KR20070046409A - Apparatus for measuring the amount of liquid material for manufacturing display device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 디스플레이장치 제조용 액체물질 토출량 측정장치에 관한 것으로, 예컨대 유기이엘(OELD) 디스플레이장치의 제조시 액체 흡습제(Liquid Desiccant)의 토출량을 실시간으로 정확하게 측정하고 보정할 수 있도록 한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for measuring a discharge amount of a liquid substance for manufacturing a display device. For example, the discharge amount of a liquid desiccant can be accurately measured and corrected in real time in the manufacture of an organic EL display device.
본 발명의 디스플레이장치 제조용 액체물질 토출량 측정장치는, 액체물질이 수용되는 용적실린더와; 상기 용적실린더의 액체물질을 펌핑하는 펌핑모터와; 상기 용적실린더의 용적을 조정하는 밸런스모터와; 상기 용적실린더로부터 공급되는 액체물질이 토출되는 노즐과; 상기 노즐의 바로 하측에서 일단이 고정되고 타단이 자유롭도록 설치되어 액체물질의 타격에 의해 진동하는 캔틸레버와; 상기 캔틸레버에 레이저빔을 방출하고 진동부재의 진동시 휨 정도에 의해 가변되는 신호를 송출하는 레이저센서와; 상기 레이저센서로부터 송출된 신호에 의해 액체의 양을 계측하고, 계측된 값에 따라 상기 밸런스모터의 작동을 제어하여 용적실린더의 용적을 조정하는 제어부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다. A liquid material discharge amount measuring apparatus for manufacturing a display device according to the present invention includes a volume cylinder which accommodates a liquid material; A pumping motor for pumping the liquid material of the volume cylinder; A balance motor for adjusting the volume of the volume cylinder; A nozzle for discharging the liquid substance supplied from the volume cylinder; A cantilever, one end of which is fixed directly below the nozzle and the other end of which is free, and vibrated by the impact of the liquid material; A laser sensor which emits a laser beam to the cantilever and transmits a signal which varies according to the degree of warpage when the vibration member vibrates; It characterized in that it comprises a control unit for measuring the amount of liquid by the signal sent from the laser sensor, and adjusts the volume of the volume cylinder by controlling the operation of the balance motor in accordance with the measured value.
유기이엘, OELD, 액체 흡습제, desiccant Organic EL, OELD, liquid absorbent, desiccant
Description
도 1은 본 발명에 따른 액체물질 토출량 측정장치의 일 실시예를 나타내는 구성도로, 유기이엘 디스플레이장치(OELD)에 액체 흡습제(Liquid Desiccant)를 토출하는 액체 흡습제 디스펜스헤드의 구성을 나타낸 도면1 is a block diagram showing an embodiment of a liquid material discharge amount measuring apparatus according to the present invention, showing a configuration of a liquid desiccant dispense head for discharging a liquid desiccant to the organic EL display device (OELD)
도 2는 도 1의 액체 흡습제 토출량 측정장치를 이용하여 액체 흡습제 토출량을 측정하는 과정을 설명하는 순서도FIG. 2 is a flowchart illustrating a process of measuring a liquid absorbent discharge amount using the liquid absorbent discharge amount measuring device of FIG. 1. FIG.
도 3은 액체 흡습제 토출량 측정시 적용되는 정량 토출 범위를 설명하는 다이어그램3 is a diagram illustrating a fixed-quantity discharge range applied when measuring the liquid absorbent discharge amount
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1 : 펌핑모터 2 : 용적실린더1: Pumping motor 2: Volume cylinder
3 : 밸런스모터 4 : 링키지3: balance motor 4: linkage
5 : 노즐 6 : 캔틸레버5: nozzle 6: cantilever
7 : 레이저센서 7a : 발광부7:
7b : 수광부7b: light receiver
본 발명은 디스플레이장치의 제조시 액체물질의 토출량을 측정하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유기이엘소자(OELD: Organic Electro Luminescence Display) 등의 제조 공정에서 액체 흡습제(Liquid Desiccant)와 같은 액체물질을 토출할 때 실시간으로 토출량을 정확하게 측정할 수 있는 디스플레이장치 제조용 액체물질 토출량 측정장치에 관한 것이다. The present invention relates to a device for measuring the discharge amount of a liquid material in the manufacture of a display device, and more particularly, a liquid material such as a liquid desiccant in a manufacturing process such as an organic EL device (OELD) The present invention relates to a liquid material discharge amount measuring device for manufacturing a display device capable of accurately measuring a discharge amount in real time when discharging the liquid.
주지하는 바와 같이, 유기이엘소자(OELD)는 휴대폰 및 PDA등의 휴대용 단말기의 컬러 표시장치, 차량 탑재용 표시장치, 휴대용 게임기 등의 표시장치로 사용가능한 것으로서, 이러한 유기이엘 디스플레이장치는 차세대 디스플레이장치로 떠오르고 있다.As is well known, the organic EL element (OELD) can be used as a display device such as a color display device of a portable terminal such as a mobile phone and a PDA, a vehicle-mounted display device, a portable game machine, and the like. Is emerging.
유기이엘소자는 자체 발광형으로 백라이트가 필요없어 소비전력을 줄일 수 있고, LCD대비 약 1000배의 빠른 응답속도, 경량/ 박형 등의 특성으로 영상, 데이터, 음성, 인터넷 등이 요구되는 개인휴대단말기(PDA)나 핸드PC등의 표시장치에도 적용할 수 있다.Organic EL device is a self-luminous type that does not require a backlight, which can reduce power consumption, and is a personal handheld device that requires video, data, voice, and the Internet due to characteristics such as 1000 times faster response speed and light weight / thinness than LCD. It can also be applied to display devices such as PDAs and hand PCs.
이러한 유기이엘 디스플레이장치의 기본적인 구성과 동작 원리에 대해 간략하게 소개하면 다음과 같다.Briefly introducing the basic configuration and operation principle of the organic EL display device as follows.
유기이엘 디스플레이장치의 픽셀은 유리기판 위에 투명한 양극전극을 형성하고, 상기 양극전극 위에 유기막을 형성하며, 유기막의 상부에 음극전극을 형성한 후, 유기막과 음극전극을 절연막과 격벽으로 둘러쌓은 구조로 이루어진다. The pixel of the organic EL display device has a structure in which a transparent anode electrode is formed on a glass substrate, an organic film is formed on the anode electrode, a cathode electrode is formed on the organic film, and the organic film and the cathode electrode are surrounded by an insulating film and a partition wall. Is made of.
이러한 유기이엘 디스플레이장치는 음극전극과 양극전극으로부터 각각 주입 된 전자와 정공이 결합하여 생성된 엑사이톤(exiton)이 여기상태에서 기저상태로 떨어지면서 유기막에서 발광하여 유리기판을 통해 광이 외부로 방출되는 작동 원리를 갖는다. The organic EL display device has an exciton generated by combining electrons and holes injected from the cathode and anode electrodes, respectively, from the excited state to the ground state, and emits light from the organic layer, so that light is emitted through the glass substrate. It has a working principle that is released.
일반적인 유기이엘 디스플레이장치에서는 절연막과 격벽을 유기물인 포토레지스트로 사용하고 있다. 이러한 유기물 절연막과 격벽은 유기막 증착 중이나 디스플레이장치가 동작하는 도중 아웃가싱(outgassing)의 소스로 작용하여 디스플레이장치의 수명을 단축시키는 요인이 되고 있다. In a general organic EL display device, an insulating film and a partition wall are used as a photoresist as an organic material. The organic insulating film and the partition wall serve as a source of outgassing during the deposition of the organic film or during the operation of the display device, thereby reducing the life of the display device.
특히, 유기물 절연막과 격벽에서 아웃가싱되는 가스는 양극전극인 ITO(Indium Tin Oxide)막에 악영향을 주게 된다. In particular, the gas outgassed from the organic insulating film and the partition wall adversely affects the indium tin oxide (ITO) film, which is an anode electrode.
이러한 문제를 해결하기 위하여, 유기이엘 디스플레이장치를 감싸도록 유리기판의 상부에 캔(can)을 씌우고 자외선실런트(UV sealant)로 접착시키고, 캔의 내부에는 흡습제(desiccant)를 삽입시켰다. In order to solve this problem, a can is placed on the upper portion of the glass substrate to surround the organic EL display device and bonded with an UV sealant, and a desiccant is inserted into the can.
상기 캔은 외부로부터 디스플레이장치로 유입되는 가스 및 수분의 침투를 막고, 흡습제는 유기이엘 디스플레이장치에서 발생되는 아웃가싱된 가스를 흡수하는 작용을 한다. The can prevents penetration of gas and moisture introduced into the display device from the outside, and the absorbent absorbs the outgassed gas generated in the organic EL display device.
통상적으로 흡습제로는 테이프형태의 흡습제가 사용되고 있는데, 초박형 디스플레이장치를 제작하기 위해서는 이러한 테이프형태의 흡습제보다 액체 흡습제를 사용하는 것이 유리한 것으로 판정되었다. Generally, a tape-type moisture absorbent is used as the moisture absorbent. In order to manufacture an ultra-thin display device, it was determined that it is advantageous to use a liquid moisture absorbent rather than such a tape-type moisture absorbent.
이러한 액체 흡습제를 금속재질의 캔이나 유리재질의 캔 위에 적하하기 위해서는 합착 용적에 최적화된 양으로 토출되어야 한다. In order to drop the liquid absorbent on a metal can or a glass can, the liquid absorbent must be discharged in an amount optimized for the bonding volume.
그러나, 종래에는 액체 흡습제를 적하할 때 노즐로부터 토출되는 액체 흡습제의 토출량을 관리하기가 매우 힘들며, 실시간으로 그 토출량을 측정하여 보정할 수 있는 방안이 없었으므로 적하가 진행되는 도중에 여러가지 요인에 의해 토출량이 변화될 경우 제품에 이상이 발생할 수 있는 문제가 있었다. However, conventionally, it is very difficult to manage the discharge amount of the liquid absorbent discharged from the nozzle when dropping the liquid absorbent, and since there is no way to measure and correct the discharge amount in real time, the discharge amount is caused by various factors during the dropping process. If this change, there was a problem that can cause abnormalities in the product.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 디스플레이장치의 제조시 노즐로부터 토출되는 액체물질, 예컨대 액체 흡습제(Liquid Desiccant)의 토출량을 실시간으로 정확하게 측정하고 보정할 수 있는 디스플레이장치 제조용 액체물질 토출량 측정장치를 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is a display capable of accurately measuring and correcting a discharge amount of a liquid substance, such as a liquid desiccant, discharged from a nozzle during manufacture of a display device in real time. It is an object of the present invention to provide a liquid material discharge amount measuring device for manufacturing a device.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 한 형태에 따르면, 적하될 액체물질을 원하는 양만큼 공급하는 액체공급유닛과; 상기 액체공급유닛으로부터 공급되는 액체물질이 토출되는 노즐과; 상기 노즐의 바로 하측에 위치되어 노즐로부터 토출되는 액체물질에 의해 진동하는 진동부재와; 상기 진동부재의 진동에 의해 액체물질의 양을 측정하는 토출량측정유닛을 포함하여 구성된 디스플레이장치 제조용 액체물질 토출량 측정장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a liquid supply unit for supplying a desired amount of the liquid substance to be dropped; A nozzle for discharging the liquid substance supplied from the liquid supply unit; A vibration member positioned directly below the nozzle and vibrating by the liquid material discharged from the nozzle; Provided is a liquid material discharge amount measuring device for manufacturing a display device including a discharge amount measuring unit measuring an amount of a liquid substance by vibration of the vibrating member.
본 발명의 다른 한 형태에 따르면, 액체물질이 수용되는 용적실린더와; 상기 용적실린더의 액체물질을 펌핑하는 펌핑모터와; 상기 용적실린더의 용적을 조정하는 밸런스모터와; 상기 용적실린더로부터 공급되는 액체물질이 토출되는 노즐과; 상기 노즐의 바로 하측에서 일단이 고정되고 타단이 자유롭도록 설치되어 액체물질 의 타격에 의해 진동하는 캔틸레버와; 상기 캔틸레버에 레이저빔을 방출하고 진동부재의 진동시 휨 정도에 의해 가변되는 신호를 송출하는 레이저센서와; 상기 레이저센서로부터 송출된 신호에 의해 액체의 양을 계측하고, 계측된 값에 따라 상기 밸런스모터의 작동을 제어하여 용적실린더의 용적을 조정하는 제어부를 포함하여 구성된 디스플레이장치 제조용 액체물질 토출량 측정장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided a gas cylinder comprising: a volume cylinder containing a liquid substance; A pumping motor for pumping the liquid material of the volume cylinder; A balance motor for adjusting the volume of the volume cylinder; A nozzle for discharging the liquid substance supplied from the volume cylinder; A cantilever, one end of which is fixed directly below the nozzle and the other end of which is free, and vibrated by the impact of the liquid material; A laser sensor which emits a laser beam to the cantilever and transmits a signal which varies according to the degree of warpage when the vibration member vibrates; The liquid material discharge amount measuring device for manufacturing a display device comprising a control unit for measuring the amount of liquid by the signal sent from the laser sensor, and controlling the operation of the balance motor according to the measured value to adjust the volume of the volume cylinder Is provided.
여기서, 상기 디스플레이장치는 유기이엘 디스플레이(OELD: Organic Electro Luminescence Display)장치이며, 상기 액체물질은 액체 흡습제(Liquid Desiccant)이다. 하지만, 이외에도 다른 디스플레이장치와 다른 액체물질이 적용될 수도 있음은 물론이다. The display device is an organic electroluminescence display (OELD) device, and the liquid material is a liquid desiccant. However, other display devices and other liquid materials may be applied.
예컨대, 본 발명은 액정디스플레이장치(LCD)를 제조하는 과정에서 액정(Liquid Crystal)의 토출량을 정확하게 측정하고 보정하는데에도 유사하게 적용할 수 있을 것이다. For example, the present invention may be similarly applied to accurately measuring and correcting an amount of discharge of liquid crystal in the process of manufacturing a liquid crystal display device (LCD).
이하, 본 발명에 따른 디스플레이장치 제조용 액체물질 토출량 측정장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of a liquid material discharge amount measuring apparatus for manufacturing a display apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
이하에서 설명되는 디스플레이장치의 일 실시예로서 유기이엘 디스플레이장치(OELD)가 적용되며, 액체물질은 액체 흡습제(Liquid Desiccant)가 예시될 것이다. 하지만, 전술한 것과 같이 본 발명은 이에 한정되지 않고 다양한 디스플레이장치와 이를 제조하는데 이용되는 액체물질에 적용할 수 있다.As an example of the display device described below, an organic EL display device (OELD) is applied, and a liquid desiccant may be exemplified as a liquid substance. However, as described above, the present invention is not limited thereto and may be applied to various display devices and liquid materials used to manufacture the same.
도 1은 본 발명에 따른 액체물질 토출장치의 일례로 유기이엘 디스플레이장치(OELD)에 액체 흡습제(Liquid Desiccant)를 토출하는 액체 흡습제 디스펜스헤드 의 구성을 나타낸다.FIG. 1 illustrates a configuration of a liquid desiccant dispense head for discharging a liquid desiccant to an organic EL display device as one example of a liquid material discharging apparatus according to the present invention.
상기 액체 흡습제 디스펜스헤드는, 액체 흡습제가 수용되는 용적실린더(2)와, 상기 용적실린더(2)의 액체물질을 펌핑하는 펌핑모터(1)와, 상기 용적실린더(2)의 용적을 조정하는 밸런스모터(3)(balace motor)와, 상기 용적실린더(2)로부터 공급되는 액체물질이 토출되는 노즐(5)로 구성된다. The liquid absorbent dispense head includes a volume cylinder (2) in which a liquid absorbent is accommodated, a pumping motor (1) for pumping a liquid substance of the volume cylinder (2), and a balance for adjusting the volume of the volume cylinder (2). It consists of a
상기 용적실린더(2)는 링키지(4)(linkage)에 의해 밸런스모터(3)에 연결된다. 상기 밸런스모터(3)는 상기 링키지(4)를 직선 왕복 운동시킴으로써 용적실린더(2)의 용적을 조정하고, 이로써 용적실린더(2)를 통해 토출되는 액체 흡습제의 토출량을 조정한다. The volume cylinder 2 is connected to the
즉, 밸런스모터(3)가 용적실린더(2)의 용적을 줄이도록 동작하면, 용적실린더(2)를 통해 토출되는 액체 흡습제의 양이 줄어들게 된다. 반대로, 밸런스모터(3)가 용적실린더(2)의 용적을 증대시키도록 동작하면, 용적실린더(2)를 통해 토출되는 액체 흡습제의 양이 증가하게 된다. That is, when the
상기 노즐(5)의 하측에는 액체 흡습제의 토출량을 측정하기 위한 캔틸레버(6)(cantilever)와 레이저센서(7)가 설치된다.A
상기 캔틸레버(6)는 액체 흡습제가 토출되는 경로 상에 위치하며, 일단이 디스펜스헤드에 고정되고 타단이 자유로운 상태로 설치되어 노즐(5)로부터 낙하하는 액체 흡습제의 타격에 의해 진동한다. 상기 캔틸레버(6)는 액체 흡습제의 타격에 의해 진동은 하지만 액체 흡습제의 진행을 방해하지 않을 정도로 매우 얇은 바아형태로 이루어지는 것이 바람직하다. The
상기 레이저센서(7)는 상기 캔틸레버(6)로 빛을 방출하는 발광부(7a)와, 상기 발광부(7a)로부터 방출된 후 캔틸레버(6)에 의해 반사되는 빛이 입사되는 수광부(7b)로 이루어진다. 상기 레이저센서(7)는 상기 캔틸레버(6)의 진동에 의해 수광부(7b)로 입사되는 레이저빔의 각도 변화에 따라 가변되는 신호를 제어장치(미도시)로 전송한다. The laser sensor 7 includes a
상기 제어장치에서는 레이저센서(7)로부터 전송된 신호에 의해 토출량을 계산하고, 토출량이 정량 범위를 벗어날 경우 밸런스모터(3)를 작동시켜 용적실린더(2)의 용적을 조정하고, 토출량을 보정한다. The control device calculates the discharge amount based on the signal transmitted from the laser sensor 7, and if the discharge amount is out of the quantitative range, the
상기 디스펜스헤드에서 토출되는 액체 흡습제의 토출량을 측정하는 과정에 대해 도 2와 도 3을 참조하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다. A process of measuring the discharge amount of the liquid absorbent discharged from the dispense head will be described in more detail with reference to FIGS. 2 and 3 as follows.
작업이 시작되기 전에 작업자는 초기 정량 토출범위(R1)와 오차 범위(±R2)를 설정한다. 상기 오차 범위(±R2)는 제조 과정에서 품질에 이상을 주는 정도는 아니지만 바람직하지는 않은 범위이며, 이 범위를 벗어나게 되면 품질에 이상을 주는 정도로 선정되는 것이 바람직하다. Before the operation starts, the operator sets the initial fixed discharge range (R1) and the error range (± R2). The error range (± R2) is not a degree that gives an abnormality to the quality in the manufacturing process, but is not a desirable range, it is preferably selected to the extent that gives an abnormality to the quality.
즉, 상기 오차 범위는 토출량이 정량 범위를 과도하게 벗어나 품질에 이상이 발생하는 것을 방지하기 위한 완충 영역의 역할을 하게 되는 것이다. That is, the error range is to act as a buffer area to prevent the discharge amount is excessively out of the quantitative range and abnormality in the quality.
상술한 것과 같이, 정량 토출 범위(R1)와 오차 범위(±R2)가 설정되면 기판과 캔을 로딩하고, 노즐(5)을 통해 액체 흡습제를 토출하여 작업을 진행한다. 이 때, 전술한 것과 같이 노즐로부터 토출되는 액체 흡습제는 캔틸레버(6)를 타격하면서 낙하하게 된다. 따라서, 액체 흡습제가 토출될 때마다 캔틸레버(6)가 진동하게 되고, 레이저센서(7)는 캔틸레버의 진동에 따라 가변되는 신호를 제어장치(미도시)로 전달하여 진동값에 따른 토출량을 계산한다. As described above, when the quantitative discharge range R1 and the error range ± R2 are set, the substrate and the can are loaded, and the liquid absorbent is discharged through the nozzle 5 to proceed with the operation. At this time, as described above, the liquid moisture absorbent discharged from the nozzle falls while hitting the
제어장치(미도시)는 상기와 같이 계산된 토출량이 정량 토출 범위(R1)인지 판단하여, 토출량이 정량 범위 이내인 것으로 판단된 경우에는 계속 작업을 진행하고, 토출량이 정량 범위를 벗어나 오차 범위(±R2)를 벗어나는 경우에는 밸런스모터(3)를 구동하여 용적실린더(2)의 용적을 조정함으로써 토출량이 정량 범위(R1)가 되도록 보정한 후 작업을 진행한다. 만일, 측정된 토출량이 한번에 오차 범위 밖의 영역인 것으로 측정되면 제어장치는 이에 대한 정보를 저장한 다음, 제품 완성 후 등급 결정시 정보로 활용한다. The controller (not shown) determines whether the discharge amount calculated as described above is the fixed-quantity discharge range R1, and if it is determined that the discharge amount is within the fixed-quantity range, the control apparatus continues to operate, and the discharge amount exceeds the error range ( If it is out of ± R2), the
작업이 모두 완료되면, 기판과 캔을 언로딩하고, 새로운 기판과 캔을 로딩하여 다음 작업을 순차적으로 진행한다. When the work is complete, the substrate and cans are unloaded, the new substrate and cans are loaded, and the next work is performed sequentially.
이상에서와 같이 본 발명에 따르면, 액체 흡습제와 같은 액체 물질을 토출하는 과정에서 실시간으로 토출량을 측정하고 보정할 수 있으므로, 작업의 신뢰성이 대폭 향상되고, 측정 및 보정에 소요되는 시간과 노력을 대폭 축소할 수 있어 생산성도 향상시킬 수 있는 이점이 있다. As described above, according to the present invention, since the discharge amount can be measured and corrected in real time in the process of discharging a liquid substance such as a liquid absorbent, the reliability of the work is greatly improved, and the time and effort required for the measurement and correction are greatly increased. There is an advantage that can be reduced to improve productivity.
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| KR1020050103101A KR20070046409A (en) | 2005-10-31 | 2005-10-31 | Apparatus for measuring the amount of liquid material for manufacturing display device |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200145388A (en) * | 2019-06-21 | 2020-12-30 | 세메스 주식회사 | Apparatus and method for calculating injection quantity of fluid |
-
2005
- 2005-10-31 KR KR1020050103101A patent/KR20070046409A/en not_active Application Discontinuation
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