KR20070021971A

KR20070021971A - 노광 장치

Info

Publication number: KR20070021971A
Application number: KR1020060078312A
Authority: KR
Inventors: 코이치 가지야마; 요시오 와타나베
Original assignee: 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디
Priority date: 2005-08-18
Filing date: 2006-08-18
Publication date: 2007-02-23
Also published as: KR101242184B1

Abstract

본 발명은 컬러 필터 기판(6)을 윗면에 위치시켜 소정 방향으로 반송하는 반송 수단(1)과, 상기 반송 수단(1)의 윗쪽에 배치되고, 리드 형상으로 형성되어 그 길이 방향을 따라서 소정 형상의 다수의 마스크 패턴(8)을 일정한 간격으로 형성하고, 상기 리드 형상의 길이 방향의 중심축이 상기 반송 수단(1)의 윗면에 평행한 면 내에서 반송 방향과 직교하는 방향을 따라 지그재그가 되도록 나열한 복수의 포토마스크(2)를 구비하고, 상기 복수의 포토마스크(2)에 대하여 노광광을 동시에 조사하고, 상기 각 포토마스크(2)에 의한 단위 노광 패턴열을 나열하여 일련의 노광 패턴열을 형성하는 것이다. 이것에 의하여, 인접하는 노광 영역의 경계부의 줄 무늬 또는 얼룩을 눈에 띄지 않도록 하는 동시에, 피노광체에 대한 노광 처리 시간을 단축시킨다.

Description

노광 장치{EXPOSURE APPARATUS}

도 1은 본 발명에 따른 노광 장치의 실시 형태를 나타내는 개념도이다.

도 2는 상기 노광 장치에 사용되는 한쪽 및 다른 한쪽의 포토마스크의 배치 상태를 나타내는 설명도이다.

도 3은 상기 한쪽 및 다른 한쪽의 포토마스크에 의하여 형성되는 노광 패턴열을 나타내는 설명도이다.

도 4는 상기 노광 장치에 있어서의 얼라인먼트 조정을 나타내는 설명도이다.

본 발명은 피노광체 상에 설정된 복수의 노광 영역에 대하여 인접하는 노광 영역의 단부가 중첩되도록 복수의 포토마스크를 사용하여 노광하고, 상기 인접하는 노광 영역의 경계부에 있어서의 줄 무늬 또는 얼룩이 눈에 띄지 않도록 한 노광 장치에 관한 것으로서, 상세하게는 피노광체에 대한 노광 처리 시간을 단축하고자 하는 노광 장치에 관한 것이다.

종래의 노광 장치는 제1 포토마스크를 사용하여 기판 상에 형성된 감광성 레지스터막의 일부를 구성하는 제1 노광 영역을 노광함으로써, 상기 감광성 레지스터 막의 제1 노광 영역에 제1 마스크 패턴을 전사하고, 제2 포토마스크를 사용하여 상기 감광성 레지스터막의 제1 노광 영역에 부분적으로 중첩하여 인접하는 제2 노광 영역을 노광함으로써, 상기 감광성 레지스터막의 제2 노광 영역에 제2 마스크 패턴을 전사하는 것으로, 상기 제1 마스크 패턴을 전사할 때에, 상기 제1 및 제2 노광 영역이 중첩된 경계 영역에 위치하는 화소 내의 일부분에 제1 마스크 패턴 부분을 전사하고, 상기 제2 마스크 패턴을 전사할 때는, 상기 화소 내의 다른 부분에 제2 마스크 패턴 부분을 전사하도록 되어 있었다(예를 들면, 일본 특허 공개 공보 2000-66235호 참조).

그러나, 이러한 종래의 노광 장치에 있어서는, 인접하는 노광 영역의 경계부에 있어서의 줄 무늬 또는 얼룩이 눈에 띄지 않게 할 수 있지만, 상기 복수의 노광 영역을 노광할 때에, 복수의 포토마스크를 각각 교체하여 다른 공정에서 노광하는 것이었으므로, 복수의 포토마스크를 교체할 때마다, 각 포토마스크에 설치된 얼라인먼트 마크와 노광하고자 하는 노광 영역에 형성된 얼라인먼트 마크와의 얼라인먼트를 하여야 하기 때문에, 노광 처리에 장시간을 필요로 하였다.

본 발명은 이러한 문제점에 대처하고, 인접하는 노광 영역의 경계부의 줄 무늬 또는 얼룩을 눈에 띄지 않도록 하는 동시에, 피노광체에 대한 노광 처리 시간을 단축하는 노광 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 노광 장치는 피노광체 상에 설정된 복수의 노광 영역에 대하여 인접하는 노광 영역의 단부가 중첩되도록 복수의 포토마스크를 사용하여 노광하고, 상기 중첩된 노광 영역에 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴과 다른 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴이 상호 보완되어, 상기 각 포토마스크에 의한 단위 노광 패턴열을 나열하여 일련의 노광 패턴열을 형성하는 노광 장치로서, 상기 피노광체를 표면에 위치시켜 소정 방향으로 반송하는 반송 수단과, 상기 반송 수단의 윗쪽에 배치되고, 리드 형상(reed-shaped)으로 형성되어 그 길이 방향을 따라서 소정 형상의 다수의 마스크 패턴을 일정한 간격으로 형성하고, 상기 단책형상의 길이 방향의 중심축이 상기 반송 수단의 윗면에 평행한 면 내에서 반송 방향과 직교하는 방향을 따라 지그재그가 되도록 나열한 복수의 포토마스크를 구비하고, 상기 복수의 포토마스크에 대하여 노광광을 동시에 조사하는 것이다.

이러한 구성에 의하여, 반송 수단으로 피노광체를 표면에 위치시켜 소정 방향으로 반송하고, 반송 수단의 윗쪽에 배치되고, 리드 형상으로 형성되어 그 길이 방향을 따라서 소정 형상의 다수의 마스크 패턴을 일정한 간격으로 형성하고, 상기 리드 형상의 길이 방향의 중심축이 상기 반송 수단의 윗면에 평행한 면 내에서 반송 방향과 직교하는 방향을 따라서 지그재그가 되도록 나열한 복수의 포토마스크에 대하여 노광광을 동시에 조사하고, 상기 복수의 포토마스크로 피노광체 상에 설정된 복수의 노광 영역에 인접하는 노광 영역의 단부가 중첩되도록 복수의 단위 노광 패턴열을 형성한다. 그 결과, 상기 중첩된 노광 영역에 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴과 다른 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴이 상호 보완되어 일련의 노 광 패턴열이 형성된다. 따라서, 인접하는 노광 영역의 경계부의 줄 무늬 또는 얼룩이 두드러지지 않도록 하는 동시에, 피노광체의 노광 처리 시간을 단축할 수 있다.

또한, 상기 복수의 포토마스크는 상기 한쪽의 포토마스크에 일정한 간격으로 형성된 복수의 마스크 패턴 중에서, 상기 다른 한쪽의 포토마스크에 인접하는 단부 영역에 위치하는 마스크 패턴의 일부를 건너뛰고, 다른 한쪽의 포토마스크에 일정한 간격으로 형성된 복수의 마스크 패턴 중에서, 상기 한쪽의 포토마스크가 건너뛴 마스크 패턴에 대응하는 마스크 패턴을 남기고, 상기 한편의 포토마스크에 남겨진 마스크 패턴에 대응하는 마스크 패턴을 건너뛴 것이다. 이것에 의하여, 소정 형상으로 일정한 간격을 두고 다수 형성된 마스크 패턴 중에서 다른 한쪽의 포토마스크에 인접하는 단부 영역에 위치하는 마스크 패턴의 일부를 건너뛴 한쪽의 포토마스크로 피노광체 상에 소정의 단위 노광 패턴열을 형성하고, 상기 한쪽의 포토마스크를 건너뛴 마스크 패턴에 대응하는 마스크 패턴을 남기고, 상기 한쪽의 포토마스크에 남겨진 마스크 패턴에 대응하는 마스크 패턴을 건너뛴 다른 한쪽의 포토마스크로 상기 한쪽의 포토마스크에 의한 소정의 단위 노광 패턴열을 형성하고, 피노광체 상에 일련의 노광 패턴열을 형성한다. 따라서, 복수의 노광 영역의 인접하는 경계 영역에 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴과 다른 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴이 상호 보완되어 일련의 노광 패턴열을 용이하게 형성할 수 있다.

또한, 상기 포토마스크의 상기 단부 영역에 있어서의 마스크 패턴의 건너뛰기는 그 건너뛴 수를 중앙부에서 말단부로 향하여 점차 증가시킨 것이다. 이것에 의하여, 포토마스크의 단부 영역에 있어서의 마스크 패턴을 건너뛴 수를 중앙부에 서 말단부로 향하여 점차 증가시킨 포토마스크로 마스크 패턴을 피노광체 상에 노광한다. 따라서, 각 단위 노광 패턴열의 경계 영역의 얼룩을 계단상으로 변화시킬 수 있다. 또한, 상기 경계 영역의 얼룩이 두드러지지 않도록 할 수 있다.

또한, 상기 피노광체는 컬러 필터 기판이다. 이것에 의하여, 컬러 필터 기판에 컬러 필터의 노광 패턴열을 형성한다. 따라서, 컬러 필터의 색 농담 불균일이 눈에 띄지 않도록 할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시 형태를 첨부 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 노광 장치의 실시 형태를 나타내는 개념도이다. 이 노광 장치는 피노광체 상에 설정된 복수의 노광 영역에 대하여 노광 영역의 단부가 중첩되도록 복수의 포토마스크를 사용하여 노광하고, 상기 중첩된 노광 영역에 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴과 다른 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴이 상호 보완되어, 상기 각 포토마스크에 의한 단위 노광 패턴열을 나열하여 일련의 노광 패턴열을 형성하고, 상기 인접하는 노광 영역의 경계부에 있어서의 줄 무늬 또는 얼룩을 두드러지지 않도록 하고자 하는 것으로, 반송 수단(1)과, 포토마스크(2)와, 노광 광학계(3)와, 촬상 수단(4)과 제어 수단(5)으로 이루어진다. 이하, 피노광체가, 예를 들면 블랙 매트릭스를 형성한 컬러 필터 기판인 경우에 대하여 설명한다. 또한, 상기 노광 영역은 각 포토마스크에 의하여 단위 노광 패턴이 형성되는 영역이다. 또한, 상기 중첩된 노광 영역을 이하에서는「경계 영역」이라고 부른다.

상기 반송 수단(1)은 감광성의 컬러 레지스터가 도포된 컬러 필터 기판(6)을 윗면(1a)에서 스테이지(7) 상에 위치시켜, 도 1에 나타내는 화살표(A) 방향으로 소정의 속도로 반송하는 것으로, 상기 스테이지(7)를 이동시키는 도시를 생략한, 예를 들면 반송 롤러와, 상기 반송 롤러를 회전 구동하는 모터 등의 반송 구동부와, 스테이지(7)의 반송 속도를 검출하는 속도 센서나 위치를 검출하는 위치 검출 센서 등을 구비하고 있다. 상기 반송 수단(1)의 윗쪽에는 복수의 포토마스크(2)가 배치되어 있다. 이 복수의 포토마스크(2)는 각각 단위 노광 패턴열을 형성하는 것으로, 도 2에 나타내는 바와 같이, 리드 형상으로 형성되어 그 길이 방향을 따라서 소정 형상의 다수의 마스크 패턴(8)을 일정한 간격으로 형성하고, 상기 리드 형상의 길이 방향의 중심축이 상기 반송 수단(1)의 윗면(1a)에 평행한 면 내에서 화살표 A로 나타내는 반송 방향과 직교하는 방향을 따라 지그재그가 되도록 나열하고 있다.

이 경우, 도 2에 도시하는 바와 같이, 상기 복수의 포토마스크(2)는 서로 인접하는 단부 영역이 화살표 A로 나타내는 반송 방향에서 전후 방향으로 합치하도록 하고, 한쪽의 포토마스크(9)에 있어서 일정한 간격으로 형성된 복수의 마스크 패턴(8) 중에서, 다른 한쪽의 포토마스크(10)에 인접하는 단부 영역에 위치하는 마스크 패턴(8)의 일부를 건너뛰고, 다른 한쪽의 포토마스크(10)에 있어서 일정한 간격으로 형성된 복수의 마스크 패턴(8) 중에서, 상기 한쪽의 포토마스크(9)에서 건너뛴 마스크 패턴(8a)(도2에서 파선으로 나타낸 부분)에 대응하는 마스크 패턴(8b)(도2에서 실선으로 나타낸 부분)을 남기고, 상기 한쪽의 포토마스크(9)에 남은 마스크 패턴(8b)에 대응하는 마스크 패턴(8a)을 건너뛴다. 또한, 상기 포토마스크(2)의 상기 단부 영역에 있어서의 마스크 패턴(8)의 건너뛰기는 그 건너뛴 수를 중앙부에서 말단부로 향하여 점차 증가 시킨다.

상기 반송 수단(1)의 윗쪽에서, 반송 수단(1)의 윗면(1a)에 평행한 방향에서 반송 방향(화살표 A 방향)과 직교하는 방향에는 복수의 노광 광학계(3)가 나열되어 설치되어 있다. 이 복수의 노광 광학계(3)는 상기 복수의 포토마스크(2)에 대하여 노광광을 동시에 조사하여 각 포토마스크(2)의 마스크 패턴(8)의 상(像)을 컬러 필터 기판(6) 상에 전사하고, 도 3에 도시하는 바와 같이, 각 포토마스크(2)에 의한 단위 노광 패턴열을 나열한 노광 패턴열을 형성하는 것으로, 도 1에 도시하는 바와 같이, 각각 노광 광원(11)과 마스크 스테이지(12)와 투영 렌즈(13)와 다이클로익 밀러(14)를 구비하고 있다.

상기 노광 광원(11)은 자외선을 포함한 노광광을 발사하는 것으로, 예를 들면 고압 수은 램프, 크세논 램프나 자외선 발광 레이저 등이다. 상기 마스크 스테이지(12)는 상기 노광 광원(11)으로부터 발사되는 노광광의 조사 방향 전방에 설치되어 있고, 상기 포토마스크(2)를 위치시킬 수 있게 되어 있다. 상기 투영 렌즈(13)는 상기 반송 수단(1)의 스테이지(7)와 마스크 스테이지(12)의 사이에 설치되어 있고, 상기 포토마스크(2)에 형성된 마스크 패턴(8)을 상기 컬러 필터 기판(6) 상에 투영하는 것이다. 상기 다이클로익 밀러(14)는 상기 마스크 스테이지(12)와 투영 렌즈(13)의 사이에 설치되어 있고, 자외선을 투과하고 가시광선을 반사하게 되어 있으며, 컬러 필터 기판(6)으로부터의 가시광선을 반사하여 촬상 수단(4)으로 수광할 수 있게 하는 것이다.

또한, 상기 노광 광학계(3)는 각각 얼라인먼트 기구(18)에 의하여, 후술하는 촬상 수단(4)과 일체가 되고, 반송 수단(1)의 윗면(1a)에 평행한 면 내에서, 도 4에 화살표 A로 나타내는 반송 방향과 직교하는 화살표 B 또는 C 방향으로 이동 가능하게 형성되어 있다. 또한, 상기 얼라인먼트 기구(18)는 일렬로 나열한 복수의 포토마스크(2)의 중심을 중심축으로 하여 상기 노광 광학계(3)와 촬상 수단(4)을 일체적으로 회동할 수 있게 되어 있다.

상기 마스크 스테이지(12)와 투영 렌즈(13)의 사이에서 상기 노광 광학계(3)의 광로와 다른 방향으로 편향된 광로 상에는, 촬상 수단(4)이 설치되어 있다. 이 촬상 수단(4)은 도 4에 나타내는 컬러 필터 기판(6)의 블랙 매트릭스(15)의 픽셀(16)을 촬상하는 것으로, 반송 수단(1)의 윗면(1a)에 평행한 면 내에서 컬러 필터 기판(6)의 반송 방향(화살표 A 방향)과 직교하는 방향으로 다수의 수광 소자(17)가 일직선상으로 나열되어 설치되고, 상기 노광 광학계(3)에 의한 노광 위치와 거의 동일한 위치를 촬상하게 되어 있다. 또한, 도 1에 도시하는 바와 같이, 예를 들면 반송 수단(1)의 스테이지(7)의 아랫쪽에 배치되어 가시광선을 발사하는 조명 광원(19)에 의하여, 컬러 필터 기판(6)이 배면으로부터 조명되어 상기 컬러 필터 기판(6) 상에 형성된 상기 블랙 매트릭스(15)의 픽셀(16)을 선명하게 촬상할 수 있게 되어 있다. 또한, 상기 조명 광원(19)의 가시광선에 자외선 성분이 포함되는 경우에는, 조명 광원(19)의 전면에 자외선 차단 필터를 구비하여 컬러 필터 기판(6)에 도포된 컬러 레지스터가 노광되는 것을 방지하면 좋다.

이 때, 상기 컬러 필터 기판(6)에는 도 4에 나타내는 바와 같이, 기준 위치 (S1)가, 예를 들면 도 4에 있어서 블랙 매트릭스(15)의 좌단 픽셀(16a)의 좌상단 모서리부에 미리 설정되어 있고, 상기 포토마스크(2)에는 기준 위치(S2)가, 예를 들면 도 4에 있어서 좌단 마스크 패턴(8c)의 좌단 가장자리부에 미리 설정되어 있다. 또한, 촬상 수단(4)의 수광 소자(17)로 상기 컬러 필터 기판(6)의 기준 위치 (S1)를 검출하여, 포토마스크의 기준 위치(S2)와 소정의 위치 관계를 가지고 미리 설정된 촬상 수단(4)의 기준 수광 소자(17s)의 위치 어긋남을 보정할 수 있게 되어 있다.

상기 반송 수단(1)과 노광 광원(11)과 촬상 수단(4)과 조명 광원(19)에는 제어 수단(5)이 접속되어 있다. 이 제어 수단(5)은 촬상 수단(4)에 의하여 취득된 화상의 화상 데이터에 기초하여 상기 블랙 매트릭스(15)의 픽셀(16)에 미리 설정된 기준 위치(S1)를 검출하고, 상기 기준 위치(S1)를 기준으로 하여 노광을 실시하게 하는 것으로, 노광 광원 구동부(20)와, 얼라인먼트 기구 컨트롤러(21)와, 화상 처리부(22)와, 반송 수단 컨트롤러(23)와, 조명 광원 구동부(24)와, 기억부(25)와, 연산부(26)과, 제어부(27)를 구비하고 있다.

이 때, 상기 노광 광원 구동부(20)는 노광 광원(11)을 점등 구동하는 것이다. 또한, 상기 얼라인먼트 기구 컨트롤러(21)는 얼라인먼트 기구(18)를 구동 제어하는 것이다.

또한, 상기 화상 처리부(22)는 촬상 수단(4)으로 취득된 화상을 처리하여 화상 데이터를 작성하는 동시에, 상기 화상 데이터와 기억부(25)에 보존된 룩업 테이블(이하,「LUT」라고 기재한다)를 비교하여, 상기 컬러 필터 기판(6)의 블랙 매트릭스(15)의 픽셀(16)에 미리 설정된 기준 위치(S1)를 검출하는 것이다. 또한, 상기 반송 수단 컨트롤러(23)는 반송 수단(1)의 스테이지(7)를 소정의 방향으로 소정의 속도로 이동시키는 것이다. 또한, 상기 조명 광원 구동부(24)는 조명 광원(19)을 점등 구동하는 것이다. 또한, 상기 기억부(25)는, 예를 들면 도 5에 나타내는 컬러 필터 기판(6)의 블랙 매트릭스(15)의 픽셀(16)에 설정된 기준 위치(S1)를 검출하기 위한 LUT나, 촬상 수단(4)의 기준 수광 소자(17s)의 셀 번호 등을 기억하여 두는 것이다. 또한, 연산부(26)는 촬상 수단(4)의 기준 수광 소자(17s)와 상기 컬러 필터 기판(6)의 블랙 매트릭스(15)의 픽셀(16)에 설정된 기준 위치(S1)를 검지한 수광 소자(17)의 어긋남량 등을 산출하는 것이다. 그리고, 제어부(27)는 상기 각부를 적절하게 구동 제어하는 것이다.

다음으로, 이와 같이 구성된 노광 장치의 동작에 대하여 설명한다.

먼저, 장치에 설치된 미도시한 기동 스위치가 투입되면, 제어 수단(5)이 기동되어 조명 광원 구동부(24)에 의하여 조명 광원(19)이 점등되고, 촬상 수단(4)이 촬상을 개시한다. 또한, 반송 수단(1)은 스테이지(7) 상의 소정 위치에 컬러 레지스터를 도포한 컬러 필터 기판(6)을 위치시킨 후 대기 상태에 놓인다. 다음으로, 도시를 생략한 노광 개시 스위치가 투입되면, 반송 수단(1)의 스테이지(7)가 반송 수단 컨트롤러(23)에 의하여 제어되어 화살표 A 방향으로 소정의 속도로 이동을 개시한다.

이것에 의하여, 반송 수단(1)의 스테이지(7)에 의하여 컬러 필터 기판(6)이 반송되고, 상기 컬러 필터 기판(6) 상에 형성된 블랙 매트릭스(15)의 픽셀(16)이 촬상 수단(4)의 촬상 위치에 이르면, 상기 픽셀(16)의 화상이 촬상 수단(4)에 의하 여 취득된다. 이 경우, 컬러 필터 기판(6)의 기준 위치(S1)가 블랙 매트릭스(15)의 좌단 픽셀(16a)의 좌상단 모서리부에 설정되어 있으면, 제어 수단(5)은 촬상 수단(4)에 의하여 취득된 화상의 화상 데이터와 기억부(25)로부터 읽어낸 LUT를 화상 처리부(22)에서 비교하고, 양자가 일치하였을 때 픽셀(16)의 좌상단 모서리부를 기준 위치(S1)라고 판정한다. 그리고, 이 기준 위치(S1)를 검지한 촬상 수단(4)의 수광 소자(17)의 셀 번호와 미리 기억부(25)에 기억된 기준 수광 소자(17s)의 셀 번호를 비교한다. 그 어긋남량은 연산부(26)에서 산출되고, 상기 어긋남량이 제로가 되도록 얼라인먼트 기구(18)가 얼라인먼트 기구 컨트롤러(21)에 의하여 구동 제어되고, 반송 수단(1)의 윗면(1a)에 평행한 면 내에서, 도 5에 나타내는 화살표 A와 직교하는 화살표 B 또는 C 방향으로 촬상 수단(4)과 노광 광학계(3)를 일체적으로 이동한다. 이것에 의하여, 상기 촬상 수단(4)의 기준 수광 소자(17s)가 컬러 필터 기판(6)의 기준 위치(S1)에 위치 결정되면, 기준 수광 소자(17s)에 대하여 소정의 위치 관계를 가지는 포토마스크(2)의 기준 위치(S2)와, 컬러 필터 기판(6)의 기준 위치(S1)가 합치되어, 도 4에 사선으로 표시하여 나타내는 바와 같이, 목표 위치에 스트라이프 상의 노광 패턴(28)을 형성하는 것이 가능하게 된다.

그 후, 촬상 수단(4)에 의하여 취득된 화상 데이터에 기초하여 얼라인먼트 기구(18)가 제어되고, 컬러 필터 기판(6)의 기준 위치(S1)인 좌단 픽셀(16a)의 좌상단 모서리부에 포토마스크(2)의 기준 위치(S2)가 위치 결정되어 노광이 진행된다. 또한, 반송 중에 컬러 필터 기판(6)에 회전 어긋남이 발생하였을 경우에는, 상기 얼라인먼트 기구(18)가 제어되어, 포토마스크(2)의 중심을 중심축으로 하여 상 기 노광 광학계(3)와 촬상 수단(4)을 일체적으로 회동(θ)하여 회전 어긋남을 조정한다. 이것에 의하여, 포토마스크(2)는 컬러 필터 기판(6)이 좌우로 흔들리면서 반송되는데 추종하여 움직이고, 도 4에 도시하는 바와 같이, 목표로 하는 위치에 노광 패턴(28)이 높은 정밀도로 형성된다.

이렇게 하여, 컬러 필터 기판(6)의 블랙 매트릭스(15) 상에는 픽셀(16)에 대응하여, 도 3에 도시하는 바와 같이 한쪽 및 다른 한쪽의 포토마스크(9, 10)의 마스크 패턴(8)에 의한 단위 노광 패턴열이 경계 영역에서 중첩되고, 반송 방향(화살표 A 방향)에 직교하는 방향으로 나열되어 형성되어, 일련의 노광 패턴열이 형성된다. 이것에 의하여, 경계 영역에서는 한쪽의 포토마스크(9)에 의한 노광 패턴(28a)과 다른 한쪽의 포토마스크(10)에 의한 노광 패턴(28b)이 상호 건너뛴 노광 패턴을 보완하여 일련의 노광 패턴열이 형성되므로, 인접하는 단위 노광 패턴열의 경계부가 없어지고, 상기 경계 영역의 색의 농담 불균일이 눈에 띄지 않게 된다.

또한, 전술한 바와 같은 얼라인먼트는 복수의 노광 광학계(3)를 개별적으로 이동시켜 실시하여도 좋고, 또는 모든 노광 광학계(3)를 일체적으로 이동시켜도 좋다.

또한, 이상의 설명에 있어서 피노광체가 컬러 필터 기판(6)인 경우에 대하여 설명하였지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 피노광체는 블랙 매트릭스(15)를 형성하기 위한, 예를 들면 크롬(Cr)을 입힌 유리 기판이어도 좋고, 또는 다른 어떤 기판이어도 좋다. 이 경우, 피노광체가 불투명 기판인 경우에는, 조명 광원(19)을 반송 수단(1)의 윗쪽에 배치하여 위에서 아래로 조명을 비추는 하향 조명 방식으로 하면 좋다.

또한, 상기 실시 형태에 있어서는 촬상 수단(4)에 의한 촬상 위치와 노광 광학계(3)에 의한 노광 위치가 일치하는 경우에 대하여 설명하였지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 노광 광학계(3)에 의한 노광 위치의 반송 방향 바로 앞쪽을 촬상 위치로 하도록 촬상 수단(4)을 배치한 것이어도 좋다.

본 발명은 종래의 문제점을 해결하고, 인접하는 노광 영역의 경계부의 줄 무늬 또는 얼룩을 눈에 띄지 않도록 하는 동시에, 피노광체에 대한 노광 처리 시간을 단축하는 노광 장치를 제공한다.

Claims

피노광체 상에 설정된 복수의 노광 영역에 대하여 인접하는 노광 영역의 단부가 중첩되도록 복수의 포토마스크를 사용하여 노광하고, 상기 중첩된 노광 영역에 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴과 다른 한쪽의 포토마스크에 의한 노광 패턴이 상호 보완되어, 상기 각 포토마스크에 의한 단위 노광 패턴열을 나열하여 일련의 노광 패턴열을 형성하는 노광 장치로서,

상기 피노광체를 윗면에 위치시켜 소정 방향으로 반송하는 반송 수단과,

상기 반송 수단의 윗쪽에 배치되고, 리드 형상으로 형성되고, 그 길이 방향을 따라서 소정 형상의 다수의 마스크 패턴을 일정한 간격으로 형성하고, 상기 리드 형상의 길이 방향의 중심축이 상기 반송 수단의 윗면에 평행한 면 내에서 반송 방향과 직교하는 방향에 따라 지그재그가 되도록 나열한 복수의 포토마스크

를 구비하고, 상기 복수의 포토마스크에 대하여 노광광을 동시에 조사하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
제1항에 있어서, 상기 복수의 포토마스크는 상기 한쪽의 포토마스크에 일정한 간격으로 형성된 복수의 마스크 패턴 중에서, 상기 다른 한쪽의 포토마스크에 인접하는 단부 영역에 위치하는 마스크 패턴의 일부를 건너뛰고, 다른 한쪽의 포토마스크에 일정한 간격으로 형성된 복수의 마스크 패턴 중에서, 상기 한쪽의 포토마스크가 건너뛴 마스크 패턴에 대응하는 마스크 패턴을 남기고, 상기 한쪽의 포토마 스크에 남겨진 마스크 패턴에 대응하는 마스크 패턴을 건너뛴 것을 특징으로 하는 노광 장치.
제2항에 있어서, 상기 포토마스크의 상기 단부 영역에 있어서의 마스크 패턴 건너뛰기는 그 건너뛴 수를 중앙부에서 말단부로 향하여 점차 증가시킨 것을 특징으로 하는 노광 장치.
제1항에 있어서, 상기 피노광체는 컬러 필터 기판인 것을 특징으로 하는 노광 장치.