KR20070077978A - Outdoor fresh air conditioner and method for controlling a temperature and humidity of outdoor fresh air of the outdoor fresh air conditioner - Google Patents

Outdoor fresh air conditioner and method for controlling a temperature and humidity of outdoor fresh air of the outdoor fresh air conditioner Download PDF

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KR20070077978A
KR20070077978A KR1020060007922A KR20060007922A KR20070077978A KR 20070077978 A KR20070077978 A KR 20070077978A KR 1020060007922 A KR1020060007922 A KR 1020060007922A KR 20060007922 A KR20060007922 A KR 20060007922A KR 20070077978 A KR20070077978 A KR 20070077978A
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고길선
양재현
윤소영
황태진
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삼성전자주식회사
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Abstract

An outdoor fresh air conditioner and a method for controlling the temperature and humidity of outdoor fresh air of the outdoor fresh air conditioner are provided to prevent a clean room from being polluted due to outdoor air by installing a pollutant removing unit. An outdoor fresh air conditioner(100) includes an inflow duct(120), a purifying unit, a transferring duct, and a monitoring apparatus. The inflow duct makes outdoor air flow in. The purifying unit has a filter unit(112) filtering pollutants inside the outdoor air introduced through the inflow duct, a temperature controlling unit controlling the temperature of the outdoor air, and a humidity controlling unit controlling the humidity of the outdoor air. The transferring duct transferring the outdoor air from the purifying unit to the inside of a clean room(20). The monitoring apparatus is installed at a discharging unit discharging the outdoor air from the transferring duct to the inside of the clean room, and monitors the temperature and humidity of the outdoor air discharged inside of the clean room.

Description

외조기 및 외조기의 외부 공기 온도 및 습도 제어 방법{OUTDOOR FRESH AIR CONDITIONER AND METHOD FOR CONTROLLING A TEMPERATURE AND HUMIDITY OF OUTDOOR FRESH AIR OF THE OUTDOOR FRESH AIR CONDITIONER}OUTDOOR FRESH AIR CONDITIONER AND METHOD FOR CONTROLLING A TEMPERATURE AND HUMIDITY OF OUTDOOR FRESH AIR OF THE OUTDOOR FRESH AIR CONDITIONER}
도 1은 본 발명에 따른 외조기 및 이를 구비하는 반도체 제조 공장을 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically showing an outer shell according to the present invention and a semiconductor manufacturing plant having the same.
도 2는 본 발명에 따른 외조기의 토출부를 도시한 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing the discharge portion of the outer shell according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 외조기의 외부 공기의 온도 및 습도를 제어하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다.3 is a flowchart illustrating a method of controlling the temperature and humidity of the outside air of the outer shell according to the present invention.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *
1 : 반도체 제조 공장 114 : 온도 조절부1: semiconductor manufacturing plant 114: temperature controller
10 : 처리실 116 : 오염물질 제거부10: treatment chamber 116: pollutant removal unit
20 : 청정실 118 : 습도 조절부20: clean room 118: humidity control unit
30 : 공기 순환부 119 : 송풍기30: air circulation unit 119: blower
40 : 프레임 120 : 유입 덕트40 frame 120 inlet duct
100 : 외조기 130 : 공급 덕트100: outer unit 130: supply duct
112 : 필터부 140 : 모니터링 장치112: filter unit 140: monitoring device
본 발명은 외조기에 대한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 및 평판디스플레이 제조 공정의 청정실에 외부 공기를 공급하는 외조기 및 상기 외조기의 외부 공기의 온도 및 습도를 제어하는 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an outer shell, and more particularly, to an outer shell for supplying the outside air to the clean room of the semiconductor and flat panel display manufacturing process and a method for controlling the temperature and humidity of the outer air of the outer shell.
보통 반도체 및 평판디스플레이 제조 공장은 기판의 처리 공정을 수행하기 위한 청정실 및 상기 청정실 외부에서 상기 청정실 내 공기를 순환시키는 공기순환부를 갖는다. 그리고, 외조기(outdoor fresh air conditioner)는 외부 공기의 온도 및 습도를 조절하고, 외부 공기 내 오염물질들을 제거한 후 제조 공장 내부의 공기순환부 또는 청정실로 외부 공기(outdoor fresh air)를 공급한다. 제조 공장 내로 공급된 외부 공기는 제조 공장 내부에서 순환되어 청정실 내 오염물질을 청정실 외부로 배출되도록 하여 청정실 내 청정도를 유지시킨다.Usually, semiconductor and flat panel display manufacturing plants have a clean room for performing substrate processing and an air circulation unit for circulating air in the clean room outside the clean room. In addition, the outdoor fresh air conditioner controls the temperature and humidity of the outside air, removes contaminants in the outside air, and supplies outdoor fresh air to the air circulation unit or the clean room inside the manufacturing plant. The outside air supplied into the manufacturing plant is circulated inside the manufacturing plant to discharge contaminants in the cleanroom to the outside of the cleanroom to maintain cleanliness in the cleanroom.
일반적인 외조기는 외부 공기의 온도 및 습도를 조절하고, 외부 공기 내 오염물질들을 제거하는 정화부를 갖는다. 정화부는 외부 공기 내 오염물질을 제거하고, 외부 공기의 온도 및 습도를 조절한다. 또한, 정화부는 외부 공기의 온/습도, 공급량, 그리고 외부 공기 내 오염물질의 잔류량 등이 기준치를 벗어나는지 여부를 판단하고, 이를 만족하면 청정실 내부로 외부 공기를 공급시킨다.The general external unit has a purifying unit that controls the temperature and humidity of the outside air and removes contaminants in the outside air. The purifier removes contaminants in the outside air and controls the temperature and humidity of the outside air. In addition, the purifying unit determines whether the temperature / humidity of the external air, the supply amount, and the residual amount of the contaminants in the external air deviate from the standard value, and when the purification unit satisfies this, the external air is supplied into the clean room.
그러나, 상술한 구성을 갖는 외조기는 정화부에서 외부 공기의 온/습도, 공급량 그리고 외부 공긴 내 오염물질의 잔류량 등을 조절하지만, 실질적으로 청정실 이 공급받는 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 유입량은 정화부에서 조절한 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 공급량 등과 다를 수 있다. 즉, 일반적인 외조기는 청정실 내부로 외부 공기를 공급하기 전 정화부에서 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 공급량 등을 제어할 뿐이므로 실질적으로 청정실 내부에서 공급받는 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 유입량 등을 제어할 수 없었다.However, the external unit having the above-described configuration controls the temperature / humidity of the external air, the supply amount and the residual amount of contaminants in the external air in the purifying unit, but the temperature and humidity of the external air supplied to the clean room are substantially The temperature and humidity of the outside air adjusted by the purifying unit, and the amount of supply may be different. In other words, the general external tanker controls only the temperature and humidity of the external air and the supply amount before the external air is supplied to the inside of the clean room. Could not be controlled.
따라서, 정화부에서 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 공급량 등이 제어되어도, 청정실 내부로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 공급량 등이 기설정된 허용치를 벗어나면 청정실 내부에서 외부 공기의 온도 및 습도에 민감한 장치들, 예컨대 노광 장치들의 공정 효율을 저하시킬 수 있다.Therefore, even if the temperature, humidity, and supply amount of the outside air are controlled in the purification unit, if the temperature, humidity, and supply amount of the outside air discharged into the clean room are outside the preset tolerances, the temperature and humidity of the outside air inside the clean room. Sensitive processing devices, such as exposure devices, can reduce process efficiency.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 청정실 내부로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 공급량 등을 모니터링할 수 있는 외조기 및 상기 외조기의 외부 공기 온/습도 제어 방법을 제공함에 있다.An object of the present invention for solving the above problems is to provide an external tank that can monitor the temperature and humidity of the external air discharged into the clean room, and the supply amount and the external air temperature / humidity control method of the external tank. .
본 발명의 또 다른 목적은 외부 공기에 의해 청정실이 오염되는 것을 방지할 수 있는 외조기 및 상기 외조기의 외부 공기 온/습도를 제어 방법을 제공함에 있다.Still another object of the present invention is to provide an external air conditioner capable of preventing contamination of a clean room by external air and a method of controlling external air temperature / humidity of the external air conditioner.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 외조기는 외부 공기를 유입시키는 유입덕트, 상기 유입덕트를 통해 유입된 외부 공기 내 오염물질을 필터링하는 필터부 및 외부 공기의 온도를 조절하는 온도 조절부, 그리고 외부 공기의 습도를 조절하는 습도 조절부를 갖는 정화부, 상기 정화부로부터 상기 청정실 내부로 외부 공기를 이송시키는 이송덕트, 그리고 상기 이송 덕트에서 상기 청정실 내부로 외부 공기를 토출시키는 토출부에 설치되어 상기 청정실 내부로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도를 모니터링하는 모니터링 장치를 포함한다.The outer shell according to the present invention for achieving the above object is an inlet duct for introducing outside air, a filter unit for filtering the contaminants in the outside air introduced through the inlet duct and a temperature control unit for adjusting the temperature of the outside air And a purifying unit having a humidity control unit for controlling humidity of external air, a transfer duct for transferring external air from the purifying unit to the inside of the clean room, and a discharge unit for discharging external air from the transfer duct into the clean room. And a monitoring device for monitoring the temperature and humidity of the external air discharged into the clean room.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 모니터링 장치는 상기 청정실로 유입되는 외부 공기의 온도 및 습도를 측정하는 감지 부재 및 상기 감지 부재가 측정한 데이터를 전송받아 상기 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어부를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the monitoring device receives a sensing member for measuring the temperature and humidity of the outside air flowing into the clean room and the data measured by the sensing member is a predetermined tolerance value of the temperature and humidity of the outside air It includes a control unit for determining whether or not.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제어부는 상기 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나면 상기 정화부를 제어하여 상기 외부 공기의 온도 및 습도를 조절한다.According to an embodiment of the present invention, the controller controls the purification unit to adjust the temperature and humidity of the outside air when the temperature and humidity of the outside air deviate from a preset allowable value.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 정화부는 외부 공기 내 오염물질을 필터링하는 필터부, 외부 공기의 온도를 조절하는 온도 조절부, 외부 공기 내 오염물질을 제거하는 오염물질 제거부, 외부 공기의 습도를 조절하는 습도 조절부, 그리고 송풍기를 포함할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the purifying unit may include a filter unit filtering contaminants in the outside air, a temperature control unit controlling a temperature of the outside air, a pollutant removing unit removing the pollutants in the outside air, and humidity of the outside air. Humidity control unit for adjusting, and may include a blower.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 모니터링 장치는 상기 감지 부재가 측정한 외부 공기의 온도 및 습도 또는 상기 제어부가 판단한 결과를 표시하는 표시 부재를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the monitoring device further includes a display member for displaying the temperature and humidity of the outside air measured by the sensing member or the result determined by the controller.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 외조기에 의해 청정실로 유입되는 외부 공기의 온도 및 습도를 제어하는 방법은 상기 청정실로 외부 공기가 토 출되는 토출부에서 외부 공기의 온도 및 습도를 파악하여, 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나는지 여부를 판단하여 상기 온도 및 습도를 조절한다.The method for controlling the temperature and humidity of the outside air introduced into the clean room by the external unit according to the present invention for achieving the above object is to grasp the temperature and humidity of the outside air from the discharge portion to which the outside air is discharged to the clean room The temperature and humidity are adjusted by determining whether the temperature and humidity of the outside air deviate from a preset allowable value.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 외부 공기의 온도 및 습도의 파악은 외부 공기가 소정의 공정이 수행되는 처리실로 토출되는 부분에서 이루어지고, 상기 온도 및 습도의 조절은 상기 외조기에서 상기 온도 및 습도를 조절하는 정화부에서 이루어진다.According to an embodiment of the present invention, the grasp of the temperature and humidity of the outside air is made in a portion where the outside air is discharged to the processing chamber in which a predetermined process is performed, and the adjustment of the temperature and humidity is carried out at the temperature controller and the temperature. It is done in the purification section to control the humidity.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명된 실시예에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예는 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호로 표시된 부분들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the invention is not limited to the embodiments described herein but may be embodied in other forms. Rather, the embodiments introduced herein are provided so that the disclosure may be made thorough and complete, and to fully convey the spirit of the invention to those skilled in the art. Portions denoted by like reference numerals denote like elements throughout the specification.
(실시예)(Example)
도 1은 본 발명에 따른 외조기 및 이를 구비하는 반도체 제조 공장을 개략적으로 도시한 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 외조기의 토출부를 도시한 사시도이다.1 is a configuration diagram schematically showing an outer shell according to the present invention and a semiconductor manufacturing plant having the same, and FIG. 2 is a perspective view showing a discharge part of the outer shell according to the present invention.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 제조 공장(1)은 처리실(10) 및 외조기(100)를 포함한다. 처리실(10)은 기판 처리 공정을 수행하기 위한 청정실(20), 청 정실(20) 내부 및 외부에서 외부 공기를 순환시키기 위한 공기순환부(30), 그리고 청정실(20) 및 공기순환부(30)가 설치되기 위한 프레임(40)을 포함한다. Referring to FIG. 1, the manufacturing plant 1 according to the present invention includes a processing chamber 10 and an external tank 100. The processing chamber 10 includes a clean room 20 for performing a substrate processing process, an air circulation unit 30 for circulating external air in and outside the clean room 20, and the clean room 20 and the air circulation unit 30. ) Includes a frame 40 to be installed.
청정실(20)은 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 또는 평판 디스플레이 제조에 사용되는 유리 기판을 처리하는 공간을 갖는다. 이를 위해, 청정실(20) 내부 공간에는 소정의 공정을 수행하는 장치들(미도시됨)이 설치된다. 청정실(20)의 상부에는 외부 공기를 청정실(20) 내 공간으로 유입시키고, 외부 공기 내 오염 물질을 제거하는 복수개의 필터(22)들이 설치된다. 필터(22)들은 후술할 외조기(100)로부터 공급되는 외부 공기 내 잔류하는 오염물질을 최종적으로 필터링한다. 청정실(20)의 바닥에는 청정실(20) 내 공간으로부터 외부 공기가 배출되는 배출홀들이 형성된 격자판(24)들이 설치된다.The clean room 20 has a space for processing a wafer used for semiconductor manufacturing or a glass substrate used for flat panel display manufacturing. To this end, devices (not shown) that perform a predetermined process are installed in the interior space of the clean room 20. In the upper portion of the clean room 20, a plurality of filters 22 are installed to introduce external air into the space in the clean room 20 and remove contaminants in the outside air. The filters 22 finally filter the contaminants remaining in the outside air supplied from the outer tank 100 to be described later. On the bottom of the clean room 20, grating plates 24 having discharge holes through which external air is discharged from a space in the clean room 20 are installed.
본 실시예에서는 청정실(20)이 반도체 및 평판 디스플레이 분야에서 사용되는 클린룸(cleanroom)을 예로 들어 설명하였으나, 청정실(20)은 다양한 산업 분야에서 사용될 수 있다.In the present embodiment, the clean room 20 is described as a clean room used in the semiconductor and flat panel display fields as an example, but the clean room 20 may be used in various industrial fields.
공기순환부(30)는 청정실(20) 외부에서 외부 공기를 순환시킨다. 즉, 공기순환부(30)는 청정실(20) 외부에서 청정실(20)을 감싸는 공간을 갖으며, 상기 공간은 청정실(20)의 격자판(24)으로 배출되는 공기를 순환시켜 청정실(20)의 필터(22)들을 통해 청정실(20)로 공급한다. 그리고, 공기순환부(30)는 일정량의 공기를 처리실(10) 외부로 배출시키는 배출부(미도시됨)을 갖는다. 상기 배출부는 청정실(20) 내 순환하는 공기들 중 일부를 처리실(10) 외부로 배출시킨다. 그리고, 외조기(100)는 배출된 일부 공기만큼 처리실(10)로 외부 공기를 공급시킨다.The air circulation unit circulates outside air outside the clean room 20. That is, the air circulation unit 30 has a space surrounding the clean room 20 outside the clean room 20, and the space circulates air discharged to the grid 24 of the clean room 20 to clean the room 20. The filter 22 is supplied to the clean room 20. The air circulation unit 30 has a discharge unit (not shown) for discharging a predetermined amount of air to the outside of the processing chamber 10. The discharge part discharges some of the air circulated in the clean room 20 to the outside of the process room 10. The outer tank 100 supplies external air to the processing chamber 10 as much as the discharged air.
외조기(100)는 정화부(110), 유입 덕트(120), 공급덕트(130), 모니터링 장치(140)를 포함한다. 정화부(110)는 외부 공기의 온도 및 습도 조절, 그리고 외부 공기 내 오염물질의 제거 등을 수행한다. 이를 위해, 정화부(110)는 유입부 및 공급부(111a, 111b), 필터부(112), 온도 조절부(114), 오염물질 제거부(116), 습도 조절부(118), 그리고 송풍기(119)를 포함한다.The outer tank 100 includes a purification unit 110, an inlet duct 120, a supply duct 130, and a monitoring device 140. The purification unit 110 controls the temperature and humidity of the outside air, and removes contaminants in the outside air. To this end, the purifying unit 110 is an inlet and a supply unit (111a, 111b), filter unit 112, temperature control unit 114, pollutant removal unit 116, humidity control unit 118, and a blower ( 119).
유입부(111a)는 유입 덕트(120)로부터 외부 공기가 유입된다. 그리고, 공급부(111b)는 정화부(110)로부터 공급 덕트(130)로 외부 공기가 공급된다.Inlet 111a receives external air from the inlet duct 120. In addition, the supply unit 111b is supplied with external air from the purification unit 110 to the supply duct 130.
필터부(112)는 외부 공기 내 오염물질을 필터링한다. 이를 위해, 필터부(112)는 제 1 내지 제 3 필터(112a, 112b, 112c)를 갖는다. 제 1 필터(112a)는 외부 공기 내 비교적 큰 오염물질을 1차적으로 걸러준다. 제 2 필터(112b)는 제 1 필터(112a)에 의해 걸러진 외부 공기 내 오염물질을 2차적으로 걸러준다. 그리고 제 3 필터(112c)는 최종적으로 외부 공기 내 파티클을 걸러준다. 제 3 필터(112c)는 외부 공기 내 음이온 분자상 오염물질을 제거할 수 있다. 필터부(112)는 외부 공기 내 비교적 큰 입자의 오염물질을 제거하며, 미세한 오염물질의 제거는 오염물질 제거부(116)에 의해 이루어진다. The filter unit 112 filters contaminants in the outside air. To this end, the filter unit 112 has first to third filters 112a, 112b, 112c. The first filter 112a primarily filters relatively large contaminants in the outside air. The second filter 112b secondaryly filters the contaminants in the outside air filtered by the first filter 112a. The third filter 112c finally filters particles in the outside air. The third filter 112c may remove anion molecular contaminants in the outside air. The filter unit 112 removes relatively large particles of contaminants in the outside air, and the fine contaminants are removed by the contaminant removing unit 116.
온도 조절부(114)는 외부 공기의 온도를 조절한다. 이를 위해, 온도 조절부(114)는 냉각기(114a) 및 가열기(114b)를 포함한다. 냉각기(114a)는 외부 공기의 온도가 기설정된 온도보다 높은 경우에 작동하고, 가열기(114b)는 외부 공기의 온도가 기설정된 온도보다 낮은 경우에 작동한다. 이를 위해, 냉각기(114a) 및 가열기(114b)는 각각 쿨링 코일(미도시됨) 및 히팅 코일(미도시됨)을 갖는다.The temperature controller 114 adjusts the temperature of the outside air. To this end, the temperature control unit 114 includes a cooler 114a and a heater 114b. The cooler 114a operates when the temperature of the outside air is higher than the preset temperature, and the heater 114b operates when the temperature of the outside air is lower than the preset temperature. To this end, the cooler 114a and the heater 114b have a cooling coil (not shown) and a heating coil (not shown), respectively.
오염물질 제거부(116)는 외부 공기 내 오염물질을 제거한다. 이때, 오염물질 제거부(116)가 제거하는 오염물질은 비교적 미세한 입자의 파티클이다. 이를 위해, 오염물질 제거부(116)는 정화부(100)를 흐르는 외부 공기로 탈이온수를 분사시켜, 탈이온수에 의해 외부 공기 내 오염물질 제거한다. 오염물질 제거부(116)에는 탈이온수를 공급하기 위한 노즐(미도시됨)이 설치될 수 있다.The pollutant removing unit 116 removes pollutants in the outside air. At this time, the pollutants removed by the pollutant removing unit 116 are particles of relatively fine particles. To this end, the pollutant removing unit 116 sprays deionized water into the outside air flowing through the purification unit 100 to remove pollutants in the outside air by the deionized water. The pollutant removal unit 116 may be provided with a nozzle (not shown) for supplying deionized water.
습도 조절부(118)는 외부 공기의 습도를 조절한다. 이를 위해, 습도 조절부(118)에는 외부 공기의 습도를 측정할 수 있는 감지부재(미도시됨)가 설치될 수 있다. 상기 감지부재는 외부 공기의 습도를 측정하며, 습도 조절부(118)는 상기 감지부재가 측정한 외부 공기의 습도에 따라 외부 공기의 습도를 기설정된 습도로 조절한다.Humidity control unit 118 adjusts the humidity of the outside air. To this end, the humidity control unit 118 may be provided with a sensing member (not shown) that can measure the humidity of the outside air. The sensing member measures the humidity of the outside air, and the humidity controller 118 adjusts the humidity of the outside air to a predetermined humidity according to the humidity of the outside air measured by the sensing member.
송풍기(119)는 외부 공기를 처리실(10)로 공급시킨다. 즉, 송풍기(119)는 유입덕트(120)를 통해 외부 공기가 정화부(110)로 공급되도록 공급압을 제공하고, 공급덕트(130)를 통해 외부 공기가 처리실(10)로 공급되도록 공급압을 제공한다.The blower 119 supplies external air to the processing chamber 10. That is, the blower 119 provides a supply pressure so that the outside air is supplied to the purification unit 110 through the inlet duct 120, and the supply pressure so that the outside air is supplied to the processing chamber 10 through the supply duct 130. To provide.
유입 덕트(120)는 외부 공기를 정화부(110)의 유입부(111a)로 유입시킨다. 유입 덕트(120)는 복수개가 설치될 수 있다. 정화부(110)는 설치된 송풍기(119)에 의해 외부 공기를 정화부(110)로 유입시킨다. 그리고, 공급 덕트(130)는 정화부(110)d의 공급부(111b)로부터 처리실(10)로 외부 공기를 공급시킨다. 공급 덕트(130)의 일단은 처리실(10) 내부로 연장된다. 그리고, 처리실(10)로 연장된 공급덕트(130)의 일단에는 외부 공기가 처리실(10)로 배출되는 토출 부재(도 2의 참조번호(132))를 갖는다. 토출 부재(132)는 공급덕트(130)가 공급하는 외부 공기가 처리 실(10) 내부, 특히 청정실(20)로 토출되기 위한 것이다.The inlet duct 120 introduces external air into the inlet 111a of the purification unit 110. A plurality of inlet ducts 120 may be installed. The purifying unit 110 introduces external air into the purifying unit 110 by the installed blower 119. And the supply duct 130 supplies external air to the process chamber 10 from the supply part 111b of the purification part 110d. One end of the supply duct 130 extends into the process chamber 10. One end of the supply duct 130 extending to the processing chamber 10 has a discharge member (reference numeral 132 of FIG. 2) through which external air is discharged to the processing chamber 10. The discharge member 132 is for discharging the outside air supplied by the supply duct 130 into the processing chamber 10, particularly the clean chamber 20.
모니터링 장치(140)는 처리실(10)로 공급되는 외부 공기의 온도 및 습도를 제어한다. 또한, 모니터링 장치(140)는 외부 공기의 공급량 또한 제어할 수 있다. 도 2를 참조하면, 모니터링 장치(140)는 감지 부재(142) 및 제어부(144)를 포함한다. 감지 부재(142)는 토출 부재(132)에 설치된다. 일 예로서, 감지 부재(142)는 토출 부재(132)의 토출구(132a)를 통해 처리실(10)로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도를 측정하도록 설치된다. 또한, 감지 부재(142)는 토출구(132a)를 통해 토출되는 외부 공기의 토출량도 측정할 수 있다. 감지 부재(142)는 외부 공기의 온도 및 습도를 측정하고, 측정한 데이터를 제어부(144)로 전송한다.The monitoring device 140 controls the temperature and humidity of the outside air supplied to the process chamber 10. In addition, the monitoring device 140 may also control the supply amount of external air. 2, the monitoring device 140 includes a sensing member 142 and a controller 144. The sensing member 142 is installed in the discharge member 132. As an example, the sensing member 142 is installed to measure the temperature and humidity of the external air discharged to the process chamber 10 through the discharge port 132a of the discharge member 132. In addition, the sensing member 142 may also measure the discharge amount of the external air discharged through the discharge port 132a. The sensing member 142 measures the temperature and humidity of the outside air and transmits the measured data to the controller 144.
제어부(144)는 감지 부재(142)로부터 외부 공기의 온도 및 습도에 데이터를 전송받는다. 제어부(144)는 감지 부재(142)로부터 데이터를 전송받아 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나는지 여부를 판단하여 외부 공기의 온도 및 습도를 조절한다.The control unit 144 receives data on the temperature and humidity of the outside air from the sensing member 142. The controller 144 receives data from the sensing member 142 to determine whether the temperature and humidity of the outside air deviate from a preset allowance, and adjusts the temperature and humidity of the outside air.
제어부(144)에는 감지 부재(142)가 측정한 외부 공기의 온도 및 습도에 대한 데이터를 디스플레이하는 표시 부재(미도시됨)가 제공될 수 있다. 상기 표시 부재는 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 공급량을 작업자가 인지하도록 표시한다. 또는, 상기 표시 부재는 외부 공기의 온도 및 습도가 허용치를 벗어나면 경보를 발생시키는 경보 장치일 수 있다.The controller 144 may be provided with a display member (not shown) that displays data on temperature and humidity of the outside air measured by the sensing member 142. The display member displays the temperature and humidity of the external air, and the supply amount so that an operator may recognize the display member. Alternatively, the display member may be an alarm device that generates an alarm when the temperature and humidity of the outside air deviate from allowable values.
상술한 구성을 갖는 모니터링 장치(140)는 처리실(10) 내부로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도를 모니터링할 수 있다. The monitoring device 140 having the above-described configuration may monitor the temperature and humidity of the external air discharged into the process chamber 10.
이하, 상술한 구성을 갖는 외조기(100)의 동작 과정 및 효과를 상세히 설명한다.Hereinafter, an operation process and effects of the outer shell 100 having the above-described configuration will be described in detail.
도 3은 본 발명에 따른 처리실로 유입되는 외부 공기의 온도 및 습도를 제어하는 방법을 설명하기 위한 순서도이다. 도 3을 참조하면, 외조기(100)의 공정이 개시되면, 정화부(110)는 유입덕트(120)로부터 외부 공기를 유입받는다. 정화부(110)로 유입된 외부 공기는 필터부(112), 온도 조절부(114), 오염물질 제거부(116), 그리고 습도 조절부(118)를 순차적으로 흐르면서 온도 및 습도의 조절, 그리고 오염물질의 제거가 이루어진다.3 is a flowchart illustrating a method of controlling the temperature and humidity of the outside air flowing into the process chamber according to the present invention. Referring to FIG. 3, when the process of the outer tank 100 is started, the purification unit 110 receives external air from the inlet duct 120. The outside air introduced into the purification unit 110 flows through the filter unit 112, the temperature control unit 114, the pollutant removal unit 116, and the humidity control unit 118 in order to control temperature and humidity, and Removal of contaminants takes place.
정화부(110)에 의해 온도 및 습도의 조절, 그리고 오염물질의 제거가 이루어진 외부 공기는 공급 덕트(130)에 의해 처리실(10)로 공급된다. 이때, 외부 공기는 처리실(10)의 토출 부재(132)에 의해 처리실(10)로 토출된다. 그리고, 모니터링 장치(140)의 감지 부재(142)는 토출 부재(132)의 토출구(132a)를 통해 처리실(10)로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도를 감지한다(S110).The outside air, in which the temperature and humidity are controlled by the purification unit 110 and the pollutants are removed, is supplied to the process chamber 10 by the supply duct 130. At this time, the outside air is discharged to the processing chamber 10 by the discharge member 132 of the processing chamber 10. In addition, the sensing member 142 of the monitoring device 140 senses the temperature and humidity of the external air discharged to the process chamber 10 through the discharge port 132a of the discharge member 132 (S110).
감지 부재(142)에 의해 감지된 외부 공기의 온도 및 습도에 대한 데이터는 제어부(144)로 전송된다. 제어부(144)는 상기 데이터로부터, 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나는지 여부를 판단한다(S120). 이때, 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나면, 제어부(144)는 외부 공기의 온도 및 습도가 조절되도록 정화부(110)를 제어한다(S130). Data on the temperature and humidity of the outside air detected by the sensing member 142 is transmitted to the controller 144. The controller 144 determines whether the temperature and humidity of the outside air deviate from a preset allowable value from the data (S120). In this case, when the temperature and humidity of the outside air deviate from the preset allowable value, the controller 144 controls the purification unit 110 to adjust the temperature and humidity of the outside air (S130).
상술한 온도 및 습도를 조절하는 방법은 외조기(100)가 최종적으로 처리실(10)로 공급하는 외부 공기의 온도 및 습도를 모니터링할 수 있으므로, 정화부 (110)로부터 토출 부재(132)로 외부 공기가 공급되는 과정에서 외부 공기의 온도 및 습도가 변화하는 경우를 신속하게 판단할 수 있다.Since the method of controlling the temperature and humidity described above may monitor the temperature and humidity of the external air finally supplied to the process chamber 10 by the outer tank 100, the external unit 100 may be externally discharged from the purification unit 110 to the discharge member 132. It is possible to quickly determine when the temperature and humidity of the outside air change while the air is supplied.
또한, 본 발명에 따른 온도 및 습도 조절 방법은 처리실(10) 내부로 토출되는 온도 및 습도를 감지하여, 외조기(100)의 정화부(110)를 자동으로 조절함으로써, 외부 공기의 온도 및 습도의 조절을 자동으로 수행할 수 있다.In addition, the temperature and humidity control method according to the present invention by sensing the temperature and humidity discharged into the process chamber 10, by automatically adjusting the purification unit 110 of the outer tank 100, the temperature and humidity of the outside air The adjustment of can be done automatically.
본 실시예에서는 제어부(144)가 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나는 경우에 정화부(110)를 제어하여 외부 공기의 온도 및 습도를 조절하는 것을 예로 들어 설명하였으나, 외부 공기의 온도 및 습도를 조절하는 방식은 다양하게 적용될 수 있다. 예컨대, 제어부(144)는 토출 부재(144)에 의해 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도를 조절하는 온/습도 조절장치(미도시됨)을 구비하여, 자체적으로 외부 공기의 온도 및 습도를 조절할 수 있다.In the present exemplary embodiment, the controller 144 controls the purification unit 110 to adjust the temperature and humidity of the external air when the temperature and humidity of the external air deviate from a preset allowable value. And a method of controlling humidity may be variously applied. For example, the controller 144 may include a temperature / humidity control device (not shown) that adjusts the temperature and humidity of the external air discharged by the discharge member 144 to adjust the temperature and humidity of the external air by itself. have.
또한, 본 실시예에서는 모니터링 장치(140)가 토출 부재(132)에 설치되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 모니터링 장치(140)는 처리실(10)로 유입되는 외부 공기의 온도 및 습도를 모니터링하기 위한 것이며, 모니터링 장치(140)의 배치는 다양한 위치에 설치될 수 있다.In addition, in the present embodiment, the monitoring device 140 is described as an example installed in the discharge member 132, the monitoring device 140 is for monitoring the temperature and humidity of the outside air flowing into the processing chamber 10, The arrangement of the monitoring device 140 may be installed at various locations.
이상에서, 본 발명에 따른 에어 샤워 시스템 및 방법을 상기한 설명 및 도면에 따라 설명하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경가능함은 물론이다.In the above, the air shower system and method according to the present invention has been described in accordance with the above description and drawings, but this is merely an example, and various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. .
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 외조기에 의해 청정실로 유입되는 외부 공 기의 온도 및 습도를 제어하는 방법은 청정실로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 토출량을 모니터링할 수 있다.As described above, the method for controlling the temperature and humidity of the external air introduced into the clean room by the external heater according to the present invention may monitor the temperature and humidity of the external air discharged to the clean room, and the discharge amount.
또한, 본 발명에 따른 외조기 및 상기 외조기에 의해 청정실로 유입되는 외부 공기의 온도 및 습도를 제어하는 방법은 청정실로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 토출량을 자동으로 조절할 수 있다.In addition, the outer tank according to the present invention and the method for controlling the temperature and humidity of the external air introduced into the clean room by the outer tank can automatically adjust the temperature and humidity, and the discharge amount of the external air discharged to the clean room.

Claims (5)

  1. 청정실로 외부 공기를 공급하는 외조기에 있어서,In the external unit supplying the outside air to the clean room,
    외부 공기를 유입시키는 유입덕트와,Inlet duct for introducing outside air,
    상기 유입덕트를 통해 유입된 외부 공기 내 오염물질을 필터링하는 필터부 및 외부 공기의 온도를 조절하는 온도 조절부, 그리고 외부 공기의 습도를 조절하는 습도 조절부를 갖는 정화부와,A purifying unit having a filter unit for filtering the contaminants in the outside air introduced through the inlet duct, a temperature control unit for controlling the temperature of the outside air, and a humidity control unit for controlling the humidity of the outside air;
    상기 정화부로부터 상기 청정실 내부로 외부 공기를 이송시키는 이송덕트와,A transfer duct for transferring external air from the purification unit into the clean room;
    상기 이송 덕트에서 상기 청정실 내부로 외부 공기를 토출시키는 토출부에 설치되어 상기 청정실 내부로 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도를 모니터링하는 모니터링 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 외조기.And a monitoring device installed in a discharge unit for discharging external air from the transfer duct into the clean room to monitor the temperature and humidity of the external air discharged into the clean room.
  2. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 모니터링 장치는,The monitoring device,
    상기 청정실로 유입되는 외부 공기의 온도 및 습도, 그리고 토출량을 측정하는 감지 부재와,Sensing member for measuring the temperature and humidity of the outside air flowing into the clean room, and the discharge amount;
    상기 감지 부재가 측정한 데이터를 전송받아 상기 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나는지 여부를 판단하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 외조기.And a controller configured to receive the data measured by the sensing member and determine whether the temperature and humidity of the outside air deviate from a preset allowable value.
  3. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2,
    상기 제어부는,The control unit,
    상기 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나면 상기 정화부를 제어하여 상기 외부 공기의 온도 및 습도를 조절하는 것을 특징으로 하는 외조기.When the temperature and humidity of the outside air deviates from a predetermined allowable value, the outer unit is characterized in that to control the purification unit to adjust the temperature and humidity of the outside air.
  4. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method of claim 2 or 3,
    상기 모니터링 장치는,The monitoring device,
    상기 감지 부재가 측정한 외부 공기의 온도 및 습도 또는 상기 제어부가 판단한 결과를 표시하는 표시 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 외조기.And a display member for displaying the temperature and humidity of the outside air measured by the sensing member or the result determined by the controller.
  5. 외조기에 의해 청정실로 유입되는 외부 공기의 온도 및 습도를 제어하는 방법에 있어서,In the method for controlling the temperature and humidity of the outside air flowing into the clean room by the external heater,
    상기 청정실로 외부 공기가 토출되는 외부 공기의 온도 및 습도가 기설정된 허용치를 벗어나는지 여부를 판단하여, 상기 온도 및 습도를 조절하는 것을 특징으로 하는 외조기의 온도 및 습도 제어 방법.And controlling the temperature and humidity by determining whether the temperature and humidity of the external air from which the external air is discharged to the clean room deviate from a preset allowable value, and controlling the temperature and humidity.
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