KR20070112509A - Ｕｖ 차단 마스크 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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KR20070112509A
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Abstract

본 발명은 UV 차단 마스크에 관한 것으로, 구체적으로 상기 UV 차단 마스크는 투명기판; 상기 투명기판상에 다수개의 셀 단위로 형성된 차단패턴; 및 상기 투명기판을 지지하며, 상기 투명기판을 탈착 또는 부착할 수 있는 지지부재를 포함함으로써, 상기 UV 차단 마스크의 제조 비용을 절감하며, 대면적으로 제조할 수 있다.
유기 전계 발광 표시 장치, UV 차단, 마스크, 봉지

Description

ＵＶ 차단 마스크 및 이의 제조 방법 {UV blocking mask and method for fabricating the same}
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 UV 차단 마스크를 설명하기 위해 도시한 도면들이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 UV 차단 마스크를 구성하는 지지부재의 다양한 형태를 도시한 사시도들이다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 UV 차단 마스크의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 공정도들이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 도면들이다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 도면들이다.
(도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명)
100, 200, 300 : 투명기판 110, 210, 220 : 차단패턴
120, 220, 320 : 보호막 130 : 지지부재
132 : 진공홀 133 : 홈
134 : 개구부 136 : 고정부
본 발명은 UV 차단 마스크에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로 유기 전계 발광 표시장치를 제조하기 위해 사용되는 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
최근 표시장치의 대형화에 따라 공간 점유가 적은 평면표시소자의 요구가 증대되고 있는데, 이러한 평면표시소자 중 하나인 유기 전계 발광 표시 장치의 기술이 빠른 속도로 발전하고 있다.
이와 같은 유기 전계 발광 표시 장치는 기본적으로 서로 대향되며 위치하는 양극과 음극, 그리고 두 전극 사이에 게재된 유기 발광층을 포함한다. 이때, 상기 두전극에 전류를 인가하면, 상기 양극과 음극에서 각각 정공과 전자가 주입되고, 주입된 정공과 전자는 상기 유기 발광층으로 이동하여 엑시톤(exciton)을 형성한다. 상기 엑시톤이 여기상태에서 기저상태로 떨어질 때 발광하게 됨으로써, 화상을 구현한다.
한편, 상기 유기 발광층은 외부의 수분이나 산소에 의해 쉽게 열화되어, 유기 전계 발광 표시 장치의 수명을 감축시킨다. 이를 해결하기 위해, 상기 양극, 상 기 유기 발광층, 상기 음극이 형성된 기판을 봉지기판으로 봉지하는 공정을 수행한다. 여기서, 상기 봉지기판은 상기 두 전극과 상기 유기 발광층을 감싸도록 합착되어, 외부의 수분 및 산소로부터 상기 유기 발광층을 보호한다.
이와 같은 봉지공정은 상기 봉지기판의 외곽부에 UV 경화성 수지를 도포한 뒤, 상기 봉지기판과 상기 기판을 밀착시킨다. 이후, 상기 기판상으로 UV 차단 마스크를 얼라인하고, 상기 UV 차단 마스크로 UV를 조사하여 상기 UV 경화성 수지를 경화시킴으로써, 상기 기판과 상기 봉지기판을 견고하게 합착시킨다.
여기서, 상기 UV 차단 마스크는 상기 유기 발광층을 포함하는 화소영역을 UV로부터 차단하며, 상기 외곽부 특히, 상기 UV 경화성 수지가 형성된 영역으로 UV를 조사하는 역할을 수행한다. 이는 상기 표시영역내에 형성된 유기 발광층을 포함하는 유기막이 상기 UV에 의해 쉽게 열화 되기 때문이다.
종래의 UV 차단 마스크는 UV 투과율이 뛰어난 합석 석영상에 UV차단 물질을 도포한 뒤, 패터닝하여 형성하였다.
그러나, 오늘날 상기 유기 전계 발광 표시 장치를 형성하는 모 기판의 크기가 커지는 추세에 따라, 상기 UV 차단 마스크의 크기와 두께도 커지게 되므로, 상기 UV 마스크를 제조하는데 어려움이 있다. 이는 상기 UV 차단 마스크의 원재료인 합석 석영의 원가가 비싸서, 상기 UV 차단 마스크의 제작 비용이 증가 될 뿐만 아니라, 상기 합석 석영의 크기를 크게 형성하는 데 한계가 있기 때문이다. 또, 상기 유기 전계 발광 표시 장치의 크기가 변경될 때마다, 상기 UV 차단 마스크를 새로 제작해야 하므로, 초기 개발 비용이나 생산투자비용이 증가하게 된다.
본 발명은 생산 비용을 줄이며 대면적 기판에 적용할 수 있는 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법을 제공한다.
또, 생산되는 유기 전계 발광 표시 장치의 모델 변경시 교체가 용이한 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법을 제공한다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 UV 차단 마스크를 제공한다. 상기 UV 차단 마스크는 투명기판; 상기 투명기판상에 다수개의 셀 단위로 형성된 차단패턴; 및 상기 투명기판을 지지하며, 상기 투명기판을 탈착 또는 부착할 수 있는 지지부재를 포함한다.
여기서, 상기 투명기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.
이때, 상기 투명기판의 두께는 0.3 내지 1.2 mm일 수 있다.
또, 상기 투명기판은 요철부(凹凸)를 구비할 수 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 일 측면의 UV 차단 마스크를 제공한다. 상기 UV 차단 마스크는 요철부(凹凸)가 형성된 투명기판; 및 상기 철부(凸)에 형성된 차단패턴을 포함한다.
상기 요부(凹)에 대응된 투명기판의 두께는 0.3 내지 1.2 mm일 수 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 또 다른 일 측면은 UV 차단 마스크의 제조 방법을 제공한다. 상기 제조 방법은 투명기판을 제공하는 단계; 상기 투명기판상에 셀 단위로 다수개의 차단패턴을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 투명기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 또 다른 일 측면의 UV 차단 마스크의 제조 방법을 제공한다. 상기 제조 방법은 투명기판에 요철부(凹凸)를 형성하는 단계; 및 상기 철부(凸)에 차단패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
이하, 도면을 참고하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 UV 차단 마스크를 설명하기 위해 도시한 도면들이다. 여기서, 도 1a는 상기 UV 차단 마스크의 평면도이고, 도 1b는 도 1a를 Ｉ-Ｉ'로 취한 단면도이다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 상기 UV 차단 마스크는 투명기판(100)과, 상기 투명기판(100)상에 형성된 UV를 차단할 수 있는 차단패턴(110)을 포함한다. 여기서, 상기 차단패턴(110)은 상기 투명기판(100)상에 다수개의 셀 단위로 형성된다. 상기 셀 단위는 하나의 유기 전계 발광 표시 장치의 표시영역에 대응된 영역이다.
상기 투명기판(100)은 상기 UV 차단마스크의 제조 비용 중 큰 비중을 차지하므로, 상기 투명기판(100)을 가격이 저렴하며, 대면적으로 만들기 용이한 유리기판으로 형성하는 것이 바람직하다. 이를테면, 상기 유리기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다. 이로써, 상기 투명기판(100)을 종래에 합석석영 대신 가격이 저렴한 상기 유리 기판으로 대체함으로써, 상기 UV 차단 마스크의 제조 비용을 절감할 수 있다. 그러나, 상기와 같이 유리기판은 종래의 합석 석영보다 UV 투과율이 낮다는 문제점이 있다. 이로써, 상기 투명기판(100)을 상기 유리 기판으로 대체할 경우, 상기 투명기판(100)은 0.3 내지 1.2 mm의 두께를 가지도록 한다. 이는 상기 투명기판(100)의 두께가 0.3mm미만이면, 상기 UV 차단 마스크의 내구성이 저하되어 쉽게 파손될 수 있을 뿐만 아니라, 대면적으로 형성할 경우 휨 현상이 발생할 수 있다. 이와 달리, 상기 투명기판(100)의 두께가 1.2mm를 초과하면, 상기 UV 차단 마스크의 UV 투과율이 낮아지게 된다.
상기 차단패턴(110)은 UV를 차단할 수 있으며, 상기 투명기판(100)과 접착력이 좋고 박막 밀도가 우수한 UV 차단 물질로 형성할 수 있다. 이를 테면, 상기 차단패턴(110)은 금속으로써, Al, Cr 또는 Mo 중 어느 하나로 형성될 수 있다.
상기 UV 차단 마스크는 상기 차단패턴(110)을 포함하는 상기 투명기판(100) 상에 형성된 보호막(120)을 더 포함할 수 있다. 여기서, 상기 보호막(120)은 상기 차단패턴(110)이 벗겨지거나 손상되는 것을 방지하는 역할을 한다. 이때, 상기 보호막(120)은 UV 투과율이 우수한 무기막으로써, 크롬 산화막, 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나로 형성할 수 있다.
또, 상기 UV 차단 마스크는 상기 투명기판(100)을 지지하는 지지부재(130)를 더 포함할 수 있다. 이는, 상기 투명기판(100)이 휘어지거나, 대면적으로 형성할 경우, 상기 투명기판(100)의 두께가 두꺼워져야 하나, 상기 투명기판(100)의 두께가 두꺼워지면, UV 투과율이 저하될 수 있기 때문이다. 이로써, 상기 투명기판(100)을 지지하는 지지부재(130)를 이용하여, 상기 투명기판(100)이 휘어지는 것을 방지할 수 있다. 이때, 상기 지지부재(130)는 UV 투과율이 뛰어난 합석 석영으로 형성할 수 있다.
상기 지지부재(130)는 상기 차광패턴(110)이 형성된 투명기판(100)이 쉽게 탈부착할 수 있도록 형성한다. 이로써, 상기 유기 전계 발광 표시 장치의 모델이 변경되는 경우, 상기 차광패턴(110)이 형성된 투명기판(100)을 용이하게 교체함으로써, 상기 UV 차단 마스크의 제조 비용을 줄이거나, 제조 공정 수를 절감할 수 있다.
여기서, 상기 지지부재(130)는 투과율이 뛰어난 합석 석영외에 내구성이 뛰어난 메탈을 이용할 수 있다. 또, 상기 지지부재(130)는 상기 투명기판(100)을 지지하는 여러 형태로 형성할 수 있다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 UV 차단 마스크를 구성하는 지지부재의 다양한 형태를 도시한 사시도들이다.
도 2a를 참조하면, 차단패턴(110)이 형성된 투명기판(100)을 지지하는 제 1 지지부재(130a)는 내구성을 가지며, UV 투과율이 뛰어난 투명한 기판일 수 있다. 이때, 상기 제 1 지지부재(130a)는 합석 석영으로 형성할 수 있다.
여기서, 상기 제 1 지지부재(130a)에 진공홀(132)을 형성하여, 상기 투명기판(100)을 탈·부착할 수 있도록 형성한다. 이로써, 상기 제 1 지지부재(130a)에 상기 투명기판(100)을 안착시킨 뒤, 상기 진공홀(132)로 흡입을 하면, 상기 제 1 지지부재(130a)에 상기 투명기판(100)이 부착된다.
또, 상기 진공홀(132)을 통하여 일정 기체를 배기시키면, 상기 제 1 지지부재(130a)로부터 상기 투명기판(100)의 고정력이 해지된다. 이때, 상기 지지부재(130a)로부터 상기 투명기판(100)을 용이하게 분리시킬 수 있다. 이로써, 상기 제 1 지지부재(130a)로부터 상기 투명기판(100)을 용이하게 탈·부착할 수 있다.
또, 상기 투명기판(100)을 상기 제 1 지지부재(130a)로부터 용이하게 분리하기 위해, 상기 제 1 지지부재(130a)의 측부에 적어도 하나의 홈(133)을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 제 1 지지부재(130a)에 상기 투명기판(100)이 부착되었을 때, 상기 홈(133)을 통해 상기 투명기판(100)이 일부분 노출되어 있다. 이때, 상기 홈(133)을 통해 노출된 영역의 상기 투명기판(100)을 이동수단이 잡아서 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 투명기판(100) 중 상기 홈(133)에 의해 노출된 영역은 손잡이의 역할을 하게 된다.
이때, 상기 투명기판(100)을 균형적으로 잡기 위하여, 상기 홈(133)은 상기 제 1 지지부재(130a)에서 대칭적으로 형성하도록 한다.
도 2b를 참조하면, 차단패턴(110)이 형성된 투명기판(100)을 지지하는 제 2 지지부재(130b)는 내구성이 뛰어난 금속 기판으로 형성할 수 있다. 이때, 상기 제 2 지지부재(130b)가 금속 기판으로 형성될 경우, UV를 모두 차단하게 되므로 상기 제 2 지지부재(130b)에 UV가 투과할 수 있는 다수개의 개구부(134)를 형성한다.
여기서, 상기 제 2 지지부재(130b)로 상기 투명기판(100)이 부착될 경우, 상기 개구부(134)에 상기 차단패턴(110)이 중첩되도록 배치된다. 이때, 상기 개구부(134)는 상기 차단패턴(110)의 면적보다 넓게 형성한다. 상기 UV 차단 마스크를 A에서와 같이 평면으로 볼 경우, 상기 개구부(134)내에 상기 차단패턴(110)이 배치된다. 즉, 상기 UV 차단 마스크를 통하여 유기전계발광표시장치를 제조하기위한 봉지공정을 수행할 경우, UV 경화성 수지가 형성된 영역만으로 UV가 조사된다.
이로써, 상기 UV 경화성 수지의 형성 영역을 제외한 영역으로 UV가 입사되면, 그 영역에 위치할 수 있는 배선에 의해 상기 UV가 반사되어 상기 유기전계발광표시장치를 구성하는 유기발광층으로 조사되는 것을 방지할 수 있다. 이는 상기 유기발광층은 UV에 의해 쉽게 열화되어, 수명이 저하되거나 특성이 저하될 수 있기 때문이다.
이때, 상술한 바와 같이, 상기 제 2 지지부재(130b)는 상기 투명기판(100)의 탈·부착이 가능하도록 형성한다. 이로써, 상기 제 2 지지부재(130b)는 진공홀이 더 형성될 수 있다. 또, 상기 제 2 지지부재(130b)는 상기 투명기판(100)을 용이하 게 분리하기 위한 홈을 더 형성할 수 있다.
도 2c를 참조하면, 제 3 지지부재(130c)는 차단패턴(110)이 형성된 투명기판(100)을 쉽게 탈·부착이 가능하도록 형성한다. 이때, 상기 제 3 지지부재(130c)는 상기 투명기판(100)을 고정할 수 있는 적어도 두 측면에 고정부(136)를 구비한다. 상기 고정부(136)는 상기 투명기판(100)이 좌우 또는 상하로 이동하지 못하도록 형성된 측벽일 수 있다.
상기 제 3 지지부재(130c)는 상기 투명기판(100)을 용이하게 분리하기 위한 홈(133)을 더 형성할 수 있다. 이때, 상기 홈(133)에 대응된 상기 측벽의 일부에 개구부(133b)를 형성한다. 즉, 상기 홈(133)과 상기 개구부(136a)는 서로 연결되어 있다. 이로써, 상기 홈(133)과 상기 개구부(136a)를 통해 이동수단이 상기 투명기판(100)을 잡아서 용이하게 분리시킬 수 있다.
도면과 달리, 상기 고정부(136)는 상기 제 3 지지부재(130c)의 대칭된 모서리부 또는 네 모서리부에 ㄱ자 또는 ㄴ자형태의 기둥일 수 있다.
상기 제 3 지지부재(130c)는 내구성이 뛰어난 금속 또는 합석 석영으로 형성할 수 있다. 여기서, 상기 제 3 지지부재(130c)가 내구성이 뛰어나나, UV를 모두 차단하는 금속으로 형성할 경우, 상기 제 3 지지부재(130c)는 상기 차단패턴(110)에 대응된 다수개의 개구부를 형성한다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 UV 차단 마스크의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 공정도들이다.
도 3a를 참조하면, 먼저 투명기판(100)을 제공한다. 상기 투명기판(100)은 가격이 저렴한 유리기판일 수 있다. 이를테면, 상기 유리기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다. 이때, 상기 투명기판(100)의 UV 투과율 및 강도를 고려하여, 상기 투명기판(100)의 두께는 0.3 내지 1.2 mm일 수 있다.
도 3b를 참조하면, 상기 투명기판(100)상에 차단패턴(110)을 형성한다. 여기서, 상기 차단패턴(110)은 UV 차단 물질을 스퍼터링법을 통해 증착한 뒤, 패터닝 공정을 수행하여 형성할 수 있다. 이때, 상기 UV 차단 물질은 Al, Cr 또는 Mo 중 어느 하나일 수 있다. 또, 상기 패터닝 공정은 노광 및 현상공정을 포함하는 포토리소그라피 공정을 통하여 형성할 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 이를 한정하는 것은 아니다.
도 3c를 참조하면, 상기 차단패턴(110)을 포함하는 상기 투명기판(100)전면에 걸쳐 보호막(120)을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 보호막(120)은 화학기상증착법 또는 스퍼터링법을 통해 형성할 수 있다. 이때, 상기 보호막(120)은 크롬 산화막, 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막일 수 있다. 이로써, 상기 차단패턴(110)이 손상되는 것을 보호할 수 있다.
도 3d를 참조하면, 상기 차단패턴(110)이 형성된 상기 투명기판(100)을 지지부재(130)에 부착할 수 있다. 여기서, 상기 지지부재(130)는 상술한 제 1, 제 2, 제 3 지지부재(도 2a에서130a, 도 2b에서 130b, 도 2c에서 130c)일 수 있다.
상기 지지부재(130)는 상기 투명기판(100)의 탈·부착이 가능하도록 형성하 며, 상기 투명기판(100)이 휘어지거나 손상되는 것을 방지한다. 즉, 상기 UV 차단 마스크의 내구성을 향상시키는 역할을 한다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 도면들이다. 여기서, 요철부를 구비하는 투명기판을 이용하는 것을 제외하고, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법과 동일하다. 이로써, 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 반복되는 설명은 생략하여 기술한다.
도 4a를 참조하면, 요철부(凹凸)가 형성된 투명기판(200)을 제공한다. 상기 투명기판(200)은 가격이 저렴한 유리기판일 수 있다. 이를 테면, 상기 유리기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다. 이때, 상기 투명기판(200)의 UV 투과율 및 강도를 고려하여, 상기 투명기판(100)의 두께는 0.3 내지 1.2 mm일 수 있다. 여기서, 상기 요부(凹)는 셀 단위로 형성된다.
이때, 상기 투명기판(200)의 요철부(凹凸)는 샌드 블러스터 방법이나 에칭방법을 통해 형성할 수 있다.
도 4b를 참조하면, 상기 투명기판(200)의 요부(凹)에 차단패턴(210)을 형성한다. 즉, 상기 차단패턴(210)은 상기 투명기판(200)의 전면에 UV 차단물질을 스퍼터링법을 통해 증착한 뒤, 패터닝 공정을 통해 형성할 수 있다. 상기 UV 차단물질은 Al, Cr 또는 Mo 중 어느 하나일 수 있다. 이로써, 상기 요부(凹)에 상기 차단패 턴(210)이 매립되어, 상기 차단패턴(210)이 돌출되어 있을 때보다. 외부에 대한 영향력을 덜 받을 수 있다.
상기 차단패턴(210)을 포함하는 상기 투명기판(200) 전면에 걸쳐 보호막(220)을 더 형성할 수 있다.
이후, 상기 투명기판(200)은 지지부재(130)에 의해 지지되어, 완성된 UV 차단 마스크의 내구성을 향상시킬 수 있다.
이때, 상기 지지부재(130)는 상술한 바와 같이, 상기 투명기판(200)의 탈·부착이 용이하도록 형성된다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 도면들이다. 여기서, 철부에 차광패턴을 형성하는 것을 제외하고, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 UV 차단 마스크 및 이의 제조 방법과 동일하다. 이로써, 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 반복되는 설명은 생략하여 기술한다.
도 5a를 참조하면, 요철부(凹凸)가 형성된 투명기판(300)을 제공한다. 상기 투명기판(300)은 가격이 저렴한 유리기판일 수 있다. 이를테면, 상기 유리기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다. 상기 투명기판(300)의 요철부(凹凸)는 샌드 블러스터 방법이나 에칭방법을 통해 형성할 수 있다.
이때, 상기 투명기판(300)의 철부(凸)는 셀 단위로 형성된다. 이때, 상기 요 부(凹)에 대응된 상기 투명기판(300)의 두께(d)는 UV 투과율 및 강도를 고려하여 0.3 내지 1.2 mm로 형성한다. 이는, 상기 요부(凹)에 대응된 상기 투명기판(300)으로 UV가 투과되어, 유기 전계 발광 표시 장치의 기판에 형성된 UV 경화성 수지로 조사되기 때문이다.
도 5b를 참조하면, 상기 투명기판(300)의 철부(凸)상에 차단패턴(310)을 형성한다. 여기서, 상기 차단패턴(310)은 Al, Cr 또는 Mo 중 어느 하나를 스퍼터링법에 의해 증착한 뒤 패터닝하여 형성할 수 있다.
상기 차단패턴(310)이 손상되는 것을 방지하기 위해, 상기 차단패턴(310)을 포함하는 상기 투명기판(300)상에 보호막(320)을 더 형성할 수 있다.
여기서, 상기 UV 차단 마스크를 가격이 저렴하나 투과율이 저조한 유리기판으로 형성함에 따라, 상기 UV 차단 마스크의 두께가 작게 형성할 수 밖에 없었다. 그러나, 상기 유리기판에 UV가 투과하는 영역만을 두께를 작게 형성하고, UV를 차단하는 차단영역은 두께를 두껍게 형성함으로써, UV 투과율이 뛰어나며, 강도가 뛰어난 UV 차단 마스크를 제조할 수 있다. 이와 더불어, 가격이 저렴하며, 대면적의 UV 차단 마스크를 제조할 수 있다.
상기한 바와 같이 본 발명에 따르면, 투과율을 향상시키며, 가격이 저렴하며 대면적의 UV 차단 마스크를 제조할 수 있다.
또한, 상기 UV 차단 마스크의 제조 비용이 절감됨에 따라, 유기 전계 발광 표시 장치의 단가를 줄일 수 있다.
또한, 상기 유기 전계 발광 표시 장치의 모델 변경시, 상기 UV 차단 마스크를 교체하는데 용이하여, 상기 유기 전계 발광 표시 장치의 생산성을 향상시킴과 더불어 상기 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 비용을 절감할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (25)

  1. 투명기판;
    상기 투명기판상에 다수개의 셀 단위로 형성된 차단패턴; 및
    상기 투명기판을 지지하며, 상기 투명기판을 탈착 또는 부착할 수 있는 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명기판의 두께는 0.3 내지 1.2 mm인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 투명기판은 요철부(凹凸)가 형성된 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 차단패턴은 상기 투명기판의 요부(凹)에 형성된 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부재는 합석석영 또는 메탈 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부재는 적어도 하나의 측부에 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부재는 적어도 하나의 개구부를 구비하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 차단패턴은 상기 지지부재의 개구부 내에 배치되는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 차단패턴은 Al, Cr 또는 Mo 중 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 차단패턴을 포함하는 상기 투명기판상에 형성된 보호막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 보호막은 크롬 산화막, 실리콘 산화막 및 실리콘 질화막으로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  13. 요철부(凹凸)가 형성된 투명기판; 및
    상기 철부(凸)에 형성된 차단패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 투명기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  15. 제 13 항에 있어서,
    상기 요부(凹)에 대응된 투명기판의 두께는 0.3 내지 1.2 mm인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  16. 투명기판을 제공하는 단계;
    상기 투명기판상에 셀 단위로 다수개의 차단패턴을 형성하는 단계;
    상기 투명기판을 지지하며, 상기 투명기판의 탈착이 가능한 지지부재를 상기 투명기판에 부착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상기 투명기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 투명기판의 두께는 0.3 내지 1.2 mm인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
  19. 제 16 항에 있어서,
    상기 차단패턴을 포함하는 상기 투명기판 전면에 화학기상증착법 또는 스퍼터링법을 통해 보호막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
  20. 제 16 항에 있어서,
    상기 투명기판에 요철부(凹凸)를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
  21. 제 16 항에 있어서,
    상기 차광패턴은 상기 투명기판의 요부(凹)에 형성하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
  22. 투명기판에 요철부(凹凸)를 형성하는 단계 ; 및
    상기 철부(凸)에 차단패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 투명기판은 소다라임 유리, 무알칼리 유리 및 파이렉스(Pyrex)로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
  24. 제 22 항에 있어서,
    상기 요부(凹)에 대응된 투명기판의 두께는 0.3 내지 1.2 mm인 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
  25. 제 22 항에 있어서,
    상기 요부(凹)는 상기 요부(凹)에 대응된 투명기판의 두께를 0.3 내지 1.2 mm가 되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 UV 차단 마스크의 제조 방법.
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