KR20070080504A - Cooling apparatus and method - Google Patents

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Abstract

A cooling apparatus and a method are provided to monitor exactly the amount of a stored cooling solution and to display automatically the amount of the stored cooling solution. A cooling apparatus includes a storing container and a monitoring unit. The storing container(110) has a predetermined space for storing a cooling solution. The monitoring unit(140) monitors the amount of the cooling solution stored in the storing container. The monitoring unit is composed of a measurement member(142) for measuring the amount of the stored cooling solution and a control part. The control part of the monitoring unit is used for receiving the data of the amount of the stored cooling solution from the measurement member and comparing the data with reference data.

Description

냉각 장치 및 방법{COOLING APPARATUS AND METHOD}Cooling Apparatus and Method {COOLING APPARATUS AND METHOD}

도 1은 본 발명에 따른 냉각 장치 및 이를 적용한 반도체 제조 설비를 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically showing a cooling apparatus and a semiconductor manufacturing apparatus using the same according to the present invention.

도 2는 도 1에 도시된 측정 부재 및 저장 용기의 구성을 설명하기 위한 구성도이다.FIG. 2 is a configuration diagram for explaining the configuration of the measuring member and the storage container shown in FIG. 1.

도 3은 본 발명에 따른 냉각 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다.3 is a flowchart illustrating a control method of a cooling device according to the present invention.

*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

1 : 반도체 제조 설비 140 : 모니터링 장치 1: semiconductor manufacturing facility 140: monitoring device

10 : 처리실 142 : 측정 부재10: processing chamber 142: measuring member

100 : 냉각 장치 142a : 플로트100: cooling device 142a: float

110 : 저장 용기 142b : 게이지 유닛110: storage container 142b: gauge unit

120 : 공급라인 144 : 표시 부재120: supply line 144: display member

130 : 회수라인130: recovery line

본 발명은 냉각 장치 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 설비에서 공정 장치의 온도를 냉각시키는 냉각 장치 및 방법에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cooling apparatus and method, and more particularly, to a cooling apparatus and method for cooling the temperature of a processing apparatus in a semiconductor manufacturing facility.

일반적으로 반도체 공정은 반도체 기판에 포토리소그래피, 확산, 식각, 화학 기상 증착 및 금속 증착 등의 공정을 반복하여 수행하여 반도체 소자를 생산한다.In general, a semiconductor process is performed by repeatedly performing processes such as photolithography, diffusion, etching, chemical vapor deposition, and metal deposition on a semiconductor substrate to produce a semiconductor device.

이 중 포토리소그래피 공정은 초고압 수은램프 등으로부터 방사된 광을 마스크 및 웨이퍼의 위치를 조절시켜 웨이퍼 상에 패턴을 형성시키는 공정이다. 이러한 포토리소그래피 공정을 수행하는 공정 장치들은 공정 수행시 고온으로 가열되게 된다. 따라서, 반도체 제조 설비에는 이러한 공정 장치들의 냉각을 위한 냉각 장치가 구비된다.The photolithography process is a process of forming a pattern on a wafer by controlling the position of the mask and the wafer for light emitted from an ultra-high pressure mercury lamp or the like. Process apparatuses performing the photolithography process are heated to a high temperature during the process. Therefore, the semiconductor manufacturing facility is equipped with a cooling device for cooling such processing equipment.

일반적인 냉각 장치는 초순수와 같은 냉각액을 저장하는 저장 용기 및 상기 저장 용기로부터 공정 장치들의 내부 및 외부를 순환시키는 순환 라인을 갖는다. 상기 순환 라인은 상기 냉각액을 공정 장치의 인접한 영역에서 순환시킴으로써, 상기 공정 장치들을 냉각한다.Typical cooling devices have a storage vessel for storing a coolant, such as ultrapure water, and a circulation line for circulating the inside and outside of the process equipment from the reservoir. The circulation line cools the process apparatus by circulating the coolant in an adjacent region of the process apparatus.

그러나, 상술한 냉각 장치는 저장 용기 내 저장된 냉각액의 저장량을 작업자가 용이하게 감지하기 어려웠다. 즉, 보통 저장 용기에는 저장된 냉각액의 저장량을 표시하는 레벨링 라인이 설치되어 있으나, 레벨링 라인을 통한 냉각액의 저장량 측정은 작업자가 직접 주기적으로 수행하는 것으로, 작업자의 번거로움이 크고 냉각액 저장량에 문제 발생시 작업자가 이를 즉각적으로 인지할 수 없어 대응속도가 느리다는 문제점을 갖는다.However, in the above-described cooling apparatus, it was difficult for an operator to easily detect the storage amount of the coolant stored in the storage container. That is, the storage container is usually provided with a leveling line that displays the storage amount of the stored coolant, but the measurement of the storage amount of the coolant through the leveling line is performed by the operator periodically, which is cumbersome for the worker and when the problem occurs in the coolant storage amount The problem is that the response speed is slow because it cannot recognize this immediately.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 냉각액의 저장량을 모니터링할 수 있는 냉각 장치 및 방법을 제공함에 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide a cooling apparatus and method capable of monitoring the storage amount of the cooling liquid.

본 발명의 다른 목적은 냉각의 저장량을 자동으로 작업자에게 표시하는 냉각 장치 및 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a cooling apparatus and a method for automatically displaying a storage amount of cooling to an operator.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 냉각 장치는 냉각액을 저장하는 공간을 갖는 저장 용기 및 상기 저장 용기에 저장된 냉각액의 저장량을 모니터링하는 모니터링 장치를 포함한다.The cooling device according to the present invention for achieving the above object includes a storage container having a space for storing the cooling liquid and a monitoring device for monitoring the storage amount of the cooling liquid stored in the storage container.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 반도체 제조 장치는 포토리소그래피 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.According to an embodiment of the present invention, the semiconductor manufacturing apparatus is characterized in that performing a photolithography process.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 모니터링 장치는 상기 저장 용기 내 냉각액의 저장량을 측정하는 측정 부재 및 상기 측정 부재로부터 냉각액의 저장량에 대한 데이터를 전송받아, 상기 냉각 유체의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나는지 여부를 판단하는 제어부를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the monitoring device receives data about a storage member for measuring the storage amount of the cooling liquid in the storage container and the storage amount of the cooling liquid from the measuring member, so that the storage amount of the cooling fluid is out of a predetermined storage amount. It includes a control unit for determining whether or not.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 측정 부재는 상기 저장 용기 내 냉각액의 수면의 높이에 따라 부력에 의해 유동되는 플로트 및 상기 플로트의 유동에 의해 상기 냉각액의 수면 높이를 표시하는 게이지를 포함한다.According to one embodiment of the invention, the measuring member includes a float that flows by buoyancy according to the height of the surface of the coolant in the storage container and a gauge indicating the surface height of the coolant by the flow of the float.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 모니터링 장치는 상기 냉각 유체의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나면, 이를 표시하는 표시 부재를 더 포함한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the monitoring apparatus further includes a display member that displays the storage fluid of the cooling fluid when it is out of a predetermined storage amount.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 냉각 방법은 반도체 제조 공정 을 수행하는 공정 장치의 냉각을 위해 사용되는 냉각액의 저장량을 측정하여, 측정한 냉각액의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나면 냉각액의 공급을 중단하고, 이를 표시한다.The cooling method according to the present invention for achieving the above object is to measure the storage amount of the cooling liquid used for the cooling of the process apparatus for performing the semiconductor manufacturing process, the supply of the cooling liquid when the measured storage amount of the cooling liquid is out of the predetermined storage amount Stop and display it.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosure may be made thorough and complete, and to fully convey the spirit of the invention to those skilled in the art. Portions denoted by like reference numerals denote like elements throughout the specification.

(실시예)(Example)

도 1은 본 발명에 따른 냉각 장치 및 이를 적용한 반도체 제조 설비를 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 측정 부재 및 저장 용기의 구성을 설명하기 위한 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically showing a cooling apparatus and a semiconductor manufacturing apparatus using the same according to the present invention, Figure 2 is a configuration diagram for explaining the configuration of the measuring member and the storage container shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비(1)는 처리실(10) 및 냉각 장치(100)를 포함한다. 처리실(10)는 반도체 제조 공정을 수행하는 공정 장치(미도시됨)들을 갖는다. 여기서, 상기 공정 장치들은 반도체 제조 공정 중 포토리소그래피 공정을 수행하는 장치일 수 있다. 그러나, 상기 공정 장치들은 공정시 고온을 발생시키는 모든 반도체 공정 장치들을 포함할 수 있으며, 포토리소그래피 공정 장치만으로 한정되는 것은 아니다.1 and 2, a semiconductor manufacturing facility 1 according to the present invention includes a processing chamber 10 and a cooling device 100. The process chamber 10 has process apparatuses (not shown) for performing a semiconductor manufacturing process. Here, the processing apparatuses may be apparatuses for performing a photolithography process in a semiconductor manufacturing process. However, the processing apparatuses may include all semiconductor processing apparatuses that generate a high temperature in the process, and are not limited to the photolithography processing apparatus.

냉각 장치(100)는 저장 용기(110), 공급라인(120), 회수라인(130), 그리고 모니터링 장치(140)를 포함한다. 저장 용기(110)는 내부에 냉각액을 저장하는 공간을 갖는다. 저장 용기(110)는 냉각액 공급원(미도시됨)으로부터 상기 공간으로 냉각액을 공급하는 냉각액 공급관(미도시됨)과 연결된다. 상기 냉각액 공급관에는 작업자에 의해 개폐가 이루어지는 밸브가 설치되고, 작업자는 저장 용기(110) 내 냉각액이 기설정된 저장량 이하로 내려가면, 상기 밸브를 오픈시켜 저장 용기(110)에 냉각액을 보충한다.The cooling device 100 includes a storage container 110, a supply line 120, a recovery line 130, and a monitoring device 140. The storage container 110 has a space for storing a coolant therein. The storage container 110 is connected to a coolant supply pipe (not shown) for supplying a coolant from the coolant supply source (not shown) to the space. The coolant supply pipe is provided with a valve that is opened and closed by an operator, and when the coolant in the storage container 110 falls below a predetermined storage amount, the valve is opened to replenish the coolant in the storage container 110.

저장 용기(110)에는 저장 용기(110) 내 냉각액의 저장량을 표시하는 레벨링 라인(112)이 구비될 수 있다. 레벨링 라인(112)은 저장 용기(110) 내 냉각액의 레벨을 작업자가 인지하기 위해 제공된다. 또한, 저장 용기(110)에는 저장 용기(110) 내 냉각액을 배수하는 배수라인(미도시됨)이 설치될 수 있다. 상기 배수라인은 작업자의 유지 보수시 저장 용기(110) 내 냉각액을 배수하기 위해 제공된다.The storage container 110 may be provided with a leveling line 112 that displays the storage amount of the coolant in the storage container 110. Leveling line 112 is provided for the operator to know the level of coolant in storage container 110. In addition, the storage container 110 may be provided with a drain line (not shown) for draining the coolant in the storage container 110. The drain line is provided to drain the coolant in the storage container 110 during maintenance of the operator.

저장 용기(110) 내 저장된 냉각액은 펌핑 방식에 의해 처리실(10)로 공급된다. 그리고, 처리실(10)로 공급된 냉각액은 적어도 하나의 공정 장치(미도시됨)의 온도를 냉각한 후 저장 용기(110)로 회수된다.The coolant stored in the storage container 110 is supplied to the process chamber 10 by a pumping method. The coolant supplied to the process chamber 10 is recovered to the storage container 110 after cooling the temperature of at least one process device (not shown).

공급 라인(120)은 저장 용기(110) 내 냉각액을 처리실(10)로 공급한다. 이를 위해, 공급 라인(120)에는 공급 라인(120) 내 냉각액에 유동압을 제공하는 가압 부재(미도시됨)가 설치된다. 상기 가압 부재로는 펌프가 사용될 수 있다. 본 실시예에서는 공급 라인(120)이 펌핑 방식에 의해 저장 용기(110) 내 냉각액을 공급하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 냉각액의 공급 방식은 다양한 방식이 적용될 수 있 다. 그리고, 회수 라인(130)은 처리실(10)로 공급된 냉각액을 저장 용기(110)로 회수한다. The supply line 120 supplies the cooling liquid in the storage container 110 to the processing chamber 10. To this end, the supply line 120 is provided with a pressing member (not shown) for providing a flow pressure to the cooling liquid in the supply line 120. A pump may be used as the pressure member. In this embodiment, the supply line 120 has been described as an example of supplying the coolant in the storage container 110 by a pumping method, but the supply method of the coolant may be applied in various ways. The recovery line 130 recovers the coolant supplied to the process chamber 10 to the storage container 110.

본 실시예에서는 저장 용기(110) 내 냉각액이 순환되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 냉각액은 공정 장치의 온도를 냉각한 후 저장 용기(110)로 회수되지 않고, 설비 외부로 배수될 수 있다.In this embodiment, the case in which the coolant in the storage container 110 is circulated has been described as an example, but the coolant may be drained to the outside of the facility without being recovered to the storage container 110 after cooling the temperature of the process apparatus.

모니터링 장치(140)는 저장 용기(110) 내 냉각액의 저장량을 모니터링한다. 이를 위해, 모니터링 장치(140)는 측정 부재(142), 제어부(144), 그리고 표시 부재(146)를 포함한다. The monitoring device 140 monitors the storage amount of the coolant in the storage container 110. To this end, the monitoring device 140 includes a measuring member 142, a control unit 144, and a display member 146.

측정 부재(142)는 저장 용기(110) 내 냉각액의 저장량을 측정한다. 일 실시예로서, 측정 부재(142)는 플로트(142a) 및 게이지(142b)를 포함하는 구성일 수 있다. 플로트(142a)는 저장 용기(110) 내 냉각액의 수면에 따라 유동된다. 예컨대, 플로트(142a)는 냉각액의 부력에 의해 냉각액의 수면에서 유동하도록 제작된다. 플로트(142a)의 유동에 따라 냉각액의 수면 높이가 측정되며, 측정된 냉각액의 수면 높이는 게이지(142b)에 표시된다.The measuring member 142 measures the storage amount of the cooling liquid in the storage container 110. In one embodiment, the measuring member 142 may be configured to include a float 142a and a gauge 142b. The float 142a flows along the surface of the coolant in the storage container 110. For example, the float 142a is manufactured to flow on the surface of the coolant by the buoyancy of the coolant. The surface height of the coolant is measured according to the flow of the float 142a, and the measured surface height of the coolant is displayed on the gauge 142b.

게이지(142b)는 플로트(142a)의 위치에 따라 냉각액의 수면 높이를 표시한다. 즉, 게이지(142b)는 플로트(142a)의 위치를 나타내는 눈금이 표시되어 있으며, 플로트(142a)의 유동에 따라 눈금이 표시된다. 작업자는 게이지(142b)에 표시된 눈금을 통해 냉각액의 저장량을 인지할 수 있다.The gauge 142b displays the surface height of the coolant according to the position of the float 142a. That is, the gauge 142b is displayed with the scale which shows the position of the float 142a, and the scale is displayed according to the flow of the float 142a. The operator can recognize the storage amount of the coolant through the scale displayed on the gauge 142b.

상술한 구성을 갖는 측정 부재(142)는 저장 용기(110) 내 냉각액의 저장량을 측정한다. 그리고, 측정 부재(142)는 측정한 냉각액의 저장량에 대한 데이터를 제 어부(140)로 전송한다. The measuring member 142 having the above-described configuration measures the storage amount of the cooling liquid in the storage container 110. In addition, the measuring member 142 transmits data on the storage amount of the measured coolant to the control unit 140.

제어부(144)는 측정 부재(142)가 측정한 냉각액의 저장량에 대한 데이터를 전송받는다. 그리고, 제어부(144)는 상기 데이터를 기설정된 저장량을 벗어나는지 여부를 판단한다. 만약, 측정 부재(142)가 측정한 냉각액의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나면, 작업자가 이를 인지하도록 표시 부재(146)를 제어한다.The controller 144 receives data on the storage amount of the coolant measured by the measuring member 142. The controller 144 determines whether the data deviates from a preset storage amount. If the storage amount of the cooling liquid measured by the measuring member 142 is out of the preset storage amount, the display member 146 is controlled to recognize the operator.

본 실시예에서는, 제어부(144)가 측정 부재(142)가 측정한 데이터를 판단하여, 표시 부재(146)를 제어하는 방식을 예로 들어 설명하였으나, 측정 부재(142)가 측정한 데이터는 제어부(146)를 거치지 않고 표시 부재(146)로 전달될 수 있다. 예컨대, 측정 부재(142)가 측정한 냉각액의 저장량은 플로트(142a)의 높이에 의해 측정되고, 플로트(142a)의 높이가 기설정된 높이 이하로 내려가면, 게이지(142b)와 연결된 표시 부재(146)에 이를 표시한다. 이때, 표시 부재(146)는 램프 또는 경보장치일 수 있다.In the present exemplary embodiment, the controller 144 determines the data measured by the measurement member 142 and controls the display member 146 as an example. However, the data measured by the measurement member 142 is controlled by the controller ( It may be delivered to the display member 146 without passing through 146. For example, the storage amount of the coolant measured by the measuring member 142 is measured by the height of the float 142a, and when the height of the float 142a falls below a predetermined height, the display member 146 connected to the gauge 142b. ). In this case, the display member 146 may be a lamp or an alarm device.

또한, 본 실시예에서는 측정 부재(142)가 플로트(142a) 및 게이지(142b)를 포함하는 구성을 예로 들어 설명하였으나, 냉각액의 저장량을 측정하는 방식은 다양한 방식으로 수행될 수 있다. 예컨대, 본 발명의 다른 실시예로서, 측정 부재는 저장 용기(110) 외벽에 설치되어, 저장 용기(110) 내 냉각액의 저장량을 감지하는 적어도 하나의 광센서일 수 있다. 상기 광센서는 냉각액의 수면 높이를 감지하여, 냉각액의 저장량을 측정한다. 또한, 본 발명의 또 다른 실시예로서, 측정 부재는 저장 용기(110)의 무게를 측정하여, 저장 용기(110) 내 저장된 냉각액의 저장량을 측정할 수 있다. 즉, 측정 부재는 저장 용기(110)의 무게를 측정하는 로드셀(load- cell)과 같은 구성일 수 있으며, 저장 용기(110)의 하중의 변화값에 따라 냉각액의 저장량을 감지한다.In addition, in the present embodiment, the measurement member 142 includes a configuration including the float 142a and the gauge 142b as an example, but the method of measuring the storage amount of the coolant may be performed in various ways. For example, as another embodiment of the present invention, the measuring member may be installed on the outer wall of the storage container 110, and may be at least one optical sensor that senses a storage amount of the coolant in the storage container 110. The optical sensor senses the surface height of the coolant, and measures the storage amount of the coolant. In addition, as another embodiment of the present invention, the measuring member may measure the weight of the storage container 110 to measure the storage amount of the coolant stored in the storage container 110. That is, the measuring member may have a configuration such as a load cell for measuring the weight of the storage container 110 and detects the storage amount of the coolant according to a change value of the load of the storage container 110.

표시 부재(146)는 냉각액의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나면, 작업자가 이를 인지하도록 표시한다. 표시 부재(146)로는 기설정된 저장량을 표시하는 마이컴, 알람을 발생시키는 경보 장치 및 경보등, 기타 디스플레이 부재 등을 포함하는 그룹 중에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.The display member 146 displays the operator so that if the storage amount of the coolant is out of the preset storage amount, the operator recognizes it. The display member 146 may be at least one selected from the group consisting of a microcomputer for displaying a preset storage amount, an alarm device for generating an alarm and an alarm lamp, and other display members.

상술한 구성을 갖는 냉각 장치(100)는 저장 용기(110) 내 냉각액의 저장량을 자동으로 모니터링할 수 있다.The cooling device 100 having the above-described configuration may automatically monitor the storage amount of the cooling liquid in the storage container 110.

이하, 상기와 같은 구성을 갖는 냉각 장치(100)를 제어하는 방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of controlling the cooling device 100 having the above configuration will be described in detail.

도 3은 본 발명에 따른 냉각 장치의 제어 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 3을 참조하면, 작업자는 냉각액 공급관(미도시됨)에 설치된 밸브를 오픈시켜, 저장 용기(110)에 냉각액을 공급한다. 저장 용기(110)에 냉각액이 기설정된 양만큼 저장되면, 상기 밸브를 클로우즈시킨 후 저장 용기(110) 내 냉각액을 순환시킨다. 즉, 공급 라인(120)은 처리실(10)로 냉각액을 공급하여, 공정 장치(미도시됨)들을 냉각하고, 공정 장치를 냉각한 냉각액은 회수 라인(130)을 통해 저장 용기(110)로 회수된다.3 is a flowchart illustrating a control method of a cooling device according to the present invention. Referring to FIG. 3, an operator opens a valve installed in a coolant supply pipe (not shown) to supply a coolant to the storage container 110. When the coolant is stored in the storage container 110 by a predetermined amount, the valve is closed and then the coolant in the storage container 110 is circulated. That is, the supply line 120 supplies the coolant to the processing chamber 10 to cool the process apparatuses (not shown), and the coolant that cools the process apparatus is recovered to the storage container 110 through the recovery line 130. do.

이때, 측정 부재(142)는 저장 용기(110) 내 냉각액의 저장량을 측정한다(S110). 측정 부재(142)가 측정한 냉각액의 저장량에 대한 데이터는 제어부(144)로 전송된다. 제어부(144)는 측정 부재(142)로부터 상기 데이터를 전송받아, 측정 부 재(142)가 측정한 냉각액의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나는지 여부를 판단한다(S120). 만약, 측정 부재(142)가 측정한 냉각액의 저장량이 기설정된 저장량보다 적으면, 제어부(144)는 냉각 장치(100)의 냉각액 순환을 중단시키고, 작업자가 이를 인지할 수 있도록 표시 부재(146)에 표시한다(S130).At this time, the measuring member 142 measures the storage amount of the coolant in the storage container 110 (S110). Data on the storage amount of the coolant measured by the measuring member 142 is transmitted to the controller 144. The controller 144 receives the data from the measuring member 142, and determines whether the storage amount of the coolant measured by the measuring member 142 is out of a preset storage amount (S120). If the storage amount of the cooling liquid measured by the measuring member 142 is less than the preset storage amount, the controller 144 stops the circulation of the cooling liquid of the cooling apparatus 100 and displays the display member 146 so that an operator can recognize it. To display on (S130).

상기와 같은 냉각 방법은 저장 용기(110) 내 냉각액의 저장량을 모니터링할 수 있다. 따라서, 냉각액 저장량에 문제점 발생시, 이를 작업자에게 자동으로 표시하여 줌으로써, 작업자의 대응 속도를 향상시킨다.The cooling method as described above may monitor the storage amount of the coolant in the storage container 110. Therefore, when a problem occurs in the amount of coolant storage, the operator is automatically displayed, thereby improving the worker's response speed.

이상에서, 본 발명에 따른 냉각 장치 및 방법을 상기한 설명 및 도면에 따라 설명하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경가능함은 물론이다.In the above, the cooling apparatus and method according to the present invention have been described according to the above description and the drawings, but these are merely described, for example, and various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention.

상술한 바와 같이 본 발명에 따른 냉각 장치 및 방법은 저장 용기 내 냉각액의 저장량을 모니터링할 수 있다.As described above, the cooling apparatus and method according to the present invention can monitor the storage amount of the coolant in the storage container.

또한, 본 발명에 따른 냉각 장치 및 방법은 저장 용기 내 냉각액의 저장량을 자동으로 작업자에게 표시한다.In addition, the cooling apparatus and method according to the present invention automatically display the storage amount of the cooling liquid in the storage container to the worker.

Claims (6)

반도체 제조 설비에 사용되는 냉각 장치에 있어서,In the cooling apparatus used for a semiconductor manufacturing facility, 냉각액을 저장하는 공간을 갖는 저장 용기와,A storage container having a space for storing a coolant, 상기 저장 용기에 저장된 냉각액의 저장량을 모니터링하는 모니터링 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.And a monitoring device for monitoring the storage amount of the coolant stored in the storage container. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 반도체 제조 장치는,The semiconductor manufacturing apparatus, 포토리소그래피 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.A cooling device, characterized in that to perform a photolithography process. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 모니터링 장치는,The monitoring device, 상기 저장 용기 내 냉각액의 저장량을 측정하는 측정 부재와,A measuring member for measuring the storage amount of the cooling liquid in the storage container; 상기 측정 부재로부터 냉각액의 저장량에 대한 데이터를 전송받아, 상기 냉각 유체의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나는지 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.And a controller configured to receive data about the storage amount of the cooling liquid from the measuring member and determine whether the storage amount of the cooling fluid is out of a predetermined storage amount. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 측정 부재는,The measuring member, 상기 저장 용기 내 냉각액의 수면의 높이에 따라 부력에 의해 유동되는 플로트와,A float flowing by buoyancy according to the height of the water surface of the coolant in the storage container; 상기 플로트의 유동에 의해 상기 냉각액의 수면 높이를 표시하는 게이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.And a gauge for indicating the water level of the coolant by the flow of the float. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 모니터링 장치는,The monitoring device, 상기 냉각 유체의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나면, 이를 표시하는 표시 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 냉각 장치.And a display member for displaying the cooling fluid when the storage amount of the cooling fluid is out of a predetermined storage amount. 반도체 제조 설비에 사용되는 공정 장치를 냉각하는 방법에 있어서,In the method of cooling the process apparatus used for a semiconductor manufacturing facility, 상기 공정 장치의 냉각을 위해 사용되는 냉각액의 저장량을 측정하여, 측정한 냉각액의 저장량이 기설정된 저장량을 벗어나면 냉각액의 공급을 중단하고, 이를 표시하는 것을 특징으로 하는 냉각 방법.Cooling method characterized in that for measuring the storage amount of the cooling liquid used for the cooling of the process equipment, the supply of the cooling liquid is stopped, if the storage amount of the measured cooling liquid is out of the predetermined storage amount, it is displayed.
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