KR20070037016A - The tilt angle measuring method using a 3-d auto collimator - Google Patents

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Abstract

본 발명은 3차원 오토콜리메이터의 2차반사에 의하여 광학부품의 경사각을 측정하는 방법에 관한 것으로서, 스크린상의 변위(x',y')와 회전각(

Figure 112005055694480-PAT00001
,
Figure 112005055694480-PAT00002
,
Figure 112005055694480-PAT00003
)에 의하여 식
Figure 112005055694480-PAT00004
및
Figure 112005055694480-PAT00005
을 이용하여 광학부품의 경사값(x,y)을 도출함으로써 광학부품의 위치를 보정하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a method for measuring the inclination angle of an optical component by the secondary reflection of the three-dimensional autocollimator, the displacement on the screen (x ', y') and the rotation angle (
Figure 112005055694480-PAT00001
,
Figure 112005055694480-PAT00002
,
Figure 112005055694480-PAT00003
Ceremony by)
Figure 112005055694480-PAT00004
And
Figure 112005055694480-PAT00005
Deriving the inclination value (x, y) of the optical component by using to correct the position of the optical component.

또한, 광학부품이 X축을 중심으로 각

Figure 112005055694480-PAT00006
만큼 회전되고 Y축을 중심으로 각
Figure 112005055694480-PAT00007
만큼 회전될때 스크린상의 타원형에 대한 특성식이
Figure 112005055694480-PAT00008
인 것을 특징으로 한다.In addition, the optical component
Figure 112005055694480-PAT00006
Rotated by and angled around the Y axis
Figure 112005055694480-PAT00007
The characteristic of the ellipse on the screen when
Figure 112005055694480-PAT00008
It is characterized by that.

본 발명에 의하면, 오토콜리메이터의 2차반사시 나타나는 타원형의 패턴을 이용하여 대상부품의 경사값을 정확하게 측정하여 정위치로 보정할 수 있는 효과가 있으며, 2차반사시 나타나는 타원형 패턴의 특성식에 의해 대상부품의 경사정도를 용이하게 파악할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, by using the elliptical pattern appearing during the secondary reflection of the auto collimator, it is possible to accurately measure the inclination value of the target part and correct it to the correct position. As a result, the degree of inclination of the target part can be easily grasped.

3차원 오토콜리메이터, 2차반사, 타원형, 경사각 3D auto collimator, secondary reflection, oval, tilt angle

Description

3차원 오토콜리메이터의 2차반사를 이용한 경사각 측정방법{the tilt angle measuring method using a 3-D auto collimator}The tilt angle measuring method using a 3-D auto collimator}

도 1은 오토콜리메이터를 이용하여 1차반사에 따른 측정을 하는 원리를 간단히 설명한 개략적인 구성도,1 is a schematic configuration diagram briefly explaining the principle of making a measurement according to the first reflection using an auto collimator,

도 2는 1차반사 전후에 있어서 빛이 형성하는 원형 패턴을 나타낸 도면,2 is a view showing a circular pattern formed by light before and after the first reflection,

도 3은 광학부품에 빛이 1차 및 2차 반사되는 형태를 개략적으로 도시한 사시도,3 is a perspective view schematically illustrating a form in which light is first and second reflected on an optical component;

도 4(a)는

Figure 112005055694480-PAT00009
=0 인 경우로서 X축을 중심으로 한 회전이 없는 경우를 나타낸 도면,Figure 4 (a) is
Figure 112005055694480-PAT00009
A diagram showing a case in which there is no rotation about the X axis as = 0,

도 4(b)는

Figure 112005055694480-PAT00010
=0 인 경우로서 Y축을 중심으로 한 회전이 없는 경우를 나타낸 도면,Figure 4 (b) is
Figure 112005055694480-PAT00010
A diagram showing a case where there is no rotation about the Y axis as = 0,

도 4(c)는

Figure 112005055694480-PAT00011
=0 이고
Figure 112005055694480-PAT00012
=45˚인 경우로서 X축을 중심으로 한 회전은 없고 Z축을 중심으로 45˚회전한 경우를 나타낸 도면.4 (c)
Figure 112005055694480-PAT00011
= 0 and
Figure 112005055694480-PAT00012
Figure showing the case where 45 ° rotation about the Z axis without rotation about the X axis in the case of = 45 °.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *  Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 대상부품 20 : 미러10: target part 20: mirror

30 : 입사되는 빛 40 : 1차반사된 빛 30: incident light 40: primary reflected light

50 : 2차반사된 빛50: secondary reflected light

본 발명은 3차원 오토콜리메이터(auto collimator)의 2차반사를 이용한 경사각 측정방법에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 2차반사시 스크린에 나타나는 타원형의 패턴을 이용하여 대상부품의 경사각을 정확히 측정할 수 있는 측정방법에 관한 것이다.The present invention relates to an inclination angle measurement method using secondary reflection of a three-dimensional auto collimator, and more particularly, it is possible to accurately measure the inclination angle of a target part using an oval pattern appearing on the screen during the secondary reflection. It relates to a measuring method.

LCD, CD, DVD 등 광학장치의 픽업(pickup)에는 빛을 반사하는 미러(mirror)와 같은 각종 광학부품이 많이 사용되는데, 이러한 부품의 조립과정에서 초기에 조립된 광학부품들의 정확한 배치여부를 측정하여 부정확한 경우 정위치로 재배치시키는 보정작업을 수행해야 한다.Many optical components such as mirrors reflecting light are used for pick-up of optical devices such as LCDs, CDs, and DVDs. If it is inaccurate, the corrections should be made to reposition them.

위와 같은 측정을 위해서는 오토콜리메이터가 사용되는데, 도 1을 참고하여 이의 원리를 간단히 설명하면 다음과 같다.An auto collimator is used for the above measurement, which is briefly described with reference to FIG. 1 as follows.

광원(S)에 의해 렌즈(L1)를 통과하여 평행광선으로 된 빛은 반투명 미러(H)에서 반사되어 광로 중에 있는 대상부품(O)에 조사된다. 상기 대상부품(O)에 의해 반 사된 빛은 역진하여 반투명 미러(H)와 렌즈(L2)를 통과하여 CCD(charge-coupled device)의 스크린(G) 위에 상을 만든다. 도 1(a)에서와 같이 샘플이 광축에 수직으로 배치된 경우에는 상이 CCD 스크린상의 중앙에 위치하지만, 도 1(b)에서와 같이 샘플이 광축과 경사를 이룰 경우에는 상이 경사각에 비례하여 CCD 스크린상의 일정지점에 위치한다.The light which passes through the lens L1 by the light source S and becomes parallel light is reflected by the translucent mirror H, and is irradiated to the target component O in the optical path. The light reflected by the object O is reversed to pass through the translucent mirror H and the lens L2 to form an image on the screen G of the charge-coupled device (CCD). If the sample is placed perpendicular to the optical axis as shown in Fig. 1 (a), the image is located at the center of the CCD screen.However, if the sample is inclined with the optical axis as shown in Fig. 1 (b), the image is proportional to the inclination angle. It is located at a certain point on the screen.

따라서, 상이 중심에서 벗어난 정도를 측정하여 대상부품(O)의 경사각을 구할 수 있으며, 이렇게 구한 값에 따라 대상부품(O)을 정위치로 배치시키는 보정작업을 하게 된다.Therefore, the inclination angle of the target component (O) can be obtained by measuring the degree of deviation from the center of the image, and the correction operation of arranging the target component (O) in the correct position is performed according to the obtained value.

이는 미러(M)의 1차반사에 대한 측정으로서, 스크린에 맺히는 상은 동심원을 이루므로 X-Y-Z좌표계에 의하여 경사정도가 정확히 측정된다.This is a measurement of the primary reflection of the mirror (M), since the image formed on the screen is concentric circles, the degree of inclination is accurately measured by the X-Y-Z coordinate system.

이를 상세히 설명하면, 대상물체가 Z축을 중심으로 각도

Figure 112005055694480-PAT00013
만큼 회전하는 경우의 회전방정식은 다음과 같다.In detail this, the object is the angle around the Z axis
Figure 112005055694480-PAT00013
The rotation equation when rotating by

Figure 112005055694480-PAT00014
Figure 112005055694480-PAT00014

Figure 112005055694480-PAT00015
Figure 112005055694480-PAT00015

Figure 112005055694480-PAT00016
Figure 112005055694480-PAT00016

스크린은 X-Y평면이므로 X와 Y변위만을 행렬형식으로 표현하면 다음과 같다.Since the screen is the X-Y plane, only the X and Y displacements in matrix form are

Figure 112005055694480-PAT00017
Figure 112005055694480-PAT00017

여기서, x와 y는 대상물체의 변위값이고, x'와 y'는 스크린에 나타나는 변위값이다. 또한, 대상물체가

Figure 112005055694480-PAT00018
만큼 기울면 반사광선은 2
Figure 112005055694480-PAT00019
만큼 기울기 때문에 2배수 가 곱해진다.Here, x and y are displacement values of the object, and x 'and y' are displacement values appearing on the screen. Also, the object
Figure 112005055694480-PAT00018
If you tilt by 2
Figure 112005055694480-PAT00019
Because it slopes by, it is multiplied by 2 times.

대상물체와 스크린이 서로 평행할 경우

Figure 112005055694480-PAT00020
=0 이므로, 윗 식은 다음과 같이 된다.When the object and the screen are parallel to each other
Figure 112005055694480-PAT00020
Since = 0, the above expression becomes

Figure 112005055694480-PAT00021
Figure 112005055694480-PAT00021

이 식에서 x'=2x 이고, y'=2y 이므로,

Figure 112005055694480-PAT00022
이고,
Figure 112005055694480-PAT00023
이다.In this expression x '= 2x and y' = 2y,
Figure 112005055694480-PAT00022
ego,
Figure 112005055694480-PAT00023
to be.

또한, 반사전의 좌표값을 원의 방정식으로 나타내면

Figure 112005055694480-PAT00024
인데, 여기에
Figure 112005055694480-PAT00025
와
Figure 112005055694480-PAT00026
를 대입하고 정리하면 반사후의 좌표값에 대한 원의 방정식
Figure 112005055694480-PAT00027
이 된다.Also, if the coordinate value before reflection is represented by the original equation,
Figure 112005055694480-PAT00024
But here
Figure 112005055694480-PAT00025
Wow
Figure 112005055694480-PAT00026
Substituting and arranging, the equation of the circle for the coordinate values after reflection
Figure 112005055694480-PAT00027
Becomes

즉, 도 2에서 알 수 있는 바와 같이 이를 X-Y 좌표상에 나타내면 반사후에도 동일한 원형의 패턴을 가지지만 반경은 2배로 됨을 알 수 있다.That is, as can be seen in FIG. 2, it can be seen that on the X-Y coordinate, it has the same circular pattern even after reflection, but the radius is doubled.

따라서, 스크린에 나타난 변위값

Figure 112005055694480-PAT00028
와
Figure 112005055694480-PAT00029
를 측정하여 대상물체의 기울기값인
Figure 112005055694480-PAT00030
와
Figure 112005055694480-PAT00031
를 알 수 있고, 그에 의하여 대상물체를 정확한 위치로 보정할 수 있다.Therefore, the displacement value shown on the screen
Figure 112005055694480-PAT00028
Wow
Figure 112005055694480-PAT00029
By measuring the slope of the object
Figure 112005055694480-PAT00030
Wow
Figure 112005055694480-PAT00031
It can be seen, thereby correcting the object to the correct position.

그러나, 픽업(pickup)의 각종 광학부품 대부분은 경사각이 심하거나 일반적인 1차반사로 측정할 수 없는 구조이므로, 도 3에서와 같이 다른 미러의 반사를 거쳐 되돌아오는 빛, 즉 2번 반사된 빛을 이용하여 각도를 측정하여야 하는데, 이 경우 위에서와 같은 원형의 패턴으로 나타나지 않고 타원형의 패턴이 형성된다.However, most of the various optical components of the pickup (up pickup) is a structure in which the inclination angle is severe or cannot be measured by the general primary reflection, so that the light returned through the reflection of another mirror, that is, the light reflected twice, as shown in FIG. The angle should be measured by using an elliptical pattern instead of the circular pattern shown above.

따라서, 위와 같은 1차반사에 따른 원형패턴에 근거한 방법이 적용될 수 없어서 개략적인 위치만을 파악한 상태에서 부품의 위치를 보정하게 되는 문제점이 있었다. 일본의 일부업체에서는 원이 아닌 포괄적인 직사각형 패턴으로 표시하여 적 용하는 경우도 있었다.Therefore, there is a problem in that the method based on the circular pattern according to the first reflection cannot be applied, so that the position of the parts is corrected in a state where only the rough position is understood. Some companies in Japan have applied it as a comprehensive rectangular pattern rather than a circle.

즉, 종래의 오토콜리메이터에 의한 측정방법은 1차반사의 경우에만 올바르게 적용될 수 있고 2차반사의 경우에는 적용될 수 없다는 문제점이 있다.That is, the conventional measuring method by the auto collimator has a problem that it can be applied correctly only in the case of the first reflection and not in the case of the second reflection.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 목적은 오토콜리메이터의 2차반사시 나타나는 타원형 패턴을 이용하여 대상부품의 경사각을 계산함으로써 대상부품의 위치를 정확한 위치로 배치시킬 있는 측정방법을 제공하는 데 있다.In order to solve the above problems, an object of the present invention is to provide a measuring method for positioning the position of the target part to the correct position by calculating the inclination angle of the target part using the elliptical pattern appearing during the secondary reflection of the auto collimator. There is.

본 발명의 다른 목적은 오토콜리메이터의 2차반사시 나타나는 타원형 패턴에 대한 특성식을 유도하여 경사각에 따른 타원형의 형태를 파악하는데 있다.Another object of the present invention is to determine the shape of the oval according to the inclination angle by deriving a characteristic formula for the elliptical pattern appearing during the second reflection of the auto collimator.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 3차원 오토콜리메이터의 2차반사를 이용한 경사각 측정방법은, 스크린상의 변위(x',y')와 회전각(

Figure 112005055694480-PAT00032
,
Figure 112005055694480-PAT00033
,
Figure 112005055694480-PAT00034
)에 의하여 식
Figure 112005055694480-PAT00035
및
Figure 112005055694480-PAT00036
을 이용하여 광학부품의 경사값(x,y)을 도출함으로써 광학부품의 위치를 보정하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the inclination angle measurement method using the secondary reflection of the three-dimensional autocollimator of the present invention, the displacement on the screen (x ', y') and the rotation angle (
Figure 112005055694480-PAT00032
,
Figure 112005055694480-PAT00033
,
Figure 112005055694480-PAT00034
Ceremony by)
Figure 112005055694480-PAT00035
And
Figure 112005055694480-PAT00036
Deriving the inclination value (x, y) of the optical component by using to correct the position of the optical component.

또한, 광학부품이 X축을 중심으로 각

Figure 112005055694480-PAT00037
만큼 회전되고 Y축을 중심으로 각
Figure 112005055694480-PAT00038
만큼 회전될 때 스크린상의 변위(x',y')에 대한 특성식이
Figure 112005055694480-PAT00039
인 것을 특징으로 한다.In addition, the optical component
Figure 112005055694480-PAT00037
Rotated by and angled around the Y axis
Figure 112005055694480-PAT00038
The characteristic equation for the displacement on the screen (x ', y') when
Figure 112005055694480-PAT00039
It is characterized by that.

이하 본 발명의 오토콜리메이터의 2차반사를 이용한 경사각 측정방법의 일실시예를 예시도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the inclination angle measuring method using the secondary reflection of the autocollimator of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 광학부품에 빛이 1차 및 2차 반사되는 형태를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명의 방법에 의하여 도시한 스크린 상의 타원형의 형태를 나타낸 도면이다.FIG. 3 is a perspective view schematically showing a form in which light is first and second reflected on an optical component, and FIG. 4 is a view showing an elliptical shape on a screen shown by the method of the present invention.

도 3에 도시된 바와 같이, 보정대상인 광학부품(10)이 1차반사에 의한 측정이 블가능한 상태에 놓인 경우 1차반사되는 곳에 미러(20)를 설치하여 대상부품으로 다시 입사시키고, 그로부터 반사된 빛이 오토콜리메이터의 스크린에 입사된다.As shown in FIG. 3, when the optical component 10 to be corrected is in a state where the measurement by the primary reflection is possible, the mirror 20 is installed at the primary reflection to be incident again to the target component, and the reflected light is reflected therefrom. Light is incident on the screen of the autocollimator.

3차원 회전이동은 X, Y, Z 세 축에 대한 세 번의 연속된 회전으로 구성될 수 있다. 먼저 Z축에 대해 각도

Figure 112005055694480-PAT00040
만큼 회전시키고, 다음에 Y축에 대해 각도
Figure 112005055694480-PAT00041
만큼 회전시키고, 마지막으로 X축에 대해 각도
Figure 112005055694480-PAT00042
만큼 회전시킴으로써 원하는 행렬을 만들 수 있다.Three-dimensional rotational movement can consist of three successive rotations about the three axes X, Y, and Z. First angle to the Z axis
Figure 112005055694480-PAT00040
Rotate it by and then angle it
Figure 112005055694480-PAT00041
Rotate it by and finally the angle
Figure 112005055694480-PAT00042
By rotating it, you can create the matrix you want.

Z축에 대해 각도

Figure 112005055694480-PAT00043
만큼 회전하는 경우의 행렬식은,Angle about Z axis
Figure 112005055694480-PAT00043
The determinant for rotation by

Figure 112005055694480-PAT00044
Figure 112005055694480-PAT00044

이고, Y축에 대해 각도

Figure 112005055694480-PAT00045
만큼 회전하는 경우의 행렬식은,, Angle to the Y axis
Figure 112005055694480-PAT00045
The determinant for rotation by

Figure 112005055694480-PAT00046
Figure 112005055694480-PAT00046

이며, X축에 대해 각도

Figure 112005055694480-PAT00047
만큼 회전하는 경우의 행렬식은,, Angle to the X axis
Figure 112005055694480-PAT00047
The determinant for rotation by

Figure 112005055694480-PAT00048
Figure 112005055694480-PAT00048

이다.to be.

따라서, 3차원 회전이동에 대한 행렬식은 위의 세 가지 행렬식을 아래와 같이 곱함으로써 얻을 수 있다. 아래 식은 행렬간의 곱이므로 순서에 주의하여야 한다.Therefore, the determinant for the three-dimensional rotational movement can be obtained by multiplying the above three determinants as follows. The following equation is the product of the matrices, so pay attention to the order.

Figure 112005055694480-PAT00049
Figure 112005055694480-PAT00049

Figure 112005055694480-PAT00050
Figure 112005055694480-PAT00051
Figure 112005055694480-PAT00052
Figure 112005055694480-PAT00050
Figure 112005055694480-PAT00051
Figure 112005055694480-PAT00052

Figure 112005055694480-PAT00053
Figure 112005055694480-PAT00053

Figure 112005055694480-PAT00054
Figure 112005055694480-PAT00054

여기서, 스크린의 중심을 좌표축의 중심으로 정하면 z=0이 되고, xy성분은 첫 번째 행렬의 요소

Figure 112005055694480-PAT00055
와 두 번째 행렬의 요소
Figure 112005055694480-PAT00056
에 의해 결정된다.Here, if the center of the screen is set to the center of the coordinate axis, z = 0, and the xy component is an element of the first matrix.
Figure 112005055694480-PAT00055
And elements of the second matrix
Figure 112005055694480-PAT00056
Determined by

이 식을 이용하여 2차반사에 대한 변위식을 구하면 다음과 같다.Using this equation, the displacement equation for the secondary reflection is as follows.

Figure 112005055694480-PAT00057
Figure 112005055694480-PAT00058
Figure 112005055694480-PAT00057
Figure 112005055694480-PAT00058

여기서 x, y, z는 대상부품의 x, y, z방향으로의 변위이고, x', y', z'는 2 차 반사된 후 스크린상에 나타난 x, y, z방향으로의 변위이다. 또한 1회반사시 평행선으로부터 기울어진 경사각이 입사각의 두배가 되므로, 위의 경우 2회반사에 해당하여 4배수를 곱한 것이다.Where x, y, z are displacements in the x, y, z direction of the target component, and x ', y', z 'are displacements in the x, y, z directions shown on the screen after the secondary reflection. In addition, since the inclination angle inclined from the parallel line at the time of one reflection is twice the incidence angle, it is multiplied by four times corresponding to the two reflections.

위에서 설명한 바와 같이, 스크린은 평면이므로 스크린 중심에서의 좌표계를 기준으로 하면 y' = y = 0 이다As described above, the screen is planar, so y '= y = 0 with respect to the coordinate system at the screen center.

따라서, 스크린상의 변위행렬식을 유도하면 다음과 같다.Therefore, the displacement matrix on the screen is derived as follows.

Figure 112005055694480-PAT00059
Figure 112005055694480-PAT00059

여기서, 첫 번째 행렬식인

Figure 112005055694480-PAT00060
은 스크린상의 회전이동을 나타내는 식으로서, 그래프를
Figure 112005055694480-PAT00061
만큼 회전이동시킨다.Where the first determinant
Figure 112005055694480-PAT00060
Is an expression representing rotation on the screen.
Figure 112005055694480-PAT00061
Rotate as much as

위식을 계속하여 풀면 다음과 같다.If we continue to solve the above equation,

Figure 112005055694480-PAT00062
Figure 112005055694480-PAT00063
Figure 112005055694480-PAT00062
Figure 112005055694480-PAT00063

따라서, 스크린상의 변위 x'와 y'는 다음과 같다.Thus, the displacements x 'and y' on the screen are as follows.

Figure 112005055694480-PAT00064
Figure 112005055694480-PAT00064

Figure 112005055694480-PAT00065
Figure 112005055694480-PAT00065

이를 이용하여 광학부품의 실제 변위인 x와 y를 구하면 다음과 같다.Using this, x and y, which are actual displacements of optical components, are obtained as follows.

Figure 112005055694480-PAT00066
Figure 112005055694480-PAT00066

Figure 112005055694480-PAT00067
Figure 112005055694480-PAT00067

이 값을 원형 패턴에 대한 원의 방정식

Figure 112005055694480-PAT00068
에 대입하면 아래식이 된 다.The value of the circle equation for the circular pattern
Figure 112005055694480-PAT00068
Substituting into gives the expression

Figure 112005055694480-PAT00069
Figure 112005055694480-PAT00069

이 식은

Figure 112005055694480-PAT00070
=0일 때
Figure 112005055694480-PAT00071
이 되고,This expression
Figure 112005055694480-PAT00070
When = 0
Figure 112005055694480-PAT00071
Become,

Figure 112005055694480-PAT00072
=0일 때
Figure 112005055694480-PAT00073
이 된다.
Figure 112005055694480-PAT00072
When = 0
Figure 112005055694480-PAT00073
Becomes

즉, 도 4에서 알 수 있는 바와 같이 스크린 상에 타원형의 형태로 나타난다. 도 4(a)는

Figure 112005055694480-PAT00074
=0인 경우로서 X축을 중심으로 한 회전이 없는 경우를 나타내고, 도 4(b)는
Figure 112005055694480-PAT00075
=0인 경우로서 Y축을 중심으로 한 회전이 없는 경우를 나타내며, 도 4(c)는
Figure 112005055694480-PAT00076
=0이고
Figure 112005055694480-PAT00077
=45˚인 경우로서 X축을 중심으로 한 회전이 없고 Z축을 중심으로 45˚회전한 경우를 나타낸다.That is, as shown in Figure 4 it appears in the form of an oval on the screen. Figure 4 (a) is
Figure 112005055694480-PAT00074
A case where = 0 is a case where there is no rotation about the X axis, and FIG.
Figure 112005055694480-PAT00075
In the case of = 0, there is no rotation about the Y axis.
Figure 112005055694480-PAT00076
= 0
Figure 112005055694480-PAT00077
= 45 °, which means that there is no rotation about the X axis and 45 ° rotation about the Z axis.

도 4(c)의 경우를 보면, Z축을 중심으로 회전하는 경우에는 타원형의 장축이 Z축을 중심으로 회전한 각만큼 X-Y평면상에서 반시계방향으로 회전함을 알 수 있다.4 (c), it can be seen that when rotating about the Z axis, the long axis of the oval rotates counterclockwise on the X-Y plane by an angle rotated about the Z axis.

이와 같이 스크린상의 변위값 x'와 y'를 측정하고, 타원형의 형태에 따른 각 축을 중심으로 한 회전각도를 파악하여, 대상부품의 경사값 x와 y를 계산할 수 있으므로, 그에 의해 대상부품의 위치를 정위치로 배치할 수 있다.In this way, the displacement values x 'and y' on the screen can be measured, and the tilt angles x and y of the target part can be calculated by grasping the rotation angle around each axis according to the elliptical shape. Can be placed in place.

상술한 바와 같이 본 발명의 일실시예에 의한 오토콜리메이터의 2차반사를 이용한 경사각 측정방법에 의하면, 오토콜리메이터의 2차반사시 나타나는 타원형의 패턴을 이용하여 대상부품의 경사각을 정확하게 측정하여 정위치로 보정할 수 있는 효과가 있으며, 2차반사시 나타나는 타원형 패턴의 특성식에 의해 대상부품의 경사정도를 용이하게 파악할 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the inclination angle measurement method using the secondary reflection of the auto collimator according to an embodiment of the present invention, by accurately measuring the inclination angle of the target part using an elliptical pattern appearing during the secondary reflection of the auto collimator, There is an effect that can be corrected, and by the characteristic expression of the elliptical pattern appearing during the second reflection has an effect that can easily grasp the degree of inclination of the target part.

Claims (2)

3차원 오토콜리메이터의 2차반사에 의하여 광학부품의 경사각을 측정하는 방법에 있어서, 스크린상의 변위(x',y')와 회전각(
Figure 112005055694480-PAT00078
,
Figure 112005055694480-PAT00079
,
Figure 112005055694480-PAT00080
)에 의하여 식
Figure 112005055694480-PAT00081
및
Figure 112005055694480-PAT00082
을 이용하여 광학부품의 경사값(x,y)을 도출함으로써 광학부품의 위치를 보정하는 것을 특징으로 하는 3차원 오토콜리메이터(auto collimator)의 2차반사를 이용한 경사각 측정방법.In the method for measuring the inclination angle of an optical component by the secondary reflection of a three-dimensional auto collimator, the displacement (x ', y') and the rotation angle (
Figure 112005055694480-PAT00078
,
Figure 112005055694480-PAT00079
,
Figure 112005055694480-PAT00080
Ceremony by)
Figure 112005055694480-PAT00081
And
Figure 112005055694480-PAT00082
The method of measuring the tilt angle using the secondary reflection of the three-dimensional auto collimator, characterized in that for correcting the position of the optical component by deriving the inclination value (x, y) of the optical component using. 제1항에 있어서, 광학부품이 X축을 중심으로 각
Figure 112005055694480-PAT00083
만큼 회전되고 Y축을 중심으로 각
Figure 112005055694480-PAT00084
만큼 회전될 때 스크린상의 변위(x',y')에 대한 특성식이
Figure 112005055694480-PAT00085
인 것을 특징으로 하는 3차원 오토콜리메이터(auto collimator)의 2차반사를 이용한 경사각 측정방법.The optical component of claim 1, wherein the optical component is angled about the X axis.
Figure 112005055694480-PAT00083
Rotated by and angled around the Y axis
Figure 112005055694480-PAT00084
The characteristic equation for the displacement on the screen (x ', y') when
Figure 112005055694480-PAT00085
Tilt angle measurement method using the secondary reflection of the three-dimensional auto collimator, characterized in that the.
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