KR20060081586A - Thin film transistor array panel - Google Patents

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KR20060081586A KR1020050002081A KR20050002081A KR20060081586A KR 20060081586 A KR20060081586 A KR 20060081586A KR 1020050002081 A KR1020050002081 A KR 1020050002081A KR 20050002081 A KR20050002081 A KR 20050002081A KR 20060081586 A KR20060081586 A KR 20060081586A
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박정목
민훈기
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변재성
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삼성전자주식회사
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Abstract

본 발명은 박막 트랜지스터 표시판에 관한 것으로, 이 박막 트랜지스터 표시판은, 기판, 기판 위에 형성되어 있는 게이트선, 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선, 데이터선 위에 형성되어 있으며 요철 패턴을 가지는 유기 절연막, 유기 절연막 위에 형성되어 있으며 투과 영역을 정의하는 투명 전극, 그리고 투명 전극 위에 형성되어 있으며 반사 영역을 정의하는 반사 전극을 포함한다. 이때, 데이터선의 상부 영역은 투과 영역에 인접한 제1 영역과 반사 영역에 인접한 제2 영역을 가지며, 반사 전극은 제2 영역에 형성되어 있으나 제1 영역에는 형성되어 있지 않다.The present invention relates to a thin film transistor array panel, wherein the thin film transistor array panel is formed on a substrate, a gate line formed on the substrate, a gate insulating film formed on the gate line, a data line formed on the gate insulating film, and a data line. An organic insulating film having an uneven pattern, a transparent electrode formed on the organic insulating film and defining a transmissive region, and a reflective electrode formed on the transparent electrode and defining a reflective region, are included. In this case, the upper region of the data line has a first region adjacent to the transmission region and a second region adjacent to the reflective region, and the reflective electrode is formed in the second region but not formed in the first region.

액정 표시 장치, 반투과, 반사 전극, 투명 전극, 요철 패턴, 리프팅 현상Liquid crystal display, transflective, reflective electrode, transparent electrode, uneven pattern, lifting phenomenon

Description

박막 트랜지스터 표시판 {THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL}Thin Film Transistor Display Panels {THIN FILM TRANSISTOR ARRAY PANEL}

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이다.1 is a layout view of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 각각 도 1에 도시한 박막 트랜지스터 표시판을 II-II' 선 및 III-III' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.2 and 3 are cross-sectional views of the thin film transistor array panel illustrated in FIG. 1 taken along lines II-II 'and III-III', respectively.

본 발명은 박막 트랜지스터 표시판에 관한 것으로서, 특히 반투과형(transflective) 박막 트랜지스터 표시판에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to thin film transistor array panels, and more particularly to transflective thin film transistor array panels.

일반적으로 액정 표시 장치는 전계 생성 전극과 편광판이 구비된 한 쌍의 표시판 사이에 위치한 액정층을 포함한다. 전계 생성 전극은 액정층에 전계를 생성하고 이러한 전계의 세기가 변화함에 따라 액정 분자들의 배열이 변화한다. 예를 들면, 전계가 인가된 상태에서 액정층의 액정 분자들은 그 배열을 변화시켜 액정층을 지나는 빛의 편광을 변화시킨다. 편광판은 편광된 빛을 적절하게 차단 또는 투과시켜 밝고 어두운 영역을 만들어냄으로써 원하는 영상을 표시한다.In general, a liquid crystal display device includes a liquid crystal layer positioned between a field generating electrode and a pair of display panels provided with a polarizing plate. The field generating electrode generates an electric field in the liquid crystal layer and the arrangement of the liquid crystal molecules changes as the intensity of the electric field changes. For example, in the state where an electric field is applied, the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer change its arrangement to change the polarization of light passing through the liquid crystal layer. The polarizer displays a desired image by appropriately blocking or transmitting polarized light to create bright and dark areas.

액정 표시 장치는 스스로 발광하지 못하는 수광형 표시 장치이므로 별개로 구비된 후광 장치(backlight unit)의 램프에서 나오는 빛을 액정층을 통과시키거나 자연광 등 외부에서 들어오는 빛을 액정층을 일단 통과시켰다가 다시 반사하여 액정층을 다시 통과시킨다. 전자의 경우를 투과형(transmissive) 액정 표시 장치라 하고 후자의 경우를 반사형(reflective) 액정 표시 장치라 하는데, 후자의 경우는 주로 중소형 표시 장치에 사용된다. 또한 환경에 따라 후광 장치를 사용하기도 하고 외부광을 사용하기도 하는 반투과형 또는 반사-투과형 액정 표시 장치가 개발되어 주로 중소형 표시 장치에 적용되고 있다.Since the liquid crystal display is a light-receiving display device that does not emit light by itself, light from a lamp of a separately provided backlight unit passes through the liquid crystal layer, or light from external sources such as natural light passes through the liquid crystal layer once again. Reflects and passes the liquid crystal layer again. The former case is called a transmissive liquid crystal display device, and the latter case is called a reflective liquid crystal display device. The latter case is mainly used for small and medium size display devices. In addition, a semi-transmissive or reflective-transmissive liquid crystal display device using either a backlight device or an external light is developed according to the environment, and is mainly applied to a small and medium display device.

반투과형 액정 표시 장치의 경우 각 화소에 후광 장치를 사용하는 투과 영역과 외부광을 사용하는 반사 영역을 두는데, 투과 영역에는 투명 전극이 있고, 반사 영역에는 반사 전극이 있다. 반사 전극 하부에 형성되어 있는 유기 절연막에는 요철 패턴이 형성되어 있어서 반사 전극에 요철 패턴을 유도하여 반사 전극의 반사 효율을 높인다.In the case of the transflective liquid crystal display, each pixel includes a transmissive region using a backlight device and a reflective region using external light. The transmissive region includes a transparent electrode, and the reflective region has a reflective electrode. An uneven pattern is formed in the organic insulating layer formed under the reflective electrode, thereby inducing the uneven pattern to the reflective electrode to increase the reflection efficiency of the reflective electrode.

반사 전극은 투명 전극의 가장자리 전체를 둘러싸는 "ㅁ"자 구조로 형성되어 있거나, 이웃하는 데이터선에 인접한 투명 전극의 양쪽 가장자리를 둘러싸는 "U"자 구조로 형성되어 있거나, 한 데이터선에 인접한 투명 전극의 한쪽 가장자리를 둘러싸는 "L"자 구조로 형성되어 있다. 이와 같이 반사 전극을 데이터선 주변에 배치함으로써 반사 영역을 넓혀 반사율을 높인다. 그런데 반사 영역과 투명 영역 사이의 단차에 의하여 데이터선 주변의 반사 전극이 그 하부막인 투명 전극으로부터 떨어져나가는 소위 리프팅(lifting) 현상이 발생하여 화질에 영향을 미친다.The reflective electrode may be formed of a "W" shaped structure surrounding the entire edge of the transparent electrode, or may be formed of a "U" shaped structure surrounding both edges of the transparent electrode adjacent to a neighboring data line, or may be adjacent to one data line. It is formed in the "L" shape surrounding one edge of a transparent electrode. By arranging the reflective electrodes around the data lines in this way, the reflecting region is widened to increase the reflectance. However, due to the step between the reflective and transparent regions, a so-called lifting phenomenon occurs in which the reflective electrode around the data line is separated from the transparent electrode, which is a lower layer thereof, thereby affecting the image quality.

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 리프팅 현상을 최소화할 수 있는 박막 트랜지스터 표시판을 제공하는 것이다.Accordingly, an aspect of the present invention is to provide a thin film transistor array panel capable of minimizing a lifting phenomenon.

이러한 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 한 실시예에 따른, 투과 영역과 반사 영역을 가지는 박막 트랜지스터 표시판은, 기판, 상기 기판 위에 형성되어 있는 게이트선, 상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선, 상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 요철 패턴을 가지는 유기 절연막, 상기 유기 절연막 위에 형성되어 있으며 상기 투과 영역을 정의하는 투명 전극, 그리고 상기 투명 전극 위에 형성되어 있으며 상기 반사 영역을 정의하는 반사 전극을 포함하며, 상기 데이터선의 상부 영역은 상기 투과 영역에 인접한 제1 영역과 상기 반사 영역에 인접한 제2 영역을 가지며, 상기 반사 전극은 상기 제2 영역에 형성되어 있으나 상기 제1 영역에는 형성되어 있지 않다.According to one or more exemplary embodiments, a thin film transistor array panel having a transmissive region and a reflective region includes a substrate, a gate line formed on the substrate, a gate insulating film formed on the gate line, and the gate. A data line formed on the insulating film, an organic insulating film formed on the data line and having an uneven pattern, a transparent electrode formed on the organic insulating film and defining the transmission area, and formed on the transparent electrode, A reflective electrode, wherein the upper region of the data line has a first region adjacent to the transmission region and a second region adjacent to the reflective region, and the reflective electrode is formed in the second region, but the first region Not formed.

상기 데이터선 아래에 형성되어 있으며 상기 기판 하부로부터의 외부광을 차단하는 차광 부재를 더 포함할 수 있다.The light blocking member may further include a light blocking member formed under the data line to block external light from a lower portion of the substrate.

상기 반사 전극은 상기 제2 영역의 상기 데이터선과 중첩할 수 있다.The reflective electrode may overlap the data line of the second region.

상기 반사 전극은 상기 게이트선과 중첩할 수 있다.The reflective electrode may overlap the gate line.

상기 유기 절연막은 상기 투과 영역에서 제거될 수 있다.The organic insulating layer may be removed in the transmission region.

상기 유기 절연막은 상기 제1 영역에서 제거될 수 있다.The organic insulating layer may be removed in the first region.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명 하는 실시예에 한정되지 않는다.DETAILED DESCRIPTION Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.In the drawings, the thickness of layers, films, panels, regions, etc., are exaggerated for clarity. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification. When a part of a layer, film, region, plate, etc. is said to be "on" another part, this includes not only the other part being "right over" but also another part in the middle. On the contrary, when a part is "just above" another part, there is no other part in the middle.

이제 본 발명의 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.A thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판의 배치도이고, 도 2 및 도 3은 각각 도 1에 도시한 액정 표시 장치를 II-II' 선 및 III-III' 선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.FIG. 1 is a layout view of a thin film transistor array panel according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are each cut along the II-II 'and III-III' lines of the liquid crystal display shown in FIG. It is a cross section.

본 실시예에 따른 박막 트랜지스터 표시판(100)에는, 도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이, 투명한 유리 등으로 이루어진 절연 기판(110) 위에 복수의 게이트선(gate line)(121)과 복수의 차광 부재(126) 및 복수의 유지 전극선(storage electrode line)(131)이 형성되어 있다.In the thin film transistor array panel 100 according to the present exemplary embodiment, as illustrated in FIGS. 1 to 3, a plurality of gate lines 121 and a plurality of light blocking layers are formed on an insulating substrate 110 made of transparent glass or the like. The member 126 and the plurality of storage electrode lines 131 are formed.

게이트선(121)은 주로 가로 방향으로 뻗어 있고, 서로 분리되어 있으며 게이트 신호를 전달한다. 각 게이트선(121)은 게이트 전극(124)을 이루는 복수의 돌기를 가지며, 게이트선(121)의 한쪽 끝의 확장부(129)는 외부 회로와의 연결을 위하여 면적이 넓다. The gate lines 121 mainly extend in the horizontal direction, are separated from each other, and transmit gate signals. Each gate line 121 has a plurality of protrusions constituting the gate electrode 124, and an extension 129 at one end of the gate line 121 has a large area for connection with an external circuit.                     

차광 부재(126)는 주로 세로 방향으로 뻗어 있고 서로 분리되어 있으며, 후광 장치(도시하지 않음)의 램프로부터의 광을 차단한다.The light blocking members 126 extend mainly in the longitudinal direction and are separated from each other, and block light from a lamp of a backlight device (not shown).

유지 전극선(131)은 주로 가로 방향으로 뻗어 있으며, 유지 전극(133)을 이루는 복수의 돌출부를 포함한다. 유지 전극선(131)에는 공통 전극 표시판(200)의 공통 전극(common electrode)(270)에 인가되는 공통 전압(common voltage) 따위의 미리 정해진 전압을 인가받는다.The storage electrode line 131 mainly extends in the horizontal direction and includes a plurality of protrusions constituting the storage electrode 133. The storage electrode line 131 receives a predetermined voltage such as a common voltage applied to the common electrode 270 of the common electrode display panel 200.

게이트선(121)과 차광 부재(126) 및 유지 전극선(131)은 알루미늄과 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열의 금속, 은과 은 합금 등 은 계열의 금속, 구리와 구리 합금 등 구리 계열의 금속, 몰리브덴과 몰리브덴 합금 등 몰리브덴 계열의 금속, 크롬, 티타늄, 탄탈륨 따위로 이루어지는 것이 바람직하다. 게이트선(121)과 차광 부재(126) 및 유지 전극선(131)은 물리적 성질이 다른 두 개의 막, 즉 하부막(도시하지 않음)과 그 위의 상부막(도시하지 않음)을 포함할 수 있다. 상부막은 게이트선(121)과 유지 전극선(131)의 신호 지연이나 전압 강하를 줄일 수 있도록 낮은 비저항(resistivity)의 금속, 예를 들면 알루미늄(Al)이나 알루미늄 합금 등 알루미늄 계열의 금속으로 이루어진다. 이와는 달리, 하부막은 다른 물질, 특히 ITO(indium tin oxide) 및 IZO(indium zinc oxide)와의 접촉 특성이 우수한 물질, 이를테면 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금, 크롬(Cr) 등으로 이루어진다. 하부막과 상부막의 조합의 예로는 크롬/알루미늄-네오디뮴(Nd) 합금을 들 수 있다.The gate line 121, the light blocking member 126, and the storage electrode line 131 may be formed of aluminum-based metal such as aluminum and aluminum alloy, silver-based metal such as silver and silver alloy, copper-based metal such as copper and copper alloy, molybdenum and Molybdenum-based metals such as molybdenum alloys, chromium, titanium, tantalum and the like is preferably made. The gate line 121, the light blocking member 126, and the storage electrode line 131 may include two layers having different physical properties, that is, a lower layer (not shown) and an upper layer (not shown) thereon. . The upper layer is made of a metal having a low resistivity, such as aluminum (Al) or an aluminum alloy, so as to reduce signal delay or voltage drop between the gate line 121 and the storage electrode line 131. In contrast, the lower layer is made of a material having excellent contact properties with other materials, particularly indium tin oxide (ITO) and indium zinc oxide (IZO), such as molybdenum (Mo), molybdenum alloy, chromium (Cr), and the like. An example of the combination of the lower layer and the upper layer is chromium / aluminum-neodymium (Nd) alloy.

게이트선(121)과 차광 부재(126) 및 유지 전극선(131)은 단일막 구조를 가지거나 세 층 이상을 포함할 수 있다. The gate line 121, the light blocking member 126, and the storage electrode line 131 may have a single layer structure or may include three or more layers.                     

또한 게이트선(121)과 차광 부재(126) 및 유지 전극선(131)의 측면은 기판(110)의 표면에 대하여 경사져 있으며 그 경사각은 약 20-80°이다.In addition, side surfaces of the gate line 121, the light blocking member 126, and the storage electrode line 131 are inclined with respect to the surface of the substrate 110, and the inclination angle thereof is about 20-80 °.

게이트선(121)과 차광 부재(126) 및 유지 전극선(131) 위에는 질화규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(gate insulating layer)(140)이 형성되어 있다.A gate insulating layer 140 made of silicon nitride (SiNx) is formed on the gate line 121, the light blocking member 126, and the storage electrode line 131.

게이트 절연막(140) 상부에는 수소화 비정질 규소(hydrogenated amorphous silicon)(비정질 규소는 약칭 a-Si로 씀) 또는 다결정 규소 등으로 이루어진 복수의 선형 반도체(151)가 형성되어 있다. 선형 반도체(151)는 주로 세로 방향으로 뻗어 있으며 이로부터 복수의 돌출부(extension)(154)가 게이트 전극(124)을 향하여 뻗어 나와 있으며, 이로부터 복수의 확장부(157)가 연장되어 있다. 또한 선형 반도체(151)는 게이트선(121) 및 유지 전극선(131)과 만나는 지점 부근에서 폭이 커져서 게이트선(121) 및 유지 전극선(131)의 넓은 면적을 덮고 있다.On the gate insulating layer 140, a plurality of linear semiconductors 151 made of hydrogenated amorphous silicon (amorphous silicon is abbreviated a-Si), polycrystalline silicon, or the like are formed. The linear semiconductor 151 extends mainly in the longitudinal direction, from which a plurality of extensions 154 extend toward the gate electrode 124, from which a plurality of extensions 157 extend. In addition, the linear semiconductor 151 increases in width near the point where the linear semiconductor 151 meets the gate line 121 and the storage electrode line 131 to cover a large area of the gate line 121 and the storage electrode line 131.

반도체(151)의 상부에는 실리사이드(silicide) 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 복수의 선형 및 섬형 저항성 접촉 부재(ohmic contact)(161, 165)가 형성되어 있다. 선형 접촉 부재(161)는 복수의 돌출부(163)를 가지고 있으며, 이 돌출부(163)와 섬형 접촉 부재(165)는 쌍을 이루어 반도체(151)의 돌출부(154) 위에 위치한다.A plurality of linear and island ohmic contacts 161 and 165 made of a material such as n + hydrogenated amorphous silicon doped with silicide or n-type impurities at a high concentration are formed on the semiconductor 151. have. The linear contact member 161 has a plurality of protrusions 163, and the protrusions 163 and the island contact members 165 are paired and positioned on the protrusions 154 of the semiconductor 151.

반도체(151)와 저항성 접촉 부재(161, 165)의 측면 역시 기판(110)의 표면에 대하여 경사져 있으며 경사각은 30-80°이다.Side surfaces of the semiconductor 151 and the ohmic contacts 161 and 165 are also inclined with respect to the surface of the substrate 110, and the inclination angle is 30-80 °.

저항성 접촉 부재(161, 165) 및 게이트 절연막(140) 위에는 복수의 데이터선 (data line)(171)과 이로부터 분리되어 있는 복수의 드레인 전극(drain electrode)(175)이 형성되어 있다.A plurality of data lines 171 and a plurality of drain electrodes 175 separated therefrom are formed on the ohmic contacts 161 and 165 and the gate insulating layer 140.

데이터선(171)은 주로 세로 방향으로 뻗어 게이트선(121) 및 유지 전극선(131)과 교차하며 데이터 전압을 전달한다. 데이터선(171)은 차광 부재(126)에 의하여 차단되지 않는 광을 차단하도록 차광 부재(126)의 양단에서 넓이가 넓어진다. 데이터선(171)은 다른 층 또는 외부 장치와의 접속을 위하여 면적이 넓은 한쪽 끝의 확장부(179)를 포함한다.The data line 171 mainly extends in the vertical direction and crosses the gate line 121 and the storage electrode line 131 and transmits a data voltage. The data line 171 is widened at both ends of the light blocking member 126 to block light that is not blocked by the light blocking member 126. The data line 171 includes an extension 179 at one end having a large area for connecting to another layer or an external device.

각 드레인 전극(175)은 하나의 유지 전극(133)과 중첩하는 확장부(177)를 포함한다. 데이터선(171)의 세로부 각각은 복수의 돌출부를 포함하며, 이 돌출부를 포함하는 세로부가 드레인 전극(175)의 한쪽 끝 부분을 일부 둘러싸는 소스 전극(173)을 이룬다. 게이트 전극(124), 소스 전극(173) 및 드레인 전극(175)은 반도체(151)의 돌출부(154)와 함께 박막 트랜지스터(thin film transistor, TFT)를 이루며, 박막 트랜지스터의 채널(channel)은 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이의 돌출부(154)에 형성된다.Each drain electrode 175 includes an extension 177 that overlaps one storage electrode 133. Each vertical portion of the data line 171 includes a plurality of protrusions, and the vertical portion including the protrusions forms a source electrode 173 partially surrounding one end of the drain electrode 175. The gate electrode 124, the source electrode 173, and the drain electrode 175 form a thin film transistor (TFT) together with the protrusion 154 of the semiconductor 151, and the channel of the thin film transistor is a source. A protrusion 154 is formed between the electrode 173 and the drain electrode 175.

데이터선(171) 및 드레인 전극(175)은 크롬 또는 몰리브덴 계열의 금속, 탄탈륨 및 티타늄 등 내화성 금속으로 이루어지는 것이 바람직하며, 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금, 크롬(Cr) 따위의 하부막(도시하지 않음)과 그 위에 위치한 알루미늄 계열 금속인 상부막(도시하지 않음)으로 이루어진 다층막 구조를 가질 수 있다.The data line 171 and the drain electrode 175 are preferably made of a refractory metal such as chromium or molybdenum-based metal, tantalum, and titanium, and include a lower layer such as molybdenum (Mo), molybdenum alloy, and chromium (Cr). And an upper layer (not shown) that is an aluminum-based metal disposed thereon.

데이터선(171)과 드레인 전극(175)도 게이트선(121)과 차광 부재(126) 및 유지 전극선(131)과 마찬가지로 그 측면이 약 30-80°의 각도로 각각 경사져 있다. Similarly to the gate line 121, the light blocking member 126, and the storage electrode line 131, the data line 171 and the drain electrode 175 are inclined at an angle of about 30-80 °, respectively.                     

저항성 접촉 부재(161, 165)는 그 하부의 반도체(151)와 그 상부의 데이터선(171) 및 드레인 전극(175) 사이에만 존재하며 접촉 저항을 낮추어 주는 역할을 한다. 선형 반도체(151)는 소스 전극(173)과 드레인 전극(175) 사이를 비롯하여 데이터선(171) 및 드레인 전극(175)에 가리지 않고 노출된 부분을 가지고 있다.The ohmic contacts 161 and 165 exist only between the semiconductor 151 below and the data line 171 and the drain electrode 175 above and serve to lower the contact resistance. The linear semiconductor 151 has a portion exposed between the source electrode 173 and the drain electrode 175 and not covered by the data line 171 and the drain electrode 175.

데이터선(171), 드레인 전극(175) 및 노출된 반도체(151) 부분의 위에는 무기 물질인 질화 규소나 산화 규소 따위로 이루어진 보호막(passivation layer)(180)이 형성되어 있으며, 보호막(180) 상부에는 평탄화 특성이 우수하며 감광성(photosensitivity)을 가지는 유기 물질로 이루어진 유기 절연막(187)이 형성되어 있다. 이때, 유기 절연막(187)의 표면은 요철 패턴을 가지고, 유기 절연막(187) 위에 형성되는 반사 전극(192)에 요철 패턴을 유도하여 반사 전극(192)의 반사 효율을 극대화한다. 게이트선(121) 및 데이터선(171)의 확장부(129, 179)가 형성되어 있는 패드부에는 유기 절연막(187)이 제거되어 있으며 보호막(180)만 남아 있다.A passivation layer 180 made of silicon nitride or silicon oxide, which is an inorganic material, is formed on the data line 171, the drain electrode 175, and the exposed semiconductor 151, and the upper portion of the passivation layer 180. An organic insulating layer 187 formed of an organic material having excellent planarization characteristics and photosensitivity is formed therein. At this time, the surface of the organic insulating layer 187 has a concave-convex pattern, inducing a concave-convex pattern on the reflective electrode 192 formed on the organic insulating film 187 to maximize the reflection efficiency of the reflective electrode 192. The organic insulating layer 187 is removed and only the passivation layer 180 remains on the pad part where the extension parts 129 and 179 of the gate line 121 and the data line 171 are formed.

보호막(180)에는 데이터선(171)의 확장부(179)를 드러내는 접촉 구멍(contact hole)(182)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(140)과 함께 게이트선(121)의 확장부(129)를 노출하는 접촉 구멍(181)이 형성되어 있다. 또한 보호막(180) 및 유기 절연막(187)에는 드레인 전극(175)의 확장부(177)를 드러내는 접촉 구멍(185)이 형성되어 있다. 접촉 구멍(181, 182, 185)은 다각형 또는 원 모양 등 다양한 모양으로 만들어질 수 있으며, 측벽은 30-85°의 각도로 기울어져 있거나 계단형이다. In the passivation layer 180, a contact hole 182 is formed to expose the extension 179 of the data line 171. The extension 129 of the gate line 121 together with the gate insulating layer 140 is formed. The contact hole 181 which exposes is formed. In addition, the protective layer 180 and the organic insulating layer 187 are formed with contact holes 185 exposing the extension 177 of the drain electrode 175. The contact holes 181, 182, and 185 may be made in various shapes such as polygons or circles, and the sidewalls are inclined or stepped at an angle of 30-85 °.                     

유기 절연막(187) 위에는 복수의 화소 전극(pixel electrode)이 형성되어 있다.A plurality of pixel electrodes are formed on the organic insulating layer 187.

화소 전극은 투명 전극(190) 및 투명 전극(190) 상부에 형성되어 있는 반사 전극(192)을 포함한다. 투명 전극(190)은 투명한 도전 물질인 ITO 또는 IZO로 이루어져 있으며, 반사 전극(192)은 불투명하며 반사도를 가지는 알루미늄 또는 알루미늄 합금, 은 또는 은 합금 등으로 이루어질 수 있다. 화소 전극은 몰리브덴 또는 몰리브덴 합금, 크롬, 티타늄 또는 탄탈륨 등으로 이루어진 접촉 보조층(도시하지 않음)을 더 포함할 수 있다. 접촉 보조층은 투명 전극(190)과 반사 전극(192)의 접촉 특성을 확보하며, 투명 전극(190)이 반사 전극(192)을 산화시키지 못하도록 하는 역할을 한다.The pixel electrode includes a transparent electrode 190 and a reflective electrode 192 formed on the transparent electrode 190. The transparent electrode 190 may be made of ITO or IZO, which is a transparent conductive material, and the reflective electrode 192 may be made of aluminum or an aluminum alloy, silver, or a silver alloy having opacity and reflectivity. The pixel electrode may further include a contact auxiliary layer (not shown) made of molybdenum or molybdenum alloy, chromium, titanium, or tantalum. The contact auxiliary layer secures contact characteristics between the transparent electrode 190 and the reflective electrode 192 and prevents the transparent electrode 190 from oxidizing the reflective electrode 192.

하나의 화소는 크게 투과 영역(TA)과 반사 영역(RA)으로 구분되는데, 투과 영역(TA)은 반사 전극(192)이 제거되어 있는 영역이며, 반사 영역(RA)은 반사 전극(192)이 존재하는 영역이다. 투과 영역(TA)에는 유기 절연막(187)이 제거되어 있으며, 투과 영역(TA)에서의 셀 간격은 반사 영역(RA)에서의 셀 간격의 대략 2배이다. 따라서 반사 영역(RA)과 투과 영역(TA)에서 광이 액정층(3)을 통과하는 광로차에 의한 영향을 보상할 수 있다. 투과 영역(TA)의 양쪽 가장자리의 데이터선(171) 상부에는 유기 절연막(187)이 제거되어 보호막(180)만 남아 있을 수 있다.One pixel is largely divided into a transmission area TA and a reflection area RA. The transmission area TA is an area where the reflection electrode 192 is removed, and the reflection area RA is a reflection electrode 192. This area exists. The organic insulating film 187 is removed from the transmission area TA, and the cell spacing in the transmission area TA is approximately twice the cell spacing in the reflection area RA. Therefore, the influence of the optical path difference through which the light passes through the liquid crystal layer 3 in the reflection area RA and the transmission area TA can be compensated for. The organic insulating layer 187 may be removed from the upper portion of the data line 171 at both edges of the transmission area TA, so that only the passivation layer 180 may remain.

투과 영역(TA)과 반사 영역은 한 화소에서 이분할되어 있다. 즉, 투과 영역(TA)은 전단 게이트선(121)과 이에 인접하는 이웃하는 데이터선(171) 사이에 형성되어 있으며, 반사 영역(RA)은 투과 영역(TA) 아래에서 게이트선(121)과 이에 인접 하는 이웃하는 데이터선(171) 사이에 형성되어 있다. 즉 투명 전극(190)에 인접해 있는 데이터선(171)의 상부 영역에는 반사 전극(192)이 형성되어 있지 않다. 따라서 데이터선(171) 상부의 좁은 영역에 형성됨으로써 발생하는 반사 전극(192)의 리프팅 현상을 원천적으로 방지할 수 있다. 그리고 반사 영역(RA)에서 데이터선(171) 상부에 형성되어 있는 반사 전극(192)은 넓은 범위에 형성되어 있으므로 리프팅 현상이 발생하지 않는다.The transmission area TA and the reflection area are divided into one pixel. That is, the transmission area TA is formed between the front gate line 121 and the adjacent data line 171 adjacent thereto, and the reflection area RA is formed between the gate line 121 and the transmission area TA under the transmission area TA. It is formed between neighboring data lines 171 adjacent thereto. That is, the reflective electrode 192 is not formed in the upper region of the data line 171 adjacent to the transparent electrode 190. Therefore, the lifting phenomenon of the reflective electrode 192 caused by being formed in the narrow area above the data line 171 can be prevented at the source. Since the reflective electrode 192 formed on the data line 171 in the reflective region RA is formed in a wide range, a lifting phenomenon does not occur.

화소 전극은 접촉 구멍(185)을 통하여 드레인 전극(175)의 확장부(177)와 물리적·전기적으로 연결되어 드레인 전극(175)으로부터 데이터 전압을 인가받는다. 데이터 전압이 인가된 화소 전극은 공통 전극(270)과 함께 전기장을 생성함으로써 둘 사이의 액정층(3)의 액정 분자들을 재배열시킨다.The pixel electrode is physically and electrically connected to the extension 177 of the drain electrode 175 through the contact hole 185 to receive a data voltage from the drain electrode 175. The pixel electrode to which the data voltage is applied rearranges the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 3 between the two by generating an electric field together with the common electrode 270.

또한 화소 전극과 공통 전극(270)은 축전기[이하 “액정 축전기(liquid crystal capacitor)”라 함]를 이루어 박막 트랜지스터가 턴 오프된 후에도 인가된 전압을 유지하는데, 전압 유지 능력을 강화하기 위하여 액정 축전기와 병렬로 연결된 다른 축전기를 두며 이를 유지 축전기(storage capacitor)라 한다. 유지 축전기는 드레인 전극(175)의 확장부(177)와 유지 전극(133)의 중첩에 의하여 만들어진다. 유지 축전기는 화소 전극 및 이와 이웃하는 게이트선(121)의 중첩 등으로 만들어질 수도 있으며, 이때 유지 전극선(131)은 생략할 수 있다.In addition, the pixel electrode and the common electrode 270 form a capacitor (hereinafter referred to as a "liquid crystal capacitor") to maintain the applied voltage even after the thin film transistor is turned off. There is another capacitor connected in parallel with it, which is called a storage capacitor. The storage capacitor is made by overlapping the extension 177 of the drain electrode 175 and the storage electrode 133. The storage capacitor may be formed by overlapping the pixel electrode and the neighboring gate line 121, and the storage electrode line 131 may be omitted.

투명 전극(190)은 차광 부재(126)와 중첩되어 개구율(aperture ratio)을 높이고 있다. 도면에는 투명 전극(190)이 게이트선(121)과 중첩되어 있지 않은 것으로 도시하였으나 중첩되어 개구율을 더욱 높일 수도 있다. 그리고 반도체(154) 채 널부 및 유지 전극(133)이 형성되어 있는 부분의 상부에까지 반사 전극(192)을 형성함으로써 반사 영역(RA)을 확장할 수 있으며, 이에 따라 반사율을 높일 수 있다.The transparent electrode 190 overlaps the light blocking member 126 to increase the aperture ratio. Although the drawing illustrates that the transparent electrode 190 does not overlap the gate line 121, the transparent electrode 190 may overlap to further increase the aperture ratio. In addition, the reflective region RA may be extended by forming the reflective electrode 192 on the upper portion of the semiconductor 154 channel portion and the sustain electrode 133, thereby increasing the reflectance.

화소 전극의 재료로 투명한 도전성 폴리머(polymer) 등을 사용할 수도 있으며, 반사형(reflective) 액정 표시 장치의 경우 불투명한 반사성 금속을 사용하여도 무방하다.A transparent conductive polymer or the like may be used as the material of the pixel electrode, and in the case of a reflective liquid crystal display, an opaque reflective metal may be used.

패드부의 보호막(180) 위에는 접촉 구멍(181, 182)을 통하여 각각 게이트선(121)의 확장부(129) 및 데이터선(171)의 확장부(179)와 연결되어 있는 복수의 접촉 보조 부재(contact assistant)(81, 82)가 형성되어 있다. 접촉 보조 부재(81, 82)는 게이트선(121) 및 데이터선(171)의 확장부(129, 179)와 외부 장치와의 접착성을 보완하고 이들을 보호하는 역할을 하는 것으로 필수적인 것은 아니며, 이들의 적용 여부는 선택적이다. 또한 이들은 투명 전극(190) 또는 반사 전극(192)과 동일한 층으로 형성될 수도 있다.On the passivation layer 180 of the pad part, a plurality of contact auxiliary members connected to the expansion part 129 of the gate line 121 and the expansion part 179 of the data line 171 through the contact holes 181 and 182, respectively. contact assistants 81 and 82 are formed. The contact auxiliary members 81 and 82 complement the adhesion between the extension portions 129 and 179 of the gate line 121 and the data line 171 and the external device, and do not necessarily serve to protect them. Whether to apply is optional. They may also be formed of the same layer as the transparent electrode 190 or the reflective electrode 192.

본 발명에 의하면, 투명 전극에 인접해 있는 데이터선 상부 영역에는 반사 전극을 형성하지 않음으로써 반사 전극의 리프팅 현상을 방지할 수 있다. 또한 반도체 채널부 및 유지 전극이 형성되어 있는 부분의 상부에 반사 전극을 형성함으로써 반사 영역을 확장할 수 있으며, 이에 따라 반사율을 높일 수 있다.According to the present invention, the lifting phenomenon of the reflective electrode can be prevented by not forming the reflective electrode in the upper region of the data line adjacent to the transparent electrode. In addition, by forming a reflective electrode on the semiconductor channel portion and the portion where the sustain electrode is formed, the reflective region can be expanded, thereby increasing the reflectance.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of rights.

Claims (6)

투과 영역과 반사 영역을 가지는 박막 트랜지스터 표시판으로서,A thin film transistor array panel having a transmission region and a reflection region, 기판,Board, 상기 기판 위에 형성되어 있는 게이트선,A gate line formed on the substrate, 상기 게이트선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막,A gate insulating film formed on the gate line, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 데이터선,A data line formed on the gate insulating film, 상기 데이터선 위에 형성되어 있으며 요철 패턴을 가지는 유기 절연막,An organic insulating layer formed on the data line and having an uneven pattern; 상기 유기 절연막 위에 형성되어 있으며 상기 투과 영역을 정의하는 투명 전극, 그리고A transparent electrode formed on the organic insulating film and defining the transmission region, and 상기 투명 전극 위에 형성되어 있으며 상기 반사 영역을 정의하는 반사 전극A reflective electrode formed on the transparent electrode and defining the reflective region 을 포함하며,Including; 상기 데이터선의 상부 영역은 상기 투과 영역에 인접한 제1 영역과 상기 반사 영역에 인접한 제2 영역을 가지며, 상기 반사 전극은 상기 제2 영역에 형성되어 있으나 상기 제1 영역에는 형성되어 있지 않는An upper region of the data line has a first region adjacent to the transmission region and a second region adjacent to the reflective region, and the reflective electrode is formed in the second region but is not formed in the first region. 박막 트랜지스터 표시판.Thin film transistor array panel. 제1항에서,In claim 1, 상기 데이터선 아래에 형성되어 있으며 상기 기판 하부로부터의 외부광을 차단하는 차광 부재를 더 포함하는 박막 트랜지스터 표시판.And a light blocking member formed under the data line and blocking external light from a lower portion of the substrate. 제1항에서,In claim 1, 상기 반사 전극은 상기 제2 영역의 상기 데이터선과 중첩하는 박막 트랜지스터 표시판.The reflective electrode overlaps the data line of the second region. 제1항에서,In claim 1, 상기 반사 전극은 상기 게이트선과 중첩하는 박막 트랜지스터 표시판.The reflective electrode overlaps the gate line. 제1항에서,In claim 1, 상기 유기 절연막은 상기 투과 영역에서 제거되어 있는 박막 트랜지스터 표시판.And the organic insulating layer is removed from the transmission region. 제5항에서,In claim 5, 상기 유기 절연막은 상기 제1 영역에서 제거되어 있는 박막 트랜지스터 표시판.The organic insulating layer is removed in the first region.
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