KR20070102299A - 레이저 열 전사 장치, 상기 장치를 사용하는 레이저 열전사 방법 및 상기 장치를 사용하는유기전계발광표시장치의 제조방법 - Google Patents

레이저 열 전사 장치, 상기 장치를 사용하는 레이저 열전사 방법 및 상기 장치를 사용하는유기전계발광표시장치의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 레이저 열 전사 장치, 상기 장치를 사용하는 레이저 열 전사 방법 및 상기 장치를 사용하는 유기전계발광표시장치의 제조방법에 관한 것으로, 본 발명에 따른 레이저 열 전사 장치는, 억셉터 기판을 고정시키는 척; 상기 척 상에 위치하고, 중앙에 개구부를 가지는 바디부, 상기 바디부의 하부에 위치하는 한 쌍의 패드부 및 상기 바디부의 상부에 연결되며 상기 패드부에 압력을 가하기 위한 가압수단을 구비하여, 상기 억셉터 기판 상에 도너 필름을 라미네이션하는 라미네이션 유닛; 및 상기 라미네이션 유닛 상에 위치하고, 상기 라미네이션 유닛의 개구부를 관통하여 상기 라미네이션된 도너 필름 상에 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사 장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
레이저 열 전사 장치, 라미네이션, 패드부, 탄성체

Description

레이저 열 전사 장치, 상기 장치를 사용하는 레이저 열 전사 방법 및 상기 장치를 사용하는 유기전계발광표시장치의 제조방법{laser induced thermal imaging apparatus, laser induced thermal imaging method using the apparatus and fabrication method of OLED using the apparatus}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 열 전사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 열 전사 장치를 개략적으로 나타낸측면도.
도 3은 도 1의 절단선 I-I'를 따라 취해진 본 발명의 실시예에 따른 레이저 열 전사 장치 일부의 단면도.
도 4는 억셉터 기판인 유기전계발광소자의 구조를 설명하기 위한 단면도.
도 5은 도너 필름의 구조를 설명하기 위한 단면도.
도 6은 본 발명에 따른 레이저 열 전사 장치를 사용하여 제조된 유기전계발광소자를 도시한 단면도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
50 : 억셉터 기판 70 : 도너 필름
115 : 척 120 : 광학 스테이지
130 : 레이저 조사 장치 143 : 필름 공급수단
144 : 필름 감기수단 150 : 라미네이션 유닛
151: 바디부 152: 가압수단
153: 패드부
본 발명은 레이저 열 전사 장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 리본형 도너 필름의 효과적인 라미네이션을 수행할 수 있는 레이저 열 전사 장치 및 상기 장치를 사용하는 유기전계발광표시장치의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 레이저 열 전사법은 적어도 레이저 및 도너 필름을 필요로 하며, 상기 도너 필름은 기재 필름, 광-열 변환층 및 전사층을 구비한다.
레이저 열 전사 공정에 있어서는 상기 전사층을 억셉터 기판에 대향하도록 하여 상기 도너 필름을 상기 억셉터 기판의 전체면 상에 라미네이션한 후, 상기 기재 필름 상에 레이저 빔을 조사한다. 상기 기재 필름 상에 조사된 빔은 상기 광-열 변환층에 흡수되어 열에너지로 변환되고, 상기 열에너지에 의해 상기 전사층은 상기 억셉터 기판 상으로 전사된다. 그 결과, 상기 억셉터 기판 상에 전사층 패턴이 형성되게 된다. 이는 미국특허 제 5,998,085호, 6,214,520호 및 6,114,088호에 개시되어 있다.
그러나, 상술한 바와 같이 억셉터 기판의 전체면 상에 도너 필름을 라미네이 션하는 경우, 상기 억셉터 기판과 상기 도너 필름 사이에는 국부적으로 기포가 남아 있을 수 있다. 이러한 기포는 전사불량을 유발할 수 있다.
이를 해결하기 위해, 미국특허 제 6,226,020호는 레이저 열전사법에 의하여 프린트를 생성하는 방법 및 장치(method and apparatus for producing a print by means of laser-induced thermal transfer)를 제공한다. 상기 미국특허에 따르면, 기판 실린더 상에 제공된 기판 상에 상기 기판의 폭보다 작은 폭을 갖는 전사 테입을 접촉시키고, 상기 전사 테입 상에 레이저 빔을 조사함으로써 상기 기판 상에 패턴을 형성한다. 이 때, 상기 기판 상에 상기 전사 테입을 접촉시키는 것은 상기 기판에 인접한 콘택롤을 사용하여 수행한다. 부가적으로, 상기 레이저 빔에 대해 비스듬한 방향으로 노즐을 배치시키고, 상기 노즐을 사용하여 상기 전사 테입 상에 가스를 뿜어 상기 전사 테입과 상기 기판의 콘택력을 더 향상시킨다.
자세하게는 상기 콘택롤은 상기 전사 테입이 상기 기판 실린더를 소정의 감기 각(wrap angle)을 가지면서 감싸도록 하는 역할을 하고, 상기 감기 각(wrap angle)은 상기 전사 테입과 상기 기판 실린더 상의 기판 사이에 콘택력 및 마찰력을 형성할 수 있다. 그러나, 상기 전사 테입의 전사층이 유기막인 경우 위와 같은 마찰력의 발생은 유기막을 손상시키기에 충분하다.
또한, 상기 레이저 빔에 대해 비스듬한 방향으로 노즐을 배치시킬 경우, 상기 노즐과 상기 기판 사이의 거리가 멀어 상기 콘택롤 없이 상기 노즐만으로는 상기 전사 테입과 상기 기판 사이의 충분한 콘택력을 확보하기는 어려울 수 있다. 이 경우, 충분한 콘택력을 확보하기 위해서는 상기 노즐은 고압의 가스를 다량으로 상 기 전사 테입 상에 뿜어내어야 한다. 특히, 상기 미국특허와는 달리 기판이 실린더에 감겨있지 않고 평면 상에 놓이고, 상기 콘택롤 없이 상기 노즐이 뿜어내는 가스의 압력만으로 상기 전사 테입과 상기 기판을 밀착시켜야 하는 경우, 상기 노즐과 상기 기판 사이의 먼 거리로 인해 소정영역에 걸쳐 균일한 콘택력을 충분하게 확보하는 것은 더욱 어렵다.
따라서, 본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 리본형 도너 필름과 억셉터 기판 사이의 충분한 콘택력을 얻을 수 있는 레이저 열 전사 장치 및 상기 장치를 사용한 유기전계발광표시장치의 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은, 억셉터 기판을 고정시키는 척; 상기 척 상에 위치하고, 중앙에 개구부를 가지는 바디부, 상기 바디부의 하부에 위치하는 한 쌍의 패드부 및 상기 바디부의 상부에 연결되며 상기 패드부에 압력을 가하기 위한 가압수단을 구비하여, 상기 억셉터 기판 상에 도너 필름을 라미네이션하는 라미네이션 유닛; 및 상기 라미네이션 유닛 상에 위치하고, 상기 라미네이션 유닛의 개구부를 관통하여 상기 라미네이션된 도너 필름 상에 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치를 제공한다.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 일 측면은, 척 상에 억셉 터 기판을 위치시키고; 적어도 광열변환층 및 전사층을 구비하는 도너 필름을 상기 전사층이 상기 억셉터 기판을 대향하도록 위치시키고; 중앙에 개구부를 가지는 바디부, 상기 바디부의 하부에 위치하는 한 쌍의 패드부 및 상기 바디부의 상부에 연결되며 상기 패드부에 압력을 가하기 위한 가압수단을 구비한 라미네이션 유닛을 사용하여 상기 도너 필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션시키고; 상기 라미네이션 유닛의 개구부를 관통하여 상기 라미네이션된 도너 필름 상에 레이저를 조사하여 상기 전사층의 적어도 일부를 상기 억셉터 기판 상으로 전사시키는 것;을 포함하는 레이저 열 전사 방법을 제공한다.
또한, 상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 또 다른 일 측면은, 척 상에 화소전극이 형성된 유기전계발광소자 기판을 위치시키고; 적어도 광열변환층 및 전사층을 구비하는 도너 필름을 상기 전사층이 상기 기판에 대향되도록 위치시키고; 중앙에 개구부를 가지는 바디부, 상기 바디부의 하부에 위치하는 한 쌍의 패드부 및 상기 바디부의 상부에 연결되며 상기 패드부에 압력을 가하기 위한 가압수단을 구비하는 라미네이션 유닛을 사용하여 상기 도너 필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션시키고; 상기 라미네이션 유닛의 개구부를 통하여 상기 라미네이션된 도너 필름 상에 레이저를 조사하여 상기 전사층의 일부를 상기 기판 상으로 전사시켜 상기 화소전극 상에 유기막층을 형성하는 것;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자 제조방법을 제공한다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 그러나 본 발명은 여기 서 설명되어지는 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 도면들에 있어서, 층이 다른 층 또는 기판 "상"에 있다고 언급되어지는 경우에 그것은 다른 층 또는 기판 상에 직접 형성될 수 있거나 또는 그들 사이에 제 3의 층이 개재될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소를 나타낸다.
(실시예)
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 레이저 열 전사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 열 전사 장치를 개략적으로 나타낸 측면도이고, 도 3은 도 1의 절단선 I-I'를 따라 취해진 본 발명의 실시예에 따른 레이저 열 전사 장치 일부의 단면도로서, 이를 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 레이저 열 전사 장치(100)는 기판 스테이지(110)를 구비하며, 상기 기판 스테이지(110) 상에 억셉터 기판(50)을 고정시키기 위한 척(115)이 위치한다. 상기 기판 스테이지(110)는 상기 척(115)을 X 방향으로 이동시키기 위한 척 가이드 바(chuck guide bar; 113)를 구비하고, 이로써 상기 척(115)은 상기 척 가이드 바(113)를 따라 X 방향으로 이동할 수 있다.
상기 척(115) 상에 상기 척(115)을 가로지르는 방향으로 배치된 광학 스테이지(120)가 위치하며, 상기 광학 스테이지(120) 상에 레이저 조사 장치(130)가 설치된다. 상기 광학 스테이지(120)는 상기 레이저 조사 장치(130)를 Y 방향으로 이동시키기 위한 레이저 가이드 바(laser guide bar; 123)를 구비하며, 나아가, 상기 레이저 조사 장치(130)는 레이저 조사 장치 베이스(125)를 통해 상기 광학 스테이 지(120) 상면, 자세하게는 상기 레이저 가이드 바(123)에 장착된다.
상기 레이저 조사 장치(130)는, 도 3에 도시한 바와 같이, 레이저 소오스(131), 빔 모양 변형장치(beam shaping element;132), 마스크(133) 및 투영렌즈(projection lens;134)를 구비할 수 있다. 상기 레이저 소오스(131)로부터 발생된 빔은 상기 빔 모양 변형장치(132)를 통과함으로써, 균질화된 플랫-탑 프로파일을 갖는 빔으로 변형되며, 상기 균질화된 빔은 상기 마스크(133)를 통과할 수 있다. 상기 마스크(133)는 적어도 하나의 광투과 패턴 또는 적어도 하나의 광반사 패턴을 구비할 수 있으며, 상기 마스크(133)를 투과한 빔은 상기 투영렌즈(134)를 통과하여 상기 억셉터 기판(50) 상에 조사될 수 있다.
상기 광학 스테이지(120)의 측부 상에, 상기 레이저 조사 장치(130)의 하부에 위치하도록 라미네이션 유닛(150)이 장착된다. 상기 라미네이션 유닛(150)은 상기 광학 스테이지(120)의 측부에 위치한 라미네이션 유닛 베이스(141)에 설치된다. 이하에서는 상기 라미네이션 유닛(150)에 대하여 자세히 설명하도록 한다.
상기 라미네이션 유닛(150)은 도너 필름(70)을 상기 억셉터 기판(50) 상에 라미네이션하기 위한 요소로서, 금속 또는 플라스틱으로 이루어진 바디부(151), 상기 바디부(151)에 연결된 가압수단(152) 및 상기 바디부(151)의 하부에 위치하는 패드부(153)로 구성된다.
상기 바디부(151)는 척(115)을 가로지르는 Y 방향으로 연장된 형태이며, 중앙에 개구부를 가진다. 이로써, 상기 라미네이션 유닛(150)의 하부에 위치한 도너 필름은 상기 척(115)을 가로지르는 Y 방향으로 억셉터 기판에 밀착될 수 있으며, 또한, 레이저 조사 장치(130)는 Y 방향으로 이동하면서 상기 바디부(151)의 개구부를 통하여 상기 도너 필름에 연속적으로 레이저를 조사할 수 있다.
상기 가압수단(152)은 상기 바디부(151)에 연결되어 상기 패드부(153)에 소정의 압력을 가하는 것으로서, 예를 들면, 에어 실린더(air cylinder), 모터 등의 공지수단을 사용할 수 있다. 상기 가압수단(152)은 상기 라미네이션 유닛 베이스(141)의 돌출부(142)에 장착되며, 상기 개구부를 제외한 바디부(151)의 상부에 연결된다. 여기서, 상기 가압수단(152)은 상기 패드부(153)에 균일하게 압력을 가할 수 있도록 상기 바디부(151)의 네 개의 모서리부에 위치한다. 본 발명의 실시예에서는 4개의 에어 실린더를 상기 바디부(151)의 모서리부에 각각 장착하였지만, 필요에 따라, 상기 가압수단(152)의 종류, 위치 및 개수를 변화시킬 수 있다.
상기 패드부(153)는 상기 개구부를 제외한 바디부(151)의 하부에 장착되며, 한 쌍의 선형 패드로 이루어질 수 있다. 여기서, 상기 패드부(153)는 실리콘, 고무 또는 우레탄 등과 같은 탄성체로 이루어질 수 있으며, 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 패드부(153)의 단면은 어느 한 내각이 30 내지 60도인 평행사변형의 형상을 가질 수 있다. 따라서, 상기 패드부(153)에 상기 가압수단(152)에 의하여 수직방향으로 압력이 가해지면, 상기 패드부(153)는 상기 패드부(153)의 탄성 및 형상으로 인하여 상기 라미네이션 유닛의 하부에 위치한 도너필름(70)에 수직방향 및 수평방향으로 힘을 가할 수 있게 되며, 이는 상기 도너필름(70)을 상기 억셉터 기판(50) 상에 밀착시킴과 동시에 상기 도너 필름(70)에 소정의 장력을 갖게 하여 효과적인 라미네이션을 수행할 수 있게 된다.
상기 도너 필름(70)은 리본 형태일 수 있으며, 상기 라미네이션 유닛(150)의 하부에 위치한다. 상기 라미네이션 유닛(150)의 양측부에는 리본형 도너 필름을 제공하기 위한 필름 공급수단(film supply means; 143)과 필름 감기수단(film winding means; 144)이 설치될 수 있다. 상기 필름 공급수단(143)과 상기 필름 감기수단(144)은 롤 형태인 것이 바람직하다. 상기 필름 공급수단(143)과 상기 필름 감기수단(144)은 상기 도너 필름(70)에 일정한 장력을 가할 수 있다. 상기 필름 공급수단(143)과 상기 필름 감기수단(144)은 상기 도너 필름의 공급시 상기 도너 필름이 상기 라미네이션 유닛(150)의 패드부(153)와 접촉하여 마찰이 발생하지 않도록, 상기 라미네이션 유닛(150)에 소정간격 이격하여 상기 라미네이션 유닛 베이스(141)의 소정의 위치에 각각 설치될 수 있다.
도 4는 억셉터 기판인 유기전계발광소자의 구조를 설명하기 위한 단면도이며, 도 5은 도너 필름의 구조를 설명하기 위한 단면도이다. 이하, 도 1, 도 4 및 도 5를 참조하여 상술한 레이저 열 전사 장치를 사용한 레이저 열 전사법 및 유기전계발광표시장치의 제조방법을 상세하게 설명하기로 한다.
도 1, 도 4 및 도 5를 참조하면, 척(115) 상에 억셉터 기판(50)을 위치시킨다. 상기 억셉터 기판(50)은 유기전계발광소자 기판일 수 있다.
상기 유기전계발광소자 기판은, 도 4에 도시한 바와 같이, 기판(51) 상의 소정영역에 반도체층(52)이 위치한다. 상기 반도체층(52)은 비정질 실리콘막 또는 비정질 실리콘막을 결정화한 다결정 실리콘막일 수 있다. 상기 반도체층(52) 상에 제 1 절연막인 게이트 절연막(53)이 위치한다. 상기 게이트 절연막(53) 상에 상기 반 도체층(52)과 중첩하는 게이트 전극(54)이 위치한다. 상기 게이트 전극(54) 상에 상기 반도체층(52) 및 상기 게이트 전극(54)을 덮는 제 2 절연막(55)이 위치한다. 상기 제 2 절연막(55) 상에 상기 제 2 절연막(55) 및 상기 제 1 절연막(53)을 관통하여 상기 반도체층(52)의 양 단부와 각각 접속하는 소오스 전극(56) 및 드레인 전극(57)이 위치한다. 상기 반도체층(52), 상기 게이트 전극(54) 및 상기 소오스/드레인 전극들(56, 57)은 박막트랜지스터(T)를 구성한다. 상기 소오스/드레인 전극들(56, 57) 상에 상기 소오스/드레인 전극들(56, 57)을 덮는 제 3 절연막(58)이 위치한다. 상기 제 3 절연막(58)은 상기 박막트랜지스터(T)를 보호하기 위한 패시베이션막 및/또는 상기 박막트랜지스터로 인한 단차를 완화하기 위한 평탄화막일 수 있다. 상기 제 3 절연막(58) 상에 상기 제 3 절연막(58)을 관통하여 상기 드레인 전극(57)과 접속하는 화소전극(59)이 위치한다. 상기 화소전극(59)은 예를 들어, ITO(Indium Tin Oxide)막 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)막일 수 있으며, 하부에 반사금속막을 구비할 수 있다. 상기 화소전극(59) 상에 상기 화소전극의 일부를 노출시키는 개구부(60a)를 갖는 화소정의막(pixel defining layer, 60)이 위치할 수 있다.
상기 억셉터 기판(50) 상에 대향되도록 상기 도너 필름(70)을 위치시킨다. 상기 도너 필름(70)은 리본형일 수 있다. 상기 도너 필름(70)은 필름 감기수단(144) 또는 필름 공급수단(143)에 여러 겹으로 감겨있으며, 상기 필름 감기수단(144) 및 필름 공급수단(143)은 상기 도너 필름이 라미네이션 유닛(150)의 하부에 위치할 수 있도록 배치된다. 이러한 리본형의 도너 필름(70)은 상기 억셉터 기 판(50)의 폭에 비해 작은 폭을 가지므로 상기 기판(50)의 폭과 비슷하거나 그보다 큰 도너 필름을 제작하는 경우에 비해 취급이 용이하며, 필름 제조시의 균일성을 확보할 수 있다.
상기 도너 필름(70)은, 도 5에 도시한 바와 같이, 기재 필름(base film; 71) 및 상기 기재 필름(71)의 일면 상에 차례로 적층된 광열변환층(72)과 전사층(73)을 구비한다.
상기 기재 필름(71)은 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET) 등의 투명성 고분자 유기재료로 형성될 수 있다. 상기 광열변환층(72)은 입사되는 광을 열로 변환시키는 막으로, 광흡수성 물질인 알루미늄 산화물, 알루미늄 황화물, 카본 블랙, 흑연 또는 적외선 염료를 포함할 수 있다. 상기 전사층(73)은 상기 하부기판(A)이 유기전계발광소자 기판인 경우, 유기전사층일 수 있다. 상기 유기전사층(73)은 정공주입층, 정공수송층, 전계발광층, 정공억제층, 전자수송층 및 전자주입층으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 하나의 막일 수 있다.
이어서, 상기 척을 가로지르는 Y 방향으로 연장된 라인 형태이며, 바디부(151), 상기 바디부(151)의 하부에 위치한 패드부(153) 및 상기 패드부(153)에 압력을 가하는 가압수단(152)을 구비한 라미네이션 유닛(150)을 사용하여, 상기 도너필름(70)을 상기 기판(50) 상에 라미네이션시킨다.
상기 라미네이션은 상기 가압수단(152)에 의하여 상기 바디부(151)의 하부에 위치한 패드부(153)에 압력을 인가함으로써 수행된다. 상기 가압수단(152)은 에어 실린더일 수 있다. 상기 패드부(153)는 탄성을 가지는 한 쌍의 선형 패드로 이루어질 수 있으며, 상기 패드부(153)의 단면은 평행사변형의 형상을 가질 수 있다. 따라서, 상기 바디부(151)에 상기 가압수단(152)에 의하여 수직방향으로 압력이 가해지면, 상기 바디부(151)는 상기 라미네이션 유닛(150)의 하부에 위치한 도너 필름(70)과 함께, 상기 억셉터 기판(50) 상으로 이동하여 상기 패드부(153)에 의하여 상기 도너 필름(70)이 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션된다. 이때, 상기 패드부(153)의 탄성 및 형상으로 인하여, 상기 패드부(153)는 상기 도너 필름(70)에 수직방향 및 수평방향으로 힘을 가하게 된다. 즉, 상기 도너 필름(70)을 수직방향으로 밀착시킴과 동시에 수평방향으로 상기 도너 필름(70)이 펴지면서 소정의 장력을 갖도록 밀착시킬 수 있어 효과적인 라미네이션을 수행할 수 있다.
이어서, 레이저 조사 장치(130)로부터 레이저 빔이 방출되고, 상기 레이저 빔은 상기 라미네이션 유닛(150)의 개구부를 통과하여 상기 라미네이션 된 도너 필름(70) 상에 조사된다.
상기 도너 필름(70)의 상기 레이저 빔이 조사된 영역에서는 상기 광열변환층이 상기 레이저 빔을 흡수하여 열을 발생시키고, 상기 열이 발생된 광열변환층하부의 상기 전사층은 상기 열에 의해 상기 광열변환층과의 접착력에 변화가 생겨 상기 억셉터 기판(50) 상으로 전사된다. 결과적으로 상기 억셉터 기판(50) 상에는 패터닝된 전사층(73a)이 형성된다.
이 때, 레이저 조사 장치 베이스(125)는 레이저 가이드 바(123)를 따라 Y축으로 이동하며, 상기 레이저 조사 장치(130)는 상기 라미네이션 유닛(150)의 개구 부를 통하여 연속적으로 레이저 빔을 조사한다. 따라서, 상기 억셉터 기판(50) 상에는 전사층 패턴(73a)이 Y축을 따라 계속적으로 생성된다.
상기 레이저 조사 장치(130)가 상기 억셉터 기판(50)의 가장자리에 다다르면, 상기 라미네이션 유닛(150)의 가압수단(152)은 인가했던 압력을 제거하게 되고, 그 결과, 상기 패드부(153) 및 상기 라미네이션 유닛(150) 하부의 도너 필름(70)은 상기 억셉터 기판으로부터 떨어지게 된다. 이 때, 상기 필름 감기수단(144)은 패터닝에 사용된 도너 필름(70)을 감게 되고, 새로운 도너 필름(70) 부분이 상기 라미네이션 유닛(150) 하부에 위치할 수 있게 된다.
이어서, 상기 척(115)은 상기 척 가이드 바(113)를 따라 한 스텝 이동하고, 상술한 라미네이션 및 레이저 조사를 반복하여, 기판 전체에 전사층 패턴(73a), 즉, 유기막층을 형성한다.
도 6은 패터닝된 전사층을 구비하는 유기전계발광소자 기판의 일부영역을 확대하여 나타낸 단면도이다.
상기와 같은 공정을 수행하면, 도 6에 도시한 바와 같이, 유기전계발광소자 기판의 개구부(60a) 내에 노출된 화소전극(55) 상에 전사층 패턴(77a)이 위치한다.상기 전사층 패턴(77a)은 발광층일 수 있다. 나아가, 상기 전사층 패턴(77a)은 정공주입층, 정공수송층, 정공억제층, 전자수송층 및 전자주입층으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 한 층을 더욱 포함할 수 있다.
상기와 같은 레이저 열 전사공정에 의하여 적어도 발광층을 포함하는 유기막층을 형성한 다음, 상기 유기막층 상에 대향 전극을 형성함으로써 유기전계발광소 자의 제조를 완성할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 바디부(151), 가압수단(152) 및 패드부(153)를 구비한 라미네이션 유닛(150)을 포함하는 레이저 열 전사 장치를 제공함으로써, 리본형 도너 필름의 효과적인 라미네이션을 수행할 수 있다. 또한 상기 라미네이션 유닛(150)은 탄성을 지니며 평행사변형의 단면을 가지는 패드부(153)를 구비하여, 상기 도너 필름에 수직 방향 및 수평방향의 압력을 가할 수 있다. 즉, 상기 도너 필름을 수직방향으로 밀착시킴과 동시에 수평 방향으로 소정의 장력을 갖게 함으로써, 후속하는 레이저 조사시 전사효율을 극대화할 수 있으며, 레이저 열 전사법에 의한 전사층 패턴의 품질을 향상시킬 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 억셉터 기판 상에 리본형 도너 필름을 효과적으로 라미네이션시킬 수 있으며, 이로써, 레이저 열 전사법에 의한 유기막층 형성시 전사효율을 극대화하며, 우수한 전사 패턴 프로파일을 얻을 수 있다.

Claims (16)

  1. 억셉터 기판을 고정시키는 척;
    상기 척 상에 위치하고, 중앙에 개구부를 가지는 바디부, 상기 바디부의 하부에 위치하는 한 쌍의 패드부 및 상기 바디부의 상부에 연결되며 상기 패드부에 압력을 가하기 위한 가압수단을 구비하여, 상기 억셉터 기판 상에 도너 필름을 라미네이션하는 라미네이션 유닛; 및
    상기 라미네이션 유닛 상에 위치하고, 상기 라미네이션 유닛의 개구부를 관통하여 상기 라미네이션된 도너 필름 상에 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 패드부는 탄성체로 이루어진 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 패드부의 단면은 평행사변형의 형상인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 라미네이션 유닛은 상기 척을 가로지르는 Y 방향으로 연장된 라인 형태 인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 척을 Y 방향으로 가로지르는 광학 스테이지를 더 포함하고,
    상기 레이저 조사 장치는 레이저 조사 장치 베이스를 통해 상기 광학 스테이지 상면에 위치되고, 상기 라미네이션 유닛은 상기 라미네이션 유닛 베이스를 통해 상기 레이저 조사 장치의 하부에 위치하도록 상기 광학 스테이지의 측부에 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 도너 필름은 리본형인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 라미네이션 유닛의 양측부에 상기 도너 필름을 제공하기 위한 필름 공급수단(film supply means)과 필름 감기수단(film winding means)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 척을 Y 방향으로 가로지르는 광학 스테이지를 더 포함하고,
    상기 레이저 조사 장치는 레이저 조사 장치 베이스를 통해 상기 광학 스테이지 상 면에 위치되고, 상기 라미네이션 유닛은 상기 라미네이션 유닛 베이스를 통해 상기 레이저 조사 장치의 하부에 위치하도록 상기 광학 스테이지의 측부에 설치되고, 상기 필름 공급수단 및 상기 필름 감기수단은 상기 라미네이션 유닛에 이격되어 상기 라미네이션 유닛 베이스에 각각 설치되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 도너 필름은 기재 필름, 상기 기재 필름 상에 위치하는 광열변환층 및 상기 광열변환층 상에 위치하는 전사층을 구비하는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 전사층은 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 정공억제층, 전자수송층 및 전자주입층으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 한 층인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 억셉터 기판은 유기전계발광소자 기판인 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 장치.
  12. 척 상에 억셉터 기판을 위치시키고;
    적어도 광열변환층 및 전사층을 구비하는 도너 필름을 상기 전사층이 상기 억셉터 기판을 대향하도록 위치시키고;
    중앙에 개구부를 가지는 바디부, 상기 바디부의 하부에 위치하는 한 쌍의 패드부 및 상기 바디부의 상부에 연결되며 상기 패드부에 압력을 가하기 위한 가압수단을 구비한 라미네이션 유닛을 사용하여 상기 도너 필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션시키고;
    상기 라미네이션 유닛의 개구부를 관통하여 상기 라미네이션된 도너 필름 상에 레이저를 조사하여 상기 전사층의 적어도 일부를 상기 억셉터 기판 상으로 전사시키는 것;을 포함하는 레이저 열 전사 방법.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 레이저는 상기 Y 방향으로 라미네이션된 도너 필름을 따라 조사되는 것을 특징으로 하는 레이저 열 전사 방법.
  14. 척 상에 화소전극이 형성된 유기전계발광소자 기판을 위치시키고;
    적어도 광열변환층 및 전사층을 구비하는 도너 필름을 상기 전사층이 상기 기판에 대향되도록 위치시키고;
    중앙에 개구부를 가지는 바디부, 상기 바디부의 하부에 위치하는 한 쌍의 패드부 및 상기 바디부의 상부에 연결되며 상기 패드부에 압력을 가하기 위한 가압수 단을 구비하는 라미네이션 유닛을 사용하여 상기 도너 필름을 상기 억셉터 기판 상에 라미네이션시키고;
    상기 라미네이션 유닛의 개구부를 통하여 상기 라미네이션된 도너 필름 상에 레이저를 조사하여 상기 전사층의 일부를 상기 기판 상으로 전사시켜 상기 화소전극 상에 유기막층을 형성하는 것;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 유기막층은 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 정공억제층, 전자수송층 및 전자주입층으로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 한 층인 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
  16. 제 14 항에 있어서,
    상기 유기막층 상에 대향전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
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