KR20070110071A

KR20070110071A - 화염 전면의 전파 억제 장치 및 방법

Info

Publication number: KR20070110071A
Application number: KR1020077020425A
Authority: KR
Inventors: 크리스토퍼 마크 베일리; 클리브 마쿠스 로이드 투나
Original assignee: 에드워즈 리미티드
Priority date: 2005-03-07
Filing date: 2006-02-21
Publication date: 2007-11-15
Also published as: EP1856416A1; WO2006095132A1; JP2008531979A; US20080273995A1; GB0504553D0; EP1856416B1; ATE542053T1; TW200637629A; KR101244492B1; JP5502318B2

Abstract

장치는 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화되는 화염 전면의 점파를 억제하기 위해 개시된다. 연소실은 펌핑 메커니즘으로부터 배출되는 폐기물 스트림을 수용하기 위한 입구와, 폐기물 스트림의 가연성 성분을 연소시키기 위한 화염을 발생시키기 위한 수단을 포함한다. 압력 검출기는 폐기물 스트림이 펌핑 메커니즘에 의하여 흡인되는 위치에서의 압력을 검출하며, 화염 검출기는 연소실에서의 화염의 존재를 검출한다. 제어기는 폐기물 스트림에 의해 화염이 지속될 수 있는 압력보다 검출된 압력이 크거나, 또는 연소실에서 화염이 존재하지 않으면 공정 챔버로 적어도 하나의 유체의 전달을 조정한다.

Description

화염 전면의 전파 억제 장치 및 방법{APPARATUS FOR INHIBITING THE PROPAGATION OF A FLAME FRONT}

본 발명은 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하며 펌핑 메커니즘에 의하여 점화되는 화염 전면(flame front)의 전파를 억제하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다.

반도체 공정이 점점 더 복잡하게 됨으로써, 이러한 공정에 사용되는 유체는 점점 더 활동적으로 된다. 공정 챔버를 비우도록 사용된 진공 펌프 내의 분위기는 가연성 가스의 포켓을 포함하거나, 또는 극단적으로 완전히 가연성일 수 있는 이 공정과 관련된 위험이 증가한다. 진공 펌프들은 통상 기질적으로 그러한 환경으로 설계되지 않았었다. 진공 펌핑 메커니즘은 전형적으로 진공 펌프의 입구로부터 그 출구로 유체를 운반하도록 금속 스테터와 상호 작용하는 금속 로터를 포함한다. 이러한 펌핑 메커니즘의 부품들은 펌핑되는 유체가 펌프의 입구를 향하여 다시 누설하는 것을 방지하도록 밀접한 공차를 가지도록 요구된다. 이러한 2개의 금속 부품들에 대한 근접은 부품들의 임의의 부딪힘이 스파크를 발생시킴으로써 점화원을 나타내는 성향이 있는 이것의 특성에 의한 것이다. 처리의 전진 특성이 이러한 펌프들에 의해 착수되면, 금속 부품들의 변형(부식을 통하여)이 이러한 공차들이 상당 히 감소되도록 유사하게 증가할 수 있다. 또한, 반도체 처리에 사용되는 물질들의 반응은 종종 로터와 스테터의 표면에서의 물질의 침착을 이끈다. 이러한 침착은 펌핑 메커니즘의 부품들의 정렬이 영향을 받고 금속 부품들의 부딪힘이 따르도록 공차를 더욱 감소시킨다.

가연성 분위기가 점화 지점과 접촉하는 경우에, 폭발이 따른다. 이러한 폭발이 장치의 손상을 이끌면, 안전성 문제가 대두될 수 있다. 펌프의 부품들로부터 형성될 수 있는 점화 추진체들의 비극적 붕괴가 있는 경우에, 부근에 있는 임의의 다른 설비, 궁극적으로 그 영역에 위치된 사람들에게 위험한 환경을 생성한다. 붕괴가 덜 파괴적인 경우에, 가연성 가스의 누설이 장치를 둘러싼 환경으로 발생할 수 있다. 추가의 점화원이 이 영역에서 이용할 수 있으면, 추가의 폭발의 위험성이 있다. 이 폭발에 의하여 손상이 유발되는 경우에, 전체 펌핑 장치는 유지 보수가 착수되는 것을 허용하는 서비스로부터 취해질 필요가 있다. 이러한 것은 전체적인 공정 시스템에 대한 정지 시간이 따르고, 그러므로 제조 손실이 따른다.

그러므로, 종래에 있어서, 진공 펌프 내에서 발생하는 이러한 폭발의 위험을 최소화하는 것이 필요한 것으로서 간주되었다. 예를 들어, 특정 혼합물의 보다 낮은 폭발 제한 아래로 혼합물 웰(well)의 농도를 가져오도록 펌프 내에서 가연성 혼합물을 희석하도록 진공 펌프로 많은 양의 불활성 가스를 도입하는 것이 공지되어 있다. 이러한 방식에 있어서, 가연성 환경이 결코 발생되지 않음으로서, 펌프 내에서 폭발이 방지될 수 있는 것으로 믿어졌다. 그러나, 상당한 양의 불활성 가스가 펌프로 도입되는 경우에, 펌프와 펌프로부터 하류에 제공되는 임의의 완 화(abatement) 시스템의 용적 용량은 유체의 증가된 체적을 수용하도록 증가되어야만 된다. 공간이 반도체 처리 공구에서 중요한 것이기 때문에, 이러한 장치의 용량에서의 임의의 증가를 피하는 것이 필요하다. 또한 보다 큰 용량의 장치를 설치하고 구동하는 것과 관련되어 상당한 비용이 든다.

아울러, 가연성 혼합물과 불활성 가스 사이의 혼합이 특히 양호하지 않으면, 가연성 가스의 포켓들이 펌프 내에서 형성되는 것이 가능하다. 이러한 것은 특히 불활성 가스가 상류측 공정 챔버에서의 변동을 피하도록 펌프를 정지시키는 도중에 도입될 가능성이 있다. 이러한 시나리오에 있어서, 불활성 가스의 일부가 보다 낮은 압력 영역에서 일부 희석을 실행하도록 공정 챔버를 향하여 다시 운반될 수 있으나, 그 양은 적절한 희석 레벨을 달성하는데 불충분하며, 다시 말하면, 혼합물(또는 적어도 혼합물의 포켓)은 가연성 범위 내에 남게 된다.

본 발명의 적어도 바람직한 실시예의 목적은 이러한 문제들과 다른 문제들을 해결 수단을 찾는 것이다.

본 발명의 한 실시형태에 따라서, 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 진공 펌핑 장치의 펌핑 메커니즘에 의해 점화된 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치가 제공되고, 장치는 폐기물 스트림이 펌핑 메커니즘에 의해 흡인되는 위치에서의 압력을 검출하는 수단; 및 검출된 압력이 화염 전면이 폐기물 스트림에 의해 지속될 수 있는 압력보다 클 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하기 위한 수단을 포함한다.

장치는 공정 챔버로부터 펌핑 메커니즘으로 폐기물 스트림을 운반하기 위한 포어라인(foreline)을 포함할 수 있다. 검출 수단은 포어라인 내의 압력을 검출하도록 배열될 수 있다.

조정 수단은 공정 챔버로의 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 방지하기 위한 적어도 하나의 차단 밸브를 포함할 수 있다. 조정 수단은 검출된 압력을 지시하는 신호를 수신하기 위한 제어기를 포함할 수 있다. 차단 밸브는 제어기에 의해 제어될 수 있다.

진공 펌핑 장치는 펌핑 메커니즘의 상류에 위치된 추가의 펌핑 메커니즘을 포함할 수 있다. 추가의 펌핑 메커니즘은 바람직하게 부스터 펌프, 예를 들어 루츠 송풍기(Roots blower)에 의해 제공된다.

폐기물 스트림을 냉각하기 위한 수단이 공정 챔버와 펌핑 메커니즘 사이에 제공될 수 있다. 상기된 부스터 펌프는 냉각 메커니즘으로서 작용할 수 있다. 대안적으로, 특히 추가의 펌핑 용량에 대한 요구가 최소이면, 별도의 특징으로서 제공될 수 있다. 냉각 수단은 포어라인 내에 배치된 내부 냉각 메커니즘, 예를 들어 하나 이상의 냉각 배플, 하나 이상의 냉각 핑거 및/또는 하나 이상의 냉각 코일들을 포함한다. 대안적으로, 냉각 수단은 포어라인의 외부면에 인접하여 위치된 외부 냉각 메커니즘, 예를 들어 펠티에(Peltier) 장치 및/또는 냉각 코일을 포함할 수 있다.

장치는 진공 펌핑 장치의 배기구에 연결된 배기 파이프를 포함할 수 있다. 파이프는 파이프 내에서 발생하는 폭연(deflagration)의 폭발에 대한 단계적 확대를 억제하도록 구성될 수 있다. 배기 파이프는 하나 이상의 폭발 장애물, 하나 이상의 퍼지 포트, 하나 이상의 가변 지름 구역, 및 하나 이상의 가변 배향 구역들의 적어도 하나의 그룹을 포함할 수 있다.

검출된 압력에 의존하여 폐기물 스트림으로 불활성 가스를 전달하기 위한 수단이 제공될 수 있다. 이러한 불활성 가스 전달 수단은 펌핑 메커니즘의 스테터 내에 위치된 적어도 하나의 퍼지 포트 또는 펌핑 메커니즘으로부터 배출되는 폐기물 스트림으로 불활성 가스를 도입하도록 위치될 있는 퍼지 포트를 포함할 수 있다. 전달 수단은 퍼지 가스의 전달에 앞서 퍼지 가스를 가열하도록 구성된 가열 수단을 포함할 수 있다.

장치는 펌핑 메커니즘으로부터 배출된 폐기물 스트림을 수용하기 위한 완화 장치를 포함할 수 있다. 완화 장치는 펌핑 메커니즘으로부터 배출된 폐기물 스트림을 수용하기 위한 입구를 가지는 연소실을 포함할 수 있다. 연소실은 또한 연소실 내에서 폐기물 스트림의 가연성 성분을 연소시키기 위하여 화염을 발생시키기 위한 수단을 포함할 수 있다. 연소실이 이렇게 구성되는 경우에, 완화 장치는 연소실에서의 화염의 존재를 검출하기 위한 수단을 포함할 수 있다.

조정 수단은 화염이 연소실 내에서 검출되지 않을 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하도록 구성될 수 있다. 화염이 연소실에 존재하지 않을 때 펌핑 메커니즘으로부터 배출된 폐기물 스트림으로 불활성 가스를 전달하는 수단이 제공된다.

연소실의 입구는 연소실로부터의 화염이 연소실로부터 상류측의 폐기물 스트림으로 전파하는 것을 방지하도록 구성된다.

조정 수단은 연소실 내에 있는 화염의 존재에 의존할 뿐만 아니라 펌프의 입구 영역에서의 압력에 의존할 수 있다. 결과적으로, 본 발명의 또 다른 실시형태에 따라서, 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치가 제공된다. 장치는, 펌핑 메커니즘으로부터 폐기물 스트림을 수용하기 위한 입구와, 폐기물 스트림의 가연성 성분을 연소시키기 위하여 화염을 발생시키는 수단을 포함하는 연소실; 펌핑 메커니즘에 의해 폐기물 스트림이 흡인되는 위치에서의 압력을 검출하기 위한 수단; 연소실에서의 화염의 존재를 검출하기 위한 수단; 및 검출된 압력이 화염 전면이 폐기물 스트림에 의해 지속될 수 있는 압력보다 클 때 또는 연소실에서 화염이 존재하지 않을 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하기 위한 수단을 포함한다.

공급의 조정은 단지 펌핑 메커니즘의 하류에 위치된 연소실 내에서의 화염의 존재에 의존한다. 결과적으로, 본 발명의 또 다른 실시형태에 따라서, 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의하여 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치가 제공되고, 장치는 펌핑 메커니즘으로부터 폐기물 스트림을 수용하기 위한 입구와, 폐기물 스트림의 가연성 성분을 연소시키기 위하여 화염을 발생시키기 위한 수단을 포함하는 연소실; 연소실 내에서의 화염의 존재를 검출하기 위한 화염 검출기; 및 연소실에서 화염이 존재하지 않을 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하기 위한 수단을 포함한다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 따라서, 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화된 화염 전면의 전파를 억제하는 방법이 제공되고, 방법은 폐기물 스트림이 펌핑 메커니즘에 의해 흡인되는 위치에서의 압력을 검출하는 단계; 및 검출된 압력이 화염 전면이 폐기물 스트림에 의해 지속될 수 있는 압력보다 클 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 따라서, 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하는 방법이 제공되고, 방법은 펌핑 메커니즘으로부터 배출되는 폐기물 스트림을 수용하기 위한 연소실에서의 화염의 존재를 검출하는 단계; 및 연소실에 화염이 존재하지 않을 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 따라서, 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 진공 펌프의 펌핑 메커니즘에 의해 점화된 화염 전면의 전파를 억제하는 방법이 제공되며, 방법은 진공 펌프 내로 퍼지 가스의 흐름의 존재를 검출하는 단계; 및 퍼지 가스가 전달되지 않을 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 또 다른 실시형태에 따라서, 공정 시스템의 작동을 개시하는 방법이 제공되고, 시스템은 적어도 하나의 공정 유체가 그 입구를 통하여 공급되는 공정 챔버; 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하기 위하여 공정 챔버의 출구에 포어라인에 의해 연결되는 진공 펌핑 장치; 및 시스템의 오류 상태를 검출하기 위한 검출기를 포함하고, 방법은 시스템을 켜는 단계; 검출기가 작동되는 것을 보장하도록 검출기로부터 시스템의 오류 상태를 지시하는 제 1 상태 신호를 검출하는 단계; 진공 펌핑 장치의 동작을 연속적으로 개시하는 단계; 시스템의 작동 상태를 지시하는 제 2 상태 신호를 검출하는 단계; 및 공정이 개시되는 것을 허용하도록 공정 챔버로 공정 유체의 전달을 연속적으로 개시하는 단계를 포함한다.

본 발명의 시스템 실시형태들의 장치와 관련하여 상기된 특징들은 방법 실시형태에 동일하게 적용할 수 있으며, 그 역도 가능하다.

압력 검출 수단 및/또는 화염 검출기를 제공하고, 화염 물질의 공급원이 이에 의존하도록 하는 것에 의하여, 상기된 바와 같은 진공 펌프 내에서의 폭발에 의하여 유발되거나 또는 이와 관련된 잠재적인 손상을 완화시키고 억제하는 것이 가능하므로, 가연성 혼합물이 증가된 레벨로 펌핑되는 것을 가능하게 한다.

가연성 혼합물이 전적으로 발생하는 것을 방지하기 보다는 오히려, 다양한 특징들이 발생할 수 있는 임의의 폭연의 단계적 확산을 방지하도록 도입되어, 그러므로 폭연에 의해 행해질 수 있는 손상을 방지하거나 또는 적어도 제한한다. 이러한 것은 모두 용적 용량과 관련된 소모성 물질들을 증가시키는 것보다 표준 용량의 설비를 사용하여 달성될 수 있다. 결과적으로, 이러한 설비를 준비하고 구동하는 것과 관련된 비용이 억제될 수 있다.

점화가 발생할 수 있는 것이 인식되는 공지된 펌핑 장치에서, 종래의 화염 방지 장치는 전형적으로 진공 펌프의 입구 및/또는 출구에서 실행된다. 그러나, 이러한 장치들은 전형적으로 펌핑 효율에 있어서 감소된 값의 컨덕턴스 및 대응하는 감소를 이끈다. 이러한 것은 특히 반도체 처리에서 종종 발견될 수 있는 것으로서 특정 물질을 형성하는 침착을 발생시키는 공정에서 사용될 때 주목할 만하다. 침착이 화염 방지 장치에서 형성됨으로써, 펌핑된 유체가 지나가는 개방 단면적은 상당히 감소하므로, 컨덕턴스를 더욱 감소시킨다. 결과적으로, 빈번한 수리 및 보수 유지가 회피되면 이러한 환경에서의 화염 방지 장치를 사용하는 것은 부적절하다.

본 발명의 실시예는 다음의 도면들을 참조하여 기술된다.

도 1은 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치의 제 1 실시예를 개략적으로 도시한 도면,

도 2는 공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치의 제 2 실시예를 도시한 도면,

도 3은 도 1의 장치와 함께 사용될 수 있는 연소실의 입구의 상세도,

도 4는 연소실로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치의 제 3 실시예를 도시한 도면, 및

도 5는 상기된 실시예의 임의의 것과 관련된 2개의 고장 방지(fault tolerant) 개시 시스템을 나타내는 흐름도.

도 1은 그 안에 포함된, 예를 들어 반도체 웨이퍼 또는 평판 디스플레이 장치와 같은 샘플의 처리시에 사용되는 전형적으로 가스인 하나 이상의 처리 유체들 을 도입하기 위한 적어도 하나의 유체 입구(20)를 가지는 공정 챔버(10)를 도시한다. 차단 밸브(25)가 챔버(10)로 유체의 흐름을 선택적으로 차단하기 위하여 유체 입구(20)에 제공된다. 공정 챔버(10)로부터의 출구는 포어라인(40)을 통하여 진공 펌프(30)의 입구에 연결되고, 진공 펌프는 공정 챔버(10)로부터 폐기물 스트림을 흡인하는데 적절한 펌핑 메커니즘을 포함한다. 진공 펌프(30)로부터 흡인된 폐기물 스트림의 압력을 검출하기 위하여, 압력 검출기(45)가 포어라인(40, 도시된 바와 같이) 내에 또는 이 영역에서의 국부 압력을 결정하기 위하여 진공 펌프(30)의 입구 내에 제공된다. 이러한 포어라인 압력을 지시하는 신호가 압력 검출기(45)로부터 제어기(50)로 출력된다.

진공 펌프의 출구는 순차적으로 파이프(60)를 거쳐 완화 시스템(55)의 입구에 연결된다. 완화의 목적은, 예를 들어 완화 시스템의 출구로부터 폐기물 스트림을 운반하기 위한 배출 도관(70)에 연결된 스크러버에 의하여 보다 편안하게 처리되거나, 또는 배출 도관(70)을 거쳐 대기로 안전하게 배출될 수 있는 하나 이상의 상이한 성분으로 폐기물 스트림의 하나 이상의 화학종들을 변환하는 것이다. 이 예에서, 바이패스 라인(80)이 배출 도관(70)에 파이프(60)를 직접 연결하기 위하여 제공되는 것에 의하여, 공정 챔버(10) 내에서 처리하기 전에 그리고 그 사이의 시간 동안 완화 시스템이 대기 또는 차단되는 것을 허용하도록 완화 시스템(55)을 우회하므로, 비용을 감소시킨다. 3방 밸브(90)가 폐기물 스트림으로부터 유체 경로가 완화 시스템(55)을 통과하는지 또는 바이패스 라인(80)을 통하여 분기되는지를 제어하도록 바이패스 라인(80)과 파이프(60) 사이의 접합부에 제공된다. 밸브(90)의 작동은 제어기(50)에 의해 제어된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 퍼지 시스템(75)이 진공 펌프(30)로 불활성 가스의 양들을 도입하기 위하여 제공될 수 있다. 퍼지 시스템(75)은 전형적으로 진공 펌프(30)의 길이를 따라서 배치된 하나 이상의 퍼지 포트들을 포함한다. 여기에서, 진공 펌프(30)의 하류측의 불활성 가스를 도입하기 위한 추가의 퍼지 포트(65)는 파이프(60) 내에, 바람직하게 진공 펌프(30)의 출구와 밸브(90) 사이에 배치될 수 있다. 진공 펌프(30) 내로 및/또는 파이프(60) 내로 일정 유량의 퍼지 가스를 검출하기 위한 수단은 바람직하게 퍼지 시스템(75) 내에 제공된다.

이 실시예에서, 완화 시스템(55)은 폐기물 스트림의 임의의 가연성 성분의 연소가 발생하는 연소실을 포함한다. 화염 검출기(95)는 연소실 내측에서 화염이 존재하는지를 감지하기 위하여 완화 시스템(55) 내에 제공된다. 이 상태를 지시하는 신호는 화염 검출기(95)로부터 제어기(50)로 출력된다.

가연성 혼합물이 유체 입구(20)를 통하여 공정 챔버(10)로 도입되거나 또는 그 안에 위치된 샘플에서 실시되는 처리에 의하여 공정 챔버(10) 내에서 발생되는 경우에, 폐기물 스트림은 가연성 혼합물을 포함한다. 결과적으로, 가연성 분위기가 진공 펌프(30) 내에서 발생될 수 있다. 시험은 가연성 물질의 영역의 점화로 인한 초기 내부 폭발에 펌프가 버틸 수 있는 것을 확인하도록 전형적인 진공 펌프(30, BOC Edwards iH160F 펌프)에서 실시되었다. 이러한 시험들은 펌프가 작동 상태 하에서 화학량론의 가연성 혼합물이 넘칠 때 개시되는 폭연에서 경험되는 피크 압력의 두 배의 압력 적재를 견딜 수 있다는 것을 보여주었다.

진공 펌프(30) 내의 상태는 점화원이 존재하면 폭연이 발생할 수 있는 것일 수 있다. 화염 전면이 이러한 폭연에 의하여 발생되면, 이러한 것은 가연성 분위기를 통하여 점화원으로부터 멀리 전달된다. 화염 전면에 의해 마주치게 되는 상태들은 화염 전파가 어떻게 진행하는지에 영향을 주게 된다.

예를 들어, 화염 전면이 포어라인(40)으로 상류측에 전달되는 경우에, 낮은 압력의 영역을 만난다. 대부분의 가연성 혼합물에 대하여, 그 이하에서 혼합물이 연소되지 않는 임계 압력이다. 대부분의 가연성 혼합물에 대하여, 이러한 임계 압력은 60mbar 주위이지만, 일부 혼합물에 대하여, 1mbar 만큼 낮다. 공정 챔버(10)의 사용동안, 펌프(30)의 포어라인(40)에서의 압력은 이러한 임계 압력 이하에서 통상 유지된다. 화염 전면이 이러한 낮은 압력 영역을 마주칠 때, 화염 전면은 지속되지 못하고 화염은 소화된다.

화염 전면이 펌프(30)로부터 하류측으로 전달되는 경우에, 이것은 파이프(60) 아래로 그리고 완화 시스템(55) 내로 주행한다. 이전에 기술된 바와 같이, 완화 시스템(55)에 있는 연소실에서의 화염은 완화 시스템(55)으로부터 배출되는 폐기물 스트림이 가연성 성분을 약간, 바람직하게는 포함하지 않도록 챔버로 들어가는 임의의 가연성 유체를 점화한다. 결과적으로, 화염 전면이 완화 시스템(55)으로부터 멀리 전파하면, 연소실은 화염 방지 장치로서 효과적으로 작용하여서, 화염 전면의 추가의 전파가 방지되고, 연소하는 나머지 연료가 없기 때문에 화염은 소화된다.

대안적으로, 완화 시스템(55)이 제공되지 않는 경우에, 또는 부가하여 불활 성 가스가 퍼지 포트(65)를 통하여 파이프(60) 내로 도입될 수 있다. 이러한 불활성 가스는 낮은 가연 능력 제한에 의하여 나타나는 농도 이하로 가연성 혼합물을 희석하여, 비가연성 분위기를 제공한다. 그러므로, 화염 전면이 펌프(30)의 하류로 전파하는 경우에, 이것은 파이프(60)에서의 비가연성 분위로 들어가서 소화된다.

장치의 정상적인 작동에 있어서, 화염 전면의 전파 범위는 상기된 특징들의 소화 효과로 인하여 제한된다. 그러나, 안전한 시스템을 제공하기 위하여, 다음의 안전 장치들중 하나 이상을 실행하는 것이 필요하다.

이전에 기술된 바와 같이, 압력 검출기(45)는 포어라인(40) 내에 또는 펌프(30)의 입구에 배치된다. 이러한 검출기(45)는 사전 결정된 값, 전형적으로 상기된 바와 같이 화염 전면을 지속하도록 요구되는 임계 압력 이하로 이를 유지하는 것을 보장하도록 이 영역에서의 국부 압력을 모니터링하는 제어기(50)로 그 국부 압력을 지시하는 신호를 출력한다. 이러한 사전 결정된 압력이 초과되는 경우에, 화염 전면이 포어라인(40) 내에서 유지될 수 있는 위험이 있다. 부가하여, 완화 시스템(55)의 연소실 내의 화염이 어떤 이유로 소화되었으면, 폐기물 스트림의 가연성 성분은 점화되지 않고, 그러므로, 가연성 분위기가 유지된다. 이러한 가연성 분위기는 완화 시스템(55)을 통하여 배출 도관(70)으로 전파하는 화염 전면을 지속할 수 있다. 상기된 바와 같이, 화염 검출기(95)는 화염의 존재를 확인하도록 제어기(50)로 신호를 출력한다.

또한 상기된 바와 같이, 밸브(25)는 필요할 때 공정 챔버(10)로의 적어도 하나의 공정 유체의 도입을 차단할 수 있도록 공정 챔버(10)의 입구(20)에 제공된다. 밸브(25)의 작동은 제어기(50)에 의해 제어된다. 포어라인(40)에서의 사전 결정된 압력이 초과되는 경우에, 연소실에서의 화염은 소화되거나 또는 펌프(30)로의 퍼지 가스의 전달이 차단되는 경우에, 제어기(50)는 밸브(25)를 차단하도록 지시하기 위하여 밸브(25)로 신호를 출력하여 챔버(10)로 공정 유체의 흐름을 정지하도록 구성된다. 이러한 유체의 흐름을 차단하는 것에 의하여, 공정 챔버(10)로부터의 하류측의 장치 내에서의 가연성 혼합물의 농도는 폭연 발생의 위험이 감소되도록 가연성 혼합물의 하부 폭발 제한 아래로 급격히 감소될 수 있다.

가연성 유체원의 차단에 더하여, 추가의 완화 작용이 펌프(30) 내에서의 가연성 혼합물의 농도를 보다 급격히 감소시키도록 불활성 가스가 펌프(30)를 넘치도록 퍼지 시스템(75)으로의 지시의 형태로 제어기(50)에 의해 취해질 수 있다. 이러한 퍼지는 공정 챔버(10)로부터 하류측의 장치의 임의의 부분으로 전달될 수 있지만, 펌프의 스테터에 형성된 다수의 표준 퍼지 포트들 중 하나를 통하여 펌프(30)로 직접, 또는 퍼지 포트(65)를 통하여 펌프(30)의 출구로부터 선행하는 파이프(60) 내로 직접 전달된다.

상기된 완화 작용에 더하여, 추가의 안전 특징들이 도입될 수 있다. 예를 들어, 제어기(50)는 차단 밸브(25)가 개방될 때 바이패스 라인(80)을 폐쇄하도록 3방 밸브(90)를 제어할 수 있다. 다시 말하면, 장치에 존재하는 가연성 혼합물의 임의의 기회가 있을 때, 바이패스 라인이 폐쇄되어서, 유체는 완화 시스템(55)을 통과하여야만 한다.

대안적으로, 가연성 혼합물이 공정 챔버(10)로부터 하류측에 존재하도록 예 측될 수 있도록, 밸브(25)가 개방 위치에 있을 때, 제어기는 불활성 가스가 퍼지 포트(65)를 통하여 불활성 가스가 전달되도록 퍼지 시스템(75)을 지시할 수 있어서, 파이프(60) 내의 가연성 혼합물의 농도는 임의의 우발적인 화염 전면이 이 영역에서 지속될 수 없도록 하부 가연성 제한 아래로 감소된다.

화염 전면이 충분히 긴 경로를 따라서 전파되는 경우에, 적절한 조건 하에서 폭연이 발생할 수 있으므로, 설미 및 주위 장치에 대한 상당히 증가된 레벨의 손상이 따른다. 이러한 긴 경로는 진공 펌프(30)와 완화 시스템(55) 사이에서 연장하는 파이프(60)의 형태에서 볼 수 있다. 이러한 이유 때문에, 폭연의 형성을 방지하는 방식으로 진공 펌프(30)로부터 선행하는 파이프(60)를 설계하는 것이 바람직하다. 이러한 행위에 영향을 주는 인자들은 파이프(60)의 지름, 파이프(60)의 임의의 직선 구역의 길이, 및 통상 파이프(60) 내에서의 폭연 장애물로서 언급되는 임의의 장애물의 존재이다.

일부 환경에 있어서, 가연성 폐기물 스트림은 응축 가능한 가연성 가스들을 포함한다. 파이프(60)는 장치의 상류 부분에서 볼 수 있는 상승된 압력 및 낮은 온도에서의 환경을 제공하고, 그러므로, 응축이 형성하는데 특히 적절한 조건들을 제공한다. 가연성 액체의 풀(pool)이 형성되는 경우에, 이것들은 예측할 수 없는 가연성 물질원을 제공한다. 풀로부터의 가연성 물질의 방면 속도는 주위 대기로의 액체의 증발 속도에 의존하고, 순차적으로 가스 형성물에 존재하는 임의의 액의 함량 및 포화 레벨과 함께 그 영역의 압력 및 온도를 포함하는 다수의 인자들에 의존한다.

응축 가능한 물질과 관련된 추가의 문제는, 전체 가스 혼합물이 예측 가능한 방식으로 장치를 통과하는 것이 예측될 수 있는 경우에, 응축물의 풀이 장치에서 훨씬 길게 유지될 수 있다는 것이다. 일부의 경우에, 공정 챔버 내에서 실시되는 상이한 처리 단계들은 양립할 수 없는 물질들을 통합한다. 유체들이 가스일 때, 공정 단계들은 하나의 단계가 완료되고 폐기물 스트림이 다음 단계가 시작하기 전에 시스템으로부터 제거되는 확실성의 정도가 존재하도록 타절(打切)될(discretised) 수 있다. 그러나, 계속 증발하는 파이프(60) 내에 가연성 액체의 풀이 있을 때, 양립할 수 없는 물질들이 파이프(60) 내에서 혼합하여 접촉으로 반응하기 위하여 허용되도록 공정의 다음의 단계가 개시될 때 여전히 존재한다. 이러한 시나리오의 특정 예는 세정 단계가 공정단계를 따르고 가연성 혼합물이 특히 높은 산화물 함유량을 가지는 물질과 결합될 때, 이러한 재료들의 결합이 특별히 반응하는 것이다.

그러므로, 제 1 위치 등에서 이러한 응축물의 형성을 피하는 것이 필요하고, 대안적인 구성에 있어서, 가열 요소들은 유체가 응축하는 것을 만날 수 있는 차가운 지점들을 형성하는 것을 방지하도록 파이프(60) 주위에 제공될 수 있다. 이러한 방식으로, 펌프(30)로부터 배출되는 유체는 가스 형태로 유지될 수 있다. 진공 펌프(30) 내에서 그리고 파이프(60) 내에서 응축물의 형성을 더욱 피하도록, 퍼지 시스템(75)을 통하여 전달되는 임의의 퍼지 가스는 바람직하게 전달되기 전에 가열된다. 이렇게 하여, 폐기물 스트림은 불필요한 냉각을 피하고, 순차적으로 응축물의 형성을 피하는 것을 돕는다. 퍼지 가스를 가열하도록 구성된 장치에서, 퍼지 가스의 온도를 모니터링하기 위한 센서가 바람직하게 제공된다. 신호는 퍼지 가스의 온 도가 사전 결정된 값 아래로 감소하는 환경에서 센서에 의해 발생될 수 있다. 공정 챔버(10) 내로의 공정 유체의 흐름은 이 신호에 응답하여 밸브(25)를 작동시키는 것에 의하여 종료될 수 있다.

도 2는 장치의 부분으로부터 누설하는 임의의 가연성 유체가 외부 점화원과 접촉하여 폭연을 유발하는 것을 방지하도록 인클로저(100, enclosure) 내에 진공 펌프(30)와 완화 시스템(55)이 어떻게 수용되는지를 도시한다. 이러한 인클로저(100) 내에서의 환경은 억지 추출에 의해 제어될 수 있다. 예시된 바와 같이, 추가의 검출 유닛, 유량 검출기(105)는 인클로저로부터 유체의 추출 속도를 검출하도록 인클로저의 추출 덕트(110)에 통합된다. 추출 속도를 지시하는 신호는 유량 검출기(105)로부터 제어기(50)로 출력된다. 제어기는 추출 속도를 모니터링하고, 속도가 공정 챔버(10)의 작동 동안 사전 결정된 값 이하로 강하하면, 상기된 작용이 개시된다.

아래의 표는 취해질 수 있는 다양한 완화 작용의 일부를 요약한다.

조건	이하에 의해 검출된 상태 및 보내진 신호	이하에 의해 취해진 작용	결과
임계 압력 이상의 포어라인 압력	압력 검출기(45)	밸브(25)	공정 유체 차단 공정 정지
공정 유체 흐름	차단 밸브(25)	3방 밸브(90)	바이패스 라인(85) 기능 억제
공정 유체 흐름	차단 밸브(25)	퍼지 시스템(75) 및 퍼지 포트(65)	바이패스 라인(80)의 상류측 퍼지 가스 도입
인클로저 추출 오류	유량 검출기(105)	밸브(25)	공정 유체 차단 공정 정지
연소 오류	화염 검출기(95)	밸브(25)	공정 유체 차단 공정 정지
연소 오류	화염 검출기(95)	퍼지 시스템(750 및 퍼지 포트(65)	완화 시스템(55)의 상류측 퍼지 가스 도입

제어기(50)는 각각의 검출 부품(45, 95, 105)들과 밸브 부품(25, 65, 90)들 사이의 경질 배선 연결로 대체될 수 있다. 검출 및 밸브 부품들이 안전 회로 부품들이기 때문에, 가능한 경우에, 이것들은 페일세이프 구성으로 제공되고, 또는 그 기능성이 장치에서 쌍을 이루도록 여분의 것이 제공된다.

도 3에 도시된 바와 같은 추가의 안전 특징들은 연소실을 가지는 완화 시스템(55)을 포함하는 상기 실시예들 중 임의의 것에서 실행될 수 있다. 상기된 바와 같이, 폐기물 스트림의 임의의 가연성 성분이 연소실 내에 제공된 화염과 접촉할 때, 이것들은 타서 재가 되고, 그러므로, 비가연성 분위기를 발생시킨다. 그러나, 화염이 가연성 분위기를 접촉함으로써, 화염 전면이 입구로부터 연소실로 그리고 파이프(60) 내로 전파할 수 있는 위험이 있다. 이러한 것은 통상 "역화(flash back)"로 지칭된다. 이러한 것이 발생하는 것을 방지하는 것이 필요함으로써, 우발적인 폐기물 스트림의 제한을 제공하여 이를 가속화하는 변경된 입구가 제공될 수 있다. 우발적인 유량이 충분히 크면, 연소실 내에서 개시된 화염 전면은 화염 전면을 고정하도록 작용하는 적절한 개구를 구비한 위치에서 방지될 수 있다. 이러한 장치의 하나의 특정 예는 도 3에 도시된 바와 같이 연소실의 입구에 제공되는 얇은 단면의 금속 콘(120)이다. 화염 전면이 보다 작은 개구에서 고정하였으면, 콘의 온도는 증가하는 지름의 방향으로 급격히 증가하게 된다. 콘에 열 센서를 제공하는 것에 의하여, 상기에서 상세히 기술된 바와 같이 완화 작용이 실행될 수 있도록 역화를 용이하게 검출하는 것이 가능하다.

상기된 바와 같이, 일부 혼합물에 대하여, 임계 압력은 예를 들어 산소의 존재로 높은 수소 함유량을 가지는 것들에 대해 10mbar 만큼 낮게 될 수 있다. 이러한 환경에서, 압력이 임계 압력을 초과하지 않는 것을 보장하도록 진공 펌프(30)의 펌핑 용량을 보충할 필요가 있다. 대안적으로, 열적 환경은 임계압력의 값이 상승되도록 변경될 수 있다.

도 4는 진공 펌프(30)와 일렬로 배치되고 도관에 의해 거기에 연결된 예를 들어 부스터 펌프와 같은 추가의 진공 펌프(130)를 포함하는 제 3 실시예를 도시한다. 부스터 펌프는 바람직하게 루트 펌프 메커니즘을 포함한다. 추가의 압력 검출기(145)는 각각의 진공 펌프(30, 130)들의 상태의 추가의 지시를 제어기(50)에 제공될 수 있도록 도관에 위치된다.

추가의 진공 펌프(130)의 도입은 포어라인(40)에서의 압력을 잠재적으로 감소시킬 뿐만 아니라 공정 챔버(10)로부터 흡인되는 폐기물 스트림을 식히도록 작용한다. 식힘(quenching)은 폐기물 스트림을 냉각하여서, 그 이하의 압력에서 화염 전면의 전파가 지속되는 임계 압력의 값은 증가된다. 또한, 화염 전면이은 펌핑 메커니즘으로부터 상류측으로 전파하여 부스터 펌프(130)로 들어가면, 부스터 펌프의 밀접한 공차에 의하여 제고오디는 바와 같은 흐름에 대한 제한과 결합된 식힘 작용은 부스터 펌프(130)가 화염 방지 요소로서 효율적으로 작용하도록 한다.

일부 혼합물에 대하여, 식힘만으로 추가의 진공 펌프(130)가 요구되지 않는 범위로 임계 압력을 감소시킨다. 이러한 환경에서, 폐기물 스트림을 식히는 것은 포어라인 내의 또는 외부의 대안적인 수단에 의해 실행될 수 있다. 예를 들어, 냉각된 배플, 핑거 또는 냉각 코일은 포어라인의 내부 내에 제공되거나 또는 포어라인의 외부면은 냉각 코일 또는 펠티에 장치를 사용하여 냉각될 수 있다.

상기된 실시예들 중 임의의 것과 관련하여, 검출기(45, 95, 145)들은 펌프의 개시 절차 및 공정 챔버(10)에서 실시되는 연속적인 공정의 안전성을 개선하도록 사용될 수 있다. 상기 개시 절차는 도 5의 흐름도에 개시된다. 전체 시스템의 파워가 스위치 온 되면, 검출기(45, 95, 145)들은 진공 펌프(30, 130)의 상류측 압력이 사전 결정된 임계 압력을 초과하므로 오류 상태를 인식하고, 완화 시스템(55)에서 화염이 존재하지 않게 된다. 펌프(30)는 "오류" 신호가 각각의 이러한 검출기로부터 수신될 때까지 시작하는 것을 허용하지 않게 되고, 각각의 검출기들이 적절하게 기능하는 것을 나타낸다. "오류" 상태 신호가 각각의 검출기로부터 수신되지 않으면, 검출기들 중 적어도 하나가 결함이 있는 것으로 추정되며, 펌프가 시작하는 것이 방지된다.

펌프(30)와 완화 시스템(55)이 개시되고 정상적인 작동 상태들이 만들어졌으 면, 각각의 검출기들은 비오류(non-fail) 또는 작동 상태를 인식하여야 한다. 작동 상태가 전체에 걸쳐 만들어졌으면, 공정이 개시될 수 있다. 상기된 바와 같이, 검출기(5, 95, 145)들중 임의의 것이 그 후에 "오류" 상태를 지시하는 경우에, 공정은 밸브(25)를 작동시키는 것에 의하여 종료되고, 공정 챔버(10)로의 하나 이상의 공정 유체의 전달을 중지한다.

Claims

공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 진공 펌핑 장치의 펌핑 메커니즘에 의해 점화된 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치에 있어서,

상기 장치는 폐기물 스트림이 펌핑 메커니즘에 의해 흡인되는 위치에서의 압력을 검출하는 수단; 및

검출된 압력이 화염 전면이 폐기물 스트림에 의해 지속될 수 있는 압력보다 클 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하기 위한 수단을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 공정 챔버로부터 펌핑 메커니즘으로 폐기물 스트림을 운반하기 위한 포어라인(foreline)을 추가로 포함하며, 상기 검출 수단은 상기 포어라인 내의 압력을 검출하도록 배열되는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

상기 조정 수단은 상기 공정 챔버로의 적어도 하나의 공정 유체의 반송을 방지하기 위한 적어도 하나의 차단 밸브를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,

상기 조정 수단은 검출된 압력을 나타내는 신호를 수신하기 위한 제어기를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 차단 밸브는 제어기에 의해 제어되는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 진공 펌핑 장치는 펌핑 메커니즘의 상류에 위치된 추가의 펌핑 메커니즘을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 펌핑 메커니즘의 상류에 위치된 부스터 펌프를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항 내지 제 5 항중 어느 한 항에 있어서,

폐기물 스트림을 냉각하기 위한 수단이 공정 챔버와 펌핑 메커니즘 사이에 제공되는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 8 항에 있어서,

상기 냉각 수단은 부스터 펌프를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,

상기 냉각 수단은 상기 포어라인 내에 배치된 내부 냉각 메커니즘을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 10 항에 있어서,

상기 내부 냉각 메커니즘은 하나 이상의 냉각 배플, 하나 이상의 냉각 핑거 및 하나 이상의 냉각 코일의 그룹 중 하나 이상인

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 8 항 내지 제 11 항중 어느 한 항에 있어서,

상기 냉각 수단은 상기 포어라인의 외부면에 인접하여 위치된 외부 냉각 메커니즘을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 12 항에 있어서,

상기 외부 냉각 메커니즘은 펠티에(Peltier) 장치 및 냉각 코일로 이루어 그룹 중 하나 이상인

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항 내지 제 13 항중 어느 한 항에 있어서,

상기 진공 펌핑 장치의 배기구에 연결된 배기 파이프를 포함하며, 상기 파이프는 파이프 내에서 발생하는 폭연의 폭발에 대한 단계적 확대를 억제하도록 구성되는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 14 항에 있어서,

상기 배기 파이프는 하나 이상의 폭발 장애물, 하나 이상의 퍼지 포트, 하나 이상의 가변 직경 구역, 및 하나 이상의 가변 배향 구역들로 이루어진 그룹 중 적어도 하나를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,

검출된 압력에 의존하여 폐기물 스트림으로 불활성 가스를 반송하기 위한 수단을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 16 항에 있어서,

상기 불활성 가스 전달 수단은 펌핑 메커니즘의 스테터 내에 위치된 적어도 하나의 퍼지 포트를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 16 항 또는 제 17 항에 있어서,

상기 불활성 가스 전달 수단은 상기 펌핑 메커니즘으로부터 배출되는 폐기물 스트림으로 불활성 가스를 도입하도록 위치되는 적어도 하나의 퍼지 포트를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 불활성 가스 전달 수단은 퍼지 가스의 전달에 앞서 퍼지 가스를 가열하도록 구성된 가열 수단을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 1 항 내지 제 19 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 펌핑 메커니즘으로부터 배출된 폐기물 스트림을 수용하기 위한 완화 장치를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 20 항에 있어서,

상기 완화 장치는 펌핑 메커니즘으로부터 배출된 폐기물 스트림을 수용하기 위한 입구와, 연소실 내에서 폐기물 스트림의 가연성 성분을 연소시키기 위하여 화염을 발생시키기 위한 수단을 갖는 연소실을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 21 항에 있어서,

상기 연소실에서의 화염의 존재를 검출하기 위한 수단을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 22 항에 있어서,

상기 조정 수단은 화염이 연소실 내에서 검출되지 않을 때 공정 챔버로의 적어도 하나의 공정 유체의 반송을 조정하도록 구성되는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 22 항 또는 제 23 항에 있어서,

화염이 연소실에 존재하지 않을 때 펌핑 메커니즘으로부터 배출된 폐기물 스트림으로 불활성 가스를 전달하는 수단을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 20 항 내지 제 24 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 연소실의 입구는 상기 연소실로부터의 화염이 상기 연소실로부터 상류측의 폐기물 스트림으로 전파하는 것을 방지하도록 구성되는

화염 전면의 전파 억제 장치.
공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치에 있어서,

상기 펌핑 메커니즘으로부터 배출되는 폐기물 스트림을 수용하기 위한 입구와, 폐기물 스트림의 가연성 성분을 연소시키기 위하여 화염을 발생시키는 수단을 포함하는 연소실;

상기 펌핑 메커니즘에 의해 폐기물 스트림이 흡인되는 위치에서의 압력을 검출하기 위한 수단;

상기 연소실에서의 화염의 존재를 검출하기 위한 수단; 및

검출된 압력이 화염 전면이 폐기물 스트림에 의해 지속될 수 있는 압력보다 클 때 또는 연소실에 화염이 존재하지 않을 때 상기 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 반송을 조정하기 위한 수단;을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의하여 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하기 위한 장치에 있어서,

상기 펌핑 메커니즘으로부터 폐기물 스트림을 수용하기 위한 입구와, 폐기물 스트림의 가연성 성분을 연소시키기 위하여 화염을 발생시키기 위한 수단을 포함하는 연소실;

상기 연소실 내에서의 화염의 존재를 검출하기 위한 화염 검출기; 및

상기 연소실에서 화염이 존재하지 않을 때 상기 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하기 위한 수단;을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 27 항에 있어서,

상기 연소실 내에 화염이 존재하지 않을 때, 상기 공정 챔버로부터 배출되는 폐기물 스트림으로 불활성 가스를 전달하기 위한 수단을 포함하는

화염 전면의 전파 억제 장치.
제 27 항 또는 제 28 항에 있어서,

상기 연소실의 입구는 상기 연소실로부터의 화염이 상기 연소실로부터 상류측의 폐기물 스트림으로 전파하는 것을 방지하도록 구성되는

화염 전면의 전파 억제 장치.
공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화된 화염 전면의 전파를 억제하는 방법에 있어서,

폐기물 스트림이 상기 펌핑 메커니즘에 의해 흡인되는 위치에서의 압력을 검출하는 단계; 및

화염 전면이 폐기물 스트림에 의해 지속되는 압력보다 검출된 압력이 클 때 상기 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하는 단계;를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 방법.
공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 펌핑 메커니즘에 의해 점화되는 화염 전면의 전파를 억제하는 방법에 있어서,

상기 펌핑 메커니즘으로부터 배출되는 폐기물 스트림을 수용하기 위한 연소실에서의 화염의 존재를 검출하는 단계; 및

상기 연소실에 화염이 존재하지 않을 때 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하는 단계;를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 방법.
공정 챔버로부터 폐기물 스트림을 흡인하는 진공 펌프의 펌핑 메커니즘에 의해 점화된 화염 전면의 전파를 억제하는 방법에 있어서,

진공 펌프 내로 퍼지 가스의 흐름의 존재를 검출하는 단계; 및

퍼지 가스가 전달되지 않을 때 상기 공정 챔버로 적어도 하나의 공정 유체의 전달을 조정하는 단계;를 포함하는

화염 전면의 전파 억제 방법.