KR20070072005A

KR20070072005A - Rotary stocker

Info

Publication number: KR20070072005A
Application number: KR1020050135917A
Authority: KR
Inventors: 이상석
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2005-12-30
Filing date: 2005-12-30
Publication date: 2007-07-04

Abstract

A rotary stocker is provided to enable stacking of a cassette even in a small space by including stocker in which a shelf is rotated. A cassette(100) is stored on a shelf(95). The shelf is loaded/unloaded into/from the cassette by a transfer part(10). The shelf is supported by a plurality of shelf support units(30). The shelf support unit is rotated by a rotational driving part(50). The transfer part can be fixed to an isolated region of the shelf support units, including a robot(15) capable of loading/unloading the cassette.

Description

Rotary Stocker {Rotary Stocker}

도 1은 종래의 스토커를 도시한 도면.1 is a view showing a conventional stocker.

도 2는 종래의 랙 마스터를 도시한 사시도.Figure 2 is a perspective view of a conventional rack master.

도 3은 종래의 스토커에 카세트를 적재하는 과정을 도시한 도면. 3 is a view showing a process of loading a cassette in a conventional stocker.

도 4는 본 발명에 따른 로터리 스토커를 도시한 도면.4 shows a rotary stocker according to the invention.

도 5는 본 발명에 따른 로터리스토커의 평면도.5 is a plan view of a rotary stocker according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 로터리스토커 10 : 이재부 1: rotary stalker 10: Jae-bu Lee

15 : 로보트 30 : 셀프지지재 15: robot 30: self-support material

50 : 회전구동부 95 : 셀프 50: rotary drive unit 95: self

100 : 카세트 100: cassette

본 발명은 카세트 저장장치에 관한 것으로, 특히, 트롤리라인을 구비한 스토커 및 그 운용방법에 관한 것이다. The present invention relates to a cassette storage device, and more particularly, to a stocker having a trolley line and a method of operating the same.

최근, 액정표시장치는 콘트라스트(contrast) 비가 크고, 계조 표시나 동화상 표시에 적합하며 전력소비가 작다는 장점 때문에, CRT(cathode ray tube)의 단점을 극복할 수 있는 대체수단으로 점차 그 사용 영역이 확대되고 있다. Recently, the liquid crystal display device has a high contrast ratio, is suitable for gray scale display or moving image display, and has low power consumption. Therefore, the liquid crystal display device has gradually been used as an alternative means to overcome the disadvantage of cathode ray tube (CRT). It is expanding.

일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막트랜지스터와, 화소전극을 구비한 박막트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다. In general, a liquid crystal panel of a liquid crystal display device includes a thin film transistor, a thin film transistor substrate having pixel electrodes in a pixel region defined by gate wiring and data wiring, a color filter substrate having a color filter layer and a common electrode; It consists of a liquid crystal layer interposed between two substrates.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제작공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있으며, 이와 같은 액정표시소자 제조공정은 상기 기판 제작공정, 셀 공정 및 모듈 공정과정을 거치기 위해 상기 기판을 각각의 공정에 사용되는 제조 장비로 순차적으로나 그룹형태로 반송 또는 이송되어야 한다.The manufacturing process of the liquid crystal display device configured as described above may be divided into three processes, a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module process. The liquid crystal display device manufacturing process may be subjected to the substrate manufacturing process, the cell process, and the module process. The substrates must be conveyed or transferred sequentially or in group form to the manufacturing equipment used in each process.

일반적으로 액정표시장치를 제조하는 공정에서는 화면부를 구성하는 액정패널의 제조, 운반과정이 중요하다. 통상 상기 액정패널로 사용되는 유리기판은 제조할 때 이물질에 오염되지 않도록 하여야 하며, 또한 외부 충격에서 보호되어야 한다.In general, in the process of manufacturing the liquid crystal display device, the manufacturing and transportation process of the liquid crystal panel constituting the screen unit is important. In general, the glass substrate used as the liquid crystal panel should not be contaminated with foreign matters during manufacture, and should be protected from external impact.

이에 상기 유리기판은 카세트에 다수 매 유입되어 이송, 저장되며, 각 공정 단계에 진입할 때 마다 상기 카세트는 각 공정에 구비된 로더부에 안착되어 저장된다. Accordingly, a plurality of glass substrates are introduced into a cassette, and are transported and stored, and each time the cassette enters each process step, the cassette is stored in a loader unit provided in each process.

또한, 제조 공정 상 일부의 제조장치에 고장 또는 수리를 위해 모든 제조 공 정 라인(Line)을 중지시킬 수 없으므로 상기 제조장치에 상기 기판을 일시 저장할 수 있는 방법이 필요하다. In addition, some manufacturing apparatus in the manufacturing process can not stop all the manufacturing process line (Line) for repair or failure, so a method for temporarily storing the substrate in the manufacturing apparatus is needed.

이에 부합하는 카세트(Cassette)를 사용하여 다수의 상기 기판을 저장 및 이송 가능하도록 할 수 있다. 또한, 다른 이유로 인하여 상기 기판의 물량이 많아지고 상기 기판의 제작공정이 반복적으로 이루어질 경우 상기 카세트를 이동시켜 저장시키기 위한 스토커(Stocker)가 필요하다. Corresponding cassettes can be used to enable storage and transport of multiple substrates. In addition, when the quantity of the substrate is increased for another reason and the manufacturing process of the substrate is repeated, a stocker for moving and storing the cassette is required.

즉, 액정표시장치의 제조공정에 있어서, 상기 각 공정에 구비된 로더부 및 카세트를 일시 저장하는 스토커와 같은 카세트 저장장치는 반드시 구비되어야 하는 것이다. That is, in the manufacturing process of the liquid crystal display device, a cassette storage device such as a stocker for temporarily storing the loader and the cassette provided in the above steps must be provided.

도 1은 종래의 스토커를 도시한 도면이다.1 is a view showing a conventional stocker.

도 1에 도시된 바와 같이, 스토커(501)는 카세트(600)를 저장할 수 있는 다수의 셀프(Shelf, 590)를 구비하고 있다. 상기 셀프(590)는 다수의 카세트(600)를 저장하기 위해서 다수의 행과 열로 나누어진 셀 형상에 각각 카세트(600)를 저항하게 된다. As shown in FIG. 1, the stocker 501 has a plurality of shelves 590 that can store a cassette 600. The shelf 590 resists the cassette 600 in a cell shape divided into a plurality of rows and columns to store the plurality of cassettes 600.

그리고 상기 스토커(501)와 같은 카세트(600) 저장장치에는 랙 마스터(rack master, 510)가 구비되어 있으며, 상기 랙 마스터(510)는 다수의 기판이 적재된 카세트(600)를 다른 장소로 이동시키기 위해 이용된다. In addition, a rack master (510) is provided in a cassette (600) storage device such as the stocker (501), and the rack master (510) moves the cassette (600) on which a plurality of substrates are loaded to another place. To be used.

도 2는 종래의 랙 마스터를 도시한 사시도이다. Figure 2 is a perspective view of a conventional rack master.

도 2에 도시된 바와 같이, 랙마스터(510)는 카세트(600)를 로딩/언로딩하는 로보트부(550), 상기 로보트부(550)를 상, 하로 이동시킬 수 있는 승강부(520)를 구비하고 있다. As shown in FIG. 2, the rack master 510 includes a robot part 550 for loading / unloading a cassette 600, and a lifting part 520 capable of moving the robot part 550 up and down. Equipped.

그리고 상기 랙마스터(510)의 이동을 위해서 스토커(501)는 레일(585)를 구비하며, 상기 랙마스터(510)는 상기 카세트(600)를 좌, 우로 이동시킬 수 있는 주행부(580)를 구비하고 있다. 여기서 상기 주행부(580)는 레일(585)을 타고 이동할 수 있도록 주행 휠(587)을 구비하고 있다. In addition, the stocker 501 includes a rail 585 for the movement of the rack master 510, and the rack master 510 includes a traveling part 580 that moves the cassette 600 left and right. Equipped. The driving unit 580 includes a driving wheel 587 to move on the rail 585.

상기 랙마스터(510)는 승강부(520)를 통해 카세트(600)를 상, 하로 운반하게 된다. The rack master 510 carries the cassette 600 up and down through the lifting unit 520.

이와 같이, 상기 승강부(520)와 주행부(580)를 통해서 상, 하, 좌, 우로 이동된 카세트(600)는 소정의 셀프(590)에 저장된다.As described above, the cassette 600 moved up, down, left, and right through the lifting unit 520 and the driving unit 580 is stored in a predetermined shelf 590.

이때, 상기 카세트(600)를 소정의 셀프(590)에 저장하기 위해 상기 로보트부(550)에 로딩된 카세트(600)를 소정의 높이에서 로봇 암(555)을 전방향으로 이동시켜 상기 셀프(590)에 카세트(600)를 인포트(in-port) 하게 된다. In this case, in order to store the cassette 600 in the predetermined shelf 590, the robot arm 555 is moved in all directions at a predetermined height to move the cassette 600 loaded in the robot unit 550 to the shelf 600. The cassette 600 is in-ported to the 590.

마찬가지로 셀프(590)에 저장된 카세트(600)를 상기 셀프(590)에서 아웃포트(out-port)하기 위해서 로봇 암(555)을 이용하여 상기 카세트(600)를 로보트부(550)에 로딩하게 된다. Similarly, in order to out-port the cassette 600 stored in the shelf 590 from the shelf 590, the cassette 600 is loaded into the robot unit 550 using the robot arm 555. .

도 3은 종래의 스토커에 카세트를 적재하는 과정을 도시한 도면이다. 3 is a diagram illustrating a process of loading a cassette into a conventional stocker.

도 3에 도시된 바와 같이, 상기 랙마스터(510)는 상기 랙마스터(510)는 카세트(600)를 받아 상기 셀프(590)로 인-포트하게 된다. 여기서 상기 랙마스터(510)는 빈공간의 셀프(590)에 상기 랙마스터(510)가 이동하여 상기 카세트(600)를 인-포트하게 된다.As shown in FIG. 3, the rack master 510 receives the cassette 600 and in-ports it to the shelf 590. In this case, the rack master 510 moves the rack master 510 to the shelf 590 of the empty space to in-port the cassette 600.

그런데, 상기와 같이 상기 렉마스터(510)가 카세트(600)를 로딩하고 인-포트하기 위해서 소정의 셀프(590)까지 이동하여 카세트(600)를 저장하게 된다. 게다가 카세트(600)에 적재되는 기판이 대형화하는 추세에 따라 공정장비 및 물류장비인 스토커(501)가 차지하는 공간이 증가하게 된다. 상기 공간이 증가함에 따라 공간부족에 따른 문제점이 증가하게 된다. However, as described above, the rack master 510 moves up to a predetermined shelf 590 to store the cassette 600 in order to load and in-port the cassette 600. In addition, as the substrate loaded on the cassette 600 increases in size, the space occupied by the stocker 501 which is a process equipment and a logistics equipment increases. As the space increases, problems due to lack of space increase.

본 발명은 다수의 셀프가 마련되고, 상기 셀프가 회전하는 스토커를 마련함으로써 적은 공간에서도 카세트를 적재할 수 있는 로터리 스토커를 제공함에 목적이 있다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a rotary stocker capable of stacking cassettes in a small space by providing a stocker in which a plurality of shelves are provided and the stocker rotates.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 로터리 스토커는 카세트를 저장하는 셀프와; 상기 셀프로 상기 카세트를 입고/출고시키는 이재부와; 상기 셀프를 지지하는 다수의 셀프지지대와; 상기 셀프지지대를 회전시키는 회전구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Rotary stocker of the present invention for achieving the above object is a self-stored cassette; A jaejae portion for putting in / out of the cassette by the self; A plurality of self-supports for supporting the self; It characterized in that it comprises a rotary drive for rotating the self-support.

상기 이재부는 상기 셀프지지대의 이격된 영역에 고정되어 있는 것을 특징으로 한다. The transfer part is fixed to the spaced apart area of the self-support.

상기 이재부는 상기 카세트를 로딩/언로딩할 수 있는 로보트를 구비한 것을 특징으로 한다. The transfer part is characterized by having a robot that can load / unload the cassette.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 로터리 스토커를 도시한 도면이다.4 is a view showing a rotary stocker according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 스토커(1)는 카세트(100)를 저장할 수 있는 다수의 셀프(95)와 상기 셀프(95)에 카세트(100)를 입고시킬 수 있는 이재부(10)를 구비하고 있다. As shown in FIG. 4, the stocker 1 includes a plurality of shelves 95 capable of storing the cassette 100 and a transfer part 10 capable of storing the cassette 100 in the shelves 95. Doing.

상기 이재부(10)는 카세트(100)를 로딩/언로딩하는 로보트(15)를 구비하고 있어 셀프(95)에 카세트(100)를 입고/출고할 수 있게 된다. 여기서 상기 이재부(10)를 양방향으로 움직일 수 있는 로보트(15)를 구비하는 것이 바람직하다. The transfer part 10 includes a robot 15 for loading / unloading the cassette 100 so that the cassette 100 can be loaded / unloaded into the shelf 95. Here, it is preferable to have a robot 15 which can move the transfer part 10 in both directions.

여기서 상기 로보트(15)는 카세트(100)를 적재할 수 있는 포트를 더 구비할 수 있다. The robot 15 may further include a port for loading the cassette 100.

그리고 상기 로터리스토커(1)는 셀프(95)를 회전운동시킬 수 있는 회전구동부(50)를 구비하고 있다. 상기 회전구동부(50)는 셀프(95)를 회전운동할 때, 상기 회전구동부(50)에 연결되어 상기 셀프(95)를 지지할 수 있는 셀프지지대(30)를 구비하고 있다. And the rotary stocker 1 is provided with a rotary drive unit 50 for rotating the self (95). The rotary drive unit 50 is provided with a self-support 30 that is connected to the rotary drive unit 50 to support the shelf 95 when rotating the shelf (95).

그리고 상기 회전구동부(50)는 센서가 더 구비되어 프로그램이나 명령에 따라 이재부(10)의 정위치를 확인하고 회전운동을 정지하여 상기 카세트(100)를 입고/출고할 수 있게 한다. And the rotation drive unit 50 is further provided with a sensor to check the exact position of the transfer unit 10 in accordance with the program or command to stop the rotational movement to the wearing / shipping the cassette 100.

이와 같이, 로터리 스토커(1)는 셀프(95)가 회전하기 때문에 종래 스토커의 랙마스터가 운동하는 공간을 필요로 하지 않기 때문에 좁은 공간에서도 상기 카세 트(100)를 로터리스토커(1)에 입고/출고를 할 수 있게 된다. Thus, since the rotary stocker 1 does not require a space for the rack master of the conventional stocker to move because the self 95 rotates, the cassette 100 is put on the rotary stocker 1 even in a narrow space. You can ship.

도 5는 본 발명에 따른 로터리 스토커의 평면도이다. 5 is a plan view of a rotary stocker according to the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 로터리스토커(1)는 다수개의 셀프(95)가 마련되어 회전운동을 하고 있다. 도면에 도시되지 않았지만 상기 셀프(95)는 셀프지지대에 단부에 지지되어 있다. As shown in FIG. 5, the rotary stocker 1 is provided with a plurality of shelves 95 to rotate. Although not shown in the figure, the shelf 95 is supported at the end of the shelf.

여기서 이재부(10)는 카세트(100)를 상기 로터리 스토커(1)로 입고/출고를 할 수 있는 로보트(15)를 구비하고 있다. 상기 로보트(15)는 로터리 스토커(1)의 방향과 로터리스토커(1)의 외부방향의 양방향으로 움직일 수 있다. 이와 같이 양방향으로 운동이 가능하기 때문에 외부에서 카세트(100)를 받아 상기 로터리스토커(1)에 상기 카세트(100)를 입고 및 출고를 할 수 있게 된다. Here, the transfer part 10 is provided with a robot 15 capable of loading / unloading the cassette 100 into the rotary stocker 1. The robot 15 may move in both directions of the rotary stocker 1 and an outer direction of the rotary stocker 1. Since the movement in both directions as described above can receive the cassette 100 from the outside, the cassette 100 can be put into and out of the rotary stocker 1.

이와 같이, 로터리 스토커(1)는 셀프(95)가 회전하기 때문에 종래 스토커의 랙마스터가 운동하는 공간을 필요로 하지 않기 때문에 좁은 공간에서도 상기 카세트(100)를 로터리스토커(1)에 입고/출고를 할 수 있게 된다. In this way, since the rotary stocker 1 does not require a space in which the rack master of the conventional stocker moves because the self 95 rotates, the cassette 100 is put into / out of the rotary stocker 1 even in a narrow space. Will be able to.

여기서 A로 표시된 영역은 본 발명에 따른 로터리스토커(1)를 사용함으로써 절약되는 공간을 표시한 것이다. Here, the area indicated by A represents the space saved by using the rotary stocker 1 according to the present invention.

이와 같이, 카세트(100)에 적재되는 기판이 대형화하는 추세에 따라 공정장비 및 물류장비인 스토커가 차지하는 공간이 증가하게 추세에서 본 발명에 따른 로터리스토커(1)를 사용하여 공간부족에 따른 문제점을 해결할 수 있게 된다. As such, the space occupied by the stocker, which is the process equipment and the logistics equipment, increases as the substrate loaded on the cassette 100 increases in size, thereby using the rotary stocker 1 according to the present invention. It can be solved.

본 발명에 따른 로터리스토커를 사용하여 공간부족에 따른 문제점을 해결할 수 있게 된다. Using the rotary stocker according to the present invention it is possible to solve the problems caused by lack of space.

Claims

Self for storing the cassette;

A jaejae portion for putting in / out of the cassette by the self;

A plurality of self-supports for supporting the self;

Rotary stalker comprising a rotary drive for rotating the self-support.

The method of claim 1,

The transfer part is a rotary stocker, characterized in that fixed to the spaced apart area of the self-support.

The method of claim 1,

The transfer part is a rotary stocker, characterized in that provided with a robot that can load / unload the cassette.