KR20070010866A - Display apparatus which scans both forward path and backward path - Google Patents

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KR20070010866A
KR20070010866A KR1020050065836A KR20050065836A KR20070010866A KR 20070010866 A KR20070010866 A KR 20070010866A KR 1020050065836 A KR1020050065836 A KR 1020050065836A KR 20050065836 A KR20050065836 A KR 20050065836A KR 20070010866 A KR20070010866 A KR 20070010866A
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Abstract

A forward/reverse scanning-type display device is provided to increase brightness while using the same light source by increasing light efficiency per hour and to utilize a low-power light source at the same brightness. A forward/reverse scanning-type display device using diffractive light modulators(110R,110G,110B) includes plural diffractive light modulators generating the diffracted light having plural diffraction orders by modulating the incident light according to an external control signal; lighting optical units(108R,108G,108B) irradiating the correspondent light selected from plural lights emitted from plural light sources, to respective diffractive light modulators; a schlieren optical unit(114) selecting the diffracted light of a desirable diffraction order from the diffracted light having plural diffraction orders generated from the plural diffractive light modulators and passing the selected diffracted light; and a scanning optical unit(116) scanning the diffracted light having passed through the schlieren optical unit in forward and reverse directions along a line.

Description

정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치{Display apparatus which scans both forward path and backward path}Display apparatus which scans forward and backward mode {Display apparatus which scans both forward path and backward path}

도 1은 종래 기술에 따른 Bloom(블룸)사의 격자 광밸브(GLV; grating light valve)에 대한 사시도.1 is a perspective view of a grating light valve (GLV) of Bloom (Bloom) according to the prior art.

도 2a 및 도 2b는 SLM(실리콘 라이트 머신)사의 격자 광밸브에 대한 구성도.2A and 2B are configuration diagrams of a lattice light valve of SLM (Silicon Light Machine).

도 3a는 삼성전기가 개발한 압전 재료를 이용한 함몰형 회절형 광변조기의 단면도이고, 도 3b는 삼성전기가 개발한 오픈홀 기반의 회절형 광변조기의 단면도.3A is a cross-sectional view of a recessed diffraction type optical modulator using piezoelectric materials developed by Samsung Electro-Mechanics, and FIG. 3B is a cross-sectional view of an open hole-based diffraction type optical modulator developed by Samsung Electro-Mechanics.

도 4는 MEMS 소자를 적용한 광변조 소자로서의 GLV 디바이스, 또는 삼성전기의 압전 회절형 광변조기를 이용한 종래 3판넬 광학장치의 구성도.4 is a configuration diagram of a conventional three-panel optical device using a GLV device as a light modulation device to which a MEMS device is applied, or a piezoelectric diffraction type optical modulator of Samsung Electro-Mechanics.

도 5a은 통상적인 HDTV 등의 응용에 있어서 입력되는 이미지 데이터가 횡방향으로 정렬된 구조도이고, 도 5b는 회절형 광변조기에 의해 생성된 1080개의 회절광 스폿들이 종방향으로 배열되어 있는 구조도, 도 5c는 시간 대 거리의 스캐너 궤적도. 5A is a structural diagram in which image data input in a typical HDTV or the like is horizontally aligned, and FIG. 5B is a structural diagram in which 1080 diffracted light spots generated by a diffractive optical modulator are arranged in a longitudinal direction. 5C is a scanner trajectory diagram of time versus distance.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치의 구성도.6 is a block diagram of a display device of the forward and reverse scanning method according to an embodiment of the present invention.

도 7은 도 6의 투영 및 스캐닝 광학부의 상세 구성도.FIG. 7 is a detailed configuration diagram of the projection and scanning optics of FIG. 6. FIG.

도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 시간대 거리의 스캐너의 궤적도.8 is a trajectory diagram of a scanner of time zone distances according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

102 : 디스플레이 광학계 104 : 디스플레이 전자계102 display optical system 104 display electronic system

106R, 106G, 106B : 레이저 광원 108R, 108G, 108B : 조명 광학부106R, 106G, 106B: Laser light source 108R, 108G, 108B: Illumination optics

110R, 110G, 110B : 회절형 광변조기 112 : 집광부110R, 110G, 110B: Diffraction type optical modulator 112: Condenser

114 : 슐리렌 광학부 116 : 투영 및 스캐닝 광학부114: Schlieren optics 116: projection and scanning optics

118 : 스크린 118: screen

본 발명은 회절형 광변조기를 이용한 디스플레이 장치에 관한 것으로서, 특히 회절형 광변조기에서 변조된 회절광을 스크린에 정방향으로 스캐닝할 때만 아니라 역방향으로 스캐닝할 때에서도 스크린에 이미지가 디스플레이 되도록 하는 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a display device using a diffractive optical modulator. In particular, the present invention relates to a forward and reverse scanning in which a diffracted light modulated by the diffractive optical modulator is displayed on the screen not only when the screen is scanned in the forward direction but also in the reverse direction. It relates to a display device of the type.

미세기술의 진전에 따라서, 소위 마이크로 머신(MEMS: Micro Electro Mechanical Systems, 초소형 전기적·기계적 복합체)소자 및 MEMS소자를 조립한 소형기기가 주목되고 있다.In accordance with the progress of microtechnology, attention has been paid to small devices incorporating so-called Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) devices and MEMS devices.

MEMS소자는 실리콘기판, 글래스기판 등의 기판상에 미세구조체로서 형성되고, 기계적 구동력을 출력하는 구동체와, 구동체를 제어하는 반도체 집적회로 등을 전기적으로, 또한 기계적으로 결합시킨 소자이다. MEMS소자의 기본적인 특징은 기계적 구조로서 구성되어 있는 구동체가 소자의 일부에 조립되어 있는 것이며, 구동체의 구동은 전극간의 쿨롱의 힘 등을 응용하여 전기적으로 행해진다.A MEMS device is a device formed as a microstructure on a substrate such as a silicon substrate or a glass substrate, and electrically and mechanically coupled to a driver for outputting a mechanical driving force, a semiconductor integrated circuit for controlling the driver, and the like. A basic feature of the MEMS device is that a drive body constructed as a mechanical structure is assembled to a part of the device, and the drive of the drive body is performed electrically by applying the coulomb force between the electrodes.

최근에는, 이러한 MEMS 소자를 사용하는 광변조기가 개발되었다. 도 1에 나타내는 광학MEMS소자(1)는 기판(2)과, 기판(2)상에 형성한 기판측전극(3)과, 기판측전극(3)에 대향하여 평행으로 배치한 구동측 전극(4)을 갖는 빔들보(6)과, 이 빔(6)의 일단을 지지하는 지지부(7)를 갖추어 이룬다. 빔(6)과 기판측 전극(3)과는 그 사이의 공극(8)에 의해 전기적으로 절연되어 있다.Recently, optical modulators using such MEMS devices have been developed. The optical MEMS element 1 shown in FIG. 1 includes a substrate 2, a substrate side electrode 3 formed on the substrate 2, and a driving side electrode arranged in parallel to the substrate side electrode 3 ( A beam beam 6 having 4) and a support 7 supporting one end of the beam 6 are formed. The beam 6 and the board | substrate side electrode 3 are electrically insulated by the space | gap 8 between them.

이 광학 MEMS 소자(1)에서는 기판측 전극(3)과 구동측 전극(4)에 주어지는 전위에 따라서, 빔(6)이 기판측 전극(3)과의 사이의 정전인력 또는 정전반발에 의해 변위하고, 예를 들면 도 1의 실선과 파선으로 나타내는 것같이, 기판측 전극(3)에 대하여 평행상태와 경사상태로 변위한다.In the optical MEMS element 1, the beam 6 is displaced by electrostatic attraction or electrostatic repulsion between the substrate-side electrode 3 and the substrate-side electrode 3 depending on the potential applied to the substrate-side electrode 3 and the driving-side electrode 4. For example, as shown by the solid line and the broken line of FIG. 1, it displaces in parallel and inclined state with respect to the board | substrate side electrode 3, for example.

도 2a 및 도 2b는 SLM(실리콘 라이트 머신)사(社)가 레이저 디스플레이용 광강도변환소자, 즉, 광변조기로서 개발한 GLV(Grating Light Valve) 디바이스의 구성을 나타낸다.2A and 2B show the configuration of a GLV (Grating Light Valve) device developed by SLM (Silicon Light Machine) as a light intensity conversion element for a laser display, that is, an optical modulator.

GLV디바이스(21)는 도 2a에 나타내는 것같이, 글래스 기판등의 절연기판(22)상에 공통의 기판측 전극(23)이 형성되고, 이 기판측 전극(23)에 교차하여 브리지 형으로 거는 복수, 본 예에서는 6개의 빔(24)[241 , 242 , 243 , 244 , 245 , 246 ]이 병렬배치되어 이룬다. As shown in Fig. 2A, the GLV device 21 has a common substrate side electrode 23 formed on an insulating substrate 22 such as a glass substrate, and crosses the substrate side electrode 23 in a bridge shape. In the plural, in this example, six beams 24 [24 1 , 24 2 , 24 3 , 24 4 , 24 5 , 24 6 ] are arranged in parallel.

브리지부재(25)와, 그 위에 설치된 반사막겸 구동측 전극(26)으로 이루는 빔(24)은 리본으로 통칭되고 있는 부위이다.The beam 24 which consists of the bridge member 25 and the reflecting film and drive side electrode 26 provided thereon is a site commonly called a ribbon.

기판측 전극(23)과 반사막겸 구동측전극(26)과의 사이에 미소 전압을 인가하면, 전술한 정전현상에 의해 빔(24)이 기판측 전극(23)에 향하여 근접하고, 또, 전압의 인가를 정지하면 이간하여 원래의 상태로 되돌린다.When a small voltage is applied between the substrate side electrode 23 and the reflective film and driving side electrode 26, the beam 24 approaches the substrate side electrode 23 due to the above-mentioned electrostatic phenomenon, and the voltage If the application stops, it returns to its original state.

GLV 디바이스(21)는 기판측 전극(23)에 대한 복수의 빔(24)의 근접, 이간의 동작(즉, 1개 거른 빔의 근접, 이간의 동작)에 의해, 광반사막겸 구동측 전극(26)의 높이를 교대로 변화시키고, 광의 회절에 의해 (6개의 빔(24)전체에 대하여 1개의 광스포트가 조사된다), 구동측전극(26)에서 반사하는 광의 강도를 변조한다.The GLV device 21 is a light reflection film and a driving side electrode by the proximity of the plurality of beams 24 with respect to the substrate-side electrode 23, and the operation between the beams 24 (that is, the proximity of one filtered beam and the operation between the beams). The height of 26 is alternately changed, and the intensity of the light reflected by the drive side electrode 26 is modulated by diffraction of the light (one light spot is irradiated to all six beams 24).

도 3a는 삼성전기가 개발한 압전 재료를 이용한 함몰형 회절형 광변조기의 단면도이고, 도 3b는 삼성전기가 개발한 오픈홀 기반의 압전 재료를 이용한 회절형 광변조기의 단면도이다.3A is a cross-sectional view of a recessed diffraction type optical modulator using a piezoelectric material developed by Samsung Electro-Mechanics, and FIG. 3B is a cross-sectional view of a diffraction type optical modulator using an open hole-based piezoelectric material developed by Samsung Electro-Mechanics.

도면을 참조하면, 삼성전기가 개발한 함몰형 박막 압전 광변조기는 실리콘 기판(30)과, 복수의 엘리멘트(32a~32n)를 구비하고 있다.Referring to the drawings, the recessed thin film piezoelectric optical modulator developed by Samsung Electro-Mechanics includes a silicon substrate 30 and a plurality of elements 32a to 32n.

여기에서, 복수의 엘리멘트(32a~32n)는 일정한 폭을 가지며 일정하게 정렬하여 함몰형 박막 압전 광변조기를 구성한다. 또한, 이러한 복수의 엘리멘트(32a~32n)는 서로 다른 폭을 가지며 교번하여 정렬하여 함몰형 박막 압전 광변조기 를 구성한다. 또한, 이러한 엘리멘트(32a~32n)는 일정간격(거의 엘리멘트(32a~32n)의 폭과 같은 거리)을 두고 이격되어 위치할 수 있으며 이 경우에 실리콘 기판(30)의 상면의 전부에 형성된 마이크로 미러층이 입사된 빛을 반사하여 회절시킨다. Here, the plurality of elements 32a to 32n have a constant width and are aligned regularly to form a recessed thin film piezoelectric optical modulator. In addition, the plurality of elements 32a to 32n have different widths and are alternately arranged to form a recessed thin film piezoelectric optical modulator. In addition, the elements 32a to 32n may be spaced apart from each other at a predetermined interval (almost the same distance as the width of the elements 32a to 32n), and in this case, the micromirrors formed on the entire upper surface of the silicon substrate 30. The layer reflects the incident light and diffracts it.

실리콘 기판(30)은 엘리멘트(32a~32n)에 에어 스페이스를 제공하기 위하여 함몰부를 구비하고 있으며, 절연층(31)이 상부 표면에 증착되어 있고, 함몰부의 양측에 엘리멘트(32a~32n)의 단부가 부착되어 있다.The silicon substrate 30 has depressions in order to provide air space to the elements 32a to 32n, and an insulating layer 31 is deposited on the upper surface, and ends of the elements 32a to 32n on both sides of the depressions. Is attached.

각각의 엘리멘트(여기에서는 도면부호 32a에 대해서만 자세히 설명하지만 나머지 32b~32n도 동일하다)는 막대 형상을 하고 있으며 중앙부분이 실리콘 기판(30)의 함몰부에 이격되어 위치하도록 양끝단의 하면이 각각 실리콘 기판(30)의 함몰부를 벗어난 양측지역에 부착되어 있고, 실리콘 기판(30)의 함몰부에 위치한 부분이 상하로 이동가능한 하부지지대(33a)를 포함한다.Each element (herein, only the reference numeral 32a is described in detail, but the remaining 32b to 32n is the same) has a rod shape, and the lower surfaces of both ends are positioned so that the center portion is spaced apart from the recessed portion of the silicon substrate 30. A portion located at both sides of the silicon substrate 30 beyond the depression, and the portion located in the depression of the silicon substrate 30 includes a lower support 33a that is movable up and down.

또한, 엘리멘트(32a)는 하부지지대(33a)의 좌측단에 적층되어 있으며, 압전 전압을 제공하기 위한 하부전극층(34a)와, 하부전극층(34a)에 적층되어 있으며 양면에 전압이 인가되면 수축 및 팽창하여 상하 구동력을 발생시키는 압전 재료층(35a)와, 압전 재료층(35a)에 적층되어 있으며 압전재료층(35a)에 압전 전압을 제공하는 상부 전극층(36a)을 포함하고 있다.In addition, the element 32a is stacked on the left end of the lower support 33a, and is laminated on the lower electrode layer 34a and the lower electrode layer 34a for providing a piezoelectric voltage, and contracts and A piezoelectric material layer 35a that expands to generate a vertical driving force, and an upper electrode layer 36a that is stacked on the piezoelectric material layer 35a and provides a piezoelectric voltage to the piezoelectric material layer 35a are included.

또한, 엘리멘트(32a)는 하부지지대(33a)의 우측단에 적층되어 있으며, 압전 전압을 제공하기 위한 하부전극층(34a')과, 하부전극층(34a')에 적층되어 있으며 양면에 전압이 인가되면 수축 및 팽창하여 상하 구동력을 발생시키는 압전 재료층(35a')과, 압전 재료층(35a')에 적층되어 있으며 압전재료층(35a')에 압전 전압을 제공하는 상부 전극층(36a')을 포함하고 있다.In addition, the element 32a is stacked on the right end of the lower support 33a, and is laminated on the lower electrode layer 34a 'and the lower electrode layer 34a' for providing a piezoelectric voltage. A piezoelectric material layer 35a 'that contracts and expands to generate a vertical driving force, and an upper electrode layer 36a' that is stacked on the piezoelectric material layer 35a 'and provides a piezoelectric voltage to the piezoelectric material layer 35a'. Doing.

그리고, 국내 특허출원번호 제 P2004-74875호에는 위에서 설명한 함몰형외에서 돌출형에 대하여 상세하게 설명하고 있다.In addition, Korean Patent Application No. P2004-74875 describes the protruding type in addition to the depression type described above.

도 3b은 삼성전기가 개발한 오픈홀 기반의 회절형 광변조기의 사시도이다. 도 4b를 참조하면, 오픈홀 기반의 회절 광변조기는 실리콘 기판(41)과, 절연층(42), 하부 마이크로 미러(43)와, 복수의 엘리멘트(50a~50n))로 구성되어 있다. 3b is a perspective view of an open hole-based diffractive optical modulator developed by Samsung Electro-Mechanics. Referring to FIG. 4B, the open hole-based diffractive light modulator is composed of a silicon substrate 41, an insulating layer 42, a lower micro mirror 43, and a plurality of elements 50a to 50n.

여기에서, 하부 마이크로 미러(43)는 실리콘 기판(41)의 상부에 증착되어 있으며, 입사하는 빛을 반사하여 회절시킨다. 하부 마이크로 미러(43)에 사용되는 물질로는 메탈(Al, Pt, Cr, Ag 등)이 사용될 수 있다. Here, the lower micro mirror 43 is deposited on the silicon substrate 41 and reflects and diffracts incident light. As a material used for the lower micromirror 43, metal (Al, Pt, Cr, Ag, etc.) may be used.

엘리멘트(대표적으로 도면부호 50a에 대해서만 설명하지만 나머지도 같다)는 리본 형상을 하고 있으며 중앙부분이 실리콘 기판(41)의 함몰부에 이격되어 위치하도록 양끝단의 하면이 각각 실리콘 기판(41)의 함몰부를 벗어난 양측지역에 부착되어 있는 하부 지지대(51a)를 구비하고 있다.The elements (typically, only the reference numeral 50a is described but the rest are the same) have a ribbon shape, and the bottom surfaces of both ends are recessed in the silicon substrate 41 so that the center portion is spaced apart from the recessed portion of the silicon substrate 41. The lower support part 51a attached to the both side areas | regions which are out of a part is provided.

하부 지지대(51a)의 양측면에는 압전층(60a, 60a')이 구비되어 있으며, 구비된 압전층(60a, 60a')의 수축 팽창에 의해 엘리멘트(50a)의 구동력이 제공된다.Piezoelectric layers 60a and 60a 'are provided on both sides of the lower support 51a, and the driving force of the element 50a is provided by contraction and expansion of the provided piezoelectric layers 60a and 60a'.

그리고, 좌우측의 압전층(60a, 60a')은 압전 전압을 제공하기 위한 하부전극층(61a, 61a')과, 하부전극층(61a, 61a')에 적층되어 있으며 양면에 전압이 인가되면 수축 및 팽창하여 상하 구동력을 발생시키는 압전 재료층(62a, 62a')과, 압전 재료층(62a, 62a')에 적층되어 있으며 압전재료층(62a, 62a')에 압전 전압을 제공하는 상부 전극층(63a, 63a')을 구비하고 있다. 상부 전극층(63a, 63a')과 하부 전 극층(61a, 61a')에 전압이 인가되면 압전재료층(62a, 62a')은 수축 팽창을 하여 하부 지지대(51a)의 상하 운동을 발생시킨다.The left and right piezoelectric layers 60a and 60a 'are stacked on the lower electrode layers 61a and 61a' for providing the piezoelectric voltage and the lower electrode layers 61a and 61a ', and contract and expand when voltage is applied to both surfaces. And the upper electrode layers 63a, which are stacked on the piezoelectric material layers 62a and 62a 'that generate vertical driving force, and which provide piezoelectric voltages to the piezoelectric material layers 62a and 62a'. 63a '). When voltage is applied to the upper electrode layers 63a and 63a 'and the lower electrode layers 61a and 61a', the piezoelectric material layers 62a and 62a 'contract and expand to generate vertical motion of the lower support 51a.

한편, 하부 지지대(51a)의 중앙 부분에는 상부 마이크로 미러(70a)가 증착되어 있으며 복수의 오픈홀(71a1~71a4)을 구비하고 있다. 여기에서 오픈홀(71a1~71a4)의 모양은 직사각형이 바람직하지만 원형, 타원형 등 어떤 폐곡선의 형상도 가능하다. 그리고 여기에서 하부 지지대를 광반사성 물질로 형성한다면 별도로 상부 마이크로 미러를 증착할 필요가 없으며 하부 지지부가 상부 마이크로 미러로 기능하도록 할 수 있다.On the other hand, the upper micro mirror (70a) is deposited in the central portion of the lower support (51a) and has a plurality of open holes (71a1 ~ 71a4). Here, the shape of the open holes 71a1 to 71a4 is preferably rectangular, but any closed curve such as circular or elliptical may be used. If the lower supporter is formed of a light reflective material, it is not necessary to deposit the upper micromirror separately, and the lower supporter may function as the upper micromirror.

이러한 오픈홀(71a1~71a4)은 엘리멘트(50a)에 입사되는 입사광이 관통하여 오픈홀(71a1~71a4)이 형성된 부분에 대응하는 하부 마이크로 미러(43)에 입사광이 입사되도록 하며, 이렇게 하여 하부 마이크로 미러(43)와 상부 마이크로 미러(70a)가 화소를 형성할 수 있도록 한다.The open holes 71a1 to 71a4 allow incident light incident on the element 50a to penetrate the incident light to the lower micromirror 43 corresponding to the portion where the open holes 71a1 to 71a4 are formed. The mirror 43 and the upper micromirror 70a can form pixels.

즉, 일예로 오픈홀(71a1~71a4)이 형성된 상부 마이크로 미러(70a)의 (A) 부분과 하부 마이크로 미러(43)의 (B) 부분이 하나의 화소(픽셀)를 형성할 수 있다.That is, for example, part (A) of the upper micromirror 70a having the open holes 71a1 to 71a4 and part (B) of the lower micromirror 43 may form one pixel.

이때, 상부 마이크로 미러(70a)의 오픈홀(71a1~71a4)이 형성된 부분을 관통하여 입사되는 입사광은 하부 마이크로 미러(43)의 해당 부분에 입사할 수 있으며 상부 마이크로 미러(70a)와 하부 마이크로 미러(43)의 간격이 λ/4의 홀수배가 될 때 최대의 회절광을 발생시킨다. At this time, incident light incident through the portion where the open holes 71a1 to 71a4 of the upper micromirror 70a are formed may be incident on a corresponding portion of the lower micromirror 43, and the upper micromirror 70a and the lower micromirror may be incident. The maximum diffracted light is generated when the interval of 43 becomes an odd multiple of lambda / 4.

도 4는 상술의 MEMS 소자를 적용한 광변조 소자로서의 GLV 디바이스, 또는 삼성전기의 압전 회절형 광변조기를 이용한 종래 3판넬 방식의 광학장치의 일실시 의 형태를 나타낸다. 4 shows an embodiment of a GLV device as an optical modulation device to which the MEMS device described above is applied, or a conventional three-panel optical device using a piezoelectric diffraction type optical modulator of Samsung Electro-Mechanics.

본 종래 기술의 실시의 형태에 관계하는 레이저 디스플레이(81)는 예를 들면 대형스크린용 프로젝터, 특히 디지털 화상의 프로젝터로서 혹은 컴퓨터의 화상투영장치로서 이용된다.The laser display 81 according to the embodiment of the prior art is used, for example, as a projector for large screens, in particular as a projector for digital images, or as an image projection apparatus of a computer.

레이저 디스플레이(51)는 도 4에 나타내는 것같이, 적(R), 녹(G), 청(B)의 각 색의 레이저광원(82R, 82G, 82B)과, 각 레이저광원에 대하여 각각 광축 상에 순차, 설치된 미러(84R, 84G, 84B) 각 색조명광학계(렌즈군)(86R, 86G, 86B) 및 광변조소자로서 기능하는 GLV 디바이스 또는 압전 회절형 광변조기(88R, 88G, 88B)를 갖추고 있다.As shown in Fig. 4, the laser display 51 has laser light sources 82R, 82G, and 82B of each color of red (R), green (G), and blue (B), and an optical axis image for each laser light source. Mirrors 84R, 84G, and 84B, which are provided in the Equipped.

레이저 광원(82R, 82G, 82B)은 각각 예를 들면 R(파장 642nm, 광출력 약 3W), G(파장 532nm, 광출력 약 2W), B(파장 457nm, 광출력 약 1.5W)의 레이저를 출사한다.The laser light sources 82R, 82G, and 82B each use lasers of R (wavelength 642 nm, light output approximately 3 W), G (wavelength 532 nm, light output approximately 2 W), and B (wavelength 457 nm, light output approximately 1.5 W), for example. Exit.

또한, 레이저 디스플레이(81)는 GLV 디바이스 또는 압전 회절형 광변조기(88R, 88G, 88B)에 의해 각각 광강도가 변조된 적색(R) 레이저광, 녹색(G) 레이저광 및 청색(B) 레이저광을 합성하는 색합성필터(90), 공간필터(92), 디퓨저(94), 미러(96), 갈바노 스캐너(97), 투영광학계(렌즈군)(98) 및 스크린(99)을 갖추고 있다. 색합성필터(90)는 예를 들면 다이크로닉 미러로 구성된다.In addition, the laser display 81 includes a red (R) laser light, a green (G) laser light, and a blue (B) laser, each of which is light modulated by a GLV device or piezoelectric diffraction type optical modulators 88R, 88G, and 88B. It is equipped with a color synthesis filter 90, a spatial filter 92, a diffuser 94, a mirror 96, a galvano scanner 97, a projection optical system (lens group) 98 and a screen 99 for synthesizing light. have. The color combining filter 90 is composed of, for example, a dichroic mirror.

본 실시의 형태의 레이저 디스플레이(81)에서는, 레이저광원(82R, 82G, 82B)에서 출사된 RGB 각 레이저광이 각각 미러(84R, 84G, 84B)를 경유하여 각 색조명광학계(86R, 86G, 86B)에서 각 GLV 디바이스 또는 압전 회절형 광변조기(88R, 88G, 88B)에 입사한다. 각 레이저광은 색분류된 화상신호이고, GLV 디바이스 또는 압전 회절형 광변조기(88R, 88G, 88B)에 동기 입력되도록 되어 있다.In the laser display 81 of the present embodiment, each of the RGB laser beams emitted from the laser light sources 82R, 82G, and 82B passes through each of the color tone light optical systems 86R, 86G, and the like via the mirrors 84R, 84G, and 84B. 86B) is incident on each GLV device or piezoelectric diffraction type optical modulators 88R, 88G, and 88B. Each laser light is a color-coded image signal, and is input in synchronization with the GLV device or the piezoelectric diffraction type optical modulators 88R, 88G, and 88B.

또한, 각 레이저광은 GLV 디바이스 또는 압전 회절형 광변조기(88R, 88G, 88B)에 의해 회절됨으로써 공간변조되고, 이들 3색의 회절광이 색합성필터(90)에 의해 합성되고, 계속해서 공간필터(92)에 의해 신호성분만이 취출된다.Further, each laser light is spatially modulated by diffraction by a GLV device or piezoelectric diffraction type optical modulators 88R, 88G, and 88B, and these three colors of diffracted light are synthesized by the color synthesis filter 90, and subsequently spaced. Only the signal component is taken out by the filter 92.

다음에, 이 RGB화상신호는 디퓨저(94)에 의해 레이저 스펙트럼이 저감되고, 미러(96)를 통하여 화상신호와 동기하는 갈바노 스캐너(97)에 의해 공간에 전개되고, 투영광학계(98)에 의해 스크린(99)상에 풀칼라 화상으로서 투영된다.This RGB image signal is then reduced in the laser spectrum by the diffuser 94 and developed in space by the galvano scanner 97 in synchronization with the image signal via the mirror 96, and then onto the projection optical system 98. This projects onto the screen 99 as a full color image.

한편, 위에서 설명한 회절형 광변조기를 이용한 디스플레이 장치는 HDTV급 영상을 출력하기 위한 디바이스로 1080개의 픽셀(pixel)이 세로로 배열되어 있어 가로 방향으로 스캔하여 디스플레이 하도록 되어있다. On the other hand, the display device using the diffraction type optical modulator described above is a device for outputting HDTV-quality image, 1080 pixels are arranged vertically to scan and display in the horizontal direction.

도5a와 같이 통상적인 HDTV 등의 응용에 있어서 입력되는 이미지 데이터는 횡방향으로 정렬되어 있다. 광변조기를 이용한 디스플레이 장치는 도5b에 도시된 바와 같이 1080개의 마이크로 미러 소자들이 종방향으로 배열되어 있어, 1080개씩의 이미지 데이터를 횡방향으로 스캐닝하면서 디스플레이 하도록 되어있다.As shown in Fig. 5A, image data input in a typical HDTV or the like is aligned in the lateral direction. In the display device using the optical modulator, as shown in FIG. 5B, 1080 micro mirror elements are arranged in the longitudinal direction, and display 1080 image data while scanning in the horizontal direction.

이때, 도 5C의 시간 대 거리의 스캐너 궤적도에서 알 수 있는 바와 같이 시간 구간을 A, B, C로 나눌 수 있는데, 시간구간 A와 B는 정방향 스캔 구간이고, C는 역방향 스캔 구간이다.At this time, as shown in the scanner trajectory diagram of the time-to-distance of FIG. 5C, the time intervals may be divided into A, B, and C. Time intervals A and B are forward scan intervals, and C is a reverse scan interval.

정방향 스캔 구간인 A는 스캐너가 정방향 스캔을 수행하긴 하지만 스크린상에 실제 이미지를 스캐닝하지 않는 준비 구간으로 볼 수 있다. 그리고, 시간 구간 B는 스캐너가 정방향 스캔을 수행하며 이때 칼라 이미지가 스크린에 스캐닝된다. 한편, 시간 구간 C는 스캐너가 역방향 스캔을 수행하는데 이때 칼라 이미지는 스크린에 스캐닝되지 않는다.The forward scan section A can be viewed as a ready section where the scanner performs the forward scan but does not scan the actual image on the screen. In the time interval B, the scanner performs a forward scan, at which time the color image is scanned on the screen. On the other hand, in the time interval C, the scanner performs reverse scanning, in which case the color image is not scanned on the screen.

한편, 이와 같은 종래 라인 스캐닝 방식은 스크린에 칼라 이미지를 디스플레이하기 위해서 스캐너는 역방향 스캔시에 빠른 감속이 가능하도록 설계 되어 있다. On the other hand, such a conventional line scanning method is designed to enable a fast deceleration during the reverse scan in order to display a color image on the screen.

하지만, 위에서 설명한 스캐너의 역방향 스캔시의 빠른 감속은 전력면에서 전력 소모가 많고, 스캐너의 마모를 빠르게 하는 원인이 된다.However, the rapid deceleration during the reverse scan of the scanner described above causes high power consumption in terms of power, and causes the wear of the scanner to accelerate.

따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 회절형 광변조기에서 변조된 회절광을 스크린에 스캐닝할 때 정방향 뿐만 아니라 역방향에서도 칼라 이미지가 디스플레이되도록 하는 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, the display device of the forward and reverse scanning type so that the color image is displayed in the reverse direction as well as in the reverse direction when scanning the diffracted light modulated by the diffractive optical modulator on the screen To provide that purpose.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명은, 입사된 광을 외부의 제어신호에 따라 변조하여 복수의 회절차수를 갖는 회절광을 생성하는 복수의 회절형 광변조기; 복수의 광원으로부터 출사된 복수의 광에서 해당하는 광을 상기 회절형 광변조기에 각각 조사하는 조명 광학부; 상기 복수의 회절형 광변조기로부터 형성된 복수의 회절 차수를 갖는 회절광에서 원하는 차수의 회절광을 선택하여 통과시키는 슐리렌 광학부; 및 상기 슐리렌 광학부를 통과한 회절광을 스크린에 정역방향 라인 스캐닝을 수행하는 하는 스캐닝 광학부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.The present invention for solving the above problems, a plurality of diffractive light modulator for generating a diffracted light having a plurality of diffraction orders by modulating the incident light according to an external control signal; An illumination optical unit configured to irradiate light corresponding to the plurality of light emitted from the plurality of light sources to the diffractive optical modulator; A schlieren optical unit for selecting and passing diffracted light having a desired order from diffracted light having a plurality of diffraction orders formed from the plurality of diffractive light modulators; And a scanning optical unit configured to perform forward and reverse line scanning on the screen of the diffracted light passing through the Schullen optical unit.

이제, 도 6 이하의 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치에 대하여 상세히 설명한다.Now, a display device of forward and backward scanning according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIG. 6.

도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치의 구성도이다. 6 is a block diagram of a display device of the forward and backward scanning method according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 회절형 광변조기를 이용한 래스터 스캐닝 방식의 디스플레이 장치는 디스플레이 광학계(102)와 디스플레이 전자계(104)를 포함한다. Referring to FIG. 6, a raster scanning type display apparatus using a diffractive optical modulator according to an embodiment of the present invention includes a display optical system 102 and a display electronic system 104.

디스플레이 광학계(102)는 적(R), 녹(G), 청(B)의 각 색의 레이저 광원(106R, 106G, 106B), 각각의 레이저 광원(106R, 106G, 106B)로부터 나오는 빛을 그에 대응되는 각각의 회절형 광변조기(110R, 110G, 110B)에 타원형의 좁고 긴 선모양의 광으로 조사하기 위해 선형광을 만들어 주는 복수의 조명 광학부(108R, 108G, 108B), 각각의 조명 광학부(108R, 108G, 108B)로부터 조사된 선형광을 변조하여 회절광을 생성하는 복수의 회절형 광변조기(110R, 110G, 110B), 각각의 회절형 광변조기(110R, 110G, 110B)에서 변조된 회절광을 집광하는 집광부(112), 집광부(112)에서 집광된 R, G, B의 회절광을 차수분리하고 분리된 여러 차수의 회절광중에서 원하는 차수의 회절광을 통과시키는 슐리렌 광학부(Schlieren optics)(114), 슐리렌 광학부(114)를 통과한 회절광을 집광하고 집광된 회절광을 정역방향 라인 스캐 닝을 수행하는 투영 및 스캐닝 광학부(116), 및 디스플레이 스크린(118)을 포함한다. The display optical system 102 receives light from the laser light sources 106R, 106G, and 106B of each color of red (R), green (G), and blue (B), and the light emitted from each of the laser light sources (106R, 106G, and 106B). A plurality of illumination optics 108R, 108G, 108B, each of which illuminates linear light to irradiate each of the corresponding diffractive light modulators 110R, 110G, 110B with an elliptical narrow, long line-shaped light; A plurality of diffractive light modulators 110R, 110G, and 110B, which modulate the linear light irradiated from the units 108R, 108G, and 108B to generate diffracted light, and are respectively modulated by the diffractive light modulators 110R, 110G, and 110B. A light-receiving part 112 for condensing the diffracted light, and a schlieren for separating the diffracted light of R, G, and B condensed by the light-receiving part 112, and passing the diffracted light of a desired order among the diffracted light of the separated order The diffraction light passing through the Schlieren optics 114 and the Schlieren optics 114 is collected and the focused diffraction light is forward-reversed. A projection, and the scanning optical unit 116, and a display screen 118 to perform.

디스플레이 전자계(104)는 레이저 광원(106R, 106G, 106B), 회절형 광변조기(110R, 110G, 110B) 및 투영 및 스캐닝 광학부(116)에 접속된다.The display electromagnetic field 104 is connected to the laser light sources 106R, 106G, 106B, the diffractive light modulators 110R, 110G, 110B, and the projection and scanning optics 116.

디스플레이 전자계(104)의 전원부(미도시)는 레이저 광원(106R, 106G, 106B)에 전력을 제공한다. 레이저 광원(106R, 106G, 106B)는 레이저 조명을 방출하는데, 방출된 레이저 조명의 단면도은 원형이고, 그 광의 세기 프로파일은 가우시안(Gausian) 분포를 하고 있다. A power supply unit (not shown) of the display electromagnetic field 104 provides power to the laser light sources 106R, 106G, and 106B. The laser light sources 106R, 106G, 106B emit laser light, the cross-sectional view of the emitted laser light being circular, and the intensity profile of the light has a Gaussian distribution.

각각의 조명 광학부(108R, 108G, 108B)는 각각의 레이저 광원(106R, 106G, 106B)이 방출한 레이저 조명을 타원형의 좁고 긴 선모양의 선형광으로 변환하여 각각의 대응되는 회절형 광변조기(110R, 110G, 110B)상에 집속시킨다. Each of the illumination optics 108R, 108G, 108B converts the laser illumination emitted by the respective laser light sources 106R, 106G, 106B into elliptical, narrow, long linear light beams, and each corresponding diffractive light modulator. Focus on (110R, 110G, 110B).

그리고, 회절형 광변조기(110R, 110G, 110B)는 조명광학부(108R, 108G, 108B)로부터 타원형의 좁고 긴 선모양의 선형광이 입사되면, 디스플레이 전자계(104)의 광변조기 구동회로(미도시)의 제어에 따라 입사되는 선형광을 변조하여 회절광을 생성하여 출사하며, 집광부(112)는 여러차수의 회절광을 갖는 각각의 광원을 집광하여 단일의 광원으로 디스플레이 스크린(118) 측으로 출사한다.When the elliptical narrow and long linear light is incident from the illumination optics 108R, 108G, and 108B, the diffraction type optical modulators 110R, 110G, and 110B (not shown) According to the control of the modulated linear light incident to generate the diffracted light is emitted, the light concentrator 112 condenses each light source having a plurality of orders of diffraction light and exits to the display screen 118 as a single light source do.

그러면, 슐리렌 광학부(112)는 여러 회절차수를 갖는 회절광이 입사되면 원하는 회절차수의 회절광을 선택적으로 통과시킨다. 이러한 슐리렌 광학부(112)의 평면도는 일예로 푸리에 렌즈(미도시)와 공간 필터 또는 다이크로닉 필터(미도시)로 구성되어 있으며, 입사되는 회절광중에서 0차 회절광 또는 ±1차 광중 하나를 선택하여 선택된 회절광을 통과시킨다.Then, when the diffraction light having various diffraction orders is incident, the schlieren optical unit 112 selectively passes diffraction light having a desired diffraction order. The plan view of the Schlieren optical unit 112 is composed of, for example, a Fourier lens (not shown) and a spatial filter or a dichroic filter (not shown). One is selected to pass the selected diffracted light.

그리고, 투영 및 스캐닝 광학부(116)는 집광 렌즈(116a), 스캐너(116b)와 프로젝션 렌즈(116c)로 구성되어 있으며, 디스플레이 전자계(104)의 제어에 따라 스캐너(116b)는 입사된 회절광을 스크린(118)에 정역방향으로 라인 스캐닝을 수행하여 칼라 이미지를 생성한다. 즉, 투영 및 스캐닝 광학부(116)는 공간 필터 또는 다이크로닉 필터(미도시)를 통과하여 입사되는 복수개의 픽셀 일예로 1080개의 픽셀로 이루어진 라인 이미지를 정방향으로 스캔하면서 스크린(118)에 디스플레이하여 칼라 이미지를 생성하고, 또한 역방향으로 진행할 때에도 종래 기술과 달리 라인 이미지를 스크린(118)에 디스플레이하여 칼라 이미지를 생성한다.The projection and scanning optics 116 are composed of a condenser lens 116a, a scanner 116b, and a projection lens 116c, and under the control of the display electromagnetic field 104, the scanner 116b receives incident diffracted light. Is performed on the screen 118 in a forward and backward direction to generate a color image. That is, the projection and scanning optics 116 display on the screen 118 while scanning a line image composed of a plurality of pixels, for example, 1080 pixels, passing through a spatial filter or a dichroic filter (not shown). To generate a color image, and also in the reverse direction, unlike the prior art, a line image is displayed on the screen 118 to generate a color image.

여기에서, 집광 렌즈(116a)는 공간 필터 또는 다이크로닉 필터(미도시)를 통과한 회절빔을 스크린(118)에 초점이 맞도록 회절광을 집광시킨다. 물론 집광렌즈(116a) 이후에 오목렌즈(미도시)를 더 구비하여 공간 필터 또는 다이크로닉 필터(미도시)를 통과한 회절빔을 집광한 후에 평행광으로 변화시켜 스캐너(116b)에 투영할 수도 있다.Here, the condenser lens 116a condenses the diffracted light such that the diffracted beam passing through the spatial filter or the dichronic filter (not shown) is focused on the screen 118. Of course, after the condenser lens 116a, a concave lens (not shown) may be further provided to condense the diffracted beam passing through the spatial filter or the dichroic filter (not shown), and then converted into parallel light to be projected onto the scanner 116b. It may be.

스캐너(116b)는 X축 스캐너이며 스캐너(116b)는 디스플레이 전자계(104)의 스캐너 구동회로(미도시)의 제어에 따라 입사된 라인 이미지를 스크린(118)의 좌에서 우로 스캐닝을 수행하고, 이어서 우에서 좌로 스캐닝을 수행하여, 이러한 동작을 반복하며, 도 8에 그 개념이 잘 도시되어 있다. The scanner 116b is an X-axis scanner and the scanner 116b performs scanning of the incident line image from the left to the right of the screen 118 under the control of the scanner driving circuit (not shown) of the display electronic system 104, and then Scanning from right to left is repeated to repeat this operation, and the concept is well illustrated in FIG.

즉, 도 8은 시간 대 거리의 스캐너 궤적도로서, 정방향 스캔 구간인 F와 역방향 스캔 구간인 R로 구분할 수 있으며, 정방향 스캔 구간은 다시 정방향 준비구 간 A, 정방향 이미지 스캔 구간 B, 잔여구간 C로 나눌 수 있고, 역방향 스캔 구간은 다시 역방향 준비구간 A', 역방향 이미지 스캔 구간 B', 잔여 구간 C'으로 나눌 수 있다.That is, FIG. 8 is a scanner trajectory diagram of time versus distance, which can be divided into a forward scan section F and a reverse scan section R, and the forward scan section is again a forward preparation section A, a forward image scanning section B, and a remaining section C. The reverse scan section may be further divided into a reverse preparation section A ', a reverse image scan section B', and a remaining section C '.

여기에서, 정방향 준비구간 A는 스캔을 준비하는 구간이고, 정방향 이미지 스캔 구간 B는 스크린(118)에 라인 이미지를 스캔하여 칼라 이미지를 생성하는 구간이며, 잔여구간 C는 역방향 스캔을 수행하기 위한 여유 시간이다.Here, the forward preparation section A is a section preparing to scan, the forward image scanning section B is a section for generating a color image by scanning a line image on the screen 118, and the remaining section C is a margin for performing a reverse scan. It's time.

다음으로, 역방향 준비구간 A'는 스캔을 준비하는 구간이고, 역방향 이미지 스캔 구간 B'는 스크린(118)에 라인 이미지를 역방향으로 스캔하여 칼라 이미지를 생성하는 구간이며, 잔여구간 C'는 다시 정방향 스캔을 수행하기 위한 여유 시간이다. 이때, 도 8에 도시된 바와 같이 스크린(118)에 투사되는 이미지는 우에서부터 좌측으로 진행하는 이미지이기 때문에 회절형 광변조기(110R, 110G, 110B) 또한 라인 이미지를 생성하는데 있어 우측에서부터 좌측 방향으로 라인 이미지를 역방향 스캔과 부합되도록 생성하여야 한다. 그리고, 이러한 회절형 광변조기(110R, 110G, 110B)의 라인 이미지 생성 과정은 디스플레이 전자계(104)의 광변조기 구동 회로(미도시)에 의해 제어된다.Next, the reverse preparation section A 'is a section preparing to scan, the reverse image scan section B' is a section for generating a color image by scanning the line image on the screen 118 in the reverse direction, and the remaining section C 'is the forward direction again. Free time to perform the scan. In this case, as shown in FIG. 8, since the image projected on the screen 118 is an image proceeding from right to left, the diffractive light modulators 110R, 110G, and 110B also move from right to left in generating a line image. Line images must be created to match the reverse scan. The line image generation process of the diffractive optical modulators 110R, 110G, and 110B is controlled by an optical modulator driving circuit (not shown) of the display electromagnetic field 104.

상기와 같은 본 발명에 따르면, 시간적 광효율을 높일 수 있어 동일 광원이용시 밝기 증대 또는 동일 밝기 확보시 저전력 광원 사용이 가능하도록 하는 효과가 있다.According to the present invention as described above, it is possible to increase the light efficiency of time to increase the brightness when using the same light source or to have the effect of enabling the use of a low power light source when ensuring the same brightness.

즉, 본 발명에 따르면 기존 75%~85%의 유효 주사 대비 당해 발명은 94~96%의 유휴 주사가 가능하다.That is, according to the present invention, the present invention is 94-96% idle injection compared to the existing 75% to 85% effective injection.

또한, 본 발명에 따르면, 스캐닝 미러의 구동 최대 가속도를 낮춰 스캐닝 미러 드라이버의 전력소모를 낮출 수 있다.In addition, according to the present invention, the driving maximum acceleration of the scanning mirror can be lowered to lower the power consumption of the scanning mirror driver.

Claims (6)

입사된 광을 외부의 제어신호에 따라 변조하여 복수의 회절차수를 갖는 회절광을 생성하는 복수의 회절형 광변조기;A plurality of diffractive light modulators for generating diffracted light having a plurality of diffraction orders by modulating the incident light according to an external control signal; 복수의 광원으로부터 출사된 복수의 광에서 해당하는 광을 상기 회절형 광변조기에 각각 조사하는 조명 광학부; An illumination optical unit configured to irradiate light corresponding to the plurality of light emitted from the plurality of light sources to the diffractive optical modulator; 상기 복수의 회절형 광변조기로부터 형성된 복수의 회절 차수를 갖는 회절광에서 원하는 차수의 회절광을 선택하여 통과시키는 슐리렌 광학부; 및A schlieren optical unit for selecting and passing diffracted light having a desired order from diffracted light having a plurality of diffraction orders formed from the plurality of diffractive light modulators; And 상기 슐리렌 광학부를 통과한 회절광을 스크린에 정역방향 라인 스캐닝을 수행하는 하는 스캐닝 광학부를 포함하여 이루어진 회절형 광변조기를 이용한 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치.And a scanning optical unit configured to perform forward and reverse line scanning on the screen of the diffracted light passing through the schlieren optical unit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스캐닝 광학부는,The scanning optical unit, 상기 슐리렌 광학부를 통과한 회절광을 스크린에 제1 방향으로 라인 스캐닝을 수행할 때 스크린에 칼라 라인 이미지가 디스플레이되도록 하고, 이후에 제1 방향과 반대방향인 제2 방향으로 라인 스캐닝을 수행할 때 스크린에 칼라 라인 이미지가 디스플레이되도록 하는 스캐너; 및 When line scanning is performed on the screen in the first direction of diffracted light passing through the Schlielen optical unit, a color line image is displayed on the screen, and then line scanning is performed in a second direction opposite to the first direction. A scanner to display a color line image when the screen is displayed; And 상기 스캐너를 구동하기 위한 스캐너 구동회로를 포함하여 이루어진 회절형 광변조기를 이용한 정역방향 시분할 스캐닝 방식의 디스플레이 장치.Display device of the forward time-division scanning method using a diffraction type optical modulator comprising a scanner driving circuit for driving the scanner. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 회절형 광변조기는,The diffraction type optical modulator, 중앙 부분에 에어 스페이스를 제공하기 위한 함몰부가 형성되어 있는 기판; 및 A substrate having a recess formed in the central portion for providing an air space; And 리본 형상을 하고 있으며, 중앙 부분이 상기 기판의 함몰부에 이격되어 위치하도록 양끝단의 하면이 각각 상기 기판의 함몰부를 벗어난 양측지역에 부착되어 있고, 박막의 압전재료층을 포함하여 상기 박막의 압전재료층의 양측에 전압이 인가되면 상기 함몰부에 이격된 부분이 상하로 구동되고, 입사되는 빔을 회절시키기 위한 압전미러층을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 회절형 광변조기를 이용한 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치.The bottom surface of each end is attached to both side regions outside the recessed portion of the substrate so that the center portion is spaced apart from the recessed portion of the substrate, and the piezoelectric material of the thin film is formed, including the thin film piezoelectric material layer. When voltage is applied to both sides of the material layer, the portions spaced apart from the depression are driven up and down, and the forward and reverse scanning method using a diffraction type optical modulator comprising a piezoelectric mirror layer for diffracting the incident beam. Display device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 회절형 광변조기는,The diffraction type optical modulator, 엘리멘트에 복수의 오픈홀이 형성되어 있으며, 엘리멘트의 상면에 있는 상부 마이크로 미러와 절연층에 있는 하부 마이크로 미러가 단차를 형성하여 입사된 광을 외부의 제어신호에 따라 변조하여 복수의 회절차수를 갖는 회절광을 생성하는 오픈홀 기반의 회절형 광변조기인 것을 특징으로 하는 회절형 광변조기를 이용한 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치.A plurality of open holes are formed in the element, and the upper micromirror on the upper surface of the element and the lower micromirror on the insulating layer form a step so that the incident light is modulated according to an external control signal to adjust the plurality of diffraction orders. Display device of the forward-direction scanning method using a diffraction type optical modulator, characterized in that the open-hole-based diffraction type optical modulator for generating a diffracted light having. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 슐리렌 광학부는, The Schullen optical unit, 상기 회절형 광변조기로부터 출사되는 복수의 회절차수를 갖는 회절광을 차수별로 분리하는 푸리에 렌즈; 및 A Fourier lens for dividing the diffracted light having a plurality of diffraction orders emitted from the diffraction optical modulator for each order; And 상기 푸리에 렌즈를 통과한 복수의 회절차수를 갖는 회절광에서 원하는 차수의 회절광을 선택하여 통과시키는 필터를 포함하여 이루어진 회절형 광변조기를 이용한 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치.And a filter for selecting and passing the diffracted light having a desired order from the diffracted light having a plurality of diffraction orders passing through the Fourier lens. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 스캐닝 광학부가 역방향 라인 스캐닝을 수행할 때 상기 회절형 광변조기를 제어하여 스크린의 우측부터 좌측으로 변조된 라인 이미지가 생성하도록 하는 광변조기 구동회로를 더 포함하여 이루어진 정역방향 스캐닝 방식의 디스플레이 장치.And an optical modulator driving circuit configured to control the diffractive optical modulator to generate a line image modulated from the right side to the left side of the screen when the scanning optical unit performs reverse line scanning.
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