KR20070024149A - Vibrator for ultrasonic motor and ultrasonic motor thereby - Google Patents

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KR20070024149A
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박태곤
정현호
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창원대학교 산학협력단
주식회사 하나금속
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Abstract

A vibrator for an ultrasonic motor and the ultrasonic motor using the same are provided to prevent degradation of the ultrasonic motor by reducing frictional heat by spacing the vibrator apart from a rotor. A vibrator for an ultrasonic motor includes an elastic unit(300) and a piezoelectric ceramic(310). The elastic unit is hollow and compressed and restored by an external tensile force. The elastic unit is made of aluminum, a stainless steel, and a bronze. The piezoelectric ceramic generates a voltage, when a pressure is applied. The piezoelectric ceramic converts mechanical vibration energy to an electric energy or the electric energy to the mechanical vibration energy. The piezoelectric ceramics are formed at four side end portions of the elastic unit. The piezoelectric ceramics are arranged, so that a pair of piezoelectric ceramics with opposite polarities are arranged at the side end portion.

Description

초음파 모터의 진동자 및 이를 이용한 초음파 모터{vibrator for ultrasonic motor and ultrasonic motor thereby}Vibrator for ultrasonic motor and ultrasonic motor using same

도 1은 종래의 초음파 모터를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a conventional ultrasonic motor.

도 2는 도 1의 압전 세라믹에 대한 확대 평면도이다.FIG. 2 is an enlarged plan view of the piezoelectric ceramic of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 모터의 진동자(30)는 탄성체(300) 및 압전세라믹(310)을 포함한다.3 shows that the vibrator 30 of the ultrasonic motor according to the embodiment of the present invention includes an elastic body 300 and a piezoelectric ceramic 310.

도 4은 도 3의 진동자(30)를 이용한 본 발명의 실시예에 따른 초음파 모터(40)를 나타내는 평면도이다.4 is a plan view of the ultrasonic motor 40 according to the embodiment of the present invention using the vibrator 30 of FIG.

도 5는 본 발명에 의한 초음파 모터에 인가되는 전압의 파형을 나타내는 그래프이다.5 is a graph showing the waveform of the voltage applied to the ultrasonic motor according to the present invention.

도 6은 도 5와 같은 전압파형이 인가될 때 도 5에 표시된 시간대별로 탄성체(300)에 발생하는 뒤틀림을 나타내는 시뮬레이션 도면이다.FIG. 6 is a simulation diagram illustrating distortion occurring in the elastic body 300 for each time zone shown in FIG. 5 when the voltage waveform shown in FIG. 5 is applied.

도 7은 도 6에서와 같이 탄성체(300)에 뒤틀림 현상이 발생시 회전자(400)와의 접촉변위점을 나타내기 위한 도면이다.FIG. 7 is a view for showing a contact displacement point with the rotor 400 when a warp phenomenon occurs in the elastic body 300 as shown in FIG. 6.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

300: 탄성체 310: 압전세라믹300: elastomer 310: piezoceramic

400: 회전자 400: rotor

본 발명은 초음파 모터의 진동자 및 이를 이용한 초음파 모터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 압전세라믹의 역압전 효과를 이용한 십자형의 초음파 모터의 진동자 및 이를 이용한 초음파 모터에 관한 것이다.The present invention relates to an oscillator of an ultrasonic motor and an ultrasonic motor using the same, and more particularly, to an oscillator of a cross-shaped ultrasonic motor using a reverse piezoelectric effect of piezoelectric ceramics and an ultrasonic motor using the same.

도 1은 종래의 초음파 모터를 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1의 압전 세라믹에 대한 확대 평면도이다.1 is a view showing a conventional ultrasonic motor, Figure 2 is an enlarged plan view of the piezoelectric ceramic of FIG.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 초음파 모터(10)는 소정의 전압이 인가될 때 축방향으로 수축하여 인장하는 진동이 발생하는 압전세라믹(100), 상기 압전세라믹(100)의 진동에너지를 받아 뒤틀리면서 진동하는 탄성체(110) 및 압전세라믹(100)과 진동체(110)에서 발생하는 뒤틀림으로 인해 마찰하면서 회전하는 회전자(120)을 포함한다.As shown in FIG. 1, a conventional ultrasonic motor 10 receives vibration energy of a piezoelectric ceramic 100 and a piezoelectric ceramic 100 that generate a vibration that contracts and extends in an axial direction when a predetermined voltage is applied. The rotor 120 rotates while rubbing due to twisting and oscillating elastic body 110 and the piezoelectric ceramic 100 and the vibrating body 110.

즉, 압전세라믹(100)에 일정한 위상과 주파수를 가진 전압을 인가하게 되면 압전세라믹(100)의 진동에 의해 탄성체(110)에 일정한 방향(12)으로 진행파가 발생하게 되고, 이 진행파의 반대 방향(13)으로 회전자(120)가 회전하게 된다.That is, when a voltage having a predetermined phase and frequency is applied to the piezoelectric ceramic 100, traveling waves are generated in the constant direction 12 in the elastic body 110 by the vibration of the piezoelectric ceramic 100, and the opposite direction of the traveling waves. Rotor 120 is rotated by (13).

이와 같은 초음파 모터(10)에 사용되는 압전세라믹(100)은 도 2에 도시된 바와 같이 둥근 원형형태로 되어 그 테두리부에 서로 인접하는 지역의 분극이 서로 반대방향이 되도록 분극이 복잡하게 구성되어져 있다.The piezoceramic 100 used in the ultrasonic motor 10 has a rounded circular shape as shown in FIG. 2, and the polarization is complicated so that the polarizations of the regions adjacent to each other at the edges thereof are opposite to each other. have.

또한, 이러한 초음파 모터의 경우 그 구조가 복잡하고 크기를 줄이는데 한계가 있으며 진동체(110)와 회전자(120)의 마찰에 의해 모터가 구동되므로 마찰열이 발생하게 된다. 이러한 마찰열은 압전세라믹(100)에 전달되어 압전세라믹(100)의 분극에 영향을 미쳐 모터의 구동주파수를 변화시키므로 장시간 모터를 구동시 문제가 발생할 수 있다.In addition, in the case of such an ultrasonic motor, the structure is complicated and there is a limit to reducing the size, and friction heat is generated because the motor is driven by the friction between the vibrating body 110 and the rotor 120. The frictional heat is transmitted to the piezoelectric ceramic 100 to affect the polarization of the piezoelectric ceramic 100 to change the driving frequency of the motor, which may cause problems when the motor is driven for a long time.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 매운 단순한 구조를 가져 소형으로 제작가능하고 제작원가를 낯출 수 있을 뿐만 아니라 진동자와 회전자의 거리가 있어 마찰열의 발생이 적고 진동자 자체에 방열 기능이 있는 초음파 모터의 진동자를 제공하는데에 있다.The technical problem to be achieved by the present invention is a very simple structure that can be manufactured in a small size and can reduce the production cost, as well as the distance between the vibrator and the rotor is less frictional heat generated, the vibrator of the ultrasonic motor having a heat dissipation function on the vibrator itself To provide.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기의 진동자를 이용하는 초음파 모터를 제공하는데에 있다.Another object of the present invention is to provide an ultrasonic motor using the vibrator.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Technical problems to be achieved by the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기의 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 초음파 모터 의 진동자는 중공(中空)의 십자(十字)형 탄성체, 및 십자(十字)형 탄성체의 4개의 끝단의 측면부에 서로 반대방향의 분극을 가지도록 형성되는 압전 세라믹을 포함한다.The vibrator of the ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention for solving the above technical problem is opposite to each other at the side portions of the four ends of the hollow cross-shaped elastic body, and the cross-shaped elastic body It includes a piezoelectric ceramic formed to have polarization.

상기의 다른 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 초음파 모터는 중공(中空)의 십자(十字)형 탄성체, 및 십자(十字)형 탄성체의 4개의 끝단의 측면부에 서로 반대방향의 분극을 가지도록 형성되는 압전 세라믹을 포함하는 진동자; 및 탄성체의 중심부에 존재하는 탄성체의 네개의 모서리에 접하거나 소정의 이격거리를 가지도록 탄성체의 중심부에 형성되는 회전자를 포함하며, 탄성체의 중심을 기준으로 서로 마주보는 압전세라믹에 동일 파형, 동일 위상, 동일 주파수를 가지는 제1 전압이 인가되고, 서로 인접하는 압전세라믹에 상기 제1 전압과 동일 파형, 90°의 위상차, 동일 주파수를 가지는 제2 전압이 인가되며, 탄성체에 접지전압이 인가될 때 탄성체에서 발생하는 굴곡 진동에 의해 회전자가 회전하는 것을 특징으로 한다.Ultrasonic motor according to an embodiment of the present invention for solving the other technical problem is the polarization of the cross direction of the four ends of the hollow cross-shaped elastic body, and the cross-shaped elastic body in the opposite direction to each other Vibrator comprising a piezoelectric ceramic formed to have a; And a rotor formed at the center of the elastic body so as to contact the four edges of the elastic body existing at the center of the elastic body or to have a predetermined separation distance, and have the same waveform and the same as the piezoelectric ceramics facing each other based on the center of the elastic body. The first voltage having the phase and the same frequency is applied, the same waveform as the first voltage, the phase difference of 90 °, and the second voltage having the same frequency are applied to the piezoelectric ceramics adjacent to each other, and the ground voltage is applied to the elastic body. When the rotor is rotated by the bending vibration generated in the elastic body.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 첨부 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the accompanying drawings.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, only the present embodiments to make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

또한, 도면에서 발명을 구성하는 구성요소들의 크기는 명세서의 명확성을 위하여 과장되어 기술된 것이며, 어떤 구성요소가 다른 구성요소의 "내부에 존재하거나, 연결되어 설치된다"고 기재된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소와 접하여 설치될 수도 있고, 그 소정의 이격거리를 두고 설치될 수도 있으며, 이격거리를 두고 설치되는 경우엔 상기 어떤 구성요소를 상기 다른 구성요소에 고정 내지 연결시키기 위한 제3의 수단에 대한 설명이 생략될 수도 있다.In addition, the size of the components constituting the invention in the drawings are exaggerated for clarity of the specification, when any component is described as "exists inside, or is installed in connection with" other components, any of the above configuration An element may be installed in contact with the other component, or may be installed at a predetermined distance from the other component, and when installed at a distance, a third element for fixing or connecting the component to the other component The description of the means of may be omitted.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 초음파 모터의 진동자(30)는 탄성체(300) 및 압전세라믹(310)을 포함한다.3 shows that the vibrator 30 of the ultrasonic motor according to the embodiment of the present invention includes an elastic body 300 and a piezoelectric ceramic 310.

탄성체(300)는 외부에서 인장력과 같은 힘들 받으며 그 형태가 찌그러지거나 펴지는 물체로서 중공(中空), 즉 가운데가 비어 있는 형태의 십자(十字)형으로 되어 있으며, 소정의 두께를 가지고 있다.The elastic body 300 is an object that is subjected to a force such as a tensile force from the outside and is crushed or unfolded in the form of a hollow, that is, a cross shape of a hollow shape in the middle, and has a predetermined thickness.

탄성체(300)는 알루미늄(aluminium), 스테인레스 스틸(stainless steel), 황동과 같은 금속 재질로 만들어 지는데, 상기에서 제시한 금속 외에 일정한 탄성을 가질 수 있는 소재라면 다른 것도 사용가능하다.The elastic member 300 is made of a metal material such as aluminum, stainless steel, and brass, and other materials may be used as long as the material may have a certain elasticity in addition to the metals described above.

압전세라믹(piezoelectric ceramic; 310)은 압력이 가해졌을 때 전압을 발생하고, 전계가 가해졌을 때 기계적인 변형이 일어나는 소자로서 기계적인 진동에너지를 전기에너지로, 전기에너지를 기계적인 진동에너지로 상호 변환이 가능하며 변환효율이 매우 높은 재료이다.A piezoelectric ceramic 310 generates voltage when a pressure is applied and mechanical deformation occurs when an electric field is applied. The piezoelectric ceramic 310 converts mechanical vibration energy into electrical energy and electrical energy into mechanical vibration energy. This is possible and the conversion efficiency is very high.

이러한 압전세라믹(310)은 십자형 탄성체(300)의 4개의 끝단, 보다 구체적으로는 4개의 끝단 측면부에 형성된다.The piezoelectric ceramic 310 is formed at four ends, more specifically, four end side portions of the cross-shaped elastic body 300.

압전세라믹(310)을 탄성체(300)의 끝단 측면부에 형성시 2개의 부분으로 나눠서 형성하는 것이 바람직한데, 보다 구체적으로는 압전세라믹(310)은 탄성체(300)의 끝단 측면부에 서로 반대방향의 분극을 가지도록 즉, 하나의 파트가 상방향(↑)이면, 다른 하나의 파트는 하방향(↓)으로 분극이 배열되도록 형성하는 것이 바람직하다.When the piezoceramic 310 is formed at the end side surface of the elastic body 300, it is preferable to divide the piezoelectric ceramic 310 into two parts. More specifically, the piezoelectric ceramic 310 has polarization in opposite directions to the end side surface of the elastic body 300. In other words, if one part is upward (↑), the other part is preferably formed such that the polarization is arranged in the downward direction (↓).

도 4은 도 3의 진동자(30)를 이용한 본 발명의 실시예에 따른 초음파 모터(40)를 나타내는 평면도이다.4 is a plan view of the ultrasonic motor 40 according to the embodiment of the present invention using the vibrator 30 of FIG.

도 4에 도시된 바와 같이 초음파 모터(40)는 탄성체(300), 압전세라믹(310), 및 회전자(400)를 포함한다.As shown in FIG. 4, the ultrasonic motor 40 includes an elastic body 300, a piezoelectric ceramic 310, and a rotor 400.

다만, 도 4에 있어서 도 3에서 사용된 도면 부호와 동일 부호는 동일 부재를 나타낸다. 따라서, 탄성체(300)와 압전세라믹(310)으로 구성된 진동자에 대한 설명은 생략하기로 하고, 이에 대한 사항은 도 3의 설명을 참고하기로 한다.In FIG. 4, the same reference numerals as used in FIG. 3 denote the same members. Therefore, a description of the vibrator composed of the elastic body 300 and the piezoelectric ceramic 310 will be omitted, and the description thereof will be referred to the description of FIG. 3.

회전자(400)는 실제로 회전하여 일정한 외부기기에 회전력을 제공하는 부재이다.The rotor 400 is a member that actually rotates to provide rotational force to a constant external device.

회전자(400)는 십자형 탄성체(300)의 중심부에 형성되며, 상기 탄성체(300)의 중심부에 있는 네개의 모서리와 접하거나, 소정의 이격거리를 두면서 형성될 수 있다.The rotor 400 is formed in the center of the cross-shaped elastic body 300, it may be formed in contact with the four corners in the center of the elastic body 300, or at a predetermined distance apart.

이하에서는 도 4에 도시된 초음파 모터(40)의 작동 및 그 작동원리에 대해서 설명하도록 한다.Hereinafter, the operation of the ultrasonic motor 40 shown in FIG. 4 and its operation principle will be described.

먼저, 본 발명의 실시예에 따른 초음파 모터(40)를 작동하기 위해서는 탄성체(300)의 중심을 기준으로 서로 마주보는 상기 압전세라믹(310)에는 동일파형, 동일 위상, 동일 주파수를 가지도록 하는 제1 전압이 인가되어야 하고, 서로 인접하는 압전 세라믹(310)에는 제1 전압과 동일파형, 동일 주파수이나, 그 위상이 90°차이가 나는 전압이 인가되어야 한다.First, in order to operate the ultrasonic motor 40 according to the embodiment of the present invention, the piezoelectric ceramic 310 facing each other based on the center of the elastic body 300 has the same waveform, the same phase, and the same frequency. One voltage should be applied, and the piezoelectric ceramic 310 adjacent to each other should be applied with the same waveform and the same frequency as the first voltage but with a phase difference of 90 °.

상기 압전세라믹(310)에 인가되는 전압의 파형에 대해서는 도 5에 잘 나타나 있다.The waveform of the voltage applied to the piezoelectric ceramic 310 is well illustrated in FIG. 5.

그리고, 상기에서 설명한 전압인가에 대해 접지(grounding)는 탄성체(300)에 걸어준다.Then, the grounding is applied to the elastic body 300 with respect to the voltage application described above.

그 결과, 탄성체(300)에는 압전세라믹에서 발생하는 일정한 인장력(引壯力)이 가해지게 되고 그 결과 뒤틀림(twisting) 현상이 생기게 된다.As a result, a constant tensile force generated in the piezoelectric ceramic is applied to the elastic body 300, and as a result, a twisting phenomenon occurs.

도 6은 도 5와 같은 전압파형이 인가될 때 도 5에 표시된 시간대별로 탄성체(300)에 발생하는 뒤틀림을 나타내는 시뮬레이션 도면이다.FIG. 6 is a simulation diagram illustrating distortion occurring in the elastic body 300 for each time zone shown in FIG. 5 when the voltage waveform shown in FIG. 5 is applied.

탄성체는 도 5에 표시된 시간이 경과됨에 따라서(t0 → t1 →t2 → t3) 도 6에 도시된 바와 같은 형태로 변화하면서 탄성체의 형태가 뒤틀리게 된다.As the elastic body elapses as time shown in FIG. 5 (t 0 → t 1 → t 2 → t 3 ), the elastic body is distorted as shown in FIG. 6.

도 7은 도 6에서와 같이 탄성체(300)에 뒤틀림 현상이 발생시 회전자(400)와의 접촉변위점을 나타내기 위한 도면이다.FIG. 7 is a view for showing a contact displacement point with the rotor 400 when a warp phenomenon occurs in the elastic body 300 as shown in FIG. 6.

도 7에 도시된 바와 같이 상기에서 설명한 바와 같이 본 발명의 실시예에 의 한 초음파 모터(40)에 일정한 전압이 인가되면 압전세라믹(310)에서 발생하는 인장력으로 인해 탄성체(300)에 뒤틀림이 발생하면서 탄성체(300)는 그 중심의 모서리 부분에서 회전자(400)와 접촉하게 되어 회전자(400)와 마찰을 일으키게 된다.As shown in FIG. 7, when a constant voltage is applied to the ultrasonic motor 40 according to the exemplary embodiment of the present invention, distortion occurs in the elastic body 300 due to the tensile force generated in the piezoelectric ceramic 310. While the elastic body 300 is in contact with the rotor 400 at the corner portion of the center thereof will cause friction with the rotor 400.

그런데, 회전자(400)와 마찰을 일으킬 때 일정한 점마찰(point vibration) 내지는 선마찰(line vibration)이 발생하며 이러한 마찰점의 변위(displacement)를 하나의 선으로 나타내보면 도 7에 도시된 바와 같이 타원형(elliptical type)의 궤도(71, 72, 73, 74)를 가지게 된다. However, when friction with the rotor 400 occurs, constant point friction or line friction occurs, and the displacement of the friction point is represented by a single line as shown in FIG. 7. Likewise, they have elliptical types of orbits 71, 72, 73, and 74.

이와 같이 탄성체(300)에 뒤틀리면서 회전자(400)와 마찰을 일으켜 회전자(400)에 회전에너지를 발생하게 하고, 이 마찰의 방향이 압전세라믹(310)의 분극에 의해 동일한 방향으로 이루어지게 되므로 회전자(400)는 단일방향으로 회전을 하게 된다.As such, the elastic body 300 is twisted to cause friction with the rotor 400 to generate rotational energy to the rotor 400, and the direction of the friction is made in the same direction by the polarization of the piezoelectric ceramic 310. Therefore, the rotor 400 rotates in a single direction.

이와 같은 원리로 상기의 제1 전압과 제2 전압을 압전세라믹(310)에 반대로 인가하면 회전자(400)는 반대방향으로 회전하게 될 것이다.In this way, if the first voltage and the second voltage are applied to the piezoelectric ceramic 310 in the opposite direction, the rotor 400 will rotate in the opposite direction.

또한, 인가되는 전압의 크기는 외부에서 변화시킬 수 있으므로 그 전압의 크기를 변화시킴에 따라서 회전자(400)가 회전하는 속도의 조절도 가능해 질 것이다.In addition, since the magnitude of the applied voltage can be changed from the outside, it will be possible to adjust the speed at which the rotor 400 rotates by changing the magnitude of the voltage.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에 서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the present invention is not limited to the above embodiments but may be manufactured in various forms, and having ordinary skill in the art to which the present invention pertains. It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention. Therefore, it is to be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive.

본 발명의 실시예에 따른 초음파 모터의 진동자 및 이를 이용한 초음파 모터에 의하면 매운 단순한 구조를 가져 소형으로 제작가능하고 제작원가를 낯출 수 있을 뿐만 아니라 진동자와 회전자의 거리가 있어 마찰열의 발생이 적고 진동자 자체에 방열 기능이 있어 열화현상(degradation)을 방지할 수 있는 초음파 모터의 진동자 및 이를 이용한 초음파 모터의 제작이 가능해 진다.According to the vibrator of the ultrasonic motor and the ultrasonic motor using the same according to an embodiment of the present invention, it has a very simple structure and can be manufactured in a compact size. The self-heating function enables the manufacture of an ultrasonic motor vibrator and an ultrasonic motor using the same, which can prevent degradation.

Claims (4)

중공(中空)의 십자(十字)형 탄성체; 및Hollow cross-shaped elastic bodies; And 상기 십자(十字)형 탄성체의 4개의 끝단의 측면부에 서로 반대방향의 분극을 가지도록 형성되는 압전 세라믹을 포함하는 초음파 모터의 진동자.A vibrator of an ultrasonic motor including piezoelectric ceramics formed to have polarizations in opposite directions from each other at four end portions of the cross-shaped elastic body. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 탄성체는 알루미늄, 스테인레스 스틸, 황동과 같은 금속 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파 모터의 진동자.The elastic body is an oscillator of the ultrasonic motor, characterized in that formed of a metal material such as aluminum, stainless steel, brass. 중공(中空)의 십자(十字)형 탄성체, 및 상기 십자(十字)형 탄성체의 4개의 끝단의 측면부에 서로 반대방향의 분극을 가지도록 형성되는 압전 세라믹을 포함하는 진동자; 및A vibrator including a hollow cruciform elastic body and piezoelectric ceramics formed to have polarizations in opposite directions from each other at the side portions of the four ends of the cruciform elastic body; And 상기 탄성체의 중심부에 존재하는 상기 탄성체의 네개의 모서리에 접하거나 소정의 이격거리를 가지도록 상기 탄성체의 중심부에 형성되는 회전자를 포함하며,It includes a rotor formed in the center of the elastic body in contact with the four corners of the elastic body existing in the center of the elastic body or to have a predetermined separation distance, 상기 탄성체의 중심을 기준으로 서로 마주보는 상기 압전세라믹에 동일 파형, 동일 위상, 동일 주파수를 가지는 제1 전압이 인가되고, 서로 인접하는 압전세라믹에 상기 제1 전압과 동일 파형, 90°의 위상차, 동일 주파수를 가지는 제2 전 압이 인가되며, 상기 탄성체에 접지전압이 인가될 때 상기 탄성체에서 발생하는 굴곡 진동에 의해 회전자가 회전하는 것을 특징으로 하는 초음파 모터. A first voltage having the same waveform, the same phase, and the same frequency is applied to the piezoelectric ceramics facing each other based on the center of the elastic body, and the same waveform as the first voltage, the phase difference of 90 °, to the adjacent piezoelectric ceramics, The second motor having the same frequency is applied, the ultrasonic motor, characterized in that the rotor is rotated by the bending vibration generated in the elastic body when the ground voltage is applied to the elastic body. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 탄성체는 알루미늄, 스테인레스 스틸, 황동과 같은 금속 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파 모터.The elastic body is an ultrasonic motor, characterized in that formed of a metal material such as aluminum, stainless steel, brass.
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