쇄 유닛을 구비한 땜납 페이스트 인쇄 시스템에 있어서, A solder paste printing system having a printing unit for applying solder paste on a substrate surface via a mask, the solder paste printing system comprising: 불량발생에 기인하는 요소와 각 요소에 대한 처리방법을 지식으로서 기억·축적·보존하는 축적수단과, 상기 인쇄 유닛으로 땜납 페이스트 인쇄를 실시하기 전에 불량발생에 기인하는 요소의 상태를 파악·검사하는 감시수단과, 각 요소가 불량을 발생시킬 염려가 있는지의 여부를 판단·예측하고, 분석한 결과에 의거하여 오퍼레이터에게 품질예보·경보를 발하는 것이 가능한 분석수단과, 불량발생 요인을 제거하는 처리수단을 구비한 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. Accumulation means for storing, accumulating and storing the elements caused by the occurrence of defects and processing methods for each element, and identifying and inspecting the state of the elements due to the occurrence of defects before printing the solder paste with the printing unit. Monitoring means, analytical means for judging and predicting whether or not each element is likely to cause defects, and analytical means capable of making quality forecasts and alarms to the operator based on the analysis results, and processing means for eliminating the causes of defects. Solder paste printing system comprising a. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인쇄 유닛에 있어서 땜납 페이스트 인쇄를 실시한 후에 인쇄결과를 검사하는 검사 유닛과, 검사수단에 의하여 검사한 결과의 정보를 인쇄장치에 통신하는 통신수단과, 검사수단에 의하여 검사한 결과의 정보를 분석하여 새로운 불량 사례를 신규지식으로서 축적수단에 수시 정리·추가 기억을 담당하는 재분석수단을 구비한 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. An inspection unit for inspecting the printing result after the solder paste printing in the printing unit, a communication means for communicating the information of the inspection result by the inspection means to the printing device, and analysis of the information of the inspection result by the inspection means And re-analyzing means for organizing and storing additional storage at any time as new knowledge of new defective cases. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 인쇄 유닛으로 땜납 페이스트 인쇄를 실시한 후, 땜납 페이스트를 가열 ∼ 냉각하여 납땜한 후에, 납땜 외관을 검사하는 검사 유닛과, 상기 검사 유닛에 의하여 검사한 결과의 정보를 상기 인쇄 유닛에 통신하는 통신수단과, 상기 검사 유닛에 의하여 검사한 결과의 정보를 분석하여 새로운 불량 사례를 신규지식으로서 축적수단에 수시 정리·추가 기억을 담당하는 재분석 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. After the solder paste printing is performed by the printing unit, the solder paste is heated and cooled and soldered, and thereafter, an inspection unit for inspecting the appearance of soldering and communication means for communicating information of the inspection result by the inspection unit to the printing unit. And a reanalyzing means for analyzing information on the result of inspection by the inspection unit and reconstructing the storage means from time to time by storing and adding new defective cases as new knowledge. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 인쇄 유닛의 하류측에, 부분적으로 땜납 페이스트를 도포하는 복수의 디스펜서 유닛 또는 납땜 불량부를 수정하는 복수의 리워크 유닛을 배치한 구성으로 한 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. A solder paste printing system comprising a plurality of dispenser units for partially applying solder paste or a plurality of rework units for correcting a defective solder part on a downstream side of the printing unit. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 검사 유닛이 인쇄 빠짐의 인쇄결함을 검출하면, 상기 디스펜서 유닛에서는 상기 인쇄 빠짐부분을 수복하기 위하여 상기 부분에 땜납 페이스트를 도포하는 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. And the dispenser unit applies solder paste to the portion to repair the print-out portion when the inspection unit detects a print defect of the print-out. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 검사 유닛이 땜납 페이스트의 처짐이나 브릿지 및 번짐의 인쇄결함을 검출하면, 상기 복수의 디스펜서 유닛 중, 상기 흡인용 디스펜서를 구비한 디스펜서 유닛에 상기 기판을 반송하고, 그곳에서 여분의 땜납 페이스트를 흡인하는 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. When the inspection unit detects sagging of the solder paste or printing defects of bridges and smears, the substrate is conveyed to the dispenser unit including the suction dispenser among the plurality of dispenser units, and the excess solder paste is sucked therein. Solder paste printing system, characterized in that. 제 4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 검사 유닛이 인쇄의 어긋남을 검출하면, 상기 검사 유닛으로부터 상기 인쇄 유닛 또는 상기 디스펜서 유닛에 어긋남이 발생한 기판과 위치정보와 어긋남량을 상기 인쇄 유닛에 송신하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. When the inspection unit detects a misalignment of printing, the solder paste printing is configured to transmit, from the inspection unit, the substrate and the positional information and the amount of misalignment in which the displacement occurs in the printing unit or the dispenser unit to the printing unit. system. 제 4항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 복수의 디스펜서 유닛 중의 적어도 하나의 유닛의 디스펜서가 접착제 등의 땜납 페이스트 이외의 이종재료를 공급하는 구성인 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. A solder paste printing system, wherein the dispenser of at least one of the plurality of dispenser units is configured to supply dissimilar materials other than solder paste such as an adhesive. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 땜납 페이스트를 인쇄하는 인쇄 유닛을 구성하는 스크린 인쇄장치의 마스크 개구부로부터 기판면에 땜납 페이스트를 밀어 넣는 스퀴지가 선단부 및 중간부를 포함하는 2개소 이상의 부위의 스프링정수를 다른 부위를 구비한 구성인 것을 특징으로 하는 땜납 페이스트 인쇄 시스템. The squeegee for pushing the solder paste into the substrate surface from the mask opening of the screen printing apparatus constituting the printing unit for printing the solder paste has a structure in which two or more spring constants including the leading end and the intermediate part have different parts. Solder paste printing system characterized by.
KR1020080005039A 2005-09-30 2008-01-16 Soldering paste printing system KR20080010479A (en)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005285831A JP2007090789A (en) 2005-09-30 2005-09-30 Screen printing equipment
JPJP-P-2005-00285832 2005-09-30
JP2005285832A JP4618085B2 (en) 2005-09-30 2005-09-30 Solder paste printing system
JPJP-P-2005-00285831 2005-09-30
JP2005285830A JP4899400B2 (en) 2005-09-30 2005-09-30 Screen printing device
JPJP-P-2005-00285830 2005-09-30

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060095538A Division KR20070037388A (en) 2005-09-30 2006-09-29 Screen printer and printing system therewith

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080010479A true KR20080010479A (en) 2008-01-30

Family

ID=38159237

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060095538A KR20070037388A (en) 2005-09-30 2006-09-29 Screen printer and printing system therewith
KR1020080005039A KR20080010479A (en) 2005-09-30 2008-01-16 Soldering paste printing system

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060095538A KR20070037388A (en) 2005-09-30 2006-09-29 Screen printer and printing system therewith

Country Status (2)

Country Link
KR (2) KR20070037388A (en)
TW (1) TW200711850A (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5800434B2 (en) * 2013-01-11 2015-10-28 Ckd株式会社 Inspection system monitoring system
US9579878B1 (en) 2015-10-30 2017-02-28 Industrial Technology Research Institute Gravure printing system and method of using the same
CN117723194B (en) * 2024-02-07 2024-04-16 常州市三洋精密制版有限公司 Tensiometer for screen printing plate detection

Also Published As

Publication number Publication date
KR20070037388A (en) 2007-04-04
TWI322762B (en) 2010-04-01
TW200711850A (en) 2007-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101318399B (en) Screen printing equipment
JP4618085B2 (en) Solder paste printing system
CN107734955B (en) Inspection device for surface mounting line, quality management system, and recording medium
JP4700653B2 (en) Mounting line, mounting board inspection apparatus and inspection method
US20090293265A1 (en) Electronic component mounting system and electronic component mounting method
JP4628205B2 (en) Feedback correction method and component mounting method
US20130192481A1 (en) Screen printing device and screen printing method
KR20090008305A (en) Method for applying and monitoring an application structure comprising a repairing function and device therefor
US9076211B2 (en) Screen printing device and screen printing method
US8833251B2 (en) Screen printing device and screen printing method
JP2002031606A (en) Apparatus and method for evaluating quality, apparatus and method for displaying quality, and quality evaluation system
KR20080010479A (en) Soldering paste printing system
JP5799206B2 (en) Mounting component inspection apparatus, component mounting system, and component mounting method
US10527669B2 (en) IC test system
US8820232B2 (en) Screen printing device and screen printing method
JPH11248800A (en) Probing device and method
US5800856A (en) Mask stencil wear indicator
CN109417865B (en) Production management system of component mounting line
EP3725521B1 (en) Screen printer
JP7042877B2 (en) Parts mounting machine and production control system
JP2003046300A (en) System for managing pcb manufacture line and pcb manufacture managing method
CN114636398A (en) Determining part height deviations
JP2019149587A (en) Cream solder printing process inspection system
WO2016158232A1 (en) Solder cream printing process inspecting method, and solder cream printing process inspecting system
CN109152323A (en) Equipment element repairs management system and equipment element repairs management method

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20090601

Effective date: 20101030