KR20070111563A - Circuit for parallel bit test and method by the same - Google Patents

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KR20070111563A
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Abstract

A parallel bit test circuit and a test method thereof are provided to improve test screen ability as shortening test time. A parallel bit test circuit tests a semiconductor memory device, by comparing output data from at least one input/output sense amplifier with expected data corresponding to the output data and then outputting the comparison result to an input/output pin. The parallel bit test circuit comprises data comparison parts(130), an expected data selection part(110), an expected data output part(102) and a data compression and result output part(140). The data comparison parts correspond to each input/output sense amplifier in order to compare the output data with the expected data. The expected data selection part generates an expected data selection signal to transfer the expected data to a corresponding data comparison part selectively. The expected data output part outputs inverted or non-inverted data to the data comparison part by receiving the expected data selection signal. The data comparison and result output part outputs a failure signal when one of comparison results in the data comparison parts is a failure.

Description

병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법{Circuit for parallel bit test and method by the same}Circuit for parallel bit test and method by the same}

도 1은 종래의 리드 명령에서 예측되는 데이터를 입력하여 그를 I/O 센스앰프의 출력단과 비교하는 회로 및 방법을 설명하기 위한 블록도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a block diagram for explaining a circuit and a method for inputting data predicted in a conventional read command and comparing it with an output of an I / O sense amplifier.

도 2는 도 1에 도시된 회로의 동작을 설명하기 위한 타이밍도.2 is a timing diagram for explaining the operation of the circuit shown in FIG.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 병렬 비트 테스트 회로를 간략화한 블록도.3 is a simplified block diagram of a parallel bit test circuit in accordance with an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 회로의 동작을 설명하기 위한 타이밍도. 4 is a timing diagram for explaining the operation of the circuit shown in FIG.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100 : 예상 데이터 선택부 102 : 예상 데이터 출력부100: expected data selection unit 102: expected data output unit

110 : I/O 센스앰프 120 : 데이터 입력 멀티플렉서110: I / O sense amplifier 120: data input multiplexer

130, 132, 134, 136 : 데이터 비교부 131 : 배타 논리합 게이트130, 132, 134, 136: data comparator 131: exclusive OR gate

140 : 데이터 압축 및 결과 출력부 142 : 노어 게이트140: data compression and result output unit 142: NOR gate

144 : 낸드 게이트 IN_BURST : 버스트 리드 신호144: NAND gate IN_BURST: burst lead signal

INV1, INV2 : 인버터 TG1, TG2 : 전송 게이트INV1, INV2: Inverter TG1, TG2: Transmission Gate

PETYPE_GEN : 예상 데이터 선택 신호 생성부PETYPE_GEN: Expected data selection signal generator

PCLK : 내부 클럭 펄스 PCLKD : 딜레이된 내부 클럭 펄스PCLK: Internal Clock Pulse PCLKD: Delayed Internal Clock Pulse

ACT : 액티브 커맨드 WRITE : 라이트 커맨드ACT: active command WRITE: write command

READ : 리드 커맨드READ: read command

본 발명은 반도체 메모리 장치의 테스트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체 메모리 장치의 병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a test of a semiconductor memory device, and more particularly, to a parallel bit test circuit and a test method of a semiconductor memory device.

반도체 메모리 장치의 테스트는 출하되기 전 단계에서 불량을 분리해 내기 위해 진행된다. 반도체 메모리 장치의 테스트는 칩 내부의 핵심 로직 회로가 정상적으로 동작하는가를 테스트하기 위해 수행된다. 상기 핵심 로직회로는 반도체 메모리 장치에서의 메모리 셀 어레이와 그 주변회로를 포함하는 회로일 수도 있고, 기타 다른 목적 수행을 위한 반도체 메모리 장치에서의 메모리 셀 어레이와 그 주변회로를 포함하는 회로일 수도 있고, 기타 다른 목적 수행을 위한 다른 집적회로 장치 내의 주요 기능을 위한 로직회로일 수 있다. 상기 로직회로의 테스트를 위해서는 상기 로직회로에 DQ 출력을 위한 콘트롤 신호들을 입력하고, 그 결과로 상기 로직회로에서 출력되는 DQ 데이터의 패스/페일(pass/fail) 여부를 판독하여 상기 로직회로가 정상적으로 동작하는지가 판정된다.Testing of the semiconductor memory device proceeds to isolate the defect in the pre-shipment stage. The test of the semiconductor memory device is performed to test whether the core logic circuit inside the chip is operating normally. The core logic circuit may be a circuit including a memory cell array and a peripheral circuit thereof in a semiconductor memory device, or may be a circuit including a memory cell array and a peripheral circuit thereof in a semiconductor memory device for performing other purposes. It may be a logic circuit for a main function in another integrated circuit device for performing other purposes. In order to test the logic circuit, control signals for DQ output are input to the logic circuit, and as a result, the logic circuit is normally read by reading whether or not to pass / fail the DQ data output from the logic circuit. It is determined whether it works.

통상적으로 제품의 패스/페일 여부는 테스터(tester)의 판단에 따른다. 즉, 테스터는 엔지니어가 프로그래밍한 순서에 따라 커맨드(command), 어드레스(address), 테스트 데이터 패턴(test data pattern) 등을 포함하는 콘트롤 신호들을 만들고, 이를 제품에 인가하여 동작시킨다. 예를 들어, 반도체 메모리 장치의 테스트를 위하여 해당 어드레스에 테스트 데이터를 라이트하고, 다시 같은 주소에 저장된 데이터를 리드하여 DQ 데이터를 출력시킨다.Typically, the pass / fail of the product is at the discretion of the tester. That is, the tester generates control signals including a command, an address, a test data pattern, and the like in the order programmed by the engineer, and applies the same to the product. For example, in order to test a semiconductor memory device, test data is written to a corresponding address, and data stored at the same address is read again to output DQ data.

그런 다음 테스트는 제품으로부터 출력되는 DQ 데이터와 출력으로 기대된 테스트 패턴을 비교하여 제품의 패스/페일 여부를 판단하며, 그 때의 어드레스를 기억한다. 이러한 일련의 테스트 과정을 통하여 엔지니어는 불량제품을 알 수 있으며, 또한 불합격된 주소를 사용하여 적절한 리페어 과정을 수행할 수 있다. 이와 같은 테스트 방식 중의 하나로서 병렬 비트 테스트(Parallel Bit Test ; PBT)가 잘 알려져 있다.The test then compares the DQ data output from the product with the test pattern expected by the output to determine whether the product passes or fails, and stores the address at that time. This series of test procedures allows the engineer to identify a defective product and to perform an appropriate repair process using the failed address. As one of such test methods, a parallel bit test (PBT) is well known.

따라서, 테스트 시간을 대폭 단축할 수 있는 병렬 비트 테스트는 반도체 메모리 장치의 테스트에 널리 적용된다.Therefore, parallel bit testing, which can greatly reduce the test time, is widely applied to the test of the semiconductor memory device.

반도체 메모리 장치에서 데이터 입출력 센스앰프(I/O sense amplifier)에 의해 감지 증폭되어 입출력 포트(이하에서는 이를 I/O라고 함)로 나오는 데이터를 압축(compress)하는 방법으로, 종래에는 상기 I/O 센스앰프의 출력단들만을 배타 논리합(XOR)으로 압축하는 방법과, 라이트된 데이터와 I/O 센스앰프의 출력단을 배타 논리합(XOR)으로 비교하는 방법이 많이 사용되어져 왔다. 후자의 일례가 도 1에 도시되어져 있다.A method of compressing data that is sensed and amplified by a data input / output sense amplifier (I / O sense amplifier) in a semiconductor memory device and output to an input / output port (hereinafter referred to as I / O). A method of compressing only the output terminals of the sense amplifier by an exclusive OR is used and a method of comparing the written data with the output terminal of the I / O sense amplifier by an exclusive OR (XOR). One example of the latter is shown in FIG. 1.

즉, 도 1은 종래의 병렬 비트 테스트 회로 및 방법으로서, 리드 명령에서 예측되는 데이터(expected data)를 입력하여 그를 I/O 센스앰프의 출력단과 비교하는 회로 및 방법을 설명하기 위한 블록도이다.That is, FIG. 1 is a conventional parallel bit test circuit and method, which is a block diagram for explaining a circuit and a method for inputting data predicted in a read command and comparing it with an output terminal of an I / O sense amplifier.

도 1을 참조하면, 종래의 병렬 비트 테스트 회로는, I/O 센스앰프(IOSA, 10), 데이터 입력 멀티플렉서(DINMUX, 20), 데이터 비교부(30) 및 데이터 압축 및 결과 출력부(40)를 구비한다.Referring to FIG. 1, a conventional parallel bit test circuit includes an I / O sense amplifier (IOSA) 10, a data input multiplexer DINMUX 20, a data comparator 30, and a data compression and result output unit 40. It is provided.

상기 I/O 센스앰프(10)는 노멀한 동작시 데이터 리드 패쓰(path)에서 비트라인 센스앰프에 의해 감지 증폭된 후 상기 I/O 센스앰프(10)로 인가되는 데이터를 감지 증폭하여 출력단으로 제공하는 역할을 한다. 테스트 모드 즉 병렬 비트 테스트 모드에서도 마찬가지로 상기 I/O 센스앰프(10)는 비트라인 센스앰프에 의해 감지 증폭된 후 상기 I/O 센스앰프(10)로 인가되는 데이터를 감지 증폭하는 역할을 한다. 상기 I/O 센스앰프(10)는 일반적으로 차동 증폭기(differential amplifier)의 형태가 많이 사용되어진다. 상기 I/O 센스앰프(10)는 제어신호(FRP)에 의해 인에이블되어져 데이터를 증폭한 후, 상기 데이터 비교부(FCOMP, 30)로 출력한다. 즉, 상기 I/O 센스앰프(10)는 테스트 시 테스트 대상 메모리 셀에 라이트되어 저장된 데이터를 리드 명령이 인가되는 경우에 감지 증폭하여 그 결과 신호(FDO1)를 상기 데이터 비교부(30)로 출력하여, 이하에서 설명되는 데이터 입력 멀티플렉서(20)로부터 출력되는 결과 신호(FDO0)와 비교되도록 한다. The I / O sense amplifier 10 senses and amplifies the data applied to the I / O sense amplifier 10 in an output stage after being sensed and amplified by the bit line sense amplifier in a data read path during normal operation. Serves to provide. Similarly, in the test mode, that is, the parallel bit test mode, the I / O sense amplifier 10 senses and amplifies the data applied to the I / O sense amplifier 10 after being sensed and amplified by the bit line sense amplifier. The I / O sense amplifier 10 is generally used in the form of a differential amplifier (differential amplifier). The I / O sense amplifier 10 is enabled by the control signal FRP, amplifies the data, and outputs the data to the data comparator FCOMP 30. That is, the I / O sense amplifier 10 detects and amplifies the data written and stored in the memory cell under test when a read command is applied during the test, and outputs the result signal FDO1 to the data comparator 30. The result is compared with the resultant signal FDO0 output from the data input multiplexer 20 described below.

상기 데이터 입력 멀티플렉서(20)는, 상기 테스트 대상 메모리 셀에 라이트된 데이터를 래치하여 외부 클럭(CLK)에 의해 생성되는 딜레이된 클럭 펄스(PCLKD) 에 응답하여 결과 신호(FDO0)를 상기 데이터 비교부(30)로 출력한다. 즉, 상기 결과 신호(FDO0)는 예상되는 데이터(expected data, 또는 예상 데이터라고도 한다)이다.The data input multiplexer 20 latches data written to the test target memory cell and outputs a result signal FDO0 in response to the delayed clock pulse PCLKD generated by an external clock CLK. Output to (30). That is, the result signal FDO0 is expected data (also referred to as expected data or expected data).

상기 데이터 비교부(30)는 상기 I/O 센스앰프(10)의 출력 신호(FDO1) 및 상기 데이터 입력 멀티플렉서(20)의 출력 신호인 예상되는 데이터(FDO0)를 수신하여 비교한 후 그 결과 신호(ECO0B)를 데이터 압축 및 결과 출력부(40)로 제공한다. 상기 데이터 비교부(30)는 하나만 상세히 나타냈으나, 데이터 비교부(FCOMP, 32, 34, 36)도 동일하게 구현된다. 즉, I/O의 개수가 4개인 경우를 예시한 것이다. 상기 데이터 비교부(30)는 배타 논리합(XOR) 연산을 수행하는 배타 논리합(XOR) 연산 회로(31)를 구비한다. 그리하여, 상기 배타 논리합(XOR) 연산 회로(31)로 인가되는 신호가 동일한 경우에는 결과 신호(ECO0B)는 로우 레벨이고, 서로 다른 경우에는 결과 신호(ECO0B)는 하이 레벨이 된다.The data comparator 30 receives and compares the output signal FDO1 of the I / O sense amplifier 10 and the expected data FDO0 that is an output signal of the data input multiplexer 20, and then compares the result signal. (ECO0B) is provided to the data compression and result output unit 40. Although only one data comparator 30 is shown in detail, the data comparator FCOMP 32, 34, and 36 are similarly implemented. That is, the case where the number of I / O is four is illustrated. The data comparator 30 includes an exclusive OR circuit X31 that performs an exclusive OR. Thus, when the signal applied to the exclusive OR circuit 31 is the same, the result signal ECO0B is at the low level, and when it is different, the result signal ECO0B is at the high level.

상기 데이터 압축 및 결과 출력부(40)는 상기 데이터 비교부(30)에서 비교한 결과 신호들(ECO0B, ECO1B, ECO2B, ECO3B)을 압축하는 노어 게이터(42)와 상기 노어 게이터(42)의 출력을 수신하는 낸드 게이트(44)를 구비한다. 상기 낸드 게이트(44)는 제어신호(EPBT, FRPSC)에 의해 인에이블되어져 출력 신호(FDIOB)를 최종 출력단으로 출력한다. 여기서, 물론 상기 출력 신호(FDIOB)는 출력 드라이버(output driver)를 거쳐 출력 핀(DQ pin)으로 전달된다.The data compression and result output unit 40 outputs the NOR gate 42 and the NOR gate 42 that compress the result signals ECO0B, ECO1B, ECO2B, and ECO3B compared by the data comparison unit 30. And a NAND gate 44 to receive the signal. The NAND gate 44 is enabled by the control signals EPBT and FRPSC to output the output signal FDIOB to the final output terminal. Here, of course, the output signal FDIOB is transmitted to the output pin DQ pin via an output driver.

도 2는 도 1에 도시된 회로도의 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다.FIG. 2 is a timing diagram for describing an operation of the circuit diagram shown in FIG. 1.

도 2를 참조하면, 외부 클럭(CLK)에 응답하여 액티브 커맨드(ACT), 리드 커 맨드(READ) 등이 인가되고, 리드 커맨드(READ)에 맞추어 예상되는 데이터(D)가 데이터 입력 멀티플렉서(도 1의 DINMUX)로 인가되어진다. 그리하여, 딜레이된 클럭 펄스(도 1의 PCLKD) 에 응답하여 상기 예상되는 데이터(D)가 딜레이되어 결과 신호(도 1의 FDO0)를 데이터 비교부(도 1의 30)로 출력한다. 그리고, 상기 데이터 비교부(도 1의 30)에서의 비교 후, 데이터 압축 및 결과 출력부(도 1의 40) 및 출력 드라이버(미도시)를 거쳐 결과 신호(Q)가 데이터 입출력 핀(DQ pin)으로 출력된다. Referring to FIG. 2, an active command ACT, a read command READ, or the like is applied in response to the external clock CLK, and the data D expected in accordance with the read command READ is a data input multiplexer (FIG. 1, DINMUX). Thus, in response to the delayed clock pulse (PCLKD in FIG. 1), the expected data D is delayed to output the resultant signal (FDO0 in FIG. 1) to the data comparator (30 in FIG. 1). After the comparison in the data comparator (30 in FIG. 1), the result signal Q is passed through the data compression and result output unit (40 in FIG. 1) and an output driver (not shown). )

그러나, 도 1, 2에 도시된 구조 및 동작을 갖는 병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법은 비교하기 위한 데이터 즉 예상 데이터가 고정되어져 바꿀 수 없음으로 인해, 버스트 리드(burst read) 동작이 불가능한 문제점이 있다. However, the parallel bit test circuit and test method having the structure and operation shown in FIGS. 1 and 2 have a problem in that a burst read operation is impossible because data to be compared, that is, expected data is fixed and cannot be changed. .

따라서, 테스트 타임을 더욱 단축시키면서도 테스트 스크린 능력(test screen ability)을 높이기 위한 병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법에 대한 요구가 절실하다.Therefore, there is an urgent need for parallel bit test circuits and test methods to further increase test screen ability while further reducing test time.

따라서, 본 발명의 목적은 종래의 병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법의 단점인 버스트 리드(burst read) 동작이 불가능한 문제점을 해결하기 위한 개선된 병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법을 제공함에 있다. It is therefore an object of the present invention to provide an improved parallel bit test circuit and test method for solving the problem that a burst read operation, which is a disadvantage of the conventional parallel bit test circuit and test method, is impossible.

본 발명의 다른 목적은 테스트 타임을 더욱 단축시키면서도 테스트 스크린 능력을 높일 수 있는 병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a parallel bit test circuit and a test method which can increase test screen capability while further reducing test time.

상기의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 적어도 하나의 입 출력 센서앰프로부터의 출력 데이터와 상기 출력 데이터에 대응되는 예상 데이터를 비교하여 입출력 핀으로 출력함으로써 반도체 메모리 장치의 양호 또는 불량을 테스트하기 위한 병렬 비트 테스트 회로는, 상기 출력 데이터와 상기 예상 데이터를 비교하기 위한 각각의 입출력 센서앰프에 대응되는 데이터 비교부들; 상기 예상 데이터가 대응되는 데이터 비교부에 선택적으로 전달되도록 하기 위한 예상 데이터 선택 신호를 생성하는 예상 데이터 선택부; 상기 예상 데이터 선택 신호를 인가받아 반전 또는 비반전된 데이터를 상기 데이터 비교부로 출력하는 예상 데이터 출력부; 및 상기 데이터 비교부들에서의 비교 결과 중 어느 하나라도 불량인 경우에는 불량에 관한 결과 신호를 출력하는 데이터 압축 및 결과 출력부를 구비함을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above objects, by comparing the output data from at least one input and output sensor amplifier and the expected data corresponding to the output data to the input and output pins to improve the good or bad of the semiconductor memory device The parallel bit test circuit for testing may include: data comparison units corresponding to respective input / output sensor amplifiers for comparing the output data with the expected data; An expected data selector for generating an expected data selection signal for selectively transmitting the expected data to a corresponding data comparator; An expected data output unit configured to receive the expected data selection signal and output inverted or non-inverted data to the data comparison unit; And a data compression and result output unit for outputting a result signal relating to a failure if any one of the comparison results in the data comparison units is defective.

여기서, 상기 예상 데이터 선택부는 버스트 리드(burst read) 신호를 인가 받아 외부 클럭에 의해 의해 생성된 내부 클럭 펄스 및 테스트 모드 선택 신호에 응답하여 상기 예상 데이터 선택 신호를 생성하고, 상기 예상 데이터 출력부는, 상기 예상 데이터 선택 신호가 제1 상태인 경우 턴온되고 제2 상태인 경우 턴오프되는 제1 전송 게이트; 및 상기 예상 데이터 선택 신호가 제2 상태인 경우 턴온되고 제1 상태인 경우 턴오프되는 제2 전송 게이트를 구비할 수 있다.Here, the expected data selector receives the burst read signal to generate the expected data select signal in response to an internal clock pulse and a test mode select signal generated by an external clock, and the expected data output unit, A first transfer gate turned on when the expected data selection signal is in a first state and turned off in a second state; And a second transmission gate turned on when the expected data selection signal is in the second state and turned off when the expected data selection signal is in the second state.

또한, 상기 제1 전송 게이트는 상기 예상 데이터를 비반전 상태로 상기 데이터 비교부로 출력할 수 있고, 상기 제2 전송 게이트는 상기 예상 데이터를 반전시켜 상기 데이터 비교부로 출력할 수 있다.The first transfer gate may output the expected data to the data comparator in a non-inverted state, and the second transfer gate may invert the expected data and output the inverted data to the data comparator.

또한, 상기 제1 상태는 논리 하이 레벨이고, 상기 제2 상태는 논리 로우 레 벨일 수 있고, 상기 버스트 리드 신호는 외부 패드로부터 인가될 수 있다.In addition, the first state may be at a logic high level, the second state may be at a logic low level, and the burst read signal may be applied from an external pad.

상기의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 적어도 하나의 입출력 센서앰프로부터의 출력 데이터와 상기 출력 데이터에 대응되는 예상 데이터를 비교하여 입출력 핀으로 출력함으로써 반도체 메모리 장치의 양호 또는 불량을 테스트하기 위한 병렬 비트 테스트 방법은, 테스트될 메모리 셀들에 데이터 패턴을 라이트하는 단계; 상기 메모리 셀들에 저장된 데이터를 리드하여 예상 데이터와 배타 논리합 연산을 수행하기 위해 대응되는 데이터 비교부로 인가하는 단계; 외부 패드로부터 인가되는 버스트 리드 신호에 의해 제어되어 상기 예상 데이터가 상기 데이터 비교부로 반전 또는 비반전된 상태로 인가되도록 하는 단계; 및 데이터 비교부들에서의 비교 결과를 모두 수신하여, 그 중 어느 하나가 불량이면 그에 관한 결과 신호를 출력단으로 출력하는 단계를 구비함을 특징으로 한다.To test the good or bad of the semiconductor memory device by comparing the output data from at least one input and output sensor amplifier and the expected data corresponding to the output data according to an aspect of the present invention to output to the input and output pins A parallel bit test method for performing the steps of: writing a data pattern to memory cells to be tested; Reading data stored in the memory cells and applying the data to the corresponding data comparing unit to perform an exclusive OR operation with the expected data; Controlled by a burst read signal applied from an external pad to cause the expected data to be applied to the data comparator in an inverted or non-inverted state; And receiving all of the comparison results from the data comparison units and outputting a result signal related thereto if one of them is defective.

이하에서는 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 첨부된 도면 및 이하의 설명들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게 본 발명에 대한 이해를 돕기 위한 의도로 예를 들어 도시되고 한정된 것에 불과하다. 따라서, 이하의 설명들이 본 발명의 범위를 제한하는 것으로 사용되어서는 아니 될 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The accompanying drawings and the following description are by way of example only and are intended to assist those of ordinary skill in the art to understand the present invention. Accordingly, the following descriptions should not be used to limit the scope of the invention.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 병렬 비트 테스트 회로를 간략화한 블록도이다.3 is a simplified block diagram of a parallel bit test circuit according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 상기 병렬 비트 테스트 회로는 입출력 센스앰프(IOSA, 110), 데이터 입력 멀티플렉서(DINMUX, 120), 예상 데이터 선택부(100), 예상 데이터 출력부(102), 데이터 비교부(130) 및 데이터 압축 및 결과 출력부(140)를 구비한다.Referring to FIG. 3, the parallel bit test circuit includes an input / output sense amplifier (IOSA) 110, a data input multiplexer DINMUX 120, a predictive data selector 100, a predictive data output unit 102, and a data comparator ( 130) and data compression and result output unit 140.

상기 I/O 센스앰프(110)는 노멀 동작시 데이터를 감지 증폭하여 출력단으로 제공하는 역할을 한다. 병렬 비트 테스트 모드에서도 이와 유사하다. 상기 I/O 센스앰프(110)는 제어신호(FRP)에 의해 인에이블되어져 데이터를 증폭한 후, 상기 데이터 비교부(FCOMP, 130)로 출력한다. 즉, 상기 I/O 센스앰프(110)는 병렬 비트 테스트 모드시 테스트 대상 메모리 셀에 라이트되어 저장된 데이터를 리드 명령이 인가되는 경우에 감지 및 증폭하여 그 결과 신호(FDO1)를 상기 데이터 비교부(130)로 출력하여, 상기 데이터 입력 멀티플렉서(120)로부터 상기 예상 데이터 출력부(102)를 거쳐 출력되는 결과 신호(FDO0)와 비교되도록 한다. The I / O sense amplifier 110 serves to sense and amplify the data during the normal operation and provide it to the output terminal. Similarly in parallel bit test mode. The I / O sense amplifier 110 is enabled by a control signal FRP, amplifies the data, and outputs the data to the data comparator FCOMP 130. That is, the I / O sense amplifier 110 detects and amplifies the data written and stored in the test target memory cell when the read command is applied in the parallel bit test mode, and the resultant signal FDO1 is detected as the result of the data comparator ( 130 to be compared with the resultant signal FDO0 output from the data input multiplexer 120 through the expected data output unit 102.

상기 데이터 입력 멀티플렉서(120)는, 상기 테스트 대상 메모리 셀에 라이트된 데이터를 래치하여 외부 클럭(CLK)에 의해 생성되는 딜레이된 클럭 펄스(PCLKD)에 응답하여 예상되는 데이터를 상기 예상 데이터 출력부(102)로 출력한다.The data input multiplexer 120 latches data written to the test target memory cell and outputs data expected in response to the delayed clock pulse PCLKD generated by an external clock CLK. 102).

상기 데이터 비교부(130)는 상기 I/O 센스앰프(110)의 출력 신호(FDO1) 및 상기 데이터 입력 멀티플렉서(120)로부터 상기 예상 데이터 출력부(102)를 거쳐 출력되는 결과 신호(FDO0)를 수신하여 비교한 후 그 비교 결과 신호(ECO0B)를 데이터 압축 및 결과 출력부(140)로 제공한다. 상기 데이터 비교부(310)는 앞서 설명된 바와 같이 하나만 상세히 나타냈으나, 다른 데이터 비교부(32, 34, 36)도 동일하게 구현된다. 즉, I/O의 개수가 4개인 경우만을 예를들어 나타낸 것에 불과하다. 상기 데이터 비교부(130)는 배타 논리합(XOR) 연산을 수행하는 배타 논리합(XOR) 연산 회로(131)를 구비한다. 그리하여, 상기 배타 논리합(XOR) 연산 회로(131)로 인가되는 신호가 동일한 경우에는 결과 신호(ECO0B)는 로우 레벨이고, 서로 다른 경우에는 결과 신호(ECO0B)는 하이 레벨이 된다.The data comparator 130 outputs an output signal FDO1 of the I / O sense amplifier 110 and a result signal FDO0 output from the data input multiplexer 120 through the expected data output unit 102. After receiving and comparing, the comparison result signal ECO0B is provided to the data compression and result output unit 140. As described above, only one data comparison unit 310 is described in detail, but other data comparison units 32, 34, and 36 are similarly implemented. That is, only the case where the number of I / O is 4 is shown as an example. The data comparator 130 includes an exclusive OR circuit 131 that performs an exclusive OR. Thus, when the signal applied to the exclusive OR circuit 131 is the same, the result signal ECO0B is at the low level, and when it is different, the result signal ECO0B is at the high level.

상기 데이터 압축 및 결과 출력부(140)는 상기 데이터 비교부들(130, 132, 134, 136)에서 비교한 결과 신호들(ECO0B, ECO1B, ECO2B, ECO3B)을 압축하는 노어 게이터(142)와 상기 노어 게이터(142)의 출력을 수신하는 낸드 게이트(144)를 구비한다. 상기 낸드 게이트(144)는 제어신호(EPBT, FRPSC)에 의해 인에이블되어져 출력 신호(FDIOB)를 출력단으로 출력한다. 그리하여, 상기 데이터 압축 및 결과 출력부(140)는 상기 데이터 비교부들(130, 132, 134, 136)에서의 비교 결과 중 어느 하나라도 불량인 경우에는 불량에 관한 결과 신호를 출력한다. 따라서, 상기 데이터 압축 및 결과 출력부(140)의 출력 신호(FDIOB)는 양호에 관한 결과 신호 또는 불량에 관한 결과 신호가 될 수 있다.The data compression and result output unit 140 includes a NOR gate 142 and the NOR that compress the result signals ECO0B, ECO1B, ECO2B, and ECO3B compared by the data comparison units 130, 132, 134, and 136. And a NAND gate 144 that receives the output of the gator 142. The NAND gate 144 is enabled by the control signals EPBT and FRPSC to output the output signal FDIOB to the output terminal. Thus, the data compression and result output unit 140 outputs a result signal regarding the failure when any one of the comparison results in the data comparison units 130, 132, 134, and 136 is defective. Therefore, the output signal FDIOB of the data compression and result output unit 140 may be a result signal for good or a result signal for bad.

상기 예상 데이터 선택부(100)는 상기 예상 데이터가 상기 데이터 비교부들 중 대응되는 데이터 비교부(130)에 선택적으로 전달되도록 하기 위한 예상 데이터 선택 신호(PDTYPE)를 생성한다. 상기 예상 데이터 선택부(100)는 버스트 리드(burst read) 신호(IN_BURST)를 인가 받아 외부 클럭(CLK)에 의해 생성된 내부 클럭 펄스(PCLK) 및 테스트 모드 선택 신호(MOD_SIG)에 응답하여 상기 예상 데이터 선택 신호(PDTYPE)를 생성할 수 있다. 그리하여, 상기 예상 데이터 선택 신 호(PDTYPE)에 의해 상기 데이터 입력 멀티플렉서(120)로부터 출력되는 신호를 반전시켜 상기 데이터 비교부(130)로 인가할 것인지, 아니면 비반전 상태로 상기 데이터 비교부(130)로 인가할 것인지를 선택할 수 있다.The expected data selection unit 100 generates an expected data selection signal PDTYPE for selectively transmitting the expected data to a corresponding data comparison unit 130 among the data comparison units. The expected data selector 100 receives the burst read signal IN_BURST and responds to the internal clock pulse PCLK and the test mode selection signal MOD_SIG generated by the external clock CLK. The data selection signal PDTYPE may be generated. Thus, whether the signal output from the data input multiplexer 120 is inverted and applied to the data comparator 130 by the expected data selection signal PDTYPE, or the data comparator 130 is in a non-inverted state. You can choose whether to apply

패키지(package) 상태에서는, 상기 버스트 리드 신호(IN_BURST)는 외부 패드(external pad)로부터 인가될 수 있다. 상기 외부 패드는 신규로 추가될 수도 있지만, 기존의 패드, 예를 들면 CKE, DQM 패드 등이 될 수 있다.In a package state, the burst read signal IN_BURST may be applied from an external pad. The external pad may be newly added, but may be an existing pad, for example, a CKE pad or a DQM pad.

상기 예상 데이터 출력부(102)는 상기 예상 데이터 선택 신호(PDTYPE)를 인가받아 반전 또는 비반전된 데이터를 상기 데이터 비교부(130)로 출력한다. 상기 예상 데이터 출력부(102)는, 제1 전송 게이트(TG1), 제2 전송 게이트(TG2), 제1 인버터(INV1) 및 제2 인버터(INV2)를 구비한다.The expected data output unit 102 receives the expected data selection signal PDTYPE and outputs inverted or non-inverted data to the data comparison unit 130. The expected data output unit 102 includes a first transfer gate TG1, a second transfer gate TG2, a first inverter INV1, and a second inverter INV2.

상기 제1 전송 게이트(TG1)는 상기 예상 데이터 선택 신호(PDTYPE)가 제1 상태인 경우 턴온되고 제2 상태인 경우 턴오프될 수 있다. 이와는 반대로, 상기 제2 전송 게이트(TG2)는 상기 예상 데이터 선택 신호(PDTYPE)가 제2 상태인 경우 턴온되고 제1 상태인 경우 턴오프될 수 있다. 그리하여, 상기 제1 전송 게이트(TG1)는 상기 데이터 입력 멀티플렉서(120)의 출력 신호인 예상 데이터를 비반전 상태로 상기 데이터 비교부(130)로 출력할 수 있고, 상기 제2 전송 게이트(TG2)는 상기 예상 데이터를 반전시켜 상기 데이터 비교부로 출력할 수 있다.The first transfer gate TG1 may be turned on when the expected data selection signal PDTYPE is in a first state and turned off when in a second state. On the contrary, the second transmission gate TG2 may be turned on when the expected data selection signal PDTYPE is in the second state and turned off when the first data gate is in the first state. Thus, the first transmission gate TG1 may output the expected data, which is an output signal of the data input multiplexer 120, to the data comparison unit 130 in a non-inverted state, and the second transmission gate TG2. May invert the expected data and output the inverted data to the data comparator.

예를 들어, 상기 제1 상태가 논리 하이 레벨이고, 상기 제2 상태가 논리 로우 레벨이라고 가정하면, 예상 데이터 선택 신호(PDTYPE)가 하이 레벨인 경우, 상기 제1 전송 게이트(TG1)는 턴온되고, 상기 제2 전송 게이트(TG2)는 턴오프된다. 따라서, 상기 예상 데이터는 반전되지 않고 상기 데이터 비교부(130)로 인가되어져 I/O 센스앰프의 출력 데이터(FDO1)와 비교 연산이 수행되어진다. 만약, 상기 제1 상태가 논리 로우 레벨이고, 상기 제2 상태가 논리 하이 레벨이라고 가정하면, 상기 제1 전송 게이트(TG1)는 턴오프되고, 상기 제2 전송 게이트(TG2)는 턴온되어져, 상기 예상 데이터는 제1 인버터(INV1)에 의해 반전되어져 상기 데이터 비교부(130)로 인가된 후 상기 I/O 센스앰프의 출력 데이터(FDO1)과 비교 연산이 수행되어진다.For example, assuming that the first state is a logic high level and the second state is a logic low level, when the expected data selection signal PDTYPE is at the high level, the first transfer gate TG1 is turned on. The second transfer gate TG2 is turned off. Accordingly, the expected data is not inverted and is applied to the data comparator 130 to perform a comparison operation with the output data FDO1 of the I / O sense amplifier. If the first state is a logic low level and the second state is a logic high level, the first transfer gate TG1 is turned off and the second transfer gate TG2 is turned on. The expected data is inverted by the first inverter INV1 and applied to the data comparator 130, and then compared with the output data FDO1 of the I / O sense amplifier.

도 4는 도 3에 도시된 회로의 동작을 설명하기 위한 타이밍도이다.FIG. 4 is a timing diagram for describing an operation of the circuit shown in FIG. 3.

도 4를 참조하면, 카스 레이턴시(CAS Latency; CL)이 3이고, 버스트 길이(burst length; BL)가 4인 경우의 동작 타이밍도이다.Referring to FIG. 4, an operation timing diagram when CAS Latency (CL) is 3 and Burst Length (BL) is 4 is illustrated.

커맨드(CMD)를 보면, 액티브 커맨드(ACT) 이후 라이트 커맨드(WRITE)가 인가되어지고, DQ 핀으로 0101(BL이 4이므로)이 인가된다. 그리하여, 상기 0101이 메모리 셀들에 라이트되어지고, 네 싸이클 이후 리드 커맨드(READ)가 인가된다. I/O 센스앰프(도 3의 110)에서 출력되는 데이터(FDO1)에 관한 타이밍도는 도시되어져 있지 않으나, 예상 데이터 출력부에서 출력되는 데이터(FDO0)와 대체로 비슷한 시점에서 출력된다.In the command CMD, the write command WRITE is applied after the active command ACT, and 0101 (since BL is 4) is applied to the DQ pin. Thus, the 0101 is written to the memory cells and a read command READ is applied after four cycles. Although the timing diagram of the data FDO1 output from the I / O sense amplifier 110 of FIG. 3 is not shown, the timing diagram of the data FDO0 output from the expected data output unit is generally similar to the data FDO0.

외부 패드로부터 버스트 리드 신호(IN_BURST)가 인가되면, 예상 데이터 선택부(도 3의 100)는 이에 대응되는 예상 데이터 선택 신호(PDTYPE)를 생성한다.When the burst read signal IN_BURST is applied from the external pad, the expected data selector 100 (in FIG. 3) generates an expected data select signal PDTYPE corresponding thereto.

도 3을 참조하여 설명된 바와 같이 상기 예상 데이터 선택 신호(PDTYPE)가 하이 레벨이면, I/O 센스앰프의 출력 신호(FDO1)와 예상 데이터(FDO0)를 동일하게 비교한다. 즉, 상기 예상 데이터(FDO0)는 데이터 입력 멀티플렉서(120)로부터 출력되는 신호가 반전되지 않은 상태이다. 그리고, 그 다음 데이터인 1을 비교하기 위해서는 반전되어져야 한다. 배타 논리합 연산의 특징이, 두 개의 입력이 동일한 경우에는 로우 레벨의 신호를 출력하고, 두 개의 입력이 다른 경우에는 하이 레벨의 신호를 출력하므로, 상기 예에서는 패스(pass) 즉 양호인 경우에는 하이 레벨의 신호(ECO0B)를 배타 논리합 연산자(도 3의 131)에서 출력한다. 모두 양호인 경우에는 데이터 비교부들(130, 132, 134, 136) 모두에서 로우 레벨의 신호를 출력하게 된다. As described with reference to FIG. 3, when the expected data selection signal PDTYPE is at a high level, the output signal FDO1 of the I / O sense amplifier and the expected data FDO0 are equally compared. That is, the expected data FDO0 is a state in which a signal output from the data input multiplexer 120 is not inverted. Then, in order to compare the next data 1, it must be inverted. The characteristic of the exclusive OR operation is to output a low level signal when the two inputs are the same and a high level signal when the two inputs are different. The level signal ECO0B is output from the exclusive-OR operator (131 in FIG. 3). If all is good, all of the data comparison units 130, 132, 134, and 136 output low level signals.

따라서, 데이터 압축 및 결과 출력부(140)의 노어 게이트(142)에 상기 데이터 비교부들(130, 132, 134, 136)의 출력들이 모두 입력되므로, 상기 데이터 비교부들(130, 132, 134, 136)의 출력이 모두 로우 레벨인 경우에는 하이 레벨의 신호를 노어 게이트(142)가 출력하게 된다. 따라서, 이 경우가 패스이고, 나머지 경우에는 페일이 된다.Therefore, since all outputs of the data comparison units 130, 132, 134, and 136 are input to the NOR gate 142 of the data compression and result output unit 140, the data comparison units 130, 132, 134, and 136. If all of the outputs are low level, the NOR gate 142 outputs a high level signal. Therefore, this case is a pass, and in other cases, it is a fail.

이와 같이 본 발명에 따른 병렬 비트 테스트 회로는 예상 데이터를 반전시킬 수 있는 예상 데이터 출력부 및 예상 데이터 선택부를 구비함으로써, 버스트 리드 동작이 가능하게 된다.As described above, the parallel bit test circuit according to the present invention includes an expected data output unit and an expected data selector capable of inverting expected data, thereby enabling burst read operation.

본 발명에 따른 병렬 비트 테스트 방법은 도 3 및 도 4를 참조하여 설명될 수 있다.The parallel bit test method according to the present invention can be described with reference to FIGS. 3 and 4.

본 발명에 따라, 적어도 하나의 입출력 센서앰프로부터의 출력 데이터와 상기 출력 데이터에 대응되는 예상 데이터를 비교하여 입출력 핀으로 출력함으로써 반도체 메모리 장치의 양호 또는 불량을 테스트하기 위한 병렬 비트 테스트 방법에 있어서, 테스트될 메모리 셀들에 소정의 데이터 패턴(도 4에서 0101)을 라이트하는 단계, 라이트 후 상기 메모리 셀들에 저장된 데이터를 리드하여 예상 데이터와 배타 논리합 연산을 수행하기 위해 적어도 하나 이상의 데이터 비교부들 중 대응되는 데이터 비교부(도 3의 130)로 인가하는 단계, 외부 패드(예를 들면, CKE, DQM 등)로부터 인가되는 버스트 리드 신호(IN_BURST)에 의해 제어되어 상기 예상 데이터가 상기 데이터 비교부(도 3의 130)로 반전 또는 비반전된 상태로 인가되도록 하는 단계, 그리고 데이터 비교부들(도 3의 130, 132, 134, 136)에서의 비교 결과를 모두 수신하여, 그 중 어느 하나가 불량이면 그에 관한 결과 신호를 출력단으로 출력하는 단계를 구비함을 특징으로 한다. According to the present invention, in the parallel bit test method for testing the good or bad of the semiconductor memory device by comparing the output data from at least one input and output sensor amplifier and the expected data corresponding to the output data to the input and output pins, Writing a predetermined data pattern (0101 in FIG. 4) to the memory cells to be tested; corresponding to one or more data comparison units for reading data stored in the memory cells after writing and performing an exclusive OR operation with the expected data; Applying to the data comparator 130 (FIG. 3), controlled by a burst read signal IN_BURST applied from an external pad (e.g., CKE, DQM, etc.) so that the expected data is stored in the data comparator (FIG. 3). 130 to be applied in an inverted or non-inverted state, and the data comparison units ( Receiving all the comparison results in 130, 132, 134, 136 of Figure 3, and if any one of them is characterized in that it comprises the step of outputting the result signal to the output terminal.

그리하여, 본 발명에 따른 병렬 비트 테스트 방법은 테스트 될 메모리 셀에 쓴 데이터인 예상 데이터를 반전시킬 수 있어, 종래의 병렬 비트 테스트 방법에서 구현하기 어려웠던 버스트 리드 동작을 가능하게 하여, 테스트 타임을 단축시키면서도 스크린 능력도 향상시키는 효과를 갖는다.Thus, the parallel bit test method according to the present invention can invert expected data, which is data written to a memory cell to be tested, thereby enabling burst read operation, which was difficult to implement in the conventional parallel bit test method, while reducing test time. It also has the effect of improving screen capabilities.

본 발명에 따른 병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 기본 원리를 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 설계되고, 응용될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게는 자명한 사실이라 할 것이다.The parallel bit test circuit and the test method according to the present invention are not limited to the above embodiments, and can be variously designed and applied without departing from the basic principles of the present invention. It will be obvious to those who have.

상술한 바와 같이, 본 발명은 개선된 병렬 비트 테스트 회로 및 테스트 방법을 제공함으로써, 종래의 테스트시 버스트 리드(burst read) 동작이 불가능한 문제점을 해결하는 효과를 갖는다. 그리하여, 본 발명은 테스트 타임을 더욱 단축시키면서도 테스트 스크린 능력(test screen ability)을 높이는 효과를 갖는다.As described above, the present invention provides an improved parallel bit test circuit and test method, which has the effect of solving the problem that a burst read operation is impossible in a conventional test. Thus, the present invention has the effect of increasing the test screen ability while further shortening the test time.

Claims (8)

적어도 하나의 입출력 센서앰프로부터의 출력 데이터와 상기 출력 데이터에 대응되는 예상 데이터를 비교하여 그 비교 결과를 입출력 핀으로 출력함으로써 반도체 메모리 장치의 양호 또는 불량을 테스트하기 위한 병렬 비트 테스트 회로에 있어서:A parallel bit test circuit for testing good or bad semiconductor memory devices by comparing output data from at least one input / output sensor amplifier with expected data corresponding to the output data and outputting the comparison result to the input / output pins: 상기 출력 데이터와 상기 예상 데이터를 비교하기 위한 각각의 입출력 센서앰프에 대응되는 데이터 비교부들;Data comparison units corresponding to respective input / output sensor amplifiers for comparing the output data with the expected data; 상기 예상 데이터가 대응되는 데이터 비교부에 선택적으로 전달되도록 하기 위한 예상 데이터 선택 신호를 생성하는 예상 데이터 선택부;An expected data selector for generating an expected data selection signal for selectively transmitting the expected data to a corresponding data comparator; 상기 예상 데이터 선택 신호를 인가받아 반전 또는 비반전된 데이터를 상기 데이터 비교부로 출력하는 예상 데이터 출력부; 및An expected data output unit configured to receive the expected data selection signal and output inverted or non-inverted data to the data comparison unit; And 상기 데이터 비교부들에서의 비교 결과 중 어느 하나라도 불량인 경우에는 불량에 관한 결과 신호를 출력하는 데이터 압축 및 결과 출력부를 구비함을 특징으로 하는 병렬 비트 테스트 회로.And a data compression and result output unit for outputting a result signal relating to a failure if any one of the comparison results in the data comparison units is defective. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 예상 데이터 선택부는 버스트 리드(burst read) 신호를 인가 받아 외부 클럭에 의해 생성된 내부 클럭 펄스 및 테스트 모드 선택 신호에 응답하여 상기 예상 데이터 선택 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 병렬 비트 테스트 회로.And the expected data selector receives the burst read signal to generate the expected data select signal in response to an internal clock pulse generated by an external clock and a test mode select signal. 제2항에 있어서, 상기 예상 데이터 출력부는, The method of claim 2, wherein the expected data output unit, 상기 예상 데이터 선택 신호가 제1 상태인 경우 턴온되고 제2 상태인 경우 턴오프되는 제1 전송 게이트; 및A first transfer gate turned on when the expected data selection signal is in a first state and turned off in a second state; And 상기 예상 데이터 선택 신호가 제2 상태인 경우 턴온되고 제1 상태인 경우 턴오프되는 제2 전송 게이트를 구비함을 특징으로 하는 병렬 비트 테스트 회로.And a second transmission gate turned on when the expected data selection signal is in a second state and turned off when the expected data selection signal is in a second state. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제1 전송 게이트는 상기 예상 데이터를 비반전 상태로 상기 데이터 비교부로 출력함을 특징으로 하는 병렬 비트 테스트 회로.And the first transmission gate outputs the expected data to the data comparator in a non-inverted state. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제2 전송 게이트는 상기 예상 데이터를 반전시켜 상기 데이터 비교부로 출력함을 특징으로 하는 병렬 비트 테스트 회로.And the second transfer gate inverts the expected data and outputs the expected data to the data comparator. 제3항에 있어서,The method of claim 3, 상기 제1 상태는 논리 하이 레벨이고, 상기 제2 상태는 논리 로우 레벨인 것을 특 징으로 하는 병렬 비트 테스트 회로.And said first state is a logic high level and said second state is a logic low level. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 버스트 리드 신호는 외부 패드로부터 인가됨을 특징으로 하는 병렬 비트 테스트 회로.And the burst read signal is applied from an external pad. 적어도 하나의 입출력 센서앰프로부터의 출력 데이터와 상기 출력 데이터에 대응되는 예상 데이터를 비교하여 그 비교 결과를 입출력 핀으로 출력함으로써 반도체 메모리 장치의 양호 또는 불량을 테스트하기 위한 병렬 비트 테스트 방법에 있어서:A parallel bit test method for testing good or bad semiconductor memory devices by comparing output data from at least one input / output sensor amplifier and expected data corresponding to the output data and outputting the comparison result to the input / output pins: 테스트될 메모리 셀들에 데이터 패턴을 라이트하는 단계;Writing a data pattern to the memory cells to be tested; 상기 메모리 셀들에 저장된 데이터를 리드하여 예상 데이터와 배타 논리합 연산을 수행하기 위해 대응되는 데이터 비교부로 인가하는 단계;Reading data stored in the memory cells and applying the data to the corresponding data comparing unit to perform an exclusive OR operation with the expected data; 외부 패드로부터 인가되는 버스트 리드 신호에 의해 제어되어 상기 예상 데이터가 상기 데이터 비교부로 반전 또는 비반전된 상태로 인가되도록 하는 단계; 및Controlled by a burst read signal applied from an external pad to cause the expected data to be applied to the data comparator in an inverted or non-inverted state; And 데이터 비교부들에서의 비교 결과를 모두 수신하여, 그 중 어느 하나가 불량이면 그에 관한 결과 신호를 출력단으로 출력하는 단계를 구비함을 특징으로 하는 병렬 비트 테스트 방법.And receiving all the comparison results from the data comparison units, and outputting a result signal to the output terminal if any one of them is defective.
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