KR20060128170A - Wafer transfer apparatus - Google Patents

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KR20060128170A
KR20060128170A KR1020050049392A KR20050049392A KR20060128170A KR 20060128170 A KR20060128170 A KR 20060128170A KR 1020050049392 A KR1020050049392 A KR 1020050049392A KR 20050049392 A KR20050049392 A KR 20050049392A KR 20060128170 A KR20060128170 A KR 20060128170A
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김주배
김용목
최호진
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삼성전자주식회사
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Abstract

A wafer transfer apparatus is provided to exactly sense a positioning state of a wafer by using a left and a right sensor. A wafer is positioned at a robot chuck(110). Vertical sensors(120a,120b) are installed at an upper portion and a lower portion of the robot chuck to be spaced apart from each other, and senses the wafer positioned at the robot chuck. Left and right sensors(140a,140b) are installed at the robot chuck parallel to each other. The left and right sensors judge whether or not the wafer is horizontally positioned at the robot chuck. Sensor guides(130) are installed at both sides of the robot chuck, and the left and right sensors are attached to the sensor guide.

Description

웨이퍼 이송 장치{WAFER TRANSFER APPARATUS}Wafer Transfer Device {WAFER TRANSFER APPARATUS}

도 1은 종래 웨이퍼 이송 장치의 평면도이다.1 is a plan view of a conventional wafer transfer apparatus.

도 2는 도 1의 웨이퍼 이송 장치에서 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우를 보여주는 측면도이다.FIG. 2 is a side view illustrating a case in which a wafer is abnormally seated in the wafer transport apparatus of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 실시 예에 의한 웨이퍼 이송 장치의 평면도이다.3 is a plan view of a wafer transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3의 웨이퍼 이송 장치에서 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우를 보여주는 측면도이다.FIG. 4 is a side view illustrating a case in which a wafer is abnormally seated in the wafer transport apparatus of FIG. 3.

< 도면의 주요 부분에 대한 설명 ><Description of Main Parts of Drawings>

110 : 로봇 척 112 : 웨이퍼 고정 핀110: robot chuck 112: wafer holding pin

114 : 웨이퍼 지지 핀 120a : 발광부 상하 감지 센서114: wafer support pin 120a: light emitting unit vertical detection sensor

120b : 수광부 상하 감지 센서 130 : 센서 가이드120b: Light-receiving unit vertical detection sensor 130: Sensor guide

140a : 발광부 좌우 감지 센서 140b : 수광부 좌우 감지 센서140a: light emitting unit left and right detection sensor 140b: light receiving unit left and right detection sensor

본 발명은 반도체 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor device, and more particularly, to a wafer transfer device.

최근에 반도체 소자가 미세화 및 고집적화되고, 반도체 생산이 대량화됨에 따라서 작업자에 의한 웨이퍼의 오염을 방지하고 생산성을 향상시키기 위하여 로봇을 이용하여 웨이퍼를 이송한다. 일반적으로 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼가 놓이는 로봇 척과, 상기 로봇 척에 웨이퍼가 안착되었는지의 여부를 확인하는 센서와, 상기 로봇 척에 연결되고 상기 로봇 척을 이동시키기 위한 로봇 암 및 상기 로봇암을 구동하는 구동부를 포함한다.In recent years, as semiconductor devices have been miniaturized and highly integrated, and semiconductor production has grown in mass, wafers are transported using robots to prevent contamination of wafers by workers and to improve productivity. In general, a wafer transfer device includes a robot chuck on which a wafer is placed, a sensor for checking whether a wafer is seated on the robot chuck, a robot arm connected to the robot chuck and driving the robot arm to move the robot chuck. It includes a drive unit.

도 1은 종래 웨이퍼 이송 장치의 평면도이고, 도 2는 도 1의 웨이퍼 이송 장치에서 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우를 보여주는 측면도이다.1 is a plan view of a conventional wafer transfer apparatus, and FIG. 2 is a side view illustrating a case in which a wafer is abnormally seated in the wafer transfer apparatus of FIG. 1.

도 1을 참고하면, 구동부(미도시됨)에 의하여 로봇 암(미도시됨)이 작동한다. 상기 로봇 암의 끝단에 웨이퍼(W)가 놓이는 로봇 척(10)이 부착되어 있다. 상기 로봇 척(10)은 여러 형상의 것이 있으나 일반적으로 웨이퍼(W) 가장자리 부위를 지지하는 핑거부와 이 핑거부 사이의 홈을 갖는다. 상기 핑거부와 핑거부 사이의 홈은 웨이퍼(W)를 다른 구성부에 인수 및 인계하기 용이하도록 하는 역할과 동시에 웨이퍼(W) 저면에 대한 접촉 면적을 줄이는 역할도 한다. 상기 로봇 척(10)의 핑거부는 웨이퍼의 이탈을 방지하는 웨이퍼 고정 핀(12)을 네 모서리에 각각 갖는다. 또한, 상기 로봇 척(10)의 핑거부는 로봇 척(10)의 핑거부의 네 모서리에서 상기 웨이퍼 고정 핀(12)의 안쪽에 웨이퍼 지지 핀(14)을 갖는다. 상기 웨이퍼 지지 핀(14)은 웨이퍼(W)의 저면과 로봇 척(10)이 최소 접촉 면적을 가지는 점 접촉을 하도록 한다.Referring to FIG. 1, a robot arm (not shown) is operated by a driving unit (not shown). Attached to the end of the robot arm is a robot chuck 10 on which a wafer W is placed. The robot chuck 10 has various shapes but generally has a finger portion that supports the wafer W edge and a groove between the finger portion. The groove between the finger portion and the finger portion facilitates taking over and handing over the wafer W to another component and at the same time serves to reduce the contact area to the bottom surface of the wafer W. The finger portion of the robot chuck 10 has wafer holding pins 12 at four corners, respectively, to prevent separation of the wafer. In addition, the finger portion of the robot chuck 10 has a wafer support pin 14 inside the wafer holding pin 12 at four corners of the finger portion of the robot chuck 10. The wafer support pin 14 allows the bottom surface of the wafer W and the robot chuck 10 to make point contact with a minimum contact area.

도 2를 참고하면, 상기 로봇 척(10)의 상부와 하부에 웨이퍼(W)의 로봇 척 안착 여부를 감지하는 상하 감지 센서들(20a, 20b)이 설치되어 있다. 상하 감지 센서들(20a, 20b)의 끝단, 즉 측면도에서 상기 웨이퍼 지지 핀(14)의 연직 상하에 상기 상하 감지 센서의 웨이퍼 감지부(22a, 22b)가 존재한다. 상하 감지 센서는 발광부 상하 감지 센서(20a)와 수광부 상하 감지 센서(20b)의 쌍으로 이루어진다. 웨이퍼(W)가 로봇 척(10)으로 이송되어 오면, 발광부 상하 감지 센서(20a)의 웨이퍼 감지부(22a)에서 빛을 발하고, 상기 발광부 상하 감지 센서(20a)의 연직 아래에 위치해 있는 수광부 상하 감지 센서(20b)의 웨이퍼 감지부(22b)는 빛을 검출한다. 웨이퍼(W)가 로봇 척(10) 상에 놓이면, 상기 상하 감지 센서들(20a, 20b)의 웨이퍼 감지부들(22a,22b) 사이에 웨이퍼(W)라는 장애물이 존재하므로, 상기 수광부 상하 감지 센서(20b)의 웨이퍼 감지부(22b)는 발광부 상하 감지 센서(20a)의 웨이퍼 감지부(20a)에서 방출한 빛을 감지하지 못한다. 따라서 로봇 척(10)에 웨이퍼(W)가 정상 안착된 것으로 인식하여 구동부는 로봇 암을 구동시키게 된다.Referring to FIG. 2, upper and lower detection sensors 20a and 20b are installed at upper and lower portions of the robot chuck 10 to detect whether the wafer W is seated on the robot chuck. Wafer sensing portions 22a and 22b of the up and down sensing sensors are present at the ends of the up and down sensing sensors 20a and 20b, that is, vertically up and down of the wafer supporting pin 14 in a side view. The up and down sensor consists of a pair of light emitting unit up and down sensor 20a and the light receiving unit up and down sensor 20b. When the wafer W is transferred to the robot chuck 10, light is emitted from the wafer detection unit 22a of the light emitting unit up / down sensor 20a and positioned below the vertical portion of the light emitting unit up and down sensor 20a. The wafer detection unit 22b of the light receiving unit up / down sensor 20b detects light. When the wafer W is placed on the robot chuck 10, an obstacle called a wafer W exists between the wafer detection units 22a and 22b of the top and bottom detection sensors 20a and 20b, so that the light receiving unit up and down detection sensor is present. The wafer detection unit 22b of 20b does not detect light emitted from the wafer detection unit 20a of the light emitting unit upper and lower detection sensors 20a. Therefore, the driving unit drives the robot arm by recognizing that the wafer W is normally seated on the robot chuck 10.

그러나 도 2에서 보듯이 웨이퍼(W)가 비스듬히 안착 된 경우에도, 수광부 상하 감지 센서(20b)의 웨이퍼 감지부(22b)에서 빛이 검출되지 않으므로 웨이퍼가 정상 안착된 것으로 인식한다. 이러한 경우 오류를 바로잡지 않고 로봇암이 구동하게 되면, 고가의 웨이퍼가 파손되거나 웨이퍼가 변형이 일어나는 문제점이 있으며, 또한 웨이퍼 이송 장치 자체에 충격이 가해져 고장을 일으킬 수 있다.However, even when the wafer W is mounted at an angle as shown in FIG. 2, since the light is not detected by the wafer detection unit 22b of the light receiving unit up / down sensor 20b, the wafer is recognized as normally seated. In this case, if the robot arm is driven without correcting the error, the expensive wafer is broken or the wafer is deformed, and the wafer transfer device itself may be damaged to cause a failure.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 웨이퍼의 안착 상태를 정확하게 감지할 수 있는 웨이퍼 이송 장치를 제공한다.The present invention is to solve the above-described problem, and provides a wafer transfer apparatus capable of accurately detecting the seating state of the wafer.

본 발명의 특징에 의하면, 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼가 놓이는 로봇 척, 상하 감지 센서 및 좌우 감지 센서를 포함한다. 상기 상하 감지 센서는 상기 로봇 척의 상부와 하부에 이격되게 설치되고, 상기 로봇 척에 놓인 웨이퍼를 감지한다. 상기 좌우 감지 센서는 상기 로봇 척과 평행하게 설치되고, 상기 로봇 척에 웨이퍼가 수평으로 안착되었는지의 여부를 판단한다.According to a feature of the invention, the wafer transfer device includes a robot chuck on which the wafer is placed, a top and bottom sensor and a left and right sensor. The upper and lower detection sensors are spaced apart from the upper and lower portions of the robot chuck, and detect the wafer placed on the robot chuck. The left and right detection sensors are installed in parallel with the robot chuck and determine whether a wafer is horizontally seated on the robot chuck.

이 특징에 있어서, 상기 좌우 감지 센서가 부착되는 센서 가이드가 상기 로봇 척의 양쪽에 더 설치된다. 또한, 상기 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼를 한 장씩 처리하는 매엽식 장치이다.In this aspect, the sensor guide to which the left and right detection sensors are attached is further provided on both sides of the robot chuck. Moreover, the said wafer transfer apparatus is a sheet | leaf type apparatus which processes a wafer one by one.

이 특징에 있어서, 상기 상하 감지 센서는 발광부와 수광부의 쌍으로 이루어진 광 센서이며, 상기 좌우 감지 센서는 발광부와 수광부의 쌍으로 이루어진 한 쌍 이상의 광 센서이다.In this aspect, the up and down detection sensor is an optical sensor consisting of a pair of light emitting and receiving unit, the left and right detection sensor is a pair or more light sensors consisting of a pair of light emitting and receiving unit.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼가 놓이는 로봇 척, 상하 감지 센서, 센서 가이드, 좌우 감지 센서 및 경보부를 포함한다. 상기 상하 감지 센서는 상기 로봇 척의 상부와 하부에 이격되게 설치되고, 상기 로봇 척에 놓인 웨이퍼를 감지한다. 상기 센서 가이드는 상기 로봇 척의 양쪽에 이격되게 설치되며, 상기 좌우 감지 센서는 상기 센서 가이드에 부착되고 상기 로봇 척에 웨이퍼가 수평으로 안착되었는지의 여부를 판단한다. 상기 경보부는 상기 상하 감지 센서와 좌우 감지 센서와 연결되고, 웨이퍼가 정상 안착이 안 된 경우 경보를 발생한다.According to another feature of the invention, the wafer transfer device includes a robot chuck, a top and bottom detection sensor, a sensor guide, a left and right detection sensor and an alarm unit on which the wafer is placed. The upper and lower detection sensors are spaced apart from the upper and lower portions of the robot chuck, and detect the wafer placed on the robot chuck. The sensor guide is spaced apart from both sides of the robot chuck, and the left and right detection sensors are attached to the sensor guide and determine whether a wafer is horizontally seated on the robot chuck. The alarm unit is connected to the upper and lower detection sensors and the left and right detection sensors, and generates an alarm when the wafer is not normally seated.

이하 본 발명의 실시 예를 도 3과 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다. 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조번호를 명기한다. Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 and 4. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description. In the drawings, the same reference numerals denote components that perform the same function.

도 3은 본 발명의 웨이퍼 이송 장치의 평면도이고, 도 4는 도 3의 웨이퍼 이송 장치에서 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우를 보여주는 측면도이다.3 is a plan view of the wafer transfer apparatus of the present invention, Figure 4 is a side view showing a case where the wafer is abnormally seated in the wafer transfer apparatus of FIG.

도 3 및 도 4를 참고하면, 웨이퍼(W)가 놓이는 로봇 척(110)은 웨이퍼(W)를 다른 구성부에 인수 및 인계하기 용이하도록 함과 동시에 웨이퍼(W) 저면에 대한 접촉 면적을 줄이도록 웨이퍼(W) 가장자리 부위를 지지하는 핑거부와 이 핑거부 사이의 홈을 갖는다. 상기 로봇 척(110)의 핑거부는 웨이퍼의 이탈을 방지하는 웨이퍼 고정 핀(112)을 네 모서리에 각각 갖는다. 또한, 상기 로봇 척(10)의 핑거부는 로봇 척(10)의 핑거부의 네 모서리에서 상기 웨이퍼 고정 핀(12)의 안쪽에 웨이퍼 지지 핀(14)을 갖는다. 상기 웨이퍼 지지 핀(14)은 웨이퍼(W)의 저면과 로봇 척(10)이 최소 접촉 면적을 가지는 점 접촉을 하도록 한다. 상기 로봇 척(110)의 상부와 하부에 웨이퍼(W)의 로봇 척 안착 여부를 감지하는 상하 감지 센서(120a, 120b)가 설치되어 있다. 상하 감지 센서의 끝단(122a, 122b), 즉 상기 웨이퍼 지지 핀(114)과 교차하는 부분의 상하 감지 센서의 부분에는 상기 상하 감지 센서의 웨이퍼 감지부(122a, 122b)가 존재한다. 3 and 4, the robot chuck 110 on which the wafer W is placed may reduce the contact area with respect to the bottom surface of the wafer W while facilitating taking over and handing the wafer W to other components. It has a finger portion for supporting the wafer W edge portion and a groove between the finger portion. The finger parts of the robot chuck 110 have wafer holding pins 112 at four corners, respectively, to prevent the wafer from being separated. In addition, the finger portion of the robot chuck 10 has a wafer support pin 14 inside the wafer holding pin 12 at four corners of the finger portion of the robot chuck 10. The wafer support pin 14 allows the bottom surface of the wafer W and the robot chuck 10 to make point contact with a minimum contact area. Upper and lower detection sensors 120a and 120b are installed on upper and lower portions of the robot chuck 110 to detect whether the wafer W is seated on the robot chuck. Wafer sensing units 122a and 122b of the upper and lower sensing sensors exist at the ends 122a and 122b of the upper and lower sensing sensors, that is, the upper and lower sensing sensors of the portion intersecting with the wafer support pin 114.

웨이퍼(W)가 로봇 척(110)으로 이송되어 오면, 발광부 상하 감지 센서(120a) 의 웨이퍼 감지부(122a)에서 빛을 발하고, 상기 발광부 상하 감지 센서(120a)의 연직 아래에 위치해 있는 수광부 상하 감지 센서(120b)의 웨이퍼 감지부(122b)는 빛을 검출한다. 웨이퍼(W)가 로봇 척(110) 상에 놓이면, 상기 상하 감지 센서들(120a, 120b)의 웨이퍼 감지부들(122a, 122b) 사이에 웨이퍼(W)라는 장애물이 존재하므로, 상기 수광부 상하 감지 센서(120b)의 웨이퍼 감지부(122b)는 발광부 상하 감지 센서(120a)의 웨이퍼 감지부(120a)에서 방출한 빛을 감지하지 못하게 된다. 따라서 로봇 척(110)에 웨이퍼(W)가 정상 안착된 것으로 인식하여 구동부는 로봇 암을 구동시키게 된다. 그러나 도 4에서 보듯이 웨이퍼(W)가 비스듬히 안착 된 경우에도, 수광부 상하 감지 센서(20b)의 웨이퍼 감지부(22b)에서 빛이 검출되지 않으므로 웨이퍼(W)가 정상 안착된 것으로 인식한다. 상술하였듯이 상하 감지 센서는 로봇 척(110)에 웨이퍼(W)가 존재하는지 여부만 확인 가능하며, 상하 감지 센서(120a, 120b)만으로는 웨이퍼(W)가 로봇 척(110)에 수평으로 안착되었는지의 여부는 확인할 수 없다. 수광부 상하 감지 센서(120b)에서 빛을 검출하지 못하면 웨이퍼(W)가 로봇 척(110) 상에 존재하는 걸로 판단하여 '존재' 신호를 보낸다. 수광부 상하 감지 센서(120b)에서 빛을 검출할 경우 웨이퍼(W)가 로봇 척(110) 상에 존재하지 않은 걸로 판단하여 '부재' 신호를 내보낸다.When the wafer W is transferred to the robot chuck 110, light is emitted from the wafer detection unit 122a of the light emitting unit up / down sensor 120a and positioned below the vertical portion of the light emitting unit up and down sensor 120a. The wafer detection unit 122b of the light receiving unit up / down sensor 120b detects light. When the wafer W is placed on the robot chuck 110, an obstacle called a wafer W exists between the wafer detection units 122a and 122b of the top and bottom detection sensors 120a and 120b, so that the light receiving unit up and down detection sensor is present. The wafer detector 122b of 120b may not detect the light emitted from the wafer detector 120a of the light emitting unit upper and lower sensor 120a. Accordingly, the driving unit drives the robot arm by recognizing that the wafer W is normally seated on the robot chuck 110. However, even when the wafer W is mounted at an angle as shown in FIG. 4, since the light is not detected by the wafer detection unit 22b of the light receiving unit upper and lower detection sensors 20b, the wafer W is recognized as normally seated. As described above, the upper and lower sensing sensors can only check whether the wafer W is present in the robot chuck 110, and the upper and lower sensing sensors 120a and 120b are used to determine whether the wafer W is horizontally seated on the robot chuck 110. Whether or not can be confirmed. If no light is detected by the light receiving unit upper and lower detection sensors 120b, it is determined that the wafer W is present on the robot chuck 110 and sends a 'existence' signal. When light is detected by the light receiving unit upper and lower detection sensors 120b, it is determined that the wafer W does not exist on the robot chuck 110 and emits a 'member' signal.

상기 로봇 척(110)과 평행하고, 로봇 척(110)의 웨이퍼 지지핀(114)과 상하 감지 센서(120a) 사이에 센서 가이드(130)가 존재한다. 상기 센서 가이드(130)는 로봇 척을 둘러싼 '∪' 자 형상이다. 상기 센서 가이드(130)의 양 끝단에 좌우 감지 센서(140a, 140b)가 설치된다. 따라서 상기 좌우 감지 센서(140a, 140b)는 로봇 척(110)과 평행하며, 웨이퍼 고정 핀(114)과 상하 감지 센서(120a) 사이에 위치한다. 좌우 감지 센서(140a, 140b)는 웨이퍼(W)가 로봇 척에 비스듬하게 안착된 것을 정밀하게 관측하려고 할수록, 웨이퍼 고정핀(114)에 근접하게 설치된다. 상기 좌우 감지 센서(140)는 발광부 상하 감지 센서(140a)와 수광부 상하 감지 센서(140b)의 쌍으로 이루어진다. 본 발명의 실시 예에서 한 쌍을 예로 들었으나, 좌우 감지 센서(140)의 수가 많을수록 보다 정밀하게 웨이퍼(W)의 이상 안착 유무를 감지할 수 있다.The sensor guide 130 is parallel to the robot chuck 110 and is disposed between the wafer support pin 114 of the robot chuck 110 and the vertical sensing sensor 120a. The sensor guide 130 has a '∪' shape surrounding the robot chuck. Left and right detection sensors 140a and 140b are installed at both ends of the sensor guide 130. Accordingly, the left and right detection sensors 140a and 140b are parallel to the robot chuck 110 and are positioned between the wafer fixing pin 114 and the upper and lower detection sensors 120a. The left and right detection sensors 140a and 140b are installed closer to the wafer holding pin 114 as the wafer W tries to precisely observe that the wafer W is mounted obliquely on the robot chuck. The left and right detection sensors 140 are configured as a pair of light emitting unit up and down detection sensors 140a and light receiving unit up and down detection sensors 140b. In the embodiment of the present invention, a pair is taken as an example, but as the number of left and right detection sensors 140 increases, the presence or absence of abnormal mounting of the wafer W can be detected more precisely.

웨이퍼(W)가 로봇 척(110)에 장착되면, 발광부 좌우 감지 센서(140a)에서 빛을 방출하고, 상기 발광부 좌우 감지 센서(140a)의 맞은 편에 위치한 수광부 좌우 감지 센서(140b)에서는 빛을 검출한다. 웨이퍼(W)가 웨이퍼 지지핀(114) 상에 정확하게 장착된 경우에는, 수광부 좌우 감지 센서(140b)에서 최대의 빛을 검출한다. 그 이유는, 상기 좌우 감지 센서(140a, 140b)가 웨이퍼 지지핀(114)보다 높게 설치되어 있으므로 웨이퍼(W)가 정상 안착된 경우에는 발광부 좌우 감지 센서(140a)와 수광부 좌우 감지 센서(140b) 사이에 장애물이 존재하지 않기 때문이다. 이 경우 수광부 좌우 감지 센서(140b)는 '정상' 신호를 내보낸다. 도 4에서 보듯이 웨이퍼(W)가 비스듬하게 장착된 경우 발광부 좌우 감지 센서(140a)와 수광부 좌우 감지 센서(140b) 사이에 웨이퍼(W)라는 장애물이 존재하므로, 적은 양의 빛이 수광부 좌우 감지 센서(140b)에서 검출된다. 이 경우 수광부 좌우 감지 센서(140b)는 '이상' 신호를 내보낸다. 즉, 수광부 좌우 감지 센서(140b)에서 검출되는 빛의 양에 의하여 웨이퍼(W)가 로봇 척(110)에 정상 안착되었는지의 여부를 판별할 수 있다.When the wafer W is mounted on the robot chuck 110, the light emitters emit light from the left and right detection sensors 140a, and the light emitters left and right detection sensors 140b positioned opposite to the light emitter left and right detection sensors 140a. Detect light. When the wafer W is correctly mounted on the wafer support pin 114, the maximum light is detected by the light receiving unit left and right detection sensors 140b. The reason is that the left and right detection sensors 140a and 140b are higher than the wafer support pins 114, so that when the wafer W is normally seated, the light emitting unit left and right detection sensors 140a and the light receiving unit left and right detection sensors 140b. There is no obstacle between). In this case, the light receiving unit left and right detection sensor 140b emits a 'normal' signal. As shown in FIG. 4, when the wafer W is mounted obliquely, an obstacle called the wafer W exists between the light emitting unit left and right detection sensors 140a and the light receiving unit left and right detection sensors 140b, so that a small amount of light is left and right. It is detected by the detection sensor 140b. In this case, the light receiving unit left and right detection sensor 140b emits an 'abnormal' signal. That is, it may be determined whether the wafer W is normally seated on the robot chuck 110 by the amount of light detected by the light receiving unit left and right detection sensors 140b.

상기의 경우, 웨이퍼(W)가 로봇 척(110) 상에 존재하지 않은 경우에도 수광부 좌우 감지 센서(140b)는 '정상' 신호를 내보낸다. 그러나 상기 수광부 상하 감지 센서(120b)에서 웨이퍼가 없음을 감지하여 '부재' 신호를 내보내므로, 웨이퍼(W)가 로봇 척(110) 상에 정상 안착되지 않았음을 알 수 있다. 수광부 상하 감지 센서(120b)에서 '존재' 신호를, 수광부 좌우 감지 센서(140b)에서 '정상' 신호를 보낼 경우에만 웨이퍼(W)가 로봇 척(110)에 정상 안착된 경우이며, 이때 웨이퍼 이송 장치가 계속 작동하여 웨이퍼(W)를 이송시킨다. 그 외의 경우는 웨이퍼 이송 장치는 동작을 멈추고, 웨이퍼(W)를 로봇 척(110)에 재안착한다.In this case, even when the wafer W is not present on the robot chuck 110, the light receiving unit left and right detection sensors 140b emit a 'normal' signal. However, since the light receiving part upper and lower detection sensor 120b detects that there is no wafer and emits a 'member' signal, it can be seen that the wafer W is not normally seated on the robot chuck 110. The wafer W is normally seated on the robot chuck 110 only when the light receiving unit upper and lower detection sensor 120b transmits the 'exist' signal and the light receiving unit left and right detection sensor 140b transmits the 'normal' signal. The device continues to run to transport the wafer W. In other cases, the wafer transfer device stops the operation, and the wafer W is mounted on the robot chuck 110 again.

상기 수광부 상하 감지 센서(120b)와 수광부 좌우 감지 센서(140b)에 연결된 경보부(미도시됨)를 더 가질 수도 있다. 상기 경보부는 수광부 상하 감지 센서(120b)에서 '존재'신호를, 수광부 좌우 감지 센서(140b)에서 '정상' 신호를 보낼 경우에 '통과' 신호음을 내보낸다. 그 외의 경우에는 '실패' 신호음을 내보내어, 작업자에게 웨이퍼(W)가 로봇 척(110)에 정상 안착되지 않았음을 알린다. '실패' 신호음을 들은 작업자는 웨이퍼(W)를 재로딩한다. It may further have an alarm unit (not shown) connected to the light receiving unit up and down sensor 120b and the light receiving unit left and right detection sensor 140b. The alarm unit emits a 'pass' signal when a 'present' signal is transmitted from the light receiver upper and lower detection sensors 120b and a 'normal' signal is transmitted from the light receivers left and right detection sensors 140b. In other cases, a 'failure' beep is emitted to inform the worker that the wafer W is not normally seated on the robot chuck 110. The worker who hears the 'fail' beep reloads the wafer (W).

상기 상하 감지 센서(120a, 120b)는 웨이퍼(W)가 로봇 척(110) 상에 존재하는 지를 감지하고, 상기 좌우 감지 센서(140a, 140b)는 상기 로봇 척(110) 상에 존재하는 웨이퍼가 로봇 척(110)과 수평인지의 여부를 감지한다. 따라서 웨이퍼가 웨이퍼 이송 장치에 정확하게 안착되었는지를 정확하게 알 수 있다. 웨이퍼 이송 장치에 웨이퍼가 비정상적으로 안착된 경우, 웨이퍼 이송 장치는 작동을 멈추고 경보를 발생한다. 이상을 알아 차린 작업자는 웨이퍼를 재로딩하여 정확하게 웨이퍼 이 송 장치에 재장착한다. 따라서 비정상적으로 웨이퍼가 웨이퍼 이송 장치에 놓여진 상태에서 웨이퍼 이송 장치가 동작하여 생기는 웨이퍼 파손이나, 장치의 고장을 막을 수 있다. 상기 본 발명의 실시 예에서 웨이퍼 이송 장치는 웨이퍼를 한 장씩 이송하는 매엽식 웨이퍼 이송 장치이다. 그러나 여러 장을 한꺼번에 이송하는 배치식 웨이퍼 이송 장치에도 적용할 수 있음은 이 분야의 통상적인 지식을 가진 자에게 자명하다.The upper and lower detection sensors 120a and 120b detect whether a wafer W exists on the robot chuck 110, and the left and right detection sensors 140a and 140b indicate that a wafer existing on the robot chuck 110 is present. It detects whether it is horizontal with the robot chuck 110. Therefore, it is possible to know exactly whether the wafer is correctly seated in the wafer transfer device. If the wafer is abnormally seated in the wafer transfer device, the wafer transfer device stops operation and generates an alarm. The operator, noticing the above, reloads the wafer and remounts it correctly on the wafer transfer unit. Therefore, it is possible to prevent wafer breakage and device failure caused by the wafer transfer device operating in an abnormally placed state on the wafer transfer device. In the embodiment of the present invention, the wafer transfer device is a single wafer transfer device for transferring wafers one by one. However, it is obvious to those skilled in the art that the present invention can be applied to a batch wafer transfer device which transfers several sheets at once.

본 발명의 바람직한 실시 예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음은 자명하다.Although described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can be variously modified and changed within the scope of the invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below Is self explanatory.

본 발명에 의하면, 로봇 척의 상하에 설치된 상하 감지 센서와 로봇 척의 좌우에 설치된 좌우 감지 센서를 이용하여 웨이퍼의 안착 상태를 정확하게 감지하여 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있다.According to the present invention, it is possible to prevent the wafer from being broken by accurately detecting the seating state of the wafer by using the up and down detection sensors provided on the upper and lower sides of the robot chuck and the left and right detection sensors installed on the left and right sides of the robot chuck.

Claims (8)

웨이퍼가 놓이는 로봇 척;A robot chuck on which the wafer is placed; 상기 로봇 척의 상부와 하부에 이격되게 설치되고, 상기 로봇 척에 놓인 웨이퍼를 감지하는 상하 감지 센서 및;An upper and lower sensing sensor installed at an upper portion and a lower portion of the robot chuck and detecting a wafer placed on the robot chuck; 상기 로봇 척과 평행하게 설치되고, 상기 로봇 척에 웨이퍼가 수평 안착되었는지를 판단하는 좌우 감지 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.And a left and right detection sensor installed in parallel with the robot chuck and determining whether the wafer is horizontally seated on the robot chuck. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 로봇 척의 양쪽에 설치되고, 상기 좌우 감지 센서가 부착되는 센서 가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치Wafer transfer apparatus is installed on both sides of the robot chuck, further comprising a sensor guide to which the left and right detection sensors are attached. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 상하 감지 센서는 발광부와 수광부의 쌍으로 이루어진 광 센서인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.The vertical sensing sensor is a wafer transfer device, characterized in that the light sensor consisting of a pair of the light emitting portion and the light receiving portion. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 좌우 감지 센서는 발광부와 수광부의 쌍으로 이루어진 한 쌍 이상의 광 센서인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.The left and right detection sensor is a wafer transfer device, characterized in that the pair of light sensor consisting of a light emitting unit and a light receiving unit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 웨이퍼 이송 장치는 매엽식 장치인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.The wafer transfer device is a wafer transfer device, characterized in that the single wafer. 웨이퍼가 놓이는 로봇 척;A robot chuck on which the wafer is placed; 상기 로봇 척의 상부와 하부에 이격되게 설치되고, 상기 로봇 척에 놓인 웨이퍼를 감지하는 상하 감지 센서; An upper and lower detection sensor installed at an upper portion and a lower portion of the robot chuck and detecting a wafer placed on the robot chuck; 상기 로봇 척의 양쪽에 이격되게 설치된 센서 가이드;Sensor guides spaced apart from both sides of the robot chuck; 상기 센서 가이드에 부착되고, 상기 로봇 척에 웨이퍼가 수평 안착되었는지를 판단하는 좌우 감지 센서 및;Left and right detection sensors attached to the sensor guide and determining whether the wafer is horizontally seated on the robot chuck; 상기 상하 감지 센서와 상기 좌우 감지 센서와 연결되고, 웨이퍼가 정상 안착이 안 된 경우 경보를 발생하는 경보부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.And an alarm unit connected to the upper and lower sensing sensors and the left and right sensing sensors and generating an alarm when the wafer is not normally seated. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 상하 감지 센서는 발광부와 수광부의 쌍으로 이루어진 광 센서인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.The vertical sensing sensor is a wafer transfer device, characterized in that the light sensor consisting of a pair of the light emitting portion and the light receiving portion. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 좌우 감지 센서는 발광부와 수광부의 쌍으로 이루어진 한 쌍 이상의 광 센서인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 장치.The left and right detection sensor is a wafer transfer device, characterized in that the pair of light sensor consisting of a light emitting unit and a light receiving unit.
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