KR20070118744A - Organic electro-luminescence display and fabricating method thereof - Google Patents

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KR20070118744A
KR20070118744A KR1020060052844A KR20060052844A KR20070118744A KR 20070118744 A KR20070118744 A KR 20070118744A KR 1020060052844 A KR1020060052844 A KR 1020060052844A KR 20060052844 A KR20060052844 A KR 20060052844A KR 20070118744 A KR20070118744 A KR 20070118744A
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이주현
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Abstract

An organic electro-luminescence display and a method for fabricating the same are provided to prevent an inlet of a nozzle from clogging by delaying time when color liquid is hardened. An organic electro-luminescence display includes a stage(94), and a surface head(80). A substrate is loaded on the stage. Color liquid is transmitted to the substrate through an end of a nozzle when the surface head with a plurality of nozzles is in contact with the substrate. The organic electro-luminescence display further includes an align mark and a vision system for aligning the stage and the surface head. At least one of the surface head and the stage is used up/down/left/right.

Description

유기 전계 발광표시장치 및 그 제조방법{ORGANIC ELECTRO-LUMINESCENCE DISPLAY AND FABRICATING METHOD THEREOF}Organic electroluminescent display and manufacturing method thereof {ORGANIC ELECTRO-LUMINESCENCE DISPLAY AND FABRICATING METHOD THEREOF}

도 1은 본 발명에 따른 유기 전계 발광표시장치를 나타내는 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating an organic light emitting display device according to the present invention.

도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 유기 전계 표시장치의 제조장치를 나타내는 사시도이다.2 and 3 are perspective views illustrating an apparatus for manufacturing an organic field display device according to the present invention.

도 4a내지 도 4e는 본 발명에 따른 유기 전계 발광표시장치의 제조방법을 나타내는 단면도들이다.4A to 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명><Brief description of symbols for the main parts of the drawings>

20 : 기판 22 : 게이트 전극20 substrate 22 gate electrode

24 : 게이트 절연막 26 : 활성층24 gate insulating film 26 active layer

28 : 소스전극 30 : 드레인 전극28 source electrode 30 drain electrode

32 : 오믹 접촉층 34 : 보호막32: ohmic contact layer 34: protective film

36 : 양극 38 : 격벽36: anode 38: partition

40, 40a, 40b, 40c : 유기 발광층 42 : 음극 40, 40a, 40b, 40c: organic light emitting layer 42: cathode

70 : 노즐 80, 80a, 80b, 80c : 면헤드70: nozzles 80, 80a, 80b, 80c: face head

R: 적색 G : 녹색R: Red G: Green

B : 청색B: blue

본 발명은 유기 전계 발광표시장치에 관한 것으로, 특히 프린팅 방법으로 인한 불량을 막기 위한 유기 전계 발광표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, to an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same for preventing defects caused by a printing method.

다양한 정보를 화면으로 구현해주는 영상표시장치는 정보통신시대의 핵심 기술로 더 얇고 더 가볍고 휴대가 가능하면서도 고성능의 방향으로 발전하고 있다. 이에 음극선관(CRT)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 유기전계 발광표시장치와 같은 평판표시장치가 각광받고 있다. 여기서 유기전계 발광표시장치는 전극사이의 얇은 유기발광층을 이용한 자발광 소자로 종이와 같이 박막화가 가능하다는 장점이 있다.Video display device that implements a variety of information on the screen is a key technology in the information and communication era, and is developing in a direction of thinner, lighter, portable and high performance. Accordingly, flat panel display devices such as organic light emitting display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes (CRTs), have been in the spotlight. Here, the organic light emitting display device is a self-luminous device using a thin organic light emitting layer between electrodes, and has an advantage of thinning like a paper.

유기전계 발광표시장치는 빛을 생성하는 유기물 발광층의 재료에 따라 저분자(Small Molicule) 및 고분자(Polymer) 유기전계 발광표시장치로 구분된다. 저분자 재료는 일반적으로 진공 증착을 통하여 박막 형태로 형성되며, 고분자 재료는 스핀코팅 혹은 잉크젯 프린팅 등의 용액 코팅 방법을 사용하여 박막을 형성한다. The organic light emitting display device is classified into a small molecule and a polymer organic light emitting display device according to the material of the organic light emitting layer that generates light. The low molecular weight material is generally formed in a thin film form through vacuum deposition, and the high molecular material forms a thin film by using a solution coating method such as spin coating or inkjet printing.

여기서, 고분자 재료를 사용하는 잉크젯 프린팅(Ink jet pinter) 방법에 있어서, 복수 개의 잉크 노즐을 가지는 라인 단위의 헤드는 노즐 잉크에 대응되는 컬러필터의 픽셀 상에 컬러액을 여러번 떨어뜨려서 유기물 발광층을 형성한다.Here, in the ink jet pinter method using a polymer material, the head of a line unit having a plurality of ink nozzles forms an organic light emitting layer by dropping a color liquid several times on the pixels of the color filter corresponding to the nozzle ink. do.

이때, 잉크 노즐은 잉크를 원하는 픽셀에 떨어뜨리는 공정에서 빠른 시간 내에 떨어뜨리지 못하는 경우 잉크 노즐의 투입부에서 잉크액이 굳어짐으로써 컬러액이 전사되지 않는다. 이러한 경우, 컬러액이 떨어지지 않은 곳을 다시 찾아 컬러액을 떨어뜨려 공정상에 시간이 지연되는 문제점이 있다. At this time, when the ink nozzle does not drop quickly in the process of dropping ink on a desired pixel, the color liquid is hardened at the input portion of the ink nozzle so that the color liquid is not transferred. In this case, there is a problem that the time is delayed in the process by dropping the color liquid to find again where the color liquid did not fall.

또한, 컬러액을 떨어뜨리는 시간이 지연됨에 따라 현재 공정 중인 픽셀과 그 전에 공정한 픽셀의 형성 상태가 달라져서 유기 전계 발광표시장치를 구동시 발광 균일도가 저하된다. 또한, 택트(Tact) 타임을 맞추기 위해 정지 상태가 아닌 이동 간에 컬러액을 떨어뜨리기 때문에 격벽 및 인접한 서브 픽셀에 컬러이 떨어질 우려가 있다. 이에 따라, 선택된 픽셀 이외의 곳에 컬러액이 떨어져 불량품이 발생하는 문제점이 있다.In addition, as the time for dropping the color liquid is delayed, the state of formation of the pixel currently being processed and the pixel previously processed is different, thereby decreasing the uniformity of light emission when the OLED is driven. In addition, since the color liquid is dropped between movements that are not stationary to match the tact time, there is a fear that the color may fall on the partition wall and adjacent subpixels. Accordingly, there is a problem that a defective product occurs due to the color liquid falling off at other than the selected pixel.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 프린팅 방법으로 인한 불량을 막기 위한 유기 전계 발광표시장치 및 그 제조방법을 제공하는데 있다.Accordingly, an aspect of the present invention is to provide an organic light emitting display device and a method of manufacturing the same for preventing defects caused by a printing method.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계 발광표시장치의 제조방법은 기판 상에 양극을 형성하는 단계와; 다수 개의 노즐이 형성된 면헤드와 상기 양극이 형성된 기판이 접촉된 상태에서 상기 노즐 끝단을 통해 상기 양극 상으로 컬러액이 전사되어 유기 발광층을 형성하는 단계와; 상기 유기 발광 층 상에 음극이 형성되는 단계를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention comprises the steps of forming an anode on a substrate; Forming a organic light emitting layer by transferring a color liquid onto the anode through the nozzle end in a state in which the face head having a plurality of nozzles is in contact with the substrate on which the anode is formed; It characterized in that it comprises a step of forming a cathode on the organic light emitting layer.

구체적으로, 상기 유기 발광층을 형성하는 단계는 상기 면헤드를 상기 기판쪽으로 상승시켜 상기 노즐 끝단에 매달린 컬러액과 상기 기판을 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.Specifically, the forming of the organic light emitting layer may include contacting the substrate with the color liquid suspended at the nozzle end by raising the face head toward the substrate.

또한, 상기 유기 발광층을 형성하는 단계는 상기 기판은 상기 면헤드쪽으로 상승시켜 노즐 끝단에 매달린 컬러액과 상기 기판을 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The forming of the organic light emitting layer may include contacting the substrate with the color liquid suspended from the nozzle end by raising the substrate toward the surface head.

또한, 상기 양극과 접속되는 박막트랜지스터를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.The method may further include forming a thin film transistor connected to the anode.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 유기 전계 발광표시장치의 제조장치는 기판이 안착된 스테이지와; 다수 개의 노즐을 가지며 상기 기판과 접촉된 상태에서 상기 노즐 끝단을 통해 상기 기판으로 상기 컬러액을 전사하는 면헤드를 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, an apparatus for manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention includes a stage on which a substrate is mounted; And a surface head having a plurality of nozzles and transferring the color liquid to the substrate through the nozzle end in contact with the substrate.

여기서, 상기 스테이지와 상기 면헤드를 얼라인시키는 얼라인 마크 및 비젼 시스템을 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.The apparatus may further include an alignment mark and a vision system for aligning the stage and the face head.

또한, 상기 면헤드 및 스테이지 중 적어도 어느 하나는 상/하/좌/우 방향으로 이용되는 것을 특징으로 한다.In addition, at least one of the surface head and the stage is characterized in that used in the up / down / left / right direction.

상기 기술적 과제 외에 본 발명의 다른 기술적 과제 및 이점들은 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 설명을 통해 명백하게 드러나게 될 것이다. Other technical problems and advantages of the present invention in addition to the above technical problem will be apparent from the description of the preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 도 1 내지 도 4f를 참조하여 명백하게 드러나게 될 것이다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Preferred embodiments of the present invention will now become apparent with reference to FIGS. 1-4F.

도 1은 본 발명에 따른 유기전계 발광표시장치의 단면도이다.1 is a cross-sectional view of an organic light emitting display device according to the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이 유기전계 발광표시장치는 기판(20) 상에 형성된 박막트랜지스터와, 박막트랜지스터와 접속되며 빛을 투과시키는 양극(36)와, 양극(36)을 노출시키는 격벽(38)과, 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 빛을 생성하는 유기발광층(40)과, 빛을 반사시키는 음극(42)을 구비한다. As shown in FIG. 1, the organic light emitting display device includes a thin film transistor formed on the substrate 20, an anode 36 connected to the thin film transistor and transmitting light, and a partition 38 exposing the anode 36. And an organic light emitting layer 40 for generating red (R), green (G), and blue (B) light, and a cathode 42 for reflecting light.

박막트랜지스터는 양극(36)에 정공을 주입하기 위한 구동 신호를 공급한다. 이러한 박막 트랜지스터는 게이트 라인과 접속된 게이트 전극(22)과, 게이트 전극(22)을 덮는 게이트 절연막(24) 상에 형성된 활성층(26)과, 활성층(26)의 양측면 상에 형성된 오믹 접촉층(32)과, 오믹 접촉층(32)의 일측에 형성된 소스전극(28)과, 오믹 접촉층(32)의 타측에 형성된 드레인 전극(30)으로 구성된다.The thin film transistor supplies a driving signal for injecting holes into the anode 36. Such a thin film transistor includes a gate electrode 22 connected to a gate line, an active layer 26 formed on the gate insulating layer 24 covering the gate electrode 22, and an ohmic contact layer formed on both sides of the active layer 26 ( 32, a source electrode 28 formed on one side of the ohmic contact layer 32, and a drain electrode 30 formed on the other side of the ohmic contact layer 32.

양극(36)은 보호막(34)을 관통하는 컨택홀에 의해 드레인 전극(30)과 접속되며 박막트랜지스터를 통해 정공을 주입하기 위한 구동 신호가 공급된다. 이러한 양극(36)은 유기발광층(40)으로부터 생성된 가시광을 외부로 투과시킨다. 양극(36)은 빛을 투과시키기 위해 투명 전도성 물질인 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide : IZO)등을 사용한다. The anode 36 is connected to the drain electrode 30 by a contact hole penetrating the passivation layer 34 and is supplied with a driving signal for injecting holes through the thin film transistor. The anode 36 transmits visible light generated from the organic light emitting layer 40 to the outside. The anode 36 uses indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), which is a transparent conductive material, to transmit light.

격벽(38)은 각 화소 영역의 양극(36)을 노출시키는 홀을 가지도록 형성된다. 이러한 격벽(38)은 유기절연 물질이 이용된다.The partition wall 38 is formed to have a hole exposing the anode 36 of each pixel region. The partition 38 is formed of an organic insulating material.

유기 발광층(40)은 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층을 포함하도록 형성된다. 이러한 유기 발광층(40)은 추후에 설명할 도 2에 도시된 면헤드(80)를 통해 서브픽셀 별로 적(R), 녹(G), 청색(B) 컬러를 구현하도록 형성된다. 이 유기 발광층(40)에 포함된 발광층은 양극(36)에 공급된 전류량에 따라 발광하여 양극(36)을 경유하여 기판(20)쪽으로 빛을 방출한다. The organic light emitting layer 40 is formed to include a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, an electron injection layer. The organic light emitting layer 40 is formed to implement red (R), green (G), and blue (B) colors for each subpixel through the face head 80 shown in FIG. 2 to be described later. The light emitting layer included in the organic light emitting layer 40 emits light according to the amount of current supplied to the anode 36 to emit light toward the substrate 20 via the anode 36.

음극(42)은 유기 발광층(40)이 형성된 기판(20) 상에 형성되며, 음극(42)에는 전자를 주입하기 위한 구동신호가 공급된다. 이러한 음극(42)은 유기 발광층(40)로부터 생성된 빛을 기판(20)쪽으로 반사시켜 외부로 방출하게 한다. 이를 위한, 음극(42)은 반사율이 높은 Al 등의 금속 또는 둘 이상의 합금을 사용한다.The cathode 42 is formed on the substrate 20 on which the organic light emitting layer 40 is formed, and a driving signal for injecting electrons is supplied to the cathode 42. The cathode 42 reflects the light generated from the organic emission layer 40 toward the substrate 20 and emits the light to the outside. For this purpose, the cathode 42 uses a metal such as Al having high reflectivity or two or more alloys.

이와 같이 본 발명에 따른 전계 발광 소자는 양극(36)와 음극(42) 각각에 구동 신호가 인가되면 전자과 정공이 방출되고, 양극(36) 및 음극(42)에서 방출된 전자와 정공은 유기발광층(40)내에서 재결합하면서 가시광을 발생하게 된다. 이때, 유기발광층(40)에서 발생된 가시광은 면헤드(80)를 통해 유기 발광층(40) 형성된 고분자 유기 물질의 컬러액으로 인해 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 색을 띄는 화상을 구현하며 화상 균일도를 균일하게 할 수 있다.As such, when the driving signal is applied to each of the anode 36 and the cathode 42, electrons and holes are emitted, and the electrons and holes emitted from the anode 36 and the cathode 42 are organic light emitting layers. Recombination within 40 generates visible light. At this time, the visible light generated in the organic light emitting layer 40 is red (R), green (G), blue (B) color due to the color liquid of the polymer organic material formed on the organic light emitting layer 40 through the face head 80 It is possible to realize a prominent image and to make the image uniformity uniform.

도 2를 참조하면, 유기 전계 표시장치의 제조장치는 컬러액을 전사시키는 노즐(70)과, 적색(R) 컬러액을 맺히도록 형성하여 양극 상에 전사하는 노즐(70)을 가지는 제 1 면헤드(80a)와, 녹색(G) 컬러액을 맺히도록 형성하여 양극 상에 전사하는 노즐(70)을 가지는 제 2 면헤드(80b)와, 청색(B) 컬러액을 맺히도록 형성하여 양극 상에 전사하는 노즐(70)을 가지는 제 3 면헤드(80c)와 정확한 곳에 얼라인 시키기 위한 얼라인 마크(92)와, 컬러액을 전사시키는 노즐(70)들을 가지는 스테이지 (94)와, 얼라인 마크(92)에 따라 면헤드(80)나 스테이지(94)를 움직여 정확한 곳에 컬러액을 접촉시키도록 제어하는 비젼 시스템(90)이 포함된다.Referring to FIG. 2, an apparatus for manufacturing an organic field display device includes a first surface including a nozzle 70 for transferring a color liquid and a nozzle 70 formed to form a red (R) color liquid and transferring onto the anode. The second surface head 80b having the head 80a and the nozzle 70 formed to form a green (G) color liquid and transferred onto the anode, and formed to form a blue (B) color liquid and formed on the anode A third surface head 80c having a nozzle 70 to be transferred to the substrate, an alignment mark 92 for aligning the correct position, a stage 94 having nozzles 70 to transfer the color liquid, and an alignment A vision system 90 is included that controls the face head 80 or stage 94 in accordance with the mark 92 to control the color liquid to contact the correct spot.

제 1 면헤드(80a)는 적색(R) 컬러를 가지는 서브픽셀(SP)에 대응되는 위치에 적색(R) 컬러액을 전사하는 여러 개의 노즐(70)을 가진다. 제 2 면헤드(80)는 녹색(G) 컬러를 가지는 서브픽셀(SP)에 대응되는 위치에 녹색(G) 컬러액을 전사하는 여러 개의 노즐(70)을 가진다. 제 3 면헤드(80c)는 녹색(G) 컬러를 가지는 서브픽셀(SP)에 대응되는 위치에 녹색(B) 컬러액을 전사하는 여러 개의 노즐(70)을 가진다. The first surface head 80a has a plurality of nozzles 70 transferring the red color liquid at a position corresponding to the subpixel SP having the red color. The second face head 80 has a plurality of nozzles 70 transferring the green (G) color liquid at a position corresponding to the subpixel SP having the green (G) color. The third surface head 80c has a plurality of nozzles 70 transferring the green (B) color liquid at a position corresponding to the subpixel SP having the green (G) color.

노즐(70)은 스테이지(94) 상에 안착된 기판(20)과 접촉한 상태로 제 1 내지 제 3 면헤드(80a, 80b, 80c) 상에 여러 개로 형성되며, 적색(R), 녹색(G), 적색(B) 컬러액을 기판(20)으로 전사시킨다. 이때, 컬러액(R G, B)은 일정량이 노즐(70) 끝단에 매달려 한번에 원하는 곳에 유기 발광층(40)을 형성할 수 있도록 한다.A plurality of nozzles 70 are formed on the first to third surface heads 80a, 80b, and 80c in contact with the substrate 20 seated on the stage 94, and red (R) and green ( G), the red (B) color liquid is transferred to the substrate 20. In this case, the color liquids R G and B are suspended in a predetermined amount at the ends of the nozzles 70 to form the organic light emitting layer 40 at a desired place.

스테이지(94) 상에는 화상을 구현하는 표시장치를 가지는 기판(20)이 안착된다. 이에 따라, 스테이지(94)는 비젼 시스템(90)의 제어를 통해 기판을 상/하/좌/우 방향으로 이동시킨다. 얼라인 마크(92)는 스테이지(94) 상에 형성되며 제 1 내지 제 3 면헤드(80a, 80b, 80c)의 노즐(70)과 기판(20)의 얼라인시 기준점으로 이용된다. 비젼 시스템(90)은 스테이지(94)와 면헤드(80)의 얼라인의 정확성을 측정하기 위한 장치다.On the stage 94, a substrate 20 having a display device for implementing an image is mounted. Accordingly, the stage 94 moves the substrate in the up / down / left / right directions through the control of the vision system 90. The alignment mark 92 is formed on the stage 94 and is used as a reference point for aligning the nozzles 70 of the first to third surface heads 80a, 80b, and 80c and the substrate 20. The vision system 90 is a device for measuring the accuracy of the alignment of the stage 94 and the face head 80.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 유기 전계 표시장치의 제조장치을 나타내는 다른 실시 예로 하나의 면헤드(80)에 순차적으로 적색(R), 녹색(G), 청색(B)을 가지는 노즐(70)을 포함한다.Referring to FIG. 3, a nozzle 70 having red (R), green (G), and blue (B) sequentially in one face head 80 according to another embodiment of the manufacturing apparatus of the organic field display device according to the present invention. ).

이러한 제 1 내지 제 3 면헤드(80a, 80b, 80c) 및 하나의 면헤드(80)는 빠른 공정을 통해 발광 균일도를 균형있게 할 수 있다. The first to third surface heads 80a, 80b, and 80c and one surface head 80 may balance light emission uniformity through a fast process.

노즐(70)은 제 1 내지 제 3 면헤드(80a, 80b, 80c) 상에 형성되며, 각각의 적색(R), 녹색(G), 청색(b) 컬러액이 대응되는 위치의 서브픽셀에 접촉하여 컬러액이 전사되어 유기 발광층(40)이 형성된다. 여기서 노즐(70)은 한번에 적당량으로 유기 발광층(40)을 형성해야함으로 적당량의 투입구를 가진다.The nozzles 70 are formed on the first to third surface heads 80a, 80b, and 80c, and the red (R), green (G), and blue (b) color liquids are positioned on the subpixels corresponding to the color liquids. In contact, the color liquid is transferred to form the organic emission layer 40. Here, the nozzle 70 has an appropriate amount of inlet because the organic light emitting layer 40 must be formed in an appropriate amount at one time.

도 4a 내지 도 4e는 본 발명에 따른 유기 전계 발광표시장치의 제조방법을 나타내는 단면도들이다.4A through 4E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.

도 4a를 참조하면, 기판(20)상에 박막 트랜지스터, 박막트랜지스터의 드레인 전극을 노출시키는 컨택홀을 가지는 보호막(34) 및 콘택홀을 통해 박막트랜지스터와 접속된 양극(36)이 형성된다.Referring to FIG. 4A, a passivation layer 34 having a thin film transistor, a contact hole exposing a drain electrode of the thin film transistor, and an anode 36 connected to the thin film transistor through the contact hole are formed on the substrate 20.

구체적으로, 기판(20) 상에 게이트 전극(22)이 형성된 후 게이트 전극(22)을 덮도록 게이트 절연막(24)을 형성하고, 그 게이트 절연막(24) 상에 활성층(26) 및 오믹 접촉층(32)이 형성된 후 오믹접촉층(32)에 의해 노출된 활성층(26)의 채널 영역을 사이에 두고 마주하는 소스 및 드레인 전극(28, 30)이 형성됨으로써 박막트랜지스터가 완성된다. Specifically, after the gate electrode 22 is formed on the substrate 20, the gate insulating film 24 is formed to cover the gate electrode 22, and the active layer 26 and the ohmic contact layer are formed on the gate insulating film 24. After the 32 is formed, the source and drain electrodes 28 and 30 facing each other with the channel region of the active layer 26 exposed by the ohmic contact layer 32 are formed to complete the thin film transistor.

그런 다음, 박막트랜지스터를 덮도록 무기 절연 물질 또는 유기 절연 물질이 도포됨으로써 보호막(34)이 형성된다. 이 보호막(34)이 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 패터닝됨으로써 컨택홀이 형성된다. 보호막(34)이 형성된 기판(20) 상에 투명 전도성 물질을 전면에 도포한 후 그 투명 전도성 물질이 포토리소그래피 공정에 의해 패터닝됨으로써 양극(36)이 형성된다. 여기서, 양극(36)은 투명 전도성 물질인 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : ITO) 또는 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide : IZO)등을 사용한다.Then, an inorganic insulating material or an organic insulating material is applied to cover the thin film transistor to form the protective film 34. The protective film 34 is patterned by a photolithography process and an etching process to form contact holes. The anode 36 is formed by applying a transparent conductive material to the entire surface on the substrate 20 on which the protective film 34 is formed, and then patterning the transparent conductive material by a photolithography process. Here, the anode 36 uses indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO), which is a transparent conductive material.

도 4b를 참조하면, 양극(36)이 형성된 기판(20) 상에 격벽(38)이 형성된다.Referring to FIG. 4B, a partition wall 38 is formed on the substrate 20 on which the anode 36 is formed.

구체적으로, 양극(36)이 형성된 보호막(34) 상에 유기 절연 물질이 증착됨으로써 격벽(38)이 형성된다. 이 격벽(38)은 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 패터닝됨으로써 양극(36)을 노출시키는 홀이 형성된다. 이러한 격벽(38)은 유기절연 물질이 이용된다. 여기서, 격벽(38)은 감광성 유기 절연 물질을 이용하는 경우 포토리소그래피 공정으로만 홀을 형성할 수 있다. 이 격벽(38)은 전면에 불소를 포함하는 플라즈마를 이용하여 표면 처리함으로써 면헤드(80)에 형성된 컬러액을 양극(36)쪽으로 끌어당기도록 한다.Specifically, the partition wall 38 is formed by depositing an organic insulating material on the protective film 34 on which the anode 36 is formed. The partition wall 38 is patterned by a photolithography process and an etching process using a mask to form holes for exposing the anode 36. The partition 38 is formed of an organic insulating material. Here, when the photosensitive organic insulating material is used, the partition 38 may form a hole only by a photolithography process. The partition wall 38 is surface-treated with a plasma containing fluorine on its entire surface to attract the color liquid formed on the face head 80 toward the anode 36.

도 4c를 참조하면, 면헤드(80)는 컬러액이 노즐(70) 끝단에 매달린채 기판(20)과 대응된다.Referring to FIG. 4C, the face head 80 corresponds to the substrate 20 with the color liquid suspended at the end of the nozzle 70.

구체적으로, 격벽(38)이 형성된 기판(20)과, 노즐(70)의 끝단에 매달린채 형성된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)을 가지는 컬러액을 포함하는 면헤드(80)는 대응된다. Specifically, the surface head 80 including a substrate 20 on which the partition wall 38 is formed and a color liquid having red (R), green (G), and blue (B) formed while being suspended from the end of the nozzle 70. ) Corresponds.

도 4d를 참조하면, 양극(36)이 형성된 기판(20)과 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러액를 가지는 노즐(70)이 접촉한다. Referring to FIG. 4D, the substrate 20 on which the anode 36 is formed contacts the nozzle 70 having red (R), green (G), and blue (B) color liquids.

구체적으로, 다수개의 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러액이 토출되는 통로인 노즐(70)이 형성된 면헤드(80) 쪽으로 양극(36)이 형성된 기판(20)이 안착된 스테이지가 상승됨으로써 면헤드(80)와 기판(20)은 서로 접촉하게 된다. Specifically, the substrate 20 having the anode 36 formed thereon is seated toward the surface head 80 on which the nozzle 70 is formed, which is a passage through which a plurality of red (R), green (G), and blue (B) color liquids are discharged. When the stage is raised, the surface head 80 and the substrate 20 come into contact with each other.

다른 방법으로 양극(36)이 형성된 기판(20) 쪽으로 면헤드(80)가 하강하게 됨으로써 면헤드(80)와 기판(20)은 서로 접촉하게 된다.Alternatively, the surface head 80 is lowered toward the substrate 20 on which the anode 36 is formed so that the surface head 80 and the substrate 20 come into contact with each other.

도 4e를 참조하면, 양극(36)과 격벽(38)이 형성된 기판(20) 상에 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러를 가지는 유기 발광층(40a, 40b, 40c)이 형성된다.Referring to FIG. 4E, organic light emitting layers 40a, 40b, and 40c having red (R), green (G), and blue (B) colors may be formed on the substrate 20 on which the anode 36 and the partition wall 38 are formed. Is formed.

구체적으로, 면헤드(80)의 노즐(70)과 양극(36)이 접촉된 상태로 면헤드(80)의 적색(R), 녹색(G), 청색(B) 컬러액이 양극(36) 상으로 전사된다. 이 후 기판(20)이 안착된 스테이지(94)가 면헤드(80)의 반대쪽으로 하강하거나 면헤드(80)가 기판(20)의 반대쪽으로 상승하게 됨으로써 노즐(70)과 기판(20)이 분리된다. Specifically, the red (R), green (G), and blue (B) color liquids of the face head 80 are in contact with the nozzle 70 of the face head 80 and the anode 36. Is transferred to the image. Thereafter, the stage 94 on which the substrate 20 is seated descends to the opposite side of the face head 80 or the face head 80 rises to the opposite side of the substrate 20 so that the nozzle 70 and the substrate 20 Are separated.

도 4f를 참조하면, 유기 발광층(40a, 40b, 40c)이 형성된 기판(20) 전면에 음극(42)이 형성된다.Referring to FIG. 4F, a cathode 42 is formed on the entire surface of the substrate 20 on which the organic emission layers 40a, 40b, and 40c are formed.

구체적으로, 유기 발광층(40a, 40b, 40c) 상에 반사율이 높은 물질로 도포됨으로써 음극(42)이 형성된다. 이러한 음극(42)은 알루미늄 등의 반사율이 높은 금속을 사용한다. Specifically, the cathode 42 is formed by applying a material having a high reflectance on the organic light emitting layers 40a, 40b, and 40c. The cathode 42 uses a metal having high reflectance such as aluminum.

한편, 면헤드(80)는 노즐(70)의 끝단으로부터 컬러액을 매달고 있는 상태에서 기판(20)을 상승시켜 서로 접촉시켜 컬러액을 전사시키는 것을 예로 하였지만, 이외에 컬러액이 없는 상태의 노즐(70) 끝단과 접촉되도록 기판(20)을 상승시킨 후 노즐(70) 끝단으로부터 컬러액을 토출시켜 유기 발광층(40)을 형성할 수 있다. On the other hand, the surface head 80 is an example of raising the substrate 20 in contact with each other in a state in which the color liquid is suspended from the end of the nozzle 70 to transfer the color liquid. 70) The organic light emitting layer 40 may be formed by raising the substrate 20 so as to contact the end and then discharging the color liquid from the end of the nozzle 70.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 유기 전계 발광표시장치는 다수 개의 노즐을 가지는 면헤드와 기판이 접촉된 상태에서 컬러액이 노즐로부터 기판으로 전사됨으로써 유기발광층이 형성된다.As described above, in the organic light emitting display device according to the present invention, the organic light emitting layer is formed by transferring the color liquid from the nozzle to the substrate while the surface head having the plurality of nozzles is in contact with the substrate.

이와 같이 본 발명에 따른 유기 전계 발광 표시 장치는 노즐에 매달린 잉크액을 원하는 위치에서 접촉시켜 유기 발광층을 형성하므로 종래 노즐을 통해 여러 방울의 컬러 잉크를 떨어뜨려 유기발광층을 형성하는 것에 비해 컬러액이 경화되는 시간이 지연되어 노즐의 투입구가 막히는 현상을 막을 수 있다.As described above, the organic electroluminescent display device according to the present invention forms an organic light emitting layer by contacting the ink liquid suspended from the nozzle at a desired position. The curing time may be delayed to prevent the nozzle from clogging.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아나라 특허 청구의 범위에 의해 정해져야만 할 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (7)

기판 상에 양극을 형성하는 단계와;Forming an anode on the substrate; 다수 개의 노즐이 형성된 면헤드와 상기 양극이 형성된 기판이 접촉된 상태에서 노즐 끝단에 매달린 컬러액이 상기 양극 상으로 전사되어 유기 발광층을 형성하는 단계와;Forming a organic light emitting layer by transferring a color liquid suspended on a nozzle end in a state in which a face head having a plurality of nozzles is in contact with a substrate on which an anode is formed; 상기 유기 발광층 상에 음극이 형성되는 단계를 포함하여 구성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치의 제조방법.  And forming a cathode on the organic light emitting layer. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 발광층을 형성하는 단계는Forming the organic light emitting layer 상기 면헤드를 상기 기판쪽으로 상승시켜 상기 노즐 끝단에 매달린 컬러액과 상기 기판을 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치의 제조방법.And raising the face head toward the substrate to contact the substrate with the color liquid suspended at the end of the nozzle. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 유기 발광층을 형성하는 단계는Forming the organic light emitting layer 상기 기판을 상기 면헤드쪽으로 상승시켜 상기 노즐 끝단에 매달린 컬러액과 상기 기판을 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치의 제조방법.And raising the substrate toward the surface head so as to contact the substrate with the color liquid suspended at the end of the nozzle. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 양극과 접속되는 박막트랜지스터를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치의 제조방법.A method of manufacturing an organic light emitting display device, the method comprising: forming a thin film transistor connected to the anode. 기판이 안착된 스테이지와;A stage on which the substrate is mounted; 다수 개의 노즐을 가지며 상기 기판과 접촉된 상태에서 상기 노즐 끝단을 통해 상기 기판으로 상기 컬러액을 전사하는 면헤드를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치의 제조장치.And a surface head having a plurality of nozzles and transferring a surface of said color liquid to said substrate through said nozzle end in contact with said substrate. 제 5 항에 있어서, The method of claim 5, 상기 스테이지와 상기 면헤드를 얼라인시키는 얼라인 마크 및 비젼 시스템을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치의 제조장치.And an alignment mark and a vision system for aligning the stage and the face head. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 면헤드 및 스테이지 중 적어도 어느 하나는 상/하/좌/우 방향으로 이용되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광표시장치의 제조장치.And at least one of the surface head and the stage is used in an up / down / left / right direction.
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