KR20070006512A - Plasma display panel and method of forming the same - Google Patents

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KR20070006512A
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Abstract

A plasma display panel and a method for forming the same are provided to lower a breakdown voltage of next discharge and reduce power consumption by using a material having a high generation degree of charged particles. A plasma display panel includes two substrates(110,210) disposed opposite to each other in order to form a sealed space therebetween, a barrier rib(440) for defining the space between the substrates, a driving electrode for displaying images, discharge gas for filling up the space, and a phosphor layer(450) laminated partially on the substrate and the barrier rib. The driving electrode is covered with a dielectric. A high efficient electron emission material layer having high secondary electron emission efficiency is formed on a surface of the dielectric corresponding to the driving electrode applied to display discharge.

Description

플라즈마 표시 패널 및 그 형성방법 {Plasma display panel and Method of forming the same}Plasma display panel and method of forming the same

도1은 종래의 면방전형 플라즈마 표시 패널 방전셀 구조의 일 예를 나타내는 사시도,1 is a perspective view showing an example of a structure of a discharge cell of a conventional surface discharge type plasma display panel;

도2는 본 발명의 일 실시예에서 방전셀의 구조를 나타내는 사시도이며, 도3은 도2의 AA 선에 따른 단면도, Figure 2 is a perspective view showing the structure of the discharge cell in an embodiment of the present invention, Figure 3 is a cross-sectional view taken along line AA of Figure 2,

도4는 본 발명의 다른 실시예에서 방전셀의 구조를 나타내는 단면도,4 is a cross-sectional view showing the structure of a discharge cell in another embodiment of the present invention;

도5a에서 도5c는 본 발명의 일 실시예에서 전면 기판에 유지 전극 및 고효율전자방출물질층을 형성하는 주용 단계를 나타내는 공정 단면도들이다.5A to 5C are cross-sectional views illustrating main steps of forming a sustain electrode and a high efficiency electron emission material layer on a front substrate in an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

110: 전면 기판 125,135: 버스 전극 패턴110: front substrate 125, 135: bus electrode pattern

121,131: 투명전극 패턴 140,230: 유전층121,131: transparent electrode pattern 140,230: dielectric layer

120,130 : 유지전극 150,350,550: 보호막120,130: sustain electrode 150,350,550: protective film

210: 배면 기판 220: 어드레스 전극210: back substrate 220: address electrode

240,440: 격벽 250,450: 형광체층 240, 440: bulkhead 250, 450: phosphor layer

360: 탄소 나노 튜브층360: carbon nanotube layer

본 발명은 플라즈마 표시 패널 및 그 형성 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 플라즈마 표시 패널에서의 방전과 관련된 전극 및 전자 방출막 구성에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel and a method of forming the same, and more particularly, to an electrode and an electron emission film structure related to discharge in a plasma display panel.

플라즈마 표시장치는 대향하는 두 개의 기판에 각각 전극을 형성하고, 일정 간격을 가지도록 겹쳐 내부에 방전 가스를 주입한 후 밀봉하여 형성하는 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel:PDP, 이하 패널과 혼용함)을 이용한 평판형 표시장치를 말한다. 플라즈마 표시장치는 플라즈마 디스플레이 패널을 형성한 뒤, 패널의 각 전극과 연결되는 구동 회로 등 화면 구현에 필요한 요소들을 설치하여 이루어진다.Plasma display panels are formed by forming electrodes on two opposing substrates, overlapping them at regular intervals, injecting a discharge gas therein, and sealing the plasma display panel (PDP). Refers to a flat panel display device. The plasma display device is formed by forming a plasma display panel and installing elements necessary for screen realization such as a driving circuit connected to each electrode of the panel.

플라즈마 표시 패널에서는 화면을 표시하기 위한 수많은 화소가 매트릭스 형태로 배열된다. 플라즈마 표시 패널에서 각 화소는 그 구동을 위한 능동 소자 없이 그 화소를 위에서 볼 때 격자 상태로 교차하는 가로 전극 및 세로 전극에 전압을 인가하는 방식, 즉, 수동 매트릭스 방식으로 구동된다. 각 전극을 구동하기 위한 전압 신호의 형태에 따라 플라즈마 표시 패널은 직류형과 교류형으로 구분될 수 있으며, 유지 방전 전압이 인가되는 두 전극의 배치에 따라 대향형, 면방전형 등으로 나눌 수 있다. In the plasma display panel, many pixels for displaying a screen are arranged in a matrix form. In the plasma display panel, each pixel is driven in a manner of applying a voltage to a horizontal electrode and a vertical electrode that intersect in a lattice state when viewed from above without an active element for driving the pixel, that is, a passive matrix method. The plasma display panel may be classified into a direct current type and an alternating current type according to the shape of the voltage signal for driving each electrode, and may be divided into an opposing type and a surface discharge type according to the arrangement of the two electrodes to which the sustain discharge voltage is applied.

교류형의 경우, 전극이 유전층으로 덮이므로 자연스럽게 정전용량을 가지게 되며, 전극을 흐르는 전류가 제한되고, 방전시의 이온충격으로부터 전극 보호가 용이하게 된다. 그 결과 전극 수명도 길어진다. 전극을 덮는 유전층 위에 보호막을 형성할 경우, 방전셀 내에 인가되는 전압에 의해 셀 내의 대전 입자가 전극을 덮는 유전층을 타격하여 유전층이 열화되고 전극이 드러나거나 파손되어 표시 장치의 수명이 줄어드는 문제를 더욱 잘 방지할 수 있다. In the case of the alternating current type, since the electrode is covered with the dielectric layer, it naturally has a capacitance, the current flowing through the electrode is limited, and the electrode is easily protected from the ion shock during discharge. As a result, the electrode lifetime is also long. When the protective film is formed on the dielectric layer covering the electrode, the charged particles in the cell strike the dielectric layer covering the electrode due to the voltage applied in the discharge cell, thereby deteriorating the dielectric layer and exposing or breaking the electrode, thereby reducing the life of the display device. You can prevent it well.

도1은 종래의 면방전형 플라즈마 표시 패널 방전셀 구조의 일 예를 나타내는 사시도이다. 그 구성을 간단히 살펴보면, 하부에 도시된 배면 기판(210)에는 어드레스 전극(220)이 좌우로 설치되고, 어드레스 전극 위에는 유전층(230)이 형성되고, 유전층(230) 위에 다시 격벽(240)이 형성된다. 격벽이 형성된 하부 기판에는 형광체층(250)이 적층된다.1 is a perspective view showing an example of a structure of a discharge cell of a conventional surface discharge type plasma display panel. Looking at the configuration briefly, the address electrode 220 is provided on the rear substrate 210 shown below, the dielectric layer 230 is formed on the address electrode, and the partition wall 240 is formed on the dielectric layer 230 again. do. The phosphor layer 250 is stacked on the lower substrate on which the partition wall is formed.

배면 기판(210)과 정렬 봉착되어 패널을 이루는 상부의 전면 기판(110)은 패널의 화면을 이루며, 전면 기판(110) 내면에는 두 종류의 유지전극(120,130)이 형성된다. 유지전극은 어드레스 전극(220)과 수직하게 가로지르도록 형성되며, 투명전극 패턴(121,131) 및 버스 전극 패턴(125,135)을 구비한다. 유지전극이 형성된 기판 전면에 유전층(140)이 형성되고, 유전층(140)에는 다시 보호막(150)이 적층된다. The front substrate 110 of the upper substrate 110 aligned with the rear substrate 210 to form a panel forms a screen of the panel, and two types of sustain electrodes 120 and 130 are formed on the inner surface of the front substrate 110. The sustain electrode is formed to cross the address electrode 220 vertically, and includes the transparent electrode patterns 121 and 131 and the bus electrode patterns 125 and 135. The dielectric layer 140 is formed on the entire surface of the substrate on which the sustain electrode is formed, and the passivation layer 150 is again stacked on the dielectric layer 140.

이때, 보호막을 너무 두껍게 형성할 경우, 기판에 보호막을 적층하는 데 장시간이 소모되고, 재료 및 공정 비용이 증가하는 문제가 있다. 또한 보호막의 투명도가 낮을 경우 전면으로 방출되는 가시광선의 양이 줄어들고 휘도가 감소된다. 따라서 보호막은 얇은 막으로 하전입자에 의한 충격을 잘 견딜 수 있어야 하며, 투명 한 것이 바람직하다. 보호막으로는 산화마그네슘(MgO)이 많이 사용된다. 산화마그네슘은 가속된 하전입자의 충격에 잘 견디고, 또한 입자 충돌시 2차 전자를 많이 방출할 수 있다는 장점을 가진다. 보호막에서 2차 전자를 많이 방출할 경우, 가령, 도1과 같은 방전셀 구조를 갖는 면방전형 플라즈마 표시 패널에서 어드레스 방전시 발생한 하전 입자들이 방전 셀 내의 유지 전극들 주변에 축적되어 메모리 효과에 의해 유지 방전시에 방전 개시 전압을 낮출 수 있다는 이점이 있다. At this time, when the protective film is formed too thick, it takes a long time to laminate the protective film on the substrate, there is a problem that the material and the process cost increases. In addition, when the transparency of the protective film is low, the amount of visible light emitted to the front side is reduced and the luminance is reduced. Therefore, the protective film is a thin film that must withstand the impact of the charged particles, it is preferable that the transparent. Magnesium oxide (MgO) is used a lot as a protective film. Magnesium oxide has the advantage of being able to withstand the impact of accelerated charged particles well, and also emit a lot of secondary electrons upon particle collision. When a large amount of secondary electrons are emitted from the passivation layer, charged particles generated during address discharge in a surface discharge plasma display panel having a discharge cell structure as shown in FIG. 1 are accumulated around sustain electrodes in the discharge cell and maintained by a memory effect. There is an advantage that the discharge start voltage can be lowered at the time of discharge.

그런데, 저전력화, 구동전압의 저하 추세에 따라 보다 구동 전압을 보다 낯추기 위해 이차 전자 방출 계수가 기존의 산화마그네슘보다 높은 물질 사용이 강하게 요청되고 있다. 동시에 이런 물질이 기존의 산화마그네슝이 가지고 있는 장점들을 갖출 것이 요청되고 있다.However, in accordance with the trend of lowering power and lowering the driving voltage, the use of a material having a secondary electron emission coefficient higher than that of the conventional magnesium oxide is strongly required to reduce the driving voltage. At the same time, it is required that these materials have the advantages of conventional Magnesium oxide.

그러나, 이런 특성 혹은 장점을 동시에 만족하는 물질을 찾는 것은 매우 어려워 문제가 된다. However, finding a material that satisfies these characteristics or advantages at the same time is very difficult and problematic.

본 발명은 종래 플라즈마 표시 패널에 사용된 산화마그네슘에 비해 높은 하전입자 발생 특성을 가지는 물질을 채택한 플라즈마 표시 패널 및 그 형성방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a plasma display panel adopting a material having a higher charge particle generation characteristic than that of magnesium oxide used in a conventional plasma display panel and a method of forming the same.

또한, 본 발명은 2차 전자 방출 물질이 방전셀에서 발생한 가시광을 전면으로 잘 방출시킬 수 있는 구성을 가지는 플라즈마 표시 패널 및 그 형성 방법을 제공하는 것을 추가적인 목적으로 한다.In addition, another object of the present invention is to provide a plasma display panel and a method for forming the same, wherein the secondary electron emission material can emit visible light generated in the discharge cell to the front.

본 발명은 방전 개시 전압을 낮출 수 있고, 소비 전력을 낮춘 고효율의 플라즈마 표시 패널 및 그 형성 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. An object of the present invention is to provide a high efficiency plasma display panel capable of lowering a discharge start voltage and lowering power consumption, and a method of forming the same.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 표시 패널은, 두 기판과, 두 기판 사이에 설치되어 방전 셀의 영역을 구획하는 격벽, 두 기판 사이에 설치되어 방전 셀의 구동을 담당하는 복수의 구동용 전극, 두 기판 및 실링재로 밀봉된 공간에 채워지는 방전 가스 및 방전 셀에 설치되는 형광체층을 구비하며, 구동용 전극은 유전체로 커버되고, 구동용 전극 가운데 적어도 표시 방전에 개입되는 한 전극에 대응되는 영역의 유전체 표면에 전자방출효율이 산화마그네슘보다 높은 고효율전자방출물질층이 적층되는 것을 특징으로 한다. Plasma display panel of the present invention for achieving the above object is, a plurality of driving for discharging the discharge cell is provided between the two substrates, the partition wall is partitioned between the two substrates, partitioning the area of the discharge cell, the two substrates An electrode, two substrates, and a discharge gas filled in a space sealed with a sealing material and a phosphor layer provided in the discharge cell, wherein the driving electrode is covered with a dielectric and corresponds to at least one electrode intervening in display discharge among the driving electrodes; The electron emitting material layer having a higher electron emission efficiency than that of magnesium oxide is laminated on the dielectric surface of the region.

본 발명에서 고효율전자방출물질층은 불투명한 재질로 이루어지고, 구동용 전극 가운데 유지 전극의 불투명한 버스 전극과 적어도 일부 폭이 겹치도록 이루어질 수 있다. In the present invention, the high-efficiency electron emission material layer is made of an opaque material, and may be formed to overlap at least a portion of the driving electrode with the opaque bus electrode of the sustain electrode.

본 발명에서 구동용 전극은 면방전형으로 이루어져 두 종류의 유지전극은 대부분의 가시광이 방출되는 전면 기판에 형성되는 것일 수 있다. 이때, 전방에서 볼 때 유지전극의 버스 전극을 포함하도록 겹치는 영역에 한정하여 고효율전자방출물질층이 형성되고, 전면 기판에 전체적으로 유전체 표면에 산화마그네슘층이 적층될 수도 있다.In the present invention, the driving electrode is a surface discharge type, two types of sustain electrodes may be formed on the front substrate to which most of the visible light is emitted. In this case, the high efficiency electron emission material layer may be formed in a region overlapping to include the bus electrode of the sustain electrode when viewed from the front, and the magnesium oxide layer may be laminated on the entire surface of the dielectric substrate.

본 발명에서 높은 전자방출효율을 가진 물질층은 탄소나노튜브(CNT)를 포함 하는 물질층, MgF2 일 수 있다. In the present invention, the material layer having a high electron emission efficiency may be a material layer including carbon nanotubes (CNT), MgF 2 .

본 발명의 플라즈마 표시 패널 형성 방법은, 전면 기판에 투명전극 패턴을 형성하는 단계, 투명전극 패턴과 겹치는 버스 전극 패턴을 형성하는 단계, 투명전극 패턴 및 버스 전극 패턴이 형성된 기판면에 유전층을 형성하는 단계, 유전층 표면 가운데 버스 전극 패턴과 적어도 일부 겹치는 영역에 고효율전자방출물질층을 형성하는 단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the plasma display panel forming method of the present invention, forming a transparent electrode pattern on a front substrate, forming a bus electrode pattern overlapping the transparent electrode pattern, and forming a dielectric layer on the substrate surface on which the transparent electrode pattern and the bus electrode pattern are formed. And forming a high efficiency electron emission material layer in a region at least partially overlapping with the bus electrode pattern on the surface of the dielectric layer.

본 발명 방법에서 버스 전극 패턴 형성 단계와 투명전극 패턴 형성 단계는 순서가 서로 바뀔 수 있으며, 본 발명의 고효율전자방출물질층 형성 단계 전 혹은 후에는 유전층 전체에 걸쳐 혹은 고효율전자방출물질층이 형성된 영역 외의 영역에 선택적으로 보호막을 형성하는 단계가 더 구비될 수 있다. In the method of the present invention, the bus electrode pattern forming step and the transparent electrode pattern forming step may be reversed, and before or after the step of forming the high efficiency electron emission material layer of the present invention, the entire dielectric layer or the region in which the high efficiency electron emission material layer is formed. The method may further include selectively forming a protective film on the outer region.

이하 도면을 참조하면서 실시예를 통해 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도2는 본 발명의 일 실시예에서 방전셀의 격벽 및 전극 구조를 나타내는 단면 사시도이며, 도3은 도2의 AA 선에 따른 단면도이다. FIG. 2 is a cross-sectional perspective view illustrating a barrier rib and an electrode structure of a discharge cell in one embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.

도2 및 도3을 참조하면, 배면 기판(210)에는 금속 재질의 불투명한 어드레스 전극(220)이 화면의 종방향으로 나란히 형성되고, 어드레스 전극(220) 위로는 유전층(230)이 형성된다. 유전층(230) 위로 격벽이 형성된다. 격벽(440)은 본 실시예에서는 각 방전셀을 사방으로 구획시키는 격자형으로 이루어지나, 어드레스 전극(220)과 나란한 종방향 격벽만 형성되고 횡방향 격벽은 형성되지 않을 수도 있다. 2 and 3, an opaque address electrode 220 made of metal is formed side by side in the longitudinal direction of the screen, and a dielectric layer 230 is formed on the address substrate 220. A partition wall is formed over the dielectric layer 230. In the present embodiment, the partition wall 440 is formed in a lattice shape to divide each discharge cell in all directions, but only a longitudinal partition wall parallel to the address electrode 220 may be formed, and a horizontal partition wall may not be formed.

격벽(440)이 형성된 배면 기판(210)에는 형광체층(450)이 적층된다. 형광체층은 종방향으로 길게 연결된 방전셀 열에 RGB 등 3가지 색상이 순서에 따라 반복적으로 설치된다. 형광체는 격벽 표면과 배면 기판 내면에 적층된다.The phosphor layer 450 is stacked on the back substrate 210 on which the partition wall 440 is formed. In the phosphor layer, three colors such as RGB are repeatedly installed in a row of discharge cells connected in a longitudinal direction. The phosphor is laminated on the partition surface and the inner surface of the rear substrate.

한편 전면 기판(110)에는 화면을 기준으로 횡방향으로 유지전극(120,130)이 설치된다. 유지전극은 투명전극 패턴(121,131)과 버스전극 패턴(125,135)을 구비하여 이루어지며, 각 방전셀에 스캔 유지 전극(120)과 공통 유지 전극(130)이 각각 지나도록 이루어진다. 각 방전셀에서 버스전극 패턴(125,135)은 상하단쪽으로 치우쳐 형성되고, 투명전극 패턴(121,131)은 각 방전셀에서 그 일단이 버스 전극 패턴(125,135)과 겹쳐 접속되고, 다른 일단은 방전셀의 종방향 중앙을 향해 뻗어있다. Meanwhile, sustain electrodes 120 and 130 are installed on the front substrate 110 in the horizontal direction with respect to the screen. The sustain electrode includes the transparent electrode patterns 121 and 131 and the bus electrode patterns 125 and 135, and the scan sustain electrode 120 and the common sustain electrode 130 pass through each discharge cell. In each discharge cell, the bus electrode patterns 125 and 135 are formed to be biased upward and downward, and one end of the transparent electrode patterns 121 and 131 overlaps with the bus electrode patterns 125 and 135 in each discharge cell, and the other end thereof is in the longitudinal direction of the discharge cell. Stretched towards the center

유지전극(120,130)이 형성된 기판면 위로는 유전층(140)이 기판 전면에 걸쳐 적층되어 있다. 유전층(140)은 투명한 유리질로 형성되어 방전셀 내에서 발생한 가시광이 전면 기판(110)을 통해 손실되지 않고 높은 비율로 방출될 수 있도록 한다. 탄소 나노 튜브층(360)은 유전층(140) 위로 유지전극 가운데 버스 전극 패턴(125,135)과 겹치되 각 방전셀마다 나뉘어진 패턴으로 설치될 수도 있다. 각 방전 셀에서 두 유지 전극의 버스 전극 패턴 사이의 유전층(140) 표면에는 보호막(350)으로 산화마그네슘(MgO)막이 형성된다. 이런 구성에서 탄소 나노 튜브층은 불투명하게 형성되어도 역시 불투명하게 형성되는 버스 전극과 겹쳐지므로 방전셀의 개구율에 추가적 손실을 가져오지 않는다. 탄소 나노 튜브층(360)이 방전셀 별로 분할 형성될 경우, 도전성을 가지는 탄소 나노 튜브층(360)을 따라 인접 방전셀 사이에 축적된 이차 하전입자가 확산되면서 이차 하전입자의 집적도가 떨어지는 현상을 방 지할 수 있다. A dielectric layer 140 is stacked over the entire surface of the substrate on which the sustain electrodes 120 and 130 are formed. The dielectric layer 140 is formed of transparent glass so that visible light generated in the discharge cell can be emitted at a high rate without being lost through the front substrate 110. The carbon nanotube layer 360 may overlap the bus electrode patterns 125 and 135 among the sustain electrodes on the dielectric layer 140, but may be disposed in a divided pattern for each discharge cell. In each discharge cell, a magnesium oxide (MgO) film is formed on the surface of the dielectric layer 140 between the bus electrode patterns of the two sustain electrodes as the passivation layer 350. In this configuration, the carbon nanotube layer overlaps with the bus electrode, which is also opaque even if it is opaque, and thus does not cause additional loss in the aperture ratio of the discharge cell. When the carbon nanotube layer 360 is divided into discharge cells, secondary charged particles accumulated between adjacent discharge cells are diffused along the conductive carbon nanotube layer 360 to reduce the degree of integration of secondary charged particles. You can prevent it.

그리고, 탄소 나노 튜브층(360)은 가장 전계가 집중되고 방전이 활발한 영역 가운데 일부인 버스 전극 패턴(125,135)과 겹쳐 형성되므로 어드레스 방전 등에서 많은 이차 하전 입자를 발생시켜 주변에 축적하고 다음의 유지 방전 등에서 방전 개시 전압을 낯추는 효과를 높일 수 있다. 물론 산화마그네슘 보호막(350)은 투명전극 패턴(121,131) 위에서 이차적 하전 입자를 발생시키고 축적하는 기능을 종래와 같이 하게 되며, 특히 유지 방전시에는 투명전극 패턴(121,131) 사이의 갭에서 활발히 일어나는 방전 과정에서 이차적 하전 입자를 발생시키고 축적하는 역할을 한다. In addition, since the carbon nanotube layer 360 overlaps with the bus electrode patterns 125 and 135 which are some of the most concentrated electric fields and actively discharges, the carbon nanotube layer 360 generates a large number of secondary charged particles in the address discharge and accumulates in the surroundings, The effect of reducing the discharge start voltage can be enhanced. Of course, the magnesium oxide protective film 350 has a function of generating and accumulating secondary charged particles on the transparent electrode patterns 121 and 131 as in the related art. In particular, during the sustain discharge, the magnesium oxide protective film 350 actively discharges in the gap between the transparent electrode patterns 121 and 131. It generates and accumulates secondary charged particles in.

탄소 나노 튜브층(360)은 탄소 나노 튜브를 바인더와 섞어서 형성한 것으로 그 표면에 미세한 탄소 나노 튜브 다수가 돌출된 형태를 이루는 것이 바람직하다. The carbon nanotube layer 360 is formed by mixing carbon nanotubes with a binder, and a plurality of fine carbon nanotubes protrude from the surface thereof.

이상과 같이 배면 기판(210)과 전면 기판(110)에 격벽(440)과 전극 등 기본 구조가 형성되면 두 기판을 정렬하여 봉착한다. 봉착을 위해 통상 기판 주변부에 저융점 유리를 주성분으로 하는 실링용 플릿 글래스(미도시)를 이용한다. 봉착이 끝난 후에는 내부의 공기를 제거하고 플라즈마 방전을 위한 방전 가스 주입이 이루어진다. 방전 가스 주입후에는 주입구를 융착시켜 방전 가스가 주입된 공간을 밀봉시킨다. When the basic structure such as the partition wall 440 and the electrode is formed on the back substrate 210 and the front substrate 110 as described above, the two substrates are aligned and sealed. For sealing, a fleet glass (not shown) for sealing mainly containing low melting point glass as a main component is used at the periphery of the substrate. After sealing is completed, the air inside is removed and discharge gas injection for plasma discharge is performed. After the discharge gas is injected, the injection port is fused to seal the space in which the discharge gas is injected.

본 실시예에서 본 발명의 고효율전자방출물질층으로 탄소 나노 튜브가 사용되나 다른 탄소 화합물이나 금속 산화물이 사용될 수도 있다. 또한, 본 실시예에서 탄소 나노 튜브층과 산화마그네슘 보호막은 방전셀 내에서 전면 기판에 겹치지 않 도록 영역을 나누어 적층하나 도4의 다른 실시예와 같이 먼저 탄소 나노 튜브층(360)을 형성한 뒤 그 위로 혹은 탄소 나노 튜브층을 형성하기 전에 산화마그네슘 보호막(550)을 유전층(140) 전면에 적층하는 것도 가능하다. 단, 이 경우 탄소 나노 튜브의 말단이 산화마그네슘 보호막(550) 위로 일부 돌출되게 형성되는 것이 바람직하다.In this embodiment, carbon nanotubes are used as the high efficiency electron emission material layer of the present invention, but other carbon compounds or metal oxides may be used. In addition, in the present embodiment, the carbon nanotube layer and the magnesium oxide protective layer are laminated by dividing the regions so as not to overlap the front substrate in the discharge cell, but as shown in the other embodiment of FIG. 4, first, the carbon nanotube layer 360 is formed. It is also possible to deposit the magnesium oxide protective film 550 over the dielectric layer 140 before or on the carbon nanotube layer. However, in this case, the ends of the carbon nanotubes are preferably formed to partially protrude over the magnesium oxide protective film 550.

또한 본 실시예에서는 면방전형 3전극 구조를 나타내고 있으나, 방전시 이차 전자 방출을 유도하고 이때 발생한 대전입자를 이용하여 다음 방전의 전압을 낮추는 어떤 형태의 방전 전극 구조에서도 일정 전극 외측 유전층 표면에 고효율전자방출물질층을 형성하는 형태로 본 발명을 적용할 수 있다. 또한 이 실시예는 칼라 표시를 위한 각 화소 내에서의 방전셀 배열에 대해서는 3가지 형광체의 스트라이프 배열에 대해 예시하고 있으나 델타 배열도 모두 가능할 것이다. In addition, although the surface discharge type three-electrode structure is shown in the present embodiment, any type of discharge electrode structure that induces secondary electron emission upon discharge and lowers the voltage of the next discharge by using the charged particles generated at this time has high efficiency electrons on the surface of the dielectric layer outside the constant electrode. The present invention can be applied in the form of an emitter layer. This embodiment also exemplifies the stripe arrangement of the three phosphors for the discharge cell arrangement in each pixel for color display, but all of the delta arrangements may be possible.

이하, 본 발명의 방법을 단계별로 좀 더 살펴본다. 본 발명 방법에서 배면 기판의 형성 과정은 종래의 일반적인 방법들과 유사하게 이루어질 수 있으므로 전면 기판의 형성과정에 주안점을 두어 살펴본다. Hereinafter, the method of the present invention will be described in more detail step by step. Since the process of forming the back substrate in the method of the present invention can be made similar to the conventional general methods, the focus is on the process of forming the front substrate.

먼저 도5a와 같이 전면 기판(110)에는 유지전극(120,130)이 형성된다. 유지 전극 형성 전에 유리 기판에 전극 형성을 용이하게 하는 버퍼층(미도시)을 형성하는 단계가 더 있을 수 있다. 기판에는 투명전극 패턴(121,131)과 버스전극 패턴(125,135)이 차례로 형성된다. First, sustain electrodes 120 and 130 are formed on the front substrate 110 as shown in FIG. 5A. There may further be forming a buffer layer (not shown) to facilitate electrode formation on the glass substrate prior to forming the storage electrode. The transparent electrode patterns 121 and 131 and the bus electrode patterns 125 and 135 are sequentially formed on the substrate.

투명전극 패턴(121,131)은 인듐 틴 옥사이드(ITO)층을 증착이나 스퍼터링으로 기판 전면에 형성한 뒤 포토리소그래피를 이용하여 패터닝하는 방법 등으로 형 성할 수 있다. 버스 전극 패턴(125,135)은 투명전극 패턴과 겹치게 형성하며, 방전셀의 개구율을 높이기 위해 그 선폭을 70 마이크로 메타 정도로 좁게 형성하되 도전성이 높은 금속으로 형성하는 것이 바람직하다. 버스 전극 패턴은 인쇄 등을 통해 직접적으로 형성하거나, 광반응성 물질을 포함한 전극 물질을 전체적으로 기판에 도포한 뒤 포토리소그래피를 이용하여 패터닝하여 얻을 수 있다. 금속막을 먼저 적층한 뒤 포토레지스트를 이용하여 포토리소그래피를 실시하여 버스 전극 패턴을 얻을 수도 있다. The transparent electrode patterns 121 and 131 may be formed by forming an indium tin oxide (ITO) layer on the entire surface of the substrate by deposition or sputtering, and then patterning the same using photolithography. The bus electrode patterns 125 and 135 are formed to overlap the transparent electrode pattern, and in order to increase the opening ratio of the discharge cells, the bus electrode patterns 125 and 135 may be formed to have a narrow line width of about 70 micrometers, but may be formed of a highly conductive metal. The bus electrode pattern may be directly formed through printing, or may be obtained by applying an electrode material including a photoreactive material to the substrate as a whole and patterning the photolithography. The metal film may be laminated first, followed by photolithography using a photoresist to obtain a bus electrode pattern.

도5b를 참조하면, 유지 전극(120,130)이 형성된 기판 전면에 결쳐 유전층(140)이 적층된다. 유전층(140)은 화학적 증착 등으로 이루어질 수도 있으나 통상 인쇄 기법을 통해 형성될 수 있다. 유전층(140)은 방전셀 내의 플라즈마 방전에서 나온 자외선이 형광체를 자극하여 발생시키는 해당 파장의 가시 광선이 유전층(140)을 통과할 때 반사나 흡수가 적은 물질을 사용하여 형성하며, 글래스 재질로 형성될 수 있다. 유전층(140)은 투명 전극이나 버스 전극 패턴에 비해 두껍게 형성되어 기판에 유지전극(120,130)이 형성된 상태에서 생기는 단차를 해소하여 기판 상에 평탄화된 면을 형성할 수 있다. Referring to FIG. 5B, the dielectric layer 140 is stacked on the entire surface of the substrate on which the storage electrodes 120 and 130 are formed. The dielectric layer 140 may be formed by chemical vapor deposition or the like, but may be formed through a conventional printing technique. The dielectric layer 140 is formed using a material having a low reflection or absorption when visible light having a corresponding wavelength generated by ultraviolet rays emitted from the plasma discharge in the discharge cell passes through the dielectric layer 140. Can be. The dielectric layer 140 may be formed thicker than the transparent electrode or bus electrode pattern, thereby eliminating a step that occurs when the sustain electrodes 120 and 130 are formed on the substrate, thereby forming a planarized surface on the substrate.

이어서, 버스 전극 패턴(125,135)과 겹치도록 각 방전셀마다 고효율전자방출물질 패턴을 형성한다. 이 패턴은 탄소 나노 튜브층(360)으로 형성할 수 있다. 탄소 나노 튜브층(360)은 탄소 나노 튜브를 바인더 및 용매와 섞어 슬러리 형태의 점도를 갖는 물질을 형성하고, 버스 전극 형성과 유사하게, 인쇄, 포토리소그래피 등의 방법으로 패턴을 형성한다. 인쇄에서는 잉크젯 방식의 인쇄도 가능하다.Subsequently, a high efficiency electron emission material pattern is formed in each discharge cell so as to overlap the bus electrode patterns 125 and 135. This pattern may be formed of the carbon nanotube layer 360. The carbon nanotube layer 360 mixes the carbon nanotubes with a binder and a solvent to form a material having a viscosity in a slurry form, and similarly forms a pattern by printing, photolithography, or the like similar to bus electrode formation. In printing, inkjet printing is also possible.

최초의 패턴은 유동성이 있는 물질층으로 이루어지므로 소성 등의 가공을 통해 용매를 제거하고 바인더와 탄소 나노 튜브로 이루어진 패턴을 형성하게 된다. 이 패턴의 표면에는 많은 탄소 나노 튜브가 드러나고 표면에 밀착된 상태를 이룰 수 있다. 이때 정전기 가공 등을 통해 탄소 나노 튜브가 바인더와 함께 이루는 표면에서 외측으로 뻗쳐서 돌출된 형태를 이루게 할 수도 있다. Since the first pattern is made of a fluid material layer, the solvent is removed through a process such as firing to form a pattern consisting of a binder and carbon nanotubes. Many carbon nanotubes are exposed on the surface of this pattern and can be in close contact with the surface. In this case, the carbon nanotubes may be formed to protrude outward from the surface formed with the binder through electrostatic processing.

도5c를 참조하면, 탄소 나노 튜브층(360)이 각 방전 셀에서 버스 전극(125,135)과 겹치도록 형성된 상태에서 탄소 나노 튜브층 사이의 유전층(140) 표면에는 투명전극 패턴 및 투명전극 패턴 사이의 갭을 덮도록 보호막(350)이 형성된다. 보호막(350)은 산화마그네슘으로 통상 이루어질 수 있다. 보호막은 도시된 바와 달리 기판 전면에 형성될 수 있다. 산화마그네슘층은 통상 이온빔 증착이나, 스퍼터링 등으로 형성될 수 있다. 산화마그네슘막은 화면에서 개구율을 높이기 위해 1마이크로메타보다 얇은 6000 내지 7000 옹스트롬 두께로 형성한다. 탄소 나노 튜브층(360) 사이의 영역에 한정되게 패턴을 형성하기 위해서는 전면 적층된 상태에서 포토리소그래피를 이용한 패터닝 작업이 더 이루어질 수 있다. Referring to FIG. 5C, the carbon nanotube layer 360 is formed to overlap with the bus electrodes 125 and 135 in each discharge cell. The dielectric layer 140 between the carbon nanotube layers is disposed between the transparent electrode pattern and the transparent electrode pattern. The passivation layer 350 is formed to cover the gap. The passivation layer 350 may be usually made of magnesium oxide. The protective film may be formed on the entire surface of the substrate, as illustrated. The magnesium oxide layer can usually be formed by ion beam deposition, sputtering, or the like. The magnesium oxide film is formed to a thickness of 6000 to 7000 angstroms thinner than 1 micrometer to increase the aperture ratio on the screen. In order to form a pattern in a limited area between the carbon nanotube layers 360, a patterning operation using photolithography may be further performed in a fully stacked state.

본 발명에 따르면 플라즈마 표시 장치에서 종래의 산화마그네슘에 비해 높은 하전입자 발생 특성을 가지는 물질을 통해 전극 주변에 하전 입자를 축적하여 다음 방전의 방전 개시 전압을 낮출 수 있고, 소비 전력을 낮출 수 있다. According to the present invention, charged particles can be accumulated around the electrode through a material having higher charged particle generation characteristics than that of conventional magnesium oxide, thereby lowering the discharge start voltage of the next discharge and lowering power consumption.

또한, 본 발명은 구성에 따라 2차 전자 방출 물질이 불투명한 버스 전극과 겹쳐 형성되어 방전셀에서 발생한 가시광의 방사면을 좁혀 개구율을 떨어뜨림이 없이도 유지 방전을 용이하게 이루어지도록 할 수 있다.In addition, according to the configuration, the secondary electron emission material may be formed to overlap with the opaque bus electrode to narrow the radiation surface of the visible light generated in the discharge cell so that the sustain discharge can be easily performed without dropping the aperture ratio.

Claims (11)

일정 간격을 가지고 이격되어 주변의 실링재와 함께 밀봉된 공간을 형성하는 두 기판, 상기 두 기판 사이에서 상기 공간을 구획하는 격벽, 화상 표시를 위한 구동용 전극, 상기 공간을 채우는 방전 가스, 상기 기판과 격벽면의 적어도 일부에 적층되는 형광체층을 구비하여 이루어지는 플라즈마 표시 패널에 있어서,Two substrates spaced at regular intervals to form a sealed space together with a surrounding sealing material, partition walls partitioning the space between the two substrates, a driving electrode for displaying an image, a discharge gas filling the space, and the substrate; A plasma display panel comprising a phosphor layer laminated on at least part of a partition wall surface, 상기 구동용 전극은 유전체로 커버되고, 상기 구동용 전극 가운데 적어도 표시 방전에 개입되는 한 전극에 대응되는 영역의 상기 유전체 표면에 입자 충돌시 2차전자방출효율이 높은 고효율전자방출물질층이 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널. The driving electrode is covered with a dielectric, and a high-efficiency electron emission material layer having a high secondary electron emission efficiency is formed on the surface of the dielectric in the region corresponding to one electrode among the driving electrodes at least involved in display discharge. And a plasma display panel. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고효율전자방출물질층은 불투명한 재질로 이루어지고, The high efficiency electron emission material layer is made of an opaque material, 상기 구동용 전극 가운데 유지 전극의 불투명한 버스 전극과 적어도 일부 폭이 겹치도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.And at least a part of a width of the driving electrode overlapping with an opaque bus electrode of the sustain electrode. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 구동용 전극은 3전극 면방전형으로 이루어져 두 종류의 유지전극을 포함하며, 상기 유지전극은 화면을 이루는 전면(前面) 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.The driving electrode includes a three-electrode surface discharge type and includes two types of sustain electrodes, and the sustain electrodes are formed on a front substrate forming a screen. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 고효율전자방출물질층은 상기 전면 기판에 상기 유지 전극의 버스 전극과 겹치도록 형성되고, 상기 고효율전자방출물질층이 형성된 상기 전면 기판에 전체적으로 산화마그네슘층이 적층된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.Wherein the high efficiency electron emission material layer is formed on the front substrate so as to overlap with the bus electrode of the sustain electrode, and a magnesium oxide layer is entirely laminated on the front substrate on which the high efficiency electron emission material layer is formed. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 고효율전자방출물질층은 상기 전면 기판에 상기 유지 전극의 버스 전극과 겹치도록 형성되고, 각 방전셀에서 상기 고효율전자방출물질층이 형성된 영역의 사이 영역에 산화마그네슘층이 적층된 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.The high efficiency electron emission material layer is formed on the front substrate so as to overlap with the bus electrode of the sustain electrode, and a magnesium oxide layer is stacked between the areas where the high efficiency electron emission material layer is formed in each discharge cell. Plasma display panel. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고효율전자방출물질층은 탄소 나노 튜브를 포함하는 성분으로 이루어지는 것임을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.And the high efficiency electron emission material layer is made of a component including carbon nanotubes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 고효율전자방출물질층은 방전셀 별로 분리되도록 형성됨을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널.The high efficiency electron emission material layer is formed so as to be separated for each discharge cell. 전면 기판에 투명전극 패턴을 형성하는 단계, Forming a transparent electrode pattern on the front substrate; 상기 전면 기판에 버스 전극 패턴을 형성하는 단계, Forming a bus electrode pattern on the front substrate; 상기 투명전극 패턴 및 상기 버스 전극 패턴이 형성된 상기 전면 기판에 유전층을 형성하는 단계, Forming a dielectric layer on the front substrate on which the transparent electrode pattern and the bus electrode pattern are formed; 상기 유전층 표면 가운데 상기 버스 전극 패턴과 적어도 일부 겹치는 영역에 고효율전자방출물질층을 형성하는 단계를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널 형성방법.And forming a high efficiency electron emission material layer in a region of the dielectric layer at least partially overlapping the bus electrode pattern. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 고효율전자방출물질층 형성 단계 전 혹은 후에는 상기 유전층 전체에 걸쳐 혹은 상기 고효율전자방출물질층이 형성된 영역 외의 영역에 선택적으로 보호막을 형성하는 단계가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널 형성 방법.Before or after the forming of the high efficiency electron emission material layer, the method of forming a plasma display panel further comprises selectively forming a protective film over the entire dielectric layer or in a region other than the region where the high efficiency electron emission material layer is formed. . 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 고효율전자방출물질층을 형성하는 단계는 고효율전자방출물질을 바인더 및 용제와 섞어 슬러리 형태로 만드는 단계,Forming the high efficiency electron emission material layer is a step of mixing the high efficiency electron emission material with a binder and a solvent to form a slurry, 상기 슬러리를 이용해 인쇄 기법으로 전면 기판의 해당 영역에 고효율전자방출물질층으로 패턴을 형성하는 단계 및Forming a pattern of a highly efficient electron emission material layer in a corresponding region of the front substrate by a printing technique using the slurry; and 상기 패턴에 대한 소성 가공을 실시하여 상기 용제를 제거하는 단계를 종속적으로 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널 형성 방법.And subjecting the pattern to plastic processing to remove the solvent dependently. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 고효율전자방출물질은 탄소 나노 튜브를 포함하며, The high efficiency electron emitting material includes carbon nanotubes, 상기 패턴의 표면에 대한 정전가공을 통해 상기 탄소 나노 튜브를 상기 표면으로부터 돌출된 상태로 가공하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시 패널 형성 방법.And processing the carbon nanotubes protruding from the surface by electrostatic machining on the surface of the pattern.
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