KR20060127321A - Method for manufacturing filament assembly of ion implanter for preventing hole between filament and lead tube - Google Patents

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KR20060127321A
KR20060127321A KR1020050048308A KR20050048308A KR20060127321A KR 20060127321 A KR20060127321 A KR 20060127321A KR 1020050048308 A KR1020050048308 A KR 1020050048308A KR 20050048308 A KR20050048308 A KR 20050048308A KR 20060127321 A KR20060127321 A KR 20060127321A
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lead
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이진호
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삼성전자주식회사
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Abstract

A method for manufacturing a filament assembly of an ion implanter is provided to prevent the generation of voids between a filament and a lead tube by enclosing and pressurizing a peripheral portion of the lead tube. A filament composed of a plurality of metal wires twisted with each other and a cylinder type lead tube with a predetermined length are prepared(S10). Both end portions of the filament are inserted into the lead tube, respectively(S20). A peripheral portion of the lead tube is pressurized by using a predetermined pressurizing unit(S30). At this time, the predetermined pressurizing unit encloses the peripheral portion of the lead tube.

Description

필라멘트와 리드관 사이의 공극형성을 방지한 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING FILAMENT ASSEMBLY OF ION IMPLANTER FOR PREVENTING HOLE BETWEEN FILAMENT AND LEAD TUBE}Manufacturing method of filament assembly of ion implantation device which prevents the formation of voids between filament and lead tube FIELD OF MANUFACTURING FILAMENT ASSEMBLY OF ION IMPLANTER FOR PREVENTING HOLE BETWEEN FILAMENT AND LEAD TUBE}

도 1은 종래 기술에 따른 방법으로 제조된 필라멘트 어셈블리가 클램프에 장착된 상태를 개략적으로 나타낸 부분 분해 사시도.1 is a partially exploded perspective view schematically showing a state in which a filament assembly manufactured by a method according to the prior art is mounted to a clamp.

도 2a는 도 1에 나타낸 필라멘트 어셈블리를 확대 도시한 사시도.FIG. 2A is an enlarged perspective view of the filament assembly shown in FIG. 1. FIG.

도 2b는 도 2a에 나타낸 리드관의 홈부위를 A-A´ 방향으로 절개한 단면사진.FIG. 2B is a cross-sectional photograph of the groove portion of the lead tube shown in FIG. 2A taken in the A-A 'direction. FIG.

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법을 개략적으로 나타낸 순서도.Figure 3a is a flow chart schematically showing a method for manufacturing a filament assembly of the ion implantation apparatus according to the embodiment of the present invention.

도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 필라멘트의 양단부가 삽입된 리드관의 외주면을 압착하는 방법을 개략적으로 나타낸 분해 사시도. 3B is an exploded perspective view schematically illustrating a method of compressing an outer circumferential surface of a lead tube in which both ends of a filament are inserted according to an embodiment of the present invention.

도 4a는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 필라멘트 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도.4A is a perspective view schematically showing a filament assembly manufactured according to an embodiment of the present invention.

도 4b는 도 4a에 나타낸 리드관의 홈부위를 B-B´ 방향으로 절개한 단면사진.4B is a cross-sectional photograph of the groove portion of the lead tube shown in FIG. 4A taken in the B-B 'direction.

<도면의 주요 부분에 대한 설명>Description of the main parts of the drawing

100: 클램프 101, 301: 필라멘트 어셈블리100: clamp 101, 301: filament assembly

102, 302: 필라멘트 102a, 302a: 단선102, 302: filament 102a, 302a: disconnection

103, 303: 리드관 103a, 303a: 홈103, 303: lead pipe 103a, 303a: groove

103b, 303c: 외주면 103c, 303c: 내주면103b, 303c: outer circumferential surface 103c, 303c: inner circumferential surface

104: 공극 105: 클램프 아암104: void 105: clamp arm

105a: 제1 장착홈 105b: 지지턱105a: first mounting groove 105b: support jaw

106: 스크류 107: 장착플레이트106: screw 107: mounting plate

107a: 제2 장착홈 300: 프레스형 금형107a: second mounting groove 300: press die

305: 상부금형 306: 하부금형305: upper mold 306: lower mold

307a: 제1 성형틀 307b: 제2 성형틀307a: first mold 307b: second mold

308: 포스트 309: 포스트 홀더308: post 309: post holder

310: 스톱퍼 311: 원자재310: stopper 311: raw materials

312: 압축돌기312: compression protrusion

본 발명은 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 복수 개의 금속 단선을 꼬아서 구성한 필라멘트와, 필라멘트의 양단부가 삽입되어 고정된 리드관으로 이루어진 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a filament assembly of an ion implantation apparatus, and more particularly, a method for manufacturing a filament assembly of an ion implantation apparatus comprising a filament formed by twisting a plurality of metal single wires and a lead tube in which both ends of the filament are inserted and fixed. It is about.

필라멘트는 전압이 인가되어 소정 온도로 가열되면 열전자를 방출시키는 열전자 방출원으로서, 이온주입장치 또는 핫 필라멘트 화학증착장치 등과 같은 반도체 제조 장치에 설치되어 사용되고 있다.The filament is a hot electron emission source that emits hot electrons when a voltage is applied and heated to a predetermined temperature, and is used in a semiconductor manufacturing apparatus such as an ion implantation apparatus or a hot filament chemical vapor deposition apparatus.

예를 들어, 반도체 기판의 특정부분에 붕소, 인, 또는 비소 등과 같은 불순물 이온을 가속시켜 주입시키는 이온주입장치에 사용되는 필라멘트는 이온 빔을 발생하는 고진공 상태의 아크 챔버 내에 클램프에 의해 설치되어 있다. 이에, 전압공급원으로부터 클램프에 전압이 인가되면, 클램프로부터 필라멘트에 전류가 흐르면서 필라멘트가 가열되어 열전자를 방출한다. 그리고, 이 때 방출된 열전자가 자기장의 영향으로 회전 운동을 하면서 아크 챔버로 공급되는 소오스 가스와 충돌하여 소오스 가스를 이온화시킨다. For example, a filament used in an ion implantation apparatus that accelerates and injects impurity ions such as boron, phosphorus, or arsenic to a specific portion of a semiconductor substrate is installed by a clamp in an arc chamber in a high vacuum state generating an ion beam. . Therefore, when a voltage is applied to the clamp from the voltage source, the current flows from the clamp to the filament and the filament is heated to emit hot electrons. At this time, the emitted hot electrons collide with the source gas supplied to the arc chamber while rotating in response to the magnetic field to ionize the source gas.

최근, 이와 같은 이온주입장치에 사용되는 필라멘트를 제조하는 업체에서는 전압 인가에 따른 필라멘트의 굴곡부위에서의 스트레스 발생으로 인한 크랙 발생 및 파손 등을 방지하기 위해 복수 개의 금속 단선을 꼬아서 구성한 필라멘트를 제공하고 있다. 여기서, 필라멘트는 복수 개의 금속 단선 모두에 전압이 균등하게 인가되기 위해 양단부가 도체로 이루어진 관형상의 리드관에 삽입되어 고정된 구조를 갖는다. 이하에서는 이를 ‘필라멘트 어셈블리’라고 칭한다.Recently, companies that manufacture filaments used in such ion implantation apparatus provides a filament formed by twisting a plurality of metal wires in order to prevent cracking and breakage due to stress generation at the bent portion of the filament due to voltage application. have. Here, the filament has a structure in which both ends are inserted and fixed in a tubular lead tube made of a conductor so that voltage is uniformly applied to all of the plurality of metal single wires. This is referred to as 'filament assembly' below.

이하, 첨부 도면을 참조하여 이온주입장치에 사용되는 필라멘트 어셈블리에 대해 개략적으로 살펴보기로 한다. Hereinafter, the filament assembly used in the ion implantation apparatus will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래 기술에 따른 방법으로 제조된 필라멘트 어셈블리가 클램프에 장착된 상태를 개략적으로 나타낸 부분 분해 사시도이고, 도 2a는 도 1에 나타낸 필 라멘트 어셈블리를 확대 도시한 사시도이며, 도 2b는 도 2a에 나타낸 리드관의 홈부위를 A-A´ 방향으로 절개한 단면사진이다. 1 is a partially exploded perspective view schematically showing a state in which a filament assembly manufactured by a method according to the prior art is mounted on a clamp, FIG. 2A is an enlarged perspective view of the filament assembly shown in FIG. 1, and FIG. It is a cross-sectional photograph which cut | disconnected the groove part of the lead pipe shown in 2a in the AA 'direction.

도 1 및 도 2a를 참조하면, 클램프(100)는 클램프 아암(105)과, 클램프 아암(105)의 일측면 상단부에 체결되는 한 쌍의 장착플레이트(107)로 이루어진다. 클램프 아암(105)은 일측면 상단부에 필라멘트 어셈블리(101)의 양단부가 삽입되어 고정되는 제1 장착홈(105a)이 각각 형성되어 있고, 그 아래에 지지턱(105b)이 각각 형성되어 있다. 그리고, 장착플레이트(107)는 제1 장착홈(105a)과 서로 상응하는 위치에 제2 장착홈(107a)이 각각 형성되어 있고, 클램프 아암(105)의 일측면 상단부에 스크류(106)에 의해 각각 결합된다. 한편, 클램프 아암(105)의 하측 단부에는 전압공급부(도시되지 않음)로부터 전압이 인가되는 접속부재(도시되지 않음)가 체결된다. 1 and 2A, the clamp 100 consists of a clamp arm 105 and a pair of mounting plates 107 fastened to one side upper end of the clamp arm 105. The clamp arm 105 is formed with first mounting grooves 105a to which both ends of the filament assembly 101 are inserted and fixed to one side upper end thereof, and support jaw 105b is formed below each of the clamp arms 105. The mounting plate 107 is formed with a second mounting groove 107a at a position corresponding to the first mounting groove 105a, respectively, and is provided by a screw 106 at one upper end of the clamp arm 105. Each combined. On the other hand, at the lower end of the clamp arm 105, a connecting member (not shown) to which a voltage is applied from a voltage supply part (not shown) is fastened.

필라멘트 어셈블리(101)는 필라멘트(102)와, 리드관(103)으로 이루어져 있다. 그리고, 필라멘트(102)의 양단부와 리드관(103)은 압착 수단에 의해 압착되어 서로 고정된 상태에 있고, 필라멘트(102)의 양단부가 고정된 리드관(103)의 외측면에는 압착으로 인한 홈(103a)이 형성되어 있다. The filament assembly 101 consists of a filament 102 and a lead pipe 103. Then, both ends of the filament 102 and the lead pipe 103 are pressed and fixed to each other by a crimping means, and grooves due to compression are formed on the outer surface of the lead pipe 103 on which both ends of the filament 102 are fixed. 103a is formed.

이와 같은 구성을 갖는 필라멘트 어셈블리(101)는 클램프(100)의 제1 장착홈(105a)과 제2 장착홈(107a) 사이에 구부러진 리드관(103)의 소정 부위가 끼워져 고정됨으로써, 아크 챔버(도시 되지 않음)에 설치된다. 따라서, 접속단자(도시되지 않음)를 통해 클램프(100)에 전압이 인가되면, 클램프(100)로부터 리드관(103), 리드관(103)으로부터 필라멘트(102)의 양단부로 전류가 흐르게 되고, 이에 따라 필라 멘트(102)가 소정의 온도로 가열되어 열전자를 방출한다. In the filament assembly 101 having the above configuration, a predetermined portion of the lead pipe 103 that is bent between the first mounting groove 105a and the second mounting groove 107a of the clamp 100 is fitted into the arc chamber ( (Not shown). Therefore, when a voltage is applied to the clamp 100 through a connection terminal (not shown), current flows from the clamp 100 to the both ends of the filament 102 from the lead tube 103 and the lead tube 103. Accordingly, the filament 102 is heated to a predetermined temperature to emit hot electrons.

그러나, 이와 같은 종래 기술의 방법으로 제조된 필라멘트 어셈블리(101)는 도 2b에 나타낸 바와 같이, 필라멘트(102)의 어느 한 단선(102a) 또는 그 이상의 단선(102a)의 외주면이 리드관(103)의 내주면(103c)에 접촉되지 않을 수 있다. 이는 필라멘트(102)의 양단부를 리드관(103) 내에 삽입시킨 다음 필라멘트(102)의 양단부가 삽입된 리드관(103)의 외주면(103b)을 압착할 때, 도면부호 F가 가르키는 바와 같이 외주면(103b)의 일측부위에만 힘을 가해 압착시켰기 때문이다. However, in the filament assembly 101 manufactured by such a conventional method, as shown in FIG. 2B, the outer circumferential surface of any one disconnection 102a or more than one disconnection 102a of the filament 102 is the lead pipe 103. It may not be in contact with the inner circumferential surface 103c. This is because when inserting both ends of the filament 102 into the lead tube 103 and then pressing the outer circumferential surface 103b of the lead tube 103 into which both ends of the filament 102 are inserted, the outer circumferential surface as indicated by reference numeral F indicates. This is because the pressure was applied only to one side of the 103b.

따라서, 필라멘트 어셈블리(101)는 필라멘트(102)의 양단부와 리드관(103) 사이에 형성된 공극(104)으로 인해, 전기적 접촉불량을 일으키거나 일부 단선(102a)에 과부하가 걸린다. 이와 같은 전기적 접촉불량 및 과부하 발생은 필라멘트(102)를 구성하는 단선(102a)들의 수명이 감소되거나, 단선(102a)들이 끊어지는 등의 문제를 발생시키는 한 요인으로 작용한다. Therefore, the filament assembly 101 is caused by the gap 104 formed between the both ends of the filament 102 and the lead pipe 103, causing electrical contact failure or overload some disconnection (102a). Such a poor electrical contact and overload occurs as a factor that causes problems such as reduced life of the disconnection (102a) constituting the filament (102), disconnection of the disconnection (102a).

따라서, 본 발명은 필라멘트의 양단부와 리드관 사이에 형성된 공극으로 인해 전기적 접촉불량 또는 과부하 현상이 발생되지 않는 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention provides a method for manufacturing a filament assembly of an ion implantation device in which electrical contact failure or overload does not occur due to a gap formed between both ends of the filament and the lead tube.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법으로서, (a)복수 개의 금속 단선을 꼬아서 구성한 필라멘트와 소정의 길이를 갖는 원통형의 리드관을 준비하는 단계; (b)필라멘트의 양단부를 리드관에 각각 삽입하는 단계; 및 (c)필라멘트의 양단부가 삽입된 리드관의 외주면을 압착하는 단계를 포함하고, (c)단계는 필라멘트가 삽입된 리드관의 외주면을 압착 수단으로 감싸서 압착하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method for manufacturing a filament assembly of an ion implantation apparatus, the method comprising: (a) preparing a filament formed by twisting a plurality of metal wires and a cylindrical lead tube having a predetermined length; (b) inserting both ends of the filament into the lead pipe, respectively; And (c) pressing the outer circumferential surface of the lead tube into which the both ends of the filament are inserted, and (c) step is characterized by wrapping the outer circumferential surface of the lead tube into which the filament is inserted, by pressing means.

이 때, 압착 수단은 프레스형 금형인 것이 바람직하고, 필라멘트는 전압 인가 시 열전자를 방출하는 표면적이 증가되도록 열전자의 방출이 집중되는 중앙부위가 소용돌이 형상 또는 코일 형상 중 어느 한 형상으로 이루어진 것이 바람직하다. At this time, it is preferable that the crimping means is a press-type mold, and the filament preferably has a central portion in which the hot electrons are concentrated so as to have a surface area for emitting hot electrons when voltage is applied, either in a spiral shape or a coil shape. .

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법에 대한 바람직한 실시예를 설명하고자 한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the method for manufacturing a filament assembly of the ion implantation apparatus according to the present invention.

도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법을 개략적으로 나타낸 순서도이고, 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 필라멘트의 양단부가 삽입된 리드관의 외주면을 압착하는 방법을 개략적으로 나타낸 분해 사시도이다. 그리고, 도 4a는 본 발명의 실시예에 따라 제조된 필라멘트 어셈블리를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 4b는 도 4a에 나타낸 리드관의 홈부위를 B-B´ 방향으로 절개한 단면사진이다.Figure 3a is a flow chart schematically showing a method for manufacturing a filament assembly of the ion implantation apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3b is a method for pressing the outer peripheral surface of the lead tube inserted both ends of the filament according to the embodiment of the present invention An exploded perspective view schematically. 4A is a perspective view schematically illustrating a filament assembly manufactured according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4B is a cross-sectional photograph of the groove portion of the lead tube shown in FIG. 4A in the B-B 'direction.

도 3a 내지 도 4b를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법은 먼저, 필라멘트(302)와 리드관(303)을 준비한다(S10). 즉, 필라멘트(302)는 텅스텐 재질의 세 개의 단선(302a)을 꼬아서 구성하고, 그 중앙부위를 반시계방향으로 중심을 향해 감다가 다시 시계방향으로 감아서 소용돌이 형상으로 만든다. 리드관(303)은 관형상으로 구성하고, 그 양단부를 구부린다. 이 때, 필라멘트(302)는 중앙부위가 코일 형상으로 이루어질 수도 있다. 그리고, 리드 관(303)은 양단부가 구부러져 있지 않은 원통형 형상으로 이루어질 수도 있다. 3A to 4B, the filament assembly manufacturing method of the ion implantation apparatus according to the embodiment of the present invention first prepares the filament 302 and the lead tube 303 (S10). That is, the filament 302 is composed of three twisted wires 302a made of tungsten material, and the central part thereof is wound in a counterclockwise direction toward the center and then wound clockwise again to form a vortex. The lead pipe 303 is comprised in tubular shape, and both ends are bent. At this time, the filament 302 may be formed in the center of the coil shape. The lead tube 303 may be formed in a cylindrical shape in which both ends are not bent.

이와 같이 필라멘트(302)와 리드관(303)이 준비되면, 필라멘트(302)의 양단부를 리드관(303) 내에 소정 길이만큼 삽입한다(S20). 이는 소정의 장치에 의해 자동으로 시행될 수도 있고, 작업자에 의해 수동으로 시행될 수도 있다.When the filament 302 and the lead tube 303 are prepared as described above, both ends of the filament 302 are inserted into the lead tube 303 by a predetermined length (S20). This may be done automatically by a device or may be done manually by an operator.

마지막으로, 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 리드관(303)의 외주면(303b)을 감싸서 압착(S30)한다. 이는 리드관(303) 내에 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 원자재(311)를 프레스형 금형(300)을 이용하여 압착함으로써, 필라멘트(302)의 양단부를 리드관(303)에 고정시킨다. Finally, the outer circumferential surface 303b of the lead pipe 303 into which both ends of the filament 302 are inserted is wrapped and pressed (S30). This presses the raw material 311 in which both ends of the filament 302 are inserted into the lead pipe 303 using the press die 300 to fix both ends of the filament 302 to the lead pipe 303.

여기서, 프레스형 금형(300)은 상부금형(305)과 하부금형(306)을 포함하는 구성을 갖는다. 즉, 상부금형(305)의 하면과 하부금형(306)의 상면에는 원자재와 동일한 형상을 갖는 제1 성형틀(307a)과 제2 성형틀(307b)이 각각 형성되어 있다. 그리고, 제1 성형틀(307a)과 제2 성형틀(307)의 대향되는 내측면에는 라운드진 띠형상의 압축돌기(312)가 각각 형성되어 있다. 압축돌기(312)는 상부금형(305)이 하부금형(306)으로 하강될 시, 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 리드관(303)의 외주면(303b)을 압축하여 필라멘트(302)의 양단부와 리드관(303)을 고정하는 역할을 한다. Here, the press mold 300 has a configuration including an upper mold 305 and a lower mold 306. That is, the first mold 307a and the second mold 307b having the same shape as the raw material are formed on the lower surface of the upper mold 305 and the upper mold 306, respectively. On the inner side surfaces of the first mold 307a and the second mold 307, rounded band-shaped compression protrusions 312 are formed, respectively. When the upper mold 305 is lowered to the lower mold 306, the compression protrusion 312 compresses the outer circumferential surface 303b of the lead pipe 303 into which both ends of the filament 302 are inserted, thereby both ends of the filament 302. And the lead pipe 303 to fix.

제1 성형틀(307a)과 제2 성형틀(307b)의 각각의 양측에는 포스트 홀더(308, 309)들이 설치되어 있다. 포스트 홀더(308, 309)들은 상부금형(305)이 하부금형(306)으로 하강하는 경우 서로 맞물려짐으로써, 상부금형(305)의 하강구동을 가이드하는 역할을 한다. Post holders 308 and 309 are provided on both sides of each of the first mold 307a and the second mold 307b. The post holders 308 and 309 are engaged with each other when the upper mold 305 descends to the lower mold 306, thereby guiding the lower driving of the upper mold 305.

상부금형(305)과 하부금형(306)의 대향되는 각각의 일측면에는 스톱퍼(310)가 형성되어 있다. 스톱퍼(310)는 상부금형(305)이 소정의 위치까지만 하강되도록 상부금형(305)의 하강구동을 억제하는 역할을 한다. A stopper 310 is formed on one side surface of the upper mold 305 and the lower mold 306 facing each other. The stopper 310 serves to suppress the downward driving of the upper mold 305 so that the upper mold 305 is lowered only to a predetermined position.

이와 같은 구성을 갖는 프레스 금형(300)을 이용하여 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 리드관(303)의 외주면(303b)을 압착(S30)하는 방법에 대해 좀 더 자세히 살펴보면 다음과 같다.Looking at the method of pressing (S30) the outer peripheral surface (303b) of the lead pipe 303, both ends of the filament 302 is inserted using the press mold 300 having such a configuration as follows.

먼저, 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 리드관(303)을 하부금형(306)의 제2 성형틀(307)에 그 형상에 맞게 안착시킨다. 다음으로, 상부금형(305)을 하강시킨다. 이에, 제2 성형틀(307)로부터 노출된 원자재(311)의 상부가 제1 성형틀(307a)에 의해 감싸여진다. 다음으로, 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 리드관(303)의 외주면(303b)이 상부금형(305) 및 하부금형(306)의 제1 성형틀(307a)과 제2 성형틀(307)에 감싸여지면, 원자재(311)에 소정의 열을 가한다. 이에, 제1 성형틀(307a)과 제2 성형틀(307)의 내측면에 형성된 압축돌기(312)에 의해 리드관(303)의 외주면(303b)이 감싸여져 압착된다. 이에 따라, 필라멘트(302)의 양단부가 리드관(303) 내에 고정된다. 여기서, 리드관(303)은 압축돌기(312)에 의해 외주면(303b) 전체가 감싸여져 압착될 수도 있다.First, the lead pipe 303 in which both ends of the filament 302 are inserted is seated on the second mold 307 of the lower mold 306 in accordance with its shape. Next, the upper mold 305 is lowered. Thus, the upper portion of the raw material 311 exposed from the second mold 307 is wrapped by the first mold 307a. Next, the outer circumferential surface 303b of the lead pipe 303 into which both ends of the filament 302 are inserted is formed in the first mold 307a and the second mold 307 of the upper mold 305 and the lower mold 306. When wrapped in, a predetermined heat is applied to the raw material 311. Accordingly, the outer circumferential surface 303b of the lead pipe 303 is wrapped and compressed by the compression protrusion 312 formed on the inner surfaces of the first mold 307a and the second mold 307. As a result, both ends of the filament 302 are fixed in the lead pipe 303. Here, the lead pipe 303 may be wrapped around the entire outer circumferential surface 303b by the compression protrusion 312 may be compressed.

이와 같은 본 발명의 실시예에 따른 방법으로 제조된 필라멘트 어셈블리(301)는 도 4a에 나타낸 바와 같이, 종래 기술에 따른 방법으로 제조된 필라멘트 어셈블리(도 2a의 101)와는 달리 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 리드관(303)의 외주면(303b)에 띠형상의 홈(303a)이 형성되어 있다. 이는 프레스형 금형(300)에 의해 원자재(311)가 압착될 당시, 상부금형(305) 및 하부금형(306)의 제1 성형틀(307a)과 제2 성형틀(307)에 형성된 압축돌기(312)로부터 리드관(303)으로 도 4b에 나타낸 도면부호 F 방향과 같은 힘이 가해졌기 때문이다. 이에 따라, 필라멘트(302)를 구성하는 세 개의 단선(302a)은 모두 리드관(303)의 내주면(303c)에 밀착된 상태로 고정되어 있다. The filament assembly 301 manufactured by the method according to the embodiment of the present invention as shown in Figure 4a, unlike the filament assembly (101 of Figure 2a) manufactured by the method according to the prior art, both ends of the filament 302 A strip-shaped groove 303a is formed in the outer circumferential surface 303b of the lead pipe 303 into which the spool is inserted. When the raw material 311 is pressed by the press die 300, the compression protrusions formed on the first mold 307a and the second mold 307 of the upper mold 305 and the lower mold 306 ( This is because the same force as that in the direction indicated by reference symbol F shown in FIG. 4B is applied to the lead pipe 303 from 312. Accordingly, all three disconnected lines 302a constituting the filament 302 are fixed in a state of being in close contact with the inner circumferential surface 303c of the lead pipe 303.

이와 같이, 본 발명의 실시예에서는 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 리드관(303)의 외주면(303b)을 압착하여 필라멘트(302)의 양단부와 리드관(303)을 고정하는 경우, 라운드진 띠형상의 압축돌기(312)가 형성된 프레스형 금형(300)을 이용한다. 이에, 필라멘트(302)의 양단부가 삽입된 리드관(303)의 외주면(303b)이 프레스형 금형(300)에 의해 감싸여져 압착됨으로써, 필라멘트(302)의 양단부가 리드관(303)의 내주면(303c)에 밀착된 상태 즉, 필라멘트(302)를 구성하는 단선(302a)들이 리드관(303)의 내주면(303c)에 밀착된 상태로 고정된다. 따라서, 필라멘트(302)와 리드관(303) 사이에 공극이 형성되지 않는다. As described above, in the embodiment of the present invention, when both ends of the filament 302 are fixed to the both ends of the filament 302 and the lead pipe 303 by pressing the outer peripheral surface 303b of the lead pipe 303 into which the both ends are inserted, A press die 300 in which a band-shaped compression protrusion 312 is formed is used. Accordingly, the outer circumferential surface 303b of the lead tube 303 into which both ends of the filament 302 are inserted is wrapped and pressed by the press mold 300 so that both ends of the filament 302 are inner circumferential surface of the lead tube 303 ( The state in close contact with the 303c, that is, the disconnection lines 302a constituting the filament 302 are fixed in the state in close contact with the inner circumferential surface 303c of the lead pipe 303. Therefore, no gap is formed between the filament 302 and the lead pipe 303.

한편, 본 발명에 따른 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법은 상기 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상내에서 당분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 많은 변형이 가능하다. 예를 들어, 고정 수단으로 프레스형 금형을 사용하였으나, 프레스형 금형 대신 유압식 압착 헤드 또는 전동식 압착 헤드를 구비한 압착 공구가 사용될 수도 있다.On the other hand, the filament assembly manufacturing method of the ion implantation apparatus according to the present invention is not limited to the above embodiment, many modifications are possible by those skilled in the art within the technical idea of the present invention. For example, although a press die is used as the fixing means, a press tool having a hydraulic press head or an electric press head may be used instead of the press die.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따른 이온주입장치의 필라멘트 어셈 블리 제조방법은 필라멘트의 양단부가 삽입된 리드관의 외주면을 압착할 시 압착 수단으로 감싸서 압착하는 것을 특징으로 한다. 이에, 필라멘트의 양단부는 리드관의 내주면에 밀착된 상태로 고정되고, 이에 따라 필라멘트와 리드관의 내주면 사이에 공극이 형성되지 않는다.As described above, the filament assembly manufacturing method of the ion implantation apparatus according to the present invention is characterized in that the crimp wrapped around the outer peripheral surface of the lead tube in which both ends of the filament is inserted in the crimping means. Accordingly, both ends of the filament are fixed in close contact with the inner circumferential surface of the lead tube, and thus no gap is formed between the filament and the inner circumferential surface of the lead tube.

따라서, 본 발명에 따른 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법으로 제조된 필라멘트 어셈블리는 필라멘트의 양단부와 리드관 사이의 공극으로 인한 전기적 접촉불량 및 과부하 현상이 발생되지 않는다. 이에, 필라멘트 어셈블리의 수명이 증가된다. Therefore, the filament assembly manufactured by the method for manufacturing the filament assembly of the ion implantation apparatus according to the present invention does not cause an electrical contact failure and an overload phenomenon due to the gap between the both ends of the filament and the lead tube. This increases the life of the filament assembly.

Claims (3)

(a)복수 개의 금속 단선을 꼬아서 구성한 필라멘트와 소정의 길이를 갖는 원통형의 리드관을 준비하는 단계;(a) preparing a filament formed by twisting a plurality of metal single wires and a cylindrical lead tube having a predetermined length; (b)상기 필라멘트의 양단부를 상기 리드관에 각각 삽입하는 단계; 및 (b) inserting both ends of the filament into the lead pipe, respectively; And (c)상기 필라멘트의 양단부가 삽입된 상기 리드관의 외주면을 압착하는 단계를 포함하고, (c) compressing an outer circumferential surface of the lead pipe into which both ends of the filament are inserted; 상기 (c)단계에서는 상기 필라멘트가 삽입된 상기 리드관의 외주면을 압착 수단으로 감싸서 압착하는 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법.In the step (c), the filament assembly manufacturing method of the ion implantation device, characterized in that the crimp wrapped around the outer peripheral surface of the lead tube is inserted into the pressing means. 제1항에 있어서, 상기 압착 수단은 프레스형 금형인 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법.The method of manufacturing a filament assembly of an ion implantation device according to claim 1, wherein the pressing means is a press die. 제1항에 있어서, 상기 필라멘트는 열발생이 집중되는 중앙부위가 소용돌이 형상 또는 코일 형상 중 어느 한 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 이온주입장치의 필라멘트 어셈블리 제조방법.The method of claim 1, wherein the filament has a central portion in which heat generation is concentrated, wherein the filament assembly of the ion implantation device is characterized in that it is made of any one of a spiral shape or a coil shape.
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