KR20060065086A - Optical pickup head for magneto-optical recording/regenerating and manufacturing method thereof - Google Patents

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KR20060065086A
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김성혁
최정훈
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하만효
부종욱
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드는 에어베어링표면(Air Bearing Surface : ABS) 및 코일이 안착될 코일 안착부(이하, '코일 안착영역'이라고도 함)가 형성되는 기판; 상기 코일 안착부의 중앙에 구비되는 광경로 확보를 위한 구조물; 상기 코일 안착부에 안착되는 코일; 상기 코일과 연결되는 금속 전극; 및 상기 코일을 보호하기 위해 코일의 상면에 적층되는 절연막을 포함한다. The optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to the present invention comprises: a substrate on which an air bearing surface (ABS) and a coil seating portion (hereinafter referred to as a coil seating region) on which a coil is mounted are formed; A structure for securing an optical path provided at the center of the coil seat; A coil seated on the coil seat; A metal electrode connected to the coil; And an insulating film stacked on an upper surface of the coil to protect the coil.

또한, 본 발명에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 제작 방법은,Further, the optical pickup head manufacturing method for magneto-optical recording / reproducing according to the present invention,

(a)기판을 에칭하여 에어베어링표면을 확보하는 단계; (b)상기 기판에 코일을 안착시키기 위한 영역을 확보하는 단계; (c)상기 영역의 중앙에 광경로 확보를 위한 구조물을 구비하는 단계; (d)상기 영역 위에 금속 코일을 안착시키는 단계; (e)상기 코일과 연결된 금속 전극을 형성시키는 단계 및 (f)상기 코일을 보호하기 위해 상기 코일 위에 절연막을 형성시키는 단계를 포함한다.(a) etching the substrate to secure the air bearing surface; (b) securing an area for seating a coil on the substrate; (c) providing a structure for securing an optical path in the center of the region; (d) mounting a metal coil over the region; (e) forming a metal electrode connected to the coil, and (f) forming an insulating film on the coil to protect the coil.

이상에서와 같이, 본 발명은 초소형 코일을 기판에 매립하는 방식을 이용함으로써 종래의 문제점, 데이터의 기록 및 재생을 위해 픽업 헤드가 에어베어링표면을 타고 부상할 때 코일이 손상되는 문제점을 해결할 수 있다.As described above, the present invention can solve the conventional problem by using a method of embedding a micro coil in a substrate, and a problem that the coil is damaged when the pickup head floats on the air bearing surface for recording and reproducing data. .

광 픽업 헤드, 코일, 에어베어링표면(ABS)Optical pickup head, coil, air bearing surface (ABS)

Description

광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 및 그 제조방법{OPTICAL PICKUP HEAD FOR MAGNETO-OPTICAL RECORDING/REGENERATING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF} Optical pickup head for magneto-optical recording / reproduction and its manufacturing method {OPTICAL PICKUP HEAD FOR MAGNETO-OPTICAL RECORDING / REGENERATING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}             

도 1a는 본 발명의 일실시예에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드의 평면도이다.1A is a plan view of an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to an embodiment of the present invention.

도 1b는 도 1a의 A-A'단면도이다.FIG. 1B is a cross-sectional view along the line AA ′ of FIG. 1A.

도 2a는 도 1a에서 코일 안착부에 금속코일이 안착되는 것을 보여주는 평면도이다.Figure 2a is a plan view showing that the metal coil is seated in the coil seat in Figure 1a.

도 2b는 도 2a의 B-B'단면도이다.FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line B-B 'in FIG. 2A.

도 3은 도 2b에서 코일(코일 안착부 포함)의 상부면에 절연막이 형성된 것을 보여주는 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing an insulating film formed on the upper surface of the coil (including the coil seat) in FIG. 2B.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드의 실제 사진을 나타내는 도면이다.
4 is a view showing an actual picture of an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

1 : 기판 2a, 2b : 에어베어링표면(ABS)1: Substrate 2a, 2b: Air bearing surface (ABS)

3 : 코일 안착부(코일 안착영역) 3: coil seating part (coil seating area)                 

4 : 광경로 확보를 위한 구조물 5 : 코일4 structure for securing optical path 5 coil

6 : 금속전극 7 : 절연막
6 metal electrode 7 insulating film

본 발명은 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 및 그 제조방법에 관한 것으로, 특히 초소형 코일을 기판에 매립하는 방식을 이용하여 데이터의 기록 및 재생을 위해 픽업 헤드가 에어베어링표면(Air Bearing Surface : ABS)을 타고 부상할 때 손상되지 않도록 하기 위한 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 및 그 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing and a method of manufacturing the same. In particular, an air bearing surface (air bearing surface) is used for recording and reproducing data using a method of embedding a micro coil in a substrate. The present invention relates to an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing, and a method of manufacturing the same, to prevent damage when injured in ABS).

자기 기록 매체에 사용되는 근접장 기록 광학 헤드(near field recording optical head)의 경우 근접장 광 특성을 정보저장 장치에 적용하는 데 있어서 요구되는 핵심 기술 분야 중 하나로 여러 형태의 NFR(near field recording) 광학 헤드가 연구되고 있다. 이러한 NFR광학 헤드들은 정보의 기록 방법에 따라서 상변화(phase change) 방식 광학 헤드와 광자기(magneto-optic) 방식의 광학 헤드로 나눌 수 있다. Near field recording optical heads used in magnetic recording media are one of the key technical fields required for applying near field optical characteristics to information storage devices. Is being studied. These NFR optical heads may be divided into a phase change optical head and a magneto-optic optical head according to a method of recording information.

이 중 광 자기 기록 방식은 저장용량을 증대시키기 위해 기록밀도를 일정 이상 향상시키게 되면 자기 기록 매체의 N극과 S극 사이에 존재하는 위치 에너지 장벽의 크기와 상온의 열에너지가 같아 기억된 정보가 지워지는 소위 초상자성 한계 (Super paramagnetic limit)에 의하여 물리적인 저장 용량이 제약을 받았다.In the magneto-optical recording method, if the recording density is increased by a certain amount to increase the storage capacity, the stored information is erased because the magnitude of the potential energy barrier between the north pole and the south pole of the magnetic recording medium is equal to the thermal energy at room temperature. The physical storage capacity is limited by the so-called super paramagnetic limit.

또한, 전통적인 광 자기 기록 방식은 자기 기록 매체로부터 헤드를 부상시키기 위한 슬라이더(slider)와, 헤드를 지지하기 위한 서스펜션(suspension) 구조와, 자기력을 발생시키기 위한 코일 및 구동에 사용되는 자기 구동기 등이 기계 가공에 의해서 조립되므로, 그 크기로 인하여 자기 헤드의 설계에 있어서도 제약이 된다.In addition, the conventional magneto-optical recording method includes a slider for lifting the head from the magnetic recording medium, a suspension structure for supporting the head, a coil for generating a magnetic force, and a magnetic driver used for driving. Since it is assembled by machining, its size also limits the design of the magnetic head.

이러한 전통적인 광자기 기록 매체의 한계를 극복하기 위하여 새로운 광자기 기록 장치의 광부상 헤드(Optical Flying head)가 개발되었으나, 광자기 기록/재생을 위한 여러 가지 부품들을 광자기 헤드에 조립하기 위해서는 헤드의 크기가 커진다는 단점이 발생하였다.In order to overcome the limitations of the conventional magneto-optical recording medium, an optical flying head of a new magneto-optical recording device has been developed, but in order to assemble various parts for magneto-optical recording / reproducing to the magneto-optical head, The disadvantage is that the size increases.

현재 대용량 저장장치에 사용되는 광자기 디스크용 광자기 헤드는 레이저 빔을 집속시키기 위한 광학계를 포함하고, 또한 이 렌즈를 둘러싼 형상의 전자기력을 발생시키는 코일이 조립되어야 하므로, 그 크기에서 수 mm 이상의 매우 큰 형상을 가지므로 초소형의 고밀도 광기록 장치에는 적합하지 않다는 문제점이 있다.Magneto-optical heads for magneto-optical disks currently used in mass storage devices contain optical systems for focusing the laser beam, and coils for generating electromagnetic forces in the shape surrounding the lens must be assembled, so that they are very large in size by more than several mm. Since it has a large shape, there is a problem that it is not suitable for a very small high density optical recording device.

또한, 이러한 광 부상 헤드(Optical Flying head)를 부상시키기 위하여 기판에 에어베어링표면이 탑재된 슬라이더를 제작하여야 하고, 광 경로를 확보해야 하며, 광자기 기록/재생을 위한 코일이 필요하다. 이때 코일이 기판 위에 존재하게 되면, 광 부상 헤드가 슬라이더 표면을 타고 부상할 때 이 코일에 의해 코일이 기판 위에 존재하면, 부상이 어려울 뿐만 아니라, 코일이 손상되어 광 픽업 헤드로의 역할을 할 수 없다.
In addition, in order to float such an optical flying head, a slider having an air bearing surface mounted on a substrate must be manufactured, an optical path must be secured, and a coil for magneto-optical recording / reproducing is required. If the coil is present on the substrate at this time, if the coil is present on the substrate when the optical floating head floats on the slider surface, not only is the injury difficult but also the coil is damaged and can serve as the optical pickup head. none.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 그 목적은 초소형 코일을 기판에 매립하는 방식을 이용하여 데이터의 기록 및 재생을 위해 픽업 헤드가 에어베어링표면을 타고 부상할 때 손상되지 않도록 하기 위한 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 및 그 제조방법을 제공하는 데 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and its object is to prevent damage when the pickup head floats on the air bearing surface for recording and reproducing data using a method of embedding a micro coil in a substrate. There is provided an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing and a method of manufacturing the same.

상기와 같은 목적을 이루기 위해 본 발명에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드는 에어베어링표면(Air Bearing Surface : ABS) 및 코일이 안착될 코일 안착부(이하, '코일 안착영역'이라고도 함)가 형성되는 기판; 상기 코일 안착부의 중앙에 구비되는 광경로 확보를 위한 구조물; 상기 코일 안착부에 안착되는 코일; 상기 코일과 연결되는 금속 전극; 및 상기 코일을 보호하기 위해 코일의 상면에 적층되는 절연막을 포함한다.In order to achieve the above object, the optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to the present invention has an air bearing surface (ABS) and a coil seat to which a coil is seated (hereinafter referred to as a coil seating area). A substrate on which is formed; A structure for securing an optical path provided at the center of the coil seat; A coil seated on the coil seat; A metal electrode connected to the coil; And an insulating film stacked on an upper surface of the coil to protect the coil.

또한, 본 발명에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 제작 방법은,Further, the optical pickup head manufacturing method for magneto-optical recording / reproducing according to the present invention,

(a)기판을 에칭하여 에어베어링표면을 확보하는 단계; (b)상기 기판에 코일을 안착시키기 위한 영역을 확보하는 단계; (c)상기 영역의 중앙에 광경로 확보를 위한 구조물을 구비하는 단계; (d)상기 영역 위에 금속 코일을 안착시키는 단계; (e)상기 코일과 연결된 금속 전극을 형성시키는 단계 및 (f)상기 코일을 보호하기 위해 상기 코일 위에 절연막을 형성시키는 단계를 포함한다.(a) etching the substrate to secure the air bearing surface; (b) securing an area for seating a coil on the substrate; (c) providing a structure for securing an optical path in the center of the region; (d) mounting a metal coil over the region; (e) forming a metal electrode connected to the coil, and (f) forming an insulating film on the coil to protect the coil.

상기 기판은 단결정 기판인 것이 바람직하다. It is preferable that the said board | substrate is a single crystal board | substrate.                     

상기 코일 안착 영역은 이방성 식각을 이용하여 확보하는 것이 바람직하다.The coil seating region is preferably secured using anisotropic etching.

상기 절연막은 고분자물질, 산화막, 유리, 에폭시 중 적어도 하나 이상의 물질로 채워지는 것이 바람직하다.The insulating film is preferably filled with at least one material of a polymer material, an oxide film, glass, epoxy.

상기 코일 안착부(코일 안착영역)의 중심부, 금속 코일의 중심축 및 광경로 축이 일치하는 것이 바람직하다.
It is preferable that the center of the coil seat (coil seating area), the central axis of the metal coil, and the optical path axis coincide.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하고자 한다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1a는 본 발명의 일실시예에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드의 평면도이며, 도 1b는 도 1a의 A-A'단면도이다.FIG. 1A is a plan view of an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA 'of FIG.

도 1a 및 1b를 참조하면, 본 발명에서는 기판(1) 위에 에어베어링표면(2a)(2b)이 형성된다. 또한, 에어베어링표면(2a)(2b)이 형성되지 않는 부분에는 코일을 안착시킬 코일 안착부(코일 안착영역)(3)가 형성된다. 상기 코일 안착부(3)의 중앙에는 원형의 광경로 확보를 위한 구조물(4)이 형성된다.1A and 1B, air bearing surfaces 2a and 2b are formed on the substrate 1 in the present invention. In addition, a coil seating portion (coil seating area) 3 for seating the coil is formed in a portion where the air bearing surfaces 2a and 2b are not formed. A structure 4 for securing a circular optical path is formed in the center of the coil seat 3.

상기 기판(1)은 그 재질이 실리콘, 유리, 석영(Quartz) 등인 단결정 기판인 것이 바람직하다.The substrate 1 is preferably a single crystal substrate whose material is silicon, glass, quartz or the like.

상기 에어베어링표면(2a)(2b)은 슬라이더의 한 면에 광 부상 헤드의 부상을 위하여 미세가공기술을 이용하여 상기 기판(1) 위에 형성된다.The air bearing surfaces 2a and 2b are formed on the substrate 1 by using a micromachining technique for the floating of the optical floating head on one surface of the slider.

상기 에어베어링표면(2a)(2b)은, 바람직하게는 건식 식각(에칭)을 이용한다.The air bearing surfaces 2a and 2b are preferably using dry etching (etching).

상기 코일 안착부(3)는 원형으로 형성되는 것이 바람직하다. The coil seat 3 is preferably formed in a circular shape.                     

상기 코일 안착부(3)는 이방성 식각 방식을 이용하여 형성시키는 것이 바람직하다.The coil seat 3 is preferably formed using an anisotropic etching method.

상기에서 코일 안착부(3)를 형성시킬 때, 상기 코일이 기판(1) 위에 나타나지 않도록 실제 제작되는 코일보다 높게 하여 매립되는 깊이(예:수 ㎛ ~ 수십 ㎛ 깊이)를 정하는 것이 바람직하다. When forming the coil seat 3 in the above, it is preferable to set the depth (e.g., several micrometers to several tens of micrometer depth) to be buried higher than the coil actually manufactured so that the coil does not appear on the substrate (1).

상기와 같은 깊이로 코일 안착부(3)를 형성시키면, 광픽업 헤드가 데이터의 기록/재생을 위하여 부상 시 매끄럽게 에어베어링표면(2a)(2b)을 통하여 슬라이더 위를 부상할 수 있으며, 또한 초소형 코일이 매립형으로 제작됨으로써 안전하게 데이터의 기록 및 재생이 가능하다.By forming the coil seat 3 to such depth, the optical pick-up head can smoothly float on the slider through the air bearing surfaces 2a and 2b when injured for recording / reproducing data, and is also very small. The coils are embedded to enable secure recording and replay of data.

상기 광경로 확보를 위한 구조물(4)은 광축의 동심상에 위치시켜 제작되는데, 이는 광 디스크의 기록 미디어에 정보를 전달하기 위한 것이다.
The structure 4 for securing the optical path is produced by being located concentrically on the optical axis, for transferring information to the recording media of the optical disc.

도 2a는 도 1a에서 코일 안착부에 금속코일이 안착되는 것을 보여주는 평면도이며, 도 2b는 도 2a의 B-B'단면도이다.FIG. 2A is a plan view illustrating the mounting of a metal coil on a coil seating part in FIG. 1A, and FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line BB ′ of FIG. 2A.

도 2를 참조하면, 본 발명에 사용되는 금속코일(5)은 마그네틱 코일인 것이 바람직하며, 단층 또는 복층의 어느 한 형태로 제작될 수 있다.Referring to FIG. 2, the metal coil 5 used in the present invention is preferably a magnetic coil, and may be manufactured in one form of single layer or multiple layers.

상기 금속코일(5)은 전기 도금(Electroplating) 또는 금속 증착 과정을 이용하여 상기 코일 안착영역에 안착된다.The metal coil 5 is seated on the coil seating area by using electroplating or metal deposition.

상기와 같이, 금속 코일(5)이 전기 도금(Electroplating) 또는 금속 증착 과정을 통하여 제작되므로 코일의 형상 및 턴수를 조절하여 원하는 성능을 얻을 수 있다.As described above, since the metal coil 5 is manufactured through an electroplating or metal deposition process, desired performance can be obtained by adjusting the shape and the number of turns of the coil.

또한, 본 발명에서는 상기 금속 코일(5)과 전기적으로 연결되는 금속전극(6)이 더 형성된다.In addition, in the present invention, a metal electrode 6 electrically connected to the metal coil 5 is further formed.

본 발명에서는 상기 코일 안착부(코일 안착영역)(3)의 중심부, 금속 코일(5)의 중심축 및 광경로 축(광경로 확보를 위한 구조물의 중심축)이 일치하는 것이 바람직하다.
In the present invention, it is preferable that the center of the coil seat (coil seating area) 3, the central axis of the metal coil 5 and the optical path axis (the central axis of the structure for securing the optical path) coincide with each other.

도 3은 도 2b에서 코일(코일 안착부 포함)의 상부면에 절연막이 형성된 것을 보여주는 단면도이다.3 is a cross-sectional view showing an insulating film formed on the upper surface of the coil (including the coil seat) in FIG. 2B.

도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 절연막(7)은 고분자물질(Polymer), 산화막(SiO2), 유리, 에폭시(epoxy) 중 적어도 하나 이상의 물질로 채워지는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 3, the insulating film 7 according to the present invention is preferably filled with at least one material of a polymer material, an oxide film SiO 2 , glass, and epoxy.

상기 절연막(7)은 바람직하게는, 상기 코일 또는 코일 안착 영역의 상부면에 형성된다.The insulating film 7 is preferably formed on the upper surface of the coil or the coil seating region.

본 발명에서는 상기와 같이 절연막(7)을 형성시킴으로써 헤드의 부상 시 코일을 보호할 수 있다.
In the present invention, by forming the insulating film 7 as described above it is possible to protect the coil when the head is injured.

도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드의 실제 사진을 주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope : SEM)으로 보여준다. 4 shows a real picture of an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to an embodiment of the present invention with a scanning electron microscope (SEM).                     

도 4를 참조하면, 본 발명에서는 미세가공 기술을 이용하여 유리 기판(1)에 코일제작을 위한 코일 안착영역(3)을 제작하고, 데이터의 기록 재생을 위해 광 경로를 위한 구조물(4)을 형성하였으며, 금속 전극(6)을 이용하여 복층으로 금속 막과 전기 도금을 통하여 초소형 코일을 매립하였다.
Referring to FIG. 4, in the present invention, a coil seating area 3 for fabricating a coil is manufactured on a glass substrate 1 using a micromachining technique, and a structure 4 for an optical path is recorded for recording and reproducing data. It was formed, and the micro-coil was embedded through a metal film and electroplating in multiple layers using the metal electrode (6).

다음으로, 상기 도면을 참조하여 본 발명에 따른 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 제작 방법을 살펴보기로 한다.Next, a method of manufacturing an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to the present invention will be described with reference to the drawings.

먼저, 본 발명에서는 단결정 기판(1)을 에칭(식각)하여 에어베어링표면(2a)(2b)을 확보한다.(S101)First, in the present invention, the single crystal substrate 1 is etched (etched) to secure the air bearing surfaces 2a and 2b. (S101)

그리고 나서, 이방성 식각 방식을 이용하여 수 ㎛ ~ 수십 ㎛ 깊이로 상기 코일을 안착시킬 수 있는 코일 안착부(안착영역)(3)을 확보한다.(S102)Then, an anisotropic etching method is used to secure a coil seating portion (seating area) 3 capable of seating the coil at a depth of several micrometers to several tens of micrometers. (S102)

그런 후, 상기 단계 102에서 확보된 코일 안착부(3)의 중앙에 광경로 확보를 위한 구조물(4)을 구비(확보)한다.(S103) Then, a structure 4 for securing an optical path is provided (secured) in the center of the coil seat 3 secured in step 102. (S103)

상기 단계 102에서 확보된 코일 안착부(3)에 금속코일(5)을 안착시키고(S104), 상기 금속 코일(5)과 연결된 금속 전극(6)을 형성시킨다.(S105)The metal coil 5 is seated on the coil seat 3 secured in step 102 (S104), and a metal electrode 6 connected to the metal coil 5 is formed (S105).

그리고 나서, 상기 코일(5)을 보호하기 위해 절연막(7)을 상기 코일 또는 코일 안착 영역의 상부에 형성시킨다.(S106)
Then, an insulating film 7 is formed on the coil or the coil seating area to protect the coil 5 (S106).

상기와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영 역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
As described above, with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below And can be changed.

이상에서와 같이, 본 발명은 초소형 코일을 기판에 매립하는 방식을 이용함으로써 종래의 문제점, 데이터의 기록 및 재생을 위해 픽업 헤드가 에어베어링표면을 타고 부상할 때 코일이 손상되는 문제점을 해결할 수 있다.As described above, the present invention can solve the conventional problem by using a method of embedding a micro coil in a substrate, and a problem that the coil is damaged when the pickup head floats on the air bearing surface for recording and reproducing data. .

또한, 본 발명은 반도체 일괄 제조 공정에 기반을 둔 미세가공기술(micromachining)을 이용하여 제작을 하므로 제조비용을 낮추고 대량 생산이 가능하다. 특히 소형화가 필요한 초소형 고밀도 광 기록 장치의 픽업 광학계에 응용될 수 있다.In addition, the present invention is manufactured by using a micromachining technology (micromachining) based on the semiconductor batch manufacturing process it is possible to lower the manufacturing cost and mass production. In particular, the present invention can be applied to a pickup optical system of a very small high density optical recording device that requires miniaturization.

Claims (10)

에어베어링표면 및 코일이 안착될 코일 안착부가 형성되는 기판;A substrate on which an air bearing surface and a coil seat on which the coil is mounted are formed; 상기 코일 안착부의 중앙에 구비되는 광경로 확보를 위한 구조물;A structure for securing an optical path provided at the center of the coil seat; 상기 코일 안착부에 안착되는 코일;A coil seated on the coil seat; 상기 코일과 연결되는 금속 전극; 및A metal electrode connected to the coil; And 상기 코일을 보호하기 위해 코일의 상면에 적층되는 절연막을 포함하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드.And an insulating film stacked on an upper surface of the coil to protect the coil. 제 1항에 있어서, 기판은 단결정 기판인 것을 특징으로 하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드.The optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to claim 1, wherein the substrate is a single crystal substrate. 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 코일 안착 영역은 이방성 식각을 이용하여 확보하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드.The optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to claim 1 or 2, wherein the coil seating area is secured by using anisotropic etching. 제 3항에 있어서, 절연막은 고분자물질, 산화막, 유리, 에폭시 중 적어도 하나 이상의 물질로 채워지는 것을 특징으로 하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드.4. The optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to claim 3, wherein the insulating film is filled with at least one of a polymer material, an oxide film, glass, and an epoxy. 제 4항에 있어서, 코일 안착부(코일 안착영역)의 중심부, 금속 코일의 중심축 및 광경로 축이 일치하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤 드.5. The optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to claim 4, wherein the center of the coil seat (coil seating area), the central axis of the metal coil, and the optical path axis coincide. (a)기판을 에칭하여 에어베어링표면을 확보하는 단계;(a) etching the substrate to secure the air bearing surface; (b)상기 기판에 코일을 안착시키기 위한 영역을 확보하는 단계;(b) securing an area for seating a coil on the substrate; (c)상기 영역의 중앙에 광경로 확보를 위한 구조물을 구비하는 단계;(c) providing a structure for securing an optical path in the center of the region; (d)상기 영역 위에 금속 코일을 안착시키는 단계; (d) mounting a metal coil over the region; (e)상기 코일과 연결된 금속 전극을 형성시키는 단계 및(e) forming a metal electrode connected to the coil, and (f)상기 코일을 보호하기 위해 상기 코일 위에 절연막을 형성시키는 단계를 포함하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 제작 방법.and (f) forming an insulating film over said coil to protect said coil. 제 6항에 있어서, 기판은 단결정 기판인 것을 특징으로 하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 제작 방법.7. The method of manufacturing an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to claim 6, wherein the substrate is a single crystal substrate. 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 코일 안착 영역은 이방성 식각을 이용하여 확보하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 제작 방법.8. The method of claim 6 or 7, wherein the coil seating area is secured using anisotropic etching. 제 8항에 있어서, 절연막은 고분자물질, 산화막, 유리, 에폭시 중 적어도 하나 이상의 물질로 채워지는 것을 특징으로 하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 제작 방법.10. The method of claim 8, wherein the insulating film is filled with at least one of a polymer material, an oxide film, glass, and an epoxy. 제 9항에 있어서, 코일 안착부(코일 안착영역)의 중심부, 금속 코일의 중심축 및 광경로 축이 일치하는 것을 특징으로 하는 광자기 기록/재생용 광 픽업 헤드 제작 방법.10. The method of manufacturing an optical pickup head for magneto-optical recording / reproducing according to claim 9, wherein the center of the coil seat (coil seating area), the central axis of the metal coil, and the optical path axis coincide.
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