KR20060108081A

KR20060108081A - Apparatus for disassembling and assembling of bellows gasket

Info

Publication number: KR20060108081A
Application number: KR1020050030207A
Authority: KR
Inventors: 조천호
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-04-12
Filing date: 2005-04-12
Publication date: 2006-10-17

Abstract

본 발명은 반도체 제조장치의 진공밸브에 적용되는 벨로우즈를 분해 및 조립하기 위한 벨로우즈 개스킷의 체결치공구에 관한 것이다. The present invention relates to a fastening tool of a bellows gasket for disassembling and assembling a bellows applied to a vacuum valve of a semiconductor manufacturing apparatus.

이러한 본 발명은 반도체 제조장치의 벨로우즈 개스킷의 체결치공구는, 상기 벨로우즈 개스킷의 플레이트를 고정하기 위한 플레이트 고정부와, 상기 플레이트 고정부에 수직으로 결합되어 소정의 높이를 갖는 수직부재와, 상기 수직부재와 수평으로 결합되어 상기 벨로우즈 개스킷의 피드쓰루우 플랜지를 고정하기 위한 클램프를 포함한다.The present invention is a fastening tool of the bellows gasket of the semiconductor manufacturing apparatus, a plate fixing part for fixing the plate of the bellows gasket, a vertical member having a predetermined height vertically coupled to the plate fixing part, and the vertical member And horizontally coupled with the clamp to secure the feedthrough flange of the bellows gasket.

벨로우즈 분해 및 조립장치, 본체, 가압수단, 너트, 진공밸브 Bellows disassembly and assembly device, main body, pressurizing means, nut, vacuum valve

Description

Apparatus for disassembling and assembling of bellows gasket}

도 1은 진공밸브에 적용되는 벨로우즈를 도시한 도면1 is a view showing a bellows applied to a vacuum valve

도 2는 종래의 벨로우즈 개스킷의 체결 치공구2 is a fastening tool of a conventional bellows gasket

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 벨로우즈 개스킷의 체결 치공구의 구조도Figure 3 is a structural diagram of the fastening tool of the bellows gasket according to an embodiment of the present invention

<도면의 주요부분에 대한 참조 부호의 설명><Description of reference numerals for main parts of the drawings>

10 : 피드쓰루우 플렌지 12 : 벨로우즈10: feedthrough flange 12: bellows

14 : 로드 16 : 스프링14: Rod 16: Spring

18 : 플레이트 20 : 패킹18: plate 20: packing

22 : 너트 24 : 요홈22: nut 24: groove

40 : 플레이트 고정부 41 : 수직부재40: plate fixing portion 41: vertical member

42 : 원형돌기 43 : 본체 42: circular projection 43: the main body

44: 수직부재 45 : 클램프44: vertical member 45: clamp

46 : 제1 클램프 47 : 거친면 46: first clamp 47: rough surface

48: 제2 클램프 49 : 원형공간 48: second clamp 49: circular space

50: 볼트 51: 제1 돌출부 50: bolt 51: first protrusion

52: 나비너트 53: 제2 돌출부 52: butterfly nut 53: second protrusion

54: 클램프 고정부 54: clamp fixing part

일반적으로 반도체를 제조하는 과정에서 반도체 기판인 웨이퍼는 물질층의 증착공정과 증착된 물질층을 에칭하는 공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 공정을 거치게 된다. 이러한 공정에서 웨이퍼는 해당공정을 실시하기에 가장 적합한 조건에 놓이게 된다.In general, in the process of manufacturing a semiconductor, a wafer, which is a semiconductor substrate, is subjected to various steps such as a process of depositing a material layer, a process of etching a deposited material layer, a cleaning process, and a drying process. In such a process, the wafer is placed in the most suitable conditions for carrying out the process.

특히, 반도체 제조 공정의 조건들 중 압력 조건은 매우 중요하며, 많은 반도체 제조 공정에서 저압력(Low Pressure) 즉, 저진공(Low Vacuum)이나 고진공(High Vacuum)의 조건들이 필요로 된다. 각 공정마다 요구되는 진공도는 각 공정에 따라 최적의 조건으로서 주어지는데, 요구되는 진공도 또는 사용되는 가스(Gas)의 종류나 양에 따라서 1개 또는 그 이상의 진공 펌프(Vacuum Pump)들이 사용된다.In particular, the pressure conditions of the semiconductor manufacturing process are very important, and many semiconductor manufacturing processes require low pressure, that is, low vacuum or high vacuum. The degree of vacuum required for each process is given as an optimum condition for each process. One or more vacuum pumps are used according to the required degree of vacuum or the type or amount of gas used.

각 공정에 적합한 진공상태는 압력 게이지를 통해 얻은 정보를 토대로 진공 펌프와 반응 챔버를 연결하는 진공밸브를 조절함으로써 얻을 수 있다.A suitable vacuum for each process can be obtained by adjusting the vacuum valve connecting the vacuum pump and the reaction chamber based on the information obtained through the pressure gauge.

상기 진공밸브는 통상 공기의 압력을 이용하여 구동시키게 되며, 상기 공기압에 따라 신축이 가능한 벨로우즈를 구비하는 구성이다.The vacuum valve is usually driven by using the pressure of air, and is configured to have a bellows that can be stretched according to the air pressure.

도 1은 진공밸브에 적용되는 벨로우즈를 도시한 도면이다.1 is a view illustrating a bellows applied to a vacuum valve.

도 1을 참조하면, 벨로우즈(12)의 일단에 피드쓰루우 플렌지(10)가 접속되어 있다. 벨로우즈(12)의 타단에는 플레이트(18)가 결합되어 있다. 벨로우즈(12) 내부에는 스프링(16)이 배치된다. 스프링(16)의 일측은 상기 플레이트(18)에 맞닿아 있으며, 타측은 벨로우즈(12)의 타단 내측면에 맞닿아 있다. Referring to FIG. 1, a feedthrough flange 10 is connected to one end of the bellows 12. The other end of the bellows 12, the plate 18 is coupled. The spring 16 is disposed inside the bellows 12. One side of the spring 16 is in contact with the plate 18, the other side is in contact with the other end inner surface of the bellows 12.

스프링(16) 내측에는 로드(14)가 설치되어 있다. 상기 로드(14)의 일측은 벨로우즈(12)의 타단 내측면에 고정되고, 타측은 플레이트(18)에 관통되도록 설치된다.The rod 14 is provided inside the spring 16. One side of the rod 14 is fixed to the inner side of the other end of the bellows 12, the other side is installed to penetrate the plate 18.

상기 플레이트(18)는 화살표 방향으로 주입되는 공기의 압력에 의해 로드(14)를 따라 아래로 움직일 수 있고, 공기압 등이 약해지면 스프링(16)의 탄성에 의해 다시 위로 움직일 수 있다. 이와 같은 동작에 의해 공정 시 요구되는 진공상태를 조절하게 된다.The plate 18 may move downward along the rod 14 by the pressure of air injected in the direction of the arrow, and may move upward again by the elasticity of the spring 16 when the air pressure or the like is weakened. By this operation it is possible to adjust the vacuum required during the process.

한편, 플레이트(18) 위쪽 로드(14) 둘레에는 실링(sealing)을 위한 패킹(22)이 설치되고, 너트(22)에 의해 고정되도록 구성된다.Meanwhile, a packing 22 for sealing is installed around the rod 14 above the plate 18, and is configured to be fixed by the nut 22.

그리고 플레이트(18)의 하부에 일정한 간격으로 서로 대향되는 위치에 4개의 요홈(24)이 형성되어 있다. And four recesses 24 are formed in the lower part of the plate 18 in a position opposed to each other at regular intervals.

도 2는 종래의 벨로우즈 개스킷의 체결 치공구이다.2 is a fastening tool of a conventional bellows gasket.

손잡이(30)와, 상기 손잡이(30)와 일체형으로 연장되어 반원형상의 개구부 (32)를 갖는 헤드부(34)와, 상기 헤드부(34)의 양끝단부에 각각 형성된 원형의 돌기(36)로 구성되어 있다.A handle 30, a head 34 having a semicircular opening 32 extending integrally with the handle 30, and circular protrusions 36 formed at both ends of the head 34, respectively. Consists of.

도 1과 같은 요소들을 포함한 진공밸브를 장시간 사용하게 되면 오염이 심해지므로, 주기적인 세척작업이 실시되어야 한다. 이때, 작업자는 상기 벨로우즈(12)를 포함한 진공밸브를 분해하게 된다. Since long-term use of the vacuum valve including the elements as shown in FIG. 1 increases the contamination, periodic cleaning operations should be performed. At this time, the operator will disassemble the vacuum valve including the bellows (12).

벨로우즈(12) 분해를 위해 우선 작업자는 도 2와 같은 치공구 등을 이용하여 로드(14)의 끝단부에 체결되어 있던 너트(22)를 푼다. 이때 스패너는 너트(22)를 풀기 위해서 돌기(36)를 플레이트(18)의 하부의 요홈(24)에 끼워 넣는다. 이어서 패킹(20)과 플레이트(18)를 분리하고, 스프링(16)을 분리한다. 그런 후, 각 요소를 세척하게 된다. For disassembling the bellows 12, first, the worker loosens the nut 22 which is fastened to the end of the rod 14 by using a tool such as FIG. At this time, the spanner fits the projection 36 into the recess 24 in the lower portion of the plate 18 to loosen the nut 22. The packing 20 and plate 18 are then separated and the spring 16 is removed. Then, each element is cleaned.

그런데, 상술한 분해 작업에서는 스프링(16)의 탄성으로 인해 몇 가지 문제점이 발생하게 된다. However, in the above disassembly work, some problems occur due to the elasticity of the spring 16.

첫째, 작업자가 너트(22)를 로드(14)로부터 분리시키는 순간, 스프링(16)에서 발생하는 탄성력 때문에 너트(22)가 튕겨 나가게 되어 너트(22)를 분실하는 경우가 발생된다.First, the moment when the worker separates the nut 22 from the rod 14, the nut 22 is thrown out due to the elastic force generated in the spring 16, the loss of the nut 22 occurs.

둘째, 상기와 같이 너트(22)가 튕겨 나가는 것을 방지하기 위해 두 명의 작업자가 분해 작업을 실시하기도 한다. 즉, 작업자 중 어느 한 명이 스프링(16)의 탄성력 반대 방향으로 힘을 주고, 나머지 한 명이 너트(22)를 풀게 함으로써 너트(22)의 분실을 방지할 수 있다. 그러나 너트(22)를 분해하는 것과 같은 단순 작업에 두 명 이상의 작업자가 투입되는 것은 인력 낭비일 뿐만 아니라, 이러한 너트 (22) 분해 작업에는 많은 시간(약 30분)이 소요된다는 문제점이 발생한다.Second, as described above, in order to prevent the nut 22 from being thrown out, two workers may perform disassembly. That is, any one of the workers to apply the force in the direction opposite to the elastic force of the spring 16, the other one to loosen the nut 22 can prevent the loss of the nut 22. However, it is not only a waste of manpower that more than two workers are put into a simple operation such as disassembling the nut 22, but a problem arises that this nut 22 disassembly takes a lot of time (about 30 minutes).

한편, 너트(22)의 조립 시에도 스프링(16)의 탄성력으로 인해 너트(22)의 분실위험이 존재하고, 또 벨로우즈 내부에 개스킷이 틀어져 재작업을 하여야 하는 문제점가 있었다. On the other hand, when the nut 22 is assembled, there is a risk of loss of the nut 22 due to the elastic force of the spring 16, and there is a problem that the gasket is twisted inside the bellows and needs to be reworked.

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 벨로우즈의 분해 및 조립 시 너트가 튕기지 않도록 할 수 있는 벨로우즈 개스킷 체결 치공구를 제공하는데 있다. Accordingly, an object of the present invention is to solve the conventional problems as described above, and to provide a bellows gasket fastening tool that can prevent the nut from jumping when disassembling and assembling the bellows.

본 발명의 다른 목적은 벨로우즈 분해 및 조립작업에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있고, 한 명의 작업자만으로도 간단하고 신속하게 벨로우즈를 분해 및 조립할 수 있는 벨로우즈 개스킷 체결 치공구를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a bellows gasket fastening tool that can shorten the time required for disassembling and assembling the bellows and can disassemble and assemble the bellows simply and quickly with only one operator.

본 발명의 또 다른 목적은 벨로우즈를 분해 및 조립할 때 벨로우즈 내부에 개스킷이 틀어져 재 작업해야 하는 번거로움을 해결할 수 있는 벨로우즈 개스킷 체결 치공구를 제공하는데 있다. Still another object of the present invention is to provide a bellows gasket fastening tool that can solve the trouble of reworking the gasket inside the bellows when disassembling and assembling the bellows.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조장치의 벨로우즈 개스킷의 체결치공구는, 상기 벨로우즈 개스킷의 플레이트를 고정하기 위한 플레이트 고정부와, 상기 플레이트 고정부에 수직으로 결합되어 소정의 높이를 갖는 수직 부재와, 상기 수직부재와 수평으로 결합되어 상기 벨로우즈 개스킷의 피드쓰루우 플랜지를 고정하기 위한 클램프를 포함함을 특징으로 한다.The fastening tool of the bellows gasket of the semiconductor manufacturing apparatus according to the present invention for achieving the above object is a plate fixing portion for fixing the plate of the bellows gasket, and vertically coupled to the plate fixing portion has a predetermined height And a clamp coupled to the vertical member and horizontally coupled to the vertical member to fix the feed-through flange of the bellows gasket.

상기 플레이트 고정부는; 내측으로 반원형상의 개구부를 갖으며 반원형상으로 이루어진 본체과, 상기 본체의 양끝단 상부에 각각 형성된 2개의 원형돌기로 구성됨을 특징으로 한다.The plate fixing portion; It is characterized by consisting of a semicircular body having a semi-circular opening inward, and two circular projections respectively formed on both ends of the main body.

상기 클램프는; 반원형태를 갖으며 상기 수직부재의 상부에 고정 설치되는 제1 클램프와, 일정각도 회동(回動)가능하도록 상기 제1 클램프의 일측에 설치되어 상기 제1 클램프와 대칭으로 형성된 제2클램프와, 상기 제1 및 제2 클램프가 결합될 시 상기 제1 및 제2 클램프가 움직이지 않도록 고정하는 클램프 고정부로 구성됨을 특징으로 한다.The clamp; A first clamp having a semicircular shape and fixedly installed on an upper portion of the vertical member, a second clamp installed on one side of the first clamp so as to be rotated at an angle, and symmetrically formed with the first clamp; When the first and the second clamp is coupled is characterized in that it consists of a clamp fixing portion for fixing the first and second clamp so as not to move.

상기 클램프 고정부는; 상기 제1 클램프의 타측에 ㄷ자 형태로 절곡된 부분을 갖는 제1 돌출부와, 상기 제2 클램프의 타측에 ㄷ자 형태로 절곡된 부분을 갖는 제2 돌출부와, 상기 제1 돌출부의 ㄷ자 형태로 절곡된 부분에 삽입되어 수평방향으로 고정되는 볼트와, 상기 제1 및 제2 클램프가 결합될 시 상기 제1 클램프에 제2 클램프를 고정시키기 위해 상기 볼트에 체결되는 나비너트를 포함함을 특징으로 한다. The clamp fixing portion; A first protrusion having a portion bent in a U shape on the other side of the first clamp, a second protrusion having a portion bent in a C shape on the other side of the second clamp, and a bent in a C shape on the first protrusion And a bolt inserted into the portion and fixed in the horizontal direction, and a butterfly nut fastened to the bolt to fix the second clamp to the first clamp when the first and second clamps are coupled to each other.

상기 제1 및 제2 클램프가 결합될 때 하나의 원형으로 형성되고 그 원형의 중앙부가 일정지름을 갖는 개방된 원형공간이 형성되어 있고, 상기 원형공간이 형성된 제1 및 제2 클램프의 내측면에는 상기 피드쓰루우 플랜지에 고정 시 미끄러짐을 방지하기 위해 거친면이 형성되어 있음을 특징으로 한다. When the first and second clamps are coupled, an open circular space is formed in one circle and a central portion of the circle has a predetermined diameter, and an inner surface of the first and second clamps in which the circular space is formed is formed. It is characterized in that the rough surface is formed to prevent the slip when fixed to the feed-through flange.

본 발명의 실시예들은 당해 기술이 속한 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 그리고 도면에서 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 위해 도시된 것이다. Embodiments of the present invention are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. In addition, the shape of the elements in the drawings and the like are shown for clarity.

본 발명은 첨부된 도면에 의하여 설명되지만, 다양한 형태, 크기 등으로 대체될 수 있음은 당해 기술이 속한 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 한편, 일반적으로 널리 알려져 있는 공지기술의 경우 그 구체적인 설명은 생략하도록 한다.Although the present invention is described by the accompanying drawings, it can be replaced by various forms, sizes, etc. It will be apparent to those skilled in the art. On the other hand, in the case of well-known techniques generally known, the detailed description thereof will be omitted.

도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 벨로우즈 개스킷의 체결 치공구의 구조도이다.Figure 3 is a structural diagram of the fastening tool of the bellows gasket according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 3을 참조하면, 플레이트(18)와 결합되어 상기 플레이트(18)를 고정하기 위한 플레이트 고정부(40)와, 상기 플레이트 고정부(40)에 수직으로 결합되어 소정의 높이를 갖는 수직부재(44)와, 상기 수직부재(44)와 수평으로 결합되어 피드쓰루우 플랜지(10)를 고정하기 위한 클램프(45)로 구성되어 있다.1 and 3, the plate fixing part 40 coupled to the plate 18 to fix the plate 18 and the plate fixing part 40 vertically coupled to the plate fixing part 40 have a predetermined height. The vertical member 44 and the vertical member 44 is horizontally coupled to the clamp 45 for fixing the feed-through flange 10.

상기 플레이트 고정부(40)는 내측으로 반원형상의 개구부(41)를 갖으며 반원형상으로 이루어진 본체(43)과, 상기 본체(43)의 양끝단 상부에 각각 형성된 2개의 원형돌기(42)로 구성되어 있다. 상기 원형돌기(42)는 도 1의 요홈(24)에 끼워진다. The plate fixing part 40 has a semi-circular opening 41 inwardly and is composed of a semi-circular body 43 and two circular protrusions 42 formed on upper ends of the main body 43, respectively. It is. The circular protrusion 42 is fitted into the groove 24 of FIG.

상기 클램프(45)는 반원형태를 갖으며 상기 수직부재(44)의 상부에 고정 설치되는 제1 클램프(46)와, 일정각도 회동(回動)가능하도록 상기 제1 클램프(46)의 일측에 설치되어 상기 제1 클램프(46)와 대칭으로 형성된 제2클램프(48)와, 상기 제1 및 제2 클램프(46, 48)가 결합될 시 움직이지 않도록 고정하는 클램프 고정부 (54)로 구성되어 있다.The clamp 45 has a semi-circular shape and is provided at one side of the first clamp 46 so as to be rotatable at a predetermined angle with the first clamp 46 fixed to the upper portion of the vertical member 44. A second clamp 48 installed symmetrically with the first clamp 46 and a clamp fixing part 54 for fixing the first and second clamps 46 and 48 so as not to move when the first and second clamps 46 and 48 are coupled; It is.

상기 클램프 고정부(54)는 상기 제1 클램프(46)의 타측에 ㄷ자 형태로 절곡된 부분을 갖는 제1 돌출부(51)와, 상기 제2 클램프(36)의 타측에 ㄷ자 형태로 절곡된 부분을 갖는 제2 돌출부(53)와, 상기 제1 돌출부(51)의 ㄷ자 형태로 절곡된 부분에 삽입되어 수평방향으로 고정되는 볼트(50)와, 상기 제1 및 제2 클램프(46, 48)가 결합될 시 상기 제1 클램프(46)에 제2 클램프(48)를 고정시키기 위해 상기 볼트(50)에 체결되는 나비너트(52)로 구성되어 있다. The clamp fixing part 54 may include a first protrusion 51 having a portion bent in a U shape on the other side of the first clamp 46 and a portion bent in a C shape on the other side of the second clamp 36. A second protrusion 53 having a shape, a bolt 50 inserted into a bent portion having a C shape of the first protrusion 51 and fixed in a horizontal direction, and the first and second clamps 46 and 48. Is composed of a butterfly nut 52 which is fastened to the bolt 50 to fix the second clamp 48 to the first clamp 46 when the is coupled.

상기 제1 및 제2 클램프(46, 48)가 결합될 때 하나의 원형으로 형성되고 그 원형의 중앙부가 일정지름을 갖는 원형공간(49)이 형성되어 있고, 상기 원형공간(49)이 형성된 제1 및 제2 클램프(46, 48)의 내측면에는 피드쓰루우 플랜지(10)에 고정 시 미끄러짐을 방지하기 위해 거친면(47)이 형성되어 있다. When the first and second clamps 46 and 48 are coupled, a circular space 49 is formed in one circle and a central portion of the circle has a predetermined diameter, and the circular space 49 is formed. Rough surfaces 47 are formed on the inner surfaces of the first and second clamps 46 and 48 to prevent slippage when fixed to the feed-through flange 10.

상술한 도 2를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예의 동작을 상세히 설명한다.Referring to Figure 2 described above will be described in detail the operation of the preferred embodiment of the present invention.

먼저, 작업자는 벨로우즈 개스킷의 체결 치공구에 구비된 제1클램프(46)에 고정된 볼트(53)에 체결된 나비너트(52)를 풀고 제1 클램프(46)의 일측으로부터 제2 클램프(48)의 일측을 분리한다. 그리고 벨로우즈(12)가 포함된 진공밸브의 플레이트(18)에 형성된 요홈(24)을 원형돌기(42)에 끼우고 피드쓰루우 플랜지(10)를 클램프(45)를 이용하여 고정시킨다. 즉, 플레이트(18)에 형성된 요홈(24)을 원형돌기(42)에 끼우고 피드쓰루우 플랜지(10)를 제1 클램프(46)에 형성된 거친면(47)에 접촉시킨 후 제2 클램프(48)를 제1클램프(46)에 결합시키고 나비너트(52)를 볼트(50) 에 체결하여 피드쓰루우 플랜지(10)를 클램프(45)에 고정시킨다. 다음으로 작업자는 스패너(미도시) 등을 이용하여 로드(14)에 체결된 너트(22)를 푼다. 마지막으로 작업자는 패킹(20), 플레이트(18) 및 스프링(16) 등을 분해한다. First, the operator loosens the butterfly nut 52 fastened to the bolt 53 fixed to the first clamp 46 provided in the fastening tool of the bellows gasket, and the second clamp 48 is removed from one side of the first clamp 46. Separate one side of. Then, the groove 24 formed in the plate 18 of the vacuum valve including the bellows 12 is inserted into the circular protrusion 42 and the feedthrough flange 10 is fixed using the clamp 45. That is, the groove 24 formed in the plate 18 is inserted into the circular protrusion 42, and the feed through flange 10 is brought into contact with the rough surface 47 formed in the first clamp 46. 48) is coupled to the first clamp 46 and the butterfly nut 52 is fastened to the bolt 50 to secure the feed-through flange 10 to the clamp 45. Next, the worker loosens the nut 22 fastened to the rod 14 using a spanner (not shown) or the like. Finally, the worker disassembles the packing 20, the plate 18, the spring 16, and the like.

이와 같은 방법에 의하면, 너트(22)를 풀 때 벨로우즈(12) 내부에 위치한 스프링(16)은 고정된 상태를 유지하게 된다. 따라서 종래처럼 벨로우즈(12) 분해 및 조립 시 너트(22)가 스프링의 탄성력에 의해 튕겨나가게 되는 것을 방지할 수 있게 된다. According to this method, when the nut 22 is released, the spring 16 located inside the bellows 12 is kept in a fixed state. Therefore, when the bellows 12 is disassembled and assembled as in the related art, it is possible to prevent the nut 22 from being thrown out by the elastic force of the spring.

한편, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당업자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다. In addition, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, It is clear that the deformation | transformation and improvement are possible for those skilled in the art within the range which does not deviate from the idea of this invention.

상술한 바와 같이 본 발명을 이용하면, 스프링을 고정시킨 후 벨로우즈의 분해 및 조립작업을 실시하기 때문에, 너트가 스프링의 탄성에 의해 튕겨 나가게 되어 너트가 분실되는 것을 방지하는 효과가 있다.When the present invention is used as described above, since the bellows are disassembled and assembled after the spring is fixed, the nut is thrown out by the elasticity of the spring, thereby preventing the nut from being lost.

또한, 벨로우즈 분해 및 조립장치를 이용하여 벨로우즈를 분해 및 조립함으로써 벨로우즈 분해 및 조립작업에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있고, 한 명의 작업자만으로도 간단하고 신속하게 벨로우즈를 분해 및 조립할 수 있다는 효과가 있다.In addition, by disassembling and assembling the bellows by using the bellows disassembly and assembly apparatus, the time required for disassembling and assembling the bellows can be shortened, and the bellows can be easily and quickly disassembled and assembled by only one operator.

Claims

In the fastening tool of the bellows gasket of the semiconductor manufacturing apparatus,

A plate fixing part for fixing the plate of the bellows gasket,

A vertical member having a predetermined height coupled vertically to the plate fixing part;

And a clamp coupled to the vertical member horizontally to clamp the feed-through flange of the bellows gasket.

The method of claim 1,

The plate fixing portion has a semi-circular opening inward and a semi-circular body,

Fastening tool of the bellows gasket, characterized in that consisting of two circular projections formed on each upper end of the main body.

The method of claim 2, wherein the clamp,

A first clamp having a semicircular shape and fixedly installed on an upper portion of the vertical member;

A second clamp installed at one side of the first clamp to be rotated at a predetermined angle, the second clamp being formed symmetrically with the first clamp;

The clamping tool of the bellows gasket, characterized in that it comprises a clamp fixing portion for fixing the first and second clamp so as not to move when the first and second clamp is coupled.

The method of claim 3, wherein the clamp fixing portion

A first protrusion having a portion bent in a U shape on the other side of the first clamp,

A second protrusion having a portion bent in a U shape on the other side of the second clamp,

A bolt inserted into a bent portion having a U shape of the first protrusion and fixed in a horizontal direction;

And a butterfly nut which is fastened to the bolt to fix the second clamp to the first clamp when the first and second clamps are coupled to each other.

The method of claim 3, wherein the clamp fixing portion

When the first and second clamps are coupled, an open circular space is formed in one circle and a central portion of the circle has a predetermined diameter, and an inner surface of the first and second clamps in which the circular space is formed is formed. Fastening tool of the bellows gasket characterized in that the rough surface is formed to prevent the slip when fixed to the feed-through flange.