KR20070084858A - Display apparatus comprising spatial optical modulator and spatial optical modulator compensating method - Google Patents

Display apparatus comprising spatial optical modulator and spatial optical modulator compensating method Download PDF

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KR20070084858A KR1020060017170A KR20060017170A KR20070084858A KR 20070084858 A KR20070084858 A KR 20070084858A KR 1020060017170 A KR1020060017170 A KR 1020060017170A KR 20060017170 A KR20060017170 A KR 20060017170A KR 20070084858 A KR20070084858 A KR 20070084858A
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Abstract

A display device including a light modulator and a light modulator compensation method are provided to allow a gray shown on a screen to indicate a uniform luminance all the time by measuring a change quantity of displacement according to the time of a micro-mirror and compensating a control voltage for the same input. A light modulator(720) outputs a modulation beam in which a luminance of an incident beam from a light source(710) is changed according to a provided control voltage. A scanner(730) projects the modulation beam on a certain position of a screen. A photodiode(750) measures a sampling luminance of the modulation beam outputted from the light modulator(720) to which a sampling voltage is supplied. A control circuit(770) provides the predetermined control voltage to the light modulator(720) to allow the modulation beam to have the luminance according to a reference table indicating relation between the luminance and the control voltage, recalculates the relation of the luminance for the control voltage of the light modulator(720) from the sampling voltage and the sampling luminance, and updates the reference table.

Description

광변조기를 포함하는 디스플레이 장치 및 광변조기 보상 방법{Display apparatus comprising spatial optical modulator and spatial optical modulator compensating method}Display apparatus comprising spatial modulator compensating method

도 1은 광변조기에 포함되는 마이크로 미러의 사시도.1 is a perspective view of a micro mirror included in an optical modulator.

도 2는 도 1에 도시된 마이크로 미러를 복수 개 포함하는 광변조기의 평면도.FIG. 2 is a plan view of an optical modulator including a plurality of micro mirrors shown in FIG. 1.

도 3은 도 2의 AA'선에 대한 절단면을 나타낸 도면. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 2.

도 4 및 도 5는 시간 경과에 따른 마이크로 미러의 상부 반사층과 하부 반사층 간의 변위가 최초 설정된 변위에서 증가 또는 감소하는 경우를 나타낸 도면.4 and 5 illustrate a case in which the displacement between the upper reflective layer and the lower reflective layer of the micromirror increases or decreases from the initially set displacement over time.

도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 근사화된 곡선을 찾기 위한 방법을 나타낸 도면.6 illustrates a method for finding approximated curves in accordance with one preferred embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 광변조기 보상을 하는 디스플레이 장치의 개략적인 구성도.7 is a schematic configuration diagram of a display device for compensating an optical modulator according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 광변조기의 변위 변화를 보상하는 방법의 흐름도.8 is a flowchart of a method for compensating for a change in displacement of an optical modulator according to an exemplary embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

710 : 광원710: light source

720 : 광변조기720: optical modulator

730 : 스캐너730: Scanner

740 : 광 방향 변환기740: Light Directional Converter

750 : 포토 다이오드750: photodiode

760 : 아날로그/디지털 변환기760: analog to digital converters

770 : 제어회로770: control circuit

780 : 스크린780: screen

본 발명은 광변조기에 관한 것으로, 보다 상세하게는 일정한 입력에 대하여 시간에 따라 변위의 양이 변화하는 현상을 보상한 광변조기를 포함한 디스플레이 장치 및 보상 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an optical modulator, and more particularly, to a display apparatus and a compensation method including an optical modulator for compensating for a phenomenon in which the amount of displacement changes with time with respect to a constant input.

최근에는 디스플레이 기술이 발달함에 따라 대형화상의 구현에 대한 요구가 날로 증가하고 있다. 현재 대부분의 대형화상 표시장치(주로 프로젝터)는 액정을 광스위치로 사용하고 있다. 과거의 CRT 프로젝터에 비해서는 소형이고 가격도 저렴하며 광학계도 간단하여 많이 사용되고 있다. 그러나, 광원으로부터의 빛이 액정판을 투과하여 스크린에 비춰지므로 광손실이 많다는 것이 단점으로 지적된다. 따라 서, 반사를 이용하는 광변조기 소자 등의 마이크로머신을 활용하여 광손실을 줄여서 더 밝은 화상을 얻을 수 있다. Recently, with the development of display technology, the demand for the implementation of large images is increasing day by day. Currently, most large image display devices (mainly projectors) use liquid crystals as optical switches. Compared with the CRT projectors of the past, it is small and inexpensive, and the optical system is simple and used. However, it is pointed out that a large amount of light loss occurs because light from the light source is transmitted through the liquid crystal plate to the screen. Therefore, a lighter image can be obtained by reducing light loss by utilizing a micromachine such as an optical modulator element using reflection.

마이크로머신(Micromachine)은 육안으로 식별이 어려운 극히 소형의 기계를 의미한다. 멤스(MEMS : Micro Electro Mechanical System)라고도 하며, 초소형 전기 기계 시스템 또는 소자라고 부를 수 있다. 주로 반도체 제조기술을 응용하여 만든다. 미소광학 및 극한소자를 이용하여 자기(磁氣) 및 광 헤드와 같은 각종 정보기기 부품에 응용하며, 여러 종류의 마이크로 유체제어기술을 이용하여 생명의학 분야와 반도체 제조공정 등에도 응용한다. 마이크로머신은 그 역할에 따라서 감지 소자의 기능을 하는 마이크로 센서, 구동장치인 마이크로 액추에이터 및 기타 에너지의 전달 역할을 하는 미니어처 기계 등으로 나눌 수 있다.Micromachines are extremely small machines that are difficult to discern with the naked eye. Also known as MEMS (Micro Electro Mechanical System), it can be called microelectromechanical system or device. It is mainly made by applying semiconductor manufacturing technology. It is applied to various information equipment parts such as magnetic and optical heads using micro-optics and limiting devices, and it is also applied to biomedical field and semiconductor manufacturing process using various micro fluid control technologies. Micromachines can be divided into micro-sensors that function as sensing elements, micro-actuators as driving devices, and miniature machines that serve as energy transfer devices.

멤스(MEMS)는 다양한 응용 분야의 하나로서 광학 분야에 응용되고 있다. 멤스(MEMS) 기술을 이용하면 1mm보다 작은 광학부품을 제작할 수 있으며, 이들로서 초소형 광시스템을 구현할 수 있다. MEMS is applied to the optical field as one of various application fields. MEMS technology enables the fabrication of optical components smaller than 1mm, enabling ultra-compact optical systems.

초소형 광시스템에 해당하는 광변조기 소자, 마이크로 렌즈 등의 마이크로 광학 부품은 빠른 응답속도와 작은 손실, 집적화 및 디지털화의 용이성 등의 장점으로 인하여 통신장치, 디스플레이 및 기록장치에 채택되어 응용되고 있다.Micro-optical components such as optical modulator elements and micro lenses, which are miniature optical systems, have been adopted and applied to communication devices, displays, and recording devices due to advantages such as fast response speed, small loss, and ease of integration and digitization.

디스플레이의 일종인 스캐닝 디스플레이 장치에 사용되는 광변조기(SOM; Spatial Optical Modulator)는 구동 집적회로와 복수개의 마이크로 미러로 구성된다. 하나 이상의 마이크로 미러가 모여 투사 영상의 한 픽셀을 표현하게 된다. The Spatial Optical Modulator (SOM) used in a scanning display device, which is a kind of display, is composed of a driving integrated circuit and a plurality of micro mirrors. One or more micromirrors come together to represent one pixel of the projected image.

이때 한 픽셀의 광강도를 표현하기 위해서 마이크로 미러는 구동집적회로로 부터 인가되는 구동전압에 비례하여 그 변위가 바뀜으로써 변조광의 광량을 변화시킨다. 여기서, 구동 집적회로는 입력신호에 대하여 특정의 관계를 가지는 구동전압을 생성한다. 그리고 변조광의 휘도는 구동전압 대비 특정한 비선형적 관계를 가지게 된다.At this time, in order to express the light intensity of one pixel, the micromirror changes the amount of light of modulated light by changing its displacement in proportion to the driving voltage applied from the driving integrated circuit. Here, the driving integrated circuit generates a driving voltage having a specific relationship with respect to the input signal. In addition, the luminance of the modulated light has a specific nonlinear relationship with the driving voltage.

마이크로 미러는 일정한 구동전압에 대해서 최초 제작시의 변위의 변화량과, 시간이 지남에 따른 변위의 변화량이 일정하지 않게 된다. 이로 인해 사용자가 원하는 휘도의 변조광을 생성하고자 하는데 있어서 오차가 발생하게 되는 문제점이 있다. In the micromirror, the amount of change in displacement during initial manufacture and the amount of change in displacement with time are not constant with respect to a constant driving voltage. As a result, there is a problem that an error occurs when a user intends to generate modulated light having a desired brightness.

광변조기는 일정한 입력에 대하여 시간에 따라 변위의 양이 변화하는 현상에 대하여 보상을 해줄 수 없기 때문에 화면상에서 휘도가 이상적인 특성에서 벗어나 최저 계조값 또는 최고 계조값에서 휘도가 역전되는 현상이 발생할 수 있으며, 화질에 치명적인 악영향을 주게 된다. Since the optical modulator cannot compensate for the phenomenon that the amount of displacement changes with time for a certain input, the brightness may be reversed from the minimum or highest gray level value from the ideal brightness on the screen. This will seriously affect the image quality.

따라서, 본 발명은 마이크로 미러의 시간에 따른 변위의 변화량을 측정하여 동일한 입력에 대하여 제어전압을 보상함으로써 화면 상에서 보이는 계조가 항상 일정한 휘도를 나타내는 디스플레이 장치 및 광변조기 보상 방법을 제공한다.Accordingly, the present invention provides a display device and an optical modulator compensation method of measuring a change amount of displacement of a micromirror over time and compensating a control voltage with respect to the same input so that the gray level displayed on the screen always shows a constant luminance.

본 발명의 이외의 목적들은 하기의 설명을 통해 쉽게 이해될 수 있을 것이다. Other objects of the present invention will be readily understood through the following description.

상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 측면에 따르면, 광원; 인가되는 제어전압에 따라 상기 광원으로부터의 입사광의 휘도를 변화시킨 변조광을 출력하는 광변조기(SOM); 상기 변조광을 스크린 상의 소정 위치에 투사하는 스캐너; 샘플링 전압을 인가받은 상기 광변조기로부터 출력되는 변조광의 샘플링 휘도를 측정하는 포토 다이오드(PD); 및 상기 휘도와 상기 제어전압 간의 관계를 나타내는 참조표에 따라 상기 변조광이 상기 휘도를 가지도록 기설정된 상기 제어전압이 상기 광변조기에 인가되도록 하며, 상기 샘플링 전압 및 상기 샘플링 휘도로부터 상기 광변조기의 상기 제어전압에 대한 상기 휘도의 관계를 재산출하여 상기 참조표를 갱신하는 제어 회로를 포함하는 디스플레이 장치가 제공될 수 있다. In order to achieve the above object, according to an aspect of the present invention, a light source; An optical modulator (SOM) for outputting modulated light whose luminance of incident light from the light source is changed according to an applied control voltage; A scanner for projecting the modulated light to a predetermined position on a screen; A photo diode (PD) for measuring a sampling brightness of modulated light output from the optical modulator receiving a sampling voltage; And according to a reference table indicating a relationship between the brightness and the control voltage, the control voltage preset to have the brightness of the modulated light is applied to the optical modulator, and from the sampling voltage and the sampling brightness, A display device may be provided that includes a control circuit for recalculating the relationship of the luminance with respect to the control voltage to update the reference table.

바람직하게는, 상기 스캐너로 향하는 상기 변조광의 일부의 방향을 변화시키는 광 방향 변환기를 더 포함하되, 상기 포토 다이오드는 상기 광 방향 변환기에 의해 방향이 변화된 상기 변조광의 일부가 입사될 수 있다. Preferably, the apparatus further comprises a light direction converter for changing a direction of the portion of the modulated light directed to the scanner, wherein the photodiode may receive a portion of the modulated light whose direction is changed by the light direction converter.

또한, 상기 광변조기는 임의의 프레임 영상이 출력되기 전의 블랭크 타임(blank time)에 상기 샘플링 전압을 인가받거나 출력된 후의 블랭크 타임에 상기 샘플링 전압을 인가받을 수 있다. The optical modulator may receive the sampling voltage at a blank time before an arbitrary frame image is output or the sampling voltage at the blank time after the output.

여기서, 상기 광변조기는 각각 하나의 픽셀을 담당하는 복수의 마이크로 미러로 구성되며, 하나의 프레임 영상에 대하여 상기 복수의 마이크로 미러 중 하나의 마이크로 미러가 상기 샘플링 전압을 인가받을 수 있다. 그리고 상기 광변조기는 상기 블랭크 타임 동안 하나의 픽셀에 대해 3개 이상의 샘플링 전압을 인가받는 것이 바람직하다. The optical modulator may include a plurality of micro mirrors, each of which is responsible for one pixel, and one micro mirror of the plurality of micro mirrors may receive the sampling voltage with respect to one frame image. In addition, the optical modulator may receive three or more sampling voltages for one pixel during the blank time.

상기 목적들을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 측면에 따르면, 휘도와 제어전압 간의 관계를 나타내는 참조표에 따라 상기 변조광이 상기 휘도를 가지도록 설정된 상기 제어전압에 따라 광원으로부터의 입사광의 휘도를 변화시킨 변조광을 출력하는 광변조기의 시간에 따른 물리적 변형을 보상하는 방법에 있어서, (a) 샘플링 전압이 광변조기에 인가되도록 하는 단계; (b) 상기 샘플링 전압에 따라 상기 광변조기로부터 출력되는 변조광의 샘플링 휘도를 측정하는 단계; 및 (c) 상기 샘플링 전압 및 상기 샘플링 휘도로부터 상기 광변조기의 상기 제어전압에 대한 상기 휘도의 관계를 산출하여 상기 참조표를 갱신하는 단계를 포함하는 광변조기 보상 방법이 제공될 수 있다.In order to achieve the above objects, according to another aspect of the present invention, the luminance of incident light from a light source is changed in accordance with the control voltage set such that the modulated light has the luminance according to a reference table indicating a relationship between the luminance and the control voltage. A method of compensating physical deformation over time of an optical modulator for outputting the modulated light, the method comprising: (a) allowing a sampling voltage to be applied to the optical modulator; (b) measuring sampling luminance of modulated light output from the optical modulator according to the sampling voltage; And (c) calculating the relation of the luminance with respect to the control voltage of the optical modulator from the sampling voltage and the sampling luminance to update the reference table.

바람직하게는, 상기 단계 (c)는 서로 다른 샘플링 전압에 대하여 상기 단계 (a) 내지 (b)를 3번 이상 반복하는 단계를 포함할 수 있다.Preferably, step (c) may include repeating steps (a) to (b) three or more times for different sampling voltages.

또한, 상기 단계 (a)는 임의의 프레임 영상이 출력되기 전의 블랭크 타임에 상기 샘플링 전압을 인가하거나 임의의 프레임 영상이 출력된 후의 블랭크 타임에 상기 샘플링 전압을 인가할 수 있다. In addition, the step (a) may apply the sampling voltage at the blank time before the arbitrary frame image is output or apply the sampling voltage at the blank time after the arbitrary frame image is output.

여기서, 상기 단계 (a)는 하나의 프레임 영상에 대하여 하나의 픽셀에 대한 상기 샘플링 전압을 인가할 수 있다. Here, in step (a), the sampling voltage for one pixel may be applied to one frame image.

그리고 (d) 연속적인 프레임 영상마다 상기 샘플링 전압을 인가하는 픽셀의 위치를 변화시키며 상기 단계 (a) 내지 (c)를 반복하는 단계를 더 포함할 수 있다. And (d) changing the positions of the pixels to which the sampling voltage is applied for each successive frame image, and repeating steps (a) to (c).

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 디스플레이 장치 및 광변조기 보상 방법의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다. 본 명세서의 설명 과정에서 이용되는 숫자(예를 들어, 제1, 제2 등)는 동일 또는 유사한 개체를 순차적으로 구분하기 위한 식별기호에 불과하다.Hereinafter, exemplary embodiments of a display apparatus and an optical modulator compensation method according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In describing the present invention, when it is determined that the detailed description of the related known technology may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. Numbers (eg, first, second, etc.) used in the description of the present specification are merely identification symbols for sequentially distinguishing identical or similar entities.

도 1은 광변조기에 포함되는 마이크로 미러의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 마이크로 미러를 복수 개 포함하는 광변조기의 평면도이다. 1 is a perspective view of a micromirror included in an optical modulator, and FIG. 2 is a plan view of an optical modulator including a plurality of micromirrors shown in FIG. 1.

도 1을 참조하면, 마이크로 미러(10)는 기판(1), 절연층(2), 희생층(3), 리본 구조물(4) 및 압전체(5)를 포함하여 구성된다. 빛의 파장은 λ인 것으로 가정한다. 여기서, 희생층(3)의 일부가 식각되지 않고 리본 구조물(4)을 지지하는데 사용된다.Referring to FIG. 1, the micromirror 10 includes a substrate 1, an insulating layer 2, a sacrificial layer 3, a ribbon structure 4, and a piezoelectric body 5. Assume that the wavelength of light is λ. Here, part of the sacrificial layer 3 is used to support the ribbon structure 4 without being etched.

우선 마이크로 미러(10)의 압전체(5)에 소정의 제1 전압을 인가하여 상부 반사층(4a)이 형성된 리본 구조물(4)과 홀(4b) 하부에 하부 반사층(2a)이 형성된 절연층(2) 간의 간격이 λ/2가 되도록 한다. 상부 반사층(4a)으로부터 반사된 광과 홀(4b)를 관통하여 하부 반사층(2a)으로부터 반사된 광 사이의 전체 경로차는 λ와 같아서 0차 회절광(즉, 반사광)은 보강 간섭을 하고, ±1차 회절광은 상쇄 간섭을 한다. First, a predetermined first voltage is applied to the piezoelectric body 5 of the micromirror 10 to form a ribbon structure 4 having an upper reflective layer 4a and an insulating layer 2 having a lower reflective layer 2a formed below the hole 4b. So that the spacing between The total path difference between the light reflected from the upper reflecting layer 4a and the light penetrating through the hole 4b and reflected from the lower reflecting layer 2a is equal to λ so that the 0th order diffracted light (ie, reflected light) has constructive interference, and ± The first order diffracted light has destructive interference.

또한, 압전체(5)에 소정의 제2 전압을 인가하여 리본 구조물(4)이 압전체(5)에서 발생한 압력에 의해 절연층(2) 쪽으로 이동하거나 또는 그 반대 방향으로 이동하게 된다. 이때 리본 구조물(4)과 하부 반사층(2a)이 형성된 절연층(2) 간의 간격이 λ/4 또는 3λ/4가 되도록 한다. 따라서 상부 반사층(4a)으로부터 반사된 광과 하부 반사층(2a)으로부터 반사된 광 사이의 전체 경로차는 λ/2와 같아서 0차 회절광은 상쇄 간섭을 하고 ±1차 회절광은 보강 간섭을 한다. In addition, a predetermined second voltage is applied to the piezoelectric body 5 so that the ribbon structure 4 moves toward the insulating layer 2 or vice versa by the pressure generated in the piezoelectric body 5. At this time, the interval between the ribbon structure 4 and the insulating layer 2 on which the lower reflective layer 2a is formed is λ / 4 or 3λ / 4. Therefore, the total path difference between the light reflected from the upper reflecting layer 4a and the light reflected from the lower reflecting layer 2a is equal to λ / 2, so that the zeroth order diffracted light has a destructive interference and the ± first order diffracted light has a constructive interference.

즉, 0차 회절광을 이용하는 경우에는 회절광의 경로차가 λ/2의 짝수배인 경우에 보강 간섭으로 인해 최대 휘도를 가지고, λ/2의 홀수배인 경우에 상쇄 간섭으로 인해 최소 휘도를 가진다. That is, in the case of using the 0th order diffracted light, the path difference of the diffracted light has a maximum luminance due to constructive interference when the path difference of the diffracted light is an even multiple of λ / 2, and a minimum luminance due to destructive interference when an odd multiple of λ / 2.

그리고 ±1차 회절광을 이용하는 경우에는 회절광의 경로차가 λ/2의 짝수배인 경우에 상쇄 간섭으로 인해 최소 휘도를 가지고, λ/2의 홀수배인 경우에 보강 간섭으로 인해 최대 휘도를 가진다.In the case of using ± 1st diffracted light, the diffraction light has a minimum luminance when the path difference is an even multiple of lambda / 2, and a maximum luminance due to constructive interference when an odd multiple of lambda / 2 is used.

필요에 따라 마이크로 미러(10)는 0차 회절광 또는 ±1차 회절광을 이용하고, 그에 따른 간섭의 원리는 전술한 바와 같다. 이러한 간섭의 결과를 이용하여, 마이크로 미러(10)는 인가된 제어전압에 따라 리본 구조물(4)과 절연층(2) 간의 간격을 조절하여 입사광의 광량을 조절하여 신호를 빛에 싣고 변조광으로 출력할 수 있다. If necessary, the micromirror 10 uses zero-order diffraction light or ± first-order diffraction light, and the principle of interference is as described above. Using the result of such interference, the micromirror 10 adjusts the distance between the ribbon structure 4 and the insulating layer 2 in accordance with the applied control voltage to adjust the amount of incident light so that the signal is loaded on the light and modulated light. You can print

마이크로 미러(10)는 수직 주사선 또는 수평 주사선을 구성하는 복수 개의 픽셀 중에서 어느 하나의 픽셀을 담당하여 휘도를 조절한다. The micro mirror 10 is in charge of any one of a plurality of pixels constituting the vertical scan line or the horizontal scan line to adjust the brightness.

도 2를 참조하면, 광변조기는 각각 제1 픽셀(pixel #1), 제2 픽셀(pixel #2), …, 제n 픽셀(pixel #n)을 담당하는 n개의 마이크로 미러(10-1, 10-2, …, 10-n)로 구성된다. 광변조기는 수직 주사선 또는 수평 주사선(여기서, 수직 주사선 또는 수평 주사선은 n개의 픽셀로 구성되는 것으로 가정함)의 1차원 영상에 대한 영상 정보를 담당하며, 각 마이크로 미러(10-1, 10-2, …, 10-n)는 수직 주사선 또는 수평 주사선을 구성하는 n개의 픽셀 중 어느 하나의 픽셀들을 담당한다. Referring to FIG. 2, the optical modulator has a first pixel (pixel # 1), a second pixel (pixel # 2),. And n micromirrors 10-1, 10-2, ..., 10-n that are responsible for the nth pixel (pixel #n). The optical modulator is responsible for the image information of the one-dimensional image of the vertical scanning line or the horizontal scanning line (assuming that the vertical scanning line or the horizontal scanning line is composed of n pixels), and each micromirror 10-1, 10-2. , ..., 10-n) are in charge of any one of the n pixels constituting the vertical scan line or the horizontal scan line.

이하 제1 픽셀(pixel #1)을 중심으로 광변조의 원리에 대하여 설명하지만, 다른 픽셀들에 대해서도 동일한 내용이 적용가능함은 물론이다. Hereinafter, the principle of light modulation will be described based on the first pixel (pixel # 1), but the same may be applied to other pixels.

본 실시예에서 리본 구조물(4)에 형성된 홀(4b-1)은 2개인 것으로 가정한다. 2개의 홀(4b-1)로 인하여 리본 구조물(4) 상부에는 3개의 상부 반사층(4a-1)이 형성된다. 절연층(2)에는 2개의 홀(4b-1)에 상응하여 2개의 하부 반사층이 형성된다. 그리고 제1 픽셀(pixel #1)과 제2 픽셀(pixel #2) 사이의 간격에 의한 부분에 상응하여 절연층(2)에는 또 하나의 하부 반사층이 형성된다. 따라서, 각 픽셀당 상부 반사층(4a-1)과 하부 반사층의 개수는 동일하게 되며, 도 1을 참조하여 전술한 바와 같이 0차 회절광 또는 ±1차 회절광을 이용하여 변조광의 휘도를 조절하는 것이 가능하다. In this embodiment, it is assumed that there are two holes 4b-1 formed in the ribbon structure 4. Due to the two holes 4b-1, three upper reflective layers 4a-1 are formed on the ribbon structure 4. Two lower reflective layers are formed in the insulating layer 2 corresponding to the two holes 4b-1. In addition, another lower reflective layer is formed on the insulating layer 2 corresponding to a portion of the gap between the first pixel (pixel # 1) and the second pixel (pixel # 2). Accordingly, the number of upper reflective layers 4a-1 and lower reflective layers per pixel is the same, and as described above with reference to FIG. 1, the luminance of modulated light is adjusted using zero-order diffraction light or ± first-order diffraction light. It is possible.

도 3은 도 2의 AA'선에 대한 절단면을 나타낸 도면이다. 0차 회절광을 변조광으로 이용하는 것으로 가정한다. 3 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 2. Assume that the 0th order diffracted light is used as the modulated light.

도 3을 참조하면, 제1 픽셀(pixel #1)에 상응하는 마이크로 미러의 리본 구조물(4) 상에 형성된 상부 반사층(4a-1)과 절연층(2) 상에 형성된 하부 반사층(2a- 1) 사이의 간격이 제1 간격(

Figure 112006012932232-PAT00001
, λ는 입사광의 파장, n은 정수)이 되도록 하면 상쇄 간섭으로 인해 변조광은 최소 휘도(Black)를 나타낸다. Referring to FIG. 3, the upper reflective layer 4a-1 formed on the ribbon structure 4 of the micromirror corresponding to the first pixel pixel # 1 and the lower reflective layer 2a-1 formed on the insulating layer 2 are formed. ) Is the first interval (
Figure 112006012932232-PAT00001
,? is the wavelength of the incident light, n is an integer) and the modulated light shows the minimum luminance (Black) due to the destructive interference.

그리고 리본 구조물(4) 상에 형성된 상부 반사층(4a-1)과 절연층(2) 상에 형성된 하부 반사층(2a-1) 사이의 간격이 제2 간격 (

Figure 112006012932232-PAT00002
)이 되도록 하면 보강 간섭으로 인해 변조광은 최대 휘도(White)를 나타낸다. The interval between the upper reflective layer 4a-1 formed on the ribbon structure 4 and the lower reflective layer 2a-1 formed on the insulating layer 2 is equal to the second interval (
Figure 112006012932232-PAT00002
), The modulated light exhibits maximum luminance due to constructive interference.

이를 위해서 실선으로 표시된 리본 구조물(4) 상의 상부 반사층(4a-1)은 ℓ1 또는 L1 만큼 변위의 변화가 있어야 한다. To this end, the upper reflective layer 4a-1 on the ribbon structure 4 indicated by a solid line should have a change in displacement by l 1 or L 1 .

하지만, 리본 구조물(4)은 시간이 지남에 따라 잦은 상하 운동으로 인해 압전체(5)에 전압이 인가되지 않는 경우에도 실선으로 표시된 초기 위치가 아닌 점선으로 표시된 위치에 있게 되는 경우가 발생한다. 이 경우에는 최소 휘도(Black) 또는 최대 휘도(White)를 표시하기 위해 리본 구조물(4) 상의 상부 반사층(4a-1)은 ℓ1 '또는 L1'만큼의 변위의 변화가 있어야 한다. However, the ribbon structure 4 may be in a position indicated by a dotted line rather than an initial position indicated by a solid line even when voltage is not applied to the piezoelectric body 5 due to frequent vertical movements over time. In this case, the upper reflective layer 4a-1 on the ribbon structure 4 should have a change in displacement by l 1 'or L 1 ' in order to display the minimum luminance black or the maximum luminance white.

또한, 제1 픽셀(pixel #1) 이외에 제2 픽셀(pixel #2)의 경우에는 실선으로 표시된 초기 위치가 제1 픽셀(pixel #1)의 초기 위치와 차이가 나는 경우도 있다. 이 경우에 제2 픽셀(pixel #2)의 상부 반사층(4a-2)과 하부 반사층(2a-2) 사이의 간격이 제1 간격(

Figure 112006012932232-PAT00003
) 또는 제2 간격(
Figure 112006012932232-PAT00004
)이 되도록 하기 위해서 실선으로 표시된 리본 구조물(4) 상의 상부 반사층(4a-2)은 ℓ2 또는 L2 만큼 변위의 변화가 있 어야 한다.In addition, in the case of the second pixel (pixel # 2) other than the first pixel (pixel # 1), the initial position indicated by the solid line may be different from the initial position of the first pixel (pixel # 1). In this case, the interval between the upper reflective layer 4a-2 and the lower reflective layer 2a-2 of the second pixel pixel # 2 is the first interval (
Figure 112006012932232-PAT00003
) Or second interval (
Figure 112006012932232-PAT00004
The top reflective layer 4a-2 on the ribbon structure 4, represented by the solid line, must have a change of displacement by 1 or 2 by.

하지만, 제2 픽셀(pixel #2)의 경우에도 시간이 지남에 따라 잦은 상하 운동으로 인해 압전체(5)에 전압이 인가되지 않는 경우에도 리본 구조물(4)이 실선으로 표시된 초기 위치가 아닌 점선으로 표시된 위치에 있게 되는 경우가 발생한다. 이 경우에는 최소 휘도(Black) 또는 최대 휘도(White)를 표시하기 위해 리본 구조물(4) 상의 상부 반사층(4a-2)은 ℓ2 '또는 L2'만큼의 변위의 변화가 있어야 한다.However, even in the case of the second pixel (pixel # 2), even when no voltage is applied to the piezoelectric body 5 due to frequent vertical movements over time, the ribbon structure 4 is not in the initial position indicated by the solid line. It happens that you are in the marked position. In this case, the upper reflective layer 4a-2 on the ribbon structure 4 must have a change in displacement by L 2 'or L 2 ' in order to indicate the minimum luminance Black or the maximum luminance White.

즉, 각 픽셀마다 최소 휘도(Black) 또는 최대 휘도(White)를 표시하기 위한 변위의 변화량은 차이가 있으며, 이후 변위의 변화량을 보상함에 있어서도 서로 차이가 있음을 알 수 있다. 따라서, 본 발명에서는 각 픽셀마다 필요로 하는 보상값을 측정하여 각 픽셀에 대하여 별도로 보상하는 것이 바람직하다. That is, it can be seen that the amount of change in displacement for displaying the minimum luminance Black or the maximum luminance white differs for each pixel, and thereafter, there is a difference in compensating the amount of displacement. Therefore, in the present invention, it is preferable to separately compensate for each pixel by measuring a compensation value required for each pixel.

도 4 및 도 5는 시간 경과에 따른 마이크로 미러의 상부 반사층(4a)과 하부 반사층(2a) 간의 변위가 최초 설정된 변위에서 증가 또는 감소하는 경우를 나타낸 도면이다. 4 and 5 illustrate a case where the displacement between the upper reflective layer 4a and the lower reflective layer 2a of the micromirror increases or decreases from the initially set displacement over time.

도 4를 참조하면, 마이크로 미러의 제작 당시 설정된 제어전압(Voltage Applied) 대 변위(Displacement)의 곡선(400), 변위 대 휘도(Intensity)의 곡선(410)은 제어전압이 Vmin인 경우에 변위가 Dmin(406), 휘도가 Imin(402)이며, 제어전압이 Vmax인 경우에 변위가 Dmax(405), 휘도가 Imax(401)이 되도록 한다. Referring to FIG. 4, the curve 400 of the voltage applied versus displacement 400 and the curve 410 of the displacement versus intensity set at the time of fabrication of the micromirror have a displacement when the control voltage is Vmin. Dmin 406, the luminance is Imin 402, and when the control voltage is Vmax, the displacement is Dmax 405 and the luminance is Imax 401.

즉, 제어전압을 Vmin ~ Vmax로 조절하여 변위를 Dmin(406) ~ Dmax(405)로 변화시키고, 변조광의 휘도가 최소 휘도인 Imin(402) ~ 최대 휘도인 Imax(401)를 가 지도록 한다. That is, the control voltage is adjusted from Vmin to Vmax to change the displacement from Dmin 406 to Dmax 405 so that the luminance of the modulated light has Imin 402 which is the minimum luminance and Imax 401 which is the maximum luminance.

하지만, 시간에 따라 도 3에 도시된 바와 같이 상부 반사층(4a)의 위치가 초기 위치와 달라진 경우에 제어전압을 동일하게 Vmin ~ Vmax로 인가하더라도 변위 및 휘도가 의도하는 값이 출력되지 않게 된다. However, as shown in FIG. 3, when the position of the upper reflective layer 4a is different from the initial position as shown in FIG. 3, even if the control voltage is equally applied to Vmin to Vmax, a value intended for displacement and luminance is not output.

예를 들어, 도 3의 제1 픽셀(pixel #1)에 도시된 바와 같이 시간에 따라 상부 반사층(4a)의 위치가 하부 반사층(2a)에 가까워진 경우에 제어전압을 Vmin ~ Vmax를 인가하여도 목표로 하는 변위에 도달하지 못하고 제1 변위(436) ~ 제2 변위(435)에 이를 뿐이다. 이로 인해 제1 변위(436)의 경우에는 제1 휘도(432)를 가지는 변조광을, 제2 변위(435)의 경우에는 제2 휘도(431)를 가지는 변조광을 출력하게 된다. 즉, 최소 휘도를 가지는 변조광 및/또는 최대 휘도를 가지는 변조광을 출력하고자 하였으나, 최소 휘도(402) 및/또는 최대 휘도(401)가 아닌 제1 휘도(432) 및/또는 제2 휘도(431)를 가지는 변조광을 출력하게 된다. For example, as shown in the first pixel # 1 of FIG. 3, when the position of the upper reflective layer 4a approaches the lower reflective layer 2a as time passes, the control voltages Vmin to Vmax are applied. The target displacement is not reached and only the first displacement 436 to the second displacement 435 are reached. Therefore, in the case of the first displacement 436, modulated light having the first luminance 432 is output, and in the case of the second displacement 435, the modulated light having the second luminance 431 is output. That is, although the modulated light having the minimum luminance and / or the modulated light having the maximum luminance is output, the first luminance 432 and / or the second luminance (not the minimum luminance 402 and / or the maximum luminance 401) is output. And outputs modulated light having 431.

다른 예를 들면, 도 3의 제2 픽셀(pixel #2)에 도시된 바와 같이 시간에 따라 상부 반사층(4a)의 위치가 하부 반사층(2a)으로부터 멀어진 경우에 제어전압을 Vmin ~ Vmax를 인가하여도 목표로 하는 변위에 도달하지 못하고 제3 변위(426) ~ 제4 변위(425)에 이를 뿐이다. 이로 인해 제3 변위(426)의 경우에는 제3 휘도(422)를 가지는 변조광을, 제4 변위(425)의 경우에는 제4 휘도(421)를 가지는 변조광을 출력하게 된다. 즉, 최소 휘도를 가지는 변조광 및/또는 최대 휘도를 가지는 변조광을 출력하고자 하였으나, 최소 휘도(402) 및/또는 최대 휘도(401)가 아닌 제3 휘도(422) 및/또는 제4 휘도(421)를 가지는 변조광을 출력하게 된다.As another example, as shown in the second pixel (pixel # 2) of FIG. 3, when the position of the upper reflective layer 4a moves away from the lower reflective layer 2a with time, a control voltage of Vmin to Vmax is applied. Also, the target displacement is not reached and only reaches the third displacement 426 to the fourth displacement 425. As a result, the modulated light having the third luminance 422 is output in the case of the third displacement 426 and the modulated light having the fourth luminance 421 in the case of the fourth displacement 425. That is, although the modulated light having the minimum luminance and / or the modulated light having the maximum luminance is output, the third luminance 422 and / or the fourth luminance (not the minimum luminance 402 and / or the maximum luminance 401) are output. And modulated light having 421.

따라서, 시간에 따른 변위 대 휘도의 곡선(410)은 변화가 없고, 제어전압 대 변위의 곡선(400)이 변위 증가 곡선(420) 또는 변위 감소 곡선(430)으로 변화하기 때문에 변위의 변화량을 보상하면 된다. Thus, the curve of displacement vs. luminance 410 with time does not change, and the variation of displacement is compensated because the curve of control voltage vs. displacement 400 changes to the displacement increasing curve 420 or the displacement decreasing curve 430. Just do it.

최소 휘도(Imin; 402)를 중심으로 하는 경우, 변위가 증가한 제3 변위(426)에 해당할 때의 휘도인 제3 휘도(422)와, 변위가 감소한 제1 변위(436)에 해당할 때의 휘도인 제1 휘도(432)가 모두 최소 휘도(Imin; 402)보다 크게 되어 변위가 증가하였는지 감소하였는지를 판단하기가 어렵다. When centering on the minimum luminance Imin 402, when it corresponds to the third luminance 422 which is the luminance when the displacement corresponds to the third displacement 426 and the first displacement 436 where the displacement is reduced. It is difficult to determine whether the first luminance 432, which is the luminance of R, is larger than the minimum luminance Imin 402 so that the displacement increases or decreases.

또한, 최대 휘도(Imax; 401)를 중심으로 하는 경우에도, 변위가 증가한 제4 변위(425)에 해당할 때의 휘도인 제4 휘도(421)와, 변위가 감소한 제2 변위(435)에 해당할 때의 휘도인 제2 휘도(431)가 모두 최대 휘도(Imax; 401)보다 작게 되어 변위가 증가하였는지 감소하였는지를 판단하기가 어렵다.Further, even when the maximum luminance Imax 401 is centered, the fourth luminance 421 which is the luminance when the displacement corresponds to the fourth displacement 425 is increased, and the second displacement 435 where the displacement is reduced. It is difficult to determine whether the displacement increases or decreases since the second luminance 431, which is the luminance at that time, becomes smaller than the maximum luminance Imax 401.

따라서, 도 5에 도시된 바와 같이 최소 휘도(Imin)와 최대 휘도(Imax)의 중간값 정도 되는 중간 휘도(Imid; 403)에 상응하는 중간 변위(Dmid; 407)와 중간 제어전압(Vmid)를 정한다. Accordingly, as shown in FIG. 5, the intermediate displacement Dmid 407 and the intermediate control voltage Vmid corresponding to the intermediate luminance Imid 403, which are about the middle of the minimum luminance Imin and the maximum luminance Imax, are obtained. Decide

그리고 중간 제어전압(Vmid)을 인가한 경우에 변위 증가 곡선(420)에 따르면 제5 변위(427)를 가지게 되고 이에 상응하는 제5 휘도(423)를 표시하게 되고, 변위 감소 곡선(430)에 따르면 제6 변위(437)를 가지게 되고 이에 상응하는 제6 휘도(433)를 표시하게 된다. 중간 휘도(Imid; 403)과 비교할 때 제5 휘도(423)는 큰 값을 가지고 제6 휘도(433)는 작은 값을 가지게 되므로, 현재 해당하는 마이크로 미러의 상부 반사층(4a)과 하부 반사층(4b) 간의 간격 즉, 변위가 증가하였는지 감소 하였는지에 대한 정보 획득이 가능하다. 이를 기초로 하여 변위를 감소시키거나 증가시키는 등의 보상 방향을 정하는 것이 가능하다. When the intermediate control voltage Vmid is applied, the displacement increasing curve 420 has a fifth displacement 427, and the fifth luminance 423 is displayed. According to the sixth displacement 437, the sixth luminance 433 is displayed. Since the fifth luminance 423 has a large value and the sixth luminance 433 has a small value when compared to the intermediate luminance Imid 403, the upper reflecting layer 4a and the lower reflecting layer 4b of the micromirror currently applicable. It is possible to obtain information on the interval between the gaps, that is, whether the displacement increases or decreases. On the basis of this, it is possible to determine the compensation direction such as reducing or increasing the displacement.

또는 Vmin ~ Vmax 의 제어전압 중 임의의 3개 이상의 제어전압을 선택하여 각각 상응하는 변위 및 휘도를 검색한다. 3개 이상의 제어전압에 따른 변위 및 휘도 역시 3개 이상씩 검색이 되며, 이를 이용하여 휘도 대 제어전압 간의 관계에 대하여 근사화된 곡선으로부터 최대점 및 최소점을 찾는 것이 가능하다. 이는 변위 대 휘도의 곡선(410)이 3차 곡선과 유사한 형태를 가지고 있으므로(도 5 참조), 3개 이상의 점으로부터 변위 대 휘도의 곡선(410)을 근사화하는 것이 가능하기 때문이다. Alternatively, any three or more control voltages among control voltages Vmin to Vmax are selected to search for corresponding displacements and luminances, respectively. Displacement and luminance according to three or more control voltages are also searched by three or more. By using this, it is possible to find the maximum and minimum points from the approximated curve about the relationship between the luminance and the control voltage. This is because the curve of displacement vs. brightness 410 has a similar shape to the cubic curve (see FIG. 5), so that it is possible to approximate the curve of curve vs. 410 from three or more points.

도 6은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 근사화된 곡선을 찾기 위한 방법을 나타낸 도면이다. 6 is a diagram illustrating a method for finding an approximated curve according to a preferred embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 한 프레임 영상은 사용자에게 보여주고자 하는 영상 정보를 출력하는 주요 화면(620)과, 주요 화면(620)의 출력 전후에 주요 화면(620)의 양끝에서 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(blank time area; 610 또는 630)로 구성된다. 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630)에서 미리 지정한 휘도 값이 출력되도록 하고, 그 때의 휘도를 포토 다이오드로 측정한다. Referring to FIG. 6, one frame image includes a main screen 620 for outputting image information to be displayed to a user, and a first or second screen at both ends of the main screen 620 before and after output of the main screen 620. A blank time area 610 or 630. A predetermined luminance value is output in the first or second blank time region 610 or 630, and the luminance at that time is measured by a photodiode.

제어회로는 화면 상에 표시하고자 하는 휘도에 상응하는 제어전압을 광변조기에 인가하여 입사광을 변조시킨 변조광이 출력되도록 한다. 따라서, 특정 휘도와, 이를 출력하기 위해 광변조기에 인가해야 하는 제어전압 간의 관계에 대하여 참조표(LUT; LookUp Table)의 형태로 가지고 있다. 참조표는 도 3 또는 도 4에 도 시된 것과 같은 제어전압에 따른 변위, 그리고 변위에 따른 휘도 간의 관계에 대해 빠른 연산을 위해 테이블화한 것이다. The control circuit applies a control voltage corresponding to the luminance to be displayed on the screen to the optical modulator to output the modulated light modulating the incident light. Therefore, the relationship between the specific luminance and the control voltage to be applied to the optical modulator in order to output it is in the form of a lookup table (LUT). The reference table is a table for quick calculation of the relationship between the displacement according to the control voltage and the luminance according to the displacement as shown in FIG. 3 or 4.

시간이 흐름에 따라 광변조기의 마이크로 미러(10)의 리본 구조물(4)의 초기 위치가 변화하는 등의 상술한 것과 같은 문제로 인하여 광변조기의 제작 당시에 설정된 참조표에 따라 제어전압을 인가하게 되면 원하는 휘도를 출력하지 못하게 된다. 따라서, 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630)에서 일정 주기마다 제어전압에 따른 휘도를 측정하여 참조표를 갱신해야 한다. 참조표를 갱신하기 위해 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630)에서 인가되는 제어전압을 샘플링 전압이라고 하고, 이때 변조광으로부터 측정된 휘도를 샘플링 휘도라고 한다. If the control voltage is applied according to the reference table set at the time of manufacture of the optical modulator due to the above-described problems such as the initial position of the ribbon structure 4 of the micromirror 10 of the optical modulator changes over time. The desired brightness will not be output. Therefore, in the first or second blank time region 610 or 630, the reference table is updated by measuring the luminance according to the control voltage at regular intervals. The control voltage applied in the first or second blank time region 610 or 630 for updating the reference table is called a sampling voltage, and the luminance measured from the modulated light is called a sampling luminance.

제1 블랭크 타임 영역(610)과 제2 블랭크 타임 영역(620)에 대해서 하나의 프레임 영상을 출력하면서 동시에 또는 어느 하나에서만 샘플링 전압에 따른 샘플링 휘도를 측정하는 것이 가능하다. 도 6에 도시된 본 실시예에서는 수직 주사선의 모든 픽셀에 대하여 샘플링 전압에 따른 샘플링 휘도를 측정하거나 또는 특정한 하나 이상의 픽셀에 대하여만 샘플링 전압에 따른 샘플링 휘도를 측정한다. 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630) 내에서 공간분할 또는 A1, A2와 같이 시분할을 하여 복수의 픽셀에 대해 인가된 샘플링 전압에 따른 샘플링 휘도를 측정하는 것도 가능하다. It is possible to output one frame image for the first blank time region 610 and the second blank time region 620 and measure the sampling luminance according to the sampling voltage at the same time or only one. In the present embodiment shown in FIG. 6, the sampling luminance according to the sampling voltage is measured for all pixels of the vertical scanning line, or the sampling luminance according to the sampling voltage is measured for only one or more specific pixels. It is also possible to measure the sampling luminance according to the sampling voltage applied to the plurality of pixels by performing spatial division or time division such as A1 and A2 in the first or second blank time region 610 or 630.

각 픽셀에 대하여 3개 이상의 샘플링 전압을 인가하여 각각 상응하는 샘플링 휘도를 측정하는 것이 바람직하다. 도 3 또는 도 4에 도시된 것과 같이 변위에 따른 휘도의 곡선은 3차 곡선과 유사한 형태를 가지고 있어, 3개 이상의 값을 알고 있는 경우에 근사화된 곡선을 획득하기 쉽다. 그리고 근사화된 곡선으로부터 휘도의 최대값 및 최소값, 그리고 휘도의 최대값 및 최소값에 상응하는 제어전압을 각각 검색하며, 이를 기초로 하여 참조표를 갱신한다. 즉, 현재 최대 휘도가 출력되는 제어전압을 최대 전압으로 설정하고, 최소 휘도가 출력되는 제어전압을 최소 전압으로 설정하여 이를 유지하도록 참조표 내에 제어전압과 휘도 간의 관계를 재설정한다. It is preferable to apply three or more sampling voltages to each pixel to measure corresponding sampling luminances, respectively. As shown in FIG. 3 or FIG. 4, the curve of the luminance according to the displacement has a form similar to that of the cubic curve, and thus it is easy to obtain an approximated curve when three or more values are known. The control voltages corresponding to the maximum and minimum values of the luminance and the maximum and minimum values of the luminance are respectively retrieved from the approximated curve, and the reference table is updated based on these values. That is, the relationship between the control voltage and the luminance is reset in the reference table to set the control voltage at which the current maximum luminance is output to the maximum voltage and to set and maintain the control voltage at which the minimum luminance is output to the minimum voltage.

이하에서는 상술한 것과 같이 시간에 따른 광변조기의 변위의 변화에 대한 보상을 하는 디스플레이 장치 및 그 방법에 대하여 설명한다. Hereinafter, a display apparatus and a method for compensating for a change in displacement of an optical modulator with time as described above will be described.

도 7은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 광변조기 보상을 하는 디스플레이 장치의 개략적인 구성도이다. 7 is a schematic configuration diagram of a display device for compensating an optical modulator according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 7을 참조하면, 디스플레이 장치는 광원(710), 광변조기(720), 스캐너(730), 포토 다이오드(750), 제어회로(770)를 포함한다. 광 방향 변환기(740) 또는 아날로그/디지털 변환기(760)가 더 포함할 수 있다. Referring to FIG. 7, the display device includes a light source 710, an optical modulator 720, a scanner 730, a photodiode 750, and a control circuit 770. The optical direction converter 740 or the analog / digital converter 760 may further include.

광원(710)은 스크린(880)에 영상이 투사될 수 있도록 광을 조사한다. 광원(710)은 백색광을 조사할 수도 있고, 빛의 삼원색인 적색광, 녹색광 또는 청색광 중의 어느 하나를 조사할 수도 있다. 바람직하게는 광원(710)은 레이저, LED 또는 레이저 다이오드일 수 있다. 백색광을 조사하는 경우에는 색분리부(미도시)를 두어 백색광을 소정 조건에 따라 적색광, 녹색광 및 청색광으로 분리할 수 있다.The light source 710 irradiates light to project the image onto the screen 880. The light source 710 may radiate white light, or may radiate any one of three primary colors of red, green, and blue light. Preferably the light source 710 may be a laser, LED or laser diode. When irradiating white light, a color separation unit (not shown) may be provided to separate white light into red light, green light, and blue light according to a predetermined condition.

광원(710)과 광변조기(720) 사이에 조명 광학계(미도시)가 있어 광원(710)에서 투사되는 광의 방향을 소정의 각도로 반사시켜 광변조기(720)에 광이 집중되도 록 할 수 있다. 색분리부(미도시)에 의해 색분리가 이루어진 경우에는 상기 광이 집중되도록 하는 기능이 추가될 수 있다. An illumination optical system (not shown) is provided between the light source 710 and the light modulator 720 to reflect the direction of the light projected from the light source 710 at a predetermined angle so that the light can be concentrated in the light modulator 720. . When color separation is performed by a color separator (not shown), a function of concentrating the light may be added.

광변조기(720)는 광원(710)으로부터 조사된 광을 제어회로(770)로부터 수신한 제어신호(예를 들어, 제어전압)에 따라 변조하여 회절광인 변조광을 생성한다. 광변조기(720)는 표시될 영상의 수직 주사선 중 어느 하나에 상응하여 출력할 휘도를 제어하거나 수평 주사선 중 어느 하나에 상응하여 출력할 휘도를 제어한다. 광변조기(720)는 앞서 상술한 바와 같이 복수개의 마이크로 미러를 포함한다. The optical modulator 720 modulates the light irradiated from the light source 710 according to a control signal (for example, a control voltage) received from the control circuit 770 to generate modulated light that is diffracted light. The optical modulator 720 controls the luminance to be output in correspondence with any one of the vertical scan lines of the image to be displayed or the luminance to be output in correspondence with any one of the horizontal scan lines. The optical modulator 720 includes a plurality of micro mirrors as described above.

하나의 픽셀을 담당하는 마이크로 미러(10-1, 10-2, …, 10-n)가 복수 개(여기서는 n(자연수) 개) 모여서 광변조기(720)를 형성한다(도 2 참조). 광변조기(720)는 마이크로 미러(10-1, 10-2, …, 10-n)가 병렬로 복수 개 모여서 상술한 간섭 원리에 의해 일정한 입사광에 대하여 다양한 신호 크기를 가지는 회절광 즉, 변조광을 생성하게 되고, 신호를 빛에 실을 수 있는 장치로써, 상술한 바와 같이 1차원 영상인 수직 주사선을 담당하는 장치를 통칭한다. 이하 광변조기(720)는 n(n은 자연수)개의 픽셀로 구성된 수직 주사선 즉, 1차원 영상을 담당하는 것으로 설명하지만, 수평 주사선을 담당할 수도 있음은 물론이다.A plurality of micromirrors 10-1, 10-2,..., And 10-n, which are responsible for one pixel, are gathered together (n is a natural number) to form an optical modulator 720 (see FIG. 2). The optical modulator 720 includes a plurality of micromirrors 10-1, 10-2, ..., 10-n, which are diffracted light, that is, modulated light having various signal sizes with respect to a constant incident light by the above-described interference principle. As a device capable of generating a signal to light, the device responsible for the vertical scanning line which is a one-dimensional image as described above is collectively referred to. Hereinafter, the optical modulator 720 will be described as being in charge of a vertical scanning line composed of n pixels (n is a natural number), that is, a one-dimensional image, but may also be in charge of a horizontal scanning line.

광변조기(720)는 제어신호에 포함된 수직 주사선을 구성하는 각 픽셀에서 출력하고자 하는 휘도 정보에 따라 각 픽셀의 구동전압을 생성하는 구동 집적회로와, 구동 집적회로에서 생성된 구동전압에 따라 빛의 간섭 또는 회절 원리를 이용하여 광강도가 변조된 회절광인 변조광을 생성하는 복수 개의 마이크로 미러(10-1, 10-2, …, 10-n)로 구성된다. The optical modulator 720 may include a driving integrated circuit generating a driving voltage of each pixel according to luminance information to be output from each pixel constituting the vertical scanning line included in the control signal, and a light according to the driving voltage generated from the driving integrated circuit. Is composed of a plurality of micromirrors 10-1, 10-2, ..., 10-n for generating modulated light, the diffracted light of which the light intensity is modulated using the interference or diffraction principle.

복수 개의 마이크로 미러(10-1, 10-2, …, 10-n)는 수직 주사선을 구성하는 화소의 수와 동일한 것이 바람직하다. 변조광은 추후 스크린(780)에 투사될 수직 주사선의 영상정보(즉, 각 픽셀의 휘도 정보)가 반영된 빛이다. 여기서, 변조광은 0차 회절광 또는 ±1차 회절광일 수 있다. The plurality of micro mirrors 10-1, 10-2, ..., 10-n is preferably equal to the number of pixels constituting the vertical scanning line. The modulated light is light in which image information (ie, luminance information of each pixel) of the vertical scanning line to be projected on the screen 780 is reflected later. Here, the modulated light may be zero-order diffraction light or ± first-order diffraction light.

릴레이 광학계(미도시)는 광변조기(720)에서 생성된 변조광이 스캐너(730)에 전달되도록 해준다. 하나 이상의 렌즈가 포함될 수 있으며, 필요에 따라 배율을 조절하여 광변조기(720)의 크기와 스캐너(730)의 크기에 맞도록 하여 변조광을 전달한다. The relay optical system (not shown) allows the modulated light generated by the optical modulator 720 to be transmitted to the scanner 730. One or more lenses may be included, and modulated magnification may be adjusted to suit the size of the optical modulator 720 and the size of the scanner 730 to transmit modulated light as necessary.

스캐너(scanner; 730)는 광변조기(720)로부터 입사되는 변조광을 소정 각도로 반사시켜 스크린(780)에 투사한다. 이때 소정 각도는 제어회로(770)로부터 수신되는 스캐너 제어신호에 의해 정해진다. 스캐너 제어신호는 제어신호와 동기하여 제어신호에 상응하는 스크린(780) 상의 수직 주사선 위치에 변조광이 투사될 수 있는 각도로 스캐너(730)를 회전시킨다. The scanner 730 reflects the modulated light incident from the light modulator 720 at a predetermined angle and projects it onto the screen 780. At this time, the predetermined angle is determined by the scanner control signal received from the control circuit 770. The scanner control signal rotates the scanner 730 at an angle at which the modulated light can be projected at the position of the vertical scan line on the screen 780 corresponding to the control signal in synchronization with the control signal.

스캐너(730)는 갈바노 스캐너(galvanometer scanner) 또는 폴리곤 미러 스캐너(polygon mirror scanner)일 수 있다. 갈바노 스캐너는 사각형 판자 형태를 가지고 있으며, 일면에 미러가 부착되어 있다. 축을 중심으로 소정 각도 범위 내에서 좌우로 회전을 하며, 본 발명에서는 좌 또는 우 중 어느 한방향 또는 좌우 양방향으로 회전할 때에 입사되는 빛의 반사각을 변화시켜 스크린(780)에 영상을 투사한다. 폴리곤 미러스캐너는 다각 기둥 형태를 가지고 있으며, 다각 기둥의 옆면에 미러가 부착되어 있다. 축을 중심으로 일방향으로 회전하며 각 옆면에 부착된 미러가 회전에 의해 입사되는 빛의 반사각을 변화시켜 스크린(780)에 영상을 투사한다. The scanner 730 may be a galvanometer scanner or a polygon mirror scanner. The galvano scanner has a rectangular plank shape and a mirror is attached to one side. It rotates from side to side within a predetermined angle range about an axis, and in the present invention, the image is projected on the screen 780 by changing the angle of reflection of the incident light when rotating in either the left or right direction or left and right directions. Polygon mirror scanners have the shape of a polygonal column with mirrors attached to the sides of the polygonal column. A mirror attached to each side and rotating in one direction about an axis changes an angle of reflection of light incident by the rotation to project an image on the screen 780.

투사 광학계(미도시)는 스캐너(730)에 의해 반사된 변조광이 스크린(780) 상에 투사되도록 한다. 투사 렌즈(projection lens)(미도시)를 포함한다. Projection optics (not shown) cause the modulated light reflected by the scanner 730 to be projected onto the screen 780. Projection lens (not shown).

포토 다이오드(Photo Diode; 750)는 샘플링 전압에 따라 광변조기(720)로부터 출력되는 변조광으로부터 샘플링 휘도를 측정한다. 샘플링 전압은 도 6에 도시된 것과 같이 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630)에서 광변조기(720)에 인가되도록 설정되므로, 포토 다이오드(750)는 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630)에서만 동작하도록 하는 것이 전력 소모에 유리하다. The photo diode 750 measures sampling luminance from modulated light output from the optical modulator 720 according to the sampling voltage. Since the sampling voltage is set to be applied to the optical modulator 720 in the first or second blank time region 610 or 630 as shown in FIG. 6, the photodiode 750 may be configured as a first or second blank time region (see FIG. 6). Only operating at 610 or 630 is advantageous for power consumption.

포토 다이오드(750)로 변조광을 입사하기 위해 디스플레이 장치는 광 방향 변환기(740)를 더 포함할 수 있다. 광 방향 변환기(740)는 광변조기(720)로부터 스캐너(730)로 향하는 변조광의 일부를 분리하거나 또는 부분적으로 반사시켜 포토 다이오드(750)로 입사되게 한다. 광 방향 변환기(740)는 빔 스플리터(beam splitter)이거나 부분 반사 광학계(partial reflect optics)일 수 있다. 즉, 99% 정도의 변조광은 스캐너(730)로 통과시키고, 1% 정도의 변조광을 포토 다이오드(750)로 향하게 한다. The display device may further include a light direction converter 740 to incident modulated light to the photodiode 750. The light direction converter 740 separates or partially reflects a portion of the modulated light from the light modulator 720 to the scanner 730 to be incident to the photodiode 750. The light direction converter 740 may be a beam splitter or partial reflect optics. That is, about 99% of the modulated light passes through the scanner 730, and about 1% of the modulated light is directed to the photodiode 750.

포토 다이오드(750)에서 측정된 샘플링 휘도는 아날로그 신호인 바 디스플레이 장치는 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 아날로그/디지털 변환기(760)를 더 포함할 수 있다. 아날로그/디지털 변환기(760)는 포토 다이오드(750)와 마찬가지로 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630)에서만 동작하도록 하는 것이 전력 소모에 유리하다.The sampling luminance measured by the photodiode 750 is an analog signal, and the bar display device may further include an analog / digital converter 760 for converting the analog signal into a digital signal. It is advantageous for power consumption that the analog-to-digital converter 760 operate only in the first or second blank time region 610 or 630 as with the photodiode 750.

제어회로(770)는 광변조기(720)에 인가하는 제어전압과 휘도 간의 관계를 나타내는 참조표를 가지고 있으며, 참조표에 따라 원하는 휘도가 출력되도록 기설정된 제어전압이 광변조기(720)에 인가되도록 한다. 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630)에서 광변조기(720)에 3개 이상의 샘플링 전압이 인가되도록 하고, 이에 따라 포토 다이오드(750)에서 측정한 샘플링 휘도를 수신한다. 그리고 샘플링 전압과 샘플링 휘도 간의 관계에 따라 근사화된 곡선을 검색하고, 근사화된 곡선의 최대점을 나타내는 휘도 및 제어전압, 최소점을 나타내는 휘도 및 제어전압을 찾아 이미 저장되어 있던 참조표를 갱신한다. The control circuit 770 has a reference table indicating the relationship between the control voltage applied to the optical modulator 720 and the luminance, and the predetermined control voltage is applied to the optical modulator 720 so that the desired luminance is output according to the reference table. do. Three or more sampling voltages are applied to the optical modulator 720 in the first or second blank time region 610 or 630, thereby receiving the sampling luminance measured by the photodiode 750. Then, the approximated curve is searched according to the relationship between the sampling voltage and the sampling luminance, the luminance and control voltage representing the maximum point of the approximated curve, the luminance and control voltage representing the minimum point are found, and the already stored reference table is updated.

또한, 제어회로(770)는 하나의 프레임에 해당하는 영상신호를 입력받고, 영상신호에 따라 광변조기(720) 및 스캐너(730)를 제어한다. 제어회로(770)는 프레임을 구성하는 각 픽셀의 휘도 정보를 광변조기(720)에 전달하고, 광변조기(720)에 전달한 제어신호에 상응하여 수직 주사선이 스크린(780) 상에서 제대로 투사되도록 스캐너(730)의 회전 각도를 조절한다. 본 발명에서 하나의 프레임에 해당하는 복수의 수직 주사선이 모두 동일한 경우에 스캐너(730)가 소정의 각속도를 가지고 회전하도록 할 수 있다. In addition, the control circuit 770 receives an image signal corresponding to one frame and controls the optical modulator 720 and the scanner 730 according to the image signal. The control circuit 770 transmits the luminance information of each pixel constituting the frame to the optical modulator 720, so that the vertical scan line is properly projected on the screen 780 in accordance with the control signal transmitted to the optical modulator 720. 730 to adjust the rotation angle. In the present invention, when the plurality of vertical scan lines corresponding to one frame are all the same, the scanner 730 may be rotated at a predetermined angular velocity.

도 8은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 광변조기의 변위 변화를 보상하는 방법의 흐름도이다. 8 is a flowchart of a method of compensating for a change in displacement of an optical modulator according to an exemplary embodiment of the present invention.

단계 S810에서, 제어회로(770)는 제어신호를 통해 구동집적회로가 샘플링 전압을 광변조기(720)에 인가하도록 한다. 샘플링 전압은 3개 이상인 것이 바람직하고, 제1 또는 제2 블랭크 타임 영역(610 또는 630)에서 해당 픽셀을 담당하는 광변 조기(720)의 마이크로 미러에 인가한다. In step S810, the control circuit 770 causes the driving integrated circuit to apply the sampling voltage to the optical modulator 720 through the control signal. Preferably, the sampling voltage is three or more, and is applied to the micromirror of the light changing device 720 that is responsible for the pixel in the first or second blank time region 610 or 630.

단계 S820에서, 포토 다이오드(750)는 샘플링 전압에 따라 광변조기(720)로부터 출력되는 변조광의 샘플링 휘도를 측정한다. In operation S820, the photodiode 750 measures the sampling luminance of the modulated light output from the optical modulator 720 according to the sampling voltage.

단계 S830에서, 제어회로(770)는 샘플링 전압 및 이에 상응하는 샘플링 휘도로부터 현재 광변조기(720)의 제어전압에 대한 휘도의 관계를 재산출하고, 참조표를 갱신한다. In step S830, the control circuit 770 recalculates the relationship of the luminance with respect to the control voltage of the current optical modulator 720 from the sampling voltage and the corresponding sampling luminance, and updates the reference table.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 디스플레이 장치 및 광변조기 보상 방법은 마이크로 미러의 시간에 따른 변위의 변화량을 측정하여 동일한 입력에 대하여 제어전압을 보상함으로써 화면 상에서 보이는 계조가 항상 일정한 휘도를 나타내게 한다. As described above, the display device and the optical modulator compensation method according to the present invention measure the amount of change of the displacement of the micromirror over time to compensate for the control voltage for the same input so that the gradation displayed on the screen always shows a constant luminance.

또한, 항상 일정한 화질의 영상이 출력되도록 한다. In addition, a constant image quality is always output.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below It will be appreciated that modifications and variations can be made.

Claims (12)

광원;Light source; 인가되는 제어전압에 따라 상기 광원으로부터의 입사광의 휘도를 변화시킨 변조광을 출력하는 광변조기;An optical modulator for outputting modulated light whose luminance is changed from incident light from the light source in accordance with an applied control voltage; 상기 변조광을 스크린 상의 소정 위치에 투사하는 스캐너;A scanner for projecting the modulated light to a predetermined position on a screen; 샘플링 전압을 인가받은 상기 광변조기로부터 출력되는 변조광의 샘플링 휘도를 측정하는 포토 다이오드; 및A photodiode measuring a sampling brightness of modulated light output from the optical modulator receiving a sampling voltage; And 상기 휘도와 상기 제어전압 간의 관계를 나타내는 참조표에 따라 상기 변조광이 상기 휘도를 가지도록 기설정된 상기 제어전압이 상기 광변조기에 인가되도록 하며, 상기 샘플링 전압 및 상기 샘플링 휘도로부터 상기 광변조기의 상기 제어전압에 대한 상기 휘도의 관계를 재산출하여 상기 참조표를 갱신하는 제어 회로According to a reference table showing a relationship between the brightness and the control voltage, the control voltage preset to have the brightness of the modulated light is applied to the optical modulator, and the sampling voltage and the sampling brightness of the light modulator A control circuit for updating the reference table by recalculating the relationship of the luminance to the control voltage 를 포함하는 디스플레이 장치. Display device comprising a. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스캐너로 향하는 상기 변조광의 일부의 방향을 변화시키는 광 방향 변환기를 더 포함하되,Further comprising a light direction converter for changing the direction of the portion of the modulated light directed to the scanner, 상기 포토 다이오드는 상기 광 방향 변환기에 의해 방향이 변화된 상기 변조광의 일부가 입사되는 디스플레이 장치.And the photodiode receives a portion of the modulated light whose direction is changed by the optical direction converter. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 광변조기는 임의의 프레임 영상이 출력되기 전의 블랭크 타임(blank time)에 상기 샘플링 전압을 인가받는 디스플레이 장치.And the optical modulator receives the sampling voltage at a blank time before an arbitrary frame image is output. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 광변조기는 임의의 프레임 영상이 출력된 후의 블랭크 타임에 상기 샘플링 전압을 인가받는 디스플레이 장치.And the optical modulator receives the sampling voltage at a blank time after an arbitrary frame image is output. 제3항 또는 제4항에 있어서,The method according to claim 3 or 4, 상기 광변조기는 각각 하나의 픽셀을 담당하는 복수의 마이크로 미러로 구성되며, The optical modulator is composed of a plurality of micro mirrors each responsible for one pixel, 하나의 프레임 영상에 대하여 상기 복수의 마이크로 미러 중 하나의 마이크로 미러가 상기 샘플링 전압을 인가받는 디스플레이 장치.And one micro mirror from among the plurality of micro mirrors receives the sampling voltage with respect to one frame image. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 광변조기는 상기 블랭크 타임 동안 하나의 픽셀에 대해 3개 이상의 샘플링 전압을 인가받는 디스플레이 장치.And the optical modulator receives three or more sampling voltages for one pixel during the blank time. 휘도와 제어전압 간의 관계를 나타내는 참조표에 따라 상기 변조광이 상기 휘도를 가지도록 설정된 상기 제어전압에 따라 광원으로부터의 입사광의 휘도를 변화시킨 변조광을 출력하는 광변조기의 시간에 따른 물리적 변형을 보상하는 방법에 있어서,According to a reference table showing the relationship between the luminance and the control voltage, the physical deformation of the optical modulator for outputting the modulated light that changes the luminance of the incident light from the light source in accordance with the control voltage set to have the luminance is obtained. In the compensation method, (a) 샘플링 전압이 광변조기에 인가되도록 하는 단계;(a) causing a sampling voltage to be applied to the optical modulator; (b) 상기 샘플링 전압에 따라 상기 광변조기로부터 출력되는 변조광의 샘플링 휘도를 측정하는 단계; 및(b) measuring sampling luminance of modulated light output from the optical modulator according to the sampling voltage; And (c) 상기 샘플링 전압 및 상기 샘플링 휘도로부터 상기 광변조기의 상기 제어전압에 대한 상기 휘도의 관계를 산출하여 상기 참조표를 갱신하는 단계(c) updating the reference table by calculating a relationship of the luminance with respect to the control voltage of the optical modulator from the sampling voltage and the sampling luminance; 를 포함하는 광변조기 보상 방법.Optical modulator compensation method comprising a. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 단계 (c)는 서로 다른 샘플링 전압에 대하여 상기 단계 (a) 내지 (b)를 3번 이상 반복하는 단계를 포함하는 광변조기 보상 방법.The step (c) comprises repeating the steps (a) to (b) three or more times for different sampling voltages. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 단계 (a)는 임의의 프레임 영상이 출력되기 전의 블랭크 타임에 상기 샘플링 전압을 인가하는 광변조기 보상 방법.The step (a) is an optical modulator compensation method for applying the sampling voltage at a blank time before any frame image is output. 제7항에 있어서, The method of claim 7, wherein 상기 단계 (a)는 임의의 프레임 영상이 출력된 후의 블랭크 타임에 상기 샘플링 전압을 인가하는 광변조기 보상 방법. The step (a) is the optical modulator compensation method for applying the sampling voltage at the blank time after the arbitrary frame image is output. 제9항 또는 제10항에 있어서,The method of claim 9 or 10, 상기 단계 (a)는 하나의 프레임 영상에 대하여 하나의 픽셀에 대한 상기 샘플링 전압을 인가하는 광변조기 보상 방법. The step (a) is applied to the optical modulator compensation method for applying the sampling voltage for one pixel to one frame image. 제11항에 있어서,The method of claim 11, (d) 연속적인 프레임 영상마다 상기 샘플링 전압을 인가하는 픽셀의 위치를 변화시키며 상기 단계 (a) 내지 (c)를 반복하는 단계를 더 포함하는 광변조기 보상 방법.and (d) repeating the steps (a) to (c) by changing the position of the pixel applying the sampling voltage for each successive frame image.
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