KR20060106009A - Apparatus for cooling pneumatic actuator - Google Patents

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KR20060106009A
KR20060106009A KR1020050028182A KR20050028182A KR20060106009A KR 20060106009 A KR20060106009 A KR 20060106009A KR 1020050028182 A KR1020050028182 A KR 1020050028182A KR 20050028182 A KR20050028182 A KR 20050028182A KR 20060106009 A KR20060106009 A KR 20060106009A
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pneumatic actuator
coolant
cylinder
cooling
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박확근
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 공압 액추에이터 냉각 장치에 관한 것으로서, 고온 유닛을 업/다운시킴으로써 고온으로 상승되는 공압 액추에이터를 냉각시키기 위한 냉각 장치에 있어서, 내부에 외부로부터 유입되는 냉각수를 순환시키기 위한 냉각수 순환 통로가 마련되는 몸체; 상기 냉각수 순환 통로의 일단과 연결되어 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 라인; 상기 냉각수 순환 통로의 타단과 연결되어 냉각수를 배출하는 냉각수 배출 라인; 및 상기 몸체가 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면에 밀착되도록 상기 몸체와 상기 공압 액추에이터를 체결하는 체결 수단을 포함하는 공압 액추에이터 냉각 장치를 제공한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pneumatic actuator cooling device, comprising: a cooling device for cooling a pneumatic actuator that rises to a high temperature by up / down a high temperature unit, wherein a cooling water circulation passage for circulating cooling water introduced from the outside is provided. Body; A coolant supply line connected to one end of the coolant circulation passage to supply coolant; A coolant discharge line connected to the other end of the coolant circulation passage to discharge coolant; And fastening means for fastening the body and the pneumatic actuator such that the body is in close contact with the outer surface of the cylinder of the pneumatic actuator.

본 발명에 의하면, 공압 액추에이터가 적정 온도, 예를 들어 60℃ 이하에서 작동될 수 있도록 냉각함으로써 공압 액추에이터의 정교한 작동 제어를 가능하게 할 뿐만 아니라 공압 액추에이터의 사용 기간을 극대화시킬 수 있는 이점이 있다. According to the present invention, by allowing the pneumatic actuator to be operated at an appropriate temperature, for example, 60 ° C. or less, not only enables precise operation control of the pneumatic actuator, but also has the advantage of maximizing the service life of the pneumatic actuator.

공압 액추에이터, 냉각 장치 Pneumatic Actuator, Cooling System

Description

공압 액추에이터 냉각 장치{APPARATUS FOR COOLING PNEUMATIC ACTUATOR}Pneumatic Actuator Cooling Unit {APPARATUS FOR COOLING PNEUMATIC ACTUATOR}

도 1은 본 발명의 일 실시예를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 A-A' 절단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view showing another embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 실시예의 몸체 일부를 절개한 부분 절개 사시도이다.4 is a partial cutaway perspective view of a portion of the body of the embodiment shown in FIG.

**도면 중 주요 부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

10 : 공압 액추에이터 20 : 실린더10 pneumatic actuator 20 cylinder

30 : 피스톤 로드 80, 80' : 근접 센서 설치용 홈30: piston rod 80, 80 ': groove for installing the proximity sensor

100, 200 : 몸체 110, 210 : 냉각수 순환 통로100, 200: body 110, 210: cooling water circulation passage

130, 230 : 삽입 돌기 140, 240 : 냉각수 공급 라인130, 230: insertion projection 140, 240: cooling water supply line

150, 250 : 냉각수 배출 라인 160, 260 : 온도감지센서150, 250: Cooling water discharge line 160, 260: Temperature sensor

본 발명은 공압 액추에이터 냉각 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고온 유닛을 업/다운시킴으로써 고온으로 상승되는 공압 액추에이터의 원활한 작동을 위해 상기 공압 액추에이터의 온도를 적정 온도로 유지시키기 위한 냉각 장치에 관 한 것이다.The present invention relates to a pneumatic actuator cooling device, and more particularly, to a cooling device for maintaining the temperature of the pneumatic actuator at an appropriate temperature for smooth operation of the pneumatic actuator that is raised to a high temperature by up / down the high temperature unit. will be.

일반적으로 반도체는 확산, 사진, 식각, 박막 공정 등을 여러 차례 반복하여 수행함으로써 웨이퍼 상에 전기회로 패턴을 형성하는 FAB(fabrication) 공정과 상기 FAB 공정이 완료된 웨이퍼를 칩 단위로 분리시켜 칩이 전기적, 물리적 특성을 지닐 수 있도록 패키지(package) 상태로 형상화시키는 조립(assembly) 공정을 거친 후, 최종적으로 상기 패키지된 제품의 전기적 특성 및 기능을 검사하여 양품, 불량품을 선별하는 테스트(test) 공정을 거쳐 완성된다. In general, a semiconductor performs a diffusion, photography, etching, thin film process, etc. repeatedly several times to separate the FAB (fabrication) process to form an electric circuit pattern on the wafer and the wafer on which the FAB process is completed by a chip unit, the chip is electrically After the assembly process to shape the package to have physical properties, and finally to test the electrical properties and functions of the packaged product (test) process to select good or defective After completion.

한편, 상기 FAB 공정과 조립 공정 사이에는 FAB 공정에서의 문제점을 조기에 피드백(feed-back)시키기 위해 웨이퍼를 구성하는 각 칩의 양·불량을 선별하는 EDS(Electrical Die Sorting) 공정이 수행된다. 이러한 EDS 공정 내에는 웨이퍼의 두께를 얇게 하여 칩 사이즈를 축소함으로써 나중에 수행될 조립을 용이하게 할 수 있도록 웨이퍼의 뒷면을 다이아몬드 휠을 이용하여 연마하는 이면연마(back- grinding) 공정이 포함된다.On the other hand, between the FAB process and the assembly process, an EDS (Electrical Die Sorting) process for sorting the quantity and defect of each chip constituting the wafer is performed to feed back problems in the FAB process. The EDS process includes a back-grinding process in which the backside of the wafer is polished using a diamond wheel so that the thickness of the wafer is reduced to reduce the chip size to facilitate the assembly to be performed later.

한편, 이러한 이면연마 공정을 진행하기에 앞서, 웨이퍼 상에 형성된 전기회로 패턴을 보호하기 위해 상기 전기회로 패턴이 형성된 웨이퍼 상면에 UV(ultraviolet) 테이프를 접착한다. 또한, 나중에 웨이퍼 상면으로부터 상기 UV 테이프를 완전하게 그리고 용이하게 제거하기 위해 고온 히터를 이용하여 상기 UV 테이프 상에 히터 실 테이프를 접착하게 되는데, 이때 상기 고온 히터를 업/다운시키기 위한 장치로 공압 액추에이터가 사용된다.On the other hand, prior to the back polishing process, UV (ultraviolet) tape is adhered to the upper surface of the wafer on which the electrical circuit pattern is formed to protect the electrical circuit pattern formed on the wafer. In addition, in order to completely and easily remove the UV tape later from the wafer top surface, a high temperature heater is used to adhere the heater seal tape to the UV tape, whereby a pneumatic actuator is used as a device for up / down the high temperature heater. Is used.

여기서 상기 고온 히터는 200℃ 이상의 고온의 열을 발생시키기 때문에 상기 고온 히터와 연결되어 이를 업/다운시키는 공압 액추에이터에도 그 열이 전달되게 된다. 이에 따라 상기 공압 액추에이터의 실린더 자체 온도가 상승하게 되고, 결과적으로 실린더의 내부도 고온의 상태가 형성된다.Here, since the high temperature heater generates heat of a high temperature of 200 ° C. or higher, the heat is also transferred to the pneumatic actuator connected to the high temperature heater to up / down it. As a result, the temperature of the cylinder itself of the pneumatic actuator is increased, and as a result, a state of high temperature is formed inside the cylinder.

그런데 종래에는 상술한 바와 같이, 고온 히터를 업/다운시키는 과정에서 고온으로 상승되는 공압 액추에이터의 냉각을 위한 별도의 장치가 마련되지 않았고, 단지 알루미늄 합금으로 형성된 실린더와 접촉하고 있는 외부 공기로의 열전도를 통한 자연 냉각만으로 운영되었기 때문에 공압 액추에이터의 작동 및 기대 수명 유지에 많은 문제점이 발생하고 있는 실정이다.However, in the related art, as described above, a separate device for cooling the pneumatic actuator that rises to a high temperature in the process of up / down the high temperature heater is not provided, and heat conduction to outside air that is in contact with a cylinder formed of only an aluminum alloy. Since only the natural cooling through the operation of the pneumatic actuator has a lot of problems in the operation and life expectancy maintenance.

즉, 실린더 내부 온도의 증가에 따른 내부 공기압의 상승으로 인하여 고온 히터를 업/다운시키기 위한 피스톤 로드의 업/다운 조절이 어려워질 뿐만 아니라, 고온의 실린더 내부에 피스톤 로드의 업/다운을 위한 차가운 압축 공기가 공급됨으로써 실린더 내부에 미세 물방울이 형성되어 피스톤이 접촉되는 실린더 내벽에 오염물질이 증착되어 공압 액추에이터의 원활한 작동을 방해하는 문제점이 발생한다.That is, due to the increase in the internal air pressure due to the increase in the cylinder temperature, it is difficult not only to control the up / down of the piston rod for up / down the high temperature heater, but also to cool the up / down of the piston rod in the high temperature cylinder. As compressed air is supplied, fine water droplets are formed in the cylinder, and contaminants are deposited on the inner wall of the cylinder to which the piston contacts, thereby preventing a smooth operation of the pneumatic actuator.

또한, 실린더 내부 온도 증가에 따른 피스톤 패킹재나 피스톤 로드 패킹재의 열화로 인한 조기마모, 압축 공기 누설의 문제가 발생할 뿐만 아니라, 경우에 따라서는 피스톤의 재질 변화 및 실린더의 열변형에 따른 피스톤 끼임으로 공압 액추에이터의 작동 불능이라는 최악의 문제가 발생할 수 있다.In addition, there is a problem of premature wear and compressed air leakage due to deterioration of the piston packing material or piston rod packing material due to the increase in the cylinder temperature, and in some cases, the pneumatic pressure due to the piston material change due to the change of the material of the piston and the cylinder thermal deformation. The worst problem can be caused by the inoperability of the actuator.

나아가 이러한 문제점들에 기인하여 공압 액추에이터의 작동 제어가 제대로 이루어지지 않음으로써 고온 히터가 웨이퍼에 충격되어 웨이퍼가 파손되는 문제점까지 발생할 수 있다.Furthermore, due to these problems, the operation control of the pneumatic actuator is not properly made, so that a problem that the high temperature heater hits the wafer and the wafer is broken may occur.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 단점을 극복하기 위해 안출된 것으로서, 고온 유닛을 업/다운시킴으로써 고온으로 상승되는 공압 액추에이터를 냉각하여 적정 온도에서 공압 액추에이터가 작동될 수 있도록 함으로써 공압 액추에이터의 정교한 작동 제어를 가능하게 할 뿐만 아니라 공압 액추에이터의 사용 기간을 극대화시킬 수 있는 공압 액추에이터 냉각 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 삼고 있다.The present invention has been made to overcome the disadvantages of the prior art as described above, by precisely operating the pneumatic actuator by cooling the pneumatic actuator rising to a high temperature by up / down the high temperature unit to operate the pneumatic actuator at a proper temperature The technical challenge is to provide a pneumatic actuator cooling device that not only enables control but also maximizes the service life of the pneumatic actuator.

상기와 같은 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 공압 액추에이터 냉각 장치는, 고온 유닛을 업/다운시킴으로써 고온으로 상승되는 공압 액추에이터를 냉각시키기 위한 냉각 장치에 있어서, 내부에 외부로부터 유입되는 냉각수를 순환시키기 위한 냉각수 순환 통로가 마련되는 몸체; 상기 냉각수 순환 통로의 일단과 연결되어 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 라인; 상기 냉각수 순환 통로의 타단과 연결되어 냉각수를 배출하는 냉각수 배출 라인; 및 상기 몸체가 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면에 밀착되도록 상기 몸체와 상기 공압 액추에이터를 체결하는 체결 수단을 포함한다.The pneumatic actuator cooling device according to the present invention for achieving the above technical problem, in the cooling device for cooling the pneumatic actuator that is raised to a high temperature by up / down the high temperature unit, circulating the cooling water flowing from the inside A body is provided with a cooling water circulation passage for making; A coolant supply line connected to one end of the coolant circulation passage to supply coolant; A coolant discharge line connected to the other end of the coolant circulation passage to discharge coolant; And fastening means for fastening the body and the pneumatic actuator such that the body is in close contact with the outer surface of the cylinder of the pneumatic actuator.

여기서 상기 몸체는 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면 중 일측면과 밀착되는 접촉면을 갖는 직육면체 형상이거나, 또는 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면 중 압축 공기의 유출입구가 형성된 면을 제외한 나머지 삼면과 밀착되는 접촉면을 갖는 "ㄷ" 자형 기둥 형상일 수 있다.Here, the body has a rectangular parallelepiped shape having a contact surface in close contact with one side of the cylinder outer surface of the pneumatic actuator, or a contact surface in close contact with the remaining three surfaces except the surface formed with the inlet for compressed air in the outer surface of the cylinder of the pneumatic actuator It may have a "c" shaped pillar shape.

한편, 상기 체결 수단은 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면에 형성된 근접 센서 설치용 홈에 끼워지도록 상기 몸체의 접촉면에 형성된 복수개의 삽입 돌기로 구성할 수 있다.On the other hand, the fastening means may be composed of a plurality of insertion projections formed on the contact surface of the body to be fitted into the proximity sensor installation groove formed on the outer surface of the cylinder of the pneumatic actuator.

또한, 상기 몸체의 접촉면에는 상기 공압 액추에이터의 실린더 온도를 감지하기 위한 온도감지센서를 추가로 설치함으로써 실린더의 온도가 적정 온도 이하로 유지되도록 냉각수 공급을 조절하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to adjust the cooling water supply so that the temperature of the cylinder is maintained below an appropriate temperature by further installing a temperature sensor for sensing the cylinder temperature of the pneumatic actuator on the contact surface of the body.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 액추에이터 냉각 장치에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail for the pneumatic actuator cooling device according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 나타낸 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A' 절단면도이다.1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view taken along line AA 'of FIG.

도 1을 참조하여 본 발명에 따른 공압 액추에이터 냉각 장치의 적용 대상이 되는 공압 액추에이터에 대해 먼저 설명한다.With reference to FIG. 1, the pneumatic actuator which becomes an application target of the pneumatic actuator cooling apparatus which concerns on this invention is demonstrated first.

상기 공압 액추에이터(10)는 주지하다시피 압축 공기의 압력에너지를 기계적 에너지로 변환하여 직선운동, 회전운동 등의 기계적인 일을 하는 구동기로서, 대략 직육면체의 외형을 갖는 실린더(20)와 상기 실린더(20) 내부에서 압축 공기에 의해 미끄럼 운동을 하는 피스톤(미도시)과 상기 피스톤과 연결되어 피스톤의 출력을 외부로 전달하는 피스톤 로드(30)로 구성된다. 여기서 상기 피스톤 로드(30)가 고온 유닛, 예를 들어 고온 히터(미도시)와 연결되어 상기 고온 히터를 직선왕복운동시키게 될 때, 고온 히터로부터 열이 전달되어 상술한 공압 액추에이터(10)의 온도를 상승시키게 된다.The pneumatic actuator 10 is a driver that converts the pressure energy of the compressed air into mechanical energy and performs mechanical work such as linear motion and rotational motion. The pneumatic actuator 10 has a cylinder 20 having a substantially rectangular parallelepiped shape and the cylinder ( 20) is composed of a piston (not shown) which is slid by the compressed air therein and a piston rod 30 connected to the piston to transmit the output of the piston to the outside. Here, when the piston rod 30 is connected to a high temperature unit, for example, a high temperature heater (not shown) to linearly reciprocate the high temperature heater, heat is transferred from the high temperature heater to thereby the temperature of the pneumatic actuator 10 described above. Will be raised.

여기서 미설명부호 40 및 50은 피스톤을 미끄럼운동시키기 위한 압축 공기의 유출입구를 나타내며, 60 및 70은 공압 액추에이터(10)를 타 장치와 나사체결시키기 위한 암나사구를 나타낸다. 또한, 미설명부호 80 및 80'은 피스톤의 행정거리 범위에서 상기 피스톤에 장착된 마그네트(미도시)를 감지함으로써 피스톤의 위치를 감지하도록 하기 위한 근접 센서(미도시)가 설치되는 근접 센서 설치용 홈을 나타낸다.Here, reference numerals 40 and 50 denote inlet and outlet ports of compressed air for sliding the piston, and 60 and 70 denote female thread holes for screwing the pneumatic actuator 10 to the other device. In addition, reference numerals 80 and 80 'are a proximity sensor installation groove in which a proximity sensor (not shown) is installed to sense a position of the piston by detecting a magnet (not shown) mounted on the piston in the stroke range of the piston. Indicates.

본 발명은 고온 유닛을 구동시킴으로써 그 열이 전달되어 고온으로 상승되는 공압 액추에이터(10)를 냉각시켜 적정 온도, 예를 들어 60℃ 이하의 온도 상태하에서 공압 액추에이터(10)가 작동하도록 하기 위한 냉각 장치이다.The present invention provides a cooling apparatus for operating the high temperature unit to cool the pneumatic actuator 10 whose heat is transferred to the high temperature to operate the pneumatic actuator 10 at a suitable temperature, for example, a temperature of 60 ° C. or less. to be.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 공압 액추에이터 냉각 장치는 공압 액추에이터(10)의 실린더(20) 일측면과 밀착되는 접촉면(120)을 갖고, 내부에 냉각수 순환 통로(110)가 형성된 직육면체 형상의 몸체(100)와, 상기 냉각수 순환 통로(110)의 일단과 연결되어 냉각수를 상기 몸체(100) 내부로 공급하는 냉각수 공급 라인(140)과, 상기 냉각수 순환 통로(110)의 타단과 연결되어 냉각수를 배출하는 냉각수 배출 라인(150) 및 상기 몸체(100)와 상기 공압 액추에이터(10)의 실린더(20) 일측면이 밀착되도록 몸체(100)와 공압 액추에이터(10)를 체결하는 체결 수단으로 구성된다. 1 and 2, the pneumatic actuator cooling device according to an embodiment of the present invention has a contact surface 120 in close contact with one side of the cylinder 20 of the pneumatic actuator 10, the coolant circulation A cuboid-shaped body 100 having a passage 110, a cooling water supply line 140 connected to one end of the cooling water circulation passage 110, and supplying cooling water into the body 100, and the cooling water circulation passage. The body 100 and the pneumatic actuator 10 are connected to the other end of the 110 and the coolant discharge line 150 for discharging the coolant and one side of the cylinder 100 of the body 100 and the pneumatic actuator 10 to be in close contact with each other. It consists of a fastening means for fastening.

여기서 상기 몸체(100)는 상기 실린더(20)의 재질과 동일한 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 동일한 열팽창계수를 갖는 동일 재질로 형성함으로써 실린더(20)의 일측면과 이에 밀착되는 몸체(100) 사이에서 발생할 수 있는 틈새 공 차를 최대한 줄임으로써 냉각효율을 극대화할 수 있기 때문이다. The body 100 is preferably formed of the same material as the material of the cylinder 20. This is because by forming the same material having the same thermal expansion coefficient it is possible to maximize the cooling efficiency by minimizing the clearance gap that may occur between one side of the cylinder 20 and the body 100 in close contact therewith.

한편, 상기 체결 수단은 상기 공압 액추에이터(10)의 실린더(20) 일측면에 형성된 근접 센서 설치용 홈(80 또는 80')에 끼워지도록 상기 몸체(100)의 접촉면(120)에 형성된 복수개의 삽입 돌기(130)로 구성할 수 있다.On the other hand, the fastening means is a plurality of insertion projections formed on the contact surface 120 of the body 100 to be fitted into the proximity sensor mounting groove (80 or 80 ') formed on one side of the cylinder 20 of the pneumatic actuator 10. 130 can be configured.

즉, 상기 공압 액추에이터(10)의 실린더(20) 외측면 중 일측면과 상기 일측면의 반대편 면에는 근접 센서 설치용 홈(80,80')이 마련되고, 이 중 어느 한 면에 형성된 근접 센서 설치용 홈(80 또는 80')에 근접 센서(미도시)가 설치될 수 있다. 따라서 근접 센서가 도면 부호 80으로 표시된 근접 센서 설치용 홈에 설치될 경우 상술한 복수개의 삽입 돌기(130)를 도면 부호 80'으로 표시된 근접 센서 설치용 홈에 삽입함으로써 실린더(20)의 외측면과 상기 몸체(100)의 접촉면(120)이 밀착된 상태를 형성하도록 상기 몸체(100)와 공압 액추에이터(10)를 체결할 수 있다.That is, one side of the outer surface of the cylinder 20 of the pneumatic actuator 10 and the opposite side of the one side is provided with proximity sensor installation grooves (80, 80 '), for installing the proximity sensor formed on any one of these A proximity sensor (not shown) may be installed in the groove 80 or 80 '. Therefore, when the proximity sensor is installed in the proximity sensor installation groove indicated by the reference numeral 80, the outer surface of the cylinder 20 and the body by inserting the plurality of insertion protrusions 130 described above into the proximity sensor installation groove indicated by the reference numeral 80 ′. The body 100 and the pneumatic actuator 10 may be fastened to form a contact state of the contact surface 120.

한편, 상기 몸체(100)의 접촉면(120)에 실린더(20)의 온도를 감지하기 위한 온도감지센서(160)를 추가로 설치함으로써 실린더(20)의 온도가 적정 온도, 예를 들어 60℃ 이하의 온도로 유지되도록 냉각수 공급을 조절할 수 있다.On the other hand, by additionally installing a temperature sensor 160 for detecting the temperature of the cylinder 20 on the contact surface 120 of the body 100, the temperature of the cylinder 20 is a suitable temperature, for example 60 ℃ or less The cooling water supply can be adjusted to maintain the temperature of.

따라서 본 발명에 따른 공압 액추에이터 냉각 장치에 의할 경우 공압 액추에이터(10)가 적정 온도에서 작동될 수 있도록 냉각함으로써 실린더(20) 내부 온도 증가에 따른 피스톤 패킹재(미도시)나 피스톤 로드 패킹재(미도시)의 열화로 인한 조기마모 및 이에 따른 압축 공기 누설의 문제가 발생하는 것을 예방할 수 있고, 또한, 피스톤(미도시)의 재질 변화 및 실린더(20)의 열변형에 따른 피스톤 끼임으로 공압 액추에이터(10)가 작동 불능 상태에 이르는 것을 예방함으로써 공압 액추 에이터(10)의 사용 기간을 극대화시킬 수 있다.Therefore, in the case of the pneumatic actuator cooling device according to the present invention, by cooling the pneumatic actuator 10 to be operated at an appropriate temperature, the piston packing material (not shown) or the piston rod packing material according to the increase in the internal temperature of the cylinder 20 ( It is possible to prevent the problem of early wear and consequently compressed air leakage due to deterioration of the piston, and also the pneumatic actuator due to the piston pinching due to the material change of the piston (not shown) and the thermal deformation of the cylinder 20. It is possible to maximize the service life of the pneumatic actuator 10 by preventing the 10 from reaching an inoperable state.

또한, 공압 액추에이터(10)가 적정 온도에서 작동될 수 있도록 냉각함으로써 공압 액추에이터(10)의 정교한 작동 제어가 가능하기 때문에 이를 통해 구동되는 고온 유닛에 의한 예기치 못한 불의의 사고를 예방할 수 있다.In addition, since the pneumatic actuator 10 is cooled to operate at an appropriate temperature, precise operation control of the pneumatic actuator 10 is possible, thereby preventing unexpected accidents caused by the high temperature unit driven therethrough.

한편, 이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 공압 액추에이터 냉각 장치에 대해 상세히 설명한다.On the other hand, with reference to the accompanying drawings will be described in detail for the pneumatic actuator cooling device according to another embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 다른 실시예를 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 실시예의 몸체 일부를 절개한 부분 절개 사시도이다.3 is a perspective view showing another embodiment of the present invention, Figure 4 is a partial cutaway perspective view of a portion of the body of the embodiment shown in FIG.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 공압 액추에이터 냉각 장치는 공압 액추에이터(10)의 실린더(20) 외측면 중 압축 공기의 유출입구(40,50)가 형성된 면을 제외한 나머지 삼면과 밀착되는 접촉면(220a,220b,220c)을 갖고, 내부에 냉각수 순환 통로(210)가 형성된 "ㄷ" 자형 기둥 형상의 몸체(200)와, 상기 냉각수 순환 통로(210)의 일단과 연결되어 냉각수를 상기 몸체(200) 내부로 공급하는 냉각수 공급 라인(240)과, 상기 냉각수 순환 통로(210)의 타단과 연결되어 냉각수를 배출하는 냉각수 배출 라인(250) 및 상기 몸체(200)와 상기 공압 액추에이터(10)의 실린더(20) 외측면이 밀착되도록 몸체(200)와 공압 액추에이터(10)를 체결하는 체결 수단으로 구성된다. 여기서 상기 몸체(200)역시 전 실시예에서 상술한 바와 같이 상기 실린더(20)의 재질과 동일한 재질로 형성하는 것이 바람직하다.As shown in Figure 3 and 4, the pneumatic actuator cooling device according to another embodiment of the present invention is the surface formed with the inlet (40, 50) of the compressed air outlet in the outer surface of the cylinder 20 of the pneumatic actuator 10 Has a contact surface (220a, 220b, 220c) in close contact with the remaining three surfaces except for the "c" shaped pillar-shaped body 200 and the cooling water circulation passage 210 formed therein, and one end of the cooling water circulation passage 210 It is connected to the cooling water supply line 240 for supplying the cooling water into the body 200, the cooling water discharge line 250 and the body 200 is connected to the other end of the cooling water circulation passage 210 to discharge the cooling water And a fastening means for fastening the body 200 and the pneumatic actuator 10 so that the outer surface of the cylinder 20 of the pneumatic actuator 10 is in close contact. Here, the body 200 is also preferably formed of the same material as the material of the cylinder 20 as described above in the previous embodiment.

한편, 상기 체결 수단은 상기 공압 액추에이터(10)의 실린더(20) 일측면에 형성된 근접 센서 설치용 홈(80 또는 80')에 끼워지도록 상기 몸체(200)의 접촉면(220a,220b,220c) 중 상기 근접 센서 설치용 홈(80 또는 80')이 형성된 실린더(20)의 외측면과 밀착되는 접촉면(220a,220c) 중 어느 한 면(220a 또는 220c)에 형성된 복수개의 삽입 돌기(230)로 구성할 수 있다.On the other hand, the fastening means of the contact surface 220a, 220b, 220c of the body 200 to be fitted into the proximity sensor mounting groove (80 or 80 ') formed on one side of the cylinder 20 of the pneumatic actuator 10 It may be composed of a plurality of insertion protrusions 230 formed on any one surface (220a or 220c) of the contact surface (220a, 220c) in close contact with the outer surface of the cylinder 20, the proximity sensor mounting groove (80 or 80 ') is formed. have.

즉, 전 실시예에서 상술한 바와 같이, 상기 공압 액추에이터(10)의 실린더(20) 외측면 중 일측면과 상기 일측면의 반대편 면에는 근접 센서 설치용 홈(80,80')이 마련되고, 이 중 어느 한 면에 형성된 근접 센서 설치용 홈(80 또는 80')에 근접 센서(미도시)가 설치될 수 있다. 따라서 근접 센서가 도면 부호 80으로 표시된 근접 센서 설치용 홈에 설치될 경우 상술한 복수개의 삽입 돌기(230)를 도면 부호 80'으로 표시된 근접 센서 설치용 홈에 삽입함으로써 실린더(20)의 외측면 중 압축 공기의 유출입구(40,50)가 형성된 면을 제외한 나머지 삼면과 상기 몸체(200)의 접촉면(220a,220b,220c)이 밀착된 상태를 형성하도록 상기 몸체(200)와 공압 액추에이터(10)를 체결할 수 있다.That is, as described above in the previous embodiment, one side of the outer surface of the cylinder 20 of the pneumatic actuator 10 and the opposite side of the one side is provided with proximity sensor installation grooves 80, 80 ', A proximity sensor (not shown) may be installed in the proximity sensor installation groove 80 or 80 ′ formed on any one surface. Therefore, when the proximity sensor is installed in the proximity sensor installation groove indicated by the reference numeral 80, the plurality of insertion protrusions 230 described above are inserted into the proximity sensor installation groove indicated by the reference numeral 80 ′, thereby providing compressed air in the outer surface of the cylinder 20. The body 200 and the pneumatic actuator 10 are fastened so as to form a state in which the contact surfaces 220a, 220b, and 220c of the body 200 are in close contact with each other except the surface on which the outlet inlets 40 and 50 are formed. can do.

한편, 상기 몸체(200)의 접촉면(220a,220b,220c) 중 어느 한 면에 실린더(20)의 온도를 감지하기 위한 온도감지센서(260)를 추가로 설치함으로써 실린더(20)의 온도가 적정 온도, 예를 들어 60℃ 이하의 온도로 유지되도록 냉각수 공급을 조절할 수 있다.On the other hand, the temperature of the cylinder 20 is appropriate by additionally installing a temperature sensor 260 for detecting the temperature of the cylinder 20 on any one of the contact surface (220a, 220b, 220c) of the body 200 The cooling water supply can be adjusted to maintain the temperature, for example below 60 ° C.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 관하여 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능 함은 물론이다. 따라서 본 발명의 권리 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라, 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.As described above, in the detailed description of the present invention has been described with respect to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications without departing from the scope of the present invention Of course it is possible. Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be defined not only by the claims below, but also by the equivalents of the claims.

상기와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 공압 액추에이터가 적정 온도, 예를 들어 60℃ 이하에서 작동될 수 있도록 냉각함으로써 공압 액추에이터의 정교한 작동 제어를 가능하게 할 뿐만 아니라 공압 액추에이터의 사용 기간을 극대화시킬 수 있는 이점이 있다. According to the present invention having the configuration as described above, by cooling the pneumatic actuator to be operated at a suitable temperature, for example 60 ℃ or less not only enables precise operation control of the pneumatic actuator, but also maximizes the service life of the pneumatic actuator There is an advantage to this.

Claims (5)

고온 유닛을 업/다운시킴으로써 고온으로 상승되는 공압 액추에이터를 냉각시키기 위한 냉각 장치에 있어서,A cooling apparatus for cooling a pneumatic actuator that is raised to a high temperature by up / down a high temperature unit, 내부에 외부로부터 유입되는 냉각수를 순환시키기 위한 냉각수 순환 통로가 마련되는 몸체;A body having a cooling water circulation passage provided therein for circulating the cooling water introduced from the outside; 상기 냉각수 순환 통로의 일단과 연결되어 냉각수를 공급하는 냉각수 공급 라인; A coolant supply line connected to one end of the coolant circulation passage to supply coolant; 상기 냉각수 순환 통로의 타단과 연결되어 냉각수를 배출하는 냉각수 배출 라인; 및A coolant discharge line connected to the other end of the coolant circulation passage to discharge coolant; And 상기 몸체가 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면에 밀착되도록 상기 몸체와 상기 공압 액추에이터를 체결하는 체결 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터 냉각 장치.And a fastening means for fastening the body and the pneumatic actuator such that the body is in close contact with the outer surface of the cylinder of the pneumatic actuator. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 몸체는 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면 중 일측면과 접촉되는 접촉면을 갖는 직육면체 형상인 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터 냉각 장치.The body is a pneumatic actuator cooling device, characterized in that the rectangular parallelepiped shape having a contact surface in contact with one side of the cylinder outer surface of the pneumatic actuator. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 몸체는 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면 중 압축 공기의 유출입 구가 형성된 면을 제외한 나머지 삼면과 접촉되는 접촉면을 갖는 "ㄷ" 자형 기둥 형상인 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터 냉각 장치.The body is a pneumatic actuator cooling device, characterized in that the "c" shaped pillar shape having a contact surface in contact with the remaining three surfaces of the cylinder outer surface of the pneumatic actuator in which the inlet and outlet of the compressed air is formed. 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 상기 체결 수단은 상기 공압 액추에이터의 실린더 외측면에 형성된 근접 센서 설치용 홈에 끼워지도록 상기 몸체의 접촉면에 형성된 복수개의 삽입 돌기인 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터 냉각 장치.The fastening means is a pneumatic actuator cooling device, characterized in that the plurality of insertion projections formed in the contact surface of the body to be fitted into the proximity sensor mounting groove formed on the cylinder outer surface of the pneumatic actuator. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 몸체의 접촉면에는 상기 공압 액추에이터의 실린더 온도를 검출하기 위한 온도감지센서가 추가로 설치되는 것을 특징으로 하는 공압 액추에이터 냉각 장치.The pneumatic actuator cooling device, characterized in that the temperature sensing sensor for detecting the cylinder temperature of the pneumatic actuator is further installed on the contact surface of the body.
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