KR20070107273A

KR20070107273A - Monitoring burn-in equipment having a voltage sag protector

Info

Publication number: KR20070107273A
Application number: KR1020060039560A
Authority: KR
Inventors: 김익기; 배상국
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2006-05-02
Filing date: 2006-05-02
Publication date: 2007-11-07

Abstract

A semiconductor testing apparatus having a voltage sag protector is provided to prevent discontinuous operation of the apparatus by operating the voltage sag protector when an input power is abnormal by installing additionally a micro process unit and the voltage sag protector at an input power. A micro processor unit(116) is connected to an input power(102) to determine an orientation of the input power. A bypass switch(118) is installed adjacently to the micro processor unit, and is switched if the input power is in an abnormal state. A voltage sag protector(104) is installed adjacently to the microprocessor unit, and is switched if the input power is in an abnormal state. An output power(120) is connected to the bypass switch and the voltage sag protector, and a chamber power(108) is connected to the output power.

Description

Monitoring Burn-in equipment having a voltage sag protector

도 1은 종래 기술에 의한 반도체 소자 검사장비로 연결되는 전원 라인을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.1 is a schematic block diagram illustrating a power line connected to a semiconductor device inspection apparatus according to the prior art.

도 2는 본 발명에 의한 반도체 소자 검사장비로 연결되는 전원 라인을 설명하기 위한 개략적인 블록도이다.Figure 2 is a schematic block diagram illustrating a power line connected to the semiconductor device inspection equipment according to the present invention.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 반도체 소자 검사장비의 순간정전 보상장치의 작동원리를 설명하기 위한 블록도이다.3 is a block diagram illustrating an operation principle of an instantaneous power failure compensating device of a semiconductor device inspection apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100: 반도체 검사장비, 102: 일반전원,100: semiconductor inspection equipment, 102: general power supply,

104: 순간정전 보상장치, 108: 챔버,104: momentary power outage compensation device, 108: chamber,

110: 챔버 컨트롤러부, 112: 부속설비,110: chamber controller, 112: accessories,

116: 마이크로 프로세서 유닛, 114: 차단기,116: microprocessor unit, 114: breaker,

118: 바이패스 스위치, 120: 출력전원,118: bypass switch, 120: output power,

122: 트랜스포머, 124: 컨버터,122: transformer, 124: converter,

126: 인버터, 128: 콘텐서.126: inverter, 128: capacitor.

본 발명은 반도체 소자 검사장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 전원 품질(Power quality)을 높이기 위하여 반도체 소자 검사장비로 연결되는 전원 라인에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor device inspection equipment, and more particularly to a power line connected to the semiconductor device inspection equipment in order to increase the power quality (Power quality).

컴퓨터나 마이크로 프로세서와 같은 정밀 장치가 내장되어 있는 반도체 소자의 검사장비는 어떤 경우에도 안정된 전원이 공급되는 것이 필요하다. 이에 따라 반도체 소자 제조업체는 설비로 일반전원의 공급이 중지되는 정전과 같은 비상사태에 대비하기 위하여 무정전 전원장치(Uninterruptible Power Supply, 이하 'USP')를 장착하고 있다.Inspection equipment for semiconductor devices incorporating precision devices, such as computers and microprocessors, needs to be supplied with stable power in any case. Accordingly, semiconductor device manufacturers are equipped with an uninterruptible power supply (USP) to prepare for emergencies such as a power failure in which the supply of general power is stopped.

무정전 전원장치(UPS)란, 말 그대로 정전이 존재하지 않는 전원공급장치를 말한다. 이러한 무정전 전원장치는 상용시에는 전원을 축전지에 저장하여 두고, 정전이나 설비의 전원공급 입력단에 문제가 발생시 축전지에 저장해 둔 전원소스를 이용하여 양질의 안전한 전원소스을 설비에 안정적으로 공급하는 장치이다. An uninterruptible power supply (UPS) is a power supply that literally does not exist. The uninterruptible power supply is a device that stores power in a battery during commercial use, and stably supplies a high-quality safe power source to a facility by using a power source stored in the battery when a power failure or a problem occurs in a power supply input terminal of a facility.

무정전 전원장치는 산업이 발전하면서 설비 내에서 가공중인 고가의 생산제품이 파손되거나, 데이터의 손실이나 정보의 손실 등의 피해를 줄이고자 등장하여 컴퓨터의 보급이 일반화되면서 날로 사용이 증가하는 추세에 있다.Uninterruptible power supplies have emerged to reduce damage such as expensive products being processed in facilities or loss of data or loss of information as the industry develops. .

도 1을 참조하면, 일반적으로 반도체 소자 검사장비는, 챔버(30), 상기 챔 버(30)를 제어하는데 사용되는 챔버 컨트롤러부(40) 및 테스터 및 모니터와 같은 부속설비(50)로 이루어진다. Referring to FIG. 1, a semiconductor device inspection apparatus generally includes a chamber 30, a chamber controller 40 used to control the chamber 30, and an accessory facility 50 such as a tester and a monitor.

그러나, UPS(20)가 사용되는 부분은 테스터나 모니터가 포함된 부속설비(50)에 국한되고, 대전류가 소요되는 챔버(30) 및 챔버 컨트롤러부(40)에는 UPS(20)를 통하지 않고 곧바로 일반적원이 공급된다. 따라서 정전 발생시, 부속설비는 가동되지만, 정착 반도체 소자가 들어있는 챔버 및 챔버 컨트롤러부(A, 도면의 점선부분)는 가동이 중지될 수 밖에 없는 실정이다.However, the portion in which the UPS 20 is used is limited to the accessory 50 including the tester or the monitor, and the chamber 30 and the chamber controller 40, which require a large current, are not directly passed through the UPS 20. General sources are supplied. Therefore, in the event of a power failure, the accessory equipment is operated, but the chamber and the chamber controller portion A (the dotted line in the drawing) in which the fixing semiconductor element is contained are inevitably stopped.

이러한 종래 기술은, UPS(20)가 베터리(battery) 보상 방식이므로 이에 따른 수명관리가 필요하며, 생산 현장에서 검사장비를 유지관리(maintenance)하는 인력외에 UPS(20)를 유지, 관리하는 별도의 인력을 배치해야 하므로 번거로움이 있다.Since the UPS 20 is a battery compensation method, the related art requires a lifetime management, and a separate maintenance and management of the UPS 20 in addition to the personnel who maintain the inspection equipment at the production site. It's a hassle because you have to deploy people.

또한, 실질적으로 반도체 소자 검사장비가 가동중지되는 이유는 정전보다는 입력전원의 순간적인 전압강하(Voltage sag, voltage dip)와 같은 전원 교란에 기인하는 비율이 크기 때문에 이에 대한 대비책이 챔버나 챔버 컨트롤러부로 공급되는 전원(A)에는 전무한 실정이다.In addition, the reason for the fact that the semiconductor device inspection equipment is actually stopped due to the large power disturbance such as the voltage sag (voltage sag, voltage dip) of the input power supply rather than the power failure, so the countermeasure for the semiconductor device inspection equipment is There is no situation in the power supply A supplied.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상술한 문제점들을 해결할 수 있도록 입력전원에 순간적으로 돌입전류나 전압강하가 발생하더라도 설비의 가동이 중지되는 일이 없도록 별도의 마이크로 프로세서 유닛 및 순간정전 보상장치를 장착한 반도체 검사장비를 제공하는데 있다.The technical problem to be solved by the present invention is to equip a separate microprocessor unit and an instantaneous power failure compensator so that the operation of the equipment does not stop even when an inrush current or voltage drop occurs in the input power source to solve the above problems. To provide a semiconductor inspection equipment.

상기 기술적 과제를 달성하기 위해, 본 발명에 의한 순간정전 보상장치를 갖는 반도체 검사장비는, 반도체 검사장비로 입력되는 입력전원과, 상기 입력전원과 연결되어 입력전원의 방향을 결정하는 마이크로 프로세서 유닛(MPU)과, 상기 마이크로 프로세서 유닛과 인접하여 설치되어 마이크로 프로세서 유닛의 판단에 의하여 입력전원이 정상일 때 연결되는 바이패스(By-pass) 스위치와, 상기 마이크로 프로세서 유닛과 인접하여 설치되어 마이크로 프로세서 유닛의 판단에 의하여 입력전원이 비정상일 때 연결되는 순간정전 보상장치(VSP)와, 상기 바이패스 스위치 및 순간정전 보상장치와 연결되는 출력전원과, 상기 출력전원과 연결되는 반도체 검사장치의 챔버 전원을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above technical problem, the semiconductor inspection equipment having a momentary power interruption compensation device according to the present invention, an input power input to the semiconductor inspection equipment, and a microprocessor unit connected to the input power to determine the direction of the input power ( MPU), a bypass switch which is installed adjacent to the microprocessor unit and connected when the input power is normal according to the determination of the microprocessor unit, and is installed adjacent to the microprocessor unit to And an instantaneous power failure compensator (VSP) connected when the input power is abnormal by determination, an output power source connected to the bypass switch and the momentary power failure compensator, and a chamber power source of the semiconductor test apparatus connected to the output power source. Characterized in that.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 순간정전 보상장치를 갖는 반도체 검사장비는, 상기 입력전원과 상기 마이크로 프로세서 유닛 사이에 구성된 차단기(Circuit Breaker)를 더 포함할 수 있으며, 상기 출력전원과 연결된 챔버 컨트롤러부 전원 및 부속설비 전원을 더 구비할 수 있다. According to a preferred embodiment of the present invention, the semiconductor inspection equipment having the momentary power compensation device may further include a circuit breaker configured between the input power and the microprocessor unit, the chamber connected to the output power The controller unit may further include a power source and an accessory facility power source.

또한 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 순간정전 보상장치는, 입력전원의 고주파 전압을 원하는 크기로 변환하는 트랜스포머와, 상기 프랜스포머의 교류를 직류로 변환하는 컨버터와, 상기 컨버터에서 나온 직류의 전기적 안정도를 향상시키는 콘덴서와, 상기 컨덴서에서 나온 직류전원을 교류로 변환시켜 상기 트랜스포머로 전송하는 인버터를 포함하는 것이 적합하다.In addition, according to a preferred embodiment of the present invention, the instantaneous power outage compensator includes a transformer for converting a high frequency voltage of an input power source to a desired size, a converter for converting alternating current of the transformer into direct current, and a direct current from the converter. It is suitable to include a capacitor for improving the electrical stability of the inverter, and an inverter for converting the DC power source from the capacitor to an alternating current to transmit to the transformer.

바람직하게는, 상기 반도체 검사장비는 모니터링 번인 장비(Monitoring Burn-in) 장비인 것이 적합하다. Preferably, the semiconductor inspection equipment is preferably a monitoring burn-in equipment.

또한 상기 순간정전 보상장치(VSP)는, 입력전원의 전원강하를 1초(sec)까지 보상할 수 있는 것이 적합하며, 상기 순간정전 보상장치(VSP)의 트랜스포머는 상기 출원전원으로 정현파(sine wave) 교류를 전달하는 것이 적합하며, 상기 콘덴서는 이중층 콘덴서인 것이 적합하며, 상기 마이크로 프로세서 유닛은, 입력전압이 AV 185V 이하일 때 입력전원을 비정상으로 판단하여 순간정전 보상장치를 가동시키는 것이 적합하다.In addition, the instantaneous power failure compensation device (VSP), it is suitable that the power supply of the power supply can be compensated for up to 1 second (sec), the transformer of the momentary power failure compensation device (VSP) is the sine wave (sine wave) to the applied power supply It is suitable to transmit alternating current, and it is suitable that the capacitor is a double layer capacitor, and the microprocessor unit is suitable for operating the momentary power compensation device by judging the input power as abnormal when the input voltage is AV 185V or less.

본 발명에 따르면, 반도체 소자 검사장비에서 발생하는 전압강하(voltage sag)와 같은 전원 교란을, 마이크로 프로세서 유닛과 순간정전 보상장치를 통하여 효과적으로 처리함으로써, UPS와 같은 고가(High cost)의 무정전 전원장치를 사용하지 않고도 빈번하게 반도체 소자 검사장비의 가동이 중지되는 문제를 해결할 수 있다.According to the present invention, a high cost uninterruptible power supply such as a UPS by effectively processing power disturbances such as voltage sags generated in semiconductor device inspection equipment through a microprocessor unit and an instantaneous power interruption compensator. It is possible to solve the problem of frequently stopping the operation of the semiconductor device inspection equipment without using.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 아래의 상세한 설명에서 개시되는 실시예는 본 발명을 한정하려는 의미가 아니라, 본 발명이 속한 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게, 본 발명의 개시가 실시 가능한 형태로 완전해지도록 발명의 범주를 알려주기 위해 제공되는 것이다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments disclosed in the following detailed description are not meant to limit the present invention, but to those skilled in the art to which the present invention pertains, the disclosure of the present invention may be completed in a form that can be implemented. It is provided to inform the category.

도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 순간정전 보상장치(104)를 반도체 소자 검사장비(100), 예를 들면 모니터링 번인(monitoring burn-in) 장비의 챔버(108), 챔 버 컨트롤러부(110) 및 테스터와 모니터를 포함하는 부속설비(112)에 각각 장착한다.Referring to FIG. 2, the instantaneous power failure compensating device 104 according to the present invention may include a semiconductor device inspection device 100, for example, a chamber 108 of a monitoring burn-in device, and a chamber controller 110. ) And the accessory 112 including the tester and the monitor, respectively.

이로 인하여 일반전원(102)에서 전압강하(voltage sag)와 같은 전원 교란이 발생하더라도 전압강하로 인하여 부속설비(112)뿐만 아니라 챔버(108) 및 챔버 컨트롤러부(110)의 가동이 중지되는 문제가 해결된다.As a result, even if a power disturbance such as a voltage sag occurs in the general power supply 102, the operation of the chamber 108 and the chamber controller 110 as well as the accessory 112 is stopped due to the voltage drop. Resolved.

이를 상세히 설명하면, 상기 챔버 및 챔버 컨트롤러부(108, 110)로 공급되는 일반전원(102)은 내부에 전압강하와 같은 전원 교란이 없는 경우, 곧바로 바이패스 스위치(118)를 통하여 챔버(108) 및 챔버 컨트롤러부(110)로 전달된다. 하지만, 입력전원에 전압강하와 같은 전원교란이 있는 비정상 상태인 경우, 도면에서 점선의 화살표와 같이 순간정전 보상장치(104)를 통하여 챔버(108) 및 챔버 컨트롤러부(110)로 전원이 공급된다. In detail, when the general power supply 102 supplied to the chamber and the chamber controller unit 108 and 110 does not have power disturbance such as a voltage drop therein, the chamber 108 is directly via the bypass switch 118. And the chamber controller 110. However, in an abnormal state in which there is a power disturbance such as a voltage drop in the input power, power is supplied to the chamber 108 and the chamber controller 110 through the momentary power compensation device 104 as shown by the dotted line arrow in the drawing. .

또한 부속설비(112)는, 바이패스 스위치(118)없이 직접 순간정전 보상장치(104)를 설치하여 전원교란이 발생할 경우에도 설비 가동이 중지되는 문제를 해결한다. 그러나 부속설비(112) 역시 챔버(108)나 챔버 컨트롤러부(110)와 같이 필요할 경우 바이패스 스위치를 설치할 수 있다.In addition, the accessory 112, by installing the instantaneous power failure compensation device 104 directly without the bypass switch 118, solves the problem that the operation of the equipment is stopped even when power disturbance occurs. However, the accessory 112 may also install a bypass switch if necessary, such as the chamber 108 or the chamber controller 110.

도 3을 참조하면, 먼저 상용전원과 같은 입력전원(102)이 차단기(Circuit breaker, 114)로 전달된다. 상기 차단기(114)는 입력전원(102) 내부에 돌입전류와 같은 이상 과전압(Surge voltage)이 들어올 경우 이를 차단하여 내부 장치를 보호 하는 역할을 한다. Referring to FIG. 3, an input power source 102 such as a commercial power source is first delivered to a circuit breaker 114. The breaker 114 serves to protect the internal device by blocking an abnormal surge voltage such as an inrush current inside the input power source 102.

이어서 차단기(114)를 거친 입력전원(102)은 마이크로 프로세서 유닛(116, MPU: Micro Process Unit)으로 전달된다. 상기 마이크로 프로세서 유닛(116)은 내부에 전압강하가 있는 비정상 입력전원(102)을 감지할 수 있는 센서(sensor, 미도시)가 내장되어 있다. 상기 입력전원이 220V의 교류전원인 경우, 상기 센서에서 감지된 전압이 AV 185V 이상이면, 마이크로 프로세서 유닛(116)은 정상적인 입력전원(102)으로 판단하여 입력전원(102)을 바이패스 스위치(118)를 통하여 곧바로 출력전원(120)으로 전달한다.The input power source 102, which has passed through the breaker 114, is then delivered to a micro processor unit (MPU). The microprocessor unit 116 has a sensor (not shown) capable of detecting an abnormal input power source 102 having a voltage drop therein. When the input power is 220V AC power, if the voltage sensed by the sensor is AV 185V or more, the microprocessor unit 116 determines that the input power 102 is the normal input power 102 and bypasses the input power 102. It passes directly to the output power 120 through.

그러나, 상기 마이크로 프로세서 유닛(116)의 센서에서 감지된 입력전원(102)이 AV 185V 이하이면, 바이패스 스위치(118)가 차단되면서, 입력전원(102) 도면에서 점선 화살표로 표시된 순간정전 보상장치(VSP, 104)를 통하여 출력전원(120)으로 빠져나간다.However, when the input power source 102 sensed by the sensor of the microprocessor unit 116 is AV 185V or less, the bypass switch 118 is cut off, and the momentary power compensation device indicated by the dotted arrow in the input power source 102 diagram is shown. Exit to output power 120 through VSP 104.

상기 순간정전 보상장치(VSP, 104) 내부에는, 입력전원의 고주파 전압을 원하는 크기로 변환하는 트랜스포머(122)와, 상기 트랜스포머에서 출력된 교류를 직류로 변환하는 컨버터(Converter, 124)와, 상기 컨버터(124)로부터 나온 직류전원의 전기적 안정도를 높이는 콘덴서(128)와, 상기 콘덴서(128)에서 나온 직류를 다시 교류로 변환하는 인버터(Inverter, 126)를 포함한다. Inside the momentary power compensation device (VSP, 104), a transformer 122 for converting a high frequency voltage of an input power source to a desired magnitude, a converter (124) for converting alternating current outputted from the transformer into direct current, and Condenser 128 for increasing the electrical stability of the DC power source from the converter 124, and an inverter (Inverter 126) for converting the direct current from the capacitor 128 back to AC.

상기 트랜스포머(122)는 인버터(126)로부터 전달받은 전원을 상기 출력전원(120)으로 보낼 때, 구형파로 된 교류전원을 보내지 않고 정현파(sine wave)로 된 교류전원을 전송한다. 이에 따라 용량성 부하에 적용할 때, 발생 가능한 과도 서지 전압(Surge voltage)에 의한 설비의 손상 및 오작동을 예방하는 역할을 수행한다.When the transformer 122 transmits the power transmitted from the inverter 126 to the output power 120, the transformer 122 transmits AC power in a sine wave without sending AC power in a square wave. Accordingly, when applied to capacitive loads, it plays a role of preventing damage and malfunction of the equipment due to possible surge voltage.

또한 상기 콘덴서(128)는 전해콘덴서, 탄탈콘덴서, 세라믹콘덴서, 이중층콘텐서와 같은 여려 종류의 콘덴서중에서, 에너지 축전밀도가 높아 저전압 구성이 가능하며, 순간정전 보상장치(VSP, 104)의 크기 소형화에 적합하여 전기적 안정성을 높일 수 있는 고밀도 이중층 콘덴서를 사용하는 것이 적합하다.In addition, among the capacitors of various types, such as electrolytic capacitors, tantalum capacitors, ceramic capacitors, and double layer capacitors, the capacitor 128 has a high energy storage density and is capable of low voltage configuration. It is suitable to use a high density double layer capacitor that is suitable for the purpose of improving electrical stability.

이러한 이중층 콘덴서(128)의 용량은 전압강하가 일어난 경우에도 1초까지 이를 보상할 수 있는 정도의 이중층 콘덴서(128)를 사용하는 것이 적합하다. 상기 1초까지 전압강하를 보상하는 이유는, 반도체 소자 전기저 검사장치에서 대부분 전압강하가 발생하는 기간이 1초를 초과하지 않기 때문이다.The capacity of the double layer capacitor 128 is suitable to use the double layer capacitor 128 to the extent that the voltage drop can be compensated up to 1 second even if a voltage drop occurs. The reason why the voltage drop is compensated up to 1 second is that the period during which the voltage drop occurs in the semiconductor device electrical low level inspection device does not exceed 1 second.

한편, 상기 바이패스 스위치(118) 혹은 순간정전 보상장치(104)를 통해 출력전원(120)으로 전송된 전원은 반도체 소자 검사장비(100)의 챔버전원(108), 챔버 컨트롤러부 전원 그리고 부속설비 전원으로 공급된다. 이에 따라 반도체 소자 검사설비로 순간적인 전압강하가 발생하더라도 챔버, 챔버 컨트롤러부 및 부속설비에서 설비의 가동이 중지되는 문제가 사라진다.Meanwhile, the power transmitted to the output power 120 through the bypass switch 118 or the instantaneous power failure compensator 104 is the chamber power 108, the chamber controller part power, and the accessory equipment of the semiconductor device test equipment 100. Power is supplied. Accordingly, even if an instantaneous voltage drop occurs in the semiconductor device inspection facility, the problem of stopping the operation of the facility in the chamber, the chamber controller unit, and the accessory facility is eliminated.

본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속한 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 많은 변형이 가능함이 명백하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and it is apparent that many modifications can be made by those skilled in the art within the technical spirit to which the present invention belongs.

따라서, 상술한 본 발명에 따르면, 반도체 소자 검사장비에서 발생하는 전압강하(voltage sag)와 같은 전원 교란을, 마이크로 프로세서 유닛과 순간정전 보 상장치를 통하여 효과적으로 대처하여 UPS와 같은 고가의 장치를 사용하지 않고도 빈번하게 반도체 소자 검사장비의 가동이 중지되는 문제를 해결할 수 있다.Therefore, according to the present invention described above, power disturbances such as voltage sags generated in the semiconductor device inspection equipment are effectively coped with through the microprocessor unit and the instantaneous power compensation device, so that an expensive device such as a UPS is not used. It is possible to solve the problem that the operation of the semiconductor device inspection equipment is frequently stopped.

Claims

Input power input to the semiconductor inspection equipment;

A microprocessor unit (MPU) connected to the input power to determine a direction of the input power;

A bypass switch installed adjacent to the microprocessor unit and connected when the input power is normal according to the determination of the microprocessor unit;

An instantaneous power failure compensator (VSP) installed adjacent to the microprocessor unit and connected when the input power is abnormal according to the determination of the microprocessor unit;

An output power source connected to the bypass switch and the momentary power compensation device; And

And a chamber power supply for the semiconductor inspection device connected to the output power supply.

The method of claim 1,

The semiconductor inspection equipment having the momentary power compensation device,

And a circuit breaker (circuit breaker) configured between the input power and the microprocessor unit.

The method of claim 1,

The semiconductor inspection equipment is a semiconductor inspection equipment having a momentary power compensation device, characterized in that the monitoring burn-in equipment (Monitoring Burn-in) equipment.

The method of claim 1,

The momentary power outage compensation device (VSP),

A transformer for converting a high frequency voltage of an input power source into a desired size;

A converter for converting alternating current of the transformer into direct current;

A condenser to improve the electrical stability of the direct current from the converter; And

And an inverter for converting the DC power from the capacitor into alternating current and transmitting the alternating current to the transformer.

The method of claim 1,

The instantaneous power failure compensation device (VSP) is a semiconductor inspection equipment having a momentary power compensation device, characterized in that to compensate for the power drop of the input power up to 1 second.

The method of claim 4, wherein

The transformer is a semiconductor inspection equipment having a momentary power compensation device, characterized in that for transmitting the sine wave (AC) to the power supply.

The method of claim 1,

And a chamber controller unit power source connected to the output power source.

The method of claim 1,

And an auxiliary facility power source connected to the output power source.

The method of claim 4, wherein

The capacitor is a semiconductor inspection equipment having a momentary power compensation device, characterized in that the double layer capacitor.

The method of claim 1,

And the microprocessor unit determines that the input power is abnormal when the input voltage is less than AV 185V, and operates the momentary power compensation device.