KR20060071493A

KR20060071493A - Probe frame for array test

Info

Publication number: KR20060071493A
Application number: KR1020040110093A
Authority: KR
Inventors: 이재봉
Original assignee: 엘지.필립스 엘시디 주식회사
Priority date: 2004-12-22
Filing date: 2004-12-22
Publication date: 2006-06-27

Abstract

본 발명의 실시예에 의한 어레이 테스트용 프로브 프레임은, 액정표시장치의 어레이 테스트를 위한 프로브 프레임에 있어서, 외측에 사각 형태로 형성되는 테두리 프레임과; 상기 테두리 프레임의 좌, 우측 프레임 하단부에 검사 대상 디바이스의 모델에 따라 그 위치가 이동되는 다수의 프로부 핀이 구비됨을 특징으로 한다.An array test probe frame according to an embodiment of the present invention comprises: a probe frame for array test of a liquid crystal display device, the frame comprising: a frame formed in a rectangular shape on the outside; The lower part of the left and right frame of the frame is characterized in that a plurality of pro-bu pins are moved in position depending on the model of the device to be inspected.

이와 같은 본 발명에 의하면, 어레이 테스트를 받는 해당 디바이스의 모델에 따라 프로브 핀의 위치가 변경되도록 구성됨으로써, 모델이 상이한 2개 이상의 디바이스를 연속해서 검사할 경우에도 프로브 프레임을 교체하지 않아 생산시간이 단축되고, 장비 가동률 및 능률을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.According to the present invention, the position of the probe pin is changed according to the model of the device that is subjected to the array test, so even when two or more devices having different models are continuously inspected, the production time is not replaced by replacing the probe frame. It has the advantage of being shortened and improving the equipment utilization rate and efficiency.

Description

Probe frame for array test

도 1은 종래의 어레이 테스트 시스템을 나타내는 도면.1 illustrates a conventional array test system.

도 2는 종래의 프로브 프레임의 구조를 나태는 도면.2 is a view showing the structure of a conventional probe frame.

도 3은 본 발명의 실시예에 의한 프로브 프레임의 구조를 나태는 도면.3 is a view showing the structure of a probe frame according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 3에 도시된 프로브 프레임의 동작을 위한 구성을 나타내는 블록도.4 is a block diagram illustrating a configuration for the operation of the probe frame shown in FIG. 3.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트용 프로브 프레임을 통해 검사되는 디바이스의 상태도.5A and 5B are state diagrams of devices inspected through probe frames for array testing according to embodiments of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

30 : 테두리 프레임 32, 46 : 프로브 핀30: frame 32, 46: probe pin

40 : 모델 체크부 42 : 제어부40: model checker 42: control unit

44 : 구동부 44: drive unit

본 발명은 어레이 테스트용 프로브 프레임에 관한 것으로, 특히 4면취 또는 6면취용 기판에 형성된 어레이를 테스트할 때 프레임의 변경 없이 테스트를 수행할 수 있는 어레이 테스트용 프로브 프레임에 관한 것이다.The present invention relates to an array test probe frame, and more particularly, to an array test probe frame capable of performing a test without changing the frame when testing an array formed on a four or six chamfered substrate.

일반적으로 액정표시장치의 제조과정에서 셀 어셈블리 공정 전에 TFT 어레이 기판의 불량을 테스트하는 것을 어레이 테스트라 하며, 이는 기판의 불량 여부를 조기 스크린하여 수율을 향상시키는데에 그 목적이 있다.In general, the test of the defect of the TFT array substrate before the cell assembly process in the manufacturing process of the liquid crystal display device is called an array test, which aims to improve the yield by screening the defect early.

도 1은 종래의 어레이 테스트 시스템을 나타내는 도면이다. 1 is a diagram illustrating a conventional array test system.

도 1을 참조하여 어레이 테스트 시스템의 동작을 설명하면 다음과 같다. The operation of the array test system will be described with reference to FIG. 1.

액정표시장치 패널(10)에 형성된 화소로부터 전기적 신호가 검출되면 모듈레이터(12)는 상기 전기적 신호를 광학 신호로 변환시켜 CCD 카메라(16)로 출력한다. 이에 상기 CCD 카메라(16)는 입력되는 광학 신호를 디지털 신호로 변환시켜 화상 처리기(18)로 출력하고, 호스트 컴퓨터(19)는 화상 처리기의 출력신호를 가지고 액정 화소의 전압 이미지(voltage image) 값을 처리하여 각 화소의 불량 상태를 테스트하는데, 이 때 결함 화소는 미리 정의된 문턱 전압값과 화소 전압과의 비교에 의해 결정된다.When an electrical signal is detected from a pixel formed in the liquid crystal display panel 10, the modulator 12 converts the electrical signal into an optical signal and outputs the optical signal to the CCD camera 16. Accordingly, the CCD camera 16 converts an input optical signal into a digital signal and outputs it to the image processor 18, and the host computer 19 has an output signal of the image processor and a voltage image value of the liquid crystal pixel. The defective state of each pixel is tested by processing the defect pixel, wherein the defective pixel is determined by comparison between a predefined threshold voltage value and the pixel voltage.

이와 같은 어레이 테스트 시스템은 패널의 정확한 불량 위치와 불량 수준 그리고, 각 개별 화소에서부터 수직, 수평 라인 불량 등의 유형을 파악할 수 있는 장점이 있다. Such an array test system has the advantage of being able to identify the exact position and defect level of the panel and the types of vertical and horizontal line defects from each individual pixel.

즉, 이는 TFT 어레이 기판에 형성된 화소전극의 전기장 신호 상태를 모듈레이터로 체크하여 그 전기장 신호를 광학 신호로 변환하는 장치를 통과 시키고, 화상처리기를 통하여 TFT 어레이 기판의 화소 불량 상태를 검사하는 것이다. That is, this is to check the state of the electric field signal of the pixel electrode formed on the TFT array substrate with a modulator and pass the device for converting the electric field signal into an optical signal, and inspect the pixel defective state of the TFT array substrate through the image processor.

이 때, 패널에 형성된 각 화소가 전기적 신호를 띄게 하기 위해서는 기판 위 의 게이트 라인 및 데이터 라인의 쇼팅바에 신호를 인가해주는 일이 필요한데, 이러한 목적으로 사용되는 장치가 프로브 프레임(probe frame)이다.In this case, in order for each pixel formed in the panel to display an electrical signal, it is necessary to apply a signal to a shorting bar of a gate line and a data line on a substrate, and a device used for this purpose is a probe frame.

즉, 정전기에 제품의 파손을 방지하기 위해 설치된 쇼팅바에 프로브 프레임의 프로브 핀을 접촉시키고, 신호를 인가하여 ITO 전극에서 출력하는 신호를 검사하여 불량을 판정한다. That is, the probe pin of the probe frame is brought into contact with a shorting bar installed to prevent damage of the product to static electricity, and a signal is applied to inspect a signal output from the ITO electrode to determine a failure.

따라서, 상기와 같은 어레이 테스트를 위해서는 프로브 프레임이 TFT가 구비된 기판 위에 얹히는 구조가 되어야 한다.Therefore, in order to perform the array test as described above, the probe frame should have a structure that is mounted on a substrate having a TFT.

도 2는 종래의 프로브 프레임의 구조를 나태는 도면으로, 이는 6셀 글라스 모델을 테스트 하기 위한 프로브 프레임이다.2 is a view showing the structure of a conventional probe frame, which is a probe frame for testing a 6-cell glass model.

도 2를 참조하면, 이는 사각 형태의 프레임이 테두리를 이루고, 내부에 동일한 크기의 6개의 사각 셀을 가지기 위해 가로 방향의 프레임(20)이 하나, 세로 방향의 프레임(22, 24)이 2개가 테두리에 접촉되어 있으며, 가로 방향의 3개의 프레임이 각 프레임에 일정 간격으로 3개의 프로브 핀(26)이 형성되어 있는 구조이다.Referring to FIG. 2, this means that a frame having a rectangular shape forms a border, and one frame 20 in the horizontal direction and two frames 22 and 24 in the vertical direction have two rectangular cells having the same size therein. The three probe pins 26 are formed in contact with the edge and three frames in the horizontal direction are formed at predetermined intervals in each frame.

이에 상기 글라스에 제작된 6개의 셀에 대한 어레이 테스트는 우선 프로브 프레임의 프로브 핀이 각각의 셀에 위치하도록 글라스 위에 얹는다.Therefore, the array test for the six cells fabricated in the glass is first placed on the glass so that the probe pin of the probe frame is located in each cell.

그 다음, 모듈레이터를 상기 6개의 셀 중 해당 셀에 위치하도록 하여 글라스에 밀착시켜 상기 프로브 핀이 각 셀의 쇼팅바에 접촉되도록 한 후 해당 셀에 대한 테스트를 수행하는 것이다.Next, the modulator is positioned in the corresponding cell of the six cells to closely adhere to the glass so that the probe pin contacts the shorting bar of each cell, and then the test is performed on the corresponding cell.

그러나, 종래의 경우 상기 프로브 프레임은 일체형으로 되어 있어 검사할 디바이스가 4면취 모델(4셀 글라스) 및 6면취 모델(6셀 글라스)마다 전용의 프로브 프레임만을 사용해야 하므로, 모델이 상이한 2개 이상의 디바이스를 연속해서 검사할 경우 프로브 프레임을 바꿔주는 과정에서 많은 시간과 절차가 소비되며, 교체 중 프로브 핀 손상 등에 의한 문제가 발생하여 장비 가동률 및 능률이 저하되는 단점이 있다.However, in the related art, since the probe frame is integrated, the device to be inspected has to use only a dedicated probe frame for each of the four chamfered models (four cell glass) and the six chamfered models (six cell glass). In the case of continuously inspecting the probe frame, a lot of time and procedures are consumed in the process of changing the probe frame, and a problem occurs due to damage to the probe pin during the replacement.

본 발명은 어레이 테스트를 받는 해당 디바이스의 모델에 따라 프로브 핀의 위치가 변경되도록 구성됨으로써, 모델이 상이한 2개 이상의 디바이스를 연속해서 검사할 경우에도 프로브 프레임을 교체하지 않아 생산시간이 단축되고, 장비 가동률 및 능률을 향상시킬 수 있는 어레이 테스트용 프로브 프레임을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention is configured to change the position of the probe pin in accordance with the model of the device under test array, thereby reducing the production time by replacing the probe frame even when two or more devices of different models are continuously tested, equipment The object is to provide a probe frame for array testing that can improve the utilization and efficiency.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 실시예에 의한 어레이 테스트용 프로브 프레임은, 액정표시장치의 어레이 테스트를 위한 프로브 프레임에 있어서, 외측에 사각 형태로 형성되는 테두리 프레임과; 상기 테두리 프레임의 좌, 우측 프레임 하단부에 검사 대상 디바이스의 모델에 따라 그 위치가 이동되는 다수의 프로부 핀이 구비됨을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an array test probe frame according to an embodiment of the present invention includes a probe frame for array test of a liquid crystal display device, the frame comprising: a frame formed in a rectangular shape on the outside; The lower part of the left and right frame of the frame is characterized in that a plurality of pro-bu pins are moved in position depending on the model of the device to be inspected.

여기서, 상기 검사 대상 디바이스는 기판 상에 4개의 셀이 형성된 4면취 모델 또는 6개의 셀이 형성된 6면취 모델이고, 상기 각 셀의 패드 외곽부에 쇼팅바가 구비되며, 프로부 핀이 각 셀의 상기 쇼팅바에 접속하여 각 셀의 불량 여부를 테스트함을 특징으로 한다. Here, the device to be inspected is a four chamfered model having four cells formed on a substrate or a six chamfered model having six cells formed thereon, and a shorting bar is provided at an outer periphery of the pad of each cell, and a probu pin is disposed at each of the cells. It is characterized by testing whether each cell is defective by connecting to the shorting bar.

또한, 상기 검사대상 디바이스의 모델을 체크하는 모델 체크부와; 상기 모델 체크부에 의해 체크된 디바이스 모델의 검사를 위해 프로브 프레임에 구비된 프로브 핀의 위치 이동을 제어하는 제어부와; 상기 제어부에 의해 프로브 핀의 위치를 이동시키는 구동부가 포함되어 구성됨을 특징으로 한다.In addition, the model check unit for checking the model of the inspection target device; A control unit for controlling the movement of the position of the probe pin included in the probe frame to inspect the device model checked by the model check unit; Characterized in that it comprises a drive unit for moving the position of the probe pin by the control unit.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 실시예에 의한 프로브 프레임의 구조를 나태는 도면이다.3 is a view showing the structure of a probe frame according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 프로브 프레임은, 외측에 사각 형태의 테두리 프레임(30)이 형성되어 있고, 상기 테두리 프레임(30)의 좌, 우측 프레임 하단부에 검사되는 디바이스의 모델에 따라 그 위치가 이동되는 다수의 프로부 핀(32)이 형성되어 있다.Referring to FIG. 3, in the probe frame according to an exemplary embodiment of the present invention, a rectangular frame 30 is formed at an outer side of the probe frame, and the model of the device is inspected at the lower left and right sides of the frame 30. As a result, a plurality of probu pins 32 whose positions are moved are formed.

여기서, 상기 테두리 프레임(30)은 검사 대상 디바이스 즉, 다수의 셀이 형성된 글라스 위의 게이트 라인 및 데이터 라인의 쇼팅바에 인가될 다수의 신호원을 공급하는 역할을 수행하고, 상기 테두리 프레임(30)으로부터 공급되는 다수의 신호원은 상기 프로브 핀(32)을 통해 각 셀의 쇼팅바에 인가된다.Here, the frame 30 serves to supply a plurality of signal sources to be applied to the inspection target device, that is, a shorting bar of the gate line and the data line on the glass on which the plurality of cells are formed, and the frame 30 is provided. Multiple signal sources supplied from are applied to the shorting bars of each cell via the probe pins 32.

본 발명은 상기 프로브 핀(32)이 상기 테두리 프레임(30)에 고정되어 설치되지 아니하고, 검사 대상이 되는 디바이스의 모델에 따라 그 위치가 변경되도록 구성됨을 그 특징으로 한다.The present invention is characterized in that the probe pin 32 is not fixed to the edge frame 30 and is installed so that its position is changed according to the model of the device to be inspected.

즉, 어레이 테스트를 받는 해당 디바이스의 모델에 따라 프로브 핀의 위치가 변경되도록 구성됨으로써, 모델이 상이한 2개 이상의 디바이스를 연속해서 검사할 경우에도 프로브 프레임을 교체하지 않아 생산시간이 단축되고, 장비 가동률 및 능률을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.That is, the position of the probe pin is changed according to the model of the device under array test, so that even if two or more devices having different models are continuously inspected, the production time is reduced by replacing the probe frame, and the equipment utilization rate is reduced. And it will be able to improve the efficiency.

일 예로 상기 검사 대상 디바이스로는 4면취 모델(4셀 글라스) 또는 6면취 모델(6셀 글라스)을 들 수 있는데, 종래의 경우 프로브 프레임이 일체형으로 되어 있어 검사할 디바이스 마다 전용의 프로브 프레임만을 사용해야 했으나, 도 3을 통해 설명한 본 발명의 실시예에 의한 프로브 프레임은 프로부 핀의 위치가 검사 대상의 디바이스에 따라 그 위치가 변하기 때문에 프로브 프레임의 교체 없이 다수의 디바이스 모델에 대한 검사를 수행할 수 있다. For example, the device to be inspected may include a four chamfered model (four cell glass) or a six chamfered model (6 cell glass). In the conventional case, since the probe frame is integrated, only a dedicated probe frame should be used for each device to be inspected. However, in the probe frame according to the embodiment of the present invention described with reference to FIG. 3, since the position of the probu pin varies according to the device to be inspected, the probe frame may be inspected for a plurality of device models without replacing the probe frame. have.

도 4는 도 3에 도시된 프로브 프레임의 동작을 위한 구성을 나타내는 블록도이다.4 is a block diagram illustrating a configuration for the operation of the probe frame illustrated in FIG. 3.

도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 의한 프로브 프레임은, 검사대상이 되는 디바이스의 모델을 체크하는 모델 체크부(40)와, 상기 모델 체크부(40)에 의해 체크된 디바이스 모델의 검사를 위해 프로브 프레임에 구비된 프로브 핀(46)의 위치 이동을 제어하는 제어부(42)와, 상기 제어부(42)에 의해 프로브 핀(46)의 위치를 이동시키는 구동부(44)가 포함되어 구성된다. Referring to FIG. 4, a probe frame according to an embodiment of the present invention includes a model check unit 40 for checking a model of a device to be inspected and a device model checked by the model check unit 40. The control unit 42 for controlling the movement of the position of the probe pin 46 provided in the probe frame for the purpose, and the drive unit 44 for moving the position of the probe pin 46 by the control unit 42 is configured to include .

이 때, 상기 모델 체크부(40) 및 제어부(42)는 상기 프로브 프레임이 구비되는 어레이 테스트 시스템 내에 구비됨이 바람직하며, 상기 구동부(44)는 프로브 프레임에 구비된 프로브 핀(46)의 이동을 직접 수행토록 하는 것이므로, 프로브 프레임 내에 구비된다. In this case, the model checker 40 and the controller 42 are preferably provided in an array test system in which the probe frame is provided, and the driver 44 moves the probe pin 46 provided in the probe frame. Since it is to be performed directly, it is provided in the probe frame.

도 5a 및 도 5b는 본 발명의 실시예에 따른 어레이 테스트용 프로브 프레임 을 통해 검사되는 디바이스의 상태도이다.5A and 5B are state diagrams of a device inspected through an array test probe frame according to an embodiment of the present invention.

여기서, 도 5a는 4면취 모델(4셀 글라스)(50)을 도시하고 있으며, 도 5b는 6면취 모델(6셀 글라스)(52)을 도시하고 있다.Here, FIG. 5A shows a four chamfering model (four cell glass) 50, and FIG. 5B shows a six chamfering model (6 cell glass) 52.

도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 어레이 테스트용 프로브 프레임을 이용하여 검사되어지는 디바이스는, 글라스 위에 4셀 또는 6셀이 형성되어 있으며, 각 셀의 패드부 외측에는 쇼팅바(51, 53)가 형성되어 있다.As shown in FIGS. 5A and 5B, in the device to be inspected using the array test probe frame, four or six cells are formed on the glass, and shorting bars 51 and 53 are formed outside the pad part of each cell. ) Is formed.

상기 쇼팅바는 정전기에 제품의 파손을 방지하기 위해 설치되는 것인데, 어레이 테스트용 프로브 프레임의 각 프로브 핀이 상기 각 셀에 형성된 쇼팅바에 접촉됨으로써, 각 셀의 불량 여부를 검사하게 되는 것이다. The shorting bar is installed to prevent damage to the product due to static electricity. Each probe pin of the array test probe frame contacts the shorting bar formed in each cell, thereby inspecting whether each cell is defective.

도 3 내지 도 5를 통해 본 발명의 실시예를 통한 어레이 테스트 과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to the array test process according to an embodiment of the present invention through 3 to 5 as follows.

검사 대상 디바이스가 어레이 테스트 시스템에 유입되면, 도 4에서 설명한 상기 모델 체크부(40)를 통해 유입되는 디바이스가 4면취 모델(4셀 글라스) 인지 6면취 모델(6셀 글라스)인지 검사하게 된다.When the device to be inspected is introduced into the array test system, the device introduced through the model checker 40 described in FIG. 4 is checked whether the device is a 4-chamfered model (4-cell glass) or a 6-chamfered model (6-cell glass).

단, 상기 체크되는 모델의 종류가 상기 4면취 모델(4셀 글라스) 또는 6면취 모델(6셀 글라스)에 한정되는 것은 아니다.However, the type of the checked model is not limited to the four chamfered model (four cell glass) or six chamfered model (six cell glass).

이에 디바이스의 모델이 체크되면, 제어부(42)는 프로브 프레임에 구비된 프로브 핀(46)의 위치를 상기 유입되는 디바이스의 모델에 적합하게 위치하도록 하는 신호를 보내고, 상기 신호는 구동부(44)에서 수신하여 최종적으로 프로브 프레임의 프로브 핀(46)을 적절한 위치로 이동시키게 된다. When the model of the device is checked, the control unit 42 sends a signal to position the position of the probe pin 46 provided in the probe frame appropriately for the model of the incoming device, and the signal is transmitted from the driving unit 44. And finally moves the probe pin 46 of the probe frame to an appropriate position.

이와 같이 유입되는 검사 대상 디바이스에 대한 프로브 프레임이 준비되면, 프로브 프레임의 프로브 핀이 상기 디바이스에 구비된 각각의 셀에 위치하도록 글라스 위에 얹는다. When the probe frame for the device to be inspected introduced as described above is prepared, the probe pin of the probe frame is placed on the glass so as to be located in each cell of the device.

그 다음, 모듈레이터를 상기 다수의 셀 중 해당 셀에 위치하도록 하여 글라스에 밀착시켜 상기 프로브 핀이 각 셀의 쇼팅바에 접촉되도록 한 후 해당 셀에 대한 테스트를 수행하는 것이다.Next, the modulator is positioned in the corresponding cell of the plurality of cells so as to be in close contact with the glass so that the probe pin is in contact with the shorting bar of each cell, and then a test is performed on the corresponding cell.

이와 같은 본 발명에 의하면, 어레이 테스트를 받는 해당 디바이스의 모델에 따라 프로브 핀의 위치가 변경되도록 구성됨으로써, 모델이 상이한 2개 이상의 디바이스를 연속해서 검사할 경우에도 프로브 프레임을 교체하지 않아 생산시간이 단축되고, 장비 가동률 및 능률을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다.
According to the present invention, the position of the probe pin is changed according to the model of the device that is subjected to the array test, so even when two or more devices having different models are continuously inspected, the production time is not replaced by replacing the probe frame. It has the advantage of being shortened and improving the equipment utilization rate and efficiency.

Claims

In the probe frame for the array test of the liquid crystal display,

A border frame formed in a rectangular shape on the outside;

Probe pins for array test, characterized in that the left and right frame lower end of the frame is provided with a plurality of probu pins whose position is moved according to the model of the device to be inspected.

The method of claim 1,

The device to be inspected is a probe frame for an array test, characterized in that the four chamfered model formed with four cells on the substrate or six chamfered model formed with six cells.

The method of claim 2,

Shorting bar is provided on the outer periphery of the pad of each cell, the probe pin is connected to the shorting bar of each cell to test whether each cell is defective probe frame.

The method of claim 1,

A model checker which checks a model of the inspection target device;

A control unit for controlling the movement of the position of the probe pin included in the probe frame to inspect the device model checked by the model check unit;

Probe frame for array test, characterized in that further comprising a drive unit for moving the position of the probe pin by the control unit.