KR20070102808A - Liquid crystal display panel and method of manufacturing the same - Google Patents

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KR20070102808A KR1020060034470A KR20060034470A KR20070102808A KR 20070102808 A KR20070102808 A KR 20070102808A KR 1020060034470 A KR1020060034470 A KR 1020060034470A KR 20060034470 A KR20060034470 A KR 20060034470A KR 20070102808 A KR20070102808 A KR 20070102808A
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마한나
박경순
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삼성전자주식회사
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Abstract

A liquid crystal display panel and a method for manufacturing the same are provided to prevent non-hardening of an end seal by increasing a penetration rate of ultraviolet by a penetration hall which is installed in a guide line in an area overlapped with an end seal area, thereby preventing the end seal from being penetrated to an active area and an operation area. A liquid crystal display panel comprises the following units: a sealing line(132) for preparing a liquid crystal injecting inlet and an active area; an end seal(133) for closing the liquid crystal injecting inlet; a guard line(127), which is formed by closed state for blocking static electricity flowing to the active area, having at least one penetration hall(136) in an area overlapped with at least one of the sealing line and the end seal; a thin film transistor which is formed in the active area; and a liquid crystal cell which is connected to the thin film transistor.

Description

액정 표시 패널 및 이의 제조 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}Liquid crystal display panel and its manufacturing method {LIQUID CRYSTAL DISPLAY PANEL AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}

도 1은 본 발명에 따른 액정 표시 패널을 도시한 평면도이다.1 is a plan view illustrating a liquid crystal display panel according to the present invention.

도 2는 도 1에서 도시된 Ⅱ-Ⅱ´선을 따라 절단한 액정 주입구 영역과 액티브 영역을 도시한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating the liquid crystal injection hole region and the active region cut along the line II-II ′ of FIG. 1.

도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다. 3A to 3G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 액정 표시 패널을 도시한 평면도이다.4 is a plan view illustrating a liquid crystal display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

101 : 하부 기판 104 : 데이터 라인101: lower substrate 104: data line

106 : 게이트 전극 108 : 소스 전극106: gate electrode 108: source electrode

110 : 드레인 전극 112 : 게이트 절연막110 drain electrode 112 gate insulating film

114 : 액티브층 116 : 버퍼막114: active layer 116: buffer film

118 : 보호막 120,124 : 콘택홀118: protective film 120,124: contact hole

122 : 화소 전극 126 : 층간 절연막 122: pixel electrode 126: interlayer insulating film

127 : 가드 패턴 128 : 가드 라인127: guard pattern 128: guard line

130 : 박막 트랜지스터 132 : 실 라인130: thin film transistor 132: seal line

133 : 앤드 실 134 : 액정 주입구133: end seal 134: liquid crystal injection hole

136 : 투과홀 140 : 칼라 필터 기판136 through hole 140 color filter substrate

142 : 쇼트 포인트 150 : 박막 트랜지스터 기판142 short point 150 thin film transistor substrate

본 발명은 액정 표시 패널 및 이의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 액정 주입구에 도포되는 앤드 실의 미경화를 방지할 수 있는 액정 표시 패널과 이의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel and a method for manufacturing the same, and more particularly, to a liquid crystal display panel and a method for manufacturing the same, which can prevent the uncured end seal applied to the liquid crystal injection hole.

폴리 실리콘을 사용하는 LTPS(Low-Temperature Polycrystalline Si)는 아모펄스 실리콘 등을 사용하는 것보다 전자 이동도가 매우 우수하여 시스템 온 글라스(System On Glass)를 구현할 수 있다. 기판 위에 회로를 실장하는 시스템 온 글라스의 경우, 고해상도로 갈수록 액티브 영역 외각에서부터 글라스 가장 자리까지의 거리가 매우 짧아지고 있다.Low-Temperature Polycrystalline Si (LTPS) using polysilicon has much higher electron mobility than using amorphous silicon, and thus can realize System On Glass. In the case of a system on glass in which a circuit is mounted on a substrate, the distance from the outer edge of the active region to the edge of the glass becomes very short as the resolution becomes higher.

또한, 종래 액정 표시 장치는 액티브 영역으로 정전기가 유입되는 것을 방지하기 위해 실 라인을 따라 형성되는 가드 라인을 구비한다. 이 가드 라인은 실 라인 뿐만 아니라, 액정 주입구를 밀봉하는 앤드 실과도 중첩되게 형성된다. 그러나, 이 가드 라인에 의해 앤드 실을 경화시키기 위한 자외선이 차단되므로 앤드 실이 제대로 경화되지 못하는 경우가 종종 발생된다. 이때, 액티브 영역 외각에서부터 글라스 가장 자리까지의 거리가 매우 짧아 앤드실이 경화되지 못하고 액티브 영역으로 침투되는 문제점이 발생된다. 이를 해결하기 위해 액정 주입구와 대응되는 가드 라인을 제거하게 되면 앤드 실의 미경화 방지할 수 있지만 액티브 영역으로 정전기가 유입되어 신뢰성이 저하되는 문제점이 있다. In addition, the conventional liquid crystal display includes a guard line formed along the seal line to prevent static electricity from flowing into the active region. This guard line is formed to overlap not only the seal line but also the end seal for sealing the liquid crystal injection hole. However, since the ultraviolet rays for curing the end seal are blocked by this guard line, the end seal often fails to cure properly. At this time, the distance from the outer edge of the active area to the edge of the glass is very short, and the end seal cannot be cured, and thus a problem of penetration into the active area occurs. In order to solve this problem, if the guard line corresponding to the liquid crystal injection hole is removed, uncuring of the end seal can be prevented.

따라서, 본 발명의 기술적 과제는 액정 주입구에 도포되는 앤드 실의 미경화를 방지할 수 있는 액정 표시 패널과 이의 제조 방법을 제공하는 것이다.Accordingly, the technical problem of the present invention is to provide a liquid crystal display panel and a method of manufacturing the same that can prevent the uncured end seal applied to the liquid crystal injection hole.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 액정 표시 패널은 액티브 영역과 액정 주입구를 마련하도록 형성된 실 라인과; 상기 액정 주입구를 밀봉하는 앤드 실과; 상기 액티브 영역으로 유입되는 정전기를 차단하도록 폐쇄 형태로 형성되며 상기 실 라인 및 앤드 실 중 적어도 어느 하나와 중첩되는 영역에서 적어도 하나의 투과홀을 가지는 가드 라인을 구비하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the liquid crystal display panel of the present invention comprises a seal line formed to provide an active region and a liquid crystal injection hole; An end seal for sealing the liquid crystal injection hole; And a guard line formed in a closed shape to block static electricity flowing into the active region and having at least one through hole in a region overlapping at least one of the seal line and the end seal.

상기 액티브 영역에 형성되는 박막 트랜지스터와 상기 박막 트랜지스터와 접속되는 액정 셀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.A thin film transistor formed in the active region and a liquid crystal cell connected to the thin film transistor are further provided.

또한, 상기 가드 라인은 상기 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 동일 평면상에 동일한 재질로 형성되는 것을 특징으로 한다.The guard line may be formed of the same material on the same plane as the gate electrode of the thin film transistor.

그리고 상기 가드 라인은 상기 투과홀에 의해 상기 앤드 실과 중첩되는 영역에서의 폭이 나머지 영역에서의 폭보다 좁은 것을 특징으로 한다.The guard line is characterized in that the width in the region overlapping with the end seal by the transmission hole is narrower than the width in the remaining region.

상기 가드 라인은 상기 앤드 실과 중첩되는 영역에서 가드 패턴과 상기 투과홀이 교번적으로 형성되는 것을 특징으로 한다.The guard line may be formed by alternately forming a guard pattern and the transmission hole in a region overlapping the end seal.

또한, 상기 가드 라인은 실 라인과 중첩되는 영역에서 적어도 하나의 투과홀을 갖는 것을 특징으로 한다.The guard line may have at least one through hole in an area overlapping the seal line.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 액정 표시 패널의 제조 방법은 액티브 영역을 따라 폐쇄 형태로 형성되며 적어도 하나의 투과홀을 가지는 가드 라인을 포함하는 박막 트랜지스터 기판과 칼라 필터 기판을 실 라인을 이용하여 합착하는 단계와; 상기 실 라인에 의해 마련된 액정 주입구를 이용하여 상기 액티브 영역에 액정을 주입하는 단계와; 상기 액정 주입구를 앤드 실을 이용하여 밀봉하는 단계를 포함하며, 상기 가드 라인은 상기 실 라인 및 앤드 실 중 적어도 어느 하나와 중첩되는 영역에서 상기 투과홀을 가지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention includes a thin film transistor substrate and a color filter substrate including a guard line formed in a closed shape along an active region and having at least one through hole. Coalescing; Injecting liquid crystal into the active region by using the liquid crystal injection hole provided by the seal line; And sealing the liquid crystal injection hole using an end seal, wherein the guard line has the through hole in an area overlapping at least one of the seal line and the end seal.

상기 기술적 과제 외에 본 발명의 다른 기술적 과제 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. 이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명한다.Other technical problems and features of the present invention in addition to the above technical problem will become apparent through the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 액정 표시 패널을 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ´ 선을 따라 절단한 액정 주입구 영역과 액티브 영역을 도시한 단면도이다. 1 is a plan view illustrating a liquid crystal display panel according to the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a liquid crystal injection hole region and an active region cut along the line II-II ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 2를 참조하면, 액정 표시 패널은 액정층을 사이에 두고 서로 대 향하여 합착된 박막 트랜지스터 기판(150) 및 컬러 필터 기판(140)과, 박막 트랜지스터 기판(150)에 액티브 영역 주변을 따라 형성되는 실 라인(132)과, 실 라인(132)에 액정을 주입한 뒤에 액정의 누설을 막는 앤드 실(133)과, 실 라인(132)과 중첩되는 영역에 형성되는 가드 라인(128)을 포함한다. 1 and 2, the liquid crystal display panel includes a thin film transistor substrate 150 and a color filter substrate 140 bonded to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween, and an active area periphery of the thin film transistor substrate 150. The seal line 132 is formed along with the end seal 133 to prevent leakage of the liquid crystal after the liquid crystal is injected into the seal line 132, and the guard line 128 formed in the region overlapping the seal line 132. It includes.

컬러 필터 기판(140)에는 빛샘 방지를 위한 블랙 매트릭스와, 컬러 구혀능ㄹ 위한 컬러 필터, 화소 전극과 수직 전계를 이루는 공통 전극이 상부 기판 상에 형성된다.The color filter substrate 140 includes a black matrix for preventing light leakage, a color filter for color bending, and a common electrode forming a vertical electric field with the pixel electrode.

박막 트랜지스터 기판(150)은 게이트 라인(미도시) 및 데이터 라인(104)과 접속된 TFT(130)를 구비한다. 여기서, TFT(130)는 N형 또는 P형으로 형성되지만, 이하에서는 N형으로 형성된 경우만을 설명하기로 한다.The thin film transistor substrate 150 includes a TFT 130 connected to a gate line (not shown) and a data line 104. Here, the TFT 130 is formed of an N type or a P type, but only the case where the TFT 130 is formed of an N type will be described below.

TFT(130)는 화소 전극(122)에 비디오 신호를 충전한다. 이를 위하여, TFT(130)는 게이트 라인(미도시)과 접속된 게이트 전극(106), 데이터 라인(104)에 포함된 소스 전극(108), 보호막(118)을 관통하는 화소 콘택홀(120)을 통해 화소 전극(122)과 접속된 드레인 전극(110), 게이트 전극(106)에 의해 소스 전극(108) 및 드레인 전극(110) 사이에 채널을 형성하는 액티브층(114)를 구비한다. The TFT 130 charges the pixel electrode 122 with the video signal. To this end, the TFT 130 includes a gate electrode 106 connected to a gate line (not shown), a source electrode 108 included in the data line 104, and a pixel contact hole 120 penetrating through the passivation layer 118. An active layer 114 is formed between the source electrode 108 and the drain electrode 110 by the drain electrode 110 and the gate electrode 106 connected to the pixel electrode 122.

액티브층(114)은 버퍼막(116)을 사이에 두고 하부 기판(101) 위에 형성된다. 게이트 라인(미도시)과 접속된 게이트 전극(106)은 액티브층(114)의 채널 영역(114C)과 게이트 절연막(112)을 사이에 두고 중첩되게 형성된다. 소스 전극(108) 및 드레인 전극(110)은 게이트 전극(106)과 층간 절연막(126)을 사이에 두고 절연되게 형성된다. 그리고, 데이터 라인(104)에 포함된 소스 전극(108)과, 드레인 전 극(110)은 층간 절연막(126) 및 게이트 절연막(112)을 관통하는 소스 콘택홀(124S) 및 드레인 콘택홀(124D) 각각을 통해 n+ 불순물이 주입된 액티브층(114)의 소스 영역(114S) 및 드레인 영역(114D) 각각과 접속된다. 또한, 액티브층(114)은 오프 전류를 감소시키기 위하여 채널 영역(114C)과 소스 및 드레인 영역(114S, 114D) 사이에 n- 불순물이 주입된 엘디디(Lightly Doped Drain ; LDD) 영역(미도시)을 더 구비하기도 한다.The active layer 114 is formed on the lower substrate 101 with the buffer layer 116 interposed therebetween. The gate electrode 106 connected to the gate line (not shown) is formed to overlap the channel region 114C of the active layer 114 and the gate insulating layer 112 therebetween. The source electrode 108 and the drain electrode 110 are formed to be insulated from each other with the gate electrode 106 and the interlayer insulating layer 126 therebetween. The source electrode 108 and the drain electrode 110 included in the data line 104 may have a source contact hole 124S and a drain contact hole 124D passing through the interlayer insulating layer 126 and the gate insulating layer 112. Are connected to each of the source region 114S and the drain region 114D of the active layer 114 implanted with n + impurity. In addition, the active layer 114 may include a lightly doped drain (LDD) region (not shown) in which n− impurities are implanted between the channel region 114C and the source and drain regions 114S and 114D to reduce the off current. ) May be further provided.

실 라인(132)은 박막 트랜지스터 기판(150)의 액티브 영역 주변에 따라 형성되며 박막 트랜지스터 기판(150)과 컬러 필터 기판(140)을 합착시킨다. 여기서 실 라인(132)은 합착된 두 기판(140,150) 사이에 액정을 주입하는 액정 주입구(134)를 제외한 나머지 영역에 형성된다. The seal line 132 is formed around the active region of the thin film transistor substrate 150 to bond the thin film transistor substrate 150 and the color filter substrate 140 together. The seal line 132 is formed in the remaining region except for the liquid crystal injection hole 134 for injecting liquid crystal between the two bonded substrates 140 and 150.

앤드 실(133)은 액정을 액정 주입구(134)을 통해 액티브 영역에 주입한 후 액정이 흘러내리지 않기 위해 액정 주입구(134)를 밀봉한다. 이를 위해 앤드 실(133)은 액정 주입 공정후 액정 주입구(134)에 도포되어 자외선에 의해 경화된다. The end seal 133 injects the liquid crystal into the active region through the liquid crystal injection hole 134 and seals the liquid crystal injection hole 134 so that the liquid crystal does not flow down. To this end, the end seal 133 is applied to the liquid crystal injection hole 134 after the liquid crystal injection process and cured by ultraviolet rays.

가드 라인(128)는 쇼트 포인트(142)와 접속되어 액티브 영역으로 정전기가 유입 되는 것을 방지함과 아울러 칼라 필터 기판(140)의 공통 전극에서 유입되는 정전기를 차단하도록 폐쇄 형태로 형성된다. 여기서 쇼트 포인트(142)는 공통 전극에 공통 전압을 공급하기 위해 하부 기판 상에 형성된 공통 전압 공급패드(미도시)와 공통 전극을 접속시킨다. 이 가드 라인(128)은 게이트(106)와 동일한 금속으로 동일 평면상에 형성된다. 이러한 가드 라인(128)은 실 라인(132)과 중첩되는 영역에서 제1 폭으로 형성되며 앤드 실(133)과 중첩되는 영역에서 제1 폭보다 좁은 제2 폭을 가지는 가드 패턴(127)과 투과홀(136)이 교번적으로 형성된다. 이러한 다수개의 투과홀(136)을 통과한 자외선은 앤드 실(133)에 조사됨으로써 앤드 실(133)이 미경화 되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인해 칼라 필터 기판(140)의 가장 자리와 가드 라인(128) 거리가 가까워져도 앤드 실(133)이 액티브 영역을 구동시키는 구동 회로 및 액정 셀 내로 흘러 들어가는 것을 막을 수 있다. 한편, 실 라인(132)과 중첩되는 영역에서도 실 라인(132)의 미경화를 방지하도록 가드 라인(128)은 적어도 하나의 투과홀(136)을 가지도록 형성될 수 있다.The guard line 128 is connected to the short point 142 to prevent static electricity from flowing into the active region and to close the static electricity flowing from the common electrode of the color filter substrate 140. The short point 142 connects the common electrode with a common voltage supply pad (not shown) formed on the lower substrate to supply a common voltage to the common electrode. This guard line 128 is formed on the same plane with the same metal as the gate 106. The guard line 128 is formed to have a first width in an area overlapping the seal line 132 and is transparent to the guard pattern 127 having a second width smaller than the first width in an area overlapping the end line 133. The holes 136 are alternately formed. Ultraviolet light passing through the plurality of transmission holes 136 may be prevented from being uncured by irradiating the end seal 133. As a result, even when the edge of the color filter substrate 140 and the guard line 128 are close to each other, the end seal 133 may be prevented from flowing into the driving circuit and the liquid crystal cell driving the active region. Meanwhile, the guard line 128 may be formed to have at least one through hole 136 to prevent uncuring of the seal line 132 even in a region overlapping the seal line 132.

도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 따른 액정 표시 패널의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다. 3A to 3G are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing a liquid crystal display panel according to the present invention.

도 3a를 참조하면, 하부 기판(101) 상에 버퍼막(116)이 형성되고, 그 위에 액티브층(114)이 형성된다. Referring to FIG. 3A, a buffer layer 116 is formed on the lower substrate 101, and an active layer 114 is formed thereon.

버퍼막(116)은 하부 기판(101) 상에 SiO2 등과 같은 무기 절연 물질이 전면 증착되어 형성된다. The buffer layer 116 is formed by depositing an inorganic insulating material such as SiO 2 on the lower substrate 101.

액티브층(114)은 버퍼막(116) 상에 아몰퍼스-실리콘을 증착한 후 그 아몰퍼스-실리콘을 레이져로 결정화하여 폴리-실리콘이 되게 한 다음, 그 폴리-실리콘을 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 패터닝함으로써 형성된다.The active layer 114 deposits amorphous silicon on the buffer film 116 and crystallizes the amorphous silicon with a laser to become poly-silicon, and then pattern the poly-silicon by a photolithography process and an etching process. It is formed by.

도 3b를 참조하면, 액티브층(114)이 형성된 버퍼막(116) 상에 게이트 절연막(112)이 형성되고, 그 위의 액정 주입구 영역에서 투과홀(136)과 가드 패턴(127)이 교번적으로 형성된 가드 라인(128)과 게이트 전극(106)을 포함하는 제1 도전 패턴 군이 형성된다.Referring to FIG. 3B, the gate insulating layer 112 is formed on the buffer layer 116 on which the active layer 114 is formed, and the transmission hole 136 and the guard pattern 127 are alternately disposed in the liquid crystal injection hole region thereon. A first conductive pattern group including the guard line 128 and the gate electrode 106 formed thereon is formed.

게이트 절연막(112)은 액티브층(114)이 형성된 버퍼막(116) 상에 SiO2 등과 같은 무기 절연 물질이 전면 증착되어 형성된다. The gate insulating layer 112 is formed by depositing an inorganic insulating material such as SiO 2 on the buffer layer 116 on which the active layer 114 is formed.

게이트 전극(106) 및 가드 라인(128)은 게이트 절연막(112) 상에 게이트 금속층을 형성한 후, 그 게이트 금속층을 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 패터닝함으로써 형성된다. The gate electrode 106 and the guard line 128 are formed by forming a gate metal layer on the gate insulating film 112, and then patterning the gate metal layer by a photolithography process and an etching process.

그리고, 게이트 전극(106)을 마스크로 이용하여 액티브층(114)에 n+ 불순물을 주입하여 게이트 전극(106)과 비중첩된 액티브층(114)의 소스 영역(114S) 및 드레인 영역(114D)이 형성된다. 이러한 액티브층(114)의 소스 및 드레인 영역(114S, 114D)은 게이트 전극(106)과 중첩되는 채널 영역(114C)을 사이에 두고 마주하게 된다. The n + impurity is implanted into the active layer 114 using the gate electrode 106 as a mask, so that the source region 114S and the drain region 114D of the active layer 114 which are not overlapped with the gate electrode 106 are formed. Is formed. The source and drain regions 114S and 114D of the active layer 114 face each other with the channel region 114C overlapping the gate electrode 106 interposed therebetween.

도 3c를 참조하면, 제1 도전패턴군이 형성된 게이트 절연막(112) 상에 층간 절연막(126)이 형성되고, 층간 절연막(126) 및 게이트 절연막(112)을 관통하는 소스 및 드레인 콘택홀(124S, 124D)이 형성된다.Referring to FIG. 3C, an interlayer insulating layer 126 is formed on the gate insulating layer 112 on which the first conductive pattern group is formed, and source and drain contact holes 124S penetrating through the interlayer insulating layer 126 and the gate insulating layer 112. , 124D).

층간 절연막(126)은 가드 라인(128) 및 게이트 전극(106)을 포함하는 제1 도전패턴군이 형성된 게이트 절연막(112) 상에 SiO2 등과 같은 무기 절연 물질이 전면 증착되어 형성된다. The interlayer insulating layer 126 is formed by depositing an inorganic insulating material such as SiO 2 on the gate insulating layer 112 on which the first conductive pattern group including the guard line 128 and the gate electrode 106 is formed.

이어서, 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 층간 절연막(126) 및 게이트 절연막(112)을 관통하여 액티브층(114)의 소스 및 드레인 영역(114S, 114D)을 각각 노출시키는 소스 및 드레인 콘택홀(124S, 124D)이 형성된다.Subsequently, the source and drain contact holes 124S exposing the source and drain regions 114S and 114D of the active layer 114 through the interlayer insulating layer 126 and the gate insulating layer 112 by photolithography and etching processes, respectively. 124D) is formed.

도 3d를 참조하면, 층간 절연막(126) 상에 데이터 라인(104), 소스 전극(108), 드레인 전극(110)을 포함하는 제2 도전패턴군이 형성된다.Referring to FIG. 3D, a second conductive pattern group including the data line 104, the source electrode 108, and the drain electrode 110 is formed on the interlayer insulating layer 126.

데이터 라인(104), 드레인 전극(110), 소스 전극(108)을 포함하는 제2 도전 패턴군은 층간 절연막(126) 상에 소스/드레인 금속층을 형성한 후, 그 소스/드레인 금속층을 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 패터닝함으로써 형성된다. The second conductive pattern group including the data line 104, the drain electrode 110, and the source electrode 108 may form a source / drain metal layer on the interlayer insulating layer 126, and then photolithography the source / drain metal layer. It is formed by patterning in a process and an etching process.

소스 전극(104) 및 드레인 전극(110)은 소스 및 드레인 콘택홀(124S, 124D) 각각을 통해 제1 액티브층(114)의 소스 영역(114S) 및 드레인 영역(114D) 각각과 접속된다. The source electrode 104 and the drain electrode 110 are connected to each of the source region 114S and the drain region 114D of the first active layer 114 through the source and drain contact holes 124S and 124D, respectively.

도 3e를 참조하면, 제2 도전 패턴군이 형성된 층간 절연막(126) 상에 보호막(118)이 형성되고, 그 보호막(118)을 관통하는 화소 콘택홀(120)이 형성된다. Referring to FIG. 3E, a passivation layer 118 is formed on the interlayer insulating layer 126 on which the second conductive pattern group is formed, and a pixel contact hole 120 penetrating the passivation layer 118 is formed.

보호막(118)은 데이터 라인(104) 및 드레인 전극(110)이 형성된 층간 절연막(126) 상에 무기 절연 물질 또는 포토 아크릴 등과 같은 유기 절연 물질이 전면 증착되어 형성된다.The passivation layer 118 is formed by depositing an organic insulating material such as an inorganic insulating material or photoacryl on the interlayer insulating layer 126 on which the data line 104 and the drain electrode 110 are formed.

이어서, 포토리소그래피 공정 및 식각 공정으로 보호막(118) 및/또는 층간 절연막(126)을 관통하는 화소 콘택홀(120)이 형성된다. 화소 콘택홀(120)은 보호막(118)을 관통하여 TFT(130)의 드레인 전극(110)을 노출시킨다. Subsequently, the pixel contact hole 120 penetrating the passivation layer 118 and / or the interlayer insulating layer 126 is formed by a photolithography process and an etching process. The pixel contact hole 120 penetrates through the passivation layer 118 to expose the drain electrode 110 of the TFT 130.

도 3f를 참조하면, 보호막(118) 상에 화소 전극(122)을 포함하는 제3 도전패턴군이 형성된다.Referring to FIG. 3F, a third conductive pattern group including the pixel electrode 122 is formed on the passivation layer 118.

화소 전극(122)을 포함하는 제3 도전패턴군은 보호막(118) 상에 ITO 등의 투 명 도전막을 증착한 후, 그 투명 도전막을 포토리소그래피 공정 및 건식 식각 공정으로 패터닝함으로써 형성된다. The third conductive pattern group including the pixel electrode 122 is formed by depositing a transparent conductive film such as ITO on the protective film 118 and then patterning the transparent conductive film by a photolithography process and a dry etching process.

도 3g를 참조하면, 박막 트랜지스터 기판(150)의 액티브 영역 주변에 따라 실 라인(132)이 형성되며 박막 트랜지스터 기판(150)과 컬러 필터 기판(140)을 그 실 라인(132)을 이용하여 합착시킨다. 그런 다음, 액정 주입구를 통해 액티브 영역으로 액정을 주입한 후, 액정 주입구를 앤드 실로 밀봉한다. 밀봉된 앤드 실(133)은 자외선을 조사함으로써 경화된다. Referring to FIG. 3G, a seal line 132 is formed around the active region of the thin film transistor substrate 150, and the thin film transistor substrate 150 and the color filter substrate 140 are bonded together using the seal line 132. Let's do it. Then, after the liquid crystal is injected into the active region through the liquid crystal injection hole, the liquid crystal injection hole is sealed with an end seal. The sealed end seal 133 is cured by irradiating ultraviolet rays.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예에 따른 액정 표시 패널을 도시한 평면도이다.4 is a plan view illustrating a liquid crystal display panel according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 액정 표시 패널은 액정 주입구(134)에 중첩되는 가드 라인(128)을 제외하고 본 발명의 제1 실시 예와 중복된 구성 요소들에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다. In the liquid crystal display panel illustrated in FIG. 4, except for the guard line 128 overlapping the liquid crystal injection hole 134, detailed descriptions of components overlapping with those of the first exemplary embodiment will be omitted.

가드 라인(128)는 쇼트 포인트(142)와 접속되어 액티브 영역으로의 정전기 유입 방지 및 칼라 필터 기판(140)의 공통 전극에서 유입되는 정전기를 차단하도록 폐쇄 형태로 형성된다. 공통 전극에 공통 전압을 공급하기 위해 하부 기판 상에 형성된 공통 전압 공급패드(미도시)와 공통 전극을 접속시킨다. 이 가드 라인(128)은 게이트(106)과 동일한 금속으로 동일 평면상에 형성된다. 이러한 가드 라인(128)은 실 라인(132)과 중첩되는 영역에서 제1 폭으로 형성되며, 앤드 실(133)과 중첩되는 영역에서 가드 라인(128)의 일측단을 제거하는 투과홀(136)에 의해 제1 폭보다 얇은 제2 폭으로 형성된다. 이러한 투과홀(136)을 통해 자외선이 조사되어 앤드 실(133)에 조사됨으로써 앤드 실(133)이 미경화 되는 것을 방지할 수 있다. 이로 인 해 칼라 필터 기판(140)의 가장 자리와 가드 라인(128) 거리가 가까워져도 앤드 실(133)이 액티브 영역을 구동시키는 회로 및 액정 셀 내로 흘러 들어가는 것을 막을 수 있다. The guard line 128 is connected to the short point 142 and is formed in a closed shape to prevent static electricity from entering the active region and to block static electricity flowing from the common electrode of the color filter substrate 140. The common electrode is connected to a common voltage supply pad (not shown) formed on the lower substrate to supply a common voltage to the common electrode. This guard line 128 is formed on the same plane with the same metal as the gate 106. The guard line 128 is formed to have a first width in an area overlapping with the seal line 132, and a transmission hole 136 for removing one end of the guard line 128 in an area overlapping with the end seal 133. By a second width thinner than the first width. Ultraviolet rays are irradiated through the transmission hole 136 and irradiated to the end seal 133 to prevent the end seal 133 from being uncured. As a result, even when the edge of the color filter substrate 140 and the guard line 128 are close to each other, the end seal 133 may be prevented from flowing into the circuit and the liquid crystal cell driving the active region.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 패널과 이의 제조 방법은 앤드 실 영역과 중첩되는 영역의 가드 라인에 형성된 투과홀에 의해 자외선의 투과율이 상대적으로 높아져 앤드 실의 미경화를 방지할 수 있다. As described above, in the liquid crystal display panel according to the present invention and a method of manufacturing the same, the transmittance of ultraviolet rays is relatively increased by the through holes formed in the guard lines in the overlapping regions of the end seal region, thereby preventing uncuring of the end seal. .

이에 따라, 본 발명에 따른 액정 표시 패널 및 그 제거 방법은 앤드 실이 액티브 영역 및 구동 회로로 침투되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the liquid crystal display panel and the method of removing the same according to the present invention can prevent the end seal from penetrating into the active region and the driving circuit.

또한 본 발명에 따른 액정 표시 패널과 이의 제조 방법은 가드 라인을 이용하여 정전기 유입을 방지할 수 있어 신뢰성이 향상된다.In addition, the liquid crystal display panel and the method of manufacturing the same according to the present invention can prevent the introduction of static electricity by using a guard line, thereby improving reliability.

이상에서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술된 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다. Although the detailed description of the present invention described above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art, those skilled in the art, described in the claims below It will be understood that various modifications and changes can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (10)

액티브 영역과 액정 주입구를 마련하도록 형성된 실 라인과;A seal line formed to provide an active region and a liquid crystal injection hole; 상기 액정 주입구를 밀봉하는 앤드 실과;An end seal for sealing the liquid crystal injection hole; 상기 액티브 영역으로 유입되는 정전기를 차단하도록 폐쇄 형태로 형성되며 상기 실 라인 및 앤드 실 중 적어도 어느 하나와 중첩되는 영역에서 적어도 하나의 투과홀을 가지는 가드 라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.And a guard line formed in a closed shape to block static electricity flowing into the active area and having at least one through hole in an area overlapping at least one of the seal line and the end seal. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 액티브 영역에 형성되는 박막 트랜지스터와;A thin film transistor formed in the active region; 상기 박막 트랜지스터와 접속되는 액정 셀을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.And a liquid crystal cell connected to the thin film transistor. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 가드 라인은 상기 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 동일 평면상에 동일한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.And the guard line is formed of the same material on the same plane as the gate electrode of the thin film transistor. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가드 라인은 상기 투과홀에 의해 상기 앤드 실과 중첩되는 영역에서의 폭이 나머지 영역에서의 폭보다 좁은 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.And the guard line has a width in a region overlapping with the end seal by the transmission hole smaller than a width in the remaining region. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가드 라인은 상기 앤드 실과 중첩되는 영역에서 가드 패턴과 상기 투과홀이 교번적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.And wherein the guard line alternately forms a guard pattern and the transmission hole in a region overlapping the end seal. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가드 라인은 실 라인과 중첩되는 영역에서 적어도 하나의 투과홀을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널.And the guard line has at least one through hole in an area overlapping the seal line. 액티브 영역을 따라 폐쇄 형태로 형성되며 적어도 하나의 투과홀을 가지는 가드 라인을 포함하는 박막 트랜지스터 기판과 칼라 필터 기판을 실 라인을 이용하여 합착하는 단계와;Bonding the thin film transistor substrate and the color filter substrate including a guard line formed in a closed shape along the active region and having at least one through hole using a seal line; 상기 실 라인에 의해 마련된 액정 주입구를 이용하여 상기 액티브 영역에 액정을 주입하는 단계와;Injecting liquid crystal into the active region by using the liquid crystal injection hole provided by the seal line; 상기 액정 주입구를 앤드 실을 이용하여 밀봉하는 단계를 포함하며, Sealing the liquid crystal injection hole using an end seal, 상기 가드 라인은 상기 실 라인 및 앤드 실 중 적어도 어느 하나와 중첩되는 영역에서 상기 투과홀을 가지는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.And the guard line has the through hole in an area overlapping at least one of the seal line and the end seal. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 가드 라인은 상기 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 동일 평면상에 동 일한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.And the guard line is formed of the same material on the same plane as the gate electrode of the thin film transistor. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 가드 라인은 상기 투과홀에 의해 상기 앤드 실과 중첩되는 영역에서의 폭이 나머지 영역에서의 폭보다 좁은 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.And the guard line has a width in a region overlapping with the end seal by the transmission hole smaller than a width in the remaining region. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 가드 라인은 상기 앤드 실과 중첩되는 영역에서 가드 패턴과 상기 투과홀이 교번적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 패널의 제조 방법.And the guard line is alternately formed with the guard pattern in an area overlapping the end seal.
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