KR20070076336A - 액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치 - Google Patents

액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20070076336A
KR20070076336A KR1020060005576A KR20060005576A KR20070076336A KR 20070076336 A KR20070076336 A KR 20070076336A KR 1020060005576 A KR1020060005576 A KR 1020060005576A KR 20060005576 A KR20060005576 A KR 20060005576A KR 20070076336 A KR20070076336 A KR 20070076336A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
pattern
color filter
liquid crystal
thin film
Prior art date
Application number
KR1020060005576A
Other languages
English (en)
Inventor
허철
김병주
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020060005576A priority Critical patent/KR20070076336A/ko
Publication of KR20070076336A publication Critical patent/KR20070076336A/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66BELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
    • B66B5/00Applications of checking, fault-correcting, or safety devices in elevators
    • B66B5/02Applications of checking, fault-correcting, or safety devices in elevators responsive to abnormal operating conditions
    • B66B5/16Braking or catch devices operating between cars, cages, or skips and fixed guide elements or surfaces in hoistway or well
    • B66B5/18Braking or catch devices operating between cars, cages, or skips and fixed guide elements or surfaces in hoistway or well and applying frictional retarding forces
    • B66B5/22Braking or catch devices operating between cars, cages, or skips and fixed guide elements or surfaces in hoistway or well and applying frictional retarding forces by means of linearly-movable wedges
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B66HOISTING; LIFTING; HAULING
    • B66BELEVATORS; ESCALATORS OR MOVING WALKWAYS
    • B66B5/00Applications of checking, fault-correcting, or safety devices in elevators
    • B66B5/02Applications of checking, fault-correcting, or safety devices in elevators responsive to abnormal operating conditions
    • B66B5/04Applications of checking, fault-correcting, or safety devices in elevators responsive to abnormal operating conditions for detecting excessive speed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

본 발명은 액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 액정표시장치의 제조방법은 컬러필터 상에 네가티브 감광물질 및 포지티브 감광물질 중 어느 하나로 이루어진 제1층 및 상기 제1층 상에 위치하며 네가티브 감광물질 및 포지티브 감광물질 중 다른 하나로 이루어진 제2층을 포함하는 감광층을 형성하고, 상기 제2층을 길게 연장된 유지패턴을 가진 마스크를 사용하여 노광하고 현상하여 상기 유지패턴에 대응하는 제2층 패턴을 형성한 후, 상기 제2층 패턴 및 상기 제2층 패턴이 가리지 않은 상기 제1층 상에 투명전극층을 형성하고, 상기 제2층 패턴을 제거하여 상기 제2층 패턴에 대응하는 공통전극 절개패턴을 가지는 공통전극을 형성하여 컬러필터 기판을 마련하는 것을 특징으로 한다. 이에 의해 투명전극층에 대한 별도의 패터닝 없이 공통전극 절개패턴을 형성할 수 있다.

Description

액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치{METHOD OF MANUFACTURING LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE THEREBY}
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 배치를 설명하기 위한 도면이고,
도 2는 도 1a의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 단면을 나타낸 도면이고,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 시인성 개선 원리를 나타낸 도면이고,
도 4 내지 도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명하기 위한 도면이고,
도 9 및 도 10은 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 다른 제조방법을 설명하기 위한 도면이고,
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시장치를 설명하기 위한 단면도이다.
* 도면의 주요부분의 부호에 대한 설명 *
121 : 게이트선 122 : 게이트 전극
123 : 공통전극선 131 : 게이트 절연막
132 : 반도체층 133 : 저항 접촉층
141 : 데이터선 142 : 소스 전극
143 : 드레인 전극 151 : 제1보호막
161 : 제1화소 구역 162 : 제2화소 구역
172 : 화소전극 절단패턴 173 : 화소전극 절개패턴
221 : 블랙매트릭스 231 : 컬러필터
241 : 쿠션층 251 : 오버코트층
261 : 공통전극 262 : 공통전극 절개패턴
본 발명은 액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치에 관한 것이다.
액정표시장치는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 박막트랜지스터 기판과 컬러필터가 형성되어 있는 컬러필터 기판, 그리고 이들 사이에 액정층이 위치하고 있는 액정 표시 패널을 포함한다. 액정 표시 패널은 비발광소자이기 때문에 박막트랜지스터 기판의 후면에는 빛을 조사하기 위한 백라이트 유닛이 위치한다. 이러한 구성의 액정표시장치는 박형, 소형, 저소비 전력에는 유리하나, 대형화, 풀컬러(full color) 실현, 컨트라스트(contrast) 향상 및 시야각 등에 있어서는 약점이 있다.
PVA(patterned vertically aligned) 모드는 액정표시장치의 시야각을 개선하 기 위한 모드로서, VA모드 중 화소전극과 공통전극에 각각 절개패턴을 형성한 것을 가리킨다. 이들 절개패턴으로 인하여 형성되는 프린지 필드(fringe field)를 이용하여 액정 분자들이 눕는 방향을 조절함으로써 시야각이 향상된다.
그런데 PVA 모드에 있어서는, 공통전극에 절개패턴을 형성하기 위해 별도의 패터닝 과정이 필요한 문제가 있다.
따라서 본 발명의 목적은 별도의 패터닝 없이 절개패턴을 가지는 공통전극을 형성하는 표시장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 별도의 패터닝 없이 형성되었으며 절개패턴을 가지는 공통전극을 포함하는 표시장치를 제공하는 것이다.
상기의 목적은, 절연기판 상에 컬러필터를 형성하는 단계와; 상기 컬러필터 상에 네가티브 감광물질 및 포지티브 감광물질 중 어느 하나로 이루어진 제1층과, 상기 제1층 상에 위치하며 네가티브 감광물질 및 포지티브 감광물질 중 다른 하나로 이루어진 제2층을 포함하는 감광층을 형성하는 단계와; 상기 제2층을 길게 연장된 유지패턴을 가진 마스크를 사용하여 노광하고 현상하여 상기 유지패턴에 대응하는 제2층 패턴을 형성하는 단계와; 상기 제2층 패턴 및 상기 제2층 패턴이 가리지 않은 상기 제1층 상에 투명전극층을 형성하는 단계와; 상기 제2층 패턴을 제거하여 상기 제2층 패턴에 대응하는 공통전극 절개패턴을 가지는 공통전극을 형성하여 컬러필터 기판을 마련하는 단계를 포함하는 표시장치의 제조방법에 의하여 달성된다.
상기 제1층이 네가티브 감광물질로 이루어진 경우, 상기 유지패턴은 차광패턴으로 마련된다. 반대로, 상기 제1층이 포지티브 감광물질로 이루어진 경우, 상기 유지패턴은 투광패턴으로 마련된다.
상기 감광층은 상기 제1층과 상기 제2층을 포함하는 다층 필름을 상기 컬러필터 상에 부착하여 형성될 수 있다. 여기서, 상기 다층 필름은 쿠션층을 더 포함하며, 상기 쿠션층은 상기 컬러필터에 직접 접할 수 있다. 상기 쿠션층은 열에 의해 경화되는 것이 바람직하다.
액정표시장치는 박막트랜지스터와 액정층을 더 포함하는데, 이를 위해 박막트랜지스터 및 상기 박막트랜지스터와 연결되어 있으며 화소전극 절개패턴을 가지는 화소전극을 포함하는 박막트랜지스터 기판을 마련하는 단계와, 상기 컬러필터 기판과 상기 박막트랜지스터 기판 사이에 VA(vertical alignment) 모드의 액정층을 형성하는 단계를 더 포함한다.
상기 제2층 패턴의 높이는 안정적인 공통전극 절개패턴 형성을 위해 1㎛ 내지 4㎛인 것이 적절하다.
상기 본 발명의 다른 목적은 제1절연기판, 상기 제1절연기판 상에 형성되어 있는 박막트랜지스터 및 상기 박막트랜지스터에 연결되어 있으며 화소전극 절개패턴이 형성되어 있는 화소전극을 포함하는 박막트랜지스터 기판과; 상기 박막트랜지스터 기판과 대향하며, 상기 제2절연기판, 상기 제2절연기판 상에 형성되어 있는 컬러필터, 상기 컬러필터 상에 형성되어 있으며 열에 의해 경화된 고분자로 이루어져 있는 쿠션층, 상기 쿠션층 상에 형성되어 있으며 아크릴계 고분자로 이루어져 있는 오버코트층 및 상기 오버코트층 상에 형성되어 있으며 공통전극 절개패턴이 형성되어 있는 공통전극을 포함하는 컬러필터 기판과; 상기 박막트랜지스터 기판과 상기 컬러필터 기판 사이에 위치하는 VA(vertical alignment) 모드의 액정층을 포함하는 표시장치에 의하여 달성될 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조로 하여 본발명을 더욱 상세히 설명하겠다. 이하에서 어떤 막(층)이 다른 막(층)의‘상부에’형성되어(위치하고) 있다는 것은, 두 막(층)이 접해 있는 경우 뿐 아니라 두 막(층) 사이에 다른 막(층)이 존재하는 경우도 포함한다.
이하의 실시예에서는 한 화소의 화소전극이 2부분으로 분리되어 있는 경우를 예시하였다. 하지만 본 발명은 이에 한정되지 않고 한 화소의 화소전극이 모두 연결되어 있거나, 3부분 이상으로 분리되어 있는 경우에도 적용가능하다.
도 1a 및 도 1b는 본발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치(10)의 배치를 설명하기 위한 도면이고, 도 2는 도 1a의 Ⅱ-Ⅱ를 따른 액정액정표시장치(10)의 단면을 나타낸 도면이다. 자세하게는, 도 1a는 박막트랜지스터 기판(100)의 배치를 나타낸 도면이고, 도 1b는 박막트랜지스터 기판(100)의 화소전극(161, 162)과 컬러필터 기판(200)의 공통전극(261)에 형성된 공통전극 절개패턴(262)을 같이 나타낸 도면이다.
본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치(10)는 박막트랜지스터 기판(100)과 이에 대면하고 있는 컬러필터 기판(200), 그리고 이들 사이에 위치하고 있는 액정층(300)을 포함한다.
우선 박막트랜지스터 기판(100)에 대하여 설명하면 다음과 같다.
제1절연기판(111) 상에 게이트 배선(121, 122, 123)이 형성되어 있다. 게이트 배선(121, 122, 123)은 금속 단일층 또는 다중층일 수 있다. 게이트 배선(121, 122, 123)은 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(121) 및 게이트선(121)에 연결되어 있는 게이트 전극(122), 화소전극(161, 162)과 중첩되어 저장 용량을 형성하는 공통전극선(123)을 포함한다.
제1절연기판(111)위에는 실리콘 질화물(SiNx) 등으로 이루어진 게이트 절연막(131)이 게이트 배선(121, 122, 123)을 덮고 있다.
게이트 전극(122)의 게이트 절연막(131) 상부에는 비정질 실리콘 등의 반도체로 이루어진 반도체층(132)이 형성되어 있으며, 반도체층(132)의 상부에는 실리사이드 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 실리콘 등의 물질로 만들어진 저항 접촉층(133)이 형성되어 있다. 소스 전극(142)과 드레인 전극(143) 사이의 채널부에서는 저항 접촉층(133)이 제거되어 있다.
저항 접촉층(133) 및 게이트 절연막(131) 위에는 데이터 배선(141, 142, 143)이 형성되어 있다. 데이터 배선(141, 142, 143) 역시 금속층으로 이루어진 단일층 또는 다중층일 수 있다. 데이터 배선(141, 142, 143)은 세로방향으로 형성되어 게이트선(121)과 교차하여 화소를 형성하는 데이터선(141), 데이터선(141)의 분지이며 저항 접촉층(133)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(142), 소스전극(142)과 분리되어 있으며 소스전극(142)의 반대쪽 저항 접촉층(133) 상부에 형성되어 있는 드레인 전극(143)을 포함한다. 여기서 드레인 전극(143)은 제1화소 구역 (161)과 전기적으로 접촉하는 부분(A)과 제2화소 구역(162) 하부로 길게 연장된 부분(B)을 가진다.
데이터 배선(131, 132, 133) 및 이들이 가리지 않는 반도체층(132)의 상부에는 보호막(151)이 형성되어 있다. 보호막(151)에는 드레인 전극(143)을 드러내는 접촉구(171)가 형성되어 있다.
보호막(151)의 상부에는 화소전극(161, 162)이 형성되어 있다. 화소전극(161, 162)은 통상 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)등의 투명한 도전물질로 이루어진다. 화소전극(161, 162)은 접촉구(171)를 통해 드레인 전극(143)과 접하는 제1화소 구역(161)과, 제1화소 구역(161) 및 드레인 전극(143)과 전기적으로 분리되어 있는 제2화소 구역(162)으로 나누어진다. 제1화소 구역(161)과 제2화소 구역(162)은 화소전극 절단패턴(172)에 의하여 분리되어 있으며, 제2 화소 구역(162)에는 화소전극 절개패턴(173)이 형성되어 있다. 제2화소 구역(162)의 하부에는 드레인 전극(143)의 일부분(B)이 보호막(151)을 사이에 두고 위치하고 있다.
화소전극(161, 162)의 화소전극 절단패턴(172)과 화소전극 절개패턴(173)은 후술하는 공통전극 절개패턴(262)과 함께 액정층(300)을 다수의 영역으로 분할한다.
이어 컬러필터 기판(200)에 대하여 설명하겠다.
제2절연기판(211) 위에 블랙매트릭스(221)가 형성되어 있다. 블랙매트릭스(221)는 일반적으로 적색, 녹색 및 청색 필터 사이를 구분하며, 제1기판(100)에 위 치하는 박막트랜지스터로의 직접적인 광조사를 차단하는 역할을 한다. 블랙매트릭스(221)는 통상 검은색 안료가 첨가된 감광성 유기물질로 이루어져 있다. 상기 검은색 안료로는 카본블랙이나 티타늄 옥사이드 등을 사용한다.
컬러필터(231)는 블랙매트릭스(221)를 경계로 하여 적색, 녹색 및 청색 필터가 반복되어 형성된다. 컬러필터(231)는 백라이트 유닛(도시하지 않음)으로부터 조사되어 액정층(300)을 통과한 빛에 색상을 부여하는 역할을 한다. 컬러필터(231)는 통상 감광성 유기물질로 이루어져 있다.
컬러필터(231)와 컬러필터(231)가 덮고 있지 않은 블랙매트릭스(221)의 상부에는 쿠션층(241)과 오버코트층(251)이 형성되어 있다. 쿠션층(241)과 오버코트층(251)은 컬러필터(231)를 평탄화하면서, 컬러필터(231)를 보호하는 역할을 한다. 쿠션층(241)은 열에 의해 경화된 아크릴계 수지일 수 있으며, 오버코트층(251)은 감광성 아크릴계 수지일 수 있다.
오버코트층(251)의 상부에는 공통전극(261)이 형성되어 있다. 공통전극(261)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide)등의 투명한 도전물질로 이루어진다. 공통전극(261)은 박막트랜지스터 기판의 화소전극(161, 162)과 함께 액정층(300)에 직접 전압을 인가한다. 공통전극(261)에는 공통전극 절개패턴(262)이 형성되어 있다. 공통전극 절개패턴(262)은 화소전극(161, 162)의 화소전극 절단패턴(172) 및 화소전극 절개패턴(173)과 함께 액정층(300)을 다수의 영역으로 나누는 역할을 한다.
화소전극 절단패턴(172), 화소전극 절개패턴(173)과 공통전극 절개패턴(262) 은 실시예에 한정되지 않고 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
박막트랜지스터 기판(100)과 컬러필터 기판(200)의 사이에는 액정층(300)이 위치한다. 액정층(300)은 VA(vertically aligned)모드로서, 액정분자는 전압이 가해지지 않은 상태에서는 길이방향이 수직을 이루고 있다. 전압이 가해지면 액정분자는 유전율 이방성이 음이기 때문에 전기장에 대하여 수직방향으로 눕는다. 그런데 각 패턴(172, 173, 262)이 형성되어 있지 않으면, 액정분자는 눕는 방위각이 결정되지 않아서 여러 방향으로 무질서하게 배열하게 되고, 배향 방향이 다른 경계면에서 전경선(disclination line)이 생긴다. 각 패턴(172, 173, 262)은 액정층(300)에 전압이 걸릴 때 프린지 필드를 만들어 액정 배향의 방위각을 결정해 준다. 또한 액정층(300)은 각 패턴(172, 173, 262)의 배치에 따라 다중영역으로 나누어진다.
이와 같은 액정표시장치(10)에서 시인성이 향상되는 이유를 도 3을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
백라이트 유닛(도시하지 않음)의 빛은 제1화소 구역(161) 또는 제2화소 구역(162), 액정층(300), 제2기판(200)을 거쳐 사용자에게 인지된다. 이 때 제1화소 구역(161)에는 드레인 전극(143)을 통해 데이터 신호가 정상적으로 인가된다. 반면 제2화소 구역(162)은 드레인 전극(143)으로부터 직접적으로 데이터 신호를 받지 못하고, 보호막(151)에 형성되는 용량(CCP)에 의해 신호를 인가 받는다. 따라서 제2화소 구역(162)에는 제1화소 구역(161)에 비하여 약한 신호가 인가되어 동일한 데이터 신호에서 더 낮은 투과율을 나타낸다. 즉 제1화소 구역(161)과 제2화소 구역 (162)은 각각 감마 커브가 달라지게 되어 측면시인성이 향상되는 것이다. 실제 사용자가 느끼는 투과율은 제1화소 구역(161)과 제2화소 구역(162)의 중간 정도가 된다.
이하 도 4 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 제조방법을 설명한다. 도 4 내지 도 8은 컬러필터 기판(200)의 제조 만을 나타내었다.
먼저 도 4와 같이 제2절연기판(211) 상에 블랙매트릭스(221) 및 컬러필터(231)를 형성한다. 컬러필터(231)는 각각 적색, 녹색, 청색을 가지는 3개의 서브층(231a, 231b, 231c)으로 이루어져 있다. 컬러필터(231)는 각 서브층((231a, 231b, 231c) 별로 컬러필터 감광층 증착, 노광, 현상을 거쳐 형성될 수 있다.
다음 도 5a와 같은 다층필름(270)을 컬러필터(231) 상에 부착한다.
다층필름(270)은 5개 층으로 이루어져 있는데, 이를 살펴보면 베이스층(271), 이형층(272), 포지티브 감광층(273), 네가티브 감광층(274) 및 쿠션층(275)으로 이루어져 있다.
다층필름(270)은 열전사 라미네이팅 방법으로 부착될 수 있으며, 부착 시에 베이스층(271)과 이형층(272)은 제거되며 컬러필터(231) 상에 쿠션층(275), 네가티브 감광층(274), 포지티브 감광층(273)이 순차적으로 적층된다. 다층필름(270)의 부착과정에서 쿠션층(275) 등은 컬러필터(231)에 압착되어 컬러필터(231)에 대응되는 형상을 가지게 된다.
다층필름(270)을 사용하면 컬러필터(231) 상에 네가티브 감광층(274) 및 포 지티브 감광층(273)을 간단하게 형성할 수 있다.
다음 도 6과 같이 마스크(400)를 사용하여 상부의 포지티브 감광층(273)을 노광한다. 마스크(400)는 쿼츠 등으로 이루어진 베이스 기판(410)과 크롬 등으로 이루어진 차광패턴(420)을 포함한다. 차광패턴(420)은 도 1b에서 나타낸 공통전극 절개패턴(262)에 대응되는 형상을 가지고 있으며, 자외선이 포지티브 감광층(273)에 도달하지 못하도록 한다.
노광을 통해 차광패턴(420)에 대응하는 포지티브 감광층(273)은 분해되지 않고, 차광패턴(420)에 의해 가려지지 않은 포지티브 감광층(273)은 자외선에 의해 분해된다.
도 7은 노광 후 현상 및 경화를 거쳐 형성된 포지티브 감광패턴(276)을 나타낸다. 포지티브 감광패턴(276) 형성을 위한 경화 과정을 통해 네가티브 감광패턴(276)도 경화되어 있다. 포지티브 감광패턴(276)은 차광패턴(420)에 대응하는 형상을 가지므로, 결국 공통전극 절개패턴(262)에 대응하는 형상을 가지고 있다. 포지티브 감광패턴(276)의 높이(h1)는 1㎛ 내지 4㎛인 것이 바람직하다. 포지티브 감광패턴(276)의 높이가 1㎛보다 낮으면 스트립(strip) 과정에서 포지티브 감광패턴(276)의 제거가 용이하지 않아 공통전극 절개패턴(262)의 형상이 불량하게 된다. 반면 포지티브 감광패턴(276)의 높이가 4㎛보다 크면, 포지티브 감광패턴(276)을 제외한 다른 부분의 제거를 위해 필요한 노광량이 과다해지는 문제가 있다.
도 8은 네가티브 감광패턴(273) 및 포지티브 감광패턴(276) 상에 ITO 또는 IZO와 같은 투명전극층(265)을 형성한 상태를 나타낸다. 투명전극층(265)은 스퍼터 링과 같이 방향성을 가지는 방법으로 형성되는데, 포지티브 감광패턴(276)의 양측면에는 거의 형성되지 않는다. 이 상태에서 스트립을 진행하면 투명전극층(265)에 의해 가려지지 않은 포지티브 감광패턴(276)의 양 측면이 제거되면서 포지티브 감광패턴(276) 전체가 제거된다. 이에 의해 포지티브 감광패턴(276) 상부면에 형성되었던 투명전극층(265)이 제거된다. 포지티브 감광패턴(276)은 공통전극 절개패턴(262)과 대응되는 형상을 가지므로, 도 1b 및 도 2와 같이 공통전극 절개패턴(262)을 가지는 공통전극(261)이 완성된다. 즉 공통전극(261)에 대한 별도의 패터닝 없이 공통전극 절개패턴(262)을 형성한 것이다.
한편, 네가티브 감광층(274)은 도 2의 오버코트층(251)을 형성하게 된다.
이하 도 9 및 도 10을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시장치의 다른 제조방법을 설명한다.
도 9를 보면 포지티브 감광층(273) 상에 네가티브 감광층(274)이 위치하고 있다. 마스크(401)를 통해 상부에 있는 네가티브 감광층(274)이 노광된다. 마스크(401)는 쿼츠 등으로 이루어진 베이스 기판(411)과 크롬 등으로 이루어진 차광패턴(421)을 포함한다. 여기서 차광패턴(421)이 형성되지 않은 투광 부분은 도 1b에서 나타낸 공통전극 절개패턴(262)에 대응되는 형상을 가지고 있으며, 이 부분에서 자외선은 네가티브 감광층(274)에 도달하게 된다.
노광 시 차광패턴(421)에 의해 가려진 네가티브 감광층(274)은 이후의 현상 과정에서 분해되며, 차광패턴(421) 사이에 위치하여 노광된 부분은 현상 과정에서 분해되지 않는다.
도 10은 노광과 현상을 거쳐 네가티브 감광패턴(277)이 형성된 상태에서 투명전극층(265)을 형성한 것을 나타낸다.
네가티브 감광패턴(277)은 공통전극 절개패턴(262)에 대응하는 형상을 가진다. 네가티브 감광패턴(277)은 하부로 갈수록 두께가 작아지는 형상을 가지는데, 이는 노광 시 빛의 회절에 의해 차광패턴(421)에 인접한 영역이 부분적으로 노광되기 때문이다. 이러한 형상으로 인해 투명전극층(265)이 네가티브 감광패턴(277)의 측벽에 형성될 가능성은 줄어들어, 스트립 과정에서 네가티브 감광패턴(277)을 제거하기가 용이하다.
한편, 포지티브 감광층(273)은 도 2의 오버코팅층(251)을 형성하게 된다.
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시장치를 설명하기 위한 단면도이다.
제2실시예에 따르면 컬러필터(231) 상에 직접 오버코트층(251)이 형성되어 있다. 오버코트층(251)은 감광성 물질로 아크릴계 수지를 포함할 수 있다.
제2실시예에 따른 액정표시장치의 제조에서는, 네가티브 감광층과 포지티브 감광층 각각을 컬러필터(231) 상에 코팅 방법으로 형성할 수 있다. 코팅 방법은 슬릿 코팅, 스핀 코팅 등이 적용가능하다.
비록 본발명의 실시예가 도시되고 설명되었지만, 본발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 본발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 별도의 패터닝 없이 절개패턴을 가지는 공통전극을 형성하는 표시장치의 제조방법과 이에 의한 표시장치가 제공된다.

Claims (10)

  1. 절연기판 상에 컬러필터를 형성하는 단계와;
    상기 컬러필터 상에 네가티브 감광물질 및 포지티브 감광물질 중 어느 하나로 이루어진 제1층과, 상기 제1층 상에 위치하며 네가티브 감광물질 및 포지티브 감광물질 중 다른 하나로 이루어진 제2층을 포함하는 감광층을 형성하는 단계와;
    상기 제2층을 길게 연장된 유지패턴을 가진 마스크를 사용하여 노광하고 현상하여 상기 유지패턴에 대응하는 제2층 패턴을 형성하는 단계와;
    상기 제2층 패턴 및 상기 제2층 패턴이 가리지 않은 상기 제1층 상에 투명전극층을 형성하는 단계와;
    상기 제2층 패턴을 제거하여 상기 제2층 패턴에 대응하는 공통전극 절개패턴을 가지는 공통전극을 형성하여 컬러필터 기판을 마련하는 단계를 포함하는 액정표시장치의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1층은 네가티브 감광물질로 이루어져 있으며,
    상기 유지패턴은 차광패턴인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1층은 포지티브 감광물질로 이루어져 있으며,
    상기 유지패턴은 투광패턴인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 감광층은 상기 제1층과 상기 제2층을 포함하는 다층 필름을 상기 컬러필터 상에 부착하여 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 다층 필름은 쿠션층을 더 포함하며,
    상기 쿠션층은 상기 컬러필터에 직접 접하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 쿠션층은 열에 의해 경화되는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  7. 제4항에 있어서,
    박막트랜지스터 및 상기 박막트랜지스터와 연결되어 있으며 화소전극 절개패턴을 가지는 화소전극을 포함하는 박막트랜지스터 기판을 마련하는 단계와;
    상기 컬러필터 기판과 상기 박막트랜지스터 기판 사이에 액정층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 액정층은 VA(vertical alignment) 모드인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  9. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2층 패턴의 높이는 1㎛ 내지 4㎛인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 제조방법.
  10. 제1절연기판, 상기 제1절연기판 상에 형성되어 있는 박막트랜지스터 및 상기 박막트랜지스터에 연결되어 있으며 화소전극 절개패턴이 형성되어 있는 화소전극을 포함하는 박막트랜지스터 기판과;
    상기 박막트랜지스터 기판과 대향하며, 상기 제2절연기판, 상기 제2절연기판 상에 형성되어 있는 컬러필터, 상기 컬러필터 상에 형성되어 있으며 열에 의해 경화된 고분자로 이루어져 있는 쿠션층, 상기 쿠션층 상에 형성되어 있으며 아크릴계 고분자로 이루어져 있는 오버코트층 및 상기 오버코트층 상에 형성되어 있으며 공통전극 절개패턴이 형성되어 있는 공통전극을 포함하는 컬러필터 기판과;
    상기 박막트랜지스터 기판과 상기 컬러필터 기판 사이에 위치하는 VA(vertical alignment) 모드의 액정층을 포함하는 액정표시장치.
KR1020060005576A 2006-01-18 2006-01-18 액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치 KR20070076336A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060005576A KR20070076336A (ko) 2006-01-18 2006-01-18 액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060005576A KR20070076336A (ko) 2006-01-18 2006-01-18 액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070076336A true KR20070076336A (ko) 2007-07-24

Family

ID=38501297

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060005576A KR20070076336A (ko) 2006-01-18 2006-01-18 액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20070076336A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8754415B2 (en) High light transmittance in-plane switching liquid crystal display device and method for manufacturing the same
KR102104356B1 (ko) 프린지 필드 스위칭 모드 액정표시장치용 어레이 기판 및 이의 제조 방법
JP4564473B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法
KR20140056545A (ko) 액정 표시 장치 및 이를 제조하는 방법
KR20160006894A (ko) 표시 기판 및 이의 제조 방법
KR20100020140A (ko) 박막 트랜지스터 표시판 및 그 제조 방법
US8093594B2 (en) Display substrate, display device having the same and method of manufacturing the same
US6933988B2 (en) Active matrix substrate and method for producing the same
KR101152142B1 (ko) 액정표시장치의 제조방법
US20070188682A1 (en) Method for manufacturing a display device
KR101230315B1 (ko) 표시장치용 몰드와 이를 이용한 표시장치의 제조방법
KR101758834B1 (ko) 횡전계형 액정표시장치용 어레이 기판 및 이의 제조 방법
KR20090009618A (ko) 3톤 노광 마스크
KR20130033676A (ko) 프린지 필드 스위칭 모드 액정표시장치
US20070171340A1 (en) Display apparatus and method of fabricating the same
JP2010181668A (ja) 液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法
KR101215943B1 (ko) 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법
KR101590381B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
KR20070076336A (ko) 액정표시장치의 제조방법과 이에 의한 액정표시장치
KR101297357B1 (ko) 수직정렬모드 액정표시장치
KR20070120234A (ko) 컬러필터 기판, 이를 갖는 표시패널, 및 이의 제조방법
KR101336086B1 (ko) 액정표시장치의 어레이 기판의 제조방법
KR101915223B1 (ko) 에이에이치-아이피에스 방식 액정표시장치용 어레이기판 및 그 제조방법
KR100995581B1 (ko) 컬러필터기판, 이를 갖는 액정표시장치 및 이의 제조방법
KR101408687B1 (ko) 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination