KR20060068686A - 평판표시소자의 제조장치 - Google Patents

평판표시소자의 제조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 수율을 향상시킬 수 있는 평판표시소자의 제조장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판을 적재하기 위한 다수의 로딩부를 가지는 카세트 장치를 포함하는 평판표시소자의 제조장치에 있어서, 상기 기판의 모서리와 대응되게 상기 로딩부에서 돌출되어 상기 기판을 지지하기 위한 메인 서포트핀과; 상기 기판의 중심과 대응되게 상기 로딩부에서 돌출되어 상기 기판의 처짐을 방지하며 상기 로딩부의 접촉면에서 회동가능한 보조서포터를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

평판표시소자의 제조장치{APPARATUS FOR FABRICATING FLAT PANEL DISPLAY DEVICE}
도 1은 종래의 카세트 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 로딩부를 구체적으로 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선을 절취하여 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 카세트의 로딩부를 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 5는 도 4의 보조서포터를 구체적으로 나타내는 도면이다.
도 6은 도 4의 보조서포터의 다른 형태를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 4의 보조서포터의 또 다른 형태를 나타내는 도면이다.
도 8는 도 4에 도시된 평판표시소자의 제조장치를 이용하여 형성된 유기 전계발광표시소자를 나타내는 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
50 : 카세트 54,154 : 로딩부
52 : 바디부 48,148 : 기판고정부
44,144 : 메인 서포터핀 190 : 보조 서포터
2,102 : 기판
본 발명은 평판표시소자에 관한 것으로, 특히, 수율을 향상시킬 수 있는 평판표시소자의 제조장치에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판표시장치들이 개발되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 전계발광소자(Electro Luminescence Display Device : 이하 "EL 표시소자"라 함) 등이 있다. 특히 EL표시소자는 기본적으로 정공수송층, 발광층, 전자수송층으로 이루어진 유기 발광층의 양면에 전극을 붙인 형태의 것으로서, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판표시장치로서 주목받고 있다.
이러한 EL표시소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL표시소자와 유기 EL표시소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL표시소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL표시소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL표시소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL표시소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다.
이러한, 평판표시소자는 예를 들어, 유기 EL표시소자는 대형 기판 상에 다수개 형성된 후 스크라이빙 공정에 의해 절단됨으로써 형성된다. 여기서, 다수의 표시소자는 스퍼터링, PECVD 등의 공정등이 다수번 실시됨으로써 기판 상에 형성되고 각 공정이 실시될 때 마다 별도의 공정챔버 또는 스퍼터링 장치 등으로 이송된다. 즉, 이러한, 다수의 표시소자 또는 다수의 박막 등의 어레이(이하 "어레이 등" 이라 한다.)가 형성된 기판은 도 1에 도시된 카세트에 적재되어 이동되거나 보관된다.
도 1에 도시된 각각의 카세트(50)에는 예를 들어, 25개 기판이 로딩될 수 있는 다수의 로딩부(54)와 로딩부(54)를 지지하는 바디부(52)를 구비한다.
도 2는 도 1에 도시된 로딩부(54)를 구체적으로 나타내는 평면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ'선을 절취하여 도시한 도면이다.
도 2 및 도 3에 도시된 카세트(50)의 로딩부(54)는 기판(2)의 모서리에 대응되게 로딩부(54)에서 돌출됨과 아울러 기판(2)과 직접 접촉되어 기판(2)을 지지하는 메인 서포트핀(44)과, 기판(2)의 중앙에 대응되게 로딩부(54)의 중앙에서 돌출되어 기판(2)의 처짐을 방지하는 보조 서포트핀(46)을 구비한다. 기판(50)은 메인 서포트핀(44) 및 보조 서포트핀(46)에 의해 로딩부(42)에 안착되게 된다. 카세트 (50)의 바디부(52)의 반대방향에 위치하는 메인 서포트핀(44)의 바깥영역에는 메인 서포트핀(44)보다 높은 높이를 가지는 기판고정핀(48)이 구비된다. 기판고정핀(48)은 기판(2)이 메인 서포트핀(44) 및 보조 서포트핀(46)에 의해 안착된 경우 기판(2)의 측면을 지지함으로써 카세트(50)의 로딩부(54)로부터 기판(2)이 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다. 여기서, 메인 서포트핀(44), 보조 서포트핀(46) 및 기판고정핀(48) 등은 우뢰탄 재질로 형성된다.
한편, 메인 서포트핀(44)은 로딩부(54)의 외곽에 위치함으로써 기판(2)의 어레이 등(62)과는 접촉되지 않게 된다. 그러한, 보조 서포트핀(46)은 로딩부(54)의 중앙에 위치하게 됨으로서 기판(2) 상의 어레이 등(62)과 접촉하게 된다. 이때, 카세트(50)가 이동하거나 카세트(50)에 물리적인 충격이 가해지는 경우 보조 서포트핀(46)과 접촉된 기판(2) 상의 어레이 등(62)이 손상되게 된다. 즉, 보조 서포트핀(46)은 로딩부(54)에 고정되게 형성됨으로써 카세트(50)에 충격 등이 가해지면 보조 서포트핀(46)과 기판(2) 상의 어레이 등(62)와 심한 마찰이 일어나게 된다. 이에 따라, 보조 서포트핀(46)과 접촉된 어레이 등(62)은 불량처리됨으로써 수율이 저하되는 문제가 발생된다.
따라서, 본 발명의 목적은 수율을 향상시킬 수 있는 평판표시소자의 제조장치에 관한 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 기판을 적재하기 위한 다수의 로딩부를 가지는 카세트 장치를 포함하는 평판표시소자의 제조장치에 있어서, 상기 기판의 모서리와 대응되게 상기 로딩부에서 돌출되어 상기 기판을 지지하기 위한 메인 서포트핀과; 상기 기판의 중심과 대응되게 상기 로딩부에서 돌출되어 상기 기판의 처짐을 방지하며 상기 로딩부의 접촉면에서 회동가능한 보조서포터를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 보조서포터는 볼(ball) 및 롤러 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.
상기 보조서포터는 우레탄물질을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 보조서포터는 상기 로딩부와 회동가능하게 접촉된 다수의 베어링과; 상기 다수의 베어링을 소정위치에 고정시키며 상기 기판과 접촉되는 베어링 홀더를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 4 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 평판표시소자의 제조장치 즉, 카세트의 로딩부를 구체적으로 나타내는 도면이다.
카세트의 로딩부(154)는 기판(102)의 모서리에 대응되게 로딩부(154)에서 돌출되는 메인 서포트핀(144)과, 카세트(150)의 바디부(152)의 반대방향에 위치하는 메인 서포트핀(144)의 바깥영역에는 메인 서포트핀(144)보다 높은 높이를 가지는 기판고정핀(148)과, 기판(102)의 중앙에 대응되게 로딩부(54)의 중앙 위치하며 로딩부의 접촉면에서 회동가능한 보조서포터(180)를 구비한다.
메인 서포트핀(144)은 기판(102)의 비유효영역과 직접 접촉됨으로써 기판(102)을 지지하는 역할을 한다.
기판고정핀(148)은 기판(102)이 메인 서포트핀(144) 및 보조 서포트핀(146)에 의해 안착된 경우 기판(102)의 측면을 지지함으로써 카세트의 로딩부(154)로부터 기판(102)이 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다.
보조서포터(180)는 기판(102)의 중앙에 대응되게 위치하여 기판(102)의 처짐을 방지함과 아울러 로딩부(154)와의 접촉면에서 회동가능하게 형성됨으로써 카세트가 이동하거나 카세트(50)에 물리적인 충격이 가해지더라도 보조서포터(180)와 접촉된 기판(102) 상의 어레이 등(162)이 손상되지 않게 된다.
이를 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
보조서포터(180)는 로딩부(154)의 중앙에 위치하게 됨으로써 기판(102) 상의 어레이 등(162)과 접촉하게 된다. 이때, 카세트에 충격 등이 가해지게 되는 경우 보조서포터(180)가 로딩부(154)의 표면에서 회동하게 됨으로써 보조서포터(180)와 기판(102) 상의 어레이 등(162)간에 마찰이 일어나지 않게 된다. 이에 따라, 보조서포터(180)와 접촉된 어레이 등(162)이 불량처리 되지 않게 됨으로써 수율이 향상된다.
이러한, 보조서포터(180)는 도 5에 도시된 바와 같이 볼(190)형태로 형성되 거나, 도 6에 도시된 바와 같이 롤러(200)형태로 형성될 수 있다. 여기서, 볼(190)형태 이든 롤러(200)형태인든 모두 우레탄물질을 포함하게 됨으로써 소정의 탄성력도 갖게 된다.
또한, 도 7에 도시된 바와 같이 보조서포터(180)는 로딩부(154)와 회동가능하게 접촉된 다수의 베어링(212), 다수의 베어링(212)을 소정위치에 고정시킴과 아울러 기판(102)과 접촉되는 베어링 홀더(214)를 구비할 수 도 있다. 이에 따라, 베이링(212)은 베어링 홀더(214)에 의해 소정위치 내에서 회동되고 베이링 홀더(214)는 기판(102)과 베어링(212) 사이에서 베이링(212)을 소정위치에 고정시키며 기판(103)이 처지는 것을 방지할 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 카세트의 로딩부(154)는 기판(102)의 중심과 대응되게 로딩부(154)에서 돌출되며 로딩부(154)의 접촉면에서 회동가능한 보조서포터(180)를 구비한다. 이에 따라, 보조서포터(180)는 기판(102)의 중앙에 대응되게 위치하여 기판(102)의 처짐을 방지함과 아울러 로딩부(154)와의 접촉면에서 회동가능하게 형성됨으로써 카세트가 이동하거나 카세트에 물리적인 충격이 가해지더라도 보조서포터(180)와 접촉된 기판(102) 상의 어레이 등(162)이 손상되지 않게 된다.
도 8은 본 발명의 제조장치를 이용하여 형성된 유기 EL표시소자를 나타내는 도면이다.
도 8에 도시된 유기 EL표시소자는 기판(102) 상에 제1 전극(또는 애노드전극)(104)과 제2 전극(또는 캐소드전극)(112)이 서로 교차하는 방향으로 형성된다.
애노드전극(104)은 기판(102) 상에 소정간격으로 이격되어 다수개 형성된다. 이러한 애노드전극(104)이 형성된 기판(102) 상에는 EL셀(E) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(106)이 형성된다. 절연막(106) 상에는 그 위에 형성되어질 유기발광층(110) 및 캐소드전극(112)의 분리를 위한 격벽(108)이 위치한다. 격벽(108)은 애노드전극(104)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(108)이 형성된 절연막(106) 상에는 유기화합물로 구성되는 유기발광층(110)과 캐소드전극(112)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기발광층(110)은 절연막 상에 정공 수송층, 발광층 및 전자 수송층이 적층되어 형성된다.
본 발명에 따른 평판표시소자의 제조장치는 유기 전계발광표시소자 뿐만아니라 플라즈마 디스플레이 패널, 액정표시소자 등 어떠한 디스플레이 소자의 형성에도 이용될 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 편판표시소자의 제조장치에 포함되는 카세트의 로딩부는 기판의 중심과 대응되게 로딩부에서 돌출되며 로딩부의 접촉면에서 회동가능한 보조서포터를 구비한다. 이에 따라, 보조서포터는 기판의 중앙에 대응되게 위치하여 기판의 처짐을 방지함과 아울러 로딩부와의 접촉면에서 회동가능하게 형성됨으로써 카세트가 이동하거나 카세트에 물리적인 충격이 가해지더라도 보조서포터와 접촉된 기판 상의 어레이 등이 손상되지 않게 된다. 그 결과, 보조 서포터와 접촉된 어레이 등이 불량처리 되지 않게 됨으로써 수율이 향상된다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (4)

  1. 기판을 적재하기 위한 다수의 로딩부를 가지는 카세트 장치를 포함하는 평판표시소자의 제조장치에 있어서,
    상기 기판의 모서리와 대응되게 상기 로딩부에서 돌출되어 상기 기판을 지지하기 위한 메인 서포트핀과;
    상기 기판의 중심과 대응되게 상기 로딩부에서 돌출되어 상기 기판의 처짐을 방지하며 상기 로딩부의 접촉면에서 회동가능한 보조서포터를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조서포터는 볼(ball) 및 롤러 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 보조서포터는 우레탄물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 보조서포터는 상기 로딩부와 회동가능하게 접촉된 다수의 베어링과;
    상기 다수의 베어링을 소정위치에 고정시키며 상기 기판과 접촉되는 베어링 홀더를 구비하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자의 제조장치.
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