KR20070090653A - 플라즈마 처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 로드락 챔버, 반송 챔버 및 공정 챔버로 이루어지고, 각 챔버들의 사이에 설치되어 기판의 이송 및 상기 각 챔버의 개구부를 단속하도록 설치된 게이트 밸브로 이루어진 플라즈마 처리장치에 있어서,상기 게이트 밸브는 접지가 이루어지도록 접지부재가 연결되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트 밸브는,상기 각 챔버 사이에 각 챔버의 측면과 실링부재가 개재된 상태로 접촉되어 마련되며, 그 내부에 일정한 밀폐 공간을 형성하는 밸브 하우징;상기 밸브 하우징의 내측면 중 상기 공정 챔버측 내측면과 접촉하여 개구부를 단속하는 밸브;상기 밸브와 연결되어 마련되며, 상기 밸브를 상하 방향으로 구동시키는 밸브 구동부; 로 구성되며,상기 밸브는, 상기 밸브 하우징의 내측면 중 상기 공정 챔버측 내측면과 접촉하는 실링 플레이트(sealing plate)와, 상기 반송 챔버측 내측면과 접촉하는 백 플레이트(back plate)로 구성되고,상기 접지부재는, 상기 백 플레이트의 가장 자리 영역에 폐곡선 형상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 게이트 밸브는,상기 각 챔버 사이에 각 챔버의 측면과 실링부재가 개재된 상태로 접촉되어 마련되며, 그 내부에 일정한 밀폐 공간을 형성하는 밸브 하우징;상기 밸브 하우징의 내측면 중 상기 공정 챔버측 내측면과 접촉하여 개구부를 단속하는 밸브;상기 밸브와 연결되어 마련되며, 상기 밸브를 상하 방향으로 구동시키는 밸브 구동부; 로 구성되며,상기 밸브는, 상기 밸브 하우징의 내측면 중 상기 공정 챔버측 내측면과 접촉하는 실링 플레이트(sealing plate)와, 상기 반송 챔버측 내측면과 접촉하는 백 플레이트(back plate)로 구성되고,상기 접지부재는, 상기 실링 플레이트의 가장 자리 영역에 폐곡선 형상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 접지부재는,전도성 재질의 O-링인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 접지부재는,금속(metal) 재질의 스파이럴(spiral) 링인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 접지부재는,전도성 재질의 O-링의 외주면에 금속 재질의 스파이럴링을 감싼 구조인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 밸브 하우징의 내측면 중 상기 접지부재와 접촉되는 부분에는, 아노다이징(anodising)막이 제거된 상태인 접촉면이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제2항 또는 제3항에 있어서,상기 밸브 하우징의 내측면 중 상기 접지부재와 접촉되는 부분에는, 상기 접지부재와 대응되는 형상으로 음각되어 형성되는 그루브(groove)가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제8항에 있어서,상기 접촉면에는 알루미늄보다 강도가 우수한 금속 재질로 이루어지는 브라켓가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제9항에 있어서, 상기 브라켓은,Stainless steel, Ti, W 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 밸브 하우징과 챔버 사이에는,상기 밸브 하우징과 챔버를 전기적으로 연결시키는 전기적 연결부재가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제11항에 있어서, 상기 전기적 연결부재는,금속 재질의 스파이럴링인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제11항에 있어서,상기 전기적 연결부재와 접촉되는 챔버의 벽면 또는 상기 밸브 하우징의 벽면에는 아노다이징 면이 벗겨진 접촉면이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 밸브에는,상기 밸브의 하면과 밸브 하우징의 하면을 전기적으로 연결하는 접지 보강부재가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
- 제14항에 있어서, 상기 접지 보강부재는,탄성을 가지는 알루미늄 스트랩(strap)인 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치.
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