KR20070020487A - Fixture characteristic measurement device, method, program, recording medium, network analyzer, and semiconductor test device - Google Patents

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KR20070020487A
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Abstract

피측정물의 회로 파라미터를 연산 계측할 때에 사용하는 지그(픽스쳐)의 특성을 측정한다. DUT(2)와 네트워크 애널라이저(1)를 접속하는 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)을 갖는 지그(3)의 지그 특성[즉, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 반사 특성, 전송 S 파라미터 등]을 측정하기 위한 지그 특성 측정 장치로서, DUT(2)가 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 반사 계수를 측정하고, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 반사 계수를 측정하고, 이 측정 결과에 의거하여 지그(3)의 지그 특성을 도출한다.The characteristic of the jig (fixture) used when calculating and measuring the circuit parameter of the to-be-measured object is measured. Jig characteristics of the jig 3 having the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d connecting the DUT 2 and the network analyzer 1 (i.e., reflection characteristics and transmission of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d). S parameter, etc., for measuring the jig characteristic, wherein the reflection coefficient of the signal lines 3a, 3b, 3c, 3d in the open state in which the DUT 2 is not connected to the signal lines 3a, 3b, 3c, 3d. In the short state where all of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d are grounded, and the reflection coefficients of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d are measured, and the jig 3 is To derive the jig characteristics.

픽스쳐 특성 측정 장치, 픽스쳐 특성 측정 방법, 픽스쳐 특성 측정 프로그램, 기록 매체, 네트워크 애널라이저, 반도체 시험 장치 Fixture characteristic measuring apparatus, fixture characteristic measuring method, fixture characteristic measuring program, recording medium, network analyzer, semiconductor test apparatus

Description

픽스쳐 특성 측정 장치, 방법, 프로그램, 기록 매체 및 네트워크 애널라이저, 반도체 시험 장치{FIXTURE CHARACTERISTIC MEASUREMENT DEVICE, METHOD, PROGRAM, RECORDING MEDIUM, NETWORK ANALYZER, AND SEMICONDUCTOR TEST DEVICE}Fixture Characterization Devices, Methods, Programs, Recording Media and Network Analyzers, Semiconductor Test Equipments

본 발명은 피측정물의 회로 파라미터를 연산 계측할 때에 사용하는 지그(픽스쳐)의 특성의 측정에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the measurement of the characteristic of the jig (fixture) used when calculating and measuring the circuit parameters of the to-be-measured object.

종래부터, 피측정물(DUT : Device Under Test)의 회로 파라미터(예를 들면, S 파라미터)를 측정하는 것이 행해지고 있다[예를 들면, 특허문헌1(일본 특허 공개 평11-38054호 공보)을 참조].Conventionally, measuring the circuit parameters (for example, S parameters) of a to-be-tested object (DUT: Device Under Test) is performed (for example, patent document 1 (Unexamined-Japanese-Patent No. 11-38054)). Reference].

구체적으로는 신호원으로부터 신호를 DUT를 통해 수신부에 송신한다. 이 신호는 수신부에 의해 수신된다. 수신부에 의해 수신된 신호를 측정함으로써 DUT의 S 파라미터나 주파수 특성을 취득할 수 있다.Specifically, the signal is transmitted from the signal source to the receiver through the DUT. This signal is received by the receiver. By measuring the signal received by the receiver, the S parameters and frequency characteristics of the DUT can be obtained.

이때, 신호원 등의 측정계와 DUT의 부정합 등에 의해 측정에 측정계 오차가 발생한다. 이 측정계 오차는 예를 들면, Ed : 브릿지(bridge)의 방향성에 기인하는 오차, Er : 주파수 트래킹(frequency tracking)에 기인하는 오차, Es : 소스 매칭에 기인하는 오차이다.At this time, a measurement system error occurs in the measurement due to mismatch between the measurement system such as a signal source and the DUT. This measurement system error is, for example, an error due to Ed: bridge directionality, an Er: error due to frequency tracking, and an Es: error due to source matching.

이 경우는 예를 들면, 특허문헌1에 기재된 바와 같이 하여 오차를 보정할 수 있다. 이러한 보정을 캘리브레이션(calibration)이라고 한다. 캘리브레이션에 대해서 설명한다. 신호원에 교정 키트를 접속하고, 오픈(개방), 쇼트(단락), 로드[표준부하(ZO)]의 3종류의 상태를 실현한다. 이 때의 교정 키트로부터 반사된 신호를 브릿지에 의해 취득해서 3종류의 상태에 대응한 3종류의 S 파라미터를 구한다. 3종류의 S 파라미터로부터 3종류의 변수 Ed, Er, Es를 구한다.In this case, an error can be corrected as described, for example in patent document 1. This correction is called calibration. Calibration will be described. A calibration kit is connected to the signal source to realize three types of states: open (open), short (short) and rod (standard load (ZO)). The signal reflected from the calibration kit at this time is acquired by the bridge, and three kinds of S parameters corresponding to three kinds of states are obtained. Three types of variables Ed, Er, and Es are obtained from three types of S parameters.

또한, DUT를 지그(픽스쳐)에 고정하고, DUT를 지그를 통해 측정계(예를 들면, 네트워크 애널라이저)에 접속하는 것도 행해지고 있다. 이 경우, 측정계(네트워크 애널라이저)에 있어서의 오차는 상기한 바와 같이 하여 보정할 수 있다. 또한, 지그의 전송 선로 특성이 양호할 경우는 측정계로부터 지그에 부여되는 신호는 지그에 의해 위상만이 변화된다. 따라서, 지그의 전송 선로의 길이에 맞춰서 위상을 교정하면 좋다.In addition, the DUT is fixed to a jig (fixture), and the DUT is connected to a measurement system (for example, a network analyzer) through the jig. In this case, the error in the measurement system (network analyzer) can be corrected as described above. In addition, when the transmission line characteristic of a jig is favorable, the signal provided to a jig from a measurement system changes only a phase by a jig. Therefore, the phase may be corrected in accordance with the length of the jig transmission line.

그렇지만, 고주파신호를 DUT에 부여하는 경우, 전송 선로 특성이 양호한 지그의 제조는 곤란하다. 따라서, 측정계로부터 지그에 부여되는 신호는 지그에 의해 손실이 발생한다. 이 경우, 위상의 교정만을 행하면 측정 정밀도가 악화된다. 따라서, 지그의 특성을 측정하고, 교정을 보다 정확히 행할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.However, when a high frequency signal is provided to the DUT, it is difficult to manufacture a jig having good transmission line characteristics. Therefore, the signal given to the jig from the measurement system causes loss by the jig. In this case, only correcting the phase deteriorates the measurement accuracy. Therefore, it is desirable to measure the characteristics of the jig and to make the calibration more accurate.

따라서, 본 발명은 피측정물의 회로 파라미터를 연산 계측할 때에 사용하는 지그(픽스쳐)의 특성을 측정하는 것을 과제로 한다.Therefore, this invention makes it a subject to measure the characteristic of the jig | tool (fixture) used when calculating and measuring the circuit parameter of a to-be-measured object.

본 발명에 의한 픽스쳐 특성 측정 장치는 피측정물과 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 장치이며, 피측정물이 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서, 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 1 반사 계수 측정 수단과, 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서, 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 2 반사 계수 측정 수단과, 제 1 반사 계수 측정 수단의 측정 결과와 제 2 반사 계수 측정 수단의 측정 결과에 의거하여 픽스쳐 특성을 도출하는 픽스쳐 특성 도출 수단을 구비하도록 구성된다.The fixture characteristic measuring apparatus according to the present invention is a fixture characteristic measuring apparatus for measuring fixture characteristics of a fixture having a signal line connecting the object under test and a measuring apparatus for measuring the characteristic of the object under test, and the object under test is connected to the signal line. First reflection coefficient measuring means for measuring the reflection coefficient of the signal line in an open state that is not opened, second reflection coefficient measuring means for measuring the reflection coefficient of the signal line in a short state in which all of the signal lines are grounded, and the first And a fixture characteristic derivation means for deriving a fixture characteristic based on the measurement result of the reflection coefficient measuring means and the measurement result of the second reflection coefficient measuring means.

상기한 바와 같이 구성된 픽스쳐 특성 측정 장치에 의하면, 피측정물과 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 장치가 제공된다.According to the fixture characteristic measuring apparatus configured as described above, there is provided a fixture characteristic measuring apparatus for measuring the fixture characteristic of a fixture having a signal line connecting the object under test and the measuring apparatus for measuring the characteristic of the object under test.

제 1 반사 계수 측정 수단은 피측정물이 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서, 신호선의 반사 계수를 측정한다. 제 2 반사 계수 측정 수단은 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서, 신호선의 반사 계수를 측정한다. 픽스쳐 특성 도출 수단은 제 1 반사 계수 측정 수단의 측정 결과와 제 2 반사 계수 측정 수단의 측정 결과에 의거하여 픽스쳐 특성을 도출한다.The first reflection coefficient measuring means measures the reflection coefficient of the signal line in the open state in which the object under test is not connected to the signal line. The second reflection coefficient measuring means measures the reflection coefficient of the signal line in a short state in which all of the signal lines are grounded. The fixture characteristic derivation means derives the fixture characteristic based on the measurement result of the first reflection coefficient measuring means and the measurement result of the second reflection coefficient measuring means.

또한, 본 발명에 의한 픽스쳐 특성 측정 장치에 있어서는 픽스쳐가 표면에 피측정물 및 신호선이 배치되고, 이면에 접지 전위부가 배치된 기판과, 표면에 개구되고, 접지 전위부에 접속하는 스루홀(through holl)을 갖도록 해도 좋다.Further, in the fixture characteristic measuring apparatus according to the present invention, the fixture has a through-hole connected to a ground potential portion, a substrate having an object to be measured and a signal line disposed on a surface thereof, and a ground potential portion disposed on a rear surface thereof, and connected to the ground potential portion. holl).

또한, 본 발명에 의한 픽스쳐 특성 측정 장치에 있어서는 오픈 상태가 피측정물을 픽스쳐에 배치하지 않은 상태이도록 해도 좋다.In the fixture characteristic measuring apparatus according to the present invention, the open state may be such that the object under test is not placed in the fixture.

또한, 본 발명에 의한 픽스쳐 특성 측정 장치에 있어서는 쇼트 상태가 신호선 및 스루홀에 접속된 메탈라이즈부(metalized portion)를 표면에 배치하고 있는 상태이도록 해도 좋다.In the fixture characteristic measuring apparatus according to the present invention, the short state may be such that the metallized portion connected to the signal line and the through hole is disposed on the surface.

또한, 본 발명에 의한 픽스쳐 특성 측정 장치에 있어서는 픽스쳐 특성 도출 수단이 제 1 반사 계수 측정 수단의 측정 결과와 제 2 반사 계수 측정 수단의 측정 결과를 곱한 값의 절대치의 1/2승을 픽스쳐 특성으로 하도록 해도 좋다.In the fixture characteristic measuring apparatus according to the present invention, the fixture characteristic derivation means uses the fixture characteristic as a fixture property by halving the absolute value of the product of the measurement result of the first reflection coefficient measuring means and the measurement result of the second reflection coefficient measuring means. You may do so.

또한, 본 발명에 의한 픽스쳐 특성 측정 장치에 있어서는 픽스쳐 특성 도출 수단이 제 1 반사 계수 측정 수단의 측정 결과와 제 2 반사 계수 측정 수단의 측정 결과를 곱한 값의 절대치의 1/4승을 픽스쳐 특성으로 하도록 해도 좋다.Further, in the fixture characteristic measuring apparatus according to the present invention, the fixture characteristic derivation means uses a fixture of the absolute value of the value obtained by multiplying the absolute value of the value obtained by multiplying the measurement result of the first reflection coefficient measurement means and the measurement result of the second reflection coefficient measurement means. You may do so.

또한, 본 발명은 상기와 같은 픽스쳐 특성 측정 장치를 구비하고, 피측정물의 측정 결과를 픽스쳐 특성 측정 장치에 의해 도출된 픽스쳐 특성에 의거하여 교정하는 네트워크 애널라이저이어도 좋다.In addition, the present invention may be a network analyzer including the above-described fixture characteristic measuring apparatus and correcting the measurement result of the measurement target based on the fixture characteristics derived by the fixture characteristic measuring apparatus.

또한, 본 발명은 상기와 같은 픽스쳐 특성 측정 장치를 구비하고, 피측정물의 측정 결과를 픽스쳐 특성 측정 장치에 의해 도출된 픽스쳐 특성에 의거하여 교정하는 반도체 시험 장치이어도 좋다.In addition, the present invention may be a semiconductor test apparatus including the above-described fixture characteristic measuring apparatus and correcting the measurement result of the measurement target based on the fixture characteristics derived by the fixture characteristic measuring apparatus.

본 발명에 의한 픽스쳐 특성 측정 방법은 피측정물과 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 방법이며, 피측정물이 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서, 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 1 반사 계수 측정 공정과, 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서, 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 2 반사 계수 측정 공정과, 제 1 반사 계수 측정 공정의 측정 결과와 제 2 반사 계수 측정 공정의 측정 결과에 의거하여 픽스쳐 특성을 도출하는 픽스쳐 특성 도출 공정을 구비하도록 구성된다.The fixture characteristic measuring method according to the present invention is a fixture characteristic measuring method for measuring a fixture characteristic of a fixture having a signal line connecting the object under test and a measuring device for measuring the characteristic of the object under test, the object being connected to the signal line. A first reflection coefficient measuring step of measuring a reflection coefficient of the signal line in an open state, a second reflection coefficient measuring step of measuring a reflection coefficient of the signal line in a short state in which all of the signal lines are grounded, and a first And a fixture characteristic derivation step of deriving fixture characteristics based on the measurement result of the reflection coefficient measurement process and the measurement result of the second reflection coefficient measurement process.

본 발명에 의한 프로그램은 피측정물과 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 처리를 컴퓨터로 실행시키기 위한 프로그램이며, 피측정물이 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 1 반사 계수 측정 처리와, 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 2 반사 계수 측정 처리와, 제 1 반사 계수 측정 처리의 측정 결과와 제 2 반사 계수 측정 처리의 측정 결과에 의거하여 픽스쳐 특성을 도출하는 픽스쳐 특성 도출 처리를 컴퓨터로 실행시키기 위한 프로그램이다.The program according to the present invention is a program for causing a computer to execute a fixture characteristic measurement process for measuring fixture characteristics of a fixture having a signal line connecting a measurement object and a measurement device for measuring the characteristic of the measurement object. A first reflection coefficient measurement process for measuring the reflection coefficient of the signal line in an open state not connected to the signal line, a second reflection coefficient measurement process for measuring the reflection coefficient of the signal line in a short state in which all of the signal lines are grounded; A program for causing a computer to execute a fixture characteristic derivation process for deriving fixture characteristics based on the measurement result of the first reflection coefficient measurement process and the measurement result of the second reflection coefficient measurement process.

본 발명에 의한 기록 매체는 피측정물과 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 처리를 컴퓨터로 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록 매체이며, 피측정물이 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 1 반사 계수 측정 처리와, 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 2 반사 계수 측정 처리와, 제 1 반사 계수 측정 처리의 측정 결과와 제 2 반사 계수 측정 처리의 측정 결과에 의거하여 픽스쳐 특성을 도출하는 픽스쳐 특성 도출 처리를 컴퓨터로 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록 매체이다.The recording medium according to the present invention is a computer having recorded thereon a program for executing a fixture characteristic measurement process for measuring a fixture characteristic of a fixture having a signal line connecting a measured object and a measuring device for measuring the characteristic of the measured object. And a first reflection coefficient measurement process for measuring the reflection coefficient of the signal line in an open state in which the object to be measured is not connected to the signal line, and the reflection coefficient of the signal line in the short state in which all of the signal lines are grounded. A program for causing a computer to execute a fixture characteristic derivation process for deriving a fixture characteristic based on the second reflection coefficient measurement process to be measured and the measurement result of the first reflection coefficient measurement process and the measurement result of the second reflection coefficient measurement process; It is a computer-readable recording medium.

도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 지그 특성 측정 장치를 구비하는 네트워크 애널라이저(1)에 의해, 지그(3)에 고정한 DUT(2)의 특성을 측정할 때의 네트워크 애널라이저(1)와 DUT(2)의 접속 관계를 나타내는 도면이다.1 shows a network analyzer 1 and a DUT (when measuring the characteristics of the DUT 2 fixed to the jig 3 by the network analyzer 1 including the jig characteristic measuring apparatus according to the embodiment of the present invention). It is a figure which shows the connection relationship of 2).

도 2는 지그(3)의 평면도[도 2(a)], 단면도[도 2(b)]이다.2 is a plan view (Fig. 2 (a)) and a cross-sectional view (Fig. 2 (b)) of the jig 3.

도 3은 오픈 상태의 지그(3)를 나타내는 평면도이다.3 is a plan view showing the jig 3 in an open state.

도 4는 쇼트 상태의 지그(3)를 나타내는 평면도[도 4(a)], 단면도[도 4(b)]이다.4 is a plan view (FIG. 4A) and a cross-sectional view (FIG. 4B) illustrating the jig 3 in a short state.

도 5는 네트워크 애널라이저(1)의 구성을 나타내는 블록도이다.5 is a block diagram showing the configuration of the network analyzer 1.

도 6은 지그 특성 측정 장치(60)의 구성을 나타내는 블록도이다.6 is a block diagram showing the configuration of the jig characteristic measuring apparatus 60.

도 7은 신호선(3a)의 반사 특성의 진값(true value) 및 신호선(3a)의 반사 계수(SAAopen, SAAshort)의 관계를 나타내는 도면이다.FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the true value of the reflection characteristic of the signal line 3a and the reflection coefficients SAAopen and SAAshort of the signal line 3a.

도 8은 신호선(3a)의 시그널 플로우 다이어그램(signal flow diagram)이다.8 is a signal flow diagram of the signal line 3a.

도 9는 본 발명의 실시형태의 동작을 나타내는 플로우 챠트이다.9 is a flowchart showing the operation of the embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings.

도 1은 본 발명의 실시형태에 의한 지그 특성 측정 장치를 구비하는 네트워크 애널라이저(1)에 의해 지그(픽스쳐)(3)에 고정한 DUT(2)의 특성을 측정할 때의 네트워크 애널라이저(1)와 DUT(2)의 접속 관계를 나타내는 도면이다. 네트워크 애널라이저(1)는 DUT(2)의 특성을 측정하기 위한 측정 장치이다.1 shows a network analyzer 1 at the time of measuring the characteristics of the DUT 2 fixed to the jig (fixture) 3 by the network analyzer 1 including the jig characteristic measuring apparatus according to the embodiment of the present invention. It is a figure which shows the connection relationship of the DUT2. The network analyzer 1 is a measuring device for measuring the characteristics of the DUT 2.

DUT(2)는 피측정물(Device Under Test)이다. DUT(2)는 지그(3)의 표면에 설치되어 있다. 지그(3)의 표면에는 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)이 배치되어 있고, DUT(2)에 접속되어 있다. 네트워크 애널라이저(1)는 포트(A, B, C, D)를 갖는다. 포트(A, B, C, D)는 신호를 송수신하기 위한 포트이다. 포트(A)는 케이블(6a)에 접속된다. 포트(B)는 케이블(6b)에 접속된다. 포트(C)는 케이블(6c)에 접속된다. 포트(D)는 케이블(6d)에 접속된다. 케이블(6a)은 커넥터(8a)를 통해 신호선(3a)에 접속된다. 케이블(6b)은 커넥터(8b)를 통해 신호선(3b)에 접속된다. 케이블(6c)은 커넥터(8c)를 통해 신호선(3c)에 접속된다. 케이블(6d)은 커넥터(8d)를 통해 신호선(3d)에 접속된다. 따라서, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)은 DUT(2)와 네트워크 애널라이저(1)를 접속한다.The DUT 2 is a device under test. The DUT 2 is provided on the surface of the jig 3. Signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d are arranged on the surface of the jig 3 and are connected to the DUT 2. The network analyzer 1 has ports A, B, C, and D. Ports A, B, C, and D are ports for transmitting and receiving signals. Port A is connected to cable 6a. The port B is connected to the cable 6b. The port C is connected to the cable 6c. The port D is connected to the cable 6d. The cable 6a is connected to the signal line 3a through the connector 8a. The cable 6b is connected to the signal line 3b via the connector 8b. The cable 6c is connected to the signal line 3c via the connector 8c. The cable 6d is connected to the signal line 3d via the connector 8d. Therefore, the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d connect the DUT 2 and the network analyzer 1.

도 2는 지그(픽스쳐)(3)의 평면도[도 2(a)], 단면도[도 2(b)]이다. 또한, 도 2(a)에 있어서는 점선에 의해 DUT(2)이 배치되어야 할 위치를 나타내고 있다. 지그(3)는 기판(32) 및 스루홀(3H)을 갖는다.Fig. 2 is a plan view (Fig. 2 (a)) and a sectional view (Fig. 2 (b)) of the jig (fixture) 3. In addition, in FIG.2 (a), the position where the DUT 2 should be arrange | positioned is shown by the dotted line. The jig 3 has a substrate 32 and a through hole 3H.

지그(3)의 기판(32) 표면(32a)[도 2(b) 참조]에는 DUT(2) 및 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)이 배치되어, 스루홀(3H)이 개구되어 있다[도 2(a) 참조]. 신호선(3a)의 커넥터(8a)측의 단부를 1, DUT(2)측의 단부를 2라고 한다. 신호선(3b)의 커넥터(8b)측의 단부를 3, DUT(2)측의 단부를 4라고 한다. 신호선(3c)의 커넥터(8c)측의 단부를 5, DUT(2)측의 단부를 6이라고 한다. 신호선(3d)의 커넥터(8d)측의 단부를 7, DUT(2)측의 단부를 8이라 한다. DUT(2)는 단부(2, 4, 6, 8)에 대응하는 4 포트를 갖는다. 스루홀(3H)은 도 2(b)를 참조하면 기판(32)의 표면(32a)에 개구되고, 기 판(32)을 관통하여 기판(32)의 이면(32b)에 배치된 접지 전위부(3G)에 접속하고 있다. 접지 전위부(3G)는 소위 GND에 상당하는 것이며, 접지했을 때의 전위를 유지하고 있다.The DUT 2 and the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d are arranged on the substrate 32 surface 32a (see FIG. 2 (b)) of the jig 3, and the through hole 3H is opened. (See FIG. 2 (a)). An end portion on the connector 8a side of the signal line 3a is 1 and an end portion on the DUT 2 side is 2. The end part on the connector 8b side of the signal line 3b is 3 and the end part on the DUT 2 side is 4. The end portion on the connector 8c side of the signal line 3c is 5 and the end portion on the DUT 2 side is 6. The end portion on the connector 8d side of the signal line 3d is 7, and the end portion on the DUT 2 side is 8. The DUT 2 has four ports corresponding to the ends 2, 4, 6, 8. Referring to FIG. 2B, the through hole 3H is opened in the surface 32a of the substrate 32, and is grounded at the rear surface 32b of the substrate 32 through the substrate 32. You are connected to (3G). The ground potential portion 3G corresponds to the so-called GND, and holds the potential when grounded.

도 1로 돌아가면, 네트워크 애널라이저(1)는 포트(A, B, C, D)의 어느 하나[예를 들면, 포트(A)]로부터 측정용 신호를 출력한다. 측정용 신호는 케이블(6a)을 통과하여 커넥터(8a)를 통해 신호선(3a)에 부여된다. 또한, 측정용 신호는 신호선(3a)을 통과하여 DUT(2)에 부여된다. DUT(2)는 측정용 신호를 수신하고 응답 신호를 출력한다. 응답 신호는 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 어느 하나[예를 들면, 신호선(3b)]를 통과한다. 또한, 응답 신호는 커넥터(8b)를 통해 케이블(6b)을 통과하여 포트(B)에 부여된다. 포트(B)에 부여된 응답 신호는 네트워크 애널라이저(1)에 의해 측정된다. 이렇게 하여, 네트워크 애널라이저(1)에 의해 DUT(2)의 특성을 측정한다.Returning to FIG. 1, the network analyzer 1 outputs a measurement signal from one of the ports A, B, C, and D (for example, the port A). The measurement signal passes through the cable 6a and is applied to the signal line 3a through the connector 8a. In addition, the measurement signal is applied to the DUT 2 through the signal line 3a. The DUT 2 receives the measurement signal and outputs a response signal. The response signal passes through any one of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d (for example, the signal line 3b). In addition, the response signal is applied to the port B through the cable 6b through the connector 8b. The response signal given to port B is measured by the network analyzer 1. In this way, the characteristics of the DUT 2 are measured by the network analyzer 1.

여기서, 네트워크 애널라이저(1)에 의해 DUT(2)로부터 부여된 신호를 측정한 데이터에는 <1> 네트워크 애널라이저(1) 및 케이블(6a, 6b, 6c, 6d)에 의해 발생하는 오차(「측정 장치 오차」라고 함), <2> 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)에 의해 발생하는 오차(「지그 특성(픽스쳐 특성)」이라고 함)가 포함되어 있다. 여기서, 측정 장치 오차는 종래부터 주지의 교정법에 의해 측정하는 것이 가능하다. 본 실시형태에서는 지그 특성을 어떻게 측정하는지에 특징이 있다.The data measured by the network analyzer 1 from the DUT 2 is included in the error generated by the network analyzer 1 and the cables 6a, 6b, 6c, and 6d ("measurement apparatus"). Error ") and an error (" jig characteristic (fixture characteristic) ") generated by the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d. Here, a measurement apparatus error can be measured by a well-known calibration method conventionally. This embodiment is characterized by how the jig characteristic is measured.

지그 특성을 측정하기 위해서는 지그(3)에 있어서, 오픈 상태(도 3 참조) 및 쇼트 상태(도 4 참조)를 실현하고, 각 상태에 있어서의 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 반사 계수를 측정할 필요가 있다.In order to measure the jig characteristic, in the jig 3, an open state (see FIG. 3) and a short state (see FIG. 4) are realized, and the reflection coefficient of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d in each state Needs to be measured.

도 3은 오픈 상태의 지그(3)를 나타내는 평면도이다. 오픈 상태는 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)에 DUT(2)가 접속되지 않은 상태이다. 즉, 신호선(3a)의 DUT(2)측 단부(2), 신호선(3b)의 DUT(2)측 단부(4), 신호선(3c)의 DUT(2)측 단부(6), 신호선(3d)의 DUT(2)측 단부(8)가 아무것도 접속되지 않은 상태이다. 오픈 상태는 지그(3)의 기판(32) 표면(32a)에 DUT(2)를 배치하지 않은 상태이므로, 예를 들면, DUT(2)를 지그(3)로부터 제거하면 실현 가능하다.3 is a plan view showing the jig 3 in an open state. The open state is a state in which the DUT 2 is not connected to the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d. That is, the end 2 of the DUT 2 side of the signal line 3a, the end 4 of the DUT 2 side of the signal line 3b, the end 6 of the DUT 2 side of the signal line 3c, and the signal line 3d The end 8 of the DUT 2 side () is in a state where nothing is connected. The open state is a state in which the DUT 2 is not disposed on the surface 32a of the substrate 32 of the jig 3, and thus can be realized by removing the DUT 2 from the jig 3, for example.

도 4는 쇼트 상태의 지그(3)를 나타내는 평면도[도 4(a)], 단면도[도 4(b)]이다. 쇼트 상태는 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 모두를 접지한 상태이다. 도 4(a)를 참조하면, 메탈라이즈부(metalized portion)(3S)는 DUT(2)와 같은 크기(면적)의 금속판이다. 메탈라이즈부(3S)는 표면(32a)에 배치되고, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)에 접속되어 있다. 또한, 메탈라이즈부(3S)는 스루홀(3H)을 커버하고 있고, 스루홀(3H)에 접속되어 있다[도 4(b) 참조)]. 스루홀(3H)은 접지 전위부(3G)에 접속하고 있으므로, 메탈라이즈부(3S)는 접지되어 있다. 따라서, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 모두가 접지되어 있다.4 is a plan view (FIG. 4A) and a cross-sectional view (FIG. 4B) illustrating the jig 3 in a short state. The short state is a state in which all of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d are grounded. Referring to FIG. 4A, the metalized portion 3S is a metal plate having the same size (area) as the DUT 2. The metallization part 3S is arrange | positioned at the surface 32a, and is connected to the signal line 3a, 3b, 3c, 3d. In addition, the metallizing part 3S covers the through hole 3H and is connected to the through hole 3H (see FIG. 4 (b)). Since the through hole 3H is connected to the ground potential portion 3G, the metallized portion 3S is grounded. Therefore, all of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d are grounded.

도 5는 네트워크 애널라이저(1)의 구성을 나타내는 블록도이다. 단, 지그 특성 측정 장치는 도시되어 있지 않다. 네트워크 애널라이저(1)는 도시되지 않은 지그 특성 측정 장치 이외에 신호 출력부(12), 브릿지(13), 스위치(14), 내부 믹서(16), 리시버(Rch)(18), 브릿지(23), 내부 믹서(26), 리시버(Ach)(28), 브릿지(33), 내부 믹서(36), 리시버(Bch)(38), 브릿지(123), 내부 믹서(126), 리시 버(Dch)(128), 브릿지(133), 내부 믹서(136), 리시버(Cch)(138)를 갖는다.5 is a block diagram showing the configuration of the network analyzer 1. However, the jig characteristic measuring apparatus is not shown. The network analyzer 1 is a signal output unit 12, bridge 13, switch 14, internal mixer 16, receiver (Rch) 18, bridge 23, Internal Mixer 26, Receiver (Ach) 28, Bridge 33, Internal Mixer 36, Receiver (Bch) 38, Bridge 123, Internal Mixer 126, Receiver (Dch) ( 128, a bridge 133, an internal mixer 136, and a receiver (Cch) 138.

신호 출력부(12)는 측정용 신호를 출력한다. 브릿지(13)는 신호 출력부(12)로부터 출력된 측정용 신호를 내부 믹서(16) 및 스위치(14)에 공급한다. 스위치(14)는 단자(14a, 14b, 14c, 14d, 14e)를 갖는다. 단자(14e)는 브릿지(13)에 접속되어, 브릿지(13)로부터 신호를 받는다. 단자(14e)는 단자(14a, 14b, 14c, 14d) 중 어느 하나에 접속된다. 내부 믹서(16)는 브릿지(13)로부터 부여된 측정용 신호를 내부 로컬 신호와 혼합한 후 출력한다. 리시버(Rch)(18)는 내부 믹서(16)가 출력한 신호를 측정한다. 예를 들면, 신호의 전력을 측정한다.The signal output unit 12 outputs a measurement signal. The bridge 13 supplies the measurement signal output from the signal output unit 12 to the internal mixer 16 and the switch 14. The switch 14 has terminals 14a, 14b, 14c, 14d and 14e. The terminal 14e is connected to the bridge 13 and receives a signal from the bridge 13. The terminal 14e is connected to any one of the terminals 14a, 14b, 14c, and 14d. The internal mixer 16 mixes the measurement signal provided from the bridge 13 with the internal local signal and outputs it. The receiver (Rch) 18 measures the signal output from the internal mixer 16. For example, measure the power of a signal.

브릿지(23)는 단자(14a)에 접속되고, 신호 출력부(12)로부터 브릿지(13) 및 스위치(14)를 통해 부여된 측정용 신호를 포트(A)를 향하여 출력한다. 또한, 반사되어 되돌아온 측정용 신호 및 DUT(2)로부터 출력된 응답 신호를 포트(A)를 통해 수신하고, 내부 믹서(26)에 공급한다. 내부 믹서(26)는 브릿지(23)로부터 부여된 신호를 내부 로컬 신호와 혼합한 후 출력한다. 리시버(Ach)(28)는 내부 믹서(26)가 출력한 신호를 측정한다. 예를 들면, 신호의 전력을 측정한다.The bridge 23 is connected to the terminal 14a, and outputs the measurement signal provided through the bridge 13 and the switch 14 from the signal output unit 12 toward the port A. In addition, the measurement signal reflected and returned and the response signal output from the DUT 2 are received through the port A and supplied to the internal mixer 26. The internal mixer 26 mixes the signal provided from the bridge 23 with the internal local signal and outputs it. The receiver (Ach) 28 measures the signal output from the internal mixer 26. For example, measure the power of a signal.

브릿지(33)는 단자(14b)에 접속되고, 신호 출력부(12)로부터, 브릿지(13) 및 스위치(14)를 통해 부여된 측정용 신호를 포트(B)를 향하여 출력한다. 또한, 반사되어 되돌아온 측정용 신호 및 DUT(2)로부터 출력된 응답 신호를 포트(B)를 통해 수신하고, 내부 믹서(36)에 공급한다. 내부 믹서(36)는 브릿지(33)로부터 부여된 신호를 내부 로컬 신호와 혼합한 후 출력한다. 리시버(Bch)(38)는 내부 믹서(36)가 출력한 신호를 측정한다. 예를 들면, 신호의 전력을 측정한다.The bridge 33 is connected to the terminal 14b, and outputs the measurement signal applied through the bridge 13 and the switch 14 from the signal output unit 12 toward the port B. In addition, the measurement signal reflected and returned and the response signal output from the DUT 2 are received through the port B and supplied to the internal mixer 36. The internal mixer 36 mixes the signal provided from the bridge 33 with the internal local signal and outputs it. The receiver (Bch) 38 measures the signal output from the internal mixer 36. For example, measure the power of a signal.

브릿지(133)는 단자(14c)에 접속되고, 신호 출력부(12)로부터 브릿지(13) 및 스위치(14)를 통해 부여된 측정용 신호를 포트(C)를 향하여 출력한다. 또한, 반사되어 되돌아온 측정용 신호 및 DUT(2)로부터 출력된 응답 신호를 포트(C)를 통해 수신하고, 내부 믹서(136)에 공급한다. 내부 믹서(136)는 브릿지(133)로부터 부여된 신호를 내부 로컬 신호와 혼합한 후 출력한다. 리시버(Cch)(138)는 내부 믹서(136)가 출력한 신호를 측정한다. 예를 들면, 신호의 전력을 측정한다.The bridge 133 is connected to the terminal 14c, and outputs the measurement signal provided through the bridge 13 and the switch 14 from the signal output unit 12 toward the port C. In addition, the measurement signal reflected and returned and the response signal output from the DUT 2 are received through the port C and supplied to the internal mixer 136. The internal mixer 136 mixes the signal provided from the bridge 133 with the internal local signal and outputs the mixed signal. Receiver (Cch) 138 measures the signal output from the internal mixer 136. For example, measure the power of a signal.

브릿지(123)는 단자(14d)에 접속되고, 신호 출력부(12)로부터 브릿지(13) 및 스위치(14)를 통해 부여된 측정용 신호를 포트(D)를 향하여 출력한다. 또한, 반사되어 되돌아온 측정용 신호 및 DUT(2)로부터 출력된 응답 신호를 포트(D)를 통해 수신하고, 내부 믹서(126)에 공급한다. 내부 믹서(126)는 브릿지(123)로부터 부여된 신호를 내부 로컬 신호와 혼합한 후 출력한다. 리시버(Dch)(128)는 내부 믹서(126)가 출력한 신호를 측정한다. 예를 들면, 신호의 전력을 측정한다.The bridge 123 is connected to the terminal 14d and outputs the measurement signal applied from the signal output unit 12 via the bridge 13 and the switch 14 toward the port D. Further, the measurement signal reflected and returned and the response signal output from the DUT 2 are received through the port D and supplied to the internal mixer 126. The internal mixer 126 mixes the signal provided from the bridge 123 with the internal local signal and outputs the mixed signal. The receiver (Dch) 128 measures the signal output from the internal mixer 126. For example, measure the power of a signal.

리시버(Rch)(18), 리시버(Ach)(28), 리시버(Bch)(38), 리시버(Cch)(138) 및 리시버(Dch)(128)의 측정 결과는 도시되지 않은 지그 특성 측정 장치로 전송된다.The measurement results of the receiver (Rch) 18, the receiver (Ach) 28, the receiver (Bch) 38, the receiver (Cch) 138, and the receiver (Dch) 128 are not shown in the jig characteristic measuring apparatus. Is sent to.

도 6은 지그 특성 측정 장치(픽스쳐 특성 측정 장치)(60)의 구성을 나타내는 블록도이다. 지그 특성 측정 장치(60)는 제 1 반사 계수 측정부(42a, 44a, 46a, 48a), 제 2 반사 계수 측정부(42b, 44b, 46b, 48b), 지그 특성 도출부(픽스쳐 특성 도출 수단)(50a, 50b, 50c, 50d)를 구비한다.6 is a block diagram showing the configuration of a jig characteristic measuring apparatus (fixture characteristic measuring apparatus) 60. The jig characteristic measuring apparatus 60 includes a first reflection coefficient measuring unit 42a, 44a, 46a, 48a, a second reflection coefficient measuring unit 42b, 44b, 46b, 48b, a jig characteristic deriving unit (fixture characteristic derivation means) (50a, 50b, 50c, 50d).

제 1 반사 계수 측정부(42a)는 오픈 상태(도 3 참조)에 있어서, 리시버(Rch)(18) 및 리시버(Ach)(28)의 측정 결과를 수신하고, 이 측정 결과에 의거하 여 신호선(3a)의 반사 계수(SAAopen)를 구한다.In the open state (see FIG. 3), the first reflection coefficient measuring unit 42a receives the measurement results of the receiver Rch 18 and the receiver Ach 28, and based on the measurement result, the signal line The reflection coefficient SAAopen of (3a) is obtained.

제 2 반사 계수 측정부(42b)는 쇼트 상태(도 4 참조)에 있어서, 리시버(Rch)(18) 및 리시버(Ach)(28)의 측정 결과를 수신하고, 이 측정 결과에 의거하여 신호선(3a)의 반사 계수(SAAshort)을 구한다.In the short state (refer FIG. 4), the 2nd reflection coefficient measuring part 42b receives the measurement result of the receiver Rch 18 and the receiver Ach 28, and based on this measurement result, The reflection coefficient SAAshort of 3a) is obtained.

지그 특성 도출부(50a)는 신호선(3a)의 반사 계수(SAAopen 및 SAAshort)를 수신하고, 이에 의거하여 신호선(3a)의 특성(지그 특성)을 도출한다. 신호선(3a)의 특성(지그 특성)은 DUT(2)가 접속되어 있지 않을 때에, 신호선(3a)의 커넥터(8a)측의 단부(1)에 입사된 신호가 DUT(2)측의 단부(2)를 통과하여 단부(1)에 반사되는 비율(반사 특성)이면 좋다.The jig characteristic derivation section 50a receives the reflection coefficients SAAopen and SAAshort of the signal line 3a, and derives the characteristics (jig characteristics) of the signal line 3a based thereon. As for the characteristic (jig characteristic) of the signal line 3a, when the DUT 2 is not connected, the signal incident on the end 1 of the connector 8a side of the signal line 3a enters the end ( What is necessary is just the ratio (reflection characteristic) which passes through 2) and is reflected by the edge part 1.

도 7은 신호선(3a)의 반사 특성의 진값 및 신호선(3a)의 반사 계수(SAAopen, SAAshort)의 관계를 나타내는 도면이다. 저주파수의 신호를 신호선(3a)에 부여하고 있는 동안은 반사에 의한 손실은 거의 없다. 따라서, 신호선(3a)에 부여되는 신호의 전력과, 신호선(3a)에 의해 반사된 신호의 전력은 거의 마찬가지므로, 반사 특성은 거의 0[dB]이 된다. 그러나, 고주파수의 신호를 신호선(3a)에 부여하면, 반사에 의한 손실이 증가된다. 따라서, 신호선(3a)에 부여되는 신호의 전력에 비하여 신호선(3a)에 의해 반사된 신호의 전력이 감소된다. 따라서, 주파수가 높아짐에 따라, 반사 특성이 0[dB]보다도 감소하게 된다. 즉, 주파수가 높아짐에 따라, 반사 특성의 진값이 감소하게 된다.FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the true value of the reflection characteristic of the signal line 3a and the reflection coefficients SAAopen and SAAshort of the signal line 3a. While the low frequency signal is applied to the signal line 3a, there is almost no loss due to reflection. Therefore, since the power of the signal applied to the signal line 3a and the power of the signal reflected by the signal line 3a are almost the same, the reflection characteristic is almost 0 [dB]. However, when a high frequency signal is applied to the signal line 3a, the loss due to reflection increases. Therefore, the power of the signal reflected by the signal line 3a is reduced compared to the power of the signal applied to the signal line 3a. Therefore, as the frequency increases, the reflection characteristic decreases from 0 [dB]. That is, as the frequency increases, the true value of the reflection characteristic decreases.

여기서, 신호선(3a)의 반사 계수(SAAopen 및 SAAshort)는 반사 특성의 진값보다도 크게 또는 작게 되는 것을 되풀이하면서 주파수가 높아짐에 따라 저하되어 간다. SAAopen의 위상은 SAAshort의 위상을 역전시킨 것이 된다. 따라서, 신호선(3a)의 특성(반사 특성)={SAAopen×(-SAAshort)}1/2[즉, {SAAopen×(-SAAshort)}의 1/2승)이 된다. 또한, SAAshort에 마이너스(minus)를 곱한 것은 위상의 역전에 의해 SAAopen과 다른 부호가 되어 있는 것을 동일한 부호로 고치기 위해서이다. 따라서, SAAopen×(-SAAshort)은 SAAopen×SAAshort의 절대치이다.Here, the reflection coefficients SAAopen and SAAshort of the signal line 3a are lowered as the frequency is increased while being repeated to be larger or smaller than the true value of the reflection characteristic. The phase of SAAopen is the reverse of the phase of SAAshort. Therefore, the characteristic (reflection characteristic) of the signal line 3a = {SAAopen x (-SAAshort)} 1/2 (that is, 1/2 power of {SAAopen x (-SAAshort)}). In addition, SAAshort is multiplied by minus in order to change a code different from SAAopen to the same code due to phase inversion. Therefore, SAAopen x (-SAAshort) is the absolute value of SAAopen x SAAshort.

도 8은 신호선(3a)의 시그널 플로우 다이어그램이다. 신호선(3a)의 반사 S 파라미터는 이상적, 즉 S11=S22=0인 것으로 한다. 또한, 신호선(3a)의 전송 S 파라미터(S21 및 S12)는 마찬가지인 것으로 한다. 이렇게 가정했을 때의 신호선(3a)의 전송 S 파라미터(S21 및 S12)를 신호선(3a)의 특성(지그 특성)으로 해서, 지그 특성 도출부(50a)가 도출해도 좋다. S21×S12=신호선(3a)의 특성(반사 특성)이 되므로, S21=S12=신호선(3a)의 특성(반사 특성)1 /2={SAAopen×(-SAAshort)}1/4[즉, {SAAopen×(-SAAshort)}의 1/4승)이 된다.8 is a signal flow diagram of the signal line 3a. The reflection S parameter of the signal line 3a is ideal, i.e., S11 = S22 = 0. In addition, it is assumed that the transmission S parameters S21 and S12 of the signal line 3a are the same. Assuming that the transmission S parameters S21 and S12 of the signal line 3a are assumed as the characteristics (jig characteristics) of the signal line 3a, the jig characteristic derivation section 50a may derive it. S21 = S12 × Since the characteristic (reflection characteristic) of the signal line (3a), S21 = S12 = characteristic of the signal lines (3a) (reflection characteristic) 1/2 = {SAAopen × (-SAAshort)} 1/4 [ i.e., { 1/4 of SAAopen x (-SAAshort)}.

또한, 지그 특성 도출부(50a)는 신호선(3a)의 특성(반사 특성)을 도출하고, 또한, 신호선(3a)의 특성(반사 특성)에 의거하여 신호선(3a)의 전송 S 파라미터(S21 및 S12)를 도출해도 좋다.Further, the jig characteristic derivation section 50a derives the characteristics (reflection characteristics) of the signal line 3a, and also based on the characteristics (reflection characteristics) of the signal line 3a, the transmission S parameters S21 and S21 of the signal lines 3a. S12) may be derived.

마찬가지로, 제 1 반사 계수 측정부(44a)는 오픈 상태(도 3 참조)에 있어서, 리시버(Rch)(18) 및 리시버(Bch)(38)의 측정 결과를 수신하고, 이 측정 결과에 의거하여 신호선(3b)의 반사 계수(SBBopen)를 구한다. 제 2 반사 계수 측정부(44b)는 쇼트 상태(도 4 참조)에 있어서, 리시버(Rch)(18) 및 리시버(Bch)(38)의 측정 결과 를 수신하고, 이 측정 결과에 의거하여 신호선(3b)의 반사 계수(SBBshort)를 구한다. 지그 특성 도출부(50b)는 신호선(3b)의 반사 계수(SBBopen 및 SBBshort)를 수신하고, 이에 의거하여 신호선(3b)의 특성(지그 특성)을 도출한다. 신호선(3b)의 특성(지그 특성)은 신호선(3b)의 반사 특성 및 신호선(3b)의 전송 S 파라미터(S43, S34) 중 어느 하나 이상이다.Similarly, in the open state (see FIG. 3), the first reflection coefficient measuring section 44a receives the measurement results of the receiver Rch 18 and the receiver Bch 38, and based on the measurement results, The reflection coefficient SBBopen of the signal line 3b is obtained. The second reflection coefficient measuring section 44b receives the measurement results of the receiver Rch 18 and the receiver Bch 38 in the short state (see FIG. 4), and based on the measurement result, the signal line ( The reflection coefficient SBBshort of 3b) is obtained. The jig characteristic derivation section 50b receives the reflection coefficients SBBopen and SBBshort of the signal line 3b, and derives the characteristics (jig characteristics) of the signal line 3b based thereon. The characteristic (jig characteristic) of the signal line 3b is at least one of the reflection characteristic of the signal line 3b and the transmission S parameters S43 and S34 of the signal line 3b.

마찬가지로, 제 1 반사 계수 측정부(46a)는 오픈 상태(도 3 참조)에 있어서, 리시버(Rch)(18) 및 리시버(Cch)(138)의 측정 결과를 수신하고, 이 측정 결과에 의거하여 신호선(3c)의 반사 계수(SCCopen)를 구한다. 제 2 반사 계수 측정부(46b)는 쇼트 상태(도 4 참조)에 있어서, 리시버(Rch)(18) 및 리시버(Cch)(138)의 측정 결과를 수신하고, 이 측정 결과에 의거하여 신호선(3c)의 반사 계수(SCCshort)를 구한다. 지그 특성 도출부(50c)는 신호선(3c)의 반사 계수(SCCopen 및 SCCshort)를 수신하고, 이에 의거하여 신호선(3c)의 특성(지그 특성)을 도출한다. 신호선(3c)의 특성(지그 특성)은 신호선(3c)의 반사 특성 및 신호선(3c)의 전송 S 파라미터(S65, S56) 중 어느 하나 이상이다.Similarly, the first reflection coefficient measuring unit 46a receives the measurement results of the receiver Rch 18 and the receiver Cch 138 in the open state (see FIG. 3), and based on the measurement result. The reflection coefficient SCCopen of the signal line 3c is obtained. The second reflection coefficient measuring unit 46b receives the measurement results of the receiver Rch 18 and the receiver Cch 138 in the short state (see FIG. 4), and based on the measurement result, the signal line ( The reflection coefficient SCCshort of 3c) is obtained. The jig characteristic derivation section 50c receives the reflection coefficients SCCopen and SCCshort of the signal line 3c, and derives the characteristics (jig characteristics) of the signal line 3c based thereon. The characteristic (jig characteristic) of the signal line 3c is at least one of the reflection characteristic of the signal line 3c and the transmission S parameters S65 and S56 of the signal line 3c.

마찬가지로, 제 1 반사 계수 측정부(48a)는 오픈 상태(도 3 참조)에 있어서, 리시버(Rch)(18) 및 리시버(Dch)(128)의 측정 결과를 수신하고, 이 측정 결과에 의거하여 신호선(3d)의 반사 계수(SDDopen)를 구한다. 제 2 반사 계수 측정부(48b)는 쇼트 상태(도 4 참조)에 있어서, 리시버(Rch)(18) 및 리시버(Dch)(128)의 측정 결과를 수신하고, 이 측정 결과에 의거하여 신호선(3d)의 반사 계수(SDDshort)를 구한다. 지그 특성 도출부(50d)는 신호선(3d)의 반사 계수(SDDopen 및 SDDshort)를 수신하고, 이에 의거하여 신호선(3d)의 특성(지그 특성)을 도출한다. 신호선(3d)의 특성(지그 특성)은 신호선(3d)의 반사 특성 및 신호선(3d)의 전송 S 파라미터(S87, S78) 중 어느 하나 이상이다.Similarly, the first reflection coefficient measuring unit 48a receives the measurement results of the receiver Rch 18 and the receiver Dch 128 in the open state (see FIG. 3), and based on the measurement result. The reflection coefficient SDDopen of the signal line 3d is obtained. The second reflection coefficient measuring unit 48b receives the measurement results of the receiver Rch 18 and the receiver Dch 128 in the short state (see FIG. 4), and based on the measurement result, the signal line ( The reflection coefficient SDDshort of 3d) is obtained. The jig characteristic derivation section 50d receives the reflection coefficients SDDopen and SDDshort of the signal line 3d, and derives the characteristics (jig characteristic) of the signal line 3d based thereon. The characteristic (jig characteristic) of the signal line 3d is at least one of the reflection characteristic of the signal line 3d and the transmission S parameters S87 and S78 of the signal line 3d.

이어서, 본 발명의 실시형태의 동작을 도 9의 플로우 챠트를 참조하여 설명한다.Next, operation | movement of embodiment of this invention is demonstrated with reference to the flowchart of FIG.

우선, 오픈 상태(도 3 참조)를 실현하고, 제 1 반사 계수 측정부(42a, 44a, 46a, 48a)가 그 때의 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 반사 계수(SMopen, SBBopen, SCCopen, SDDopen)를 측정한다(S12).First, the open state (refer to FIG. 3) is realized, and the first reflection coefficient measuring units 42a, 44a, 46a, 48a reflect the reflection coefficients SMopen, SBBopen, of the signal lines 3a, 3b, 3c, 3d at that time. SCCopen, SDDopen) is measured (S12).

이어서, 쇼트 상태(도 4 참조)를 실현하고, 제 2 반사 계수 측정부(42b, 44b, 46b, 48b)가 그 때의 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 반사 계수(SAAshort, SBBshort, SCCshort, SDDshort)를 측정한다(S14).Subsequently, a short state (see FIG. 4) is realized, and the second reflection coefficient measuring units 42b, 44b, 46b, and 48b reflect the reflection coefficients SAAshort, SBBshort, and 3D of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d at that time. SCCshort, SDDshort) is measured (S14).

그리고, 지그 특성 도출부(50a, 50b, 50c, 50d)가, 반사 계수(SAAopen, SBBopen, SCCopen, SDDopen) 및 반사 계수(SAAshort, SBBshort, SCCshort, SDDshort)에 의거하여 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 특성(지그 특성)을 도출한다 (S16). 예를 들면, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 반사 특성을 도출해도 좋고, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 전송 S 파라미터(S21, S12, S43, S34, S65, S56, S87, S78)를 도출해도 좋다.Then, the jig characteristic derivation units 50a, 50b, 50c, and 50d use the signal lines 3a, 3b, and 3c based on the reflection coefficients SAAopen, SBBopen, SCCopen, and SDDopen and the reflection coefficients SAAshort, SBBshort, SCCshort, and SDDshort. , 3d) (jig characteristic) is derived (S16). For example, the reflection characteristics of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d may be derived, and the transmission S parameters S21, S12, S43, S34, S65, S56, and S87 of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d may be derived. , S78) may be derived.

마지막으로, 지그(3)에 DUT(2)를 부착하여 DUT(2)의 특성을 측정한다(S22). 구체적으로는 네트워크 애널라이저(1)가 포트(A, B, C, D) 중 어느 하나로부터 측정용 신호를 출력하고, 지그(3)를 통해 DUT(2)에 부여한다. DUT(2)는 측정용 신호 를 수신하고, 응답 신호를 출력한다. 응답 신호를 네트워크 애널라이저(1)가 포트(A, B, C, D) 중 어느 하나 이상에 의해 수신하고, 응답 신호를 측정한다. 예를 들면, 응답 신호의 전력을 측정한다.Finally, the DUT 2 is attached to the jig 3 to measure the characteristics of the DUT 2 (S22). Specifically, the network analyzer 1 outputs a measurement signal from one of the ports A, B, C, and D, and applies it to the DUT 2 via the jig 3. The DUT 2 receives the measurement signal and outputs a response signal. The network analyzer 1 receives the response signal by any one or more of the ports A, B, C, and D, and measures the response signal. For example, the power of the response signal is measured.

여기서, 응답 신호의 측정 결과에는 (1) 측정 장치 오차, (2) 지그 특성이 포함되어 있다. 여기서, 측정 장치 오차는 주지의 교정법에 의해 측정하는 것이 가능하다. 주지이므로, 특히 이 교정법의 설명은 생략한다. 또한, 지그 특성은 상기한 바와 같이 하여 측정할 수 있다. 따라서, 응답 신호의 측정 결과로부터 측정된 (1) 측정 장치 오차, 및 (2) 지그 특성을 제거한다. 즉, 측정 결과의 교정을 행한다.Here, the measurement result of the response signal includes (1) measuring device error and (2) jig characteristic. Here, a measurement apparatus error can be measured by a well-known calibration method. Since it is well-known, especially the description of this correction method is abbreviate | omitted. In addition, a jig characteristic can be measured as mentioned above. Therefore, the (1) measuring device error and (2) jig characteristic measured from the measurement result of the response signal are eliminated. That is, the measurement result is corrected.

또한, 본 발명의 실시형태에 있어서는 DUT(2)가 4 포트의 경우에 대해서 설명했지만, DUT(2)의 포트수의 대소에 관계없이, 본 발명의 실시형태를 실현할 수 있다. 또한, 네트워크 애널라이저(1)가 지그 특성 측정 장치(60)를 갖는 예에 대해서 설명했지만, 네트워크 애널라이저 대신에 반도체 시험 장치가 지그 특성 측정 장치(60)를 갖는 경우도 마찬가지로 실현될 수 있다.In the embodiment of the present invention, the case in which the DUT 2 is four ports has been described. However, the embodiment of the present invention can be realized regardless of the magnitude of the port number of the DUT 2. In addition, although the example where the network analyzer 1 has the jig characteristic measuring apparatus 60 was demonstrated, the case where a semiconductor test apparatus has the jig characteristic measuring apparatus 60 instead of a network analyzer can also be implemented similarly.

본 발명의 실시형태에 의하면, DUT(2)의 회로 파라미터를 연산 측량할 때에 사용하는 지그(픽스쳐)(3)의 지그 특성을 측정할 수 있다. 예를 들면, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 반사 특성을 측정할 수 있다. 또는, 신호선(3a, 3b, 3c, 3d)의 전송 S 파라미터(S21, S12, S43, S34, S65, S56, S87, S78)를 측정할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, the jig characteristic of the jig (fixture) 3 to be used when calculating the circuit parameters of the DUT 2 can be measured. For example, the reflection characteristics of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d can be measured. Alternatively, the transmission S parameters S21, S12, S43, S34, S65, S56, S87, and S78 of the signal lines 3a, 3b, 3c, and 3d can be measured.

또한, 본 발명의 실시형태에 의하면, 지그(픽스쳐)(3)의 지그 특성을 측정할 때에, 지그(3)의 상태는 오픈 상태(도 3 참조), 및 쇼트 상태(도 4 참조)의 2종류 를 실현하면 좋다. 이것은 하기의 비교예와 비교했을 경우, 지그(3)의 상태를 실현하기 위한 노력이 경감되는 것을 의미한다.Moreover, according to embodiment of this invention, when measuring the jig characteristic of the jig | tool (fixture) 3, the state of the jig 3 is 2 of an open state (refer FIG. 3), and a short state (refer FIG. 4). Realize the kind. This means that the effort to realize the state of the jig 3 is reduced when compared with the following comparative example.

비교예는 DUT(2)를 오픈 상태로 하는 것은 바뀌지 않는다. 다른 점은 DUT(2) 대신에 2개 중 어느 하나의 신호선을 무저항으로 직결(스루 : thru) 하는 것이다. 직결에 의해, 2개의 신호선에 의한 오차를 네트워크 애널라이저(1)마다 측정할 수 있다. 비교예에 따르면, 2개의 신호선을 무저항으로 직결하므로, 도 1에 도시된 바와 같이 DUT(2)가 4 포트인 경우, 상태가 4×3/2=6종류가 가능하다. 따라서, 오픈 상태가 1종류, 직결의 상태가 6종류이므로, 합계 7종류의 상태를 실현하지 않으면 신호선에 의한 오차를 측정할 수 없다. 이것은 본 발명의 실시형태와 같이 지그(3)의 상태를 2종류 실현하면 좋은 것과 비교하여 노력이 크다.In the comparative example, leaving the DUT 2 open does not change. The difference is that instead of the DUT 2, one of the two signal lines is directly connected (thru) without resistance. By direct connection, the error by two signal lines can be measured for every network analyzer 1. According to the comparative example, since two signal lines are directly connected with no resistance, when the DUT 2 is four ports as shown in Fig. 1, 4 x 3/2 = 6 kinds of states are possible. Therefore, since there are one type of open state and six types of direct connection, an error due to a signal line cannot be measured unless a total of seven types of states are realized. This is a great effort compared with what should be done by two types of the state of the jig 3 like embodiment of this invention.

또한, 상기 실시형태는 아래와 같이 해서 실현 가능하다. CPU , 하드 디스크, 미디어(플로피(등록상표) 디스크, CD-ROM 등) 판독 장치를 구비한 컴퓨터의 미디어 판독 장치에 상기 각 부분[예를 들면, 지그 특성 측정 장치(60)]을 실현하는 프로그램을 기록한 미디어를 판독하게 하여 하드 디스크에 인스톨한다. 이러한 방법으로도 상기 기능이 실현 가능하다.In addition, the said embodiment can be implemented as follows. A program for realizing each of the above portions (for example, the jig characteristic measuring device 60) in a media reading device of a computer equipped with a CPU, a hard disk, a media (floppy (registered trademark) disk, a CD-ROM, etc.) reading device. Read the recorded media and install it on the hard disk. The above function can also be realized in this way.

Claims (11)

피측정물과 상기 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 장치로서:A fixture characteristic measuring apparatus for measuring a fixture characteristic of a fixture having a signal line connecting a measuring object and a measuring device for measuring the characteristic of the measured object: 상기 피측정물이 상기 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서, 상기 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 1 반사 계수 측정 수단,First reflection coefficient measuring means for measuring a reflection coefficient of the signal line in an open state in which the object under test is not connected to the signal line; 상기 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서, 상기 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 2 반사 계수 측정 수단, 및Second reflection coefficient measuring means for measuring a reflection coefficient of the signal line in a short state in which all of the signal lines are grounded, and 상기 제 1 반사 계수 측정 수단의 측정 결과와 상기 제 2 반사 계수 측정 수단의 측정 결과에 의거하여 상기 픽스쳐 특성을 도출하는 픽스쳐 특성 도출 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 픽스쳐 특성 측정 장치.And a fixture characteristic derivation means for deriving the fixture characteristic based on the measurement result of the first reflection coefficient measuring means and the measurement result of the second reflection coefficient measuring means. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 픽스쳐는,The fixture is, 표면에 상기 피측정물 및 상기 신호선이 배치되고, 이면에 접지 전위부가 배치된 기판, 및A substrate having the measurement object and the signal line disposed on a surface thereof, and a ground potential portion disposed on a rear surface thereof; and 상기 표면에 개구되고, 상기 접지 전위부에 접속하는 스루홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 픽스쳐 특성 측정 장치.And a through hole which is opened on the surface and connected to the ground potential portion. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 오픈 상태는 상기 피측정물을 상기 픽스쳐에 배치하지 않은 상태인 것을 특징으로 하는 픽스쳐 특성 측정 장치.And the open state is a state in which the object to be measured is not disposed in the fixture. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 쇼트 상태는 상기 신호선 및 상기 스루홀에 접속된 메탈라이즈부를 상기 표면에 배치하고 있는 상태인 것을 특징으로 하는 픽스쳐 특성 측정 장치.And the short state is a state in which a metallization part connected to the signal line and the through hole is disposed on the surface. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 픽스쳐 특성 도출 수단은 상기 제 1 반사 계수 측정 수단의 측정 결과와 상기 제 2 반사 계수 측정 수단의 측정 결과를 곱한 값의 절대치의 1/2승을 상기 픽스쳐 특성으로 하는 것을 특징으로 하는 픽스쳐 특성 측정 장치.Wherein the fixture characteristic derivation means sets the fixture characteristic as a half power of an absolute value of a product of the measurement result of the first reflection coefficient measuring means and the measurement result of the second reflection coefficient measuring means. Device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 픽스쳐 특성 도출 수단은 상기 제 1 반사 계수 측정 수단의 측정 결과와 상기 제 2 반사 계수 측정 수단의 측정 결과를 곱한 값의 절대치의 1/4승을 상기 픽스쳐 특성으로 하는 것을 특징으로 하는 픽스쳐 특성 측정 장치.Wherein the fixture characteristic derivation means sets the fixture characteristic to a quarter power of an absolute value obtained by multiplying the measurement result of the first reflection coefficient measuring means and the measurement result of the second reflection coefficient measuring means. Device. 제 1 항 ~ 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 픽스쳐 특성 측정 장치를 구비하고,The fixture characteristic measuring apparatus in any one of Claims 1-6 is provided, 상기 피측정물의 측정 결과를 상기 픽스쳐 특성 측정 장치에 의해 도출된 상 기 픽스쳐 특성에 의거하여 교정하는 것을 특징으로 하는 네트워크 애널라이저.And calibrating the measurement result of the measurement object based on the fixture characteristic derived by the fixture characteristic measuring device. 제 1 항 ~ 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 픽스쳐 특성 측정 장치를 구비하고,The fixture characteristic measuring apparatus in any one of Claims 1-6 is provided, 상기 피측정물의 측정 결과를 상기 픽스쳐 특성 측정 장치에 의해 도출된 상기 픽스쳐 특성에 의거하여 교정하는 것을 특징으로 하는 반도체 시험 장치.And a measurement result of the measurement object is corrected based on the fixture characteristics derived by the fixture characteristic measurement apparatus. 피측정물과 상기 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 방법으로서:A fixture characteristic measuring method for measuring a fixture characteristic of a fixture having a signal line connecting an object under test and a measuring device for measuring the property of the object under test: 상기 피측정물이 상기 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서, 상기 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 1 반사 계수 측정 공정,A first reflection coefficient measuring step of measuring a reflection coefficient of the signal line in an open state in which the object under test is not connected to the signal line, 상기 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서, 상기 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 2 반사 계수 측정 공정, 및A second reflection coefficient measuring step of measuring a reflection coefficient of the signal line in a short state in which all of the signal lines are grounded, and 상기 제 1 반사 계수 측정 공정의 측정 결과와 상기 제 2 반사 계수 측정 공정의 측정 결과에 의거하여 상기 픽스쳐 특성을 도출하는 픽스쳐 특성 도출 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 픽스쳐 특성 측정 방법.And a fixture characteristic derivation step of deriving the fixture characteristic based on a measurement result of the first reflection coefficient measurement step and a measurement result of the second reflection coefficient measurement step. 피측정물과 상기 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 처리를 컴퓨터로 실행시키기 위한 프로그램으로서:A program for causing a computer to execute a fixture characteristic measurement process for measuring a fixture characteristic of a fixture having a signal line connecting the object under test and a measuring device for measuring the property of the object under test: 상기 피측정물이 상기 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서, 상기 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 1 반사 계수 측정 처리,A first reflection coefficient measurement process for measuring a reflection coefficient of the signal line in an open state in which the object under test is not connected to the signal line, 상기 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서, 상기 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 2 반사 계수 측정 처리, 및A second reflection coefficient measurement process for measuring a reflection coefficient of the signal line in a short state in which all of the signal lines are grounded, and 상기 제 1 반사 계수 측정 처리의 측정 결과와 상기 제 2 반사 계수 측정 처리의 측정 결과에 의거하여 상기 픽스쳐 특성을 도출하는 픽스쳐 특성 도출 처리를 컴퓨터로 실행시키기 위한 프로그램.A program for causing a computer to execute a fixture characteristic derivation process of deriving the fixture characteristic based on a measurement result of the first reflection coefficient measurement process and a measurement result of the second reflection coefficient measurement process. 피측정물과 상기 피측정물의 특성을 측정하기 위한 측정 장치를 접속하는 신호선을 갖는 픽스쳐의 픽스쳐 특성을 측정하기 위한 픽스쳐 특성 측정 처리를 컴퓨터로 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록 매체로서:A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for causing a computer to execute a fixture characteristic measurement process for measuring fixture characteristics of a fixture having a signal line connecting a measurement object with a measurement device for measuring the characteristic of the measurement object. : 상기 피측정물이 상기 신호선에 접속되지 않은 오픈 상태에 있어서, 상기 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 1 반사 계수 측정 처리,A first reflection coefficient measurement process for measuring a reflection coefficient of the signal line in an open state in which the object under test is not connected to the signal line, 상기 신호선의 모두를 접지한 쇼트 상태에 있어서, 상기 신호선의 반사 계수를 측정하는 제 2 반사 계수 측정 처리, 및A second reflection coefficient measurement process for measuring a reflection coefficient of the signal line in a short state in which all of the signal lines are grounded, and 상기 제 1 반사 계수 측정 처리의 측정 결과와 상기 제 2 반사 계수 측정 처리의 측정 결과에 의거하여 상기 픽스쳐 특성을 도출하는 픽스쳐 특성 도출 처리를 컴퓨터로 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터에 의해 판독 가능한 기록 매체.A computer-readable recording medium having recorded thereon a program for causing a computer to execute a fixture characteristic derivation process for deriving the fixture characteristic based on a measurement result of the first reflection coefficient measurement process and a measurement result of the second reflection coefficient measurement process. .
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