KR20060100599A - 액정표시소자의 패턴 형성 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 패턴물질을 블랭킷이 부착된 인쇄롤에 도포하는 제1공정; 소정형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜, 상기 인쇄판의 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하고 잔존하는 패턴물질에 의해 인쇄롤의 블랭킷에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및 기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며, 이때, 상기 제1공정에서, 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고, 상기 인쇄롤에는 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법에 관한 것으로서,
패턴물질을 (+) 또는 (-)로 하전 시키고 그와 더불어 인쇄롤에 상기 하전된 패턴물질과 반대의 전압을 인가함으로써, 패턴물질과 인쇄롤 사이에 작용하는 인력으로 인해 패턴물질이 인쇄롤 상의 소정영역에서 뭉치지 않고 도포될 수 있다.
인쇄롤, 패턴, 전압인가

Description

액정표시소자의 패턴 형성 방법{Patterning Method of Liquid Crystal Display Device}
도 1a 내지 도 1c는 종래의 인쇄방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제1실시예에 따른 패턴 형성 방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제2실시예에 따른 패턴 형성 방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제3실시예에 따른 패턴 형성 방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
<도면의 주요부의 부호에 대한 설명>
100: 인쇄노즐 200: 패턴물질
300: 인쇄롤 350: 블랭킷
400: 인쇄판 500: 기판
본 발명은 액정표시소자에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 액정표시소자의 패턴 형성방법에 관한 것이다.
표시화면의 두께가 수 센치미터(cm)에 불과한 초박형의 평판표시소자(Flat Panel Display), 그 중에서도 액정표시소자는 동작 전압이 낮아 소비 전력이 적고 휴대용으로 쓰일 수 있는 등의 이점으로 노트북 컴퓨터, 모니터, 우주선, 항공기 등에 이르기까지 응용분야가 넓고 다양하다.
상기 액정표시소자는 하부기판, 상부기판, 및 상기 양 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하여 구성되며, 일반적으로 상기 하부기판 상에는 박막트랜지스터 및 화소전극이 형성되어 있고, 상기 상부 기판 상에는 차광층, 컬러필터층 및 공통전극이 형성되어 있다.
이와 같이 액정표시소자는 다양한 구성요소들을 포함하고 있으며 그 구성요소들을 형성하기 위해 수많은 공정들이 반복적으로 행해지게 된다. 특히, 다양한 구성요소들을 다양한 형태로 패터닝하기 위해서 포토리소그래피공정이 사용되었다.
그러나, 상기 포토리소그래피 공정은 소정 패턴의 마스크 및 광조사장치를 사용해야 하므로 그 만큼 제조비용이 상승되는 단점이 있으며, 또한 노광 공정 및 현상 공정 등을 거쳐야 하므로 공정이 복잡하고 공정 시간이 오래 걸리는 단점이 있다.
따라서, 상기 포토리소그래피 공정의 단점을 해결하기 위한 새로운 패턴 형성 방법이 요구되었고, 그에 따라 인쇄방법이 고안되었다.
인쇄방법은 인쇄롤에 원하는 물질을 원하는 패턴으로 도포한 후 기판 위에서 회전시켜 기판 위에 전사함으로써 원하는 패턴을 형성하는 방법이다. 이와 같은 인 쇄방법은 기판과 인쇄롤 사이에 물리적 접촉이 발생되어 그 적용에 한계가 있기는 하지만 그 방법이 간단하기 때문에 대량생산에 유리하고 따라서 다양하게 수정되어 발전되고 있다.
이하 도면을 참조로 종래의 인쇄방법에 대해서 설명하기로 한다.
도 1a 내지 도 1c는 종래의 인쇄방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
우선, 도 1a와 같이, 인쇄노즐(10)을 이용하여 패턴물질(20)을 인쇄롤(30)에 도포한다. 여기서, 상기 인쇄롤(30)에는 블랭킷(35)이 부착되어 있어, 블랭킷(35)에 패턴물질(20)이 도포되게 된다.
그 후, 도 2b와 같이, 소정형상의 돌출부(45)가 형성된 인쇄판(40) 상에서 상기 인쇄롤(30)을 회전시켜, 상기 인쇄판(40)의 돌출부(45)에 일부 패턴물질(20a)을 전사하고 잔존하는 패턴물질(20b)에 의해 인쇄롤(30)의 블랭킷(35)에 소정형상의 패턴(20b)을 형성한다.
그 후, 도 2c와 같이, 기판(50) 상에서 상기 인쇄롤(30)을 회전하여 상기 기판(50) 상에 패턴(20b)을 전사한다.
이와 같은 종래의 인쇄방법에 있어서는 상기 인쇄롤(30)에 부착된 블랭킷(35)의 영향으로 미세한 패턴을 형성하는데 문제점이 생길 수 있다.
일반적으로 상기 인쇄롤(30)에 부착되는 블랭킷(35)은 인쇄롤(30)과의 접착력이 우수해야 하고, 인쇄공정 중에 변형이 없어야 하며, 또한 기판에 패턴물질이 잘 전사될 수 있도록 소정의 탄성특성 등을 구비해야 한다.
이와 같은 요구사항을 만족시키는 블랭킷의 재료로는 현재 Si계 수지가 널리 사용되고 있다.
그러나, 상기 Si계 수지는 표면장력이 작은 단점이 있다. 따라서, 상기 도 1a의 A영역에서와 같이 패턴물질(20)이 소정영역에서 뭉쳐지는 현상이 발생되며, 이 경우 원하는 미세패턴은 형성될 수 없게 된다.
본 발명은 상기 종래 문제점을 해결하기 위해 고안된 것으로, 본 발명은 인쇄방법을 이용하여 패턴을 형성하는 방법에서 패턴물질이 소정영역에서 뭉쳐지는 단점을 해결하여 미세패턴을 형성할 수 있는 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해서, 패턴물질을 블랭킷이 부착된 인쇄롤에 도포하는 제1공정; 소정형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜, 상기 인쇄판의 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하고 잔존하는 패턴물질에 의해 인쇄롤의 블랭킷에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및 기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며, 이때, 상기 제1공정에서, 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고, 상기 인쇄롤에는 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법을 제공한다.
즉, 본 발명은 패턴물질을 (+) 또는 (-)로 하전 시키고 그와 더불어 인쇄롤에 상기 하전된 패턴물질과 반대의 전압을 인가함으로써, 비록 인쇄롤에 부착되는 블랭킷이 표면장력이 작다 하더라도 패턴물질과 인쇄롤 사이에 작용하는 인력으로 인해 패턴물질이 인쇄롤 상의 소정영역에서 뭉치지 않고 도포될 수 있도록 한 것이다.
한편, 상기 제2공정에서는, 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하여 인쇄롤과 패턴물질 사이에 척력이 작용하도록 하는 것이 패턴물질의 원활한 전사를 위해 바람직하다.
또한, 상기 제2공정에서는, 상기 인쇄판에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하여 인쇄판과 패턴물질 사이에 인력이 작용하도록 하는 것이 패턴물질의 원활한 전사를 위해 바람직하다.
또한, 상기 제3공정에서는, 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하여 인쇄롤과 패턴물질 사이에 척력이 작용하도록 하는 것이 패턴물질의 원활한 전사를 위해 바람직하다.
또한, 상기 제3공정에서는, 상기 기판에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하여 기판과 패턴물질 사이에 인력이 작용하도록 하는 것이 패턴물질의 원활한 전사를 위해 바람직하다.
이와 같이, 본 발명은 패턴물질과, 인쇄롤, 인쇄판 및 기판 사이에 인력 또는 척력이 작용하도록 하여 패턴물질의 도포 또는 전사를 원활히 하고자 하는 것으로서, 그와 같은 아이디어는 다양한 인쇄방법에 적용될 수 있다.
즉, 본 발명은 패턴물질을 인쇄판의 소정형상의 오목부에 도포하는 제1공정; 상기 인쇄판 상에서 블랭킷이 부착된 인쇄롤을 회전시켜, 상기 인쇄판의 오목부에 형성된 패턴물질을 인쇄롤에 전사함으로써 인쇄롤에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및 기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며, 이때, 상기 제1공정에서 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고, 상기 제2공정에서 상기 인쇄롤은 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법을 제공한다.
여기서, 상기 제2공정에서는, 상기 인쇄판에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제3공정에서는, 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제3공정에서는, 상기 기판에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은 패턴물질을 인쇄판에 도포하는 제1공정; 패턴물질이 형성된 인쇄판 상에서, 소정 형상의 볼록부가 형성되어 있으며 블랭킷이 부착된 인쇄롤을 회전시켜, 상기 볼록부의 블랭킷에 패턴물질을 전사함으로써 인쇄롤에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및 기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며, 이때, 상기 제1공정에서 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고, 상기 제2공정에서 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법을 제공한다.
여기서, 상기 제2공정에서는, 상기 인쇄판에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제3공정에서는, 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 제3공정에서는, 상기 기판에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것이 바람직하다.
상기 블랭킷은 Si계 수지가 바람직하다.
이하, 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
이하 실시예에서는 패턴물질이 (+)로 하전된 입자를 포함하고 있는 경우를 설명하지만, 패턴물질이 (-)로 하전된 입자를 포함할 수도 있고, 그 경우에는 인쇄롤, 인쇄판, 기판에 인가되는 전압이 패턴물질이 (+)로 한전된 입자를 포함하는 경우와 반대가 될 것이다.
제1실시예
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 제1실시예에 따른 패턴 형성 방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
우선, 도 2a와 같이, 인쇄노즐(100)을 이용하여 패턴물질(200)을 블랭킷(350)이 부착된 인쇄롤(300)에 도포한다.
상기 패턴물질(200)은 (+)로 하전된 입자를 포함하고 있고, 상기 인쇄롤(300)에는 상기 패턴물질(200)과 반대의 전압인 (-)전압을 인가한다.
이와 같이, 패턴물질(200)을 (+)로 하전 시키고 인쇄롤(300)에 (-)전압을 인가함으로써, 비록 인쇄롤(300)에 부착되는 블랭킷(350)이 표면장력이 작다 하더라 도 패턴물질(200)과 인쇄롤(300) 사이에 인력이 작용하여 패턴물질(200)이 인쇄롤(300)에 뭉치지 않고 도포될 수 있다.
그 후, 도 2b와 같이, 소정형상의 돌출부(450)가 형성된 인쇄판(400) 상에서 상기 인쇄롤(300)을 회전시켜, 상기 인쇄판(400)의 돌출부(450)에 일부 패턴물질(200a)을 전사하고 잔존하는 패턴물질(200b)에 의해 인쇄롤(300)의 블랭킷(350)에 소정형상의 패턴(200b)을 형성한다.
여기서, 상기 인쇄롤(300)에는 상기 패턴물질(200)과 동일한 전압인 (+)전압을 인가하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 인쇄롤(300)과 패턴물질(200) 사이에 척력이 작용하는 것이 상기 인쇄판(400)의 돌출부(450)로 일부 패턴물질(200a)을 전사하는데 보다 바람직하기 때문이다.
또한, 상기 인쇄판(400)에는 상기 패턴물질(200)과 반대의 전압인 (-)전압을 인가하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 인쇄판(400)과 패턴물질(200) 사이에 인력이 작용하는 것이 상기 인쇄판(400)의 돌출부(450)로 일부 패턴물질(200a)을 전사하는데 보다 바람직하기 때문이다.
그 후, 도 2c와 같이, 기판(500) 상에서 상기 인쇄롤(300)을 회전하여 상기 기판(500) 상에 패턴(200b)을 전사한다.
여기서, 상기 인쇄롤(300)에는 상기 패턴물질(200)과 동일한 전압인 (+)전압을 인가하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 인쇄롤(300)과 패턴물질(200b) 사이에 척력이 작용하는 것이 인쇄롤(300)에서 상기 기판(500)으로 패턴물질(200b)을 전사하는데 보다 바람직하기 때문이다.
또한, 상기 기판(500)에는 상기 패턴물질(200)과 반대의 전압인 (-)전압을 인가하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 기판(500)과 패턴물질(200b) 사이에 인력이 작용하는 것이 인쇄롤(300)에서 상기 기판(500)으로 패턴물질(200b)을 전사하는데 보다 바람직하기 때문이다.
제2실시예
도 3a 내지 도 3c는 본 발명의 제2실시예에 따른 패턴 형성 방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
우선, 도 3a와 같이, 패턴물질(200)을 인쇄판(400)의 소정형상의 오목부에 도포한다.
상기 패턴물질(200)은 (+)로 하전된 입자를 포함하고 있다.
그 후, 도 3b와 같이, 상기 인쇄판(400) 상에서 블랭킷(350)이 부착된 인쇄롤(300)을 회전시켜, 상기 인쇄판(400)의 오목부에 형성된 패턴물질(200)을 인쇄롤(300)의 블랭킷(350)에 전사함으로써 인쇄롤(300)에 소정형상의 패턴(200)을 형성한다.
여기서, 상기 인쇄롤(300)은 상기 패턴물질(200)과 반대의 전압인 (-)전압을 인가하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 인쇄롤(300)과 패턴물질(200) 사이에 인력이 작용하는 것이 인쇄판(400)에서 인쇄롤(300)로 패턴물질(200)이 전사되는데 보다 바람직하기 때문이다.
또한, 상기 인쇄판(400)에는 상기 패턴물질(200)과 동일한 전압인 (+)전압을 인가하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 인쇄판(400)과 패턴물질(200) 사이에 척력이 작용하는 것이 인쇄판(400)에서 인쇄롤(300)로 패턴물질(200)이 전사되는데 보다 바람직하기 때문이다.
그 후, 도 3c와 같이, 기판(500) 상에서 상기 인쇄롤(300)을 회전하여 상기 기판(500) 상에 패턴을 전사한다.
여기서, 상기 인쇄롤(300)에는 상기 패턴물질(200)과 동일한 전압인 (+)전압을 인가하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 인쇄롤(300)과 패턴물질(200) 사이에 척력이 작용하는 것이 인쇄롤(300)에서 상기 기판(500)으로 패턴(200)을 전사하는데 보다 바람직하기 때문이다.
또한, 상기 기판(500)에는 상기 패턴물질(200)과 반대의 전압인 (-)전압을 인가하는 것이 바람직하다. 왜냐하면, 기판(500)과 패턴물질(200) 사이에 인력이 작용하는 것이 인쇄롤(300)에서 상기 기판(500)으로 패턴(200)을 전사하는데 보다 바람직하기 때문이다.
제3실시예
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 제3실시예에 따른 패턴 형성 방법을 개략적으로 도시한 공정도이다.
우선, 도 4a와 같이, 패턴물질(200)을 인쇄판(400)에 도포한다.
상기 패턴물질(200)은 (+)로 하전된 입자를 포함하고 있다.
그 후, 도 4b와 같이, 패턴물질(200)이 형성된 인쇄판(400) 상에서 소정 형상의 볼록부(320)가 형성되어 있으며 블랭킷(350)이 부착된 인쇄롤(300)을 회전시켜, 상기 볼록부(320)의 블랭킷(350) 상에 패턴물질(200b)을 전사함으로써 인쇄롤 (300)에 소정형상의 패턴(200b)을 형성한다.
여기서, 상기 인쇄롤(300)에는 상기 패턴물질(200)과 반대의 전압인 (-)전압을 인가하는 것이 바람직함은 전술한 실시예와 동일하다.
또한, 상기 인쇄판(400)에는 상기 패턴물질(200)과 동일한 전압인 (+)전압을 인가하는 것이 바람직함은 전술한 실시예와 동일하다.
그 후, 도 4c와 같이, 기판(500) 상에서 상기 인쇄롤(300)을 회전하여 상기 기판(500) 상에 패턴(200b)을 전사한다.
여기서, 상기 인쇄롤(300)에 상기 패턴물질(200)과 동일한 전압인 (+)전압을 인가하는 것이 바람직함은 전술한 실시예와 동일하다.
또한, 상기 기판(500)에 상기 패턴물질(200)과 반대의 전압인 (-)전압을 인가하는 것이 바람직함은 전술한 실시예와 동일하다.
상기 구성에 의한 본 발명에 따르면,
첫째, 패턴물질에 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고, 인쇄롤에 패턴물질과 반대의 전압을 인가함으로써, 비록 인쇄롤에 부착되는 블랭킷이 표면장력이 작다 하더라도 패턴물질과 인쇄롤 사이에 작용하는 인력으로 인해 패턴물질이 인쇄롤 상의 소정영역에서 뭉치지 않고 도포될 수 있다.
둘째, 패턴물질에 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고, 인쇄롤, 인쇄판 및 기판에 공정에 따라 적절히 (+) 또는 (-)전압을 인가함으로써 양자간에 인력 또는 척력이 작용하도록 하여 패턴물질의 전사 특성을 향상시킬 수 있다.

Claims (16)

  1. 패턴물질을 블랭킷이 부착된 인쇄롤에 도포하는 제1공정;
    소정형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜, 상기 인쇄판의 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하고 잔존하는 패턴물질에 의해 인쇄롤의 블랭킷에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및
    기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며,
    이때, 상기 제1공정에서, 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고, 상기 인쇄롤에는 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2공정에서, 상기 인쇄롤에는 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2공정에서, 상기 인쇄판에는 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제3공정에서, 상기 인쇄롤에는 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제3공정에서, 상기 기판에는 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  6. 패턴물질을 인쇄판의 소정형상의 오목부에 도포하는 제1공정;
    상기 인쇄판 상에서 블랭킷이 부착된 인쇄롤을 회전시켜, 상기 인쇄판의 오목부에 형성된 패턴물질을 인쇄롤에 전사함으로써 인쇄롤에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및
    기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며,
    이때, 상기 제1공정에서 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고, 상기 제2공정에서 상기 인쇄롤은 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2공정에서, 상기 인쇄판에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제3공정에서, 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제3공정에서, 상기 기판에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  10. 패턴물질을 인쇄판에 도포하는 제1공정;
    패턴물질이 형성된 인쇄판 상에서, 소정 형상의 볼록부가 형성되어 있으며 블랭킷이 부착된 인쇄롤을 회전시켜, 상기 볼록부의 블랭킷에 패턴물질을 전사함으로써 인쇄롤에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및
    기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며,
    이때, 상기 제1공정에서 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고, 상기 제2공정에서 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2공정에서, 상기 인쇄판에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제3공정에서, 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 제3공정에서, 상기 기판에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  14. 패턴물질을 블랭킷이 부착된 인쇄롤에 도포하는 제1공정;
    소정형상의 돌출부가 형성된 인쇄판 상에서 상기 인쇄롤을 회전시켜, 상기 인쇄판의 돌출부에 일부 패턴물질을 전사하고 잔존하는 패턴물질에 의해 인쇄롤의 블랭킷에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및
    기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며,
    이때, 상기 제1공정에서, 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고 상기 인쇄롤에는 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하고,
    상기 제2공정에서, 상기 인쇄롤에는 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하고 상기 인쇄판에는 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하고,
    상기 제3공정에서, 상기 인쇄롤에는 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하고 상기 기판에는 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  15. 패턴물질을 인쇄판의 소정형상의 오목부에 도포하는 제1공정;
    상기 인쇄판 상에서 블랭킷이 부착된 인쇄롤을 회전시켜, 상기 인쇄판의 오목부에 형성된 패턴물질을 인쇄롤에 전사함으로써 인쇄롤에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및
    기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며,
    이때, 상기 제1공정에서 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고,
    상기 제2공정에서, 상기 인쇄롤은 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하고 상기 인쇄판에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하고,
    상기 제3공정에서, 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하고 상기 기판에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
  16. 패턴물질을 인쇄판에 도포하는 제1공정;
    패턴물질이 형성된 인쇄판 상에서, 소정 형상의 볼록부가 형성되어 있으며 블랭킷이 부착된 인쇄롤을 회전시켜, 상기 볼록부의 블랭킷에 패턴물질을 전사함으로써 인쇄롤에 소정형상의 패턴을 형성하는 제2공정; 및
    기판 상에서 상기 인쇄롤을 회전하여 상기 기판 상에 패턴을 전사하는 제3공정으로 이루어지며,
    이때, 상기 제1공정에서 상기 패턴물질은 (+) 또는 (-)로 하전된 입자를 포함하고 있고,
    상기 제2공정에서 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하고 상기 인쇄판에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하고,
    상기 제3공정에서, 상기 인쇄롤에 상기 패턴물질과 동일한 전압을 인가하고 상기 기판에 상기 패턴물질과 반대의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성 방법.
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