KR20060062937A - Repair appartus - Google Patents

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Abstract

생산성이 향상된 표시 기판의 리페어 장치가 개시된다. 리페어 장치는 스테이지, 이동 유닛, 검사 유닛 및 리페어 유닛을 포함한다. 스테이지에는 표시영역에 영상을 표시하기 위한 화소들 및 표시 영역의 주변에 형성되어 표시영역 상에 액정을 수납하기 위한 밀봉부재가 형성된 표시 기판이 탑재된다. 이동 유닛은 스테이지에 설치되어 표시 기판의 표시영역을 따라 이동한다. 검사 유닛은 이동 유닛에 배치되어 표시 기판을 검사한다. 리페어 유닛은 이동 유닛에 배치되어 표시 기판의 결함을 리페어한다. 따라서, 시간당 표시 기판의 검사 및 리페어 양이 증가한다.Disclosed is a repair apparatus for a display substrate having improved productivity. The repair apparatus includes a stage, a moving unit, an inspection unit and a repair unit. The stage is equipped with a display substrate on which pixels for displaying an image in the display area and a sealing member formed around the display area and containing liquid crystal on the display area are formed. The moving unit is installed on the stage and moves along the display area of the display substrate. The inspection unit is disposed in the mobile unit to inspect the display substrate. The repair unit is disposed in the mobile unit to repair a defect in the display substrate. Thus, the amount of inspection and repair of the display substrate per hour increases.

표시 기판, 액정, 밀봉부재, 단선, 리페어, 검사, 이동Display board, liquid crystal, sealing member, disconnection, repair, inspection and movement

Description

리페어 장치{REPAIR APPARTUS}Repair device {REPAIR APPARTUS}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 리페어 장치의 평면도이다.1 is a plan view of a repair apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 리페어 장치의 평면도이다.2 is a plan view of a repair apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 3은 도 2에 도시된 리페어 장치를 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the repair apparatus shown in FIG. 2 taken along the line II ′.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 리페어 장치의 평면도이다.4 is a plan view of a repair apparatus according to a third embodiment of the present invention.

도 5는 도 4에 도시된 리페어 장치를 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view of the repair apparatus illustrated in FIG. 4 taken along the line II-II ′.

도 6은 표시 기판 상의 결함을 리페어 하는 도 4에 도시된 리페어 장치의 단면도이다.6 is a cross-sectional view of the repair apparatus shown in FIG. 4 for repairing a defect on a display substrate.

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 리페어 장치의 평면도이다.7 is a plan view of a repair apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

본 발명은 표시 기판 리페어 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 표시 기판 상에 형성된 밀봉부재의 결함 및 파티클을 검사 및 보수하는 리페어 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a display substrate repair apparatus. More specifically, the present invention relates to a repair apparatus for inspecting and repairing defects and particles of a sealing member formed on a display substrate.

일반적으로, 표시장치(display device)는 정보처리장치(information processing device)에서 처리된 데이터를 육안으로 인식할 수 있도록 하는 인터페 이스 장치의 하나이다.In general, a display device is one of an interface device capable of visually recognizing data processed by an information processing device.

표시장치는 CRT 표시장치(Cathode Ray Tube display device), 액정표시장치(Liquid Crystal Display device, LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP) 및 유기전계발광 표시장치(organic Electro-Luminescence display device, EL) 등이 대표적이다.The display device includes a CRT display device (Cathode Ray Tube display device), a liquid crystal display device (LCD), a plasma display panel (PDP) and an organic electroluminescence display device (organic electroluminescence display device), EL) and the like are typical.

액정표시장치는 전계(electric field)의 영향 하에서 액정의 꼬임, 분산, 벌어짐 등의 특성을 이용하여 영상을 표시한다.The liquid crystal display displays an image by using characteristics such as twisting, dispersion, and spreading of the liquid crystal under the influence of an electric field.

이를 구현하기 위해서, 액정표시장치는 한 쌍의 기판, 전극들, 액정층(Liquid Crystal layer) 및 밀봉부재(sealing member)를 포함한다. 한 쌍의 기판은 상호 마주보도록 배치된다. 전극들은 각 기판마다 형성되고, 각 전극들에는 서로 다른 구동전압이 인가되어, 기판들 사이에는 전기장이 형성된다. 액정층은 기판들의 사이에 개재된다. 밀봉부재는 기판들 사이의 간격을 유지 및 액정의 누설을 방지한다.In order to implement this, the liquid crystal display includes a pair of substrates, electrodes, a liquid crystal layer, and a sealing member. The pair of substrates are arranged to face each other. Electrodes are formed for each substrate, and different driving voltages are applied to the electrodes, and an electric field is formed between the substrates. The liquid crystal layer is interposed between the substrates. The sealing member maintains a gap between the substrates and prevents leakage of the liquid crystal.

밀봉부재는 기판 상의 표시영역의 테두리에 형성된다. 기판 상에 형성된 밀봉부재가 단선 또는 표시 영역에 불순물이 부착되면 기판은 액정 표시 장치의 기판으로 사용될 수 없다. 이러한 결함을 시정하기 위하여 종래에는 표시 영역에 액정이 수납되기 전에 밀봉부재의 단선 검사 공정, 단선된 밀봉부재의 리페어 공정 및 기판 상에 부착된 불순물 검사 공정을 각기 별도로 수행하였다.The sealing member is formed at the edge of the display area on the substrate. If impurities are attached to a disconnection or display area formed on the substrate, the substrate may not be used as a substrate of the liquid crystal display. In order to correct such a defect, conventionally, before the liquid crystal is accommodated in the display area, the disconnection inspection process of the sealing member, the repair process of the disconnected sealing member, and the impurity inspection process adhered to the substrate were separately performed.

그러나 각각의 검사 공정 및 리페어 공정을 별도로 수행하는 경우 액정표시장치의 제조 공정에 시간이 많이 소요되고 검사 및 리페어 설비가 차지하는 면적이 증가되는 문제점이 있다.However, when each inspection process and the repair process are performed separately, the manufacturing process of the liquid crystal display device takes a long time and the area occupied by the inspection and repair facilities increases.

따라서, 본 발명은 종래 기술에 따른 하나 또는 그 이상의 문제점 및 제한을 실질적으로 제거함에 있다.Accordingly, the present invention is intended to substantially eliminate one or more problems and limitations of the prior art.

본 발명의 목적은 표시 기판 상의 결함의 검사 및 리페어를 모두 수행하는 리페어 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a repair apparatus that performs both inspection and repair of a defect on a display substrate.

본 발명의 목적을 실현하기 위한 하나의 특징에 따른 리페어 장치는 스테이지, 이동 유닛, 검사 유닛 및 리페어 유닛을 포함한다. 스테이지에는 표시영역에 영상을 표시하기 위한 화소들 및 표시 영역의 주변에 형성되어 표시영역 상에 액정을 수납하기 위한 밀봉부재가 형성된 표시 기판이 탑재된다. 이동 유닛은 스테이지에 설치되어 표시 기판의 표시영역을 따라 이동한다. 검사 유닛은 이동 유닛에 배치되어 표시 기판을 검사한다. 리페어 유닛은 이동 유닛에 배치되어 표시 기판의 결함을 리페어한다. 검사 유닛은 선택적으로 밀봉부재 촬상 유닛 및/또는 파티클 촬상 유닛을 포함할 수 있고 리페어 유닛은 이동 유닛 상에서 표시 기판을 따라 이송된다.The repair apparatus according to one feature for realizing the object of the present invention includes a stage, a moving unit, an inspection unit and a repair unit. The stage is equipped with a display substrate on which pixels for displaying an image in the display area and a sealing member formed around the display area and containing liquid crystal on the display area are formed. The moving unit is installed on the stage and moves along the display area of the display substrate. The inspection unit is disposed in the mobile unit to inspect the display substrate. The repair unit is disposed in the mobile unit to repair a defect in the display substrate. The inspection unit may optionally include a sealing member imaging unit and / or a particle imaging unit, wherein the repair unit is transported along the display substrate on the moving unit.

본 발명을 구현하기 위하여, 검사 유닛은 화상 카메라를 포함할 수 있고 리페어 유닛은 밀봉부재의 단선 및 파티클을 인식할 수 있는 회로부를 포함할 수 있다.In order to implement the present invention, the inspection unit may include an image camera and the repair unit may include a circuit portion capable of recognizing disconnection and particles of the sealing member.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명 하고자 한다.
Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

리페어 장치Repair device

실시예 1Example 1

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 리페어 장치의 평면도이다.1 is a plan view of a repair apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 리페어 장치(100)는 스테이지(110), 이동 유닛(130), 검사 유닛(150) 및 리페어 유닛(170)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the repair apparatus 100 according to the present embodiment includes a stage 110, a mobile unit 130, an inspection unit 150, and a repair unit 170.

스테이지(110)는 표시 기판(50)을 지지한다. 표시 기판(50)은 표시영역 및 표시영역의 주변 영역으로 분할된다. 표시영역에는 표시영역에 영상을 표시하기 위한 화소들이 형성된다. 주변 영역에는 표시영역 상에 액정을 수납하기 위한 밀봉부재가 소정의 패턴을 갖도록 형성된다.The stage 110 supports the display substrate 50. The display substrate 50 is divided into a display area and a peripheral area of the display area. In the display area, pixels for displaying an image in the display area are formed. In the peripheral area, a sealing member for accommodating the liquid crystal is formed on the display area to have a predetermined pattern.

이동 유닛(130)은 표시 기판(50)의 상부에서 이동한다. 바람직하게는 이동 유닛(130)은 표시 기판(50) 상의 표시 영역을 따라 이동한다. 이동 유닛(130)은 스테이지(110) 상에서 이동 할 수 있도록 스테이지(110)에 설치된다.The moving unit 130 moves on the display substrate 50. Preferably, the moving unit 130 moves along the display area on the display substrate 50. The moving unit 130 is installed on the stage 110 to move on the stage 110.

검사 유닛(150)은 표시 기판(50) 상의 결함 유무를 검사한다. 검사 유닛(150)은 이동 유닛(130)의 소정의 위치에 배치된다. 표시 기판(50)의 전면적에 걸쳐 검사를 수행하기 위하여 검사 유닛(150)은 이동 유닛(130)의 이동 방향에 대하여, 예를 들어, 실질적으로 수직한 방향으로 배치되는 것이 바람직하다.The inspection unit 150 inspects the presence or absence of a defect on the display substrate 50. The inspection unit 150 is disposed at a predetermined position of the mobile unit 130. In order to perform the inspection over the entire surface of the display substrate 50, the inspection unit 150 is preferably disposed in a direction substantially perpendicular to the moving direction of the mobile unit 130, for example.

리페어 유닛(170)은 표시 기판(50) 상의 결함을 리페어한다. 리페어 유닛(170)은 이동 유닛(130)의 소정의 위치, 예를 들어, 검사 유닛(150)에 대향하게 배 치된다.The repair unit 170 repairs a defect on the display substrate 50. The repair unit 170 is disposed to face a predetermined position of the mobile unit 130, for example, the inspection unit 150.

본 실시예에 따른 리페어 장치에 의하면, 하나의 리페어 장치로 표시 기판 상의 결함의 검사 및 리페어를 할 수 있다.According to the repair apparatus according to the present embodiment, it is possible to inspect and repair defects on the display substrate with one repair apparatus.

실시예 2Example 2

도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따른 리페어 장치의 평면도이다.2 is a plan view of a repair apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 리페어 장치(200)는 스테이지(210), 이동 유닛(230), 검사 유닛(250) 및 리페어 유닛(270)을 포함한다.Referring to FIG. 2, the repair apparatus 200 according to the present embodiment includes a stage 210, a moving unit 230, an inspection unit 250, and a repair unit 270.

스테이지(210)는 리페어 장치(200)에 있어서 하단의 지지부를 이루고 표시 기판(50)을 지지한다. 표시 기판(50)은, 예를 들어, 제1 방향으로 스테이지(210)에 로딩된다. 표시 기판(50)은 표시영역 및 표시영역의 주변 영역으로 분할된다. 표시영역에는 표시영역에 영상을 표시하기 위한 화소들이 형성된다. 주변 영역에는 표시영역 상에 액정을 수납하기 위한 밀봉부재가 소정의 패턴을 갖도록 형성된다. 밀봉부재는, 예를 들어, 표시 기판(50)이 로딩되는 제1 방향 및 제1 방향과 실질적으로 수직을 이루는 제2 방향으로 매트릭스 형상의 패턴으로 형성될 수 있다.The stage 210 forms a support at the bottom of the repair apparatus 200 and supports the display substrate 50. The display substrate 50 is loaded onto the stage 210 in the first direction, for example. The display substrate 50 is divided into a display area and a peripheral area of the display area. In the display area, pixels for displaying an image in the display area are formed. In the peripheral area, a sealing member for accommodating the liquid crystal is formed on the display area to have a predetermined pattern. For example, the sealing member may be formed in a matrix-shaped pattern in a first direction in which the display substrate 50 is loaded and in a second direction substantially perpendicular to the first direction.

이동 유닛은 표시 기판(50)의 상부에서 이동한다. 바람직하게는 이동 유닛(230)은 표시 기판(50) 상의 표시 영역을 따라, 예를 들어, 제1 방향으로 이동한다. 이동 유닛(230)은, 예를 들어, 스테이지(210) 상에서 롤링될 수 있도록 스테이지(210)에 설치된다.The moving unit moves on the display substrate 50. Preferably, the moving unit 230 moves along the display area on the display substrate 50, for example, in the first direction. The moving unit 230 is installed on the stage 210, for example, to be rolled on the stage 210.

검사 유닛(250)은 표시 기판(50) 상의 결함, 예를 들어, 표시 기판(50)상에 소정의 패턴으로 형성된 밀봉부재의 단선 유무를 검사한다. 검사 유닛(250)은 밀봉 부재의 결함을 영상으로 검사하기 위해 밀봉부재를 촬상하는 밀봉부재 촬상 유닛(250)일 수 있다. 검사 유닛(250)은 이동 유닛(230)의 소정의 위치에 배치된다. 표시 기판(50)의 전면적에 걸쳐 검사를 수행하기 위하여 이동 유닛(230)이 제1 방향으로 이동하는 경우 검사 유닛(250)은 이동 유닛(230) 상에 제2 방향으로 복수개가 배치되는 것이 바람직하다.The inspection unit 250 inspects a defect on the display substrate 50, for example, disconnection of a sealing member formed in a predetermined pattern on the display substrate 50. The inspection unit 250 may be a sealing member imaging unit 250 for imaging the sealing member in order to inspect the defect of the sealing member as an image. The inspection unit 250 is disposed at a predetermined position of the mobile unit 230. When the mobile unit 230 moves in the first direction to perform the inspection over the entire surface of the display substrate 50, it is preferable that a plurality of inspection units 250 are disposed on the mobile unit 230 in the second direction. Do.

리페어 유닛(270)은 표시 기판(50) 상의 결함을 리페어한다. 리페어 유닛(270)은 이동 유닛(230)의 소정의 위치, 예를 들어, 검사 유닛(250)에 대향하게 배치된다. 리페어 유닛(270)은 디스펜서(271) 및 이송 유닛(275)을 포함한다. 디스펜서(271)는 검사 유닛(250)이 발견한 결함을 리페어 하기 위하여 밀봉부재를 이루는 밀봉물질을 결함 부위에 제공한다. 이송 유닛(275)은 이동 유닛(230)에 배치되어 이동 유닛(230) 상에서 밀봉부재의 단선이 존재하는 위치로, 예를 들어, 제2 방향으로 디스펜서(271)를 이동시킨다. 리페어 유닛(270)은 리페어 상태를 확인하기 위하여 소정의 촬상 유닛(277)을 더 포함할 수 있다.The repair unit 270 repairs a defect on the display substrate 50. The repair unit 270 is disposed opposite the predetermined position of the mobile unit 230, for example, the inspection unit 250. Repair unit 270 includes a dispenser 271 and a transfer unit 275. The dispenser 271 provides a sealing material, which forms a sealing member, to the defect site in order to repair the defect found by the inspection unit 250. The transfer unit 275 is disposed in the mobile unit 230 to move the dispenser 271 to the position where the disconnection of the sealing member exists on the mobile unit 230, for example, in the second direction. The repair unit 270 may further include a predetermined imaging unit 277 to confirm the repair state.

본 실시예에 따른 리페어 장치(200)는 검사 유닛(250)이 표시 기판(50) 상의 결함을 식별하게 하고 리페어 유닛(270)을 결함이 존재하는 표시 기판(50) 상의 좌표로 이동 및 리페어하게 하는 제어 회로부(도시되지 않음)를 포함할 수 있다.The repair apparatus 200 according to the present embodiment allows the inspection unit 250 to identify a defect on the display substrate 50 and to move and repair the repair unit 270 to the coordinates on the display substrate 50 where the defect exists. It may include a control circuit unit (not shown).

도 3은 도 2에 도시된 리페어 장치를 Ⅰ-Ⅰ' 선을 따라 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the repair apparatus shown in FIG. 2 taken along the line II ′.

도 2 및 도 3을 참조하여, 본 실시예에 따른 리페어 장치(200)의 동작을 설명한다. 2 and 3, the operation of the repair apparatus 200 according to the present embodiment will be described.

예를 들어, 소정의 패턴으로 밀봉부재가 형성된 표시 기판(50)이 제1 방향으 로 스테이지(210)에 로딩된다. 이동 유닛(230)이 표시 기판(50)의 일 단부로부터 타 단부까지 제1 방향으로 이동하는 동안 검사 유닛(250)은 밀봉부재의 단선 부위를 확인하고 밀봉부재의 단선된 부위의 좌표를 인식한다. 제어 회로부는 밀봉부재의 단선 부위의 좌표를 입력받아 이동 유닛(230) 및 리페어 유닛(270)을 단선 부위로 이동시킨다. 리페어 유닛(270)은 단선 부위에 밀봉물질을 디스펜서(271)를 통하여 공급하고, 이에 따라, 밀봉부재의 단선이 리페어 된다.For example, the display substrate 50 having the sealing member formed in a predetermined pattern is loaded on the stage 210 in the first direction. While the moving unit 230 moves from one end of the display substrate 50 to the other end in the first direction, the inspection unit 250 checks the disconnection portion of the sealing member and recognizes the coordinates of the disconnected portion of the sealing member. . The control circuit unit receives the coordinates of the disconnection portion of the sealing member and moves the mobile unit 230 and the repair unit 270 to the disconnection portion. The repair unit 270 supplies the sealing material to the disconnected portion through the dispenser 271, whereby disconnection of the sealing member is repaired.

실시예 3Example 3

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 리페어 장치의 평면도이다.4 is a plan view of a repair apparatus according to a third embodiment of the present invention.

본 실시예에 따른 리페어 장치(300)는 검사 유닛(350) 및 리페어 유닛(370)을 제외하고는 본 발명의 제2 실시예에 따른 리페어 장치(200)와 실질적으로 동일하다. 도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 리페어 장치(300)는 스테이지(310), 이동 유닛(330), 검사 유닛(350) 및 리페어 유닛(370)을 포함한다. The repair apparatus 300 according to the present embodiment is substantially the same as the repair apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention except for the inspection unit 350 and the repair unit 370. Referring to FIG. 4, the repair apparatus 300 according to the present exemplary embodiment includes a stage 310, a mobile unit 330, an inspection unit 350, and a repair unit 370.

검사 유닛(350)은 표시 기판(50) 상의 결함, 예를 들어, 표시 기판(50) 상에 소정의 패턴으로 형성된 밀봉부재의 단선 및 파티클 유무를 검사한다. 검사 유닛(350)은 이동 유닛(330)의 소정의 위치에 배치된다. 검사 유닛(350)은 밀봉부재 촬상 유닛(351) 및 파티클 촬상 유닛(355)을 포함한다.The inspection unit 350 inspects defects on the display substrate 50, for example, disconnection and particle presence of the sealing member formed in a predetermined pattern on the display substrate 50. The inspection unit 350 is disposed at a predetermined position of the mobile unit 330. The inspection unit 350 includes a sealing member imaging unit 351 and a particle imaging unit 355.

밀봉부재 촬상 유닛(351)은 밀봉부재의 결함, 예를 들어, 밀봉부재의 단선을 영상으로 검사하기 위한 화상 카메라일 수 있다. 밀봉부재 촬상 유닛(351)은 표시 기판(50)이 로딩되는 제1 방향을 마주보는 이동 유닛(330)의 일 면에 배치될 수 있다. 밀봉부재 촬상 유닛(351)은 표시 기판(50)의 전면적을 검사하기 위하여 이동 유닛(330) 상에 제1 방향과 실질적으로 수직한 제2 방향으로 복수개가 배치되는 것이 바람직하다.The sealing member imaging unit 351 may be an image camera for inspecting defects of the sealing member, for example, disconnection of the sealing member as an image. The sealing member imaging unit 351 may be disposed on one surface of the moving unit 330 facing the first direction in which the display substrate 50 is loaded. A plurality of sealing member imaging units 351 may be disposed on the mobile unit 330 in a second direction substantially perpendicular to the first direction to inspect the entire area of the display substrate 50.

파티클 촬상 유닛(355)은 표시 기판(50)의 표면에 부착된 파티클을 영상으로 검사하기 위한 카메라 일 수 있다. 파티클 촬상 유닛(355)은 이동 유닛(330)에 밀봉부재 촬상 유닛(351)과 대향하게 배치될 수 있다. 파티클 촬상 유닛(355)은 표시 기판(50)의 전면적을 검사하기 위하여 이동 유닛(330) 상에 제1 방향과 실질적으로 수직한 제2 방향으로 복수개가 배치되는 것이 바람직하다.The particle imaging unit 355 may be a camera for inspecting particles attached to the surface of the display substrate 50 as an image. The particle imaging unit 355 may be disposed in the mobile unit 330 to face the sealing member imaging unit 351. In order to inspect the entire area of the display substrate 50, the particle imaging unit 355 may be disposed on the mobile unit 330 in a second direction substantially perpendicular to the first direction.

본 실시예에서, 리페어 장치(300)는 밀봉부재 촬상 유닛(351) 및 파티클 촬상 유닛(355)이 밀봉부재의 단선 및 파티클을 인식하도록 광을 제공하는 광원을 더 포함할 수 있다.In the present embodiment, the repair apparatus 300 may further include a light source that provides light so that the sealing member imaging unit 351 and the particle imaging unit 355 recognize disconnection and particles of the sealing member.

리페어 유닛(370)은 이동 유닛(330)의 소정의 위치, 예를 들어, 밀봉부재 촬상 유닛(351)이 배치된 이동 유닛(330)의 부근에 배치되어 이동 유닛 상에서 이송된다.The repair unit 370 is disposed at a predetermined position of the mobile unit 330, for example, in the vicinity of the mobile unit 330 in which the sealing member imaging unit 351 is disposed, and is transported on the mobile unit.

도 5는 도 4에 도시된 리페어 장치를 Ⅱ-Ⅱ' 선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view of the repair apparatus illustrated in FIG. 4 taken along the line II-II ′.

도 4 및 도 5를 참조하여, 본 실시예에 따른 리페어 장치(300)의 동작을 설명한다. 4 and 5, the operation of the repair apparatus 300 according to the present embodiment will be described.

예를 들어, 소정의 패턴으로 밀봉부재(55)가 형성된 표시 기판(50)이 스테이지(310)에 로딩된다. 광원(도시되지 않음)은 표시 기판(50)에 광을 조사한다. 밀봉부재 촬상 유닛(351)은 밀봉부재(55)의 단선 부위(57)와 단선되지 않은 부위에서 각각 반사된 반사광들을 인식하여 각 반사광들의 차이, 예를 들어, 명암을 인식하 여 밀봉부재(55)의 단선 여부를 검사한다.For example, the display substrate 50 having the sealing member 55 formed in a predetermined pattern is loaded on the stage 310. A light source (not shown) emits light onto the display substrate 50. The sealing member imaging unit 351 recognizes the reflected light reflected from the disconnection portion 57 and the undisconnected portion of the sealing member 55 to recognize the difference between each reflected light, for example, the contrast, to seal the sealing member 55. Check for disconnection).

또한, 파티클 검사 유닛(350)은 파티클(59)과 표시 기판(50)의 표면에서 각각 반사된 반사광들을 인식하여 각 반사광들의 차이, 예를 들어, 명암을 인식하여 표시 기판(50) 상에 파티클(59)의 유무를 검사한다.In addition, the particle inspection unit 350 recognizes the reflected light reflected from the surface of the particle 59 and the display substrate 50, respectively, and recognizes a difference between each reflected light, for example, light and dark, to detect the particle on the display substrate 50. Check for the presence of (59).

도 6은 표시 기판 상의 결함을 리페어 하는 도 4에 도시된 리페어 장치의 단면도이다.6 is a cross-sectional view of the repair apparatus shown in FIG. 4 for repairing a defect on a display substrate.

도 6을 참조하면, 밀봉부재 촬상 유닛(351)이 밀봉부재(55)의 단선된 부위(57)를 확인하면, 제어 회로부(도시되지 않음)는 이동 유닛(330) 및 리페어 유닛(370)을 단선된 위치로 이동시킨다. 리페어 유닛(370)은 디스펜서(371)를 통하여 밀봉물질(56)을 단선된 부위(57)에 제공하고 이에 따라 밀봉부재(55)의 단선이 리페어 된다. 리페어 유닛(370)은 리페어 상태를 확인하기 위하여 화상 카메라(371)를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, when the sealing member imaging unit 351 identifies the disconnected portion 57 of the sealing member 55, the control circuit unit (not shown) may move the moving unit 330 and the repair unit 370. Move to the disconnected position. The repair unit 370 provides the sealing material 56 to the disconnected portion 57 through the dispenser 371, whereby the disconnection of the sealing member 55 is repaired. The repair unit 370 may further include an image camera 371 to check the repair state.

본 실시예에 따른 리페어 장치(370)에 의하면, 기판 상의 결함의 검사 및 리페어를 모두 수행할 수 있다. 또한, 표시 기판(50) 상에 파티클(59)이 허용치 이상 존재하는 경우, 표시 기판(50) 상의 특정한 위치에서 계속 파티클(59)이 확인되는 경우 또는 표시 기판(50) 상의 특정한 위치에서 파티클(59)이 계속 증가하는 추세에 있는 경우, 표시 기판(50) 제조 공정을 정지시키거나 결함의 원인을 찾아 제거할 수 있으므로 표시 기판의 불량률을 감소시킬 수 있는 장점이 있다.According to the repair apparatus 370 according to the present exemplary embodiment, both the inspection and the repair of the defect on the substrate can be performed. In addition, when the particle 59 exists on the display substrate 50 or more than the allowable value, when the particle 59 is continuously observed at a specific position on the display substrate 50 or at a specific position on the display substrate 50 When 59) continues to increase, the manufacturing process of the display substrate 50 may be stopped or the cause of the defect may be found and removed, thereby reducing the defective rate of the display substrate.

실시예 4Example 4

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 리페어 장치의 평면도이다. 7 is a plan view of a repair apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.                     

본 실시예에 따른 리페어 장치(400)는 검사 유닛(450)을 제외하고는 본 발명의 제2 실시예에 따른 리페어 장치(200)와 실질적으로 동일하다.The repair apparatus 400 according to the present embodiment is substantially the same as the repair apparatus 200 according to the second embodiment of the present invention except for the inspection unit 450.

도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 리페어 장치(400)는 스테이지(410), 이동 유닛(430), 검사 유닛(450) 및 리페어 유닛(470)을 포함한다. 검사 유닛(450)은 표시 기판(50) 상의 결함 부위의 영상을 촬상 하는 촬상 유닛(450)일 수 있다. 촬상 유닛(450)은 밀봉부재의 단선 부위, 표시 기판(50)의 표면 및 표시 기판(50) 상의 파티클에서 반사된 각 반사광들의 특성의 차이를 식별하여 밀봉부재의 단선 부위 및 파티클의 유무를 검사한다. Referring to FIG. 7, the repair apparatus 400 according to the present embodiment includes a stage 410, a mobile unit 430, an inspection unit 450, and a repair unit 470. The inspection unit 450 may be an imaging unit 450 that captures an image of a defect portion on the display substrate 50. The imaging unit 450 identifies the disconnection portion of the sealing member, the surface of the display substrate 50, and the difference in characteristics of each reflected light reflected from the particles on the display substrate 50 to inspect the disconnection portion of the sealing member and the presence or absence of particles. do.

본 실시예에 따른 리페어 장치(400)에 의하면, 밀봉부재의 단선 검사 및 파티클 검사를 하나의 검사 유닛(450)이 수행할 수 있는 장점이 있다.According to the repair apparatus 400 according to the present embodiment, there is an advantage that one inspection unit 450 may perform disconnection inspection and particle inspection of the sealing member.

이상에서 상세하게 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 하나의 리페어 장치로 밀봉부재의 단선 검사 및 파티클 유무를 검사할 수 있다. 따라서, 표시 기판에 대한 검사 공정의 소요시간이 단축되어 시간당 기판 검사량이 크게 증가되는 효과가 있다.As described in detail above, according to the present invention, it is possible to inspect the disconnection of the sealing member and the presence or absence of particles with one repair apparatus. Therefore, the time required for the inspection process for the display substrate is shortened, thereby increasing the amount of substrate inspections per hour.

또한, 본 발명에 따른 리페어 장치는 밀봉부재의 단선여부를 검사하는 검사 유닛 및 리페어 유닛을 포함한다. 따라서, 표시 기판의 검사 공정에서 표시 기판 상의 결함에 대한 리페어 공정으로 이전에 소요되는 시간이 없어져 시간당 표시 기판의 리페어 량이 크게 증가되는 효과가 있다.In addition, the repair apparatus according to the present invention includes an inspection unit and a repair unit for inspecting whether the sealing member is disconnected. Therefore, the time required for the repair process for defects on the display substrate is eliminated in the inspection process of the display substrate, thereby increasing the amount of repair of the display substrate per hour.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.In the detailed description of the present invention described above with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art having ordinary skill in the art will be described in the claims to be described later It will be understood that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the present invention.

Claims (7)

표시영역에 영상을 표시하기 위한 화소들 및 상기 표시영역의 주변에 형성되어 상기 표시영역 상에 액정을 수납하기 위한 밀봉부재가 형성된 표시 기판이 탑재되는 스테이지;A stage on which a display substrate is formed which includes pixels for displaying an image in a display area and a sealing member formed around the display area for accommodating liquid crystal on the display area; 상기 스테이지에 설치되어 상기 표시 기판의 상부에서 표시영역을 따라 이동하는 이동 유닛;A moving unit installed in the stage and moving along the display area on the display substrate; 상기 이동 유닛에 배치되어 상기 표시 기판을 검사하는 검사 유닛; 및An inspection unit disposed in the moving unit to inspect the display substrate; And 상기 이동 유닛에 배치되어 상기 표시 기판의 결함을 리페어 하는 리페어 유닛을 포함하는 리페어 장치.And a repair unit disposed in the mobile unit to repair a defect of the display substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 검사 유닛은 상기 밀봉부재의 결함을 영상으로 검사하기 위해 상기 밀봉부재를 촬상하는 밀봉부재 촬상 유닛인 것을 특징으로 하는 리페어 장치.2. The repair apparatus according to claim 1, wherein the inspection unit is a sealing member imaging unit that picks up the sealing member so as to image-check a defect of the sealing member. 제 1 항에 있어서, 상기 검사 유닛은 상기 표시 기판의 표면에 부착된 파티클을 영상으로 검사하기 위해 상기 표시 기판의 표면을 촬상하는 파티클 촬상 유닛인 것을 특징으로 하는 리페어 장치.The repair apparatus according to claim 1, wherein the inspection unit is a particle imaging unit for imaging the surface of the display substrate in order to visually inspect particles attached to the surface of the display substrate. 제 1 항에 있어서, 상기 검사 유닛은 상기 밀봉부재의 결함을 영상으로 검사 하기 위해 상기 밀봉부재를 촬상하는 밀봉부재 촬상 유닛 및 상기 표시 기판의 표면에 부착된 파티클을 영상으로 검사하기 위해 상기 표시 기판의 표면을 촬상하는 파티클 촬상 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어 장치.The display substrate of claim 1, wherein the inspection unit is configured to image an image of a sealing member image pickup unit for imaging the sealing member and an image of particles attached to a surface of the display substrate. And a particle imaging unit for imaging the surface of the repair apparatus. 제 1 항에 있어서, 상기 검사 유닛은 상기 밀봉부재의 결함 및 상기 표시 기판의 표면에 부착된 파티클을 영상으로 검사하기 위한 촬상 유닛인 것을 특징으로 하는 리페어 장치.The repair apparatus according to claim 1, wherein the inspection unit is an imaging unit for inspecting defects of the sealing member and particles attached to a surface of the display substrate as an image. 제 1 항에 있어서, 상기 리페어 유닛은 상기 밀봉부재의 결함부위를 리페어하기 위해 상기 밀봉부재를 이루는 밀봉물질을 상기 결함부위에 제공하는 디스펜서를 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어 장치.The repair apparatus according to claim 1, wherein the repair unit includes a dispenser for providing a sealing material that forms the sealing member to the defective portion to repair the defective portion of the sealing member. 제 1 항에 있어서, 상기 리페어 유닛은 상기 이동 유닛 상에서 상기 표시 기판을 따라 이송되기 위한 이송 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어 장치.The repair apparatus according to claim 1, wherein the repair unit comprises a transport unit for transporting along the display substrate on the mobile unit.
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