KR20060068267A - Manufacturing method of plasma display panel - Google Patents

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Abstract

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method of manufacturing a plasma display panel.

이러한 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 전면 글라스 상부에 복수의 스캔 전극과 복수의 서스테인 전극이 배열된 전면 패널과 복수의 스캔 전극과 복수의 서스테인 전극이 교차되도록 대향하여 형성된 복수의 어드레스 전극이 배열된 후면 패널을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 전면 패널을 형성하는 과정은 (a) 전면 글라스에 스캔용 투명전극과 서스테인용 투명전극을 형성하는 단계, (b) 전면 글라스를 포함하여 투명전극 상부에 블랙층 및 버스전극용 드라이 필름을 라미네이팅하는 단계, (c) 드라이 필름 상부에 제 1패턴을 갖는 마스크를 놓고 블랙층을 노광하는 단계, (d) 드라이 필름 상부에 제 2패턴을 갖는 마스크를 놓고 버스전극을 노광하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention, a plurality of address electrodes are formed to face a front panel on which a plurality of scan electrodes and a plurality of sustain electrodes are arranged on the front glass, and a plurality of scan electrodes and a plurality of sustain electrodes cross each other. In the method of manufacturing a plasma display panel including the rear panel arranged, the step of forming the front panel includes (a) forming a transparent electrode for scanning and a sustaining transparent electrode on the front glass, and (b) a front glass. Laminating the black layer and the dry film for the bus electrode on the transparent electrode, (c) placing a mask having a first pattern on the dry film and exposing the black layer, (d) a second pattern on the dry film Placing a mask having a and characterized in that it comprises the step of exposing the bus electrode.

따라서, 본 발명은 다층 드라이 필름을 이용하여 버스전극을 형성함으로써 플라즈마 디스플레이 패널의 제조공정을 단순화 할 수 있는 효과가 있다.Therefore, the present invention has the effect of simplifying the manufacturing process of the plasma display panel by forming a bus electrode using a multi-layer dry film.

Description

플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법{Manufacturing Method of Plasma Display Panel}Manufacturing method of plasma display panel {Manufacturing Method of Plasma Display Panel}

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도.1 is a view showing the structure of a typical plasma display panel.

도 2는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널 제조 공정을 순차적으로 나타낸 공정도.2 is a process chart sequentially showing a front panel manufacturing process of a conventional plasma display panel.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 블록도.3 is a block diagram sequentially illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널 제조공정을 순차적으로 나타낸 공정도.4 is a process chart sequentially showing a front panel manufacturing process of a plasma display panel according to the present invention;

도 5는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하기 위한 드라이 필름의 구조를 나타낸 도.5 is a view showing the structure of a dry film for forming a plasma display panel of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

400: 전면 글라스 401: 스캔용 투명전극400: front glass 401: transparent electrode for scanning

402: 서스테인용 투명전극 403: 블랙층402: sustaining transparent electrode 403: black layer

404: 버스전극층 405: 제 1패턴의 포토 마스크404: bus electrode layer 405: photomask of first pattern

406: 제 2패턴의 포토 마스크 407: 격벽의 블랙층406: photomask of second pattern 407: black layer of partition wall

408: 유전체층 409: 보호층408: dielectric layer 409: protective layer

본 발명은 플라즈마 디스플레이 패널에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 전면 패널의 제조방법을 개선한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma display panel, and more particularly, to a method of manufacturing a plasma display panel in which the manufacturing method of a front panel is improved.

일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널은 전면 패널과 후면 패널 사이에 형성된 격벽이 하나의 단위 셀을 이루는 것으로, 각 셀 내에는 네온(Ne), 헬륨(He) 또는 네온과 헬륨의 혼합기체(Ne+He)와 같은 주 방전 기체와 소량의 크세논을 함유하는 불활성 가스가 충진되어 있다. 고주파 전압에 의해 방전이 될 때, 불활성 가스는 진공자외선(Vacuum Ultraviolet Rays)을 발생하고 격벽 사이에 형성된 형광체를 발광시켜 화상이 구현된다. 이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널은 얇고 가벼운 구성이 가능하므로 차세대 표시장치로서 각광받고 있다.In general, a plasma display panel is a partition wall formed between a front panel and a rear panel to form one unit cell, and each cell includes neon (Ne), helium (He), or a mixture of neon and helium (Ne + He). An inert gas containing a main discharge gas such as and a small amount of xenon is filled. When discharged by a high frequency voltage, the inert gas generates vacuum ultraviolet rays and emits phosphors formed between the partition walls to realize an image. Such a plasma display panel has a spotlight as a next generation display device because of its thin and light configuration.

도 1은 일반적인 플라즈마 디스플레이 패널의 구조를 나타낸 도이다.1 illustrates a structure of a general plasma display panel.

도 1에 도시된 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널은 화상이 디스플레이 되는 표시면인 전면 글라스(101)에 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 형성된 복수의 유지전극쌍이 배열된 전면 패널(100) 및 배면을 이루는 후면 글라스(111) 상에 전술한 복수의 유지전극쌍과 교차되도록 복수의 어드레스 전극(113)이 배열된 후면 패널(110)이 일정거리를 사이에 두고 평행하게 결합된다.As shown in FIG. 1, a plasma display panel includes a front panel in which a plurality of sustain electrode pairs formed by pairing a scan electrode 102 and a sustain electrode 103 are arranged on a front glass 101 that is a display surface on which an image is displayed. The rear panel 110 on which the plurality of address electrodes 113 are arranged so as to intersect the plurality of sustain electrode pairs on the back glass 111 forming the back surface 100 and the rear surface is coupled in parallel with a predetermined distance therebetween. .

전면 패널(100)은 하나의 방전셀에서 상호 방전시키고 셀의 발광을 유지하기 위한 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103), 즉 투명한 물질로 형성된 투명전극(a)과 은(Ag)과 같은 금속재질로 제작된 버스전극(b)으로 구비된 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)이 쌍을 이뤄 포함된다. 여기서 버스전극을 이루는 은(Ag)과 같은 금속재질은 방전에 의한 광은 투과하지 못하고, 외부 광에 대해서는 반사를 하는 것으로 알려져 있어 콘트라스트를 나쁘게 하는 문제가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위해 상기 투명전극(a)과 버스전극(b)사이에 콘트라스트를 향상시키기 위한 블랙층(미도시)이 형성된다. 스캔 전극(102) 및 서스테인 전극(103)은 방전 전류를 제한하며 전극 쌍 간을 절연시켜주는 유전체층(104)에 의해 덮혀지고, 상부 유전체층(104) 상면에는 방전 조건을 용이하게 하기 위하여 산화마그네슘(MgO)을 증착한 보호층(105)이 형성된다.The front panel 100 includes a scan electrode 102 and a sustain electrode 103 for mutually discharging and maintaining light emission of the cells in one discharge cell, that is, transparent electrodes a and silver Ag formed of a transparent material. The scan electrode 102 and the sustain electrode 103 provided as a bus electrode b made of a metal material are included in pairs. Here, a metal material such as silver (Ag) constituting the bus electrode is not known to transmit light due to discharge, and reflects external light, thereby causing a problem of poor contrast. In order to solve this problem, a black layer (not shown) is formed between the transparent electrode a and the bus electrode b to improve contrast. The scan electrode 102 and the sustain electrode 103 are covered by a dielectric layer 104 which limits the discharge current and insulates the electrode pairs, and the upper surface of the upper dielectric layer 104 is made of magnesium oxide to facilitate discharge conditions. A protective layer 105 on which MgO) is deposited is formed.

후면 패널(110)은 복수 개의 방전 공간 즉, 방전셀을 형성시키기 위한 스트라이프 타입의 격벽(112)이 평행을 유지하여 배열된다. 또한, 어드레스 방전을 수행하여 진공자외선을 발생시키는 다수의 어드레스 전극(113)이 격벽(112)에 대해 평행하게 배치된다. 후면 패널(110)의 상측면에는 어드레스 방전 시 화상표시를 위한 가시광선을 방출하는 R, G, B 형광체(114)가 도포된다. 어드레스 전극(113)과 형광체(114) 사이에는 어드레스 전극(113)을 보호하기 위한 하부 유전체층(115)이 형성된다.The rear panel 110 is arranged in such a manner that a plurality of discharge spaces, that is, stripe-type partitions 112 for forming discharge cells are maintained in parallel. In addition, a plurality of address electrodes 113 which perform address discharge to generate vacuum ultraviolet rays are arranged in parallel with the partition wall 112. On the upper side of the rear panel 110, R, G, and B phosphors 114 which emit visible light for image display during address discharge are coated. A lower dielectric layer 115 is formed between the address electrode 113 and the phosphor 114 to protect the address electrode 113.

이와 같은 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널 제조 공정을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the manufacturing process of the front panel of the plasma display panel as follows.

도 2는 종래 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널 제조 공정을 순차적으로 나타낸 공정도이다.2 is a process diagram sequentially illustrating a front panel manufacturing process of a conventional plasma display panel.

도 2에 도시된 바와 같이, (a) 단계에서는 전면 패널(200) 상부에 산화인듐과 산화주석으로 이루어진 ITO(Indium Tin Oxide) 물질의 투명전극(201)을 형성한다. As shown in FIG. 2, in step (a), a transparent electrode 201 of indium tin oxide (ITO) material including indium oxide and tin oxide is formed on the front panel 200.

이러한 투명전극(201)의 형성 방법의 일례를 살펴보면, ITO 물질로 형성된 투명 전극막 상부에 드라이 필름 포토 레지스트(Dry Film Photo Resist: 이하 'DFR'이라 함.)를 라미네이팅하여 소정의 패턴이 형성된 포토 마스크(Photo Mask)의 패턴으로 노광한 후, 현상 및 에칭 공정을 거쳐 스캔용 투명전극과 서스테인용 투명전극을 형성한다.Looking at an example of the method of forming the transparent electrode 201, a photo is formed by laminating a dry film photoresist (DFR) on the transparent electrode film formed of ITO material After exposure with a pattern of a photo mask, a transparent electrode for scanning and a transparent electrode for sustain are formed through a development and etching process.

이 후, (b) 단계에서, 스캔용 투명전극과 서스테인용 투명전극이 형성된 전면 글라스(200) 상부에 블랙층(202)을 형성하기 위한 블랙 페이스트를 인쇄한 후 약 120℃정도로 건조하고, (c) 단계에서, 건조된 블랙 페이스트 상부에 소정의 패턴이 형성된 포토 마스크(205)를 올려놓고 자외선을 조사하여 건조한다. 이러한 공정을 노광공정(Photolithography)이라 한다. Thereafter, in step (b), the black paste for forming the black layer 202 is printed on the upper surface of the front glass 200 where the scan transparent electrode and the sustain transparent electrode are formed, and then dried at about 120 ° C., ( In step c), a photo mask 205 having a predetermined pattern is formed on the dried black paste, and irradiated with ultraviolet rays to dry it. This process is called photolithography.

노광공정을 거친 블랙층(202) 상부에 (d) 단계에서, 버스전극(203)을 형성하기 위해 은(Ag) 페이스트를 도포하여 인쇄한 후 건조한다.In the step (d) on the black layer 202 subjected to the exposure process, silver (Ag) paste is applied and printed to form the bus electrode 203, and then dried.

이 후, (e) 단계에서, 소정의 패턴이 형성된 포토 마스크(206)를 도포된 은(Ag) 페이스트 상부에 올려놓고 노광한다. 노광공정을 거친 이 후, (f) 단계에서, 경화되지 않은 부분을 현상한 후 약 550℃ 이상의 소성로(미도시)에서 3시간 여 동안 소성함으로써 스캔용 버스전극과 서스테인용 버스전극이 형성된다.Thereafter, in step (e), the photomask 206 having a predetermined pattern is placed on the coated silver (Ag) paste and exposed. After the exposure process, in step (f), the uncured portion is developed and then fired for about 3 hours in a firing furnace (not shown) of about 550 ° C. or higher to form a scan bus electrode and a sustain bus electrode.

이 후, (g) 단계에서 스캔 전극 및 서스테인 전극이 형성된 전면 글라스 상부에 유전체층(207)을 형성한다. 이러한 유전체층(207)의 형성 방법의 일례를 살펴보면, 유전체 유리 페이스트를 도포하여 건조한 후, 약 500℃ ~ 600℃의 온도로 소성을 행하여 유전체층을 형성한다.Thereafter, in step (g), the dielectric layer 207 is formed on the front glass on which the scan electrode and the sustain electrode are formed. Looking at an example of the method of forming the dielectric layer 207, after coating and drying the dielectric glass paste, the dielectric layer is formed by baking at a temperature of about 500 ℃ to 600 ℃.

마지막으로, (h) 단계에서, 유전체층(207)의 표면상에 CVD법, 이온도금법이나 진공증착법 등을 이용하여 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(208)이 형성되어 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널이 완성된다.Finally, in step (h), a protective layer 208 made of magnesium oxide (MgO) is formed on the surface of the dielectric layer 207 by CVD, ion plating, vacuum deposition, or the like to form a front panel of the plasma display panel. This is done.

한편, 상술한 바와 같이 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널 제조공정은 인쇄, 건조 및 노광공정을 반복함으로써 공정시간이 늘어나는 문제점이 있다. 이에 따라 생산수율을 저하시킴과 동시에 제조비용을 상승시키는 문제점이 있다. On the other hand, as described above, the front panel manufacturing process of the plasma display panel has a problem that the process time is increased by repeating the printing, drying and exposure process. Accordingly, there is a problem of lowering the production yield and increasing the manufacturing cost.

따라서 본 발명은 다층 드라이 필름을 제조하여 제조공정을 단순화하기 위한 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a plasma display panel for manufacturing a multilayer dry film to simplify the manufacturing process.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 전면 글라스 상부에 복수의 스캔 전극과 복수의 서스테인 전극이 배열된 전면 패널과 복수의 스캔 전극과 복수의 서스테인 전극이 교차되도록 대향하여 형성된 복수의 어드레스 전극이 배열된 후면 패널을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서, 전면 패널을 형성하는 과정은 (a) 전면 글라스에 스캔용 투명전극과 서스테인용 투명전극을 형성하는 단계, (b) 전면 글라스를 포함하여 투명전 극 상부에 블랙층 및 버스전극용 드라이 필름을 라미네이팅하는 단계, (c) 드라이 필름 상부에 제 1패턴을 갖는 마스크를 놓고 블랙층을 노광하는 단계, (d) 드라이 필름 상부에 제 2패턴을 갖는 마스크를 놓고 버스전극을 노광하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The method of manufacturing a plasma display panel of the present invention for achieving the above object is to face the front panel and a plurality of scan electrodes and a plurality of sustain electrodes are arranged on the front glass to cross the In the method of manufacturing a plasma display panel including a rear panel having a plurality of address electrodes formed thereon, the process of forming the front panel includes: (a) forming a scan transparent electrode and a sustain transparent electrode on the front glass; Laminating the black layer and the dry film for the bus electrode on the transparent electrode, including the front glass, (c) placing a mask having a first pattern on the dry film, and exposing the black layer, (d) dry And placing a mask having a second pattern on the film and exposing the bus electrode. .

드라이 필름은 블랙층과 버스전극층의 두 층으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.The dry film is characterized by consisting of two layers, a black layer and a bus electrode layer.

블랙층은 감광성 물질, 흑색도를 갖는 파우더 및 첨가제를 포함하고,버스전극층은 감광성 물질, 은(Ag) 파우더 및 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 한다.The black layer includes a photosensitive material, a powder having blackness, and an additive, and the bus electrode layer includes a photosensitive material, silver (Ag) powder, and an additive.

감광성 물질은 네가티브(Negative)형의 유기물로 조성되는 것을 특징으로 한다.The photosensitive material is characterized by being composed of a negative organic material.

흑색도를 갖는 파우더는 비전도성인 것을 특징으로 한다. Powders with blackness are characterized by being nonconductive.

드라이 필름 상부에 제 1패턴을 갖는 마스크를 놓고 블랙층을 노광시 빛의 세기는 10cd/m2이상 1000cd/m2이하이고, 드라이 필름 상부에 제 2패턴을 갖는 마스크를 놓고 버스전극층을 노광시 빛의 세기는 제 1패턴을 갖는 마스크를 놓고 블랙층을 노광시의 빛의 세기보다 큰 것을 특징으로 한다.When the mask having the first pattern is placed on the dry film and the black layer is exposed, the light intensity is 10 cd / m 2 or more and 1000 cd / m 2 or less. When the mask having the second pattern is placed on the dry film, the bus electrode layer is exposed. The light intensity is greater than the light intensity at the time of exposing the black layer with the mask having the first pattern.

이하에서는 첨부된 도면을 참고로 하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법을 순차적으로 나타낸 블록도이다. 3 is a block diagram sequentially illustrating a method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention.

도 3에서 보는 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법은 도 3의 우측에 나열된 전면 패널 제조 과정과, 좌측에 나열된 후면 패널 제조 과정 및 하측에 나열된 실링 과정 등을 포함한 조립 과정을 포함한다.As shown in FIG. 3, the method of manufacturing a plasma display panel according to the present invention includes an assembly process including a front panel manufacturing process listed on the right side of FIG. 3, a rear panel manufacturing process listed on the left side, and a sealing process listed below. do.

먼저, 도 3의 우측에 나열된 전면 패널 제조 과정을 설명하면 다음과 같다. 전면 패널은 먼저 기재가 되는 전면 글라스를 준비한 후(100), 전면 글라스 상부에 복수의 유지전극쌍이 형성된다(110). 이 후, 유지전극쌍 상부에 상부 유전체층이 형성되고(120), 상부 유전체층에 유지전극쌍을 보호하기 위한 MgO로 이루어진 보호층이 형성된다(130).First, the front panel manufacturing process listed on the right side of FIG. 3 will be described. The front panel first prepares a front glass as a substrate (100), and then a plurality of sustain electrode pairs are formed on the front glass (110). Thereafter, an upper dielectric layer is formed on the sustain electrode pair 120, and a protective layer made of MgO is formed on the upper dielectric layer 130 to protect the sustain electrode pair.

이어서, 도 3의 좌측에 나열된 후면 패널 제조 과정을 설명하면 다음과 같다. 후면 패널은 전면 패널과 마찬가지로 먼저 기재가 되는 후면 글라스를 준비하고(200), 전면 패널에 형성된 유지전극쌍과 교차하여 대향되도록 복수의 어드레스전극이 후면 글라스에 형성된다(210). 이 후, 어드레스 전극 상면에 하부 유전체층이 형성되고(220), 하부 유전체층 상면에 형광층이 형성된다(230). Next, the manufacturing process of the rear panel listed on the left side of FIG. 3 will be described. Like the front panel, the rear panel prepares the rear glass, which is the base material (200), and a plurality of address electrodes are formed on the rear glass so as to face each other by crossing the sustain electrode pair formed on the front panel (210). Thereafter, a lower dielectric layer is formed on the upper surface of the address electrode (220), and a fluorescent layer is formed on the upper surface of the lower dielectric layer (230).

이와 같이 제조된 전면 패널과 후면 패널은 서로 실링되어(300) 플라즈마 디스플레이 패널(400)을 형성한다.The front panel and the rear panel manufactured as described above are sealed to each other to form a plasma display panel 400.

한편, 전술한 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법에 있어서, 전면 패널의 제조공정을 좀 더 구체적으로 살펴보면 다음 도 4와 같다.On the other hand, in the above-described method of manufacturing a plasma display panel of the present invention, the manufacturing process of the front panel in more detail as shown in FIG.

도 4는 본 발명에 따른 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널 제조공정을 순차적으로 나타낸 공정도이다.4 is a process diagram sequentially illustrating a front panel manufacturing process of a plasma display panel according to the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, (a) 단계에서는 전면 글라스(400)에 스캔용 투명 전극(401)과 서스테인용 투명전극(402)을 형성한다.As shown in FIG. 4, in step (a), a transparent scan electrode 401 and a sustain transparent electrode 402 are formed on the front glass 400.

이러한 투명전극(401, 402)의 형성 방법의 일례를 살펴보면, 산화 인듐과 산화 주석으로 이루어진 ITO(Indium Tin Oxide) 물질로 형성된 투명전극막 상부에 드라이 필름을 라미네이팅하여 소정의 패턴이 형성된 포토 마스크(Photo Mask)의 패턴으로 노광한 후, 현상 및 에칭 공정을 거쳐 스캔용 투명전극(401)과 서스테인용 투명전극(402)을 형성한다.As an example of the method of forming the transparent electrodes 401 and 402, a photo mask having a predetermined pattern formed by laminating a dry film on the transparent electrode film formed of an indium tin oxide (ITO) material made of indium oxide and tin oxide ( After exposing in a pattern of a photo mask, a transparent transparent electrode 401 for scanning and a transparent transparent electrode 402 for sustaining are formed through a developing and etching process.

이 후, (b) 단계에서 스캔용 투명전극(401)과 서스테인용 투명전극(402)이 형성된 전면 글라스 상부에 블랙층 및 버스전극용 드라이 필름(403, 404)을 라미네이팅한다. 드라이 필름(403, 404)은 후술할 드라이 필름구조에서 알 수 있겠지만 블랙층(403)과 버스전극층(404)이 각각 층을 이뤄 시트로 형성되고, 시트 상부와 하부에는 보호필름(410, 411)이 형성된다. Thereafter, in step (b), the black layers and the bus electrodes dry films 403 and 404 are laminated on the upper surface of the front glass on which the scan transparent electrode 401 and the sustain transparent electrode 402 are formed. The dry films 403 and 404 may be seen in a dry film structure to be described later, but the black layer 403 and the bus electrode layer 404 are each formed of a sheet in layers, and protective films 410 and 411 on the upper and lower portions of the sheet. Is formed.

이 후, (c) 단계에서 드라이 필름(403, 404)이 형성된 전면 글라스(400) 배면 상부에 제 1패턴을 갖는 마스크(405)를 놓고 노광하여 블랙층(403)을 형성한다. 이 때, 노광양 예를 들어, 빛의 세기나 빛의 조사시간은 블랙층이(403)나 버스전극층(404)에 포함되어 있는 감광성 물질의 종류나 양에 다르게 조절될 수 있지만 바람직하게는 빛의 세기를 10cd/m2이상 1000cd/m2이하로 조사하여 블랙층(403)만 노광이 이루어지도록 한다. Thereafter, in step (c), the mask 405 having the first pattern is placed on the rear surface of the front glass 400 on which the dry films 403 and 404 are formed, and then exposed to form a black layer 403. At this time, the amount of exposure, for example, the intensity of light or the irradiation time of the light may be adjusted differently depending on the type or amount of the photosensitive material contained in the black layer 403 or the bus electrode layer 404, but preferably light The intensity of 10 cd / m 2 or more and 1000 cd / m 2 or less is irradiated so that only the black layer 403 is exposed.

이 후, (d) 단계에서 (c)단계에서와 마찬가지로 드라이 필름이 형성된 전면 글라스 배면(400) 상부에 제 2패턴을 갖는 마스크(406)를 놓고 노광한다. 마스크의 제 2패턴(406)은 버스전극의 패턴과 동일한 패턴을 갖는다. 이 때, 노광양은 전술한 제 1패턴을 갖는 마스크(405)를 이용하여 노광할 때 보다 빛의 세기를 크게 하여 노광이 이루어지도록 한다. Thereafter, as in step (d) and step (c), a mask 406 having a second pattern is placed on the front glass rear surface 400 on which the dry film is formed and exposed. The second pattern 406 of the mask has the same pattern as that of the bus electrode. At this time, the exposure amount is increased so that the light intensity is greater than when the exposure using the mask 405 having the first pattern described above to be performed.

이 후, (e) 단계에서 노광 시 경화되지 않은 부분을 현상하여 약 550℃ 이상의 소성로(미도시)에서 3시간 여 동안 소성함으로써 스캔용 버스전극과 서스테인용 버스전극이 형성된다.Subsequently, in step (e), the uncured portion is developed and baked for about 3 hours in a calcination furnace (not shown) at about 550 ° C. or higher to form a scan bus electrode and a sustain bus electrode.

이 후, (f) 단계에서 스캔 전극 및 서스테인 전극이 형성된 전면 글라스(400) 상부에 유전체층(408)을 형성한다. 이러한 유전체층의 형성 방법의 일례를 살펴보면, 유전체 유리 페이스트를 도포하여 건조한 후, 약 500℃ ~ 600℃의 온도로 소성을 행하여 유전체층을 형성한다.Thereafter, in step (f), the dielectric layer 408 is formed on the front glass 400 on which the scan electrode and the sustain electrode are formed. As an example of the method of forming the dielectric layer, the dielectric glass paste is coated and dried, and then fired at a temperature of about 500 ° C to 600 ° C to form a dielectric layer.

마지막으로, (g) 단계에서 유전체층(408)의 표면상에 CVD법, 이온도금법이나 진공증착법 등을 이용하여 산화마그네슘(MgO)으로 이루어지는 보호층(409)이 형성되어 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널이 완성된다.Finally, in step (g), a protective layer 409 made of magnesium oxide (MgO) is formed on the surface of the dielectric layer 408 by using CVD, ion plating, or vacuum deposition, thereby forming a front panel of the plasma display panel. Is completed.

이와 같이 형성된 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널의 형성을 위해 필요한 드라이 필름에 대해 살펴보면 다음 도 5와 같다.Looking at the dry film required for the formation of the front panel of the plasma display panel formed as described above is as shown in FIG.

도 5는 본 발명의 플라즈마 디스플레이 패널을 형성하기 위한 드라이 필름의 구조를 나타낸 도이다.5 is a view showing the structure of a dry film for forming a plasma display panel of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 드라이 필름은 블랙층(403)과 버스전극층(404)의 두층으로 형성되어 있고 상부와 하부에는 드라이 필름을 보호하기 위한 보호필름(410, 411)이 위치하고 있다. As shown in FIG. 5, the dry film according to the present invention is formed of two layers of a black layer 403 and a bus electrode layer 404, and protective films 410 and 411 for protecting the dry film on the upper and lower portions thereof. Is located.

이와 같은 드라이 필름의 블랙층(403)은 감광성 물질과 흑색도를 갖는 파우더 및 첨가제로 이루어져 있다. 이 때 감광성 물질은 네가티브(Negative)형의 유기물로 형성되며, 흑색도를 갖는 파우더는 비전도도의 성질을 가지고 있다. The black layer 403 of the dry film is made of a photosensitive material and a powder and an additive having blackness. In this case, the photosensitive material is formed of a negative organic material, and the black powder has a non-conductive property.

한편, 전술한 드라이 필름의 버스전극층(404)은 감광성 물질과 은(Ag) 파우더 및 첨가제로 이루어져 있으며, 이 때 감광성 물질은 블랙층(403)의 감광성 물질과 같은 네가티브(Negative)형의 유기물로 형성된다.On the other hand, the bus electrode layer 404 of the dry film described above is made of a photosensitive material, silver (Ag) powder and additives, wherein the photosensitive material is a negative organic material such as the photosensitive material of the black layer 403 Is formed.

이와 같은 다층 드라이 필름으로 버스전극을 형성함으로써 전면 패널의 제조 공정이 단순화 할 수 있다.By forming a bus electrode with such a multilayer dry film, the manufacturing process of the front panel can be simplified.

상술한 바와 같이 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.As described above, the technical configuration of the present invention can be understood by those skilled in the art that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features of the present invention.

그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Therefore, the above-described embodiments are to be understood as illustrative and not restrictive in all respects, and the scope of the present invention is indicated by the appended claims rather than the detailed description, and the meaning and scope of the claims and All changes or modifications derived from the equivalent concept should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

이상에서 보는 바와 같이, 본 발명은 다층 드라이 필름을 이용하여 버스전극을 형성함으로써 플라즈마 디스플레이 패널의 제조공정을 단순화 할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention has the effect of simplifying the manufacturing process of the plasma display panel by forming a bus electrode using a multi-layer dry film.

Claims (6)

전면 글라스 상부에 복수의 스캔 전극과 복수의 서스테인 전극이 배열된 전면 패널과 상기 복수의 스캔 전극과 복수의 서스테인 전극이 교차되도록 대향하여 형성된 복수의 어드레스 전극이 배열된 후면 패널을 포함하는 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법에 있어서,A plasma display panel including a front panel on which a plurality of scan electrodes and a plurality of sustain electrodes are arranged on the front glass, and a rear panel on which a plurality of address electrodes are formed to face each other so that the plurality of scan electrodes and the plurality of sustain electrodes cross each other; In the manufacturing method, 상기 전면 패널을 형성하는 과정은Forming the front panel is (a) 상기 전면 글라스에 스캔용 투명전극과 서스테인용 투명전극을 형성하는 단계;(a) forming a scan transparent electrode and a sustain transparent electrode on the front glass; (b) 상기 전면 글라스를 포함하여 투명전극 상부에 블랙층 및 버스전극용 드라이 필름을 라미네이팅하는 단계;(b) laminating a black layer and a dry film for a bus electrode on the transparent electrode, including the front glass; (c) 상기 드라이 필름 상부에 제 1패턴을 갖는 마스크를 놓고 상기 블랙층을 노광하는 단계;(c) exposing the black layer by placing a mask having a first pattern on the dry film; (d) 상기 드라이 필름 상부에 제 2패턴을 갖는 마스크를 놓고 상기 버스전극을 노광하는 단계(d) placing a mask having a second pattern on the dry film and exposing the bus electrode 를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.Method of manufacturing a plasma display panel comprising a. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 드라이 필름은 상기 블랙층과 상기 버스전극층의 두 층으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.The dry film is a plasma display panel manufacturing method, characterized in that consisting of two layers of the black layer and the bus electrode layer. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 블랙층은 감광성 물질, 흑색도를 갖는 파우더 및 첨가제를 포함하고,The black layer includes a photosensitive material, a powder having blackness and an additive, 상기 버스전극층은 감광성 물질, 은(Ag) 파우더 및 첨가제를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.The bus electrode layer may include a photosensitive material, silver (Ag) powder, and an additive. 제 3항에 있어서.The method of claim 3. 상기 감광성 물질은 네가티브(Negative)형의 유기물로 조성되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법.The photosensitive material is a manufacturing method of a plasma display panel, characterized in that the composition of the negative (Negative) organic material. 제 3항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 흑색도를 갖는 파우더는 비전도성인 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법. The method of claim 1, wherein the powder having blackness is non-conductive. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 드라이 필름 상부에 제 1패턴을 갖는 마스크를 놓고 상기 블랙층을 노광시 빛의 세기는 10cd/m2이상 1000cd/m2이하이고,When the mask having the first pattern is placed on the dry film and the black layer is exposed, the light intensity is 10 cd / m 2 or more and 1000 cd / m 2 or less, 상기 드라이 필름 상부에 제 2패턴을 갖는 마스크를 놓고 상기 버스전극층을 노광시 빛의 세기는 상기 제 1패턴을 갖는 마스크를 놓고 상기 블랙층을 노광시의 빛의 세기보다 큰 것을 특징으로 하는 플라즈마 디스플레이 패널.The intensity of light when the mask having the second pattern is placed on the dry film and the bus electrode layer is exposed is greater than the intensity of light when the mask having the first pattern is placed and the black layer is exposed. panel.
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