KR20070018943A - Improved thick film dielectric structure for thick dielectric electroluminescent display - Google Patents

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키파 카밀 마무드
이강옥
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이화이어 테크놀로지 코포레이션
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Abstract

합성체를 형성하는 후막 유전층상에 도포되는 개선된 평활층을 제공하며, 개선된 평활층은 베이스 후막 유전층 내의 표면 결함밀도를 실질적으로 감소시키고, 평활층 내에 계면활성제를 혼합함으로써 개선이 성취되며, 평활층을 형성하는 증착용액에 계면활성제를 추가하면 하부 후막 유전층을 습윤시키는 것이 용이 해지므로 후막 유전층 내에 존재하는 구멍들/홀들(여기서 '결함들'이라함)이 줄어들게 되어, 개선된 유전구조 및 그러한 구조를 갖는 전계발광 디스플레이를 달성할 수 있다Providing an improved smoothing layer applied over the thick film dielectric layer forming the composite, wherein the improved smoothing layer substantially reduces surface defect density in the base thick film dielectric layer, and improvements are achieved by mixing the surfactant in the smoothing layer, The addition of a surfactant to the deposition solution forming the smoothing layer facilitates the wetting of the lower thick film dielectric layer, thereby reducing the holes / holes (herein referred to as 'defects') present in the thick film dielectric layer, resulting in improved dielectric structure and An electroluminescent display having such a structure can be achieved.

후막 유전층, 평활층, 표면 결함밀도, 계면활성제, 구멍들, 전계발광 디스플레이 Thick Film Dielectric Layer, Smooth Layer, Surface Defect Density, Surfactant, Holes, Electroluminescent Display

Description

후막유전 전계발광 디스플레이용 개선된 후막 유전구조{IMPROVED THICK FILM DIELECTRIC STRUCTURE FOR THICK DIELECTRIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY}IMPROVED THICK FILM DIELECTRIC STRUCTURE FOR THICK DIELECTRIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY}

본 발명 일반적으로 후막 유전층 전계발광 디스플레이에 관한 것이다. 좀더 구체적으로, 본 발명은 개선된 신규의 유전구조, 그의 제조방법 및 그러한 구조를 갖는 전계발광 디스플레이에 관한 것이다.The present invention relates generally to thick film dielectric layer electroluminescent displays. More specifically, the present invention relates to improved novel dielectric structures, methods for their manufacture, and electroluminescent displays having such structures.

후막 유전층 전계발광 디스플레이는 통상적으로, 세라믹, 유리 세라믹, 유리 또는 기타 내열기판상에 제조되며, 유리기판상에 제조되는 박막 전계발광(TFEL) 디스플레이에 비해 유전항복(dielectric breakdown)에 대한 우수한 내성뿐만 아니라 감소된 동작전압을 제공한다. 디스플레이의 제조방법은 우선 기판상에 로우(row) 전극세트의 증착을 수반한다. 그 다음, 후막 유전층을 증착한 다음 이에 후속하여 박막 구조를 증착하여, 하나 이상의 박막 유전층 사이에 하나 이상의 포스포 박막과 광학적으로 투명한 컬럼 전극세트를 샌드위치시킨다. 그 다음, 전체 구조를 시일링층으로 피복하여 후막과 박막 구조들을 습기 또는 기타 대기 오염으로 인한 열화로부터 보호한다. Thick film dielectric layer electroluminescent displays are typically fabricated on ceramics, glass ceramics, glass or other heat resistant substrates, as well as excellent resistance to dielectric breakdown compared to thin film electroluminescent (TFEL) displays fabricated on glass substrates. Provides a reduced operating voltage. The method of manufacturing a display first involves the deposition of a set of row electrodes on a substrate. A thick film dielectric layer is then deposited followed by a thin film structure to sandwich one or more phosphor thin films and a set of optically transparent column electrodes between the one or more thin film dielectric layers. The entire structure is then covered with a sealing layer to protect the thick and thin film structures from degradation due to moisture or other air pollution.

그러한 디스플레이에 사용되는 합성후막 유전층들은 디스플레이 동작전압의 큰 증가 없이 디스플레이에 상대적으로 두꺼운 유전층들의 사용을 허용하면서 고 유전상수를 갖는다. 이 재료들의 유전항복강도는 상대적으로 낮기 때문에, 통상적으로, 약10 마이크로미터 이상의 상대적으로 두꺼운 유전층들을 사용하여 디스플레이가 동작하는 동안 유전항복을 방지하도록 한다. 통상적으로, 후막 유전층은 수천의 유전상수를 갖는 리드 마그네슘 티타네이트-지르코네이트(PMN-PT) 또는 리드 마그네슘 니오베이트와 같은 소결된 페로브스키트 압전(sintered perovskite piezoelectric) 또는 강유전 재료를 포함한다. 박막 포스포 구조의 증착을 위해 후막 표면을 평활하도록 금속 유기 증착(MOD) 또는 졸겔 기술을 사용하여 도포되는 리드 지르코네이트 타타네이트(PZT)와 같은 조화가능한 압전 또는 강유전 재료의 더 얇은 중복층이 있을 수도 있다.Composite thick film dielectric layers used in such displays have a high dielectric constant while allowing the use of relatively thick dielectric layers in the display without a significant increase in display operating voltage. Since the dielectric yield strength of these materials is relatively low, relatively thick dielectric layers of typically about 10 micrometers or more are used to prevent dielectric breakdown during display operation. Typically, thick film dielectric layers comprise sintered perovskite piezoelectric or ferroelectric materials such as lead magnesium titanate-zirconate (PMN-PT) or lead magnesium niobate having thousands of dielectric constants. Thinner layers of harmonious piezoelectric or ferroelectric materials such as lead zirconate tartanate (PZT) applied using metal organic deposition (MOD) or solgel techniques to smooth the thick film surface for deposition of thin film phosphor structures There may be.

본 출원인의 미국특허 제5,432,015호(여기서 그 내용 전체를 참고로 반영한다)는 전계발광 디스플레이에 사용하기 위한 박막 유전층 합성 구조물을 개시하고 있다. 후막층은 박막 골드(gold)전극들이 도포된 적당한 기판상에서 고온으로 소결되어 특히, 그 층의 상부에서 남아있는 구멍들이 졸겔 또는 MOD 기술을 사용하여 증착되는 중복층에 의해 충전될 수 있는 정도로 충분히 높은 소결된 후막 밀도가 성취된다. 그러나, 중복층은 소결된 재료의 구멍들을 완전히 충전시키지 못한다. 왜냐하면, 졸겔 또는 MOD 전구물질들이 압전 또는 강유전 재료를 형성하도록 소성될 때 용적이 심하게 감소되기 때문이다.Applicant's U.S. Patent No. 5,432,015, which is hereby incorporated by reference in its entirety, discloses a thin film dielectric layer composite structure for use in electroluminescent displays. The thick film layer is sintered at a high temperature on a suitable substrate to which thin film gold electrodes are applied, particularly high enough that the pores remaining at the top of the layer can be filled by an overlapping layer deposited using sol-gel or MOD technology. Sintered thick film density is achieved. However, the overlap layer does not completely fill the pores of the sintered material. This is because the volume is significantly reduced when the sol-gel or MOD precursors are fired to form piezoelectric or ferroelectric materials.

본 출원인의 PCT 특허출원 WO 00/70917호(여기에 그 내용 전체를 참고로 반영한다)는 증착된 후막 유전층 재료가 소결하기 전에 아이소스태틱 프레싱 프로세스(isostatic pressing process)를 사용하여 기계적으로 압축되는 아이소스태틱 프 레싱 프로세스를 개시하고 있다. 이는 후막 재료의 밀도를 증가시키고 또한 구멍들을 감소시키는 기능의 역할을 하므로 중복층이 피복될 때 그 층의 유전상수와 유전강도가 증가 될 수 있다. 유전항복은 유전층의 불규칙적인 결함들과 연관되며 항복의 확률이 디스플레이 영역 증가와 더불어 증가한다. 따라서 더 높은 공칭의 유전강도를 갖는 층들은 이러한 성향을 없애기 위해 대형 디스플레이용으로 사용하는 것이 요망된다.Applicant's PCT patent application WO 00/70917, which is incorporated herein by reference in its entirety, discloses an isostatic pressing process where the deposited thick film dielectric layer material is mechanically compressed using an isostatic pressing process before sintering and have. This serves to increase the density of the thick film material and also to reduce the pores, so that when the overlapping layer is coated, the dielectric constant and dielectric strength of the layer can be increased. The dielectric breakdown is associated with irregular defects in the dielectric layer and the probability of yield increases with increasing display area. Thus, layers with higher nominal dielectric strengths are desired to be used for large displays to eliminate this tendency.

본 출원인의 국제특허출원 PCT CA02/01932호(여기에 그 내용 전체를 참고로 반영한다)는 후막 유전층을 만들기 위해 사용되는 수정된 후막 페이스트 조제를 개시하고 있다. 이 수정된 후막 유전층은 유리기판의 사용을 용이하게 하도록 650℃ 정도로 낮은 온도에서 소결될 수도 있다. 그러나 이 수정된 후막 유전층은 여전히 구멍들이 잔존하고 있다.Applicant's International Patent Application PCT CA02 / 01932, which is hereby incorporated by reference in its entirety, discloses modified thick film paste formulations used to make thick film dielectric layers. This modified thick film dielectric layer may be sintered at temperatures as low as 650 ° C. to facilitate the use of glass substrates. However, this modified thick film dielectric layer still has pores.

그러므로 근본적으로 유전항복을 위한 사이트로서 작용하는 소수의 결함들(즉, 구멍들 또는 홀들)을 나타내는 개선된 유전구조를 제공하는 것이 요망되며 디스플레이 수명을 감소시키는 후막 유전층 및 포스포층들 간의 원하지 않는 반응을 위한 도관을 제공한다.It is therefore desirable to provide an improved dielectric structure that exhibits a few defects (ie, holes or holes) that essentially act as sites for dielectric breakdown and undesired reactions between thick film dielectric layers and phosphor layers that reduce display life. Provide conduits for

발명의 요약Summary of the Invention

본 발명은 합성체를 형성하는 후막 유전층상에 도포되는 개선된 평활층이다. 개선된 평활층은 베이스 후막 유전층 내의 표면 결함밀도를 실질적으로 감소시킨다. 평활층 내에 계면활성제를 혼합함으로써 개선이 성취된다. 평활층을 형성하는 증착용액에 계면활성제를 추가하면 하부 후막 유전층을 습윤시키는 것이 용이 해지므로 후막 유전층 내에 존재하는 구멍들/홀들(여기서 '결함들'이라함)이 줄어든다.The present invention is an improved smoothing layer applied on a thick film dielectric layer forming a composite. The improved smoothing layer substantially reduces the surface defect density in the base thick film dielectric layer. Improvement is achieved by mixing the surfactant in the smooth layer. Adding surfactants to the deposition solution forming the smooth layer facilitates wetting the lower thick film dielectric layer, thereby reducing the holes / holes (herein referred to as 'defects') present in the thick film dielectric layer.

본 발명은 또한 개선된 유전구조 및 그러한 구조를 갖는 전계발광 디스플레이를 달성한다.The present invention also achieves improved dielectric structures and electroluminescent displays having such structures.

본 발명의 한 양상에 의하면, 후막 유전층으로 사용하기 위한 평활층에 있어서, 상기 평활층은 후막 유전층에 실질적으로 도포되는 금속 유기용액 또는 졸겔에 계면활성제를 첨가함으로써 제조된다. 여러 양상들에서 이 도포된 평활층은 압전 또는 강유전 재료를 형성하는 적당한 온도에서 소결(소성)된다. 다른 양상에서 압전 또는 강유전 재료는 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT)이다. According to one aspect of the present invention, in a smooth layer for use as a thick film dielectric layer, the smooth layer is prepared by adding a surfactant to a metal organic solution or sol gel substantially applied to the thick film dielectric layer. In various aspects this applied smooth layer is sintered (baked) at a suitable temperature to form a piezoelectric or ferroelectric material. In another aspect the piezoelectric or ferroelectric material is lead zirconate titanate (PZT).

본 발명의 다른 양상에 의하면, 평활층은 계면활성제를 포함하는 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT)이다.According to another aspect of the invention, the smoothing layer is lead zirconate titanate (PZT) comprising a surfactant.

본 발명의 다른 양상에 의하면, 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조에 있어서,According to another aspect of the present invention, in a sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display,

후막 유전층은 PZT 평활층을 가지며, 상기 평활층은 평방 밀리미터당 약100 결함 이하의 피트결함의 영역밀도를 갖는 고 유전상수 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 소결된 유전구조가 제공된다. 다른 양상들에서는 PZT 평활층이 상기 후 막 유전층상에 실질적으로 도포된 다음, 약850℃까지의 온도에서 소결되는, 리드 아세테이트, 타타늄 알콕사이드, 지르코늄 알콕사이드 및 솔벤트를 포함하는 금속 유기용액 또는 졸겔에 계면활성제를 첨가함으로써 만들어진다.The thick film dielectric layer has a PZT smoothing layer, and the smoothing layer is provided with a high dielectric constant material having a high dielectric constant material having a region density of pit defects of about 100 defects or less per square millimeter. In other aspects, a PZT smoothing layer is applied to the metal organic solution or sol gel comprising lead acetate, titanium alkoxide, zirconium alkoxide and solvent, which is substantially applied onto the post film dielectric layer and then sintered at temperatures up to about 850 ° C. It is made by adding a surfactant.

본 발명의 다른 양상에 의하면, 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조에 있어서,According to another aspect of the present invention, in a sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display,

하부 후막 유전층 및 상부 평활층을 포함하며, A lower thick film dielectric layer and an upper smooth layer,

상기 평활층은 상기 하부 후막 유전층 내의 결함들을 감소시키며, 상기 평활층은 상기 후막 유전층에 실질적으로 도포되어 소결된 금속 유기용액 또는 졸겔에 계면활성제를 첨가함으로써 제조되는 것을 특징으로 하는 소결된 유전구조가 제공된다.The smoothing layer reduces defects in the lower thick film dielectric layer, and the smoothing layer is substantially applied to the thick film dielectric layer and is manufactured by adding a surfactant to the sintered metal organic solution or sol gel. Is provided.

본 발명의 다른 양상에 의하면, 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조에 있어서, 하기 성분들:According to another aspect of the invention, in a sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display, the following components:

(a) 리드 마그네슘 니오베이트(PMN), 리드 마그네슘 니오베이트 티타네이트(PMN-PT), 리드 티타네이트 및 리드 옥사이드중에서 한가지 이상을 포함하는 후막 유전층 조성물의 하부층과; 리드 옥사이드, 보론 옥사이드, 보론 옥사이드 및 실리콘 디옥사이드를 포함하는 유리 플릿 조성물;(a) an underlayer of a thick film dielectric layer composition comprising at least one of lead magnesium niobate (PMN), lead magnesium niobate titanate (PMN-PT), lead titanate and lead oxide; Glass frit compositions comprising lead oxide, boron oxide, boron oxide and silicon dioxide;

(b) 적어도 하나의 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT)층을 포함하는 상부 평활층을 포함하며, 상기 (a)에 바로 인접한 상기 적어도 하나의 층은 평방 밀리미 터당 약100 결함 이하의 피트결함의 영역밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조가 제공된다. (b) a top smooth layer comprising at least one layer of lead zirconate titanate (PZT), wherein the at least one layer immediately adjacent to (a) has no more than about 100 defects per square millimeter A sintered synthetic thick film dielectric structure is provided for an electroluminescent display characterized by having a region density of.

본 발명 다른 양상에 의하면, 전계발광 디스플레이용 합성후막 유전구조 제조방법에 있어서,According to another aspect of the present invention, in the method for producing a composite thick film dielectric structure for an electroluminescent display,

후막 유전층을 계면활성제를 포함하는 금속 유기용액 또는 졸겔로서 도포된 평활층으로 중첩하는 단계와;Superimposing the thick dielectric layer with a smooth organic layer coated as a metal organic solution or sol gel comprising a surfactant;

약850℃까지의 온도에서 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조 제조방법이 제공된다.A method of manufacturing a sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display is provided, comprising sintering at a temperature of up to about 850 ° C.

본 발명의 다른 양상들에서는 계면활성제를 포함하지 않는 추가의 평활층들이 합성후막 유전구조에 중첩되어 소결될 수도 있다. 다른 양상들에서는 상기 평활층의 중첩이 금속 유기 증착(MOD) 또는 졸겔 기술에 의해 수행될 수도 있다.In other aspects of the invention, additional smoothing layers that do not include a surfactant may be superimposed on the synthetic thick film dielectric structure and sintered. In other aspects the superposition of the smoothing layer may be performed by metal organic deposition (MOD) or solgel techniques.

본 발명의 다른 양상에 의하면, 전계발광 디스플레이에 있어서, According to another aspect of the present invention, in an electroluminescent display,

기판; Board;

상기 기판상에 제공되는 합성후막 유전구조; 및A synthetic thick film dielectric structure provided on the substrate; And

상기 합성후막 유전구조상에 제공되는 포스포 조성물Phosphor Compositions Provided on the Synthetic Thick Film Dielectric Structure

을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이가 제공된다. 여러 양상들에서, 상기 합성후막 유전구조는 평방 밀리미터당 약100 결함 이하의 피트결함 의 영역밀도를 갖는 평활층을 포함하는 전계발광 디스플레이가 제공된다.There is provided an electroluminescent display comprising a. In various aspects, the composite thick film dielectric structure is provided with an electroluminescent display comprising a smooth layer having an area density of pit defects of less than about 100 defects per square millimeter.

본 발명의 기타 특징 및 장점들은 하기 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. 그러나 본 발명의 실시예들을 나타내는 상세한 설명 및 특정 예들은 단지 설명을 위한 것이므로 본 발명의 정신과 범위로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 수정 변경가능함을 본 분야에 통상의 지식을 가진자는 이해할 것이다. Other features and advantages of the invention will be apparent from the following detailed description. However, it will be understood by those skilled in the art that the detailed description and specific examples showing the embodiments of the present invention are merely illustrative, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention.

[도면의 간단한 설명][Brief Description of Drawings]

도 1은 전계발광 테스트 픽셀의 개략 평면도;1 is a schematic plan view of an electroluminescent test pixel;

도 2는 본 발명의 후막 유전층과 평활층의 위치를 나타내는 후막 전계발광 소자의 단면도;2 is a cross-sectional view of a thick film electroluminescent device showing the positions of the thick film dielectric layer and the smoothing layer of the present invention;

도 3은 본 발명의 방법을 사용하여 형성된 후막 유전층상에 평활층의 표면의 현미경사진;3 is a micrograph of the surface of a smoothing layer on a thick film dielectric layer formed using the method of the present invention;

도 4는 종래의 방법을 사용하여 형성된 후막 유전층상에 평활층의 표면의 현미경사진;4 is a micrograph of the surface of a smoothing layer on a thick film dielectric layer formed using a conventional method;

도 5는 본 발명의 방법에 의해 그리고 종래의 방법에 의해 만들어진 후막 유전층 내의 표면 결함의 영역밀도를 나타내는 도면;5 shows the area density of surface defects in a thick film dielectric layer made by the method of the present invention and by a conventional method;

도 6은 도 5의 샘플영역을 나타내는 대각선 43센티미터인 패널의 상면도.FIG. 6 is a top view of the panel with a diagonal of 43 centimeters representing the sample area of FIG.

발명의 상세한 설명Detailed description of the invention

[실시예]EXAMPLE

본 발명은 전계발광 디스플레이 내에서 사용을 위해 개선된 유전구조이다. 개선된 유전구조는 바닥 후막 유전층을 포함하며, 이 층위에 신규한 평활층이 중첩된다. 이 신규한 평활층은 이전에 시도된 평활층보다 더 작은 피트결함들을 갖는다.The present invention is an improved dielectric structure for use in electroluminescent displays. The improved dielectric structure includes a bottom thick film dielectric layer overlaid with a novel smooth layer. This new smooth layer has smaller pit defects than previously attempted smooth layers.

후막 유전층은 통상적으로, 포스포 증착에 적합하게 되도록 스크린 인쇄 후 소성된 다음 평활층으로 중첩된다. 그러나, 이전에 후막 표면의 대부분에 제조되어 사용된 평활층은 후막 유전층 내의 비정상적으로 많은 구멍들 또는 홀들을 적절하게 충전시키지 못하고, 후막 유전층 내에 일정한 수의 구멍들을 남긴다. 이 홀들의 영역밀도는 후막 유전층을 개선함으로써 비정상적으로 많은 구멍들을 보다 적은 수로 줄일 수 있지만, 이는 어려우며 시간소비가 크며, 후막층을 만들기 위해 사용되는 후막 페이스트 내의 입자들의 값비싼 연마비가 소요되고, 입자들로부터 제조되는 후막 페이스트의 고가의 동질성 및/또는 후막 유전층의 소결이전에 아주 크고 고가의 장비를 요하는 극 고압에서 후막층의 아이소스태틱 프레싱을 해야한다.The thick film dielectric layer is typically baked after screen printing to be suitable for phosphor deposition and then superimposed into a smooth layer. However, the smooth layer previously manufactured and used on most of the thick film surface does not adequately fill abnormally many holes or holes in the thick film dielectric layer, leaving a certain number of holes in the thick film dielectric layer. The area density of these holes can be reduced to fewer abnormally large holes by improving the thick film dielectric layer, but this is difficult and time consuming, and requires expensive polishing of the particles in the thick film paste used to make the thick film layer. The high homogeneity of the thick film pastes prepared from these and / or the sintering of the thick film dielectric layers requires isostatic pressing of the thick film layers at extreme high pressures requiring very large and expensive equipment.

본 발명은 이러한 문제점들을 후막 유전층을 중첩하기 위해 사용되는 평활층을 형성하는 금속 유기용액 내에 적당한 계면활성제를 혼합함으로써 극복한다. 이는 구멍들 또는 홀들의 영역밀도를 감소시키는 결과를 달성하기 위한 저가의 개선된 방법이다. 계면활성제는 실질적으로 구멍들/홀들의 대다수를 효과적으로 제거하기 위해 후막 유전층상에 MOD 용액 또는 졸겔로서 중첩되는 평활층의 침투 및 상호작용을 실질적으로 개선한다. 계면활성제는 피복되는 막과 그것이 피복되는 기판 간의 표면장력을 수정할 뿐만 아니라, 평활층의 고 유전상수를 손상하거나 평활층이 전체 후막 유전층에 부과하는 고 유전강도를 감소시킴이 없이 고온에서 소결(즉, 소성)될 때 발생하는 고온 화학작용과 조화될 수 있다.The present invention overcomes these problems by incorporating a suitable surfactant in the metal organic solution forming the smoothing layer used to overlap the thick film dielectric layer. This is an inexpensive improved method for achieving the result of reducing the area density of holes or holes. The surfactant substantially improves the penetration and interaction of the smoothing layer superimposed as a MOD solution or solgel on the thick film dielectric layer to effectively remove the majority of the holes / holes. The surfactant not only modifies the surface tension between the coated film and the substrate it is coated on, but also sinters at high temperatures (ie, without damaging the high dielectric constant of the smooth layer or reducing the high dielectric strength that the smooth layer imposes on the entire thick film dielectric layer). And high temperature chemistry that occurs when firing.

계면활성제는 또한 경화된 폴리머 층들에서도 사용될 수 있는 것으로 알려져 있다(미국특허 제5,306,756호, 제5,874,516호, 제5,891,825호, 제6,406,803호 및 제6,613,455호). 계면활성제는 또한 어떤 저 유전상수 세라믹과 함께 사용하는 것(미국특허출원 제2003/0219906호)과, 전기회로를 한정하기 위한 고해상 패턴들에서 그 증착을 용이하게 하기 위해 후막 페이스트들 내에 사용하는 것(미국특허출원 제2003/02111406)을 시도하였으나, 그들은 고 유전 후막 조성물을 위한 평활층 내에서의 사용이 시도되지 못했을 뿐만 아니라 고 유전 후막 조성물과 연관하여 사용되는 평활층 내의 결함들을 보정하기 위한 사용도 시도되지 못하였다.It is known that surfactants can also be used in cured polymer layers (US Pat. Nos. 5,306,756, 5,874,516, 5,891,825, 6,406,803 and 6,613,455). Surfactants are also used with certain low dielectric constant ceramics (US Patent Application No. 2003/0219906) and in thick film pastes to facilitate their deposition in high resolution patterns to define electrical circuits. (US Patent Application No. 2003/02111406), but they have not been used in smooth layers for high dielectric thick film compositions as well as use to correct defects in smooth layers used in conjunction with high dielectric thick film compositions. Also did not try.

본 발명의 개선된 평활층은 최종 합성후막 유전층의 표면상의 결함밀도를 크게 줄이는 MOD 프로세스를 사용하여 후막 유전층상에 졸용액을 제공하여 피복할 수 있다. 대안으로, 졸용액은 숙련자에게 공지된 졸겔 기술을 사용하여 피복될 수 있다. 졸겔 또는 MOD 층은 본 출원인의 WO 00/70917 및 PCT CA02/01932(여기서 그내용 전체를 참고로 반영한다)에 기재된 바와 같은 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT) 평활층과 같이 조화할 수 있는 압전 또는 강유전 재료인 고 유전상수 재료를 제공하도록 조제된다. 간략하게, 만일 PZT 평활층이 요망될 경우, MOD 용액은 적당한 솔벤트 중에 리드 아세테이트, 티타늄 알콕사이드 및 지르코늄 알콕사이드를 포함한다. 계면활성제는 이 혼합물에도 첨가된다. 평활층을 증착하기 위해 사용되는 MOD용액의 작용은 종래에 개시된 알루미나 기판의 경우보다 유리 기판의 경우 크게 다르다, 이러한 차이는 일부가 상이한 기판재료들에 대하여 사용되는 상이한 후막 소성온도에 기인한다. 최적의 MOD 용액 점도는 상이한 기판 재료마다 상이하다. The improved smooth layer of the present invention can be coated by providing a sol solution on the thick film dielectric layer using a MOD process that greatly reduces the defect density on the surface of the final synthetic thick film dielectric layer. Alternatively, the sol solution may be coated using sol gel techniques known to the skilled person. The solgel or MOD layer can be matched with a piezoelectric smoothing layer, such as lead zirconate titanate (PZT) smoothing layer as described in Applicant's WO 00/70917 and PCT CA02 / 01932, which is hereby incorporated by reference in its entirety. Or a high dielectric constant material that is a ferroelectric material. Briefly, if a PZT smoothing layer is desired, the MOD solution includes lead acetate, titanium alkoxides and zirconium alkoxides in suitable solvents. Surfactants are also added to this mixture. The action of the MOD solution used to deposit the smooth layer is significantly different for glass substrates than for the previously disclosed alumina substrates. This difference is due to the different thick film firing temperatures, some of which are used for different substrate materials. The optimum MOD solution viscosity is different for different substrate materials.

MOD 용액 층으로부터 형성되는 평활층은 PZT 이외의 재료를 포함할 수도 있다. 평활층 재료에 대한 필요조건은 그들이 조합된 층이 요구된 평활도, 유전강도 및 유전상수를 갖도록 후막 유전층과 화학적으로 그리고 물리적으로 조화될 수 있어야 한다는 것이다. 기타 적당한 평활층 재료를 예로 들면, 리드 란타늄 지르코네이트 티타네이트, 바람직하게는, 티타네이트, k-스트론튬 티타네이트, 바리움 탄탈레이트 및 탄탈륨 옥사이드로부터 선택될 수도 있다.The smoothing layer formed from the MOD solution layer may comprise a material other than PZT. A requirement for smooth layer materials is that they must be chemically and physically compatible with the thick film dielectric layer so that the layers combined have the required smoothness, dielectric strength and dielectric constant. Other suitable smoothing layer materials may be selected from, for example, lead lanthanum zirconate titanate, preferably titanate, k-strontium titanate, barium tantalate and tantalum oxide.

평활층에 사용하기 위한 계면활성제는 평활층 자체의 고 유전상수를 실질적으로 손상시키지 않거나 또는 전체 후막 합성후막에 평활층이 부여하는 고 유전강도를 감소시킴이 없이 평활층을 형성하도록 고온에서 조화될 수 있는 계면활성제이면 어느 것으로부터 선택될 수도 있다. 계면활성제는 여러 양상들에서 비인온성이며, 에틸렌 글리콜인 MOD 솔벤트와 완전히 혼화되기 쉬워야한다. 계면활성제는 약500℃에서 소성될 때 평활층 내의 고체 잔유물을 남기지 않도록 완전히 분해되어야 한다. 본 발명에서 사용하기 위한 적당한 비이온성 계면활성제는 서피놀™ 61, 디메틸 렉시놀, 서피놀™ 420, 에톡실레이티드 아세틸렌성 디올들, 트리톤™ X-100, p-3급 옥틸레녹시 폴리에틸 알콜 및 그의 혼합물 등이 있지만 이들로 제한되지는 않는다. 양이온성 계면활성제도 사용적합하며, 결함밀도를 어느 정도 감소시키지만 비이온성 계면활성제 정도로 바람직하지는 못하다. 적당한 양이온성은 엠포스™ PS-200, 알킬 에테르 포스페이트, 세틸트리메틸암모니움 브로마이드 및 그의 혼합물 등이 있지만 이들로 제한되지는 않는다. 본 발명의 양상들에서는 서피놀™ 61이 사용된다. 평활층을 위한 MOD 용액에 사용하기 위한 계면활성제의 양은 0.1-5중량%의 범위, 바람직하게는 1.0-2.0중량%의 범위 내이다. 계면활성제의 범위는 0.1-5중량% 간의 보조범위일 수도 있음을 본 분야의 숙련자는 이해할 것이다.Surfactants for use in the smooth layer may be blended at high temperatures to form a smooth layer without substantially damaging the high dielectric constant of the smooth layer itself or reducing the high dielectric strength imparted to the entire thick film composite thick film. Any surfactant may be selected. Surfactants are non-phosphorus in many aspects and should be easily miscible with MOD solvent, which is ethylene glycol. The surfactant should be completely decomposed to leave no solid residues in the smooth layer when calcined at about 500 ° C. Suitable nonionic surfactants for use in the present invention include: Sufinol ™ 61, Dimethyl Lexinol, Sufinol ™ 420, ethoxylated acetylenic diols, Triton ™ X-100, p-3 octylenoxy polyethyl Alcohols and mixtures thereof and the like, but are not limited to these. Cationic surfactants are also suitable for use and reduce defect density to some extent but are not as preferred as nonionic surfactants. Suitable cationic properties include, but are not limited to, empos ™ PS-200, alkyl ether phosphates, cetyltrimethylammonium bromide and mixtures thereof, and the like. In aspects of the invention Sufinol ™ 61 is used. The amount of surfactant for use in the MOD solution for the smooth layer is in the range of 0.1-5% by weight, preferably in the range of 1.0-2.0% by weight. It will be understood by those skilled in the art that the range of surfactant may be an auxiliary range between 0.1-5% by weight.

후막 유전층을 형성하기 위해 사용되는 후막 페이스트의 조성물은 차기 소결 또는 열처리 단계들 동안 분말로부터 증발되는 리드 옥사이드를 보상하도록 리드 마그네슘 니오베이트(PMN), 리드 마그네슘 니오베이트-티타네이트(PMN-PT),리드 티타네이트, 및 바리움 티타네이트 및 임의의 리드 옥사이드로부터 선택된 하나 이상의 페로브스키트 형성 전구체 분말을 포함한다. 그것은 또한 리드 옥사이드, 보론 옥사이드 및 실리콘 옥사이드를 포함하는 유리 플릿 조성물을 포함하며 약550℃ 이하의 용융 온도를 가지며, 또한 솔벤트, 소결하기 전에 증착된 막을 함께 유지하기 위한 폴리머 바인더 및 선택된 증착 방법을 사용하여 필요한 두께의 막 증착과 두께 불균일성을 허용하도록 임의의 점도 및 표면장력 변성제를 포함하는 이송자(vehicle)를 포함할 수도 있다. 증착 방법은 스크린 인쇄, 스텐실링 및 롤코팅 등일 수 있으나 이들로 제한되지는 않는다. 증착을 위한 최적의 점도는 선택된 증착 방법에 의존한다.The composition of the thick film paste used to form the thick film dielectric layer comprises lead magnesium niobate (PMN), lead magnesium niobate-titanate (PMN-PT), Lead titanate, and one or more perovskite forming precursor powders selected from barium titanate and any lead oxide. It also includes glass frit compositions comprising lead oxide, boron oxide and silicon oxide and has a melting temperature of less than about 550 ° C., and also uses solvents, polymer binders to hold the deposited film together before sintering and selected deposition methods. And a vehicle comprising any viscosity and surface tension modifier to allow film deposition and thickness non-uniformity of the required thickness. Deposition methods can be, but are not limited to, screen printing, stenciling and roll coating. The optimum viscosity for the deposition depends on the deposition method chosen.

본 발명의 비제한적인 실시예들에 의하면, 페로브스키트 형성 전구체 분말은 상이한 비율로 후막 유전 조성물 내에 포함될 수도 있다. 그 대부분의 상(phase)은 바람직하게는 PMN 또는 PMT-PT이며, 전체 후막 유전층 조성물의 약85중량%와 95중량% 사이에 존재한다. 나머지 페로브스키트 형성 전구체 분말은 다음과 같은 중량% 즉, 바리움 티타네이트 약10%까지, 리드 옥사이드 약8%까지, 그리고 리드 티타네이트 약15%까지 존재할 수도 있다. 글리콜 조성물은 리드 옥사이드, 보론 옥사이드(B2O5), 및 실리톤 옥사이드(SiO2)를 대략 하기 중량%로 즉, 리드 옥사이드 약87-94중량%, 보론 옥사이드 약6-9중량% 그리고, 실리톤 디옥사이드 약6중량%까지 예정된 동질화 또는 혼합된 분말로서 존재할 수도 있다. 리드 옥사이드, 보론 옥사이드, 및 실리콘 디옥사이드 분말은 약550℃ 이상의 고체용액을 형성한다. 유리 플릿 조성물의 총중량은 PMN 또는 PMT-PTd의 약1-8중량%일 수도 있다.In accordance with non-limiting embodiments of the invention, the perovskite forming precursor powder may be included in the thick film dielectric composition in different proportions. Most of its phase is preferably PMN or PMT-PT and is present between about 85% and 95% by weight of the total thick film dielectric layer composition. The remaining perovskite forming precursor powder may be present in the following weight percentages: up to about 10% of barium titanate, up to about 8% lead oxide, and up to about 15% lead titanate. The glycol composition comprises lead oxide, boron oxide (B 2 O 5), and silicide oxide (SiO 2) at approximately the following weight percent, i.e., about 87-94 wt% of lead oxide, about 6-9 wt% of boron oxide, and about silitone dioxide It may also be present as a predetermined homogenized or mixed powder up to 6% by weight. Lead oxide, boron oxide, and silicon dioxide powder form a solid solution of about 550 ° C. or more. The total weight of the glass frit composition may be about 1-8% by weight of PMN or PMT-PTd.

페로브스키트 형성 전구체 분말과 유리 플릿 조성물의 입자 사이즈는 바리움 티타네이트 분말의 약20-30%의 입자사이즈가 약50-100나노미터이어야 하고 여러 양상들에서 소결된후막 유전층 내에 적절하게 분산되는 것을 보장하기 위해 약50나노미터까지이어야 하는 것을 제외하고 평균 약1미크론 이하, 약0.2미크론 이상일 수도 있다.The particle size of the perovskite forming precursor powder and the glass fleet composition is such that the particle size of about 20-30% of the barium titanate powder should be about 50-100 nanometers and in many aspects is properly dispersed in the sintered thick film dielectric layer. It may be less than about 1 micron on average, or greater than about 0.2 micron, except that it must be up to about 50 nanometers to ensure.

이송자는 적당한 증착 성질을 제공하도록 조제되고, 증착된 막들이 소결되기 전에 가열될 때 구성요소들이 타버리거나 휘발 제거되는 경우, 소결된 후막 유전층의 특성에 큰 영향을 주지 못한다. 그러나, 이송자의 특성은 페이스트 내의 입자의 사이즈를 감소시키도록 페이스트의 밀링 시간일 때 무결함 층들의 증착을 달성함에 있어 중요하다. 페이스트의 점도뿐만 아니라 페이스트의 고체-액체 비는 무결함 프린팅 또는 증착을 위한 최적의 페이스트를 결정함에 있어 중요한 파라미터들이다. 최적의 점도 및 고체-액체 분율은 그들의 마이크로 조도(micro-roughness)의 차이 때문에 세라믹 기판상의 증착에 대한 경우보다 유리재료 기판상의 증착의 경우에 상이하다.The transporter is formulated to provide adequate deposition properties and does not significantly affect the properties of the sintered thick film dielectric layer if the components burn or volatilize off when they are heated before the deposited films are sintered. However, the properties of the transporter are important in achieving deposition of defect-free layers at the milling time of the paste to reduce the size of the particles in the paste. The viscosity of the paste as well as the solid-liquid ratio of the paste are important parameters in determining the optimum paste for defect printing or deposition. The optimum viscosity and solid-liquid fraction are different for deposition on glass material substrates than for deposition on ceramic substrates because of their micro-roughness differences.

본 발명의 실시예에 의하면, 본 발명의 개선된 유전구조가 후막을 형성하도록 PMN 또는 PMN-PT 기재의 페이스트를 우선 증착 후 소결한 다음, 금속 유기 증착(MOD) 프로세스를 사용하여 증착되는 계면활성제를 포함하는 평활 PZT 층을 피복함으로써 제조된다. 기판과 그의 접합 부근의 이러한 구조의 조성물은 처음에 증착된 PMN 또는 PMN-PT 층으로부터 주로 유도되며, 그의 상부 표면 부근의 조성물은 주로 PZT이다. 그 사이 지역에서 이들 두 재료는 합성 구조를 형성하도록 혼합되어 반응한다. 유전층의 유전항복강도는 층의 상세한 화학적 및 물리적 구조에 관계된다. 유전항복은 통상적으로, 막 내의 결함들 또는 비정상성에서 시작한다. 유전항복사고의 확률은 결함 존재의 수에 따라 다르므로 디스플레이의 영역에서는 그의 일부분이다. 유전층의 특성, 그 층 내의 스트레스의 분포 및 환경, 특히, 유전층을 수용하는 디스플레이가 받게 되는 습기 레벨에 의해 영향을 받을 수도 있다. 본 발명의 양상은 계면활성제가 혼합된 평활층의 사용에 의해 유전층 내의 결함밀도를 감소하는 것이다.According to an embodiment of the present invention, a surfactant is deposited by first depositing and then sintering a PMN or PMN-PT based paste so that the improved dielectric structure of the present invention forms a thick film, followed by a metal organic deposition (MOD) process. It is prepared by coating a smooth PZT layer comprising a. The composition of this structure near the junction with the substrate is mainly derived from the first deposited PMN or PMN-PT layer and the composition near its top surface is mainly PZT. In the area between them these two materials react to mix to form a synthetic structure. The dielectric yield strength of the dielectric layer is related to the detailed chemical and physical structure of the layer. Genetic yields typically start with defects or abnormalities in the membrane. Since the probability of genetic yielding depends on the number of defects present, it is part of the display. It may also be influenced by the nature of the dielectric layer, the distribution of stresses within the layer and the environment, in particular the level of moisture to which the display containing the dielectric layer is subjected. An aspect of the present invention is to reduce the density of defects in the dielectric layer by the use of a smoothing layer mixed with a surfactant.

유전층의 후막 유전층 성분을 조제함에 있어서, 고려해야할 다수의 제거될 사항들이 있다. 소결 온도가 낮지 때문에 소결 공정이 완성되기 위해 더 있기 때문에 소결된 층의 구멍들이 증가한다. 본 발명은 적절한 유전항복강도 및 고 유전상수를 제각기 성취하도록 허용가능하게 낮은 피로클로레(pyrochlore) 함량을 갖는 구멍들, 홀들, 크랙들 및 공극들과 같은 최소 결함들을 갖거나 갖지 않는 유전구조의 달성이 가능하다. 이는 합성 유전층의 후막 부분과 평활층용 계면활성제 MOD 용액의 화학적 조성물 및 물리적 특성들을 형성하기 위해 사용되는 후막 페이스트의 화학적 조성물 및 물리적 특성들의 적절한 선택에 의해 달성된다. In formulating the thick film dielectric layer components of the dielectric layer, there are a number of considerations to be removed. Because the sintering temperature is low, the holes in the sintered layer increase because there is more to complete the sintering process. The present invention is directed to a dielectric structure with or without minimum defects such as holes, holes, cracks and voids having an acceptable low pyrochlore content to achieve appropriate dielectric breakdown strengths and high dielectric constants, respectively. It is possible to achieve. This is achieved by appropriate selection of the chemical composition and physical properties of the thick film paste used to form the chemical composition and physical properties of the thick film portion of the synthetic dielectric layer and the surfactant MOD solution for the smooth layer.

본 발명을 사용하여 구성되는 전계발광 장치의 기계적 통합성은 기판의 물리적 특성, 특히, 기판의 열팽창계수에 의존한다. 열팽창 계수는 약4 x 10-6 및 10 x 10-6/℃의 범위 내이어야 하고 또한 여러 양상들에서는 약5.5 x 10-6 및 10 x 10-6/℃의 범위 내이어야 한다. 만일 기판재의 열팽창계수가 합성후막 유전층 보다 지나치게 낮을 경우, 금이 갈 수도 있다.The mechanical integrity of an electroluminescent device constructed using the present invention depends on the physical properties of the substrate, in particular the coefficient of thermal expansion of the substrate. The coefficient of thermal expansion should be in the range of about 4 × 10 −6 and 10 × 10 −6 / ° C. and in some aspects in the range of about 5.5 × 10 −6 and 10 × 10 −6 / ° C. If the coefficient of thermal expansion of the substrate material is too low than that of the composite thick film dielectric layer, it may crack.

유전구조는 전계발광 디스플레이 내에 병합되며, 그러한 디스플레이 내의 기판상에 제공되는데, 구체적으로, 리드 마그네슘 니오베이트, 리드 티타네이트, 및/또는 바리움 티타네이트를 포함할 수도 있는 유리 또는 유리/세라믹 또는 세라믹 기판상에 제공된다. 본 발명은 특히,리드 지르코늄 티타네이트를 포함하는 평활 피복층을 형성하도록 계면활성제를 갖는 MOD 용액을 사용하여 코팅되어 열처리되는 리드 마그네슘 니오베이트를 포함하는 유전구조에 적용될 수 있다.The dielectric structure is incorporated in an electroluminescent display and provided on a substrate in such a display, specifically a glass or glass / ceramic or ceramic substrate, which may include lead magnesium niobate, lead titanate, and / or barium titanate Is provided. The invention is particularly applicable to dielectric structures comprising lead magnesium niobate coated and heat treated using a MOD solution with a surfactant to form a smooth coating layer comprising lead zirconium titanate.

본 발명의 대표적인 실리콘에서는 전계발광 디스플레이용 유전구조는 고 유전상수 유전 분말을 함유하는 페이스트를 프린팅, 압축 및 소결한 다음, 그 위에 증착 프로세스에 의해 형성되는 고 유전상수 재료의 적어도 하나의 평활층으로 중첩한 후, PCT 특허출원 WO00/70917 (여기서 그 내용 전체를 참고로 반영한다)에 예시된 바와 같은 금속유기용액(MOD)을 소성함으로써 형성되는 후막 유전층을 포함한다. 여기서, MOD 용액은 적당한 솔벤트 중에 용해된 평활층을 형성하기 위해 필요한 유기금속 전구체 화합물 및 MOD 용액과 그 중첩된 MOD 층이 실질적으로 구멍이 없는 평활층을 갖는 합성 층을 형성하도록 가열 소성될 때 후막 유전층 조성물의 실질적으로 상호침투가 용이하도록 MOD 용액과 소결된 후막 유전층 간의 계면 표면장력을 감소시키기 위한 계면활성제를 포함한다. In representative silicon of the present invention, the dielectric structure for an electroluminescent display is formed by printing, compressing and sintering a paste containing a high dielectric constant dielectric powder thereon into at least one smooth layer of high dielectric constant material formed by a deposition process thereon. After superposition, a thick film dielectric layer formed by firing a metal organic solution (MOD) as exemplified in PCT patent application WO00 / 70917, which is hereby incorporated by reference in its entirety. Here, the MOD solution is a thick film when the organometallic precursor compound necessary to form the smoothing layer dissolved in a suitable solvent and the MOD solution and the superimposed MOD layer are heated and calcined to form a composite layer having a smoothing layer substantially free of pores A surfactant is included to reduce the interfacial surface tension between the MOD solution and the sintered thick film dielectric layer to facilitate substantially interpenetration of the dielectric layer composition.

본 발명 다른 실리콘에 의하면, 전계발광 디스플레이용 유전구조는 상부표면에 피트결함의 영역밀도가 평방 밀리미터당 약100 결함 이하인 평활층을 갖는 강성 기판상에 구성된다. 피트결함은 표면에서 깊이가 0.5마이크로미터를 초과하는 홀 또는 함몰부로서 정의된다.According to another silicon of the present invention, a dielectric structure for an electroluminescent display is constructed on a rigid substrate having a smooth layer having an area density of pit defects on the upper surface of about 100 defects or less per square millimeter. Pit defects are defined as holes or depressions whose surface is greater than 0.5 micrometers in depth.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 전계발광 디스플레이용 유전구조는 고 유전상수 유전 분말을 함유하는 페이스트를 프린팅, 압축 및 소결한 다음, 그 위에 증착 프로세스에 의해 형성되는 고 유전상수 재료의 적어도 하나의 평활층으로 중첩한 후, 금속유기용액(MOD)을 소성함으로써 형성되는 마그네슘 리드 니오베이트 후막 유전층을 포함한다. 여기서, MOD 용액은 리드 지르코네이트-티타네이트를 포함하는 평활층을 형성하기 위해 필요한 유기금속 전구체 화합물 및 MOD 용액과 그 중첩된 MOD 층이 가열 소성될 때 후막 유전층 재료의 실질적으로 상호침투가 용이하도록 MOD 용액과 소결된 후막 유전층 간의 계면 표면장력을 감소시키기 위한 계면활성제를 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a dielectric structure for an electroluminescent display comprises at least one of a high dielectric constant material formed by printing, compressing and sintering a paste containing a high dielectric constant dielectric powder thereon by a deposition process thereon. And a magnesium lead niobate thick film dielectric layer formed by firing a metal organic solution (MOD) after superimposing with a smooth layer. Here, the MOD solution facilitates substantially interpenetration of the thick film dielectric layer material when the organometallic precursor compound and MOD solution and its superimposed MOD layer are heated and calcined to form a smooth layer comprising lead zirconate-titanate. Surfactant to reduce the interfacial surface tension between the MOD solution and the sintered thick film dielectric layer.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 전계발광 디스플레이용 유전구조는 고 유전상수 유전 분말을 함유하는 페이스트를 프린팅, 압축 및 소결한 다음, 그 위에 증착 프로세스에 의해 형성되는 리드 지르코네이트-티타네이트의 적어도 하나의 평활층으로 중첩한 후, 금속유기용액(MOD)을 소성함으로써 형성되는 마그네슘 리드 니오베이트 후막 유전층을 포함한다. 여기서, MOD 용액은 평활층을 형성하기 위해 필요한 유기금속 전구체 화합물 및 MOD 용액과 소결된 후막 유전층 간의 계면 표면장력을 낮추기 위한 계면활성제를 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a dielectric structure for an electroluminescent display is formed of lead zirconate-titanate formed by a deposition process upon printing, compacting and sintering a paste containing a high dielectric constant dielectric powder. And a magnesium lead niobate thick film dielectric layer formed by firing a metal organic solution (MOD) after overlapping with at least one smooth layer. Here, the MOD solution includes an organometallic precursor compound necessary to form a smooth layer and a surfactant for lowering the interfacial surface tension between the MOD solution and the sintered thick film dielectric layer.

다른 실시예들에 의하면, 전계발광 디스플레이용 유전구조는 고 유전상수 유전 분말을 함유하는 페이스트를 프린팅, 압축 및 소결한 다음, 그 위에 증착 프로세스에 의해 형성되는 화학식 PbZrxTi1 - xO3(여기서, 0.5≤x≤0.55)을 갖는 리드 지르코네이트-티타네이트의 평활층으로 중첩한 후, 리드 아세테이트 트리하이드레이트, 메톡시에탄올, 지르코늄 프로폭사이드, 티타늄 프로폭사이드, 에틸렌 글리콜 및 서피놀 61™을 포함하는 계면활성제를 포함하는 MOD용액을 소성함으로써 형성되는 마그네슘 리드 니오베이트 후막 유전층을 포함한다.According to another embodiment, the electroluminescent dielectric structure for the display is a high dielectric constant paste for printing, compressing and sintering containing dielectric powder, and then, the above formula formed by the deposition process PbZr x Ti 1 - x O 3 ( Here, after superposition with a smooth layer of lead zirconate-titanate having 0.5 ≦ x ≦ 0.55), lead acetate trihydrate, methoxyethanol, zirconium propoxide, titanium propoxide, ethylene glycol and surfinol 61 And a magnesium lead niobate thick film dielectric layer formed by firing a MOD solution comprising a surfactant comprising ™.

하나 이상의 평활층은 기판상에 증착되는 후막 유전층상에 중첩될 수도 있다. 여러 양상들에서는 후막 유전층에 바로 인접한 평활층은 계면활성제를 포함한다. 추후 부가되는 평활층들은 계면활성제를 필요로 하지 않는다. 후막 유전층 조성물에 도포되는 평활층의 전체 두께는 소결 후 약1500nm(숙련자에 의해 이해되는 바와 같은 일정 범위 내)까지이다. 평활층들이 도포됨으로써 디스플레이 픽셀 사이즈의 순서로 조합된 합성 유전층의 표면을 따라 측방의 일정 거리에 0.5마이크로미터 이하의 개별 피트결함들이 존재하지 않을 시에 표면완화로서 정의되는 요망되는 표면 평활도를 달성할 수 있다. 필요한 평활도를 달성하기 위해 필요한 층들의 수와 두께는 숙련자에 의해 이해되는 바와 같이 하부 후막층의 두께, 다공성 및 표면조도에 달려 있다. 본 발명의 개선된 평활층 및 개선된 유전구조는 본 출원인의 미국특허 제5,432,015호(여기서 그 내용 전체를 참고로 반영한다)에서 예시된 것들과 같은 전계발광 디스플레이에서 사용하기 위한 것이다. One or more smoothing layers may be superimposed on a thick film dielectric layer deposited on the substrate. In some aspects the smoothing layer immediately adjacent to the thick film dielectric layer comprises a surfactant. Subsequent smoothing layers do not require a surfactant. The total thickness of the smooth layer applied to the thick film dielectric layer composition is up to about 1500 nm (within a range as understood by the skilled person) after sintering. Smooth layers are applied to achieve the desired surface smoothness, defined as surface mitigation, when there are no individual pit defects of less than 0.5 micrometers along the surface of the composite dielectric layer combined in the order of display pixel size. Can be. The number and thickness of layers needed to achieve the required smoothness depend on the thickness, porosity and surface roughness of the lower thick film layer, as will be understood by the skilled person. The improved smooth layer and improved dielectric structure of the present invention are for use in electroluminescent displays, such as those exemplified in Applicant's US Pat. No. 5,432,015, which is incorporated herein by reference in its entirety.

지금까지의 설명은 본 발명을 일반적으로 설명한 것이다. 좀더 완전한 이해를 위해 하기와 같은 특정 실시예들을 참조한다. 이 실시예들은 단지 설명을 위한 것이며, 본 발명의 범위를 제한하려는 것은 아니다. 환경에 따라 등가의 변경 및 치환이 가능함을 이해할 것이다. 비록 여기서는 특정 용어를 사용하였으나 그러한 용어는 제한을 위한 것이 아니고 설명을 위한 것이다.The foregoing description has generally described the present invention. Reference is made to the specific embodiments as follows for a more complete understanding. These examples are illustrative only and are not intended to limit the scope of the invention. It will be understood that equivalent modifications and substitutions are possible in light of the circumstances. Although specific terminology is used herein, such terminology is for the purpose of description and not of limitation.

실시예Example

실시예Example 1 One

도1 및 도2의 개략도를 참조하면, 43센티미터 대각선의 전계발광 디스플레이용 골드 로우 전극세트(2) 및 후막 유전층(3)이 일본, 오사카의 니뽄 일렉트릭 유리사로부터 입수할 수 있는 PP8C 유리 기판(1)상에 구성된다. 로우 전극세트 및 후막 유전층의 증착 방법은 여기에 개시된 방법들과 조합하여 미국특허출원 제09/326,777호에 개시된 방법들과 유사하다. 골드전극층은 후막 유전층의 증착 이전에 기판상에 증착된다. 후막 유전층은 두개의 증착 프로세스로 순차적으로 형성되며, 각 층은 후막 페이스트를 프린팅한 다음, 프린트된 층을 건조하고, 프린트된 층을 아이소스태틱 프레싱을 사용하여 고밀화하고, 마지막으로 고밀화된 층을 소결하는 것으로 구성된다. 고밀화 프로세스는 미국특허출원 제09/540,288호(여기서 그 내용 전체를 참고로 반영한다)에 교시된 바와 같은 냉 아이소스태틱 프레싱을 사용하여 수행된다. 소결은 최대온도 700℃의 벨트형 화로 내의 공기 중에서 수행된다. 벨트형 화로를 통한 전체 이송시간은 75분이었다. 후막 페이스트는 미국 뉴욕 나이아가라폭포의 페로사로부터 입수되는 PMN 600g, 리드 옥사이드 18g, 리드 티타네이트 20g 및 바리움 티타네이트 20g을 포함하며, 모두 약1마이크로미터의 통상의 입자경을 가지며, 약50나노미터의 입자경을 갖는 미국 NM, 알부커크사로부터 입수되는 바리움 티타네이트 6g을 추가한 페이스트 형성 분말화된 전구체 재료들로 조제된다. 전구체 재료들은 알파터핀올 293g의 용액, 아세톤 5g, 텍사스, 휴스턴의 위트코사로부터 입수되는 엠포스™ PS-220 4g 및 미국 뉴욕 나이아가라 폭포, 하이드 파크 불루버드 4511의 페로 일렉트릭 머티어리얼사로부터 입수되는 CF 7589 유리 플릿 15g이 플릿 입자 사이즈가 약1마이크로미터까지 감소될 때까지 약2시간 동안 첨가하여 혼합된 di-n-부틸 프탈레이트 4g으로 구성되는 슬러리 내에서 혼합되었다. 전구체 재료들의 첨가시, 최종 슬러리는 추가 2시간 동안 더 혼합한 다음 큰 입자들을 여과하도록 10 마이크로미터 필터를 통과시켰다. 혼합은 오염을 최소화하기 위해 지르코니아 3mm 볼밀을 사용하여 수행하였다. 여과된 슬러리에 알파-터핀올(α-terpineol) 중에 1-3% 에틸 셀루로즈로 구성되는 이송자를 첨가하여 점도를 30과 5000 센티포이즈 사이의 점도로 조정하였다. 혼합된 슬러리 중에 마이크로트랙 입자 사이즈 분석기에 의해 측정한 입자의 평균 사이즈(D50)는 0.63 마이크로미터이었다.Referring to the schematic diagrams of Figs. 1 and 2, a PP8C glass substrate in which a gold low electrode set 2 and a thick film dielectric layer 3 for an electroluminescent display of 43 cm diagonal are available from Nippon Electric Glass Co., Osaka, Japan ( It is composed in 1) phase. The deposition method of the row electrode set and the thick film dielectric layer is similar to those disclosed in US Patent Application Serial No. 09 / 326,777 in combination with the methods disclosed herein. The gold electrode layer is deposited on the substrate prior to the deposition of the thick film dielectric layer. The thick film dielectric layer is formed sequentially in two deposition processes, each layer printing the thick film paste, then drying the printed layer, densifying the printed layer using isostatic pressing, and finally sintering the densified layer. It consists of doing. The densification process is performed using cold isostatic pressing as taught in US patent application Ser. No. 09 / 540,288, which is incorporated herein by reference in its entirety. Sintering is carried out in air in a belt furnace at a maximum temperature of 700 ° C. The total transfer time through the belt furnace was 75 minutes. Thick film pastes include 600 g of PMN, 18 g of lead oxide, 20 g of lead titanate and 20 g of barium titanate from Ferrosa, Niagara Falls, New York, USA, all having a typical particle diameter of about 1 micrometer and having a diameter of about 50 nanometers. Paste-formed powdered precursor materials were added with the addition of 6 g of barium titanate, available from Albuquerque, NM, USA, having a particle size. Precursor materials were obtained from 293 g of a solution of alpha terpinol, 5 g of acetone, 4 g of Empos ™ PS-220 from Witco Inc. of Houston, Texas and Ferro Electric Materials of Hyde Park Boulevard 4511, Niagara Falls, NY, USA 15 g of CF 7589 glass flits were mixed in a slurry consisting of 4 g of mixed di-n-butyl phthalate added for about 2 hours until the fleet particle size was reduced to about 1 micrometer. Upon addition of the precursor materials, the final slurry was further mixed for an additional 2 hours and then passed through a 10 micron filter to filter the large particles. Mixing was performed using a zirconia 3 mm ball mill to minimize contamination. The viscosity was adjusted to a viscosity between 30 and 5000 centipoise by addition of a carrier consisting of 1-3% ethyl cellulose in alpha-terpineol to the filtered slurry. The average size (D50) of the particles measured by the microtrack particle size analyzer in the mixed slurry was 0.63 micrometers.

후막 층의 증착에 후속하여 도2에 도시된 바와 같은 평활층(4)을 하기와 같이 제조된 MOD 용액을 사용하여 증착하였다. 리드 아세테이트 트리하이드레이트 562g에 메톡시에탄올 850g을 첨가하고 그 혼합물을 열판상에서 교반하여 리드 아세테이트를 용해하였다. 그 용액을 증류하여 200 밀리리터의 액체를 제거하고 90℃까지 냉각하였다. 그 다음, 322g의 지르코늄 프로폭사이드를 첨가하여 용해를 돕도록 교반하고, 167g의 티타늄 프로폭사이드를 첨가하였다. 최종 용액을 증류시켜 540밀리리터의 액체를 그 용액으로부터 제거하였다. 이에 후속하여 256g의 안하이드라이드 에틸렌 글리콜과 23g의 서피놀™ 61 계면활성제를 훤넬을 통해 용액에 첨가하였다. 그 후 그 용액을 주위 온도까지 냉각시킨 다음 여과시켰다. 그 용액의 점도를 낙하볼 점도계를 사용하여 측정한 결과 25세티포이즈이었으며, 그 용액의 광흡수율은 울트로스펙 1000 UV/가시능 스펙트로포토미터를 사용되는 400나노미터에서 0.05-0.2%의 범위 내인 것으로 측정되었으며, 수분 함량은 칼 휘셔 분석을 사용하여 0.5-1.2% 인 것으로 측정되었다. MOD 용액을 350rpm의 스핀속도를 사용하여 앞에서 설명된 후막 유전층상으로 방사될 때까지 아르곤 중에 저장하였다. 그 다음, 코팅된 기판을 75분 동안 700℃의 최대 온도의 공기 하의 벨트형 화로 내에서 소성하였다. 소성 후 제2 MOD 용액을 제1층에 사용된 것과 유사하게 그러나 계면활성제를 첨가하지 않고 MOD 용액을 사용하여 제조하였다. 이 용액의 점도는 9cps로 조정한 다음 제1 MOD 층상에 스핀 코팅하여 완성된 유전구조를 형성하였다. 두 MOD 유도 층들의 조합된 두께는 약1500나노미터이었다.Subsequent to the deposition of the thick film layer, a smooth layer 4 as shown in FIG. 2 was deposited using a MOD solution prepared as follows. 850 g of methoxyethanol was added to 562 g of lead acetate trihydrate, and the mixture was stirred on a hot plate to dissolve lead acetate. The solution was distilled off to remove 200 milliliters of liquid and cooled to 90 ° C. 322 g zirconium propoxide was then added to aid dissolution and 167 g titanium propoxide was added. The final solution was distilled off to remove 540 milliliters of liquid from the solution. Subsequently 256 g of anhydride ethylene glycol and 23 g of Sufinol ™ 61 surfactant were added to the solution via channel. The solution was then cooled to ambient temperature and then filtered. The viscosity of the solution was measured using a drop ball viscometer and found to be 25 cetipoise. The light absorption of the solution was in the range of 0.05-0.2% at 400 nanometers using Ultrospec 1000 UV / visible spectrophotometer. Moisture content was determined to be 0.5-1.2% using Karl Fischer analysis. The MOD solution was stored in argon until spun onto the thick film dielectric layer described previously using a spin rate of 350 rpm. The coated substrate was then calcined in a belt furnace under air at a maximum temperature of 700 ° C. for 75 minutes. After firing a second MOD solution was prepared using a MOD solution similar to that used for the first layer but without the addition of surfactant. The viscosity of this solution was adjusted to 9 cps and then spin coated onto the first MOD layer to form the finished dielectric structure. The combined thickness of the two MOD inducing layers was about 1500 nanometers.

완성된 조성물 유전층의 표면을 현미경으로 시험하였다. 표면의 현미경사진은 도3에 나타낸다. 그 표면 내에 단지 소량의 피트 또는 함몰부들의 형태의 결함만이 현미경사진에 의해 관찰되었다. 피트결함의 영역밀도는 평방밀리미터당 약50 결함이었다. 주사전자현미경을 사용되는 표면의 동일 영역의 아주 작은 부분의 분석에 의해 밝혀진 것은 이 결함들 중 약10%만이 MOD 유도 평활층을 통하여 하부 후막 층으로 침투하는 피트들이고, 나머지 90%는 0.5마이크로미터 이하의 통상 깊이를 갖는 평활층 내에 함몰부들이라는 것이다.The surface of the finished composition dielectric layer was tested under a microscope. Photomicrographs of the surface are shown in FIG. Only defects in the form of small amounts of pits or depressions in the surface were observed by micrographs. The area density of the pit defect was about 50 defects per square millimeter. Analysis of a very small portion of the same area of the surface using a scanning electron microscope reveals that only about 10% of these defects are pits penetrating through the MOD-induced smooth layer into the lower thick film layer, with the remaining 90% being 0.5 micrometers. Recesses in a smooth layer having the following normal depth.

실시예Example 2 2

실시예 1에서 설명된 것과 마찬가지로 기판상에 유전구조를 구성하였다. 단, 실시예1에서 설명된 제1 MOD 층을 위한 MOD 용액 대신에, 계면활성제를 첨가하지 않고 15-40센티포이즈의 점도를 갖는 MOD 용액을 사용하였다.A dielectric structure was constructed on the substrate as described in Example 1. However, instead of the MOD solution for the first MOD layer described in Example 1, a MOD solution having a viscosity of 15-40 centipoise was added without adding a surfactant.

완성된 조성물 유전층의 표면을 현미경으로 심사하였다. 표면의 현미경사진은 도4에 나타낸다. 피트결함의 영역밀도는 평방센티미터당 약3500 결함이었다. 도3에 나타낸 표면과 비교하여 MOD 층의 표면은 대량의 결함(피트들 및 함몰부들)이 있는 것으로 현미경사진에서 밝혀졌고, 표면 결함의 수를 현격히 감소시킴에 있어서 실시예1에서 설명된 MOD 용액을 함유하는 계면활성제의 이용성을 나타내었다. 도5는 본 발명의 방법에 의해 제조된 동일 영역으로 동일한 후막 유전층의 여러 단면들에 대한 결함들의 수에 비교되는, 평활층을 사용하기 위해 사용되는 MOD 용액 내에 계면활성제를 사용하지 않는 종래기술의 방법에 의해 제조된 후막 유전층의 여러 0.15평방밀리미터의 단면들에 대한 결함들의 수의 히스토그램을 나타낸다. 단면들은 실시예1 및 2의 43센티미터 대각선 기판들상에 증착되는 후막의 조화될 수 있는 영역으로부터 선택되었다. MOD 용액에 계면활성제를 첨가하고 또한 첨가하지 않고 제조되는 판낼들에 대하여 선택디는 영역들의 근사 위치는 도6에 나타낸다. 도6에서 번호된 위치들은 도5의 수평측상에 색인되는 위치들에 해당한다. 그 데이터로부터 알 수 있는 바와 같이, 결함밀도는 본 발명의 방법을 사용할 때 약5의 인수까지 감소되었다. The surface of the finished composition dielectric layer was examined under a microscope. The photomicrograph of the surface is shown in FIG. The area density of the pit defects was about 3500 defects per square centimeter. The surface of the MOD layer was found in the micrographs with a large amount of defects (pits and depressions) as compared to the surface shown in FIG. 3, and the MOD solution described in Example 1 significantly reduced the number of surface defects. The usability of the surfactant containing these was shown. FIG. 5 shows the prior art without the use of a surfactant in the MOD solution used to use the smoothing layer, compared to the number of defects for several cross sections of the same thick film dielectric layer in the same region produced by the method of the present invention. The histogram of the number of defects for various 0.15 square millimeter cross sections of the thick film dielectric layer produced by the method is shown. The cross sections were selected from the harmonious region of the thick film deposited on the 43 centimeter diagonal substrates of Examples 1 and 2. The approximate location of the regions selected for the panels prepared with and without the addition of surfactant to the MOD solution is shown in FIG. The positions numbered in FIG. 6 correspond to the positions indexed on the horizontal side of FIG. As can be seen from the data, the defect density was reduced by about 5 factors when using the method of the present invention.

또한 본 발명은 기판상의 상이한 위치들에서의 결함 밀도의 가변성은 실질적으로 감소되었고, 종래기술의 방법으로 성취될 수 있는 것에 비해 표면 품질이 균일한 것으로 밝혀졌다.It has also been found that the variability in defect density at different locations on the substrate has been substantially reduced and the surface quality is uniform compared to what can be achieved by the prior art methods.

지금까지 본 발명의 양호한 실시예들을 상세히 설명하였으나, 첨부된 청구범위와 본 발명의 정신에서 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 수정 변경이 가능함을 숙련자는 이해할 것이다. While the preferred embodiments of the present invention have been described in detail so far, those skilled in the art will appreciate that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the appended claims and the spirit of the invention.

Claims (41)

후막 유전층으로 사용하기 위한 평활층에 있어서, In the smooth layer for use as a thick film dielectric layer, 상기 평활층은 평방 밀리미터당 약100이하 결함의 피트결함의 영역밀도를 갖는 고 유전상수 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said smooth layer comprises a high dielectric constant material having a region density of pit defects of less than about 100 defects per square millimeter. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 고 유전상수 재료는 압전 또는 강유전 재료인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said high dielectric constant material is a piezoelectric or ferroelectric material. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 압전 또는 강유전 재료는 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT)인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. The piezoelectric or ferroelectric material is lead zirconate titanate (PZT). Sintered dielectric structure for an electroluminescent display. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 평활층은 상기 후막 유전층상에 실질적으로 소결된 유기금속 전구체 화합물의 졸겔 또는 금속 유기용액에 계면활성제를 첨가함으로써 제조되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said smooth layer is prepared by adding a surfactant to a sol gel or metal organic solution of an organometallic precursor compound substantially sintered on said thick film dielectric layer. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 계면활성제는 금속 유기용액에 첨가되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. The surfactant is added to the metal organic solution, sintered dielectric structure for an electroluminescent display. 제5항에 있어서, The method of claim 5, 상기 계면활성제는 상기 금속 유기용액의 약0.1-약5중량%로서 제공되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said surfactant is provided as about 0.1 to about 5 weight percent of said metal organic solution. 제6항에 있어서, The method of claim 6, 상기 계면활성제는 상기 금속 유기용액의 약1.0-약2중량%로서 제공되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said surfactant is provided as about 1.0 to about 2 weight percent of said metal organic solution. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 압전 또는 강유전 재료 평활층은 리드 란타늄 지르코네이트 티타네이트, 바리움 티타네이트, 바리움 스트론튬 티타네이트, 바리움 탄탈레이트 및 탄탈륨 옥사이드중에서 한가지 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said piezoelectric or ferroelectric material smoothing layer comprises at least one of lead lanthanum zirconate titanate, barium titanate, barium strontium titanate, barium tantalate and tantalum oxide. 제4항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 4 to 7, 상기 계면활성제는 비이온성 계면활성제 및 양이온 계면활성제로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said surfactant is selected from the group consisting of nonionic surfactants and cationic surfactants. 제9항에 있어서, The method of claim 9, 상기 비이온성 계면활성제는 서피놀(Surfynol)™ 61, 디메틸 헥시놀, 서피놀™ 420, 에톡시레이티드 아세틸레닉 디올스, 트리톤(Triton)™ X-100, p-3급 옥티페녹시 폴리에틸 알콜 및 그의 혼합물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. The nonionic surfactants include Surfynol ™ 61, dimethyl hexynol, Surfinol ™ 420, ethoxylated acetylenic diols, Triton ™ X-100, and p-tertiary octaphenoxy polyethyl. Sintered dielectric structure for an electroluminescent display, characterized in that it is selected from the group consisting of alcohols and mixtures thereof. 제10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 비이온성 계면활성제는 서피놀™ 61인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said nonionic surfactant is Surfinol ™ 61. Sintered dielectric structure for electroluminescent display. 제9항에 있어서, The method of claim 9, 상기 양이온 계면활성제는 엠포스(Emphos)™ PS-200, 알킬 에테르 포스페이트, 세틸트리메틸 암모니움 브로마이드 및 그의 혼합물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. The cationic surfactant is selected from the group consisting of Emphos ™ PS-200, alkyl ether phosphate, cetyltrimethyl ammonium bromide and mixtures thereof. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 평활층은 약850℃까지의 온도에서 소결되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said smooth layer is sintered at temperatures up to about 850 [deg.] C. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 평활층은 상기 후막 유전층상에 약1500nm까지의 총두께를 갖는 2이상의 층들로서 제공되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 유전구조. And said smoothing layer is provided on said thick film dielectric layer as two or more layers having a total thickness of up to about 1500 nm. 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조에 있어서,Sintered Synthetic Thick Film Dielectric Structure for Electroluminescent Display, 후막 유전층 및Thick film dielectric layer and 상기 후막 유전층상의 평활층을 포함하며,A smooth layer on the thick film dielectric layer, 상기 평활층은 평방밀리미터당 약100 결함 이하의 피트결함의 영역밀도를 갖는 고 유전상수 재료를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.And said smooth layer comprises a high dielectric constant material having a region density of pit defects of less than about 100 defects per square millimeter. 제15항에 있어서, The method of claim 15, 상기 고 유전상수 재료는 압전 또는 강유전 재료인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.The high dielectric constant material is a sintered composite thick film dielectric structure for electroluminescent display, characterized in that the piezoelectric or ferroelectric material. 제16항에 있어서, The method of claim 16, 상기 압전 또는 강유전 재료는 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT)인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.Sintered composite thick film dielectric structure for an electroluminescent display, wherein the piezoelectric or ferroelectric material is lead zirconate titanate (PZT). 제15항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 15 to 17, 상기 평활층은 리드 란타늄 지르코네이트 티타네이트, 바리움 티타네이트, 바리움 스트론티움 티타네이트, 바리움 탄탈레이트 및 탄탈륨 옥사이드로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. The smooth layer is sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display, characterized in that it is selected from the group consisting of lead lanthanum zirconate titanate, barium titanate, barium strontium titanate, barium tantalate and tantalum oxide. . 제15항에 있어서, The method of claim 15, 상기 평활층은 상기 후막 유전층상에 실질적으로 소결된 유기금속 전구체 화합물의 졸겔 또는 금속 유기용액에 계면활성제를 첨가함으로써 제조되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. And the smoothing layer is prepared by adding a surfactant to a sol gel or metal organic solution of an organometallic precursor compound substantially sintered on the thick film dielectric layer. 제19항에 있어서, The method of claim 19, 상기 계면활성제는 상기 금속 유기용액 약0.1-약5중량%로서 제공되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. The surfactant is provided as about 0.1- about 5% by weight of the metal organic solution. Sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display. 제20항에 있어서, The method of claim 20, 상기 계면활성제는 상기 금속 유기용액 약1.0-약2중량%로서 제공되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. And said surfactant is provided as about 1.0 to about 2 weight percent of said metal organic solution. 제19항 내지 제21항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 19 to 21, 상기 계면활성제는 비이온성 계면활성제 및 양이온성 계면활성제로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. The surfactant is selected from the group consisting of nonionic surfactants and cationic surfactants. Sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display. 제22항에 있어서, The method of claim 22, 상기 비이온성 계면활성제는 서피놀™ 61, 디메틸 헥시놀, 서피놀™ 420, 에톡시레이티드 아세틸레닉 디올스, 트리톤™ X-100, p-3급 옥티페녹시 폴리에틸 알콜 및 그의 혼합물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.The nonionic surfactant consists of Surfinol ™ 61, dimethyl hexynol, Sufinol ™ 420, ethoxylated acetylenic diols, Triton ™ X-100, p-tertiary octyphenoxy polyethyl alcohol and mixtures thereof. Sintered composite thick film dielectric structure for an electroluminescent display, characterized in that it is selected from the group consisting of: 제22항에 있어서, The method of claim 22, 상기 비이온성 계면활성제는 서피놀™ 61인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. Wherein said nonionic surfactant is SUFINOL ™ 61. Sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display. 제22항에 있어서, The method of claim 22, 상기 양이온 계면활성제는 엠포스™ PS-200, 알킬 에테르 포스페이트, 세틸트리메틸암모니움 브로마이드 및 그의 혼합물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. Wherein said cationic surfactant is selected from the group consisting of empos ™ PS-200, alkyl ether phosphates, cetyltrimethylammonium bromide and mixtures thereof. 제15항 내지 제25항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 15 to 25, 상기 평활층은 상기 후막 유전층상에 약1500nm까지의 총두께를 갖는 2이상의 층들로서 제공되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. And said smoothing layer is provided on said thick film dielectric layer as two or more layers having a total thickness of up to about 1500 nm. 제26항에 있어서,The method of claim 26, 상기 후막 유전층에 바로 인접하지 않은 상기 평활층은 계면활성제가 첨가되지 않은 유기금속 전구체 화합물의 졸겔 또는 금속 유기용액에 제조되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조. And said smooth layer not immediately adjacent said thick film dielectric layer is prepared in a sol-gel or metal organic solution of an organometallic precursor compound to which no surfactant is added, sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display. 제15항 내지 제27항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 15 to 27, 상기 후막 유전층은 하기 성분들:The thick film dielectric layer comprises the following components: (a) 리드 마그네슘 니오베이트(PMN), 리드 마그네슘 니오베이트 티타네이트(PMN-PT), 리드 티타네이트 및 리드 옥사이드중에서 한가지 이상;(a) one or more of lead magnesium niobate (PMN), lead magnesium niobate titanate (PMN-PT), lead titanate and lead oxide; (b) 리드 옥사이드, 보론 옥사이드, 보론 옥사이드 및 실리콘 옥사이드를 포함하는 유리 플릿 조성물;(b) glass frit compositions comprising lead oxide, boron oxide, boron oxide and silicon oxide; (c) 솔벤트; 및(c) solvent; And (d) 폴리머 바인더(d) polymer binder 를 포함하는 페이스트로부터 소결된 합성체로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.Sintered composite thick film dielectric structure for an electroluminescent display, characterized in that formed from a sintered composite from a paste comprising a. 제28항에 있어서, The method of claim 28, 상기 소결온도는 약850℃까지인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.The sintering temperature is up to about 850 ℃ sintered composite thick film dielectric structure for an electroluminescent display. 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조에 있어서,Sintered Synthetic Thick Film Dielectric Structure for Electroluminescent Display, (a) 리드 마그네슘 니오베이트(PMN), 리드 마그네슘 니오베이트 티타네이트(PMN-PT), 리드 티타네이트, 바리움 티타네이트 및 리드 옥사이드중에서 한가지 이상; 및 리드 옥사이드, 보론 옥사이드, 보론 옥사이드 및 실리콘 옥사이드를 포함하는 유리 플릿 조성물;을 포함하는 후막 유전층 조성물의 하부층; 및(a) one or more of lead magnesium niobate (PMN), lead magnesium niobate titanate (PMN-PT), lead titanate, barium titanate and lead oxide; And a glass frit composition comprising lead oxide, boron oxide, boron oxide, and silicon oxide; an underlayer of a thick film dielectric layer composition comprising; And (b) 적어도 하나의 리드 지르코네이트 티타네이트(PZT)층을 포함하는 상부 평활층을 포함하며,(b) a top smooth layer comprising at least one lead zirconate titanate (PZT) layer, 상기 (a)에 바로 인접한 상기 적어도 하나의 층은 평방 밀러미터당 약100 결함 이하의 피트결함의 영역밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.And said at least one layer immediately adjacent said (a) has an area density of pit defects of less than about 100 defects per square millimeter. 제30항에 있어서, The method of claim 30, 상기 평활층은 유기금속 전구체 화합물의 졸겔 또는 금속 유기용액에 계면활성제를 첨가함으로써 형성되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.The smooth layer is formed by adding a surfactant to the sol gel or metal organic solution of the organometallic precursor compound sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display. 제31항에 있어서, The method of claim 31, wherein 상기 계면활성제는 비이온성 계면활성제 및 양이온성 계면활성제로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.The surfactant is selected from the group consisting of nonionic surfactants and cationic surfactants. Sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display. 제32항에 있어서, 33. The method of claim 32, 상기 비이온성 계면활성제는 서피놀™ 61, 디메틸 헥시놀, 서피놀™ 420, 에톡시레이티드 아세틸레닉 디올스, 트리톤™ X-100, p-3급 옥티페녹시 폴리에틸 알콜 및 그의 혼합물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.The nonionic surfactant consists of Surfinol ™ 61, dimethyl hexynol, Sufinol ™ 420, ethoxylated acetylenic diols, Triton ™ X-100, p-tertiary octyphenoxy polyethyl alcohol and mixtures thereof. Sintered composite thick film dielectric structure for an electroluminescent display, characterized in that it is selected from the group consisting of: 제33항에 있어서,The method of claim 33, wherein 상기 비이온성 계면활성제는 서피놀™ 61인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.Wherein said nonionic surfactant is SUFINOL ™ 61. Sintered synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display. 제32항에 있어서, 33. The method of claim 32, 상기 양이온 계면활성제는 엠포스™ PS-200, 알킬 에테르 포스페이트, 세틸트리메틸암모니움 브로마이드 및 그의 혼합물로 구성되는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 소결된 합성후막 유전구조.Wherein said cationic surfactant is selected from the group consisting of empos ™ PS-200, alkyl ether phosphates, cetyltrimethylammonium bromide and mixtures thereof. 전계발광 디스플레이용 합성 후막 유전구조 제조방법에 있어서,A method for producing a synthetic thick film dielectric structure for an electroluminescent display, 고 유전상수 재료의 평활층을 형성하도록 계면활성제를 포함하는 금속 유기용액으로 후막 유전층을 중첩하는 단계와;Superimposing the thick film dielectric layer with a metal organic solution comprising a surfactant to form a smooth layer of high dielectric constant material; 약850℃까지의 온도에서 소결하는 단계Sintering at a temperature of up to about 850 ℃ 를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 합성 후막 유전구조 제조방법. Synthetic thick film dielectric structure manufacturing method for an electroluminescent display comprising a. 제36항에 있어서, The method of claim 36, 상기 금속 유기용액은 적당한 솔벤트 중에 리드 아세테이트, 티타늄 알콕사이드 및 지르코늄 알콕사이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 합성 후막 유전구조 제조방법. And said metal organic solution comprises lead acetate, titanium alkoxide and zirconium alkoxide in a suitable solvent. 제36항 또는 제37항에 있어서, The method of claim 36 or 37, 상기 고 유전상수 재료는 리드 지르코네이트-티타네이트(PZT)인 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 합성 후막 유전구조 제조방법. Wherein said high dielectric constant material is lead zirconate-titanate (PZT). 제36항, 제37항 또는 제38항 중 어느 한 항에 있어서, The method according to any one of claims 36, 37 or 38, 상기 평활층은 평방 밀리미터당 약100 결함 이하의 피트결함의 영역밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이용 합성 후막 유전구조 제조방법.Wherein said smooth layer has an area density of pit defects of less than about 100 defects per square millimeter. 전계발광 디스플레이에 있어서, In electroluminescent displays, 기판과;A substrate; 상기 기판상에 제15항 내지 제35항 중 어느 한 항에서 청구된 바와 같은 합성후막 유전구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이. 36. An electroluminescent display comprising on said substrate a synthetic thick film dielectric structure as claimed in any of claims 15-35. 제40항에 있어서, The method of claim 40, 상기 합성후막 유전구조는 평방 밀리미터당 약100 결함 이하의 피트결함의 영역밀도를 갖는 평활층을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계발광 디스플레이. Wherein said composite thick film dielectric structure comprises a smooth layer having an area density of pit defects of about 100 defects or less per square millimeter.
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