KR20060114149A - 기판 외관 검사 장치 - Google Patents

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KR20060114149A
KR20060114149A KR1020050036134A KR20050036134A KR20060114149A KR 20060114149 A KR20060114149 A KR 20060114149A KR 1020050036134 A KR1020050036134 A KR 1020050036134A KR 20050036134 A KR20050036134 A KR 20050036134A KR 20060114149 A KR20060114149 A KR 20060114149A
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Abstract

본 발명은 LCD 기판 표면의 결함 여부를 검사하기 위한 기판 외관 검사 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 상방 조명계; 상기 상방 조명계의 하측에 기판을 위치시켜 기판의 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계; 로 구성되는 기판 외관 검사 장치에 있어서, 상기 기판 위치계에는, 그 상면에 기판을 위치시키며 위치된 기판을 고정시키는 기판 홀더; 상기 기판 홀더를 수평 이동 및 회전 이동시키는 스테이지; 특정한 위치에 각각 고정되어 조사되는 레이저의 교차점에 의하여 결함의 위치를 마킹(marking)하는 레이저 마킹부; 상기 결함 위치로 이동하여 결함을 확인하는 리뷰 유닛(review unit);이 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치를 제공한다.
기판 외관 검사, 매크로 검사기, 레이저, 리뷰 유닛

Description

기판 외관 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING THE SUBSTRATE}
도 1은 기판 외관 검사 장치의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 2는 종래의 기판 위치계의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 위치계의 구조를 나타내는 정면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 마킹부를 사용하여 의사 결함 지역의 좌표를 계산하는 개념도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 종래의 기판 외관 검사 장치
10 : 상방 조명계 30 : 기판 위치계
20 : 투과 조명계 31 : 기판 홀더
34 : 스테이지 35 : 눈금자
36 : 리뷰 유닛 37 : 레이저 마킹부
S : 기판 F : 프레임
본 발명은 LCD 기판 표면의 결함 여부를 검사하기 위한 기판 외관 검사 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 웨이퍼나 LCD, PDP, OLED 등의 대형 기판을 생산할 때 기판에 남아 있는 이물질이나 얼룩 등의 결함을 발견하기 위하여 목시검사, 즉 검사자의 육안으로 결함 여부를 검사한다. 이때, 결함의 발견을 용이하게 하기 위하여 기판 전체를 균일하게 조명하여 기판 전체를 검사하는 기판 외관 검사장치가 사용된다.
종래의 기판 외관 검사 장치는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상방 조명계(10), 후방 조명계(20), 기판 위치계(30)로 구성된다.
상방 조명계(10)는 기판 위치계(30)의 상방에 설치되어, 기판 표면 상에 결함이 있는지 여부를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 역할을 하며, 광원부(11), 반사부(12), 집광부(13), 산란부(14)로 구성된다. 광원부(11)는 기판 표면에 조사되는 빛을 최초로 생성하는 구성요소이며, 반사부(12)는 광원부(11)에서 조사되는 빛의 방향을 집광부(13)로 변경시키는 역할을 하며, 기판 외관 검사 장치의 높이가 높아지는 것을 방지한다. 또한 집광부(13)는 반사부(12)로부터 조사되는 확산광을 집속하는 역할을 하며, 산란부(14)는 전원의 인가 여부에 따라 빛을 그대로 통과시키거나 산란시켜서 기판 검사자의 기판 검사를 용이하게 하는 역할을 한다.
이때 광원부(11), 반사부(12), 집광부(13), 산란부(14)는 모두 그 각도를 조 정할 수 있는 구조로 구비된다. 즉, 상방 조명계(10)의 하부에 위치된 기판 표면의 결함 유무를 가장 용이하게 검사할 수 있는 상방 조명계(10)의 각도를 선정할 수 있도록 상방 조명계의 각 구성요소의 각도를 개별적으로 조정할 수 있는 구조로 구비시키는 것이다.
다음으로 후방 조명계(20)는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 위치계(30)의 후방에 위치되며, 기판의 내부 결함여부를 검사하기 위하여 기판 후면에서 투과 조명을 조사하는 역할을 한다. 후방 조명계(20)는 조명부(21)와 이동부(22)로 구성되며, 조명부(21)는 투과 조명을 발생시키는 구성요소이며, 이동부(22)는 조명부(21)를 전후 방향으로 구동시키는 구성요소이다.
조명부(21)를 전후 방향으로 구동시키는 이유는 다음과 같다. 검사되는 기판이 대형화되면서, 기판의 회전 반경을 확보하기 위하여 후방 조명계(20)를 기판 위치계(30)로부터 상당 거리 이상 이격시켜야 한다. 그러나 후방 조명계(20)가 기판 위치계(30)로부터 상당 거리 이격되어 있으면, 기판 내부 결함 검사시 조도가 약해지는 문제점이 있으므로 기판 내부 결함 검사시에는 조명부(21)를 기판 위치계(30) 쪽으로 접근시킬 필요가 있다. 따라서 조명부(21)를 전후 방향으로 이동가능하게 구비시킬 필요가 있는 것이다.
이때 이동부(22)는 소정 길이의 리니어 가이드(도면에 미도시)를 전후방향으로 구비시키고, 그 리니어 가이드와 결합하여 그 리니어 가이드를 따라서 이동하는 리니어블럭(도면에 미도시)으로 구성되며, 리니어 블럭은 조명부(21)와 결합되어 있는 구조 또는 조명부(21)와 일체로 형성되는 구조를 취한다.
따라서 리니어 블럭을 리니어 가이드를 따라서 이동시키면 이에 결합되어 있는 조명부(21)가 함께 전후 방향으로 이동되는 것이다.
다음으로 기판 위치계(30)는 그 소정 부분에 기판을 위치시키고 요동시킴으로써 기판의 모든 표면을 검사할 수 있도록 하는 역할을 한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 위치계(30)에는 그 상부에 기판이 위치되며, 위치된 기판(S)을 고정시키는 기판 홀더(31)와 기판 홀더(31)를 슬라이딩(sliding) 운동시킬 수 있는 슬라이딩 구동부(32) 및 스테이지(34)로 구성된다. 여기서 슬라이딩 운동이라 함은 기판 홀더(31)와 슬라이딩 구동부(32)가 서로 분리되지 않고, 부착되어 있는 상태에서 미끄러지기판 접촉면을 따라 이동하는 것을 말한다. 이렇게 기판 위치계(30)에서 기판이 슬라이딩하도록 하는 것은, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판이 대형화되면서 기판의 모든 부분을 동시에 조사하면서 검사할 수 없기 때문에 기판을 중앙 부분(A), 상측 부분(B), 하측 부분(C)으로 나누어서 검사하기 위함이다.
먼저 기판의 중앙 부분(A)을 검사하고 나서, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판 홀더(31)를 하측으로 슬라이딩시켜 상측 부분(B)이 조사영역에 위치되도록 하고 상측 부분(B)을 검사한다. 그리고 상측 부분(B)에 대한 검사가 마무리되면, 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 홀더(31)를 상측으로 슬라이딩시켜 하측 부분(C)이 조사영역에 위치되도록 하고 하측 부분(C)을 검사한다.
다음으로 스테이지(34)는 상기 기판 홀더(31)를 수평 이동 및 회전 이동시키는 구성요소이다. 기판 홀더(31)에 고정되어 검사되는 기판이 점점 대면적화되면서 기판의 모든 면을 일시에 조사하여 검사하는 것이 불가능해지므로, 기판을 수평 이 동시키면서 검사할 필요가 있으며, 후면 검사 또는 적절한 결함 검사를 위하여 기판의 각도를 변경할 필요가 있기 때문이다.
그리고 이 기판 위치계(30)에는 도 2에 도시된 바와 같이, 결함 여부 및 정확한 결함 위치를 파악하기 위하여 눈금자(35) 및 리뷰 유닛(review unit, 36)이 마련된다. 여기에서 눈금자(35)는 기판 홀더(31)의 테두리에 배치되며 각각 X, Y 좌표를 표시하게 된다. 다음으로 리뷰 유닛(36)은 결함(defect)으로 의심되는 의사 결함 지역이 진짜 결함인지 여부를 판별하는 구성요소로서, 정확히 결함 여부를 판별하기 위하여 조명 및 CCD 카메라 등이 마련되어 있다. 여기에서 의사 결함 지역이라 함은, 검사자(6)가 기판 표면을 상방 조명계(10)에 의하여 조사되는 빛에 의하여 검사하면서 빛의 반사각도가 다른 지역과 상이하여 결함으로 의심되는 부분을 말한다. 그리고 이 리뷰 유닛(36)에는 이 리뷰 유닛을 의사 결함 지역으로 이동시키기 위한 직교 로봇이 더 마련된다. 이 직교 로봇은 기판 홀더(31)의 상하측에 각각 기판 홀더(31)의 장변과 평행이 되도록 마련되는 수평 로봇(36a), 상기 수평 로봇(36a)에 수직으로 결합되어 이동가능하게 마련되는 수직 로봇(36b)으로 구성되며, 상기 리뷰 유닛(36c)은 전술한 수직 로봇(36b) 상을 이동가능하게 마련된다.
이러한 눈금자(35) 및 리뷰 유닛(36)을 이용하여 결함을 확인하는 과정을 살펴보면 다음과 같다. 우선 기판을 검사하여 특정 부분에 결함으로 의심되는 의사 결함 지역이 발견되면 작업자가 기판 홀더(31)의 테두리에 배치되어 있는 눈금자(35)를 이용하여 대략의 의사 결함 지역 좌표를 측정한다. 그리고 리뷰 유닛(36)을 의사 결함 지역 위치로 이동시킨다. 이때 수직 로봇(36b)이 수평 로봇(36a) 상을 이동하면서 의사 결함 지역의 X좌표 상으로 이동하고, 리뷰 유닛(36c)이 수직 로봇(36b) 상을 이동하면서 의사 결함 지역의 Y 자표로 이동한다. 이렇게 리뷰 유닛(36c)이 이동하여 의사 결함 지역의 정확한 위치를 파악하면, 조명과 CCD 카메라를 이용하여 결함 여부를 판별한다.
그런데 종래에는 작업자가 눈짐작으로 의사 결함 지역의 좌표를 측정하므로, 의사 결함 지역의 정확한 좌표를 몰라서 리뷰 유닛(36)을 의사 결함 지역의 좌표로 정확하게 이동시키지 못하는 문제점이 있었다. 따라서 의사 결함 지역의 위치로 리뷰 유닛(36)을 이동시키는 데 많은 시간이 소요되고, 결함 여부 확인에 많은 시간이 소요되는 문제점이 있다.
이러한 문제점은 기판이 대형화되면서 리뷰 유닛의 이동거리가 확대되고, 눈금자가 더욱 커지면서 심화되고 있는 실정이다.
본 발명의 목적은 신속하게 의사 결함 지역의 좌표를 측정하여, 리뷰 유닛을 신속하고 정확하게 의사 결함 지역으로 이동시켜 결함 여부를 판단하는 기판 외관 검사 장치를 제공함에 있다.
전술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 상방 조명계; 상기 상방 조명계의 하측에 기판을 위치시켜 기판의 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계; 로 구성되는 기판 외관 검사 장치에 있어서, 상기 기판 위치계에는, 그 상면에 기판을 위치 시키며 위치된 기판을 고정시키는 기판 홀더; 상기 기판 홀더를 수평 이동 및 회전 이동시키는 스테이지; 특정한 위치에 각각 고정되어 조사되는 레이저의 교차점에 의하여 결함의 위치를 마킹(marking)하는 레이저 마킹부; 상기 결함 위치로 이동하여 결함을 확인하는 리뷰 유닛(review unit);이 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치를 제공한다.
본 발명에서는 레이저 마킹부를, 특정한 위치에 고정되어 마련되며, 그 조사 각도를 조정할 수 있는 제1 레이저; 상기 제1 레이저의 고정 위치와 소정 거리 만큼 이격되어 마련되며, 그 조사 각도를 조정할 수 있는 제2 레이저; 상기 제1 레이저의 조사 각도, 제2 레이저의 조사 각도 및 상기 제1 레이저와 제2 레이저 사이의 거리를 이용하여 결함의 위치를 계산하는 좌표 계산부;를 포함하여 구성되도록 함으로써, 간단한 조작으로 결함의 위치를 마킹할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
이때 제1 레이저 및 제2 레이져는, 상기 기판 홀더의 이웃하는 꼭지점에 각각 배치되는 것이, 각 레이저의 회전 각도를 최소화하면서도 기판의 모든 부분에 대하여 신속한 좌표 측정이 가능하므로 바람직하다.
본 발명에서는, 제1 레이저 및 제2 레이저를, 선표시의 레이저 빔을 조사하거나, 점표시의 레이저 빔을 조사하는 것으로 구성할 수 있다.
그리고 본 발명에서는, 기판 외관 검사 장치의 검사자 위치에 마련되며, 상기 제1 레이저 및 제2 레이저의 조사각도를 원격으로 조정할 수 있는 레이져 원격 조정부가 더 마련되도록 함으로써, 작업자가 작업자의 위치에서 용이하게 각 레이저의 조사각도를 조정할 수 있어서 바람직하다.
이때 레이저 원격 조정부는, 조이스틱, 키보드, 조그셔틀로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나로 구성될 수 있다.
또한 본 발명에서는, 상기 기판 홀더를 비례적으로 축소한 미니 검사 패드; 상기 미니 검사 패드 상에 결함위치를 지정하면 상기 제1 레이저 및 제2 레이져가 기판 홀더 상의 결합위치 방향으로 레이저를 조사하도록 제어하는 제어부;가 더 마련되도록 하여, 대형 기판의 검사시에도 신속하고 용이하게 결함의 정확한 위치를 측정하는 것이 바람직하다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 일 실시예를 상세하게 설명한다.
본 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치도 전술한 종래의 기판 외관 장치와 마찬가지로 상방 조명계, 후방 조명계, 기판 위치계로 구성되며, 각 구성요소의 기능 및 구조는 종래의 그것과 동일하므로 여기에서 반복하여 설명하지 않는다.
다만, 본 실시예에서는 기판 위치계(30)에, 도 3에 도시된 바와 같이, 레이저 마킹(marking)부(37)가 더 마련된다. 이 레이저 마킹부(37)는, 특정한 위치에 각각 고정되어 조사되는 복수개의 레이저 교차점에 의하여 기판 상의 의사 결함 지역의 정확한 좌표를 마킹(marking)하는 구성요소이다. 이렇게 레이저 마킹부(37)가 의사 결함 지역의 정확한 좌표를 측정하여 리뷰 유닛(36)에 이를 전달하면 리뷰 유닛(36)을 그 정확한 좌표로 이동하여 결함 여부를 정확하게 판정하게 되므로, 결함 여부 확인에 소요되는 시간이 대폭 단축되며, 정확한 결함 검사가 가능한 장점이 있다. 본 실시예에서는, 이 레이저 마킹부(37)를, 제1 레이저(37a); 제2 레이저(37b); 좌표 계산부(도면에 미도시);로 구성한다.
먼저 제1 레이저(37a)는 전술한 기판 홀더(31)의 테두리 중 특정한 위치에 고정되어 마련되며, 그 조사 각도를 조정할 수 있도록 마련된다. 한편 제2 레이저(37b)는, 기판 홀더(31)의 테두리 중 제1 레이저(37a)의 고정 위치와 소정 거리 만큼 이격된 위치에 마련되며, 그 조사 각도를 조정할 수 있도록 마련된다. 평면상에 존재하는 의사 결함 지역의 좌표를 정확하게 측정하는 데에는 다수개의 레이저를 이용할 수도 있지만, 최소한의 레이저를 사용하여 조작을 간편하게 하고, 신속한 결함 위치 파악을 위하여 2개의 레이저를 사용한다. 이때 제1, 2 레이저(37a, 37b)는 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 홀더(31)의 이웃하는 꼭지점에 각각 배치되는 것이 바람직하다. 각 레이저가 기판 홀더의 꼭지점에 배치되지 아니하는 경우에는 기판 상의 의사 결함 지역의 위치에 따라서는 레이저의 조사각도 변경 범위가 90°를 넘을 수도 있다. 그러나 레이저가 기판 홀더의 이웃하는 꼭지점에 배치되는 경 우에는, 레이저의 조사각도가 90°를 넘지않고서도 기판 상의 모든 면을 측정할 수 있으므로, 레이저의 조정시간 및 각도를 단축할 수 있는 장점이 있다.
그리고 본 실시예에서 사용하는 레이저는 선표시의 레이저 빔을 조사하는 것으로 마련될 수도 있으며, 점표시시의 레이저 빔을 조사하는 것으로 마련될 수도 있다. 다만, 선표시의 레이저 빔을 조사하는 레이저가 선표시 레이저 빔의 교차점을 쉽게 찾을 수 있어서 더 바람직하다.
다음으로 좌표 계산부는, 도 4에 도시된 바와 같이, 1 레이저(37a)의 조사 각도, 제2 레이저(37b)의 조사 각도 및 제1 레이저와 제2 레이저 사이의 거리(d)를 이용하여 결함의 위치를 계산하는 구성요소이다. 이 좌표 계산부에서 의사 결함 지역의 정확한 좌표를 얻기 위해 사용하는 알고리듬을 간단하게 설명하면 다음과 같다. 우선 이 좌표 계산부에는 제1 레이저(37a)와 제2 레이저(37b) 사이의 거리(d)가 미리 입력되어 있다. 그리고 의사 결함 지역을 제1, 2 레이저로 조사했을 때 기판 홀더의 장단변과 레이저빔이 이루는 각도(θ1 , θ2)가 입력된다. 이 상태에서 제1 레이저의 위치를 원점으로 정하고, 기판의 단변 방향을 X 좌표라고 정하면, 의사 결함 지역의 X좌표값인 n은 tanθ1/(tanθ1+tanθ2)×d에 의하여 정해진다. 그리고 의사 결함 지역의 Y좌표값인 m은 tanθ1 × tanθ2 /(tanθ2 - tanθ1)×d 에 의하여 정해진다.
그리고 본 실시예에는 이 좌표 계산부에 의하여 계산된 의사 결함 지역의 정확한 좌표값을 리뷰 유닛(36)에 전달하고, 이 리뷰 유닛(36)을 그 좌표값에 따라 이동시키는 제어부가 더 마련된다.
또한 본 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치에는 레이져 원격 조정부(도면에 미도시)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 레이저 원격 조정부는, 기판 외관 검사 장치의 검사자 위치에 마련되며, 제1 레이저(37a) 및 제2 레이저(37b)의 조사각도를 원격으로 조정하는 역할을 한다. 본 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치를 사용하여 검사하는 기판을 그 면적이 가로 세로 각각 2m 이상되는 대면적 기판이다. 따라서 작업자가 직접 기판 홀더의 꼭지점에 배치되는 레이저를 조작하는 것은 비효율적이다. 따라서 별도의 원격 조정부를 이용하여 용이하게 레이저의 조사각도를 조정할 수 있도록 하여 의사 결함 지역의 좌표 측정을 용이하게 하는 것이다. 본 실시예에서 이 레이저 원격 조정부는 조이스틱, 키보드, 조그셔틀로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나인 것이 레이저를 용이하게 조정할 수 있어서 바람직하다.
한편 본 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치에는 미니 검사 패드(도면에 미도시)가 더 마련되는 것이 바람직하다. 이 미니 검사 패드는, 기판 홀더를 비례적으로 축소한 것으로서, 이 미니 검사 패드에서 의사 결함 지역의 위치를 미리 시뮬레이션에 의하여 결정하면 그 결과에 따라 실제 기판 상의 의사 결함 지역 위치로 레이저 조사 각도가 조정되어 의사 결함 지역의 정확한 좌표를 측정하는 것이다. 기판 외관 검사 장치에 의하여 검사되는 기판의 면적이 대형화되면서 레이저를 이용하여 의사 결함 지역의 좌표를 정확하게 측정하더라도, 워낙 대면적이라 작업자가 한 눈에 기판의 모든 면적을 응시하면서 레이저를 조정하여 의사 결함 지역의 좌표를 측정하는 것이 어려우므로 한 눈에 들어오는 미니 검사 패드를 이용하여 의 사 결함 지역의 좌표를 지정하면 이 시뮬레이션 결과에 따라 실제 각각 레이저의 조사 각도가 조정되어 의사 결함 지역의 좌표를 측정하도록 하는 것이다. 따라서 본 실시예에 따른 기판 외관 검사 장치에는 이 미니 검사 패드에 의한 결함 위치 지정 결과에 따라 레이저를 제어하는 레이저 제어부가 더 마련되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면 레이저 마킹부에 의하여 의사 결함 지역의 정확한 좌표값을 신속하고 용이하게 측정할 수 있으므로, 리뷰 유닛을 의사 결함 지역으로 신속하게 이동시켜 결함 여부 확인이 신속하고 용이하게 이루어지는 장점이 있다.

Claims (8)

  1. 기판 표면 상의 결함 유무를 검사하기 위하여 기판 표면에 빛을 조사하는 상방 조명계;
    상기 상방 조명계의 하측에 기판을 위치시켜 기판의 표면을 검사할 수 있도록 하는 기판 위치계;
    로 구성되는 기판 외관 검사 장치에 있어서,
    상기 기판 위치계에는,
    그 상면에 기판을 위치시키며 위치된 기판을 고정시키는 기판 홀더;
    상기 기판 홀더를 수평 이동 및 회전 이동시키는 스테이지;
    특정한 위치에 각각 고정되어 조사되는 복수개의 레이저 교차점에 의하여 의사 결함 지역의 좌표를 마킹(marking)하는 레이저(Laser) 마킹부;
    상기 의사 결함 지역의 위치로 이동하여 결함 여부를 확인하는 리뷰 유닛(review unit);이 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 레이저 마킹부는,
    특정한 위치에 고정되어 마련되며, 그 조사 각도를 조정할 수 있는 제1 레이저;
    상기 제1 레이저의 고정 위치와 소정 거리 만큼 이격되어 마련되며, 그 조사 각도를 조정할 수 있는 제2 레이저;
    상기 제1 레이저의 조사 각도, 제2 레이저의 조사 각도 및 상기 제1 레이저와 제2 레이저 사이의 거리를 이용하여 결함의 위치를 계산하는 좌표 계산부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1 레이저 및 제2 레이져는,
    상기 기판 홀더의 이웃하는 꼭지점에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1 레이저 및 제2 레이저는,
    선표시의 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 제1 레이저 및 제2 레이저는,
    점표시의 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  6. 제2항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 외관 검사 장치의 검사자 위치에 마련되며, 상기 제1 레이저 및 제2 레이저의 조사각도를 원격으로 조정할 수 있는 레이져 원격 조정부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 레이저 원격 조정부는,
    조이스틱, 키보드, 조그셔틀로 이루어지는 군에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 기판 홀더를 비례적으로 축소한 미니 검사 패드;
    상기 미니 검사 패드 상에 결함위치를 지정하면 상기 제1 레이저 및 제2 레이져가 기판 상의 의사 결함 지역 방향으로 레이저를 조사하도록 제어하는 제어부;가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 외관 검사 장치.
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