KR20070100652A - 광원, 광원 제어 방법 및 광원 교환 방법 - Google Patents

광원, 광원 제어 방법 및 광원 교환 방법 Download PDF

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KR20070100652A
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light
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KR1020070033845A
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가즈나리 세키가와
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신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 교환 작업을 용이하면서 단시간에 실현 가능한 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원, 이 광원 전체의 발광 출력을 제어하는 광원 제어 방법, 및 이 광원에서 복수의 레이저 다이오드 중 어느 하나를 교환하는 광원 교환 방법을 실현하는 것을 과제로 한다.
레이저 다이오드(LD)를 복수 구비하는 광원(1)은 레이저 다이오드(LD)와 그 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력을 제어하는 전용의 제어 보드(47)로 이루어지는 세트마다 생성된 교정 데이터로서, 제어 보드(47)를 구동시키기 위한 제어값과 이 제어값에 기초하여 제어 보드(47)가 구동했을 때의 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력의 측정값의 대응 관계가 규정된 교정 데이터에 기초하여, 광원(1) 전체의 발광 출력이 제어되고, 이 광원(1) 내의 레이저 다이오드(LD) 중 어느 하나를 교환할 때에는, 레이저 다이오드(LD)와 이것에 대응하는 제어 보드(47)와 이것에 대응하는 교정 데이터를 한 세트로서 교환한다.
광원, 레이저 다이오드, 제어 보드

Description

광원, 광원 제어 방법 및 광원 교환 방법{LIGHT SOURCE, METHOD OF CONTROLLING LIGHT SOURCE, AND METHOD OF CHANGING THE SAME}
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 광원 및 이 광원을 구동하기 위한 제어 보드의 블록도.
도 2는 도 1에 나타낸 제어 보드의 구성을 나타내는 블록도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에서의 제어 보드의 회로 파라미터의 조정을 설명하는 제 1 도면.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에서의 제어 보드의 회로 파라미터의 조정을 설명하는 제 2 도면.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에서의 제어 보드의 회로 파라미터의 조정을 설명하는 제 3 도면.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 광원 및 이 광원을 구동하기 위한 제어 보드의 블록도.
도 7은 도 6에 나타낸 제어 보드의 구성을 나타내는 블록도.
도 8은 반도체 레이저를 구동하기 위한 제어 보드의 일 종래예를 나타내는 도면.
도 9는 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원의 일 종래예를 나타 내는 도면.
도 10은 도 9에 나타낸 광원을 구동하기 위한 제어 보드의 일 종래예를 나타내는 도면.
도 11은 디지털 마이크로미러 디바이스를 사용한 직접 노광 장치의 일 종래예를 예시하는 도면.
도 12는 직접 노광 장치에서 사용되는 광원의 일 종래예를 나타내는 도면.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 광원 2 : 마더보드
3 : 컨트롤 PC 20 : 모듈
44 : 시스템 컨트롤러 45 : 통신 컨트롤러
46 : 시스템 버스 47 : 제어 보드
51 : PD 출력 전류 증폭기 52 : 디지털 퍼텐쇼미터
53 : LD 출력 제어용 집적 회로 54 : 기준 전압 설정기
55 : 오차 증폭기 56 : 전류 부스터(booster)
57 : 시스템 버스 인터페이스 LD : 레이저 다이오드
PD : 포토다이오드
본 발명은 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원, 이 광원 전체의 발광 출력을 제어하는 광원 제어 방법, 및 이 광원에서 복수의 레이저 다이오드 중 어느 하나를 교환하는 광원 교환 방법에 관한 것으로서, 특히 직접 노광 장치에서 사용되는 광원, 이 광원 전체의 발광 출력을 제어하는 광원 제어 방법, 및 이 광원에서 복수의 레이저 다이오드 중 어느 하나를 교환하는 광원 교환 방법에 관한 것이다.
레이저 다이오드(LD)를 갖는 반도체 레이저 광원은 그 내부에 레이저 다이오드의 발광 강도(强度)를 제어하기 위한, 레이저 다이오드가 발하는 광을 수광(受光)하는 포토다이오드(PD)를 갖는다. 이러한 반도체 레이저 광원의 구성을 용이하게 하기 위해, 예를 들어 레이저 다이오드와 포토다이오드가 서로 근접하여 배치된 모듈 구조의 형태를 갖는 것이 있다(예를 들어 특허문헌 1).
반도체 레이저 광원을 구동하기 위한 제어 보드(제어 회로)에서는, 포토다이오드에 의한 레이저 다이오드의 발광 강도의 검지 결과를 이용하여 부귀환(負歸還) 제어를 실현하고, 레이저 다이오드의 발광 강도를 일정하게 유지한다. 이러한 부귀환 제어를 실행하는 제어 보드는 일반적으로 APC(Automatic Power Control) 회로라고 불린다. 또한, 모듈화되어 있지 않은 단체(單體)의 레이저 다이오드의 경우에서는, 상기 레이저 다이오드에 근접하는 위치에 포토다이오드를 설치하여 부귀환 회로를 구성할 필요가 있다.
도 8은 반도체 레이저를 구동하기 위한 제어 보드의 일 종래예를 나타내는 도면이다. 이하, 상이한 도면에서 동일한 참조 부호가 첨부된 것은 동일한 기능을 갖는 구성 요소인 것을 의미하는 것으로 한다.
도 8에 나타낸 모듈(20) 내에는 레이저 다이오드(LD)와 포토다이오드(PD)가 근접하여 배치되어 있고, 레이저 다이오드(LD)와 포토다이오드(PD)는 광학적으로 결합된다. 레이저 다이오드(LD)는 전류원(26)으로부터 공급되는 전류(ILD)에 의해 발광한다. 포토다이오드(PD)는 레이저 다이오드(LD)가 발하는 광을 수광하여, 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력에 비례한 전류(IPD)를 출력한다. 전류 증폭기(23)는 포토다이오드(PD)로부터의 출력 전류(IPD)를 증폭시키지만, 전류로부터 전압으로 변환되는 기능을 갖는 것이기도 하고, 입력된 포토다이오드(PD)의 출력 전류(IPD)를 전압으로 변환시켜 출력한다. 전류 증폭기(23)는 매우 작은 입력 임피던스를 갖고 있기 때문에, 전류 증폭기(23)의 출력 전압은 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력에 대하여 넓은 범위에 걸쳐 선형(線形)으로 변화된다. 오차 증폭기(24)는 전류 증폭기(23)의 출력 전압과 제어 전압 설정기(25)에 의해 설정된 기준 전압(Vref)을 비교한다. 오차 증폭기(24)의 출력을 사용하여 전류원(26)의 전류(ILD)를 제어한다.
도 8에 나타낸 반도체 레이저를 구동하기 위한 제어 보드에서, 예를 들어 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력이 증가할 경우의 일련의 부귀환 제어는 다음과 같다. 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력이 증가하면, 포토다이오드(PD)의 출력 전류(IPD)는 증가하고, 전류 증폭기(23)의 출력 전압이 증가한다. 그러면, 오차 증폭기(24)의 출력이 감소하기 때문에, 전류원(26)의 전류(ILD)가 감소하고, 그 결과 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력이 감소한다. 이상의 제어에 의해, 레이저 다이오드 (LD)의 발광 출력이 기준 전압(Vref)에 대응한 일정값이 되도록 제어된다.
이러한 레이저 다이오드(반도체 레이저)를 복수 구비하여 구성되는 광원이 있다(예를 들어, 비특허문헌 1 참조). 도 9는 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원의 일 종래예를 나타내는 도면이다. 도시된 예에서는, 포토다이오드 및 레이저 다이오드(모두 도시 생략)를 포함하는 모듈(20)을 n개(단, n은 자연수) 구비한다. 각 모듈(20)은 커넥터(12)를 통하여 섬유(13)에 접속된다. 각 섬유(13)의 다른 일단(一端)에는 커넥터(14)가 접속된다. 각 모듈(20) 내의 레이저 다이오드로부터 발해진 광은 섬유(13)를 통하여 커넥터(14)에서 수렴된다. 일반적인 레이저 다이오드의 발광 출력은 수백 밀리와트(㎽) 정도이지만, 복수의 레이저 다이오드를 사용하여 상기와 같이 구성된 광원에서는, 예를 들어 수와트(W) 이상의 발광 출력을 얻을 수 있다. 각 모듈(20) 내의 레이저 다이오드의 발광 출력은 제어 보드(10)에 의해 상기와 같이 부귀환 제어된다.
도 10은 도 9에 나타낸 광원을 구동하기 위한 제어 보드의 일 종래예를 나타내는 도면이다. 동작 원리는 상술한 도 8에 나타낸 제어 보드와 동일하다. 도시된 예에서는, 레이저 다이오드(LD) 및 포토다이오드(PD)를 포함하는 모듈(20)을 n개 구비한다. 각 모듈(20) 내의 포토다이오드(PD)의 출력 전류(IPD)는 합산되어 전류 증폭기(23)에 입력된다. 또한, 오차 증폭기(24)의 출력은 n개로 분기(分岐)되어, 각 모듈(20) 내의 레이저 다이오드(LD)에 전류(ILD)를 공급하기 위한 전류원(26-1, 26-n)에 각각 접속된다. 이와 같이 복수의 레이저 다이오드로 광원을 구성 할 경우에는, 각 모듈(20) 내의 포토다이오드(PD)의 출력 전류(IPD)의 합산값을 이용하여 광원의 발광 출력을 일정하게 유지하도록 제어한다. 즉, 각 모듈(20) 내의 포토다이오드(PD)의 출력 전류(IPD)의 합산값이 증가한 경우에는, 전류원(26-1, 26-n)이 공급하는 각 모듈(20) 내의 레이저 다이오드(LD)에 전류(ILD)는 감소하고, 각 모듈(20) 내의 포토다이오드(PD)의 출력 전류(IPD)의 합산값이 감소한 경우에는, 전류원(26-1, 26-n)이 공급하는 각 모듈(20) 내의 레이저 다이오드(LD)에 전류(ILD)가 증가함으로써, 광원 전체의 발광 출력이 원하는 일정값을 유지하도록 제어된다.
상술한 바와 같은 광원은 예를 들어 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 직접 노광에 의해 원하는 노광 패턴을 형성하는 직접 노광 장치(즉 마스크리스(maskless) 노광 장치)에서, 상기 노광면 위를 노광하기 위한 광을 발생시키는데 사용된다. 직접 노광 장치에서는, 노광 처리를 위해 강력한 발광 출력(예를 들어 수와트 이상)을 갖는 광원이 필요하다.
직접 노광 장치로서, 예를 들어 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD)를 사용하여 노광 패턴을 직접 노광 처리에 의해 형성하는 장치가 있다(예를 들어, 특허문헌 2 참조). 도 11은 디지털 마이크로미러 디바이스를 사용한 직접 노광 장치의 일 종래예를 예시하는 도면이다. 디지털 마이크로미러 디바이스(DMD)(151)에 대하여 상대 이동하는 노광 대상 기판(103) 위에 형성된 레지스트를 직접 노광할 때에, 노광해야 할 패턴에 대응한 패턴 데이터가 패턴 생성기(152)에 의해 생성되고, 이 패턴 데이터는 DMD(151)에 입력된다. 패턴 생성기(152)는 상대 이동하는 노광 대상 기판(103)의 위치를 검출하는 위치 센서(153)와 연동되어 있고, 노광 대상 기판(103)의 위치에 동기하여 패턴 데이터를 생성하게 된다. 광원(102)은 확산판(擴散板)(154), 렌즈(155)를 통하여 DMD(151)에 광을 조사한다. DMD(151)는 그 복수의 각 마이크로미러를 패턴 데이터에 따라 경동(傾動)시킴으로써, DMD(151) 중의 각 마이크로미러에 입사된 광이 반사되는 방향을 적절히 바꾸고, 이 광을 노광 대상 기판(103) 위의 레지스트에 렌즈(156)를 통하여 조사하여 패턴 데이터에 대응한 노광 패턴을 형성한다.
이러한 직접 노광 장치에서는, 노광 대상 기판에 광을 조사하는 광원은 양호한 노광 효과를 얻기 때문에, 노광 대상 기판면 위에 조사되는 광을 불균일이 없는 균일한 것으로 할 필요가 있다.
도 12는 직접 노광 장치에서 사용되는 광원의 일 종래예를 나타내는 도면이다. 직접 노광 장치에 사용되는 광원(102)은 균일한 조사광을 얻기 위해 점광원(点光源)(158)을 복수 배열하여 면 형상으로 구성된다. 각 점광원(158)으로부터의 평행 광선을 확산판(154)에 통과시켜 「조도(照度) 불균일」을 제거한 후에, 도 11에서의 DMD(151)에 조사한다.
[특허문헌 1] 일본국 특허공개2004-349320호 공보
[특허문헌 2] 일본국 특허공개 평10-112579호 공보
[비특허문헌 1] 「LD 슬롯 모듈(형식번호: NDAV330E1) 표준 사양서」, 니치아(日亞) 화학공업 주식회사
도 10에 나타낸 바와 같이, 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원을 구동하기 위한 제어 보드를 n개의 모듈(20) 내의 포토다이오드(PD)의 출력 전류(IPD)의 합산값에 기초하여, 광원의 발광 출력을 일정하게 유지하도록 제어할 경우, 모든 레이저 다이오드(LD)가 정상적으로 동작하고 있을 때에는 특별히 문제는 생기지 않는다. 그러나, m개(단, m은 자연수, 또한 1≤m<n)의 레이저 다이오드(LD)가 고장(故障)났다고 가정했을 때, 광원 전체의 발광 출력은 매우 감소한다. 레이저 다이오드(LD)의 고장 유무에 상관없이, 제어 보드는 변함없이 광원 전체의 발광 출력이 원하는 일정값을 유지하도록 계속하여 제어된다. 그 결과, 정상적인 「n-m」개의 레이저 다이오드(LD)만으로 광원 전체로서의 발광 출력을 일정하게 유지하도록 동작하게 되어, 정상적인 레이저 다이오드(LD)에 대한 부담은 증대된다. 이 부담 증대는 정상적인 레이저 다이오드(LD)의 수명 열화 또는 고장으로 연쇄된다. 결과적으로, 보다 많은 레이저 다이오드(LD)를 교환해야만 하는 사태에 빠지게 될 수 있다. 예를 들어, 직접 노광 장치의 가동 중에 이러한 상태가 발생한 경우에는, 고장의 특정이나 교환 작업을 위해 노광 처리 라인이 장기간에 걸쳐 정지하게 되어, 경제적 손실이 매우 크다.
또한, 레이저 다이오드(LD)의 고장이 발생했어도 광원 전체로서의 발광 출력은 원하는 일정값을 얻었기 때문에, 본래 레이저 다이오드(LD)의 고장 발생을 알아차리기 어렵다. 또한, 고장을 알아차렸다고 해도 고장난 레이저 다이오드(LD)의 특정도 곤란하고, 경우에 따라서는 고장난 레이저 다이오드(LD)를 특정할 수 없어, 광원 전체를 교환해야만 하게 된다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기 문제를 감안하여, 교환 작업을 용이하면서 단시간에 실현 가능한 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원, 이 광원 전체의 발광 출력을 제어하는 광원 제어 방법, 및 이 광원에서 복수의 레이저 다이오드 중 어느 하나를 교환하는 광원 교환 방법을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 실현하기 위해, 본 발명에서는, 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원은 레이저 다이오드와 그 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 레이저 다이오드 전용의 제어 보드로 이루어지는 세트마다 미리 생성된 교정 데이터로서, 제어 보드를 구동시키기 위한 제어값과, 이 제어값에 기초하여 제어 보드가 구동했을 때의 레이저 다이오드의 실제 발광 출력의 측정값의 대응 관계가 규정된 교정 데이터에 기초하여, 광원 전체의 발광 출력이 제어되는 광원이다.
또한, 본 발명에 의하면, 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원 전체의 발광 출력을 제어하는 광원 제어 방법은, 레이저 다이오드와 그 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 레이저 다이오드 전용의 제어 보드로 이루어지는 세트마다 제어 보드를 구동시키기 위한 제어값과, 이 제어값에 기초하여 제어 보드가 구동했을 때의 레이저 다이오드의 실제 발광 출력의 측정값의 대응 관계가 규정된 교정 데이터를 미리 생성하는 생성 스텝과, 상기 세트마다의 교정 데이터에 기초하여, 광원 전체의 발광 출력을 제어하는 제어 스텝을 구비한다.
또한, 본 발명에 의하면, 이러한 광원에서의 복수의 레이저 다이오드 중 어느 하나를 교환하는 광원 교환 방법에서, (1) 교환해야 할 레이저 다이오드 및 그 교환해야 할 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 교환해야 할 레이저 다이오드 전용의 제어 보드를, 새로운 레이저 다이오드 및 그 새로운 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 새로운 레이저 다이오드 전용의 새로운 제어 보드로 교환하는 동시에, (2) 제어 보드를 구동시키기 위한 제어값과, 이 제어값에 기초하여 제어 보드가 구동했을 때의 레이저 다이오드의 실제 발광 출력의 측정값의 대응 관계가 레이저 다이오드와 그 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 레이저 다이오드 전용의 제어 보드로 이루어지는 세트마다 규정된 광원 전체의 발광 출력을 제어하는데 사용되는 각 교정 데이터 중, 교환해야 할 레이저 다이오드의 발광 출력 제어에 사용되었던 교정 데이터를, 새로운 레이저 다이오드와 그 새로운 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 새로운 레이저 다이오드 전용의 새로운 제어 보드로 이루어지는 세트를 위해 규정된 교정 데이터로 교환한다.
본 발명의 광원은 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 직접 노광에 의해 원하는 노광 패턴을 형성하는 직접 노광 장치에서, 노광면 위를 노광하기 위한 광을 발생시키는데 사용될 수도 있다. 특히, 이 직접 노광 장치가 광원으로부터의 광을 디지털 마이크로미러 디바이스에 조사하고, 이 디지털 마이크로미러 디바이스에서 반사된 광을 디지털 마이크로미러 디바이스에 대하여 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 조사함으로써, 노광면 위에 원하는 노광 패턴을 형성하는 장치인 경우에는, 본 발명에 의한 광원이 디지털 마이크로미러 디바이스의 조사면에 균 일한 광을 조사하게 되도록 상기 광원을 구성하는 각 레이저 다이오드는 제어된다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 의한 광원 및 이 광원을 구동하기 위한 제어 보드의 블록도이다. 제 1 실시예에서는, n개의 레이저 다이오드로 광원(1)이 구성되는 것으로 한다. 따라서, 레이저 다이오드(LD) 및 포토다이오드(PD)를 포함하는 모듈(20)은 합계 n개 설치된다.
레이저 다이오드(LD)를 n개 구비하여 구성되는 광원(1)을 구동하기 위해, 레이저 다이오드(LD) 각각에 상기 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 전용의 제어 보드(47)가 설치된다. 따라서, 제어 보드(47)도 합계 n개 설치된다. n개의 레이저 다이오드(LD)를 각각 개별로 제어하는 n개의 제어 보드(47)는 시스템 버스(46)를 공유하여 접속된다.
각 제어 보드(47)는 마더보드(2) 위에 설치된다. 마더보드(2) 위에는 외부의 컨트롤 PC(참조 부호 3)와의 통신을 담당하는 통신 컨트롤러(45)와, 마더보드(2) 위에서의 제어 전체를 통괄하는 시스템 컨트롤러(44)가 더 설치된다. 통신 컨트롤러(45)는 시스템 컨트롤러(44)로부터의 명령을 받아, 외부의 컨트롤 PC(3)와 각 제어 보드(47)의 데이터 송수신을 제어한다.
컨트롤 PC(3) 위의 제어 소프트웨어는 후술하는 교정 데이터를 판독하고, 마더보드(2)와 통신하여 n개의 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력을 제어한다.
여기서, 본 발명에서의 교정 데이터(Calibration Data)에 대해서 설명한다.
제어 보드는 입력된 제어값에 기초하여 구동된다. 이 제어값이란, 레이저 다이오드(LD)가 원하는 발광 출력으로 발광하도록 사용자가 미리 입력 설정하는 파 라미터이다. 따라서, 동일한 제어값을 사용하여 복수의 레이저 다이오드(LD)를 발광시키면, 각 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력은 이상적(理想的)으로는 동일해진다.
그러나, 실제로는 모듈(20) 내에서의 포토다이오드(PD)의 출력 전류(IPD)는 포토다이오드(PD)의 광검지 감도(感度)에 의해 약간 상이하다. 마찬가지로, 모듈(20) 내의 레이저 다이오드(LD)의 발광 특성에 대해서도 레이저 다이오드(LD)의 개체차(個體差)가 있다. 또한, 모듈(20)마다(즉 레이저 다이오드(LD)마다) 설치되는 제어 보드(47)에 대해서도 제어 보드(47)를 구성하는 각종 소자에 기인하는 회로 파라미터의 개체차가 존재한다. 따라서, 동일한 제어값이었다고 해도 실제로는 레이저 다이오드(LD), 포토다이오드(PD) 및 제어 보드(47)의 조합 여하에 따라, 각 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력은 상이해지게 된다. 종래는 이러한 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력의 불균일을 제어 보드 내의 저항값이나 증폭률 등의 회로 파라미터를 1개씩 수동으로 조정함으로써 해소했었다.
그래서, 본 발명에서는 이러한 조정의 수고를 없애기 위해, 교정 데이터를 사용한다. 이 교정 데이터란, 제어 보드(47)를 구동시키기 위한 제어값과, 이 제어값에 기초하여 제어 보드(47)가 구동했을 때의 레이저 다이오드(LD)의 실제 발광 출력의 측정값의 대응 관계가 규정된 테이블이다. 또한, 교정 데이터를 생성시킬 때에는, 제어 보드(47)에 실제로 제어값을 입력하여 그때의 레이저 다이오드(LD)의 실제 발광 출력을 측정할 필요가 있지만, 그러한 측정 장치, 제어값을 제어 보드 (47)에 입력하기 위한 장치(예를 들어 컴퓨터)의 실현이 공지 기술로 충분히 가능하다는 것은 당업자라면 용이하게 이해할 수 있을 것이다.
표 1은 제어값 X는 0∼1023의 정수(즉 이산(離散)값)로 하고, 제어값 X와, 이 제어값 X에 기초하여 제어 보드(47)가 구동했을 때의 레이저 다이오드(LD)의 실제 발광 출력의 측정값 Po(X)의 대응 관계를 예시하는 테이블이다.
[표 1]
제어값 X 발광 출력의 측정값 Po(X)[㎽]
0 -1.00
1 -1.00
2 -1.00
· -1.00
· -1.00
100 -1.00
101 200.00
102 198.13
· ·
· ·
199 101.27
200 100.76
201 100.26
· ·
· ·
800 25.19
· ·
· ·
1023 19.70
레이저 다이오드(LD), 포토다이오드(PD) 및 제어 보드(47)의 조합이 결정되면, 제어값 X와 레이저 다이오드(LD)의 실제 발광 출력의 측정값 Po(X)는 1대1로 결정되기 때문에, 교정 데이터는 레이저 다이오드(LD)와 그 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 레이저 다이오드 전용의 제어 보드(47)로 이루어지는 세트마다 개별로 생성된다.
이와 같이 생성된 레이저 다이오드(LD)와 그 레이저 다이오드 전용의 제어 보드(47)로 이루어지는 세트마다의 교정 데이터는 도 1의 컨트롤 PC(3)에 접속된 데이터베이스 내에 미리 유지해 둔다. 컨트롤 PC(3) 상의 제어 소프트웨어는 세트마다의 교정 데이터를 판독하고, 마더보드(2)와 통신하여 대응하는 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력을 제어한다.
본 발명의 제 1 실시예에서는, 광원(1)에서의 복수의 레이저 다이오드(LD) 중 어느 하나를 교환할 때에는, 레이저 다이오드(LD)와 그 레이저 다이오드 전용의 제어 보드(47)와 이것에 대응하는 교정 데이터를 한 세트로서 교환한다. 보다 상세하게는 다음과 같다. 즉, 교환해야 할 레이저 다이오드 및 그 교환해야 할 레이저 다이오드 전용의 제어 보드에 대해서는, 새로운 레이저 다이오드 및 그 새로운 레이저 다이오드 전용의 새로운 제어 보드로 교환한다. 한편, 교정 데이터에 대해서는 교환해야 할 레이저 다이오드의 발광 출력 제어에 사용되었던 교정 데이터를, 새로운 레이저 다이오드와 그 새로운 레이저 다이오드 전용의 새로운 제어 보드로 이루어지는 세트를 위해 규정된 교정 데이터로 교환한다. 교정 데이터의 교환은 예를 들어 사용자가 컨트롤 PC(3)를 사용하여 입력 조작을 행함으로써 실현할 수 있도록 하면 된다.
이와 같이 본 발명의 제 1 실시예에 의하면, 열화 또는 고장난 레이저 다이오드를 교환할 때에는, 레이저 다이오드(LD)와 그 레이저 다이오드 전용의 제어 보드(47)와 이것에 대응하는 교정 데이터를 한 세트로서 교환하기 때문에, 교환 작업시의 파라미터 조정이 필요 없어, 교환 작업을 용이하면서 단시간에 실현할 수 있다. 또한, 도 9 및 도 10을 참조하여 설명한 종래예와 비교하면, 열화 또는 고장 난 레이저 다이오드만을 교환할 수 있기 때문에, 러닝 코스트(running cost)를 최소한으로 할 수 있다.
도 2는 도 1에 나타낸 제어 보드의 구성을 나타내는 블록도이다. 도시된 예에서는, 모듈(20)에 접속되는 1개의 제어 보드(47)에 대해서 나타내고 있다.
PD 출력 전류 증폭기(51)는 포토다이오드(PD)로부터의 출력 전류(IPD)를 증폭시키는 동시에, 레벨 시프트하여 플러스 전위로부터 디지털 퍼텐쇼미터(potentiometer: 전위차계)(52)에 유입되는 정전류원으로서 동작한다. PD 출력 전류 증폭기(51)는 반(半)고정 저항을 사용하여 전류 증폭 게인을 조정할 수 있지만, 상세에 대해서는 후술한다.
디지털 퍼텐쇼미터(52)는 시스템 버스 인터페이스(57)를 통하여 수신되는 디지털 신호로 의해 저항값을 변화시킬 수 있는 집적 회로이다. 도 2에 나타내는 예에서는, 디지털 퍼텐쇼미터(52)로서 Analog Devices사(社)의 ADN2850을 사용하고 있다. 디지털 퍼텐쇼미터(52)의 저항값은 상술한 제어값에 비례한다. 제어값이 작을수록 오차 증폭기(55)의 반전 입력 단자에 인가되는 전압이 작아지기 때문에, 레이저 다이오드(LD)에 입력되는 전류(ILD)가 증가하여 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력도 증대한다. 보다 구체적으로는, 레이저 다이오드(LD)의 실제 발광 출력의 측정값 Po(X)는 제어값 X에 역비례하고, 식 (1)이 성립된다.
[식 1]
Figure 112007026458400-PAT00001
여기서, A는 정수이며, ADN2850의 경우, X는 0∼1023의 정수이다. 또한, 식(1)에서 X=0일 때, 이론상 Po(X)는 무한대로 되지만, 실제는 ADN2850 내에 수십Ω 정도의 내부 저항이 잔류하고, 또한 레이저 다이오드(LD)에 유입되는 전류(ILD)도 회로 구성상 제약되기 때문에, 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력이 무한대로 되지는 않는다.
PD 출력 전류 증폭기(51)의 출력은 포토다이오드(PD)로부터의 출력 전류(IPD)에 비례한 정전류원이기 때문에, 한쪽 단자가 접지된 디지털 퍼텐쇼미터(52)의 저항 양단에는 포토다이오드(PD)로부터의 출력 전류(IPD)에 비례한 전압, 즉 발광 출력에 비례한 전압이 발생한다.
디지털 퍼텐쇼미터(52)에 의해 생성된 전압은 오차 증폭기(55)의 반전 입력 단자에 인가된다. 한편, 오차 증폭기(55)의 비(非)반전 입력 단자에는 기준 전압 설정기(54)로 설정된 제어 전압(Vref)이 인가된다. 도 2에 나타내는 예에서는, 오차 증폭기(55) 및 기준 전압 설정기(54)를 집적한 LD 출력 제어용 집적 회로(53)로서, Analog Devices사의 ADN2830을 사용하고 있다.
LD 출력 제어용 집적 회로(53)의 출력 전류는 전류 부스터(booster)(56)에 의해 증폭되는 동시에, 플러스 전위로부터 그라운드를 향하여 유입되도록 레벨 시 프트되어 레이저 다이오드(LD)를 구동한다.
디지털 퍼텐쇼미터(52)는 저항값을 변화시키기 위한 디지털 신호를 시스템 버스 인터페이스(57)를 경유하여 수신하고, 또한 래치한 수치를 송신할 수 있다. ADN2850의 경우, SPI(Serial Periperal Interface)로 불리는 규격의 통신 프로토콜을 서포트하고 있기 때문에, 이 통신 프로토콜에 따른 데이터의 송수신을 행한다.
LD 출력 제어용 집적 회로(53)를 구성하는 ADN2830은 출력 전류의 온/오프(on/off)나, 레이저 다이오드(LD)의 열화 또는 고장을 검출하는 기능을 갖고 있다. 출력 전류의 온/오프나, 레이저 다이오드(LD)의 열화 또는 고장에 관한 정보는 디지털 신호로서 입출력 가능하며, 본 발명의 제 1 실시예에서는, 이 정보도 시스템 버스 인터페이스(57)를 경유하여 송수신한다. 이 ADN2830을 사용함으로써, 개개의 레이저 다이오드(LD)의 열화 또는 고장을 리얼타임으로 판정할 수 있다. 이 판정 결과에 기초하여, 정상적인 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력을 증가시켜 열화 또는 고장난 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력분을 보상하여 광원(1) 전체의 발광 출력을 유지하거나, 또는 동작을 즉시 정지시켜 레이저 다이오드(LD)를 교환하거나 하는 「사용자 자신의 판단」을 고려할 수 있게 된다.
여기서, 제어 보드(47)의 회로 파라미터의 조정에 대해서 설명한다. 도 3 내지 도 5는 본 발명의 제 1 실시예에서의 제어 보드의 회로 파라미터의 조정을 설명하는 도면이다.
식 (1)에서, Po(X)를 X의 연속 함수로 간주하여 X로 미분하면, 식 (2)와 같이 된다.
[식 2]
Figure 112007026458400-PAT00002
식 (2)는 제어값 X의 변화에 대한 레이저 다이오드(LD)의 실제 발광 출력의 측정값 Po의 변화율을 의미하고 있고, 그 절대값에 대해서는 제어값 X의 값이 작을수록 급격하게 커진다.
상기한 바와 같이, 제어값 X는 이산값이기 때문에, 「X의 값이 1만큼 감소한 경우의 Po(X) 증가분의 Po(X)에 대한 비율」을 「Po(X)의 분해능R(X)[%]」로 정의하면, 식 (3)과 같이 정의할 수 있다.
[식 3]
Figure 112007026458400-PAT00003
R(X)의 값이 크다는 것은 미조정(微調整)이 어려운 것을 의미한다. 식 (3)에 식 (1)을 대입하면 식 (4)가 얻어진다.
[식 4]
Figure 112007026458400-PAT00004
식 (4)는 단조감소(單調減少)함수이다. 여기서, 가장 거친 분해능(coarse-resolution)으로서 예를 들어 1%가 필요한 경우에는, 식 (4)로부터 제어값 X는 101 이상일 필요가 있다는 것을 알 수 있다. 또한, 가장 거친 분해능으로서 예를 들어 0.5%가 필요한 경우에는, 식 (4)로부터 제어값 X는 201 이상일 필요가 있다는 것을 알 수 있다. 즉, 본 발명의 제 1 실시예에서는 필요로 하는 분해능이 결정되면, 제어값 X의 하한값이 자동적으로 결정되는 것이다. 예를 들어, 표 1에서는 그 하한값이 101이며, 100 이하의 제어값을 사용할 수 없다는 것을, 대응하는 Po(X)의 값에 마이너스 값을 부여함으로써 나타내고 있다.
레이저 다이오드(LD)와 제어 보드(47)의 조합에 따라 레이저 다이오드(LD)의 실제 발광 출력의 측정값이 상이해진다는 것은 이미 설명한 대로이다. 도 3의 그래프에서는, 상이한 레이저 다이오드(LD)와 제어 보드(47)의 조합(α, β로 나타냄)에 의해, Po(X)-X특성이 상이한 것을 나타내고 있다.
이 때, 「분해능의 최악값을 보증한다」라는 제약이 가해지면, 도 4에 나타낸 바와 같이, 식 (4)로부터 결정되는 제어값 X의 하한값에서 필요한 발광 출력Po(X)의 최대값 Pomax가 얻어지는 것도 동시에 보증해야만 한다. 도 4의 β의 Po(X)-X특성은 Xmin에서 Pomax에 도달되어 있지 않고, 이대로는 제어값 Xmin 근방에서는 원하는 발광 출력을 얻을 수 없다. 한편, 도 4의 α의 Po(X)-X특성은 Xmin에서 Pomax에 도달되어 있지만, Po(X)의 제어 가능 범위가 좁다. 그래서, 도 5에 나타낸 바와 같이, β의 Po(X)-X특성에 대해서는 커브를 「밀어 올리도록」α의 Po(X)-X특성에 대해서는 커브를 「밀어 내리도록」 조정한다. 즉, 본 발명의 제 1 실시예에서는 모든 Po(X)-X특성에 대한 것이 X=Xmin에서 Po(X)=Pomax로 되도록 조정한다. 또한, 엄밀히 Po(X)=Pomax로 되도록 조정하는 것 이외에, 대략 Po(X)=Pomax로 되도록 조정할 수도 있다.
도 2에 나타낸 PD 출력 전류 증폭기(51)에서, 반고정 저항을 사용하여 전류 증폭 게인을 조정함으로써, 상기 Po(X)-X특성의 조정이 가능하다. 즉, PD 출력 전류 증폭기(51)의 전류 증폭률을 크게 하면, 부귀환량이 증가하기 때문에 Po(X)-X특성은 떨어진다. 한편, PD 출력 전류 증폭기(51)의 전류 증폭률을 작게 하면, 부귀환량이 감소하기 때문에 Po(X)-X특성은 좋아진다.
상기한 바와 같이 제어 보드(47)의 회로 파라미터의 조정, 즉 Po(X)-X특성의 조정을 행함으로써, 소정의 제어값, 즉 하한값 Xmin에 기초하여 제어 보드(47)가 구동했을 때의 레이저 다이오드(LD)의 실제 발광 출력이 광원(1)을 구성하는 모든 레이저 다이오드(LD)에 대해서 동일해지거나 또는 근접하도록 한다. 이 조정 후, 교정 데이터를 생성한다.
또한, 상술한 바와 같이 본 발명의 제 1 실시예는 열화 또는 고장난 레이저 다이오드(LD)는 대응하는 제어 보드(47)와 함께 교환하는 것이다. 이 변형예로서, 레이저 다이오드(LD)가 열화 또는 고장났다고 해도 대응하는 제어 보드(47) 자체에 고장이 없으면, 이 제어 보드(47)를 새로운 레이저 다이오드(LD)와 조합시켜, 상기와 같이 제어 보드(47)의 회로 파라미터를 조정하고, 이 조정 후, 교정 데이터를 생성하면, 상기 제어 보드(47)에 대해서는 재이용할 수 있기 때문에, 경제적이다.
상술한 본 발명의 제 1 실시예에서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 레이저 다이오드(LD)와 그 레이저 다이오드 전용의 제어 보드(47)로 이루어지는 세트마다의 교정 데이터는 도 1의 컨트롤 PC(3)에 접속된 데이터베이스 내에 미리 유지된다. 컨트롤 PC(3) 상의 제어 소프트웨어는 세트마다의 교정 데이터를 판독하고, 마더보 드(2)와 통신하여 대응하는 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력을 제어한다. 본 발명의 제 1 실시예에 의하면, 열화 또는 고장난 레이저 다이오드를 교환할 때에는, 레이저 다이오드(LD)와 그 레이저 다이오드 전용의 제어 보드(47)와 이것에 대응하는 교정 데이터를 한 세트로서 교환한다.
본 발명의 제 1 실시예에서는, 교정 데이터는 컨트롤 PC(3)에 접속된 데이터베이스 내에 보존되지만, 본 발명의 제 2 실시예에서는, 교정 데이터는 마더보드 내의 제어 보드 상에 존재하는 불휘발성 메모리에 보존된다. 도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 의한 광원 및 이 광원을 구동하기 위한 제어 보드의 블록도이다. 도 7은 도 6에 나타낸 제어 보드의 구성을 나타내는 블록도이다.
본 발명의 제 2 실시예에서는, 도 6의 제어 보드(47')는 도 7에 나타낸 바와 같이, 교정 데이터를 보존하기 위한 교정 데이터용 ROM(참조부호 58)을 더 구비한다. 교정 데이터용 ROM(58)은 시스템 버스 인터페이스(57)에 접속된다. 교정 데이터용 ROM(58)은 예를 들어 EEPROM과 같은 불휘발성 메모리이다. 교정 데이터는 모듈(20) 및 제어 보드(47')의 교정시에, 교정 데이터용 ROM(58)에 보존된다. 또한, 교정 데이터의 내용에 대해서는 표 1을 참조하여 설명한 바와 같다.
컨트롤 PC(3) 상의 제어 소프트웨어는 전원 시동시에, 시스템 버스(46)를 경유하여 각 교정 데이터용 ROM(58)에 보존되어 있는 교정 데이터를 판독한다. 그리고, 컨트롤 PC(3) 상의 제어 소프트웨어는 마더보드(2)와 통신하여 대응하는 레이저 다이오드(LD)의 발광 출력을 제어한다.
이와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 의하면, 제어 보드(47')가 그 제어 보 드(47')에 대응하는 모듈(20)을 제어하기 위해 필요한 정보를 파악하고 있기 때문에, 사용자는 교정 데이터를 설정 또는 치환하거나 하는 작업을 별도로 행할 필요가 없는 이점(利點)이 있다.
이상 설명한 제 1 및 제 2 실시예에서는, 레이저 다이오드와 포토다이오드가 서로 근접하여 배치된 모듈 구조의 형태를 갖는 것에 대해서 설명했다. 또한, 모듈화되어 있지 않은 단체의 레이저 다이오드의 경우에는, 상기 레이저 다이오드에 근접하는 위치 또는 수광 조도를 안정시키고자 하는 장소에 포토다이오드를 설치한 상태에서 본 발명을 적용하면 된다.
본 발명의 광원은 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 직접 노광에 의해 원하는 노광 패턴을 형성하는 직접 노광 장치에서, 노광면 위를 노광하기 위한 광을 발생시키는데 사용될 수도 있다. 특히, 이 직접 노광 장치는 광원으로부터의 광을 디지털 마이크로미러 디바이스에 조사하고, 이 디지털 마이크로미러 디바이스에서 반사된 광을 디지털 마이크로미러 디바이스에 대하여 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 조사함으로써, 노광면 위에 원하는 노광 패턴을 형성하는 장치인 경우에는, 본 발명에 의한 광원이 디지털 마이크로미러 디바이스의 조사면에 균일한 광을 조사하게 되도록 광원을 구성하는 각 레이저 다이오드는 제어된다.
본 발명은 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원에 적용할 수 있다. 본 발명에 의하면, 복수의 레이저 다이오드 중 어느 하나를 교환할 때에는, 레이저 다이오드와 그 레이저 다이오드 전용의 제어 보드와 이것에 대응하는 교정 데이터를 한 세트로서 교환하기 때문에, 교환 작업시의 파라미터 조정은 필요 없 어, 교환 작업을 용이하면서 단시간에 실현할 수 있다. 열화 또는 고장난 레이저 다이오드를 적확(的確)하게 교환하는 것이 용이하기 때문에, 러닝 코스트를 최소한으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 의한 광원은 직접 노광 장치의 광원으로서 적용할 수 있다. 직접 노광 장치에 의하면, 노광 대상물(노광 대상 기판)의 신축(伸縮), 휨, 어긋남 등에 대처하기 위한 보정을 노광 데이터의 생성 단계에서 미리 행할 수 있고, 또는 리얼타임으로 행할 수 있기 때문에, 제조 정밀도 향상, 제조 수율 향상, 납기 단축, 제조 비용 저감 등의 이점을 가져온다.
본 발명에 의하면, 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원에 대해서, 복수의 레이저 다이오드 중 어느 하나를 교환하는 교환 작업을 용이하면서 단시간에 실현할 수 있다. 또한, 열화 또는 고장난 레이저 다이오드를 적확하게 교환할 수 있기 때문에, 러닝 코스트(running cost)를 최소한으로 할 수 있다. 또한, 레이저 다이오드의 발광 편차를 억제하여 광조도를 균일화할 수 있다.

Claims (12)

  1. 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원 전체의 발광 출력을 제어하는 광원 제어 방법으로서,
    상기 레이저 다이오드와 그 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 레이저 다이오드 전용의 제어 보드로 이루어지는 세트마다 상기 제어 보드를 구동시키기 위한 제어값과, 그 제어값에 기초하여 상기 제어 보드가 구동했을 때의 상기 레이저 다이오드의 실제 발광 출력의 측정값의 대응 관계가 규정된 교정 데이터를 미리 생성하는 생성 스텝과,
    상기 세트마다의 상기 교정 데이터에 기초하여, 상기 광원 전체의 발광 출력을 제어하는 제어 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 광원 제어 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    소정의 상기 제어값에 기초하여, 상기 제어 보드가 구동했을 때의 상기 레이저 다이오드의 실제 발광 출력이 상기 광원을 구성하는 모든 상기 레이저 다이오드에 대해서 동일해지거나 또는 근접하도록, 각 상기 제어 보드에서의 회로 파라미터를 조정하는 조정 스텝을 더 구비하는 광원 제어 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 광원은 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 직접 노광에 의해 원 하는 노광 패턴을 형성하는 직접 노광 장치에서, 상기 노광면 위를 노광하기 위한 광을 발생시키는데 사용되는 광원 제어 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 직접 노광 장치는 상기 광원으로부터의 광을 디지털 마이크로미러 디바이스에 조사하고, 그 디지털 마이크로미러 디바이스에서 반사된 광을 그 디지털 마이크로미러 디바이스에 대하여 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 조사함으로써, 상기 노광면 위에 원하는 노광 패턴을 형성하는 장치이며,
    상기 광원이 상기 디지털 마이크로미러 디바이스의 조사면에 균일한 광을 조사하게 되도록 상기 광원을 구성하는 각 상기 레이저 다이오드가 제어되는 광원 제어 방법.
  5. 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원에서, 복수의 상기 레이저 다이오드 중 어느 하나를 교환하는 광원 교환 방법으로서,
    상기 교환해야 할 레이저 다이오드 및 그 교환해야 할 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 교환해야 할 레이저 다이오드 전용의 제어 보드를, 새로운 레이저 다이오드 및 그 새로운 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 새로운 레이저 다이오드 전용의 새로운 제어 보드로 교환하는 동시에,
    상기 제어 보드를 구동시키기 위한 제어값과, 그 제어값에 기초하여 상기 제어 보드가 구동했을 때의 상기 레이저 다이오드의 실제 발광 출력의 측정값의 대응 관계가 상기 레이저 다이오드와 그 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 레이저 다이오드 전용의 제어 보드로 이루어지는 세트마다 규정된 상기 광원 전체의 발광 출력을 제어하는데 사용되는 각 교정 데이터 중, 상기 교환해야 할 레이저 다이오드의 발광 출력 제어에 사용되었던 상기 교정 데이터를, 상기 새로운 레이저 다이오드와 그 새로운 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 새로운 레이저 다이오드 전용의 새로운 제어 보드로 이루어지는 세트를 위해 규정된 상기 교정 데이터로 교환하는 것을 특징으로 하는 광원 교환 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    소정의 상기 제어값에 기초하여, 상기 제어 보드가 구동했을 때의 상기레이저 다이오드의 실제 발광 출력이 상기 광원을 구성하는 모든 상기 레이저 다이오드에 대해서 동일해지거나 또는 근접하도록, 각 상기 제어 보드에서의 회로 파라미터를 미리 조정하여 상기 교정 데이터를 생성시키는 광원 교환 방법.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 광원은 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 직접 노광에 의해 원하는 노광 패턴을 형성하는 직접 노광 장치에서, 상기 노광면 위를 노광하기 위한 광을 발생시키는데 사용되는 광원 교환 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 직접 노광 장치는 상기 광원으로부터의 광을 디지털 마이크로미러 디바이스에 조사하고, 그 디지털 마이크로미러 디바이스에서 반사된 광을 그 디지털 마이크로미러 디바이스에 대하여 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 조사함으로써, 상기 노광면 위에 원하는 노광 패턴을 형성하는 장치이며,
    각 상기 레이저 다이오드는 상기 광원이 상기 디지털 마이크로미러 디바이스의 조사면에 균일한 광을 조사하게 되도록 제어되는 레이저 다이오드인 광원 교환 방법.
  9. 레이저 다이오드를 복수 구비하여 구성되는 광원으로서,
    상기 레이저 다이오드와 그 레이저 다이오드의 발광 출력을 제어하는 상기 레이저 다이오드 전용의 제어 보드로 이루어지는 세트마다 미리 생성된 교정 데이터이며, 상기 제어 보드를 구동시키기 위한 제어값과, 그 제어값에 기초하여 상기 제어 보드가 구동했을 때의 상기 레이저 다이오드의 실제 발광 출력의 측정값의 대응 관계가 규정된 교정 데이터에 기초하여, 상기 광원 전체의 발광 출력이 제어되는 것을 특징으로 하는 광원.
  10. 제 9 항에 있어서,
    소정의 상기 제어값에 기초하여, 상기 제어 보드가 구동했을 때의 상기 레이저 다이오드의 실제 발광 출력이 상기 광원을 구성하는 모든 상기 레이저 다이오드에 대해서 동일해지거나 또는 근접하도록, 각 상기 제어 보드에서의 회로 파라미터 가 조정되는 광원.
  11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서,
    상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 직접 노광에 의해 원하는 노광 패턴을 형성하는 직접 노광 장치에서, 상기 노광면 위를 노광하기 위한 광을 발생시키는데 사용되는 광원.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 직접 노광 장치는 상기 광원으로부터의 광을 디지털 마이크로미러 디바이스에 조사하고, 그 디지털 마이크로미러 디바이스에서 반사된 광을 그 디지털 마이크로미러 디바이스에 대하여 상대 이동하는 노광 대상물의 노광면 위에 조사함으로써, 상기 노광면 위에 원하는 노광 패턴을 형성하는 장치이며,
    상기 광원이 상기 디지털 마이크로미러 디바이스의 조사면에 균일한 광을 조사하게 되도록 상기 광원을 구성하는 각 상기 레이저 다이오드가 제어되는 광원.
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