KR20060116106A - 실린더의 동작 위치를 감지하는 실린더 장치 및 상기실린더 장치를 포함하는 시스템 - Google Patents

실린더의 동작 위치를 감지하는 실린더 장치 및 상기실린더 장치를 포함하는 시스템 Download PDF

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KR20060116106A KR1020050038478A KR20050038478A KR20060116106A KR 20060116106 A KR20060116106 A KR 20060116106A KR 1020050038478 A KR1020050038478 A KR 1020050038478A KR 20050038478 A KR20050038478 A KR 20050038478A KR 20060116106 A KR20060116106 A KR 20060116106A
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Abstract

효율적인 동작 위치 검출이 가능한 실린더 장치가 제공된다. 실린더 장치는 피스톤 및 피스톤 로드를 포함하는 실린더 본체와, 상기 피스톤 로드의 동작 위치를 감지하는 다수의 센서 및 상기 센서들의 출력을 입력으로 하여 2진 부호화된 정보로 변환하는 인코더를 포함한다.
실린더 센서, 단동 실린더, 복동 실린더

Description

실린더의 동작 위치를 감지하는 실린더 장치 및 상기 실린더 장치를 포함하는 시스템{Cylinder apparatus for detecting position of operation and system including the same}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실린더 장치를 포함하는 시스템의 구성을 나타내는 예시도이다.
도 2a는 도1의 인코더를 나타내는 예시도이다.
도 2b는 도 2a의 인코더를 OR 논리 게이트를 이용하여 나타내는 논리 회로도이다.
도 3은 도 2a의 인코더를 구성하는 각각의 입력 핀 번호에 대한 2진 부호화된 출력을 나타내는 표이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 실시예들에 따른 실린더가 적용되는 시스템을 나타내는 예시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 실린더 장치를 나타내는 예시도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 실린더 장치를 나타내는 예시도이다.
도 7은 도 6의 I부의 확대 측면도이다.
도 8은 도 6의 Ⅱ부의 확대 측면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110: 실린더 본체 120: 일군의 위치 센서
130: 센서 출력 라인 140: 인코더
150: 인코더 출력 라인 160: 모니터링 장치
본 발명은 실린더 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 효율적으로 실린더의 동작 위치를 감지하도록 하는 실린더 장치 및 상기 실린더 장치를 포함하는 시스템에 관한 것이다.
통상적으로, 공압실린더는 공압의 에어 에너지를 기계적 에너지로 변환시켜서 선형 운동을 하는 에어 압력 요소로서, 압력과 에어량을 제어하여 추력과 속도를 조절할 수 있다. 이러한 공압 실린더는 주로 단동 실린더와 복동 실린더로 이루어진다.
공압실린더가 사용될 때에는 통상적으로 동작 위치의 검출을 위한 센서가 실린더의 전/후로 설치되어 실린더의 전/후 동작을 감지하게 되며, LED와 같은 표시 장치를 상기 센서와 연결하여 감지된 실린더의 동작 위치를 사용자에게 알려주거나, 센서와 연결된 데이터 라인이 제어기의 입력 접점으로 입력되어 사용자가 실린더의 동작 위치를 파악할 수 있게 된다.
그러나, 임의의 설비 내의 점검하기 어려운 부분에 위와 같은 실린더가 위치하고 있는 경우에는 실린더의 동작에 이상이 발생하더라도 실린더의 현재 상태를 파악하기 위해서는 필요에 따라 상기 설비를 분해해야 하는 경우가 발생하게 된다.
이를 해결하기 위해 예컨대 실린더에 4개 이상의 센서를 부착하게 되면, 실린더의 동작 위치를 좀더 세밀하게 파악할 수 있게 되지만 제어기의 입력 접점의 개수가 센서의 개수만큼 증가되어야 한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 설비를 분해하지 않고 효율적인 실린더의 동작 위치 감지가 가능한 실린더 장치 및 상기 실린더 장치를 포함하는 시스템을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 실린더 장치는 피스톤 및 피스톤 로드를 포함하는 실린더 본체와, 상기 피스톤 로드의 동작 위치를 감지하는 다수의 센서 및 상기 센서들의 출력을 입력으로 하여 2진 부호화된 정보로 변환하는 인코더를 포함한다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 시스템은 피스톤 및 피스톤 로드를 포함하는 실린더 본체와, 상기 피스톤 로드의 동작 위치를 감지하는 다수의 센서와, 상기 센서들의 출력을 입력으로 하여 2진 부호화된 정보로 변환하는 인코더 및 상기 2진 부호화된 정보를 입력으로 하여 상기 2진 부호화된 정보에 대응하는 상기 피스톤 로드의 동작 위치에 대한 정보를 제공하는 모니터링 장치를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 실린더 장치를 포함하는 시스템의 구성을 나타내고 있는 예시도이다.
상기 시스템(100)은 실린더 본체(110)와 실린더 본체(110)에 있는 실린더의 동작 위치를 감지하는 일군의 위치 센서(120)와, 상기 일군의 위치 센서(120)로부터 출력되는 센서 출력 라인(130)과, 센서 출력 라인(130)을 입력으로 하여 2진화된 부호로 변환하는 인코더(140)와, 인코더 출력 라인(150) 및 인코더 출력 라인(150)을 입력으로 하여 감지된 실린더의 동작 위치를 사용자에게 제공하는 모니터링 장치(160)를 포함한다.
이 때, 실린더 본체(110)와 일군의 위치 센서(120), 센서 출력 라인(130) 그 리고 인코더(140)를 포함하는 장치를 본 명세서에서는 '실린더 장치'라고 칭하기로 한다. 즉, 도 1은 실린더 장치가 인코더 출력 라인(150)을 통하여 모니터링 장치(160)와 연결되어 있는 구성을 도시하고 있다.
일군의 위치 센서(120)는 실린더의 동작 위치를 감지하는 역할을 하는데, 이 때 감지하는 방법의 예로서, 실린더 본체 내에 있는 피스톤 로드의 전진 또는 후진을 감지하여 그 위치를 파악하는 근접 센서에 의한 방법이 있다.
근접 센서에 의한 방법에 따르면, 우선 근접 센서의 내부에 설치되어 있는 두 개의 금속이 피스톤 로드에 부착된 영구자석에 의해 자화된다. 만일 영구자석이 N극이면 그 근처로 대전된 금속은 S극이 되고, 그 다음에 위치한 금속은 다시 N극이 되는 것이다. 따라서, 영구자석이 센서 근처에 오게 되면 자화된 금속의 접점이 붙게 되어 피스톤 로드의 위치를 감지하게 되는 것이다.
한편, 본 발명에 따른 실시에서는 도 1에서 도시한 바와 같이 7개의 센서(D1 내지 D7)가 실린더의 동작 위치를 감지하는데 이용되는 것으로 가정한다.
위와 같은 방법을 통하여 일군의 위치 센서(120)에 속하는 임의의 센서가 실린더의 동작 위치를 감지하게 되면 그 결과는 7개의 센서 출력 라인(130)을 통하여 인코더(140)로 입력되는데, 도 2a에서는 인코더(140)의 예로서 8개의 입력 라인과 3개의 출력 라인을 갖는 8*3 형태의 인코더를 나타내고 있다. 그러나, 본 발명의 실시에 따른 인코더는 도 2a에서 도시된 8*3 형태의 인코더에 한정되는 것이 아니라, 실린더의 동작 위치를 감지하는 센서의 개수에 따라 입력 라인의 개수와 출력 라인의 개수를 다르게 할 수도 있다.
도 2b에서는 도 2a에서 도시된 인코더를 논리 게이트를 이용하여 나타내고 있는데, 인코더를 논리 게이트로 표현하는 방법은 도 2b에서 도시된 바와 같이 OR 게이트만을 사용하는 방법 외에도 다양한 논리 게이트의 형태로 나타낼 수 있다. 여기에서는 7개의 센서를 사용하므로 D1 내지 D7만 고려하기로 한다.
도 3에서는 인코더(140)를 구성하는 각각의 입력 핀 번호에 대한 인코더의 2진 부호화된 정보를 나타내고 있다. 여기에서, D1 센서의 출력은 1번 핀으로, D2 센서의 출력은 2번 핀으로 순차적으로 센서의 출력과 핀 번호가 서로 대응된다고 가정한다.
만일, D5 센서가 실린더의 동작 위치, 즉 실린더의 로드 위치를 감지하게 되면 센서 출력 라인(130)을 통하여 인코더(140)의 5번 핀으로 'High' 신호가 전달되고, 이에 따른 인코더의 출력은 A, C 단자에서 '1'을, B 단자에서 '0'을 나타낸다.
인코더(140)의 출력 단자 A, B, C에 나타난 출력은 인코더 출력 라인(150)을 통하여 모니터링 장치(160)로 전달되고, 모니터링 장치(160)는 인코더(140)로부터 입력된 출력 정보를 통하여 실린더의 동작 위치를 파악하고 이를 사용자에게 텍스트 또는 그래픽 정보로 제공될 수 있다.
이 때, 모니터링 장치(160)는 실린더의 동작 위치를 감지하기 위한 하드웨어 또는(및) 소프트웨어가 탑재된 개인용 컴퓨터(Personal Computer) 이거나 프로그래머블 로직 컨트롤(Programmable Logic Control) 제어기를 포함할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 실린더 장치는 LCD(Liquid Crytal Display) 제조 설비 중에서 작업자가 직접 접근하여 조작하기가 곤란한 장비, 예컨대 챔버(chamber)의 도어를 여닫는 동작을 수행하는데에 적용될 수 있는데 도 그 예를 4a 내지 도 4c에서 도시하고 있다.
도 4a에서는 LCD 제조 공정에 있어서 코팅(coating) 과정을 수행하는 설비 시스템(400)의 구성을 개략적으로 나타내고 있는데, 로딩(loading) 설비(410)와 언로딩(unloading) 설비(420) 사이에는 기판의 코팅을 위한 다수의 챔버들이 도어(430a 내지 430e)를 통하여 연결되어 있다. 본 발명의 실시예에 따른 실린더 장치는 이러한 도어(430a 내지 430e)를 제어하는데 적용될 수 있다.
도 4b에서는 도4a에서 도시한 설비 시스템을 구성하는 임의의 공정 설비를 나타내고 있다. 공정 설비(442)의 양측에 각각 설치된 본 발명의 실시예에 따른 실린더 장치(444)에 공기를 소정 압력으로 공급하거나 진공압을 전달하게 되면 피스톤 로드(448)는 내부에 수용된 오일을 가압함과 동시에 회동부재(452)를 밀거나 당기게 되고, 회동부재(452)는 받침부(446)에 힌지 고정된 회전축(458)을 중심으로 회전하며 공정 설비(442)의 도어(200)를 개폐하게 된다.
도 4c는 본 발명의 실시예에 따른 실린더 장치가 적용되는 다른 실시예로서, 헤드플레이트(462)가 닫혀 있는 상태에서 개방시 잠금나사(462a)를 풀고 본 발명의 실시예에 따른 실린더 장치의 피스톤 로드(464)를 상승하게 된다. 그리고, 상승되는 피스톤 로드(464)에 의해 헤드플레이트(462)가 들어올려져 프로버본체(460)의 상면이 개방되고 이에 따라 작업자가 작업을 수행할 수 있게 된다. 한편, 작업이 완료되어 헤드플레이트(462)를 닫을 때에는 다시 피스톤 로드(464)가 하강하고 이에 따라 헤드플레이트(462)가 서서히 내려앉아 닫히면 잠금나사(462a)를 잠금홈(460a)에 조여서 상기 헤드플레이트(462)를 프로버본체(460)의 상면에 고정시킨다. 도 4c에서 도시되고 있는 설비는 주로 LCD 공정 중 증착, 이온주입 과정에서 사용될 수 있다.
도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 실린더 장치를 나타내는 예시도로서, 도 5에 도시된 실린더는 단동 실린더 장치를 나타내고 있다.
통상적으로 공압실린더는 공압의 에어 에너지를 기계적 에너지로 변환시켜 선형 운동을 하는 에어 압력 요소로서, 압력과에어량을 제어하여 추력과 속도를 조절할 수 있는데, 이러한 공압 실린더는 주로 단동 실린더와 복동 실린더로 이루어진다.
단동 실린더 장치(500)는 피스톤(503)측 면적으로만 공압이 작용하므로, 부하에 대하여 한 방향으로만 이동할 수 있도록 되어 있다. 또한 단동 실린더 장치(500)는 실린더 본체(502)와 실린더 본체(502) 내에 피스톤(503)과 코일 스프링(504)을 삽입하여 설치한다. 이 때, 피스톤(503)의 중심부에는 피스톤 로드(503a)가 구비되고, 피스톤 로드(503a)에 코일 스프링(504)이 관통되어 결합된다. 실린더 본체(502)의 한쪽 소정 위치에는 에어 유입구(505)가 형성되고, 다른 쪽 소정 위치에는 에어 배출구(506)가 형성된다.
또한, 실린더 본체(502)의 한쪽 끝단에는 에어(550)의 누출을 방치할 수 있도록 밀봉하는 엔드 캡(507)이 구비되어 있고, 다른쪽 끝단에는 피스톤 로드 베어 링(508), 로크 너트(508a) 및 와이퍼 실(508b)로 구비되어 있다. 피스톤 로드 베어링(508), 로크 너트(508a) 및 와이퍼 실(508b) 중심부에는 피스톤 로드(503a)를 관통시키는 관통홀(509)이 형성되어 있다.
이 상태에서 실린더 본체(502)의 에어 유입구(505)에 에어(550)를 유입한다. 이 때, 에어(550)의 유입에 따라서 압력이 상승하고, 이 에어 압력으로 인한 힘이 발생하여 피스톤(503)을 한쪽으로 전진하여 선형운동을 하게 된다.
여기서, 피스톤(503)을 후진운동시에는 실린더 본체(502)에 형성된 에어 배출구(506)를 통해 에어(550)를 배출시키면 에어 압력이 저하되고, 이와 동시에, 상기 코일 스프링(504)의 탄성력에 의해 상기 피스톤(503)을 후진시켜 원위치하게 된다.
이 때, 실린더 본체(502)의 동작 위치, 즉 피스톤 로드(503a)의 위치를 감지하기 위한 다수의 위치 센서 및 상기 위치 센서들로부터의 출력을 입력으로 하여 2진 부호화된 정보로 변환하는 인코더를 포함하고 있는 센서 출력 모듈(560)이 피스톤 본체(502)에 부착될 수 있다. 본 실시예에서 사용되는 '모듈'이라는 용어는 FPGA(Field Programmable Gate Array), 주문형 반도체(Application Specific Integrated Circuit, ASIC) 또는 SOC(System On Chip)와 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 이 때, 센서 출력 모듈(560)의 출력 라인(562)은 도 1에서 도시된 바와 같은 모니터링 장치(160)의 입력으로 전달된다. 모니터링 장치(160)는 실린더의 동작 위치를 감지하기 위한 하드웨어 또는(및) 소프트웨어가 탑재된 개인용 컴퓨터(Personal Computer) 이거나 프로그래머블 로직 컨트롤(Programmable Logic Control) 제어기를 포함한다.
한편, 도 5에서는 다수의 위치 센서 및 인코더가 단일의 센서 출력 모듈(560)에 포함된 것을 도시하고 있으나, 다수의 위치 센서 및 인코더는 별도의 모듈로 형성되어 실린더 본체(502)에 부착될 수 있다. 또한, 다수의 위치 센서는 실린더 본체(502)에 부착되고, 인코더는 실린더 본체(502)와 분리될 수도 있다.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 실린더 장치를 나타내는 예시도로서, 도 6 내지 도 8에 도시된 실린더는 복동 실린더 장치를 나타내고 있다.
복동 실린더 장치(600)는 실린더 본체(660)와, 피스톤(670)과, 피스톤 로드(672)와, 제1, 2 에어 유출입구(610)(620)와, 에어관(630)과, 제1, 2에어제어밸브(401, 402)와, 에어탱크(650)로 이루어져 있다.
상기 실린더 본체(660)내에 상기 피스톤(670) 및 피스톤 로드(672)가 구비되어 있다. 상기 에어관(630)은 후술하는 상기 제 1, 2 에어 유출입구(610)(620)와 연결되도록 상기 실린더 본체(660)의 소정 위치에 연결되어 있다. 제 1 에어제어밸브(401)는 후술하는 제 1 에어 유출입구(610)와 연결되고, 상기 피스톤(670)에 형성된 제 1 공간(662)내에 유출입되는 에어(680)를 제어할 수 있도록 상기 에어관(630)에 구비되어 있다.
제 2 에어제어밸브(642)는 후술하는 제 2 에어 유출입구(620)와 연결되고, 상기 피스톤(670)에 형성된 제 2 공간(664)내에 유출입되는 에어(680)를 제어할 수 있도록 상기 에어관(630)에 구비되어 있다. 상기 에어탱크(650)는 상기 에어(680)를 저장하거나 공급할 수 있도록 상기 제 1, 2 에어제어밸브(640)(642)와 연결되어 있다. 상기 제 1, 2 에어 유출입구(610)(620)는 상기 피스톤(670)을 기준으로 좌, 우 양측 각각에 제공되고, 상기 에어(680)의 유출입에 따른 에어 압력을 이용하여 상기 피스톤(670)을 좌, 우 양방향으로 선형운동을 가능하도록 상기 실린더 본체(660)의 소정 위치에 형성되어 있다.
상기 피스톤(670)에는 상기 피스톤(670)의 좌, 우 양측에 유출입되는 에어(680)의 밀폐기능을 향상시킬 수 있도록 다수의 피스톤 실링(671)이 구비되어 있다. 또한, 상기 실린더 본체(660)내에는 상기 에어(680)를 유출입시킬 수 있도록 상기 피스톤을 기준으로 피스톤(670)의 좌, 우 양측에 제 1, 2 공간(662)(664)이 형성되어 있다.
복동 실린더 장치(600)는 공압 에너지를 기계적 에너지로 변환시켜서 피스톤(670)을 좌, 우 양방향으로 선형운동을 가능하도록 한다. 상기 실린더 본체(660)에는 상기 피스톤(670) 및 피스톤 로드(672)가 구비된다.
상기 피스톤(670)을 선형운동하기 위해서는 상기 실린더 본체(660)의 소정 위치에 제 1, 2 에어 유출입구(610)(620)를 상기 피스톤(670)을 기준으로 좌, 우 양측 의 각각에 형성된다.
이 상태에서, 상기 제 1, 2 에어 유출입구(610)(620)에 에어관(630)을 연결한다.
상기 에어관(630)에는 상기 에어(680)의 유출입을 제어하는 제 1, 2 에어제어밸브(640)(642)를 구비한다.
여기서, 상기 제 1, 2 에어제어밸브(640)(642)와 연결되어 에어(680)를 저장 하거나 공급하는 에어탱크(650)를 구비한다.
이 상태에서, 상기 제 1 에어제어밸브(640)는 상기 에어관(630)을 통해 상기 제 1 에어 유출입구(610)에 에어(680)를 공급하고, 이와 동시에 상기 피스톤(670)의 제 1 공간(662)내에 에어(680)를 유입시킨다. 상기 피스톤(670)의 제 1 공간(662)에는 에어(680)가 유입됨과 동시에 압력이 상승된다.
이 때, 상기 에어 압력과 피스톤(670) 면적의 곱인 압력 힘이 형성되고, 상기 압력 힘이 외력 및 마찰력을 극복하게 되어 상기 피스톤(670)을 좌측에서 우측으로 선형 이동시킨다.
이와 동시에, 상기 피스톤(670)에 구비된 피스톤 로드(672)도 함께 이동한다.
여기서, 상기 공압 에너지가 기계적 에너지로 변경되고, 그 결과가 최종 부하에서 작용한다.
또한, 반대로 피스톤(670)을 후진시킬 경우 상기 제 2 에어제어밸브(642)는 상기 에어관(630)을 통해 제 2 에어 유출입구(620)에 에어(680)를 공급한다.
이때, 상기 제 1 에어제어밸브(640)는 상기 제 1 에어 유출입구(610)를 통해 상기 피스톤(670)의 제 1 공간(662)에 유입된 에어(680)를 상기 실린더 본체(660)에서 배출하고, 배출된 에어(680)는 에어관(630)을 통해 에어탱크(650)로 보내어 저장된다.
여기서, 마찬가지로 상기 피스톤(670)의 제 2 공간(664)에는 에어(680)가 유입됨과 동시에 압력이 상승된다.
이때, 상기 에어 압력과 피스톤(670)의 면적의 곱인 압력 힘이 형성되어 상기 피스톤(670)을 반대로 우측에서 좌측으로 선형 이동시킨다.
이 때, 실린더 본체(660)의 동작 위치, 즉 피스톤 로드(672)의 위치를 감지하기 위한 다수의 위치 센서 및 상기 위치 센서들로부터의 출력을 입력으로 하여 2진 부호화된 정보로 변환하는 인코더를 포함하고 있는 센서 출력 모듈(690)이 피스톤 본체(660)에 부착될 수 있다. 본 실시예에서 사용되는 '모듈'이라는 용어는 FPGA(Field Programmable Gate Array), 주문형 반도체(Application Specific Integrated Circuit, ASIC) 또는 SOC(System On Chip)와 같은 하드웨어 구성요소를 의미할 수 있다. 이 때, 센서 출력 모듈(690)의 출력 라인(692)은 도 1에서 도시된 바와 같은 모니터링 장치(160)의 입력으로 전달된다. 모니터링 장치(160)는 실린더의 동작 위치를 감지하기 위한 하드웨어 또는(및) 소프트웨어가 탑재된 개인용 컴퓨터(Personal Computer) 이거나 프로그래머블 로직 컨트롤(Programmable Logic Control) 제어기를 포함한다.
한편, 도 6에서는 다수의 위치 센서 및 인코더가 단일의 센서 출력 모듈(690)에 포함된 것을 도시하고 있으나, 다수의 위치 센서 및 인코더는 별도의 모듈로 형성되어 실린더 본체(660)에 부착될 수 있다. 또한, 다수의 위치 센서는 실린더 본체(660)에 부착되고, 인코더는 실린더 본체(660)와 분리될 수도 있다.
도 5 및 도 6에서 도시한 실린더 장치(500, 600)는 LCD(Liquid Crytal Display) 제조 장비 중에서 작업자가 직접 접근하여 조작하기가 곤란한 장비, 예컨대 챔버(chamber)의 문을 여닫는 동작을 수행하는데에 적용되어 실린더 장치 내에 구비된 피스톤 로드의 동작 위치를 원격에서 감지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 실린더 장치 및 상기 실린더 장치를 포함하는 시스템에 의하면, 실린더의 동작 위치를 감지하는 다수의 센서를 사용하더라도 모니터링 장치의 입력 라인의 개수를 최소화하여 실린더의 동작 위치를 좀더 세밀하게 감지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 피스톤 및 피스톤 로드를 포함하는 실린더 본체;
    상기 피스톤 로드의 동작 위치를 감지하는 다수의 센서; 및
    상기 센서들의 출력을 입력으로 하여 2진 부호화된 정보로 변환하는 인코더를 포함하는 실린더 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 2진 부호화된 정보는 데이터 라인을 통하여 상기 피스톤 로드의 동작 위치를 감지하기 위한 모니터링 장치의 입력으로 전달되는 실린더 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 실린더 장치는 단동 실린더 장치 또는 복동 실린더 장치를 포함하는 실린더 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 실린더 장치; 및
    상기 2진 부호화된 정보를 입력으로 하여 상기 2진 부호화된 정보에 대응하는 상기 피스톤 로드의 동작 위치에 대한 정보를 제공하는 모니터링 장치를 포함하는 시스템.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 실린더 장치는 LCD 제조 설비의 도어에 연결되어 상기 도어의 개폐를 제어하는 시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2011068338A3 (ko) * 2009-12-04 2011-10-20 두산산업차량 주식회사 작동유 온도 변화에 따른 보상 압력을 이용한 하물 중량 측정 장치 및 방법
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